CN1822101A - 加载/卸载式头悬架及其加工方法 - Google Patents

Abstract

一种可以抑制摩擦系数变化的加载/卸载式头悬架。这种头悬架(1)具有头部(8)和可以沿读/写装置中的斜面部件滑动和导引的调整片(11)，用于将头部从硬盘移向收回位置。调整片设有微观不规则物，用于在沿斜面部件导引调整片时，抑制摩擦系数改变。微观不规则物的中心线平均粗糙度Ra被设定在0.2μm到0.6μm的范围内。

Description

加载/卸载式头悬架及其加工方法

技术领域

本发明涉及一种加载/卸载式头悬架，用于支撑集成在比如个人计算机的信息处理器中的磁盘驱动装置的滑块。

背景技术

硬盘驱动(HDD)装置，比如磁盘驱动装置，采用高速旋转的硬盘。在各旋转硬盘上，固定于头悬架头部的滑块轻微浮动，以通过集成在该滑块中的传感器在硬盘上写入数据以及从硬盘读取数据。带有滑块的头部由头悬架支撑，以使滑块可以自硬盘轻微提升。

在停止盘时，磁盘驱动装置必须从硬盘的记录磁道收回滑块。为此，有两种已知的方法，即，接触开始/停止(CSS)方法以及加载/卸载(LUL)方法。

当硬盘停止时，CSS方法将头悬架的前端移向沿硬盘的内周制备的CSS区域。为了避免滑块被吸引到停止的硬盘表面，硬盘的CSS区域的表面轻微粗糙化。因此，CSS区域不可用作记录区域而降低记录容量。通过降低滑块的飞行高度可以实现记录容量的增加。然而，硬盘的CSS区域的粗糙表面却妨碍了飞行高度的降低。

LUL方法又称为斜面加载方法。由合成树脂制成的斜面部件布置在硬盘的侧部。当硬盘停止时，头悬架移动到收回位置。这时，在头部前端形成的调整片(加载杆、斜面接触片或转角)沿斜面部件的斜面滑动和导引，以使滑块可以从硬盘分离。

即便在盘驱动装置被携带时，盘驱动装置受到冲击或振动，LUL方法也能够防止滑块和硬盘被损坏。LUL方法使硬盘表面最大限度地均匀平滑，从而降低飞行高度，打开硬盘的内周区域以记录数据，并增加记录容量。在计算机使用中，如果不使用硬盘驱动，它就可以安全地停止，以节约电能。

对于LUL方法，头悬架的卸载操作必须平滑地进行。为此，重要因素是在卸载操作中作用在调整片上的卸载力(UL力)“f”的大小。

图24表示在调整片沿斜面部件滑动和导引时作用在调整片上的力。在图24中，调整片101攀爬斜面部件103的斜面105。此时，调整片101接收卸载力f、因向斜面部件103挤压调整片101的负载F引起的垂直反作用力N以及基于调整片101与斜面部件103之间的摩擦系数μ的沿斜面105的摩擦力μN。

如果斜面105具有倾斜角θ，那么负载F与卸载力f之间的比例α就表示如下：

α＝f/F

＝(sinθ+μcosθ)/(cosθ-μsinθ)

这一等式表示卸载力f与倾斜角θ、负载F以及摩擦系数μ相关。

图25为表示摩擦系数、倾斜角及卸载力之间关系的图表。

为了扩展硬盘的记录区域，硬盘必须在硬盘驱动装置的有限空间内使用到其外周。在硬盘驱动装置的有限空间中，滑块必须从硬盘提升，并以最短的移动距离移动到斜面部件的收回位置。为了这一最短距离的卸载操作，增大斜面部件103的倾斜角θ是有好处的。然而，由图25中清楚可见，在倾斜角θ超过约25°时，卸载力f非线性增加。因而，倾斜角θ通常设定在15°至25°的范围中。考虑到在硬盘驱动装置携带期间被施加的冲击，头悬架的凹座负载(dimple load)必须很高。通常，凹座负载的上限为3gf，负载F低于这一值。摩擦系数越小越好。

图26为表示关于各种摩擦系数的卸载力f的计算结果的图表。该计算是以3gf的标准凹座负载、18.5°的倾斜角、2.3gf的负载F以及1.9gf/mm的调整片101的弹簧常数k做出的。

在图26中，各曲线左侧上的向右增加的部分表示调整片101正在攀爬斜面105。在斜面105之后，卸载力f骤降到仅随摩擦系数变化的大小。图26表示卸载力f随摩擦系数变化很大。当摩擦系数从0.1变化到0.3时，卸载力f从1gf到1.5gf增大了1.5倍。这表示，在具有四个头悬架的磁盘驱动装置中，卸载力f从4gf增加到6gf。这样，如果摩擦系数变化，那么头悬架的平滑卸载就会被阻碍。

在加载/卸载式头悬架中，调整片101的摩擦系数必须降低，且另外，摩擦系数的变化必须最小化(例如，参见日本未审查专利申请出版物第Hei-11-96527号)。

发明内容

本发明的目的是提供一种加载/卸载式头悬架，其能够抑制摩擦系数变化，还提供一种加工这一头悬架的方法。

为了实现该目的，本发明的方案提供一种头悬架，其具有设有微观不规则物的被导引部分。该被导引部分沿导引装置滑动并被导引。

与平滑且不具有不规则物的被导引部分相比，该粗糙化的被导引部分使头悬架平滑地加载和卸载。

附图描述

图1为表示根据本发明的第一实施例的头悬架的第一面的透视图；

图2为表示根据第一实施例的头悬架的第二面的透视图；

图3为表示根据第一实施例的头悬架的第一面上的调整片及其边缘的透视图；

图4为表示根据第一实施例的头悬架的第二面上的其调整片及其边缘的透视图；

图5为表示根据第一实施例的其调整片及其边缘的侧视图；

图6为表示根据第一实施例的调整片的剖视图；

图7为部分表示用于形成第一实施例的调整片的压具的剖视图；

图8为表示用于测量头悬架的调整片上的卸载力的检测器的视图；

图9A至9C为表示测试的头悬架调整片的视图，其中图9A表示根据本发明的实施例的进行0-μm精压加工的头悬架的调整片，图9B表示进行15-μm精压加工的调整片，以及图9C表示进行19-μm精压加工的调整片；

图10A和10B为表示相对于卸载速度变化的卸载力变化的图表，其中图10A处于20mm/sec的卸载速度，图10B处于0.4mm/sec的卸载速度；

图11A和11B为表示根据第一实施例具有不同板厚度的头悬架上的温度变化相关的卸载力变化的图表；

图12A和12B为表示具有不同板厚度并进行15-和12-μm精压加工的比较例的头悬架上与温度变化相关的卸载力变化的图表；

图13A为表示根据本发明的第一实施例的进行0-μm精压加工的头悬架上的卸载力的图表；

图13B为表示进行10-μm精压加工的比较例的头悬架上的卸载力的图表；

图14A为表示根据本发明的第一实施例的进行0-μm精压加工的头悬架上的卸载力的图表；

图14B为进行10-μm精压加工的比较例的头悬架上的卸载力的图表；

图15A至15C为表示以根据本发明的实施例的头悬架进行的耐久性测试后的斜面部件的斜面的损耗状态的视图，其中图15A为部分表示斜面部件的斜面的透视图，图15B为部分表示图15A的斜面的放大透视图，以及图15C为表示斜面的损耗状态中的变化的图表；

图16A至16C为表示以20％精压加工处理的比较例的头悬架进行的耐久性测试后的斜面部件的斜面的损耗状态的视图，其中图16A为部分斜面部件的斜面的透视图，以及图16C为表示斜面的损耗状态中的变化的图表；

图17A和17B为表示根据本发明的实施例的耐久性测试前和后的变化的视图，其中图17A表示耐久性测试前后的卸载力的变化，图17B表示耐久性测试后的调整片的表面粗糙度；

图18A和18B为表示根据比较例的耐久性测试前和后的变化的视图，其中图18A表示耐久性测试前和后的卸载力的变化，图18B表示耐久性测试后的调整片的表面粗糙度；

图19A和19B为表示根据本发明的实施例的耐久性测试前和后的变化的视图，其中图19A表示耐久性测试前和后的卸载力的变化，图19B表示耐久性测试后的调整片的表面粗糙度；

图20A和20B为表示根据比较例的耐久性测试前和后的变化的视图，其中图20A表示耐久性测试前和后的卸载力的变化，图20B表示耐久性测试后的调整片的表面粗糙度；

图21A和21B为表示根据比较例的耐久性测试前和后的变化的视图，其中图21A表示耐久性测试前和后的卸载力的变化，图21B表示耐久性测试后的调整片的表面粗糙度；

图22A和22B表示根据本发明的第二实施例的头悬架的加载梁，其中图22A为部分表示加载梁的侧视图，图22B为部分表示加载梁的透视图；

图23为部分表示加工根据本发明的第三实施例的头悬架所用的压具的剖视图；

图24为说明在调整片沿斜面部件滑动和被导引时作用在头悬架的调整片上的力的视图；

图25为表示摩擦系数、倾斜角和卸载力之间的关系的图表；以及

图26为表示以不同摩擦系数计算的卸载力f的图表。

具体实施方式

下面参考附图说明根据本发明的实施例的头悬架。在各实施例中，头悬架被用于在硬盘驱动器中支撑头部，该头部自由电机驱动旋转的盘上写入并读取数据。各实施例都提供了带有被导引部分的头悬架，即沿导引装置被导引的调整片，即斜面部件。为了减小导引装置与被导引部分之间的摩擦系数，各实施例都在被导引部分设有微观不规则物。

[第一实施例]

[头悬架]

图1和2表示根据本发明的第一实施例的加载/卸载式头悬架，其中图1为表示头悬架的第一面的透视图，图2为表示其第二面的透视图。

在图1和2中，头悬架1由精密薄板，比如精密不锈钢薄板制成，并包括加载梁3和固定到加载梁3的弹性弯曲部分5。加载梁3包括弹性部分2.弯曲部分5由比如薄不锈钢板制成。滑块7固定到弯曲部分5，以形成头部8。弯曲部分通过比如激光焊接而固定到加载梁3。基板9连接到加载梁3的基座。经由基板9，加载梁3固定到支架的臂部。

加载梁3可由奥氏体基的不锈钢制成，比如SUS304或SUS305。SUS304的组成为0.08％或以下的C，1％或以下的Si，2％或以下的Mn，0.04％或以下的P，0.03％或以下的S，8-10.5％的S，18-20％的Cr，且其余部分为Fe。

加载梁3的前端设有用作加载/卸载被导引部分的调整片11。调整片11沿头悬架的纵向突出，即加载梁3延伸的纵向方向。当头悬架1相对硬盘被加载或卸载时，即当头悬架1从收回位置移动到硬盘上，或者从硬盘移开到收回位置时，调整片11作为导引装置沿斜面部件被导引和滑动。斜面部件布置在用作读/写装置的磁盘驱动装置中的硬盘的侧面处。当硬盘停止时，调整片11沿斜面部件滑动和被导引，从而头悬架1的头部8可以提升并移动到硬盘侧面处的收回位置。斜面部件由合成树脂形成，比如纤维增强塑料(FRP)。

[调整片细节]

图3至6表示调整片11及其边缘，其中图3为表示第一面的透视图，图4为表示第二面的透视图，图5为侧视图，图6为剖视图。

在图3至6中，加载/卸载调整片11具有独木舟形。调整片11从形成在加载梁3的前端处的台阶13沿加载梁3的纵向(箭头X)延伸。调整片11在第一面侧上具有凹面15，在第二面侧上具有凸面17。调整片11沿加载梁3的纵向伸长。在图6中，调整片11具有弓形横截面。至少调整片11的外表面，即与斜面部件接触的调整片11的凸面17设有微观不规则物19。

微观不规则物19用于减小调整片11相对斜面部件的摩擦系数，并限制摩擦系数的变化。根据第一实施例，微观不规则物19形成在形成调整片11的基座材料的表面中。调整片11的基座材料为形成加载梁3的金属板。

微观不规则物19的中心线平均粗糙度“Ra”大于0.2μm并等于或小于0.6μm。

[加载梁调整片的加工方法]

图7为部分表示用于形成调整片11的压具的剖视图。在图7中，压具21具有上模23和下模25。上模23具有冲头27，下模25具有释放长孔29。长孔29沿图7的正交方向伸长。冲头27的宽度窄于调整片11的宽度，长孔29的宽度基本等于调整片11的宽度。下模25的长孔29为调整片11上形成微观不规则物19的那部分提供了逸出空间。

压具21模压加载梁3的金属基座材料31，而在调整片11上形成微观不规则物19。微观不规则物19的尺寸依赖于材料31的晶粒直径。不规则物19的表面粗糙度“Ra”在0.2μm至0.6μm范围中。

在模压操作前，金属基座材料31修整为加载梁3的形状。

基座材料31放置在下模25上，上模23向下模25模压，而将加载梁3形成为预定形状。此时，冲头27将基座材料31推到长孔29中，以形成相应于调整片11的弯曲部分33。这样就完成了图6中所示的调整片11。

调整片11的凸面17不从下模25接收任何压力，因此，因模压操作而暴露于基座材料处的微观不规则物保持其原状。所以，调整片11具有其尺寸随基座材料31的晶粒直径变化的微观不规则物19。

[卸载力的变化比较]

(检测器)

图8为粗略表示用于测量卸载力f的检测器的一般视图。检测器包括固定有待测头悬架1的臂部35，用于通过测压元件向臂部35施加旋转力的驱动单元36，以及导引头悬架1的斜面部件37。头悬架1沿斜面部件37滑动。

驱动单元36转动臂部35，头悬架1滑动并攀爬斜面部件37的斜面。此时，测压元件检测卸载力。

(测试头悬架)

图9A至9C表示由检测器进行测试的头悬架的调整片。图9A表示根据本发明的第一实施例的不进行精压加工，即0-μm精压加工的头悬架1的调整片11。图9B表示由15-μm精压加工处理的比较例的调整片，图9C表示由19-μm精压加工处理的比较例的调整片。在图9A中，调整片11具有0.2μm至0.6μm的表面粗糙度“Ra”的微观不规则物。图9B和9C的调整片各具有0.01μm至0.2μm的表面粗糙度Ra。图9C的调整片的表面粗糙度小于图9B的调整片的表面粗糙度。另外，还测试了5-、10-和12μm精压加工处理的比较例的调整片。10-μm或以上精压加工处理的调整片各具有0.01μm至0.2μm的表面粗糙度Ra。

图10至14为表示在这些调整片上进行的测试结果的图表。

(以不同卸载速度进行的测试)

图10A和10B为表示根据卸载速度变化的卸载力“f”变化的图表，其中图10A表示以20mm/sec的卸载速度进行的测试结果，图10B表示以0.4mm/sec的卸载速度进行的测试结果。测试的各头悬架都具有76μm的加载梁厚度“t”。

在图10A和10B中，横坐标表示调整片沿斜面部件滑动的距离(斜面位置(mm))，纵坐标表示卸载力f(gf)。在图10A中，图表左边的向右增加的曲线表示各调整片正在攀爬斜面部件。当调整片完全攀上斜面部件的斜面并移动到斜面部件的水平部分(收回位置)时，卸载力f向右骤降。此后，卸载力随摩擦系数变化。

由图10A和10B可以验证，在任意卸载速度下，设有微观不规则物19的本发明的调整片11表现出比不具有精压加工造成的不规则物的头悬架小的摩擦系数。

在图10A中，经10-、15-和19-μm精压加工处理以具有0.01μm至0.2μm的表面粗糙度Ra的调整片与不进行精压加工，即0-μm精压加工的本发明的调整片比较，表现出增加的卸载力f。例如，在刚好斜面部件的斜面后面的位置处，本发明的头悬架1表现出1.2gf或以下的卸载力f，同时各比较例表现出约1.6gf的增加的卸载力f。本发明与比较例之间的卸载力的差值为约0.4gf。在图10B中可以看到类似倾向。

(以不同温度的测试)

图11A、11B、12A和12B为表示相对温度变化的卸载力f变化的图表，其中图11A和11B表示根据本发明的头悬架1的测试结果，图12A和12B表示以15-和12-μm精压加工处理的比较例的头悬架的测试结果。

图11A和12A中所示的测试结果的头悬架的加载梁具有76μm的板厚，图11B和12B的那些都各具有51μm的板厚。即，图11B和12B的头悬架的结构相互等同，并区别于图11A和12A的那些结构。卸载速度为0.4mm/sec。图11A至12B的各图表的横坐标和纵坐标与图10A和10B的那些相同。图11A至12B中可见的斜面部件的斜面上以及斜面部件的水平部分处的卸载力的变化基本符合图10A和10B的那些变化。

在图11A至12B中，测试以-1℃和+20℃进行。在图11A至12B的各图表中，一个曲线涉及以-1℃的测试，另一个涉及+20℃的测试。测试中的这些温度通过向斜面部件吹送该温度的空气而实现。

一般地，塑料随温度的下降而增加摩擦力。图11A至12B中所示的测试结果表示，与温度变化无关，对比比较例，本发明的头悬架1表现出卸载力几乎没有变化。

如图11A和11B中明显所示，本发明的头悬架1表现出具有不同板厚的各结构中的两个温度之间基本没有差别。另一方面，图12A和12B的比较例表现出具有不同板厚的各结构中的两个温度之间的卸载力的约0.1至0.2gf的差别。

(不同材料的斜面部件的测试)

图13A至14B表示关于由不同材料制成的斜面部件的卸载力f的变化，其中图13A和14A涉及不进行精压加工的本发明的头悬架1，图13B和14B涉及进行20％(10μm)精压加工处理的比较例的头悬架。图13A和13B采用相同材料的斜面部件，图14A和14B采用由不同于图13A和13B的材料制成的斜面部件。斜面部件的材料为不同种类的聚缩醛基材料。

图13A至14B中所示的各图表表示以相同斜面部件进行的两个测试#1和#2。

在图13A至14B的各测试中，头悬架具有与具有51μm厚度的加载梁相同结构。卸载速度为15mm/sec。图13A至14B中的各图表的横坐标和纵坐标与图10A和10B的那些相同。图13A至14B的测试以不同于图10A和10B测试所用的硬盘驱动装置进行。

图13A至14B的测试结果表示，与斜面部件材料无关，本发明的头悬架1表现出卸载力f几乎没有变化。

如在图13A和14A中明显所示，与斜面部件的材料无关，本发明的头悬架1表现出在卸载力f中基本没有变化。另一方面，图13B和14B的图表表示比较例随斜面部件材料的变化而增加摩擦和卸载力f。

以20％(10μm)精压加工处理的比较例表现出摩擦的增加，而不进行精压加工，即0-μm精压加工的本发明则表现出摩擦基本没有增加。可以理解为精压加工放大了与斜面部件材料相关的摩擦差异。

(耐久性测试后的损耗)

图15A至16C表示耐久性测试后斜面部件的斜面的损耗状态，其中图15A和16A为部分表示斜面的透视图，图15B和16B为部分表示斜面的放大透视图，图15C和16C为表示损耗变化的图表。图15A至15C涉及本发明的头悬架1，图16A至16C涉及以20％精压加工处理的比较例的头悬架。在图15C和16C中，横坐标表示斜面部件的斜面上的移动距离(mm)，纵坐标表示斜面的表面处的高度(μm)。各耐久性测试都涉及700000次的加载/卸载操作。

如图15A至16C中明显所示，在耐久性测试后，本发明的头悬架1没有表现出斜面部件37的斜面39上的显著损耗。另一方面，比较例表现出斜面39上的很大损耗。即，比较例的斜面39的表面受到破坏。

(耐久性测试后卸载力的变化)

图17A到21B为卸载力和表面粗糙度在耐久性测试前后的变化。17A到21A为卸载力在耐久性测试前后的变化，17B到21B为在耐久性测试后，各调整片的表面粗糙度Ra的变化。

图17A，17B，19A和19B涉及本发明的头悬架，图18A，18B，20A，20B，21A和21B涉及被抛光处理过的比较例的头悬架。各耐久性测试都包括700,000次的加载/卸载操作。

在图17A到18B的测试中使用的各头悬架都有一个厚度76μm的加载梁，在图19A到20B的测试中使用的各头悬架都有一个厚度38μm的加载梁，在图21A到21B的测试中使用的各头悬架都有一个厚度30μm的加载梁。每次测试的卸载速度为15mm/sec。

图17A为代表二组测试数据结果的四条曲线，每组都包含耐久性测试前后的数据。测试均采用相同材料的斜面部件。图18A到21A每个各表示在耐久性测试前后的一组测试数据结果。

在图17A到21A中，横坐标和纵坐标与图10A和10B中的相同。在图17A到21A中，斜面部件的倾斜和水平部分的卸载力变化与在图10A和10B中类似。

如图17A中的曲线图所示，与斜面部件的材料无关，本发明的头悬架1的卸载力f在耐久性测试前后本质上没有表现出变化。另一方面，图18A中曲线图的比较例表明了卸载力f在耐久性测试后增大很多。在图17B中，本发明的头悬架1的调整片在耐久性测试后维持表面粗糙度Ra为0.216。另一方面，在图18B中调整片的比较例表明在耐久性测试后表面粗糙度Ra为0.134。

在图19A中，本发明的头悬架1的卸载力f在耐久性测试前后本质上没有表现出变化。另一方面，图20A中的比较例表明了卸载力f在耐久性测试后增大很多。在图19B中，本发明的头悬架1的调整片在耐久性测试后维持表面粗糙度Ra为0.228。另一方面，在图20B中调整片的比较例表明在耐久性测试后表面粗糙度Ra＝0.148。

图21A中的比较例也表明了卸载力f在耐久性测试后增大很多。在图21B中的比较例表示在耐久性测试后，表面粗糙度Ra为0.155。

用这种方法，本发明中设有微观不规则物的调整片11的头悬架1明显优于任何其它采用精压和抛光加工去除不规则物的调整片。也就是，本发明的头悬架的优越之处在于它可以降低调整片相对斜面部件的摩擦系数和抑制摩擦系数的变化。

从而，本发明的头悬架1可以抑制卸载力f，降低斜面部件的磨损和平滑地卸载头悬架而不用考虑斜面部件的材料、斜面部件的环境温度和卸载速度。

[第二实施例]

图22A和22B为根据本发明第二实施例的头悬架加载梁，图22A是一个侧视图，部分地表示了加载梁，图22B是透视图，部分地表示了加载梁。

第二实施例的加载梁3A有一个台阶13A，调整片11A自此伸出。调整片11A有一个具有微观不规则物19A的球形突出面17A，不规则物19A的表面粗糙度Ra被设定在0.2μm到0.6μm的范围内。

具有微观不规则物19A的第二实施例提供了和第一实施例相同的效果和作用。

[第三实施例]

图23是一个剖视图，部分地表示了根据本发明的第三实施例用压具加工头悬架。图23中，压具21B有一个上模23B和下模25B。上模23B有一个冲头27B。下模25B有微观不规则物41用以形成头悬架调整片11B的不规则物19B。不规则物41被调整到实现调整片11B的粗糙度Ra在0.2μm到0.6μm。

压具21B形成加载梁以便加载梁的调整片11B可以有一个具有微观不规则物19B的突出表面17B。

相应的，第三实施例本质上实现了同第一实施例相同的效果和作用。根据第三实施例，下模25B的不规则物41的粗糙度被调整到为正确的设定调整片11B的不规则物19B所须的粗糙度。

调整片的微观不规则物可以用电解抛光或激光形成。

[第四实施例]

本发明的第四实施例采用如图23所示的金属模具。但根据第四实施例，下模25B不设有不规则物。当模压加载梁的调整片11B时，从下模与调整片接触的状态到(5/76×100％)分离状态，执行精压加工，直至由此形成表面粗糙度在0.2μm到0.6μm的不规则物。

第四实施例本质上实现了同第一实施例相同的效果和作用。

本发明的任何实施例的调整片上的微观不规则物可以通过采用呈现在调整片材料表面的压印(具有由晶粒直径决定的表面粗糙度)来形成。

Claims (8)

1.一种加载/卸载式头悬架，具有头部和沿读/写装置中的导引装置滑动和导引的被导引部分，用于将头部从读/写介质移向收回位置，包括：

形成在被导引部分上的不规则物，用于在沿导引装置滑动和导引被导引部分时，与导引装置接触。

2.如权利要求1所述的加载/卸载式头悬架，其中：

不规则物是形成被导引部分的材料的表面。

3.如权利要求1所述的加载/卸载式头悬架，其中：

不规则物的中心线平均粗糙度Ra大于0.2μm且小于等于0.6μm。

4.如权利要求2所述的加载/卸载式头悬架，其中：

不规则物的中心线平均粗糙度Ra大于0.2μm且小于等于0.6μm。

5.一种权利要求2所述的加载/卸载式头悬架的加工方法，包括：

用带有开放空间的模具模压被导引部分来释放一个被导引部分的区域，在该区域形成不规则物。

6.一种权利要求1所述的加载/卸载式头悬架的加工方法，包括：

用带有不规则物的模具模压被导引部分来形成被导引部分的不规则物。

7.一种权利要求3所述的加载/卸载式头悬架的加工方法，包括：

用带有不规则物的模具模压被导引部分来形成被导引部分的不规则物。

8.一种权利要求4所述的加载/卸载式头悬架的加工方法，包括：

用带有不规则物的模具模压被导引部分来形成被导引部分的不规则物。

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