CN1815204A - 利用多物镜的自动光学检测 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种利用每一照相机都具有的多物镜图像扫描模块的自动光学检测(AOI)装置及技术。一扫描机构包括多种光学组件，以依次从每一多物镜引导光学信号至相应的照相机。

Description

利用多物镜的自动光学检测
技术领域
本发明涉及一种检测目标物的技术，特别是每一照相机利用多物镜的自动光学检测技术及系统。
背景技术
自动光学检测(AOI)系统用于检测多种物品，如半导体晶片和印刷电路板(PCBs)等的缺陷。这种系统通常利用一个或多个影像捕获或者“显微镜”模块来获取可覆盖被检测物品整个表面的图像。这些图像接着被送入某一型号的计算机中用多种算法方案进行处理，以确认物品的缺陷。通常，每个图像扫描模块包括一个光源以照亮被检物品部分，某些类型的前透镜组件(被称为物镜)可将光线导回一个图像获取装置，比如电荷耦合器(charge-coupled Device；CCD)。常见的一种AOI系统是利用一扫描方法，通过将被检测物品被分割成(例如：水平的)条形，同时一单独的影像扫描模块来回移动，以收集每次的连续的条形。在某些应用中这些方式可以适当运作，例如，被检测的表面相对较小且整个处理量的要求相对较低。然而，对于需要更大处理量的应用(如网络检测)时，可能会有较大的表面积需要检测(例如，几英尺的水平尺寸)，因此一个扫描方法可能会花费相当多的时间。
这种更高的处理量的应用，通常需要多个图像扫描模块，每个模块有一个照相机和物镜，允许多图像平行处理。通常，需要的图像扫描模块的数量取决于系统的要求，以及单个的图像扫描模块的性能。例如，需要的图像扫描模块的数量通常与整个表面积和要求的系统处理量成正比，与视野(field of view；FOV)和照相机的像素成反比。像素越高的相机越昂贵，经常是所用物镜的许多倍。因此，系统运用多图像扫描模块可以比只运用单个模块获得更高的处理量。
因此，具有高性能低成本的自动光学检测技术及系统是必须的。
发明内容
本发明提供一种每一照相机利用多物镜的自动光学检测方法及系统。
本发明的一种实施方式提供一自动光学检测系统，该系统通常包括至少一照相机和至少一图像扫描模块，该图像扫描模块通常包括多个物镜模块，这些物镜模块具有在扫描过程中可覆盖物品一部分的视野，以及一可移动的图像选择镜机构，以依次从每一物镜模块的视野(FOV)传送图像至该照相机。
本发明的另一实施方式提供一种检测物品的自动光学检测系统，该系统通常包括至少一照相机和至少一图像扫描模块。该图像扫描模块通常包括多个物镜模块，这些物镜模块具有在扫描过程中可覆盖物品一部分的视野，以及一可移动的图像选择镜机构，以依次从该物镜模块的视野传送图像至该照相机。在一些实施方式中，每一图像扫描模块的物镜模块是以弧形或圆形排列，物镜模块与一光源之间的距离是确定不变的。物镜模块以弧形排列时允许每一物镜模块使用一个单独的视镜机构。图像扫描模块的放置应该相互关联以保证物镜模块的视野部分交迭并可覆盖整个被检测物品。
本发明的另一实施方式提供一种包括至少一图像扫描模块的光学检测物品的方法。该图像扫描模块通常包括一照相机，一扫描机构，一光源及多个物镜模块。该方法通常包括依次将多物镜模块的视野(FOVs)中的物品的部分图像传送至照相机。该扫描机构依次从光源将光导入单个物镜中，并将来自该物镜模块的图像导入被该物镜模块分享的相应的照相机中。被照相机抓取的图像被处理以检测该物品中的缺陷。
附图说明
为更详细说明本发明的上述特征，在此通过参考实施例和附图进行进一步的说明。其中部分实施例以附图进行说明。然而，应注意的是，附图仅表示本发明的典型实施例，因此不应认为是对本发明范围的限制，因为本发明也可允许其它等效实施例。
图1为根据本发明实施方式的自动光学检测(AOI)系统100的示例图。
图2a至图2d为根据本发明实施方式的图像扫描模块的多种结构示例图。
图3a至图3d为根据本发明实施方式的光源和图像抓取路径的示例图。
图4为根据本发明实施方式的孔径光阑和光圈的示例图。
图5a至图5e为根据本发明的多种实施方式的物镜布局示例图。
图6为根据本发明实施方式的检测一个物品的操作示例图。
附图标记说明
100自动光学检测系统            110图像扫描模块
120传送系统                    130被检测物品
132分区                        134纵栏
140屏幕                        150控制器
112弧形                        202物镜模块
211物镜透镜                    213视镜
204光学头                      205圆管透镜
206照相机                      216成像平面
207分光器                      208图像选择镜
209光源                        250孔径光阑
252光圈
具体实施方式
本发明提供了每一照相机利用多物镜图像扫描模块的自动光学检测装置及技术。一扫描机构包括多个光学组件，用以依次驱动来自相应照相机的每一物镜的光学信号。通过定格视像的单个扫描场，与扫描系统比较，移动被检测物品的平移系统的移动精确性需求大大减少，例如“飞点”激光扫描系统或基于连续光源和线性成像装置的系统，例如电荷耦合器(CCDs)或需要精确移动控制的时间延迟积分(TDI)CCDs。
检测系统示例
图1为根据本发明实施方式的自动光学检测(AOI)系统100的示例。该自动光学检测系统100利用多个图像扫描模块110检测被检测物品130的表面的缺陷。如图1所示，在多个图像扫描模块110之下，被检测物品130在传送系统120上运动。多种其它类型的机构也可用来移动被检测物品130，例如可移动传送级。在一些实施方式中，当图像扫描模块110运动的时候，被检测物品130可能是固定的。
自动光学检测系统100的多种控制功能，例如传送系统120的控制，可能通过控制器150执行，例如具有视频采集卡的计算机或可程式逻辑控制器(PLCs)。在一些实施方式中，经由一个用户接口，例如一个屏幕140(或一个传统的键盘/鼠标和显示器)，一个处理器可能控制自动光学检测系统100的多个方面(比如，传送速度，检测参数等)。在一些实施方式中，控制器150可以在屏幕140显示检测效果或报告手动检测(例如，通过处理器)的一个或多个图像。
控制器150也可能控制图像扫描模块110以使图像捕获和被检测物品130的运动同步。通常，图像扫描模块110的视野的扫描场集合应该包括整个被检测物品130的图像。为了解决可能的被检测物品130的不精确移动和物镜模块相应位置的精确度问题，每个物镜模块和图像扫描模块110可能排列为至少部分交迭。
自动光学检测系统100可能包括一个传感器(图未示)或其它方式，例如可测标记，以探测被检测物品130相对于图像扫描模块110的位置，允许视镜位置和物品位置的影像捕获之间有粗糙同步。增加传输运动的影像捕获的同步精确性可以减少模块间的交迭数量，提高系统效率。
图2a为图像扫描模块110示例图，每一图像扫描模块110可能包括两个由物镜模块202组成的弧形112，物镜模块202分布在光学头204(包括一照相机206)周围。在一些实施方式中，每一图像扫描模块110可能利用多光学头组合204。例如，为了增加图像捕获处理量，分离的光学头组合204可能用于每一弧形112。
图2b表示单独的图像扫描模块110的细节，光学头204通常包括照相机206，圆管透镜205，分光器207和光源209。光学头204可能还包括一图像选择镜208，用于当被检测物品130在图像扫描模块110下运动时依次照亮及把图像从每一物镜模块202传送至照相机206。在一些实施方式中，某些类型的光传导系统被用于光路径中，例如，将被检测物品130的一帧图像从图像选择镜208传导至照相机206。
如某些实施方式的俯视图图2c所示，被测物品130可能被分成邻接(例如垂直)的分区132，一对图像扫描模块110A和110B用于捕获相应分区132的图像部分。也就是说，每一对图像扫描模块可能覆盖不同的分区132。图像选择镜208旋转以依次从每一物镜模块202抓取分区132的不同的视野图像部分。
如图2d所示为单个物镜模块202的侧视图，每一物镜模块202包括一物镜透镜211和一视镜213，该视镜213用于从物镜透镜211转移光路径至图像选择镜208。在一些实施方式中，“周视扫描(periscopic scanning)”技术被运用(如图3a-3d所示)，运用在物镜上放置一45度倾斜的视镜，光路径可以折迭90度。图像选择镜208可能也被设置成与光轴成45度，与旋转轴成45度，因此，光轴与旋转轴平行。这种配置可能会阻止从被检测物品130到照相机206的视野的旋转。
而且，在一些实施方式中，物镜透镜211可能无限变化(即，物镜透镜211可以放置在离被检测物品130距离为焦距f的地方)，这样，来自被检测物品130的光线在穿过物镜透镜211后可以相互平行的传播，而不会分叉。物镜透镜211和圆管透镜205之间有一个相应的距离，与物镜透镜211一起，在照相机206上产生视野的图像。
如果反射光源被利用(例如，如果被检测物品130是反射性的)，通过从光源209引入光线至FOV224，图像选择镜208也可用来为每一物镜202照亮视野(FOV)224。通过对准物镜模块202在弧形112上，可以保持每一物镜202和光源209之间的距离。通过维持这一距离，来自光源的光到达每一物镜202的光圈(满足科勒光源的条件)将可以为每一物镜模块202的物镜FOV提供统一的光源。
在一些实施方式中，光源209可以是一个脉冲源，比如闪光灯，脉冲LED，或激光。在另外的一些实施方式中，光源209可能是连续光源比如弧光灯，白炽灯，连续LED阵列，或连续激光。如果图像选择镜208连续扫描一个光脉冲，可以定格画面。消除或减少被检测物品或系统的微小震动可以帮助定格画面。如果运用连续光源，照相机206的电子或机械快门可以用来定格画面。如果图像选择镜208在每一FOV扫描和停留，照相机206的聚光可以达到图像选择镜208停留的时候，和聚集一个需要的适合的光束。
在一些实施方式中，用不同的光源和成像配置，每一FOV可获得多个图像。用连续的图像选择镜208和短脉冲光，或具有长曝光的扫描和停留时间连续，也可获得多个图像。多光源的各种组合，成像波长，明视野和暗视野，反射和传输水平，极化状态，聚焦平面，相差对比，衍射干涉对比(Diffractive Interference Contrast，DIC)等可能用来获得更大的对比度和提升缺陷的检举。这样的显微镜光源和成像参数可以变化以提高缺陷和背景的对比度。
如图3a至图3d所示，图像选择镜208可以调节(例如旋转)以依次从物镜模块202传送图像到照相机206的成像平面216。图3a至图3d表示光源和两个物镜模块2021及2022的光源和聚光路径。
如图3a所示，图像选择镜208可以旋转至与第一物镜2021相对的位置。在该位置，图像选择镜208可以从光源209导入光线至第一物镜2021，经由分光器207，照亮下面的被检测物品130的视野204。如图3b所示，从被照亮FOV224反射来的光线被导回物镜2021，经由分光器207，到达照相机206的成像平面216。如图3c和图3d所示，图像选择镜208可以旋转至与第一物镜2022相对的位置，照亮和抓取另一个FOV224的图像。往回参考图2b，如果被检测物品130是镜面反射的，对应每一物镜202，孔径光阑250有一个光圈252。
如图4所示，孔径光阑250置于离物镜透镜211的基本平面一倍焦距(f)的距离(例如，从孔径光栏250到视镜213的距离L1与从视镜213到物镜透镜211的距离L2的总和等于焦距f)，使光线在一远心路径上。这样可保证光线可以反射回光圈252并进入照相机206，而不会被阻挡。
一些不同的光学组件(透镜，视镜，光传导)可能用于从多物镜模块202转移光路径至单个相机206。多种校正机构，如空间滤波器，自动聚焦机构也可能被利用。在一些实施方式中，棱镜可能用来代替视镜转移光路径。然而，基于棱镜的系统可能在视野的边缘更容易发生波长的散射和失真。因此，基于棱镜的系统应该包括补偿这些散射和失真的光学组件。
在不同的实施例中，这些光学组件的光学属性可以变化，例如，为了满足特殊要求(例如，得到要求的分辨率和处理量)。然而，在实施方式中，物镜透镜211有一个尺寸在3mm×3mm到8mm×8mm的矩形视野，NA的范围在0.03至0.06，焦距在70至125mm，放大倍率为1至2倍。照相机206的可以在600×400至2000×2000像素之间，每一像素大小在7至15微米之间。光源207可以产生在可视波长范围内的宽带光源，且可以被控制用来保证被检测光(通过被检测物品130反射或传输)布满照相机206，该照相机206可能使用任何合适的图像感应装置，比如CCD照相机或CMOS传感器。当用多个波段时，图像扫描模块110有一个范围在5至50秒的图像采集时间(从每一物镜获得一个画面需要的时间)。改变上述的参数值可以获得更大的分辨率，例如，增加透镜的NA值，减小视野，或增加相机的像素尺寸。而且，在一些实施方式中，为了改善处理量，在每一图像扫描模块中，可能利用多个照相机。
物镜布局示例
为了保证被检测物品130可以完全被检测，物镜模块202的数量，最小应该是被检测物品130的整个宽度(W1)除以每一物镜模块202的单个FOV204个数，减去FOV交迭的部分。如图2b所示，物镜模块202被排列在弧形112上。弧形112在垂直于被检测物品130运动方向的方向上相对于对方转移一个FOV宽度减去交迭的距离，以保证在各个FOV之间没有没被覆盖的区域。弧形112的数量选择建立在多种考虑上，例如每一弧形112上物镜模块202的间隔，在系统根据处理量给的时间内图像选择镜208能停留的次数(每次定位一物镜透镜的停留时间牵涉加速度和减速度)，或其它的考虑。如图2a所示，多个图像扫描模块排列以覆盖整个被检测物品130的宽度，一对图像扫描模块110覆盖相应的分区132。
图5a表示了此种图像扫描模块110排列方式的顶部视图，适合检查被检测物品130的分区132(宽度为Wp)。如上所述，为了用单个物镜202的FOV的覆盖区224来盖住整个被检测物品130的宽度，多个图像扫描模块110A和110B沿被检测物品130的运动方向连续放置并相对对方偏移。
被检查的分区132概念上被分成邻接的纵栏134，任意四个邻接的纵栏(例如，1341-1344)可以被不同弧形112上物镜202的视野224覆盖。例如，图像扫描模块110A的弧形1121和1122上的物镜模块2021和2022的视野覆盖纵栏1341和1342。同样，图像扫描模块110B的弧形1123和1124上的物镜2023和2024的视野覆盖纵栏1343和1344。其余的每个弧形112的物镜模块202以相同的方式覆盖分区132整个宽度Wp上的每个纵栏。
如图2a所示，任何其它适合数量的图像扫描模块110对可以水平的排列在垂直于被检测物品130的运动方向上。图5a只展示一种排列方式，其它类型的物镜模块202的排列也可以覆盖整个被检测物品130的宽度。
图5b表示了物镜模块202的另一种排列方式。弧形112被排列成具有相同半径R的部分交迭的圆环，圆心C1和C2相对对方偏移。如图5a所示，邻接的纵栏(例如，1341至1344)可以被不同弧形1123至1124上的物镜模块202覆盖。每个物镜模块组成的圆环设有一个光学头，一个照相机和一个围绕各自的中心旋转的图像选择镜，这样的设置可保证一个光学头不会阻挡另一个光学头的光线。
图5c表示了物镜模块202的另一种排列方式。多个弧形112是排列成同心圆(有一个共同的圆心C)和不同的半径R1和R2。如同图5a和图5b所示，邻接的纵栏1341至1344可以被不同弧形1123至1124上的物镜模块202覆盖。形成外部同心圆的物镜模块2021和2022覆盖分区1321和1322，同时，形成内部同心圆的物镜模块2023和2024覆盖分区1323和1324。上述的排列方式，需要有相应的设置保证一个光学头不会阻挡另一个光学头的光线，同时包括从一个光学头到不同成像平面的折迭光路径，利用空心(或透明的)图像选择镜等。
在一些实施方式中，物镜的排列可能包括排列在部分交迭的弧形上的物镜模块，每一弧形的半径以及物镜的视镜与前透镜间的距离相应的变化以维持连续的光路径长度。维持连续的光路径长度允许用于多弧形的相同设计。如图5d所示，物镜模块2021-5排列在五个半径分别为R1-R5的交迭的弧形1121-5上。如图5e所示，每一物镜模块2021-5的物镜的视镜213与物镜透镜211间的距离L1-5是变化的，以维持每一弧形中的从图像选择镜208到物镜透镜211间的连续光路径(例如，L1+R1＝L2+R2＝L3+R3＝L4+R4＝L5+R5)。
弧形112上的物镜模块202用统一的光源以保持从光源到物镜透镜间的距离不变。物镜模块202可能排列为其它的方式，如物镜模块202之间相互偏移形成线性排列，提供被测物品的被检查区域的至少部分交迭区域。
上述的物镜排列方式，物镜透镜211与照相机206和光源209间的距离相比用于相似目的的传统显微镜相对较大。该距离随着每一相机扫描的物镜数量增加。如前所述，为了到达这样的长距离，物镜透镜211不断变化以使通过的光线是平行光，或者在光路径上放置其它的透镜。在一些实施方式中，该距离实际上是限定的，因此物镜的数量和光路径长度可能参考光线的范围(外场点光束的角偏向)，其可能被图像选择镜的实际尺寸限制。
图6表示在一个图像扫描模块110中依次扫描每一物镜模块202(例如，在一个或多个弧形中)的操作600的示例。如前所述，该扫描机构可以使不同排的物镜模块202同时被扫描。因此相似的操作600可以同时(并行)处理。
该操作600开始于602，重设扫描机构，一图像扫描模块110指向一相应照相机的第一物镜的视野。例如，请参阅图2b，图像选择镜将光轴转向最左的物镜模块202以照亮相应的视野并传送画面。步骤604中，第一物镜的视野被照亮，在步骤606中，图像由照相机抓取。
步骤608中，循环操作610-614在每个剩余的物镜模块中执行。在步骤610中，扫描机构被调节为指向下一物镜的视野。在步骤612中，照亮视野，在步骤614中，抓取图像。一旦操作610至614在每一剩余的物镜中执行完，操作返回步骤602，重置扫描机构至第一物镜的视野，准备重新扫描该排，以抓取在物镜间运动的被检测物品130的图像。为了保证物品的整个部分都被扫描，操作循环可能与物品传送机构同时执行。也就是说，图像选择镜和传达机构被控制以便该等操作在物品运动一个FOV减去即定FOV间交迭的长度的时间内同时执行。交迭的大小可能由被检物品的运动容许量决定。
在一些实施方式中，为检测缺陷，不同排的图像可能被拼接成一个更大更完整的物品图像。然而，在另一些实施例中，当缺陷的尺寸在一单个视野可以完整的获得，从每一物镜获得的单个FOV图像对缺陷检测是足够的。
在任何实施方式中，多种图像处理技术被用于基于图像抓取的缺陷检测。例如，抓取的图像与已知的好的图像(例如，储存在数据库中的)对比，与从完好的物品获得的图像对比，或与“统计”的没有缺陷影响的图像对比，或者与物品中相同设计的样品比较(例如，“晶粒到晶粒”或“点到点”的比较)。
结论
相比传统的每一显微镜用一光源和一照相机的多显微镜系统，本发明通过减少照相机和光源的数量，提供一种高处理量，成本适度的光学检测。而且，相对于扫描系统(例如，“飞点激光扫描系统”)，通过定格单个视野图像，对传送系统(例如，运送装置)运动精确性要求可能大大减小。传送物品中的误差也可以被视野的至少部分交迭所补偿。
虽然以上所述为本发明的较佳实施例，然而本发明其它及进一步的实施例均可在不背离本发明的基本精神之下进行变化，而且其范围应由权利要求所决定。

Claims (28)

1.一种自动光学检测系统，其至少包括：
至少一照相机；以及
至少一图像扫描模块，其包括多个物镜模块，所述物镜模块是经排列而具有在扫描过程中可覆盖物品一部分的视野，以及一可移动的图像选择镜机构，以依次从所述物镜模块的视野选择和传送图像至所述至少一照相机。
2.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述物镜模块包括一物镜透镜和一视镜，用以从所述物镜透镜传送图像至所述图像选择镜机构。
3.如权利要求2所述的自动光学检测系统，其特征在于，图像扫瞄模块中所述多个物镜模块为线性排列。
4.如权利要求2所述的自动光学检测系统，其特征在于，图像扫瞄模块中所述多个物镜模块是以一弧形排列。
5.如权利要求4所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述物镜模块是以至少一绕图像选择镜机构为圆心的弧形排列。
6.如权利要求5所述的自动光学检测系统，其特征在于，
所述系统更包括至少一光源；且
所述物品的视野部是经由所述图像选择镜机构将光从光源引导通过物镜模块至所述视野部的方式照亮。
7.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其进一步包括一物品传送机构，以使物品相对于图像扫描模块移动。
8.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述图像扫描模块在检测期间可相对于物品移动。
9.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其进一步包括一可感应物品与图像扫描模块之间相对运动的机构，以决定物品相对于图像扫描模块的位置。
10.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其进一步包括至少一光源。
11.如权利要求10所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述光源包括一脉冲发光二级管(LED)。
12.如权利要求10所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述光源包括一闪光灯。
13.如权利要求10所述的自动光学检测系统，其对于每一照相机包括至少一光源。
14.一种检测一物品的自动光学检测系统，其至少包括：
至少一照相机；以及
至少一图像扫描模块，其包括多个物镜模块，所述物镜模块具有在扫描过程中可覆盖物品一部分的视野，和一可移动的图像选择镜机构，以依次从所述物镜模块的视野选择和传送图像至所述至少一照相机，其中所述多个物镜模块是以至少一以图像选择镜机构为圆心的弧形排列。
15.如权利要求14所述的自动光学检测系统，其特征在于，
所述多个物镜模块是以至少两个以图像选择镜机构为圆心的弧形排列，且
一第一弧形上的物镜模块的视野与一第二弧形上的物镜模块的视野至少部分交迭。
16.如权利要求15所述的自动光学检测系统，其至少包括：
多个照相机；以及
相应个数的图像扫描模块，其中多个图像扫描模块的所有(collective)物镜模块是经排列以使被检测的物品的整个宽度被所有物镜模块的整个视野覆盖。
17.如权利要求14所述的自动光学检测系统，其特征在于，至少一图像扫描模块进一步包括，一置于图像选择镜机构和多个物镜模块之间的光阑机构(stop mechanism)，其中所述光阑机构具有多个对应所述多个透镜模块的光圈。
18.如权利要求17所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述光阑机构置于近似光路径上离物镜模块的物镜透镜一倍焦距的位置。
19.如权利要求14所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述物镜模块包括一物镜透镜和一折迭镜，以从所述物镜透镜传送图像至所述图像选择镜机构。
20.如权利要求19项所述的自动光学检测系统，其特征在于，
所述物镜模块折迭镜是经放置与物镜透镜外的光路径近似成45度；
所述图像选择镜机构与其旋转轴近似成45度角，以与其旋转轴平行的方向传递来自物镜模块的光线。
21.如权利要求14所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述物镜模块是经排列为具有至少部分交迭的视野。
22.一种检测一物品的方法，其包括以下步骤：
将所述物品的至少一部分带入多个物镜模块中至少一个的视野中；
调节一图像选择镜机构，以依次通过所述物镜模块将来自物镜模块的视野图像导入至少一被所述物镜模块分享的照相机中；
用所分享的照相机抓取图像；以及
处理抓取的图像以检测所述物品中的缺陷。
23.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述物品的至少一部分带入多排的物镜模块的视野中的步骤包括经由一传送机构移动该物品。
24.如权利要求22所述的方法，其特征在于，调节所述扫描机构包括移动一视镜机构以从一物镜模块的视野传导一图像至被分享的照相机。
25.如权利要求24所述的方法，其特征在于，移动所述图像选择镜机构包括旋转所述图像选择镜机构。
26.如权利要求24所述的方法，进一步包括用一光源经由所述图像选择镜机构所提供的光照亮所述物镜模块的视野。
27.如权利要求26所述的方法，其特征在于，所述物镜模块是经排列以至少一个以图像选择镜机构为圆心的弧形排列。
28.如权利要求27所述的方法，其特征在于，是经由图像选择镜机构照亮所述物镜模块的视野，所述图像选择镜机构包括通过一光阑机构上的光圈传导来自图像选择镜机构的光至所述物镜模块。
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