CN1851400A - 表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置 - Google Patents

表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1851400A
CN1851400A CNA2006100777523A CN200610077752A CN1851400A CN 1851400 A CN1851400 A CN 1851400A CN A2006100777523 A CNA2006100777523 A CN A2006100777523A CN 200610077752 A CN200610077752 A CN 200610077752A CN 1851400 A CN1851400 A CN 1851400A
Authority
CN
China
Prior art keywords
probe
length
cantilever
contour shape
driver element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2006100777523A
Other languages
English (en)
Inventor
谷内信幸
久保田和浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Seimitsu Co Ltd filed Critical Tokyo Seimitsu Co Ltd
Publication of CN1851400A publication Critical patent/CN1851400A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

公开了一种表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置，该装置用于通过在使被支撑于悬臂上的探针与工件测量表面保持接触的同时移动该探针、并且检测探针的位移量来测量工件测量表面的表面形状。具有堤坝部分和底部的阶梯形工件底部的表面粗糙度和轮廓形状可以容易地进行测量。该表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置(1)包括移动单元(8)，该移动单元用来在与探针(9)长度方向(Z)和悬臂(7)长度方向(Y)都垂直的方向(X)上使工件和探针(9)相对于彼此移动。

Description

表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置
技术领域
本发明涉及一种表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置，或者特别涉及一种在两个方向上测量物体表面粗糙度和/或轮廓形状的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置。
背景技术
在表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置中，具有探针的拾取器沿着被测量物体(下文中通常称作“工件”)的表面移动，并且探针的位移量被转换成电信号并由计算机或类似装置读取，从而测量出工件的表面粗糙度和/或轮廓形状。这种表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置公开于尚未审查的日本专利申请No.2002-107144中。图1示出了传统的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置的基本构造。
该表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置1包括拾取器6，该拾取器用来测量放置于工作台2上的工件的表面粗糙度，该拾取器6由固定于驱动单元4上的支架5支撑。拾取器6支撑悬臂7的一端，其另一端具有探针9，该探针沿着与悬臂7长度垂直的方向延伸。
驱动单元4安装在直立于工作台2上的柱体3上，并且响应于来自数据处理系统(未示出)例如计算机的指令来移动支架5。驱动单元4仅仅可以沿着悬臂7的长度方向(X方向)移动支架5。
同样，整个驱动单元4可以根据工件的高度沿着柱体3在竖直方向(Z方向)上移动，该竖直方向垂直于工作台的表面。
一旦探针9由驱动单元4移动并同时与工件测量表面保持接触，则探针9会由于工件表面的粗糙度而移动。该位移量被传送给悬臂7并通过装入拾取器6中的差动感应或差接变压器转换成电信号。该电信号通过A/D转换器转换成数字信号并被输入数据处理系统中。这样，表示工件表面粗糙度的测量数据就由数据处理系统获得。
在这种传统的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置1中，拾取器6通过驱动单元4仅仅可以沿着工件的测量表面在X方向上移动。这可归因于每个与粗糙度测量有关的标准(例如JAS或ISO)都仅仅限定了直线上测量的粗糙度。
在需要评估XY平面中表面粗糙度和/或轮廓形状的特别情况中，拾取器6沿着工作台表面上的水平面中的方向(XY方向)相对于工件移动，其方式是将Y方向驱动单元安装在工作台上，该Y方向驱动单元用于在与工作台表面上X方向不同的另一个方向(Y方向)上移动工件，并且工件移动从而使得拾取器6和工件在Y方向上相对于彼此移动以进行测量。
然而，在测量具有阶梯部分的工件表面形状的情况中，或具体而言，在测量图2所示的引擎曲柄轴100上的曲柄销101的侧表面的表面粗糙度的情况中，曲柄臂102a、102b和配重103a、103b成为了阻止悬臂7和拾取器6接近的堤坝部分，因此探针9不能方便地与曲柄销101接触。
也就是，如图3所示，在曲柄轴100上的曲柄销101的侧表面的粗糙度的测量中，探针9需要沿着曲柄轴100的长度在X方向上移动。然而，在就像曲柄轴100的工件包括具有堤坝部分和底部的台阶部分的情况中(在这种情况中，曲柄臂102a、102b和配重103a、103b形成了堤坝部分，而曲柄销101的侧表面形成了底部)，在探针9与构成待检查表面的曲柄销101接触之前，悬臂7和拾取器6受到了曲柄臂10a、102b以及配重103a、103b的妨碍。在这种情况下，通过传统的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置来测量曲柄销101侧表面的表面粗糙度是非常困难的。
同样，在如上所述的使用在Y方向上移动工件的Y方向驱动单元的情况中，重量超过限制活动负载的工件就不能被测量，因此可以通过这种表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置进行测量的物体是有限的。
而且，可移动工作台的变形和驱动操作受到重心位置的影响，因而位移量也随着工件的重心或安装位置而变化，从而影响测量的精度。
为了保证预定的活动负载，工件的Y方向驱动单元需要使用具有相应容量余量的机构或电源，因而导致表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置的体积庞大、价格昂贵。
此外，在Y方向驱动单元放置在工作台上的情况中，在Y方向驱动单元和驱动单元4之间存在着柱体，这使得准确地垂直于驱动单元4设置Y方向驱动单元变得很困难，因为受到温度改变和振动的影响。
发明内容
考虑到上述的这些问题，本发明的目的在于提供一种表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置，该装置可以容易地测量具有堤坝部分和底部的工件台阶部分的表面粗糙度和轮廓形状。
为了实现这个目的，根据本发明，探针在垂直于其长度和悬臂长度的方向上移动，并同时沿着探针移动的方向测量工件测量表面的表面形状。
具体而言，根据本发明的第一个方面，提供了一种表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置，其中支撑于悬臂上的探针在保持与工件测量表面接触的同时被移动，并且探针的位移量被检测从而测量工件测量表面的表面形状，该表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置包括移动单元，该移动单元在与探针长度和悬臂长度都垂直的方向上使探针和工件相对于彼此地移动。
在所述表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置中，移动单元可以构造成在与探针长度和悬臂长度都垂直的方向上移动探针。而且，在所述表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置中，移动单元在保持探针与测量表面接触的同时移动该探针，从而沿着移动单元的移动方向测量工件测量表面的表面形状。
而且，所述的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置还可以包括驱动单元和连接部件，该驱动单元沿着悬臂长度可移动地支撑探针，该连接部件构成置于悬臂和驱动单元之间的移动单元，以在与探针长度和悬臂长度都垂直的方向上相对于驱动单元移动支撑探针的悬臂。
根据本发明的第二个方面，提供了一种表面粗糙度和/或轮廓形状的测量方法，其中由悬臂支撑的探针在移动的同时保持与工件测量表面接触，并且检测探针的位移量来测量工件测量表面的表面形状，其方式是使探针在与工件表面保持接触的同时沿着与探针长度和悬臂长度都垂直的方向移动，从而沿着探针移动的方向测量工件测量表面的表面形状。
在上述的根据本发明的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置和方法中，具有台阶部分的工件底部的表面粗糙度可以按下述方法测量，即保持探针与所述底部接触并且将悬臂的长度设置成与堤坝部分平行，并同时在与堤坝部分垂直的方向上移动探针，从而测量工件的表面形状。
附图说明
从下面参照附图的描述中，本发明可以得到更清楚的理解，在这些附图中：
图1示出了传统的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置的基本构造；
图2是解释测量曲柄轴曲柄销侧表面表面粗糙度的传统方法的第一图；
图3是解释测量曲柄轴曲柄销侧表面表面粗糙度的传统方法的第二图；
图4示出了根据本发明一个实施例的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置的基本构造；
图5A到5B是图4所示连接部件的放大透视图；
图5C示出了连接部件连接驱动单元和拾取器的方式；
图6A是图4所示拾取器XZ平面的侧剖视图；
图6B是沿图6A中A-A’线的剖视图；
图6C是解释图6A所示固定部分形状的透视图；
图7A和7B是解释测量具有台阶部分工件表面粗糙度的方法的图；
图8是解释根据本发明的测量曲柄轴曲柄销侧表面表面粗糙度方法的第一图；以及
图9是解释根据本发明的测量曲柄轴曲柄销侧表面表面粗糙度方法的第二图。
具体实施方式
下面将参照附图详细描述本发明的优选实施例。
图4示出了根据本发明一个实施例的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置的基本构造。该表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置1的基本构造与图1所示的构造相似，这些图中的相同功能部件分别被标以相同的附图标记，并且不再重复解释。
如图4所示，在表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置1中，拾取器6和悬臂7被安装成其长度方向沿着X方向，即XY平面中探针9被驱动单元4在工作台表面上驱动的方向。探针9被装在悬臂7的前端，以使其沿着与悬臂7长度垂直的Z方向延伸。
而且，支撑拾取器6的支架5和驱动单元4通过连接部件8彼此连接。连接部件8可以在Y方向上移动拾取器6，该Y方向与沿着悬臂7长度的X方向和沿着探针9长度的Z方向都垂直。图5A示出了该连接部件8的放大图。
如图5A所示，连接部件8包括主体81、第一附件82、可移动部分83、电机84以及第二附件85，该第一附件82固定在主体81上并且与驱动单元侧附件41(图5C)保持接合从而将主体81固定在驱动单元4上，该可移动部分83适于相对于主体81在Y方向上移动，该电机84用于驱动可移动部分83，该第二附件85固定在可移动部分83上并且通过接合来保持该支架5。电机84根据来自上述数据处理系统(未示出)的指令来进行驱动。
可移动部分83安装在主体81上，以使其可以沿着Y方向在主体81的预定表面81A上滑动。图5示出了在主体81的预定表面81A上被沿着Y方向驱动的可移动部分83。
图5C示出了连接部件8安装于驱动单元4与保持该拾取器6的支架5之间的方式。如图5C所示，连接部件8的第一附件82与驱动单元侧附件41保持接合，该驱动单元侧附件41由驱动单元4沿着X方向驱动。另一方面，用来保持拾取器6的支架5，与固定在可移动部分83上的第二附件85保持接合，该可移动部分83适于相对于主体81在Y方向上移动。
通过这种构造，拾取器6、悬臂7和探针9可以由驱动单元4和连接部件8在X和Y方向上移动。
为了沿着Y方向测量工件测量表面的表面粗糙度和/或轮廓形状，在Y方向上驱动拾取器6等部分的电机84优选地不是步进电机或类似的逐步旋转或驱动的电机，而是无级旋转或驱动的电机(例如DC电机)。
除了最初包括于现有表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置1中的驱动单元侧附件41和支架5以外，该连接部件8还包括适于接合驱动单元侧附件41和支架5的第一附件82和第二附件85。因此连接部件8可以容易地在后来安装在没有Y方向驱动机构的现有表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置1上。
同样，通过将第一附件82安装于主体81的表面81B(XY表面)上的角度改变90度，该连接部件8可以与驱动单元侧附件41接合，以使拾取器6由连接部件8在X方向上驱动。这样，在与驱动单元侧附件41由驱动单元4驱动的方向相同的方向上，拾取器6可以由连接部件8驱动，从而有可能拓宽在X方向上驱动拾取器6的范围。
而且，通过将第一附件82安装在主体81的XZ平面(即远离电机84的安装表面的表面)上，连接部件8可以与驱动单元侧附件41接合，以使拾取器6可以由连接部件8在Z方向上驱动。因此，可以测量正交XZ平面上的工件表面形状。
如上所述，一方面连接部件8安装于驱动单元侧附件41或支架5上的方向可以进行调节以使拾取器6可以由连接部件8在与两个方向中任意一个相同的方向上驱动，这两个方向与驱动单元4驱动连接部件8的方向正交，并且另一方面该安装方向还可以调节成连接部件8由驱动单元4驱动的方向。而且，通过不同地设置将第一附件82安装于主体81的安装表面上的角度和它安装于驱动单元侧附件41上的角度(将它们设置成非彼此平行)，拾取器6由连接部件8驱动的方向可以从X方向倾斜(以一个倾斜角)。
而且，为了调节连接部件8驱动拾取器6的方向与驱动单元4驱动连接部件8的方向之间的相对角度，驱动单元侧附件41或第一附件82可以装有角度调节机构，例如球形头。
图6A是沿图4所示拾取器6的XZ平面的侧剖视图，图6B是沿图6A中A-A’线的剖视图。拾取器6的壳体61中装有固定在壳体61上的固定部分62以及可移动部分63，该可移动部分63沿着作为旋转轴线的Y方向通过枢轴64可枢转地支撑于固定部分62上。图6C是解释图6A所示固定部分62形状的透视图。
如图6C所示，固定部分62形成有臂部分72a、72b，该臂部分用于从可移动部分63的枢轴64的两端支持该枢轴，并且支撑枢轴64的轴承71a、71b分别安装在臂部分72a、72b上。
可移动部分63具有将悬臂7固定在可移动部分63上的悬臂安装销70。固定于可移动部分63上的悬臂安装销70插入到形成于悬臂7的安装端处的安装孔中，从而将悬臂7固定在可移动部分63上。
而且，可移动部分63具有推动装置65，例如弹簧，以沿摆动方向推动与悬臂7一起固定的可移动部分63，从而使设置在远离悬臂7的安装端的端部处的探针9在随着工作表面移动，同时与其保持接触。在图6A的情况中，可移动部分63由压缩弹簧65推动，该弹簧安装在固定部分62的弹簧接收凹部66中。
因此，随着连接部件8和驱动单元4驱动拾取器6移动，探针9可以随着工件表面的粗糙度在其上滑动。由工件表面粗糙度产生的这种探针9的位移通过悬臂7传送给可移动部分63，从而使可移动部分63通过作为旋转轴的枢轴64而摆动。
通过拾取器6由连接部件8驱动在Y方向上的移动，在移动的探针9和工件表面之间产生Y方向上的摩擦力。为了确保可移动部分63抵抗摇摆力而进行顺畅的摆动运动，枢轴6的前端基本上形成圆锥形并且轴承71a、71b通过它们的球形表面支撑枢轴64基本为圆锥形的端部，该摇摆力可能由摩擦力产生并施加于悬臂7上。
通过在工作表面上滑动的探针9因工作表面粗糙度而产生的移动，其位移量通过设置在拾取器6上的差动感应传感器转换成电信号。差动感应传感器由固定在可移动部分63上的磁芯67、形成于固定部分62上的插入端口68以及两个线圈69构成，该插入端口68在可移动部分63被支撑于固定部分62上时用来插入磁芯67，该线圈69设置在磁芯插入端口68位置周围以包围磁芯67。在差动感应传感器中，由可移动部分63枢转运动而产生的磁芯67的运动作为两个线圈69之间的电感差的变化而被检测到，从而将可移动部分63的位移量转换成电信号。
图7A解释了通过图1所示的传统表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置来测量阶梯状工件表面粗糙度的方法，而图7B解释了通过图4所示根据本发明实施例的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置来测量阶梯状工件表面粗糙度的方法。
如图7所示，工件110包括构成检查表面的阶梯部分，该阶梯部分具有底部111和堤坝部分(bank)112a、112b。如图7A所示，在沿阶梯方向滑动探针9时对底部111的表面粗糙度或轮廓形状进行测量，该阶梯方向即为与堤坝部分112a、112b的延伸部分垂直的方向(图7A中的X方向)。
如上所述，在传统的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置中，探针9仅仅可以沿着悬臂7的长度方向移动。因此，在测量的过程中，工件110在工作台2上的位置设置成使测量的方向，即阶梯方向(与堤坝部分112a、112b的延伸部分垂直的方向)与悬臂7的长度方向重合。
因此，堤坝部分112a、112b妨碍了悬臂7和拾取器6，因而使探针9难以与底部111接触。
而另一方面，如图7B所示，在根据本发明一个实施例的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置中，探针9可以在与该探针的长度和悬臂7的长度都垂直的方向(图7B中的Y方向)上移动。
因此在测量操作中，悬臂7可以设置成其测量方向上的长度不受阶梯(与堤坝部分112a、112b的延伸部分平行的方向，即图7B中的X方向)的限制，该测量方向与阶梯方向即图7A中的Y方向垂直。
因此，可以这样进行测量，即悬臂7和拾取器6的长度方向被保持为沿着堤坝部分112a、112b。因此，探针9可以容易地在阶梯方向(与堤坝部分垂直的方向，或者图7B中的Y方向)上移动，并同时与底部111保持接触而不会受到堤坝部分112a、112b的妨碍。
还可以在工作台2上设置工件移动机构来沿着与探针9的长度和悬臂7的长度垂直的方向移动工件110，而不是在与探针的长度和悬臂7的长度垂直的方向上移动探针9。于是，通过在与探针9的长度和悬臂7的长度垂直的方向上使探针9和工件110相对于彼此移动，探针9可以在阶梯方向(图7B中的Y方向)上移动并同时与底部111保持接触，而悬臂7和拾取器6不会受到堤坝部分112a、112b的妨碍。
然而，根据这个实施例，探针9本身利用连接部件8在与探针9和悬臂7长度都垂直的方向上移动，因此可以得到结构简单紧凑的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置1。
图8解释了使用本发明一个实施例的表面粗糙度和/或轮廓形状测量方法进行测量的情况，其中象图2一样的曲柄轴100上的曲柄销101的侧表面的表面粗糙度和/或轮廓形状沿着曲柄轴100的长度进行测量。
与上面参照图2解释的传统测量方法不同，在本发明的测量方法中，探针9可以与曲柄销101的侧表面接触，而同时悬臂7和拾取器6的长度与曲柄轴100的长度垂直。因此，就有可能避免悬臂7和拾取器6受到曲柄臂102a、102b和配重103a、103b的妨碍。
具体而言，如图9所示，在这种情况中，通过沿着曲柄轴100和阶梯部分长度的Y方向移动探针9来测量曲柄销101的侧表面沿Y方向的表面粗糙度，该阶梯部分包括构成堤坝部分的曲柄臂102a、102b和配重103a、103b以及将被检查的曲柄销101的侧表面，该侧表面作为底部位于构成测量方向的Y方向上。
然而，在本发明一个实施例的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置中，探针9可以以这种方式移动，即悬臂7的长度和拾取器6的长度被设置成与曲柄轴100沿着阶梯方向(即与堤坝部分的延伸部分垂直的方向)的长度(Y方向)成直角。因此，探针9可以保持与曲柄销101的侧表面接触，而同时悬臂7和拾取器6不会受到曲柄臂102a、102b和配重103a、103b的妨碍。
根据本发明，在悬臂的长度方向与堤坝部分延伸部分的方向平行时，可以对具有堤坝部分和底部的工件的阶梯底部的表面粗糙度进行测量，并同时保持探针与所述底部接触。因此，可以避免探针因为悬臂和堤坝部分之间的干扰而不能与底部接触的情况。
从前面的描述还可以理解的是，在与探针长度和悬臂长度都垂直的方向上移动探针的连接部件的设置使得在特定方向上移动探针而不移动工件成为可能。因此，测量表面范围内的工件表面形状可以得到测量，而不会受到工件驱动单元例如工件移动台的最大活动负载的限制。而且，由连接部件驱动的拾取器重量比较轻，因而可以得到一种具有精密机构的紧凑、简单且廉价的装置。
本发明作为一种通过沿着被测物体表面移动探针或类似测量单元来测量表面形状的测量装置，可以找到较宽范围的应用。
虽然已经参照为说明目的而选的特殊实施例来描述本发明，但本领域的技术人员都能明了，在不超出本发明基本原理和范围的情况下，可以对本发明进行许多修改。

Claims (7)

1、一种表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置，该装置用于通过在使被支撑于悬臂上的探针与工件测量表面保持接触的同时移动该探针、并且检测探针的位移量来测量工件测量表面的表面形状，该装置还包括：
移动单元，该移动单元在与探针长度和悬臂长度都垂直的方向上使探针和工件相对于彼此移动。
2、根据权利要求1所述的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置，其特征在于，移动单元在与探针长度和悬臂长度都垂直的方向上移动探针。
3、根据权利要求1或2所述的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置，还包括：
驱动单元，该驱动单元用于沿着悬臂的长度可移动地支撑探针；以及
构成置于悬臂和驱动单元之间的移动单元的连接部件，该连接部件在与探针长度和悬臂长度都垂直的方向上相对于驱动单元移动用于支撑所述探针的悬臂。
4、根据权利要求2所述的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置，其特征在于，探针在与测量表面保持接触的同时由移动单元移动，从而沿着移动单元的移动方向测量测量表面的表面形状。
5、根据权利要求4所述的表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置，还包括：
驱动单元，该驱动单元用于沿着悬臂的长度可移动地支撑探针；以及
构成置于悬臂和驱动单元之间的移动单元的连接部件，该连接部件在与探针长度和悬臂长度都垂直的方向上相对于驱动单元移动用于支撑所述探针的悬臂。
6、一种表面粗糙度和/或轮廓形状的测量方法，该方法用于通过在使被支撑于悬臂上的探针与工件测量表面保持接触的同时移动该探针、并且检测探针的位移量来测量工件测量表面的表面形状，
其特征在于，在使探针与测量表面保持接触的同时，在与探针长度和悬臂长度都垂直的方向上移动探针，从而沿着移动探针的方向测量所述测量表面的表面形状。
7、根据权利要求6所述的表面粗糙度和/或轮廓形状的测量方法，其特征在于，保持探针与包括阶梯部分的工件的底部接触，该阶梯部分具有堤坝部分和所述底部，并且沿着与堤坝部分平行的悬臂长度引导探针，同时在与堤坝部分垂直的方向上移动探针，从而测量工件的表面形状。
CNA2006100777523A 2005-04-22 2006-04-21 表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置 Pending CN1851400A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005125174 2005-04-22
JP2005125174A JP2006300823A (ja) 2005-04-22 2005-04-22 表面粗さ／輪郭形状測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1851400A true CN1851400A (zh) 2006-10-25

Family

ID=36424578

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2006100777523A Pending CN1851400A (zh) 2005-04-22 2006-04-21 表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20060249675A1 (zh)
EP (1) EP1715288A1 (zh)
JP (1) JP2006300823A (zh)
CN (1) CN1851400A (zh)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102230790A (zh) * 2011-03-29 2011-11-02 上海宏力半导体制造有限公司 硅锗碳薄膜质量检测方法和半导体器件制造方法
CN102102985B (zh) * 2009-12-18 2012-11-21 西安威而信精密仪器有限公司 一种任意三角形传感器及其校验方法
CN103776415A (zh) * 2012-10-18 2014-05-07 株式会社三丰 表面粗糙度测量单元和坐标测量设备
CN105823457A (zh) * 2016-05-31 2016-08-03 天津大学 S形试件几何质量综合检测平台
CN105883383A (zh) * 2016-03-31 2016-08-24 浙江伊思灵双第弹簧有限公司 汽车制动系统弹簧组件加工系统
CN106441890A (zh) * 2016-09-19 2017-02-22 宁波高新区敦和科技有限公司 一种轴承检测装置
CN107743431A (zh) * 2015-04-09 2018-02-27 瑞尼斯豪公司 用于识别扫描路径的性质的探针数据分析
CN108318363A (zh) * 2018-02-12 2018-07-24 三峡大学 用于底枢蘑菇头磨损的检测装置及其检测方法
CN111121710A (zh) * 2019-12-13 2020-05-08 江苏易实精密科技股份有限公司 一种非规则曲面的粗糙度测量方法
CN111670334A (zh) * 2018-02-07 2020-09-15 株式会社东京精密 表面形状测定机

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008241527A (ja) * 2007-03-28 2008-10-09 Toyota Motor Corp 表面粗さ測定装置
CA2910738C (en) 2013-07-09 2021-10-05 Chandra Sekhar Jalluri System and method for characterizing surfaces using size data
JP6307927B2 (ja) * 2014-02-25 2018-04-11 トヨタ自動車株式会社 クランクシャフト長さ測定装置及びクランクシャフト長さ測定方法
DE112017002245T5 (de) 2016-04-28 2019-02-28 Jtekt Corporation Werkzeugmaschinensystem und oberflfächenrauigkeitserfassungsverfahren
DE102018133220A1 (de) 2018-12-20 2020-06-25 Diana Hubert Konturerfassungsvorrichtung sowie deren Verwendung
CN113154999B (zh) * 2021-05-12 2023-04-18 南京南传智能技术有限公司 曲轴零件的相对角度测量装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4166323A (en) * 1973-09-14 1979-09-04 Maag Gear-Wheel & Machine Co. Ltd. Gear tester for profile and lead testing
US4377911A (en) * 1981-02-18 1983-03-29 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Contour measuring instrument
US4765181A (en) * 1985-08-08 1988-08-23 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Surface texture measuring instrument
CH667726A5 (fr) * 1986-04-30 1988-10-31 Tesa Sa Dispositif de palpage pour un appareil autonome de mesure de grandeurs lineaires.
DE3740070A1 (de) * 1987-11-26 1989-06-08 Zeiss Carl Fa Dreh-schwenk-einrichtung fuer tastkoepfe von koordinatenmessgeraeten
DE3823993A1 (de) * 1988-07-15 1990-01-18 Zeiss Carl Fa Verfahren zur koordinatenmessung an werkstuecken
JP2701141B2 (ja) * 1995-05-23 1998-01-21 株式会社ミツトヨ 真円度測定装置
US6032381A (en) * 1996-12-02 2000-03-07 Miller; Walter R Dovetail accessory for a dial test indicator
JP3992853B2 (ja) * 1998-09-30 2007-10-17 株式会社ミツトヨ 表面追従型測定機
US6745616B1 (en) * 1999-10-21 2004-06-08 Mitutoyo Corporation Surface texture measuring machine, leveling device for surface texture measuring machine and orientation-adjusting method of workpiece of surface texture measuring machine
JP2002340503A (ja) * 2001-05-16 2002-11-27 Mitsutoyo Corp 表面性状測定機における被測定物の相対姿勢調整方法
DE20204832U1 (de) * 2002-03-27 2002-06-13 Hommelwerke GmbH, 78056 Villingen-Schwenningen Einrichtung zur Messung der Grob- und/oder Feinstruktur einer Oberfläche eines Werkstücks
FR2853056B1 (fr) * 2003-03-28 2005-07-15 Snecma Moteurs Dispositif et procede de mesure de profil
US6901677B2 (en) * 2003-05-05 2005-06-07 University Of North Carolina At Charlotte Method and apparatus using a closed loop controlled actuator for surface profilometry
US7036238B2 (en) * 2003-12-22 2006-05-02 Mitutoyo Corporation Width-measuring method and surface texture measuring instrument
JP4570437B2 (ja) * 2004-10-20 2010-10-27 株式会社東京精密 表面粗さ／輪郭形状測定装置

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102102985B (zh) * 2009-12-18 2012-11-21 西安威而信精密仪器有限公司 一种任意三角形传感器及其校验方法
CN102230790A (zh) * 2011-03-29 2011-11-02 上海宏力半导体制造有限公司 硅锗碳薄膜质量检测方法和半导体器件制造方法
CN103776415A (zh) * 2012-10-18 2014-05-07 株式会社三丰 表面粗糙度测量单元和坐标测量设备
CN103776415B (zh) * 2012-10-18 2017-10-24 株式会社三丰 表面粗糙度测量单元和坐标测量设备
CN107743431A (zh) * 2015-04-09 2018-02-27 瑞尼斯豪公司 用于识别扫描路径的性质的探针数据分析
US11163288B2 (en) 2015-04-09 2021-11-02 Renishaw Plc Measurement method and apparatus
CN105883383A (zh) * 2016-03-31 2016-08-24 浙江伊思灵双第弹簧有限公司 汽车制动系统弹簧组件加工系统
CN105883383B (zh) * 2016-03-31 2023-09-05 浙江双第弹簧有限公司 汽车制动系统弹簧组件加工系统
CN105823457A (zh) * 2016-05-31 2016-08-03 天津大学 S形试件几何质量综合检测平台
CN106441890A (zh) * 2016-09-19 2017-02-22 宁波高新区敦和科技有限公司 一种轴承检测装置
CN113280780A (zh) * 2018-02-07 2021-08-20 株式会社东京精密 表面形状测定机
CN111670334B (zh) * 2018-02-07 2021-06-22 株式会社东京精密 表面形状测定机
CN111670334A (zh) * 2018-02-07 2020-09-15 株式会社东京精密 表面形状测定机
CN108318363A (zh) * 2018-02-12 2018-07-24 三峡大学 用于底枢蘑菇头磨损的检测装置及其检测方法
CN108318363B (zh) * 2018-02-12 2023-10-27 三峡大学 用于底枢蘑菇头磨损的检测装置及其检测方法
CN111121710A (zh) * 2019-12-13 2020-05-08 江苏易实精密科技股份有限公司 一种非规则曲面的粗糙度测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20060249675A1 (en) 2006-11-09
EP1715288A1 (en) 2006-10-25
JP2006300823A (ja) 2006-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1851400A (zh) 表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置
CN101436436B (zh) 精密一维旋转及二维倾斜工作台
TWI326746B (zh)
JP3040454B2 (ja) 座標測定装置
CN2909173Y (zh) 影像测量仪
CN102840980A (zh) 滚动直线导轨副综合精度及性能测试装置
CN114543721B (zh) 一种刹车盘尺寸检测装置
CN1200249C (zh) 一种三坐标测量仪
CN209432070U (zh) 一种内孔测量装置
CN1232797C (zh) 一种测量纵向尺寸的测量柱
CN113432698A (zh) 一种用于智能激光测振仪的位置调节机构
CN106124171B (zh) 用于大口径光学元件光学性能检测的三维平台
CN219390856U (zh) 一种光模块产品检测设备
CN105737781B (zh) 细长薄壁类工件专用三维测量设备
CN103292702B (zh) 一种硅棒几何尺寸测量仪
KR100467060B1 (ko) 편평도와 표면거칠기 동시 측정용 장치
JP3988860B2 (ja) 摩擦駆動装置およびこれを用いた測定機
CN2519270Y (zh) 高精度扫描隧道显微镜的镜体
CN1267695C (zh) 用于测量纵向尺寸的测量柱
CN113790693B (zh) 一种具有自动校平功能汽车轴承用水平检测装置
CN113945155B (zh) 一种高精度rv减速器曲轴检测装置
CN215177586U (zh) 一种玻璃曲率和轮廓度检测装置
JPWO2007023605A1 (ja) 表面粗さ／輪郭形状測定装置
CN2264894Y (zh) 便携式形状位置度检查仪
CN215810788U (zh) 一种粗糙度轮廓仪

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication