CN1811545A - 器件和其制造方法、电光学装置和其制造方法、电子仪器 - Google Patents

器件和其制造方法、电光学装置和其制造方法、电子仪器 Download PDF

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Abstract

一种器件的制造方法，具有形成在基板上的第(1)区域并被包围在密封部的膜，其中具有：对所述基板上的第(2)区域喷出含有所述膜的材料的液体的工序；对所述基板上的液体进行干燥的工序；所述第(2)区域为所述密封部的内侧，所述第(2)区域的面积为所述第(1)区域的面积的1.3倍以上。

Description

器件和其制造方法、电光学装置和其制造方法、电子仪器
技术领域
本发明涉及一种器件和其制造方法、电光学装置和其制造方法、及电子仪器。
背景技术
在液晶显示装置(液晶显示器件)中，排列液晶分子的取向膜，通过苯胺印刷法或旋涂法涂敷·形成。近年来，将材料削减效果及高品质对应作为目的，研究了液滴喷出法(液滴喷出装置)的使用，该液滴喷出装置通过将含有取向膜形成材料的液滴以液滴的方式从喷头喷出而形成取向膜。
在使用了上述的液滴喷出法的薄膜形成方法中，对由喷出了的多个液滴而形成的薄膜进行干燥之时，在薄膜的端部的液体和薄膜的中央部的液体中干燥速度不同。进一步详细地讲，薄膜的端部的液体的干燥速度比中央部的液体快。因此，在干燥工序中，在干燥速度快的端部流过液体中的固体部分，其结果形成端部凸起的薄膜。
在特开2003-126760号公报中记载了以下技术：通过在喷出液体之前根据涂敷区域(膜形成区域)的轮廓形状而在基板上形成堤坝，并在被堤坝包围了的部位配置液体，抑制在干燥时产生的涂膜端部的凸起而形成均匀的膜。
如上所述的以往技术中，需要形成堤坝的步骤，因此有随着工序的增加而降低生产效率的可能性。另外，有根据涂膜(喷出了的液体)和堤坝之间的接触而产生堤坝部件的溶解的可能性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种具有均匀而高品质的膜的器件和其制造方法、电光学装置和其制造方法、及电子仪器。
本发明的器件的制造方法，是具有被形成在基板上的第1区域中、并且被密封部包围的膜的器件的制造方法，其特征在于，具有：对所述基板上的第2区域喷出含有所述膜的材料的液体的工序；对所述基板上的液体进行干燥的工序；所述第2区域为所述密封部的内侧，所述第2区域的面积为所述第1区域的面积的1.3倍以上。
本发明的器件，其特征在于，具备：具有密封部的基板；形成在所述基板上的第1区域，并被所述密封部包围的膜；在所述基板上设定第2区域，向该第2区域喷出含有所述膜的材料的液体，所述第2区域为所述密封部的内侧，所述第2区域的面积为所述第1区域的面积的1.3倍以上。
配置了液体的基板上的第2区域的面积小于基板上的第1区域的面积的1.3倍的情况下，由于判断为：在第1区域中产生由干燥不均引起的膜品质的下降，因此在本发明中，通过在第2区域配置液体，而随着干燥在第1区域的外侧产生膜的凸起，避免第1区域的膜品质的下降，其中第2区域相对第1区域的面积具有1.3倍以上的面积，。另外，在本发明中，由于比密封部还要内侧的区域上配置液体，因此避免液体到达到密封部时产生的不良情形。
并且，在本发明中，省略堤坝形成所需的工序而实现生产效率的提高，同时能够避免根据由与堤坝接触的相互作用来产生膜品质的下降。
得到器件的所定特性考虑，优选所述第1区域以所述液体的喷出方式被所述液体覆盖。
也可以采用膜形成区域为显示区域的构成。
本发明的电光学装置的制造方法，具有形成在基板上的膜，其特征在于，其中使用了所述器件的制造方法。
根据本发明的电光学装置的制造方法，能够避免产生由干燥不均引起的显示不均，而得到高品质的电光学装置。
作为所述膜，电光学装置为液晶显示装置的情况下可以使用在取向膜或外涂层中。
本发明的电子仪器，其特征在于，该仪器具有上述的电光学装置。
根据本发明的电子仪器，能够避免产生由干燥不均引起的显示不均，而得到高品质的电子仪器。
附图说明
图1是表示了在本发明的一实施方式的薄膜形成方法中使用的薄膜形成装置的概略构成的立体图。
图2是用于说明根据压电方式的液状材料的喷出原理的图。
图3是用于说明本发明的一实施方式的薄膜形成方法的说明图。
图4A是用于说明本发明的一实施方式的薄膜形成方法的说明图。
图4B是用于说明本发明的一实施方式的薄膜形成方法的说明图。
图5是表示无源矩阵型的液晶显示装置的剖面结构的一例的模式图。
图6A是用于说明无源矩阵型的液晶显示装置的制造方法的说明图。
图6B是用于说明无源矩阵型的液晶显示装置的制造方法的说明图。
图6C是用于说明无源矩阵型的液晶显示装置的制造方法的说明图。
图7A是用于说明无源矩阵型的液晶显示装置的制造方法的说明图。
图7B是用于说明无源矩阵型的液晶显示装置的制造方法的说明图。
图7C是用于说明无源矩阵型的液晶显示装置的制造方法的说明图。
图8A是表示将TFT使用在开关元件上的有源矩阵型的液晶显示装置的一例的图。
图8B是表示将TFT使用在开关元件上的有源矩阵型的液晶显示装置的一例的图。
图9是表示由大型基板作成液晶显示装置用的基板的所谓的多倒角之例的模式图。
图10是有源矩阵型的液晶显示装置的剖面构成图。
图11A是表示具备液晶显示装置的电子仪器之例的图。
图11B是表示具备液晶显示装置的电子仪器之例的图。
图11C是具备液晶显示装置的电子仪器之例的图。
具体实施方式
下面，参照附图1～11说明本发明的器件和其制造方法及电光学装置和其制造方法及电子仪器的实施方式。此外，在下面的附图中，为了使各部件及各层作成可识别的大小，而适宜变更了各部件及各层的比例尺。
图1是表示了在本实施方式的器件制造方法中使用的薄膜形成装置10的概略构成的立体图。
在图1中，薄膜形成装置10具有：底座112；基板载物台22，其被设在底座112上并支撑基板20；第1移动装置114，其经由在底座112和基板载物台22之间并可移动地支撑基板载物台22；液体喷头21，其可对支撑在基板载物台22上的基板20喷出液体；第2移动装置116，其可移动地支撑液体喷头21；控制装置23，其控制液体喷头21的液滴的喷出动作。进一步，薄膜形成装置10具有：被设在底座112上的作为重量测定装置的电子天平(未图示)；压盖；和清洗单元24。含有第1移动装置114及第2移动装置116的薄膜形成装置10的动作，由控制装置23所控制。
第1移动装置114被设置在底座112之上并沿着Y方向定位。第2移动装置116在底座112的后部12A中，使用支柱16A、16A并相对底座112直立安装。第2移动装置116的X方向是与第1移动装置114的Y方向正交的方向。Y方向是沿着底座112的前部12B和后部12A方向的方向。X方向是沿着底座112的左右方向的方向，并且分别水平。Z方向是与X方向及Y方向垂直的方向。
第1移动装置114例如为线性电机系统，该第1移动装置备有导轨140、140和沿着该导轨140可移动地设置的滑块142。第1移动装置114的滑块142对于Y方向定位。
滑块142备有Z轴旋转(θZ)用的电机144。电机144例如为直线传动电机，电机144的转子被固定在基板载物台22上。通过给电机144通电，转子和基板载物台22沿着θZ方向旋转，基板载物台22被分度(旋转分度)。即，第1移动装置114可以将基板载物台22沿着Y方向及θZ方向移动。
基板载物台22保持基板20并在所定的位置上定位基板20。另外，基板载物台22具有未图示的吸附保持装置。通过使吸附保持装置动作，基板20通过基板载物台22的孔46A被吸附保持在基板载物台22之上。
第2移动装置116例如为线性电机系统，该第2移动装置备有：立柱16B，其被固定在支柱16A、16A上；导轨62A，其被支撑在立柱16B上；滑块160，其可沿着导轨62A向X方向移动地被支撑着。滑块160对于X方向定位。液体喷头21安装在滑块160上。
液体喷头21具有作为摇动定位装置的电机62、64、67、68。只要使电机62动作，则液体喷头21沿着Z轴上下移动而定位。Z轴的方向为分别对X轴和Y轴垂直的方向(上下方向)。如果使电机64动作，则液体喷头21沿着Y轴旋转的β方向摇动而定位。如果使电机67动作，则液体喷头21沿着X轴旋转的γ方向摇动而定位。如果使电机68动作，则液体喷头21沿着Z轴旋转的α方向摇动而定位。即，第2移动装置116可沿着X方向(第1方向)及Z方向移动地支撑液体喷头21，同时可沿着θX方向、θY方向、和θZ方向移动地支撑液体喷头21。
如此，图1的液体喷头21，根据滑块160可以沿着Z轴方向直线移动而定位，并且可以沿着α、β、γ摇动而定位。液体喷头21的液滴喷出面11P，对基板载物台22上的基板20正确地控制位置或姿势。在液体喷头21的液滴喷出面11P上设有多个喷嘴，该喷嘴以液滴的形式喷出液体材料。
液体喷头21是通过所谓的液滴喷出法从喷嘴喷出液体材料的。作为液滴喷出法，可适用如下公知的各种技术：使用作为压电体元件的压电元件而喷出液滴(墨滴)的压电方式；由加热液体材料而产生的泡(气泡)喷出液滴的方式等。压电方式由于不会对液体材料加热，因此具有不对材料的组成等造成影响的优点。而且，在本例中使用压电方式。
图2是用于说明根据压电方式的液体材料的喷出原理的图。在图2中，与收容液体材料的液室31相邻地设置有压电元件32。在液室31中经由含有材料罐的液体材料供给系统34供给液体材料，在材料罐中收容液体材料。压电元件32与驱动电路33连接。经由驱动电路33给压电元件32施加电压。通过压电元件32的变形，而使液室31变形并从喷嘴30喷出液体材料。通过使施加电压的值变化而控制压电元件32的变形量。通过使施加电压的频率变化而控制压电元件32的变形速度。即，在液体喷头21中，通过向压电元件32的施加电压的控制，控制来自于喷嘴30的液体材料的喷出状态。
返回到图1，电子天平(未图示)为了测定从液体喷头21的喷嘴喷出的液滴的一滴的重量并管理，例如从液体喷头21的喷嘴接受5000滴份。电子天平通过将5000滴的液滴的重量以5000的数字来分割而正确地测定一滴的液滴的重量。基于该液滴的测定量来最佳地控制从液体喷头21喷出的液滴的量。
清洗单元24在器件制造工序中或待机时定期或随时进行液体喷头21的喷嘴等的清洗。压盖单元25为了不使液体喷头21的液滴喷出面11P干燥，在不制造器件的待机时对盖液体喷出面11P盖上罩。
通过液体喷头21由第2移动装置116向X方向移动，将液体喷头21在电子天平、清洗单元24或压盖单元25的上部选择性地定位。即使是在器件制造作业的途中也将液体喷头21移动到电子天平侧，则能够测定液滴的重量。如果将液体喷头21移动到清洗单元24上，则能够进行液体喷头21的清洗。如果将液体喷头21移动到压盖单元25之上，则在液体喷头21的液滴喷出面11P上安装罩而能够防止干燥。
电子天平、清洗单元24、及压盖单元25在底座112上的液体喷头21的移动路径正下方的后部位置(-X侧)与基板载物台22隔开而被配置。由于在底座112的前部(+X侧)进行相对基板载物台22的基板20的供材作业及排材作业，因此没有与电子天平、清洗单元24及压盖单元25的干扰。
如图1所示，在基板载物台22中的支撑基板20以外的部分中，用于使液体喷头21将液滴废弃或试喷的预喷出区域152，与清洗单元24分离而设置。预喷出区域152在基板载物台22的后部中沿着X方向设置。预喷出区域152被固定在基板载物台22上，并且具有开口在上方的剖面凹状的接收部件、和自由交换地设置在接收部件的底部而吸收喷出了的液滴的吸收材料。
作为基板20能够使用玻璃基板、硅基板、石英基板、陶瓷基板、金属基板、塑料基板、塑料薄膜基板等各种基板。在这些各种素材基板的表面上也可以形成为作为基底层的半导体膜、金属膜、电介质膜、有机膜等。作为塑料基板的材料，例如使用聚烯、聚酯、聚丙稀酸酯、聚碳酸酯、聚醚砜、和聚醚酮等。
接着，参照附图3～图4B说明本实施方式的器件制造方法。在本实施方式的器件制造方法中利用上述的薄膜形成装置10在基板20上形成薄膜。
如图3所示，在矩形的基板20上设定有X方向的长度Ax、Y方向的长度Ay的矩形的薄膜形成区域(第1区域)A。薄膜形成区域A是要求所希望的功能的薄膜的功能范围。在基板20的周边设定有作为配置密封材料的区域的、矩形环状的密封部S。薄膜形成区域A是从密封部S离开了距离D的密封部S的内侧。即，薄膜形成区域A的各边分别从密封部S的内侧的边离开了距离D。
首先，根据需要对基板20的表面的液体材料进行亲液性的处理。作为亲液化处理，可列举：例如，大气压等离子体法、UV处理法、有机薄膜法(癸烷膜、聚乙烯膜)等。在等离子体法中，通过在对象物体的表面上照射等离子体状态的氧而使其表面亲液化或活性化。由此，提高基板20的表面的湿润性(基板20的表面的接触角在处理前为70°，但是例如可以变为20°以下)，谋求薄膜的膜厚的均匀性的提高。
接着，如图4A所示，利用薄膜形成装置10(图1)在基板20上的、含有薄膜形成区域A的涂敷区域(第2区域)B喷出液体材料L2。如图3所示，涂敷区域B处在上述密封部的内侧，并具有覆盖薄膜形成区域A的矩形形状。涂敷区域B的X方向的长度比薄膜形成区域A长2Lx。涂敷区域B的Y方向的长度比薄膜形成区域A长2Ly。涂敷区域E的面积是薄膜形成区域A的面积的1.3倍以上。另外，涂敷区域B是从密封部S离开了的密封部S的内侧。即，沿着涂敷区域B的X方向的各边从密封部S的内侧的边离开了距离(D-Lx)。沿着涂敷区域B的Y方向的各边从密封部S的内侧的边离开了距离(D-Ly)。在涂敷区域E的内侧具有薄膜形成区域A。
根据上述的液体喷出方式，如图4A所示，基板20上的薄膜形成区域A及薄膜形成区域A的边界(外缘)被液体材料L2覆盖，在比薄膜形成区域A还要宽的涂敷区域B上配置液体材料L2。其结果，在基板20上的涂敷区域B形成液体材料L2的外涂层。
接着，将配置在基板20的含有薄膜形成区域A的涂敷区域B上的液体材料膜L2以预先规定的干燥条件下进行干燥。由此，如图4B所示，在薄膜形成区域A上形成薄膜(膜)H。在此，液体材料L2的外涂层在干燥过程中，由于其端部比中央部干燥得快，因此包含在液体材料L2中的固体部分向外涂层的端部流过。其结果，在薄膜H的端部形成凸起部H1。薄膜H的端部中的凸起部H1被配置在薄膜形成区域A的外侧。
(实施例)
对将上述的薄膜形成方法适用于在液晶显示装置中采用的取向膜中之例进行说明。
如表1所示，制作了薄膜形成区域A(显示区域)的X方向的长度Ax：15mm、Y方向的长度Ay：15mm、面积：225mm2，涂敷区域B的面积：225mm2的试料1。同样地，制作了涂敷区域B的面积：256mm2的试料2、涂敷区域B的面积：289mm2的试料3、和涂敷区域B的面积：339mm2的试料4。关于各试料1～4而对显示品质进行了比较。
在此，在取向膜中要求液晶的取向限制力、电压保持特性、和余像特性。使用在液体喷出法中的取向膜形成材料在对溶液施加比较强的外力时的阻力少而流动性良好这一点是很重要的。作为含有取向膜形成材料的液体，使用了固体部分以聚酰胺酸为基体并含有90wt％以上(在此，固体含量1.6wt％)的溶剂(溶媒)的溶液，其溶剂中，将γ-丁内酯(沸点：204℃，在20℃时的粘度：2mPa·s，在20℃时的表面张力：42mN/m)作为主溶剂。
表1：
薄膜形成区域A的面积：225mm2
  试料编号   固体含量   Lx(mm)   Ly(mm)   涂敷区域面积(mm2)   面积比   显示品质(不均)
  1   1.6％   0   0   225   1.0   ×：对显示部不均
  2   1.6％   0.5   0.5   256   1.1   ×：对显示部不均
  3   1.6％   1.0   1.0   289   1.3   ○：均匀
  4   1.6％   1.7   1.7   339   1.5   ○：到达密封部
如表1所示，以相对薄膜形成区域A(显示区域)的面积低于1.3倍的面积来涂敷(喷出)了液体的试料1、2中，在显示区域中产生薄膜的干燥不均，对显示品质产生了不均(斑点)。在面积比为1.3倍以上的条件的试料3、4中，在显示区域中形成均匀的干燥膜，无法确认显示品质的下降(显示不均)。此外，在试料4中，虽然防止显示品质的下降，但是由于液体材料到达到密封部S，因此在这种条件下的液滴涂敷的实施很困难。
接着，如表2及表3所示，在面积比为1.3倍以上的条件下，制作了使薄膜形成区域A(显示区域)的面积变化了的试料。即，制作了薄膜形成区域A的X方向的长度Ax：8mm、Y方向的长度Ay：15mm、面积：120mm2，涂敷区域B的面积：160mm2的试料5。同样地，制作了涂敷区域A(显示区域)的X方向的长度Ay：5mm、Y方向的长度Ay：6mm、面积：30mm2，涂敷区域B的面积：42mm2的试料6。
表2：
薄膜形成区域A的面积：120mm2
  试料编号   固定部分浓度   Lx(mm)   Ly(mm)   涂敷区域面积(mm2)   面积比   显示品质(不均)
  5   1.8％   1.0   1.0   160   1.33   ○：均匀
表3：
薄膜形成区域A的面积：30mm2
  试料编号   固体含量   Lx(mm)   Ly(mm)   涂敷区域面积(mm2)   面积比   显示品质(不均)
  6   1.8％   0.5   0.5   42   1.4   ○：均匀
如表2及表3所示，在面积比为1.3倍以上的条件下，与试料3其薄膜形成区域A的面积不同的试料5、6中也无法确认显示品质的下降(显示不均)。
接着，如表4所示，制作了相对于试料6使液体材料的固体含量变化了的试料7。在试料6中，在喷出的液体中含有的固体含量为1.8wt％，在试料7中固体含量为1.6wt％。
表4：
薄膜形成区域A的面积：30mm2
  试料编号   固体含量   Lx(mm)   Ly(mm)   涂敷区域面积(mm2)   面积比   显示品质(不均)
  7   1.6％   0.5   0.5   42   1.4   ○：均匀
如表4所示，在面积比为1.3倍以上的条件下，与试料6其薄膜形成区域A的面积不同的试料5、6中也无法确认显示品质的下降(显示不均)。
如上所示，本实施方式中，通过在基板20上的涂敷区域B上配置液体，而能够形成均匀并高品质的膜，其中，所述涂敷区域B相对作为薄膜的功能范围的薄膜形成区域A的面积具有1.3倍以上的面积。即，即使在薄膜的端部形成凸起部，其凸起部位于薄膜形成区域A的外侧，因此在薄膜形成区域A中得到均匀的膜厚和所希望的功能。
另外，本实施方式中，由于将液体配置在比密封部S还要靠近的内侧，因此避免液体到达在密封部S的情况下产生的不便(基板20的接合不好等)。并且，本实施方式中，避免随着以往那样的堤坝形成步骤的追加而降低生产效率的情况，同时避免随着液体的接触而根据堤坝部件的溶解使薄膜的品质降低的情况。
另外，本实施方式中，通过使用液滴喷出法而能够在基板20上的所希望的位置上配置所希望的量的液体。即，在基板20上，在比密封部S还要靠近的内侧且具有规定的形状的矩形区域可靠地配置液体。并且，由于以液滴喷出方式形成薄膜，因此与苯胺印刷法或旋涂法进行比较而大幅度地削减材料使用量或排液量，能够期待节能效果的同时也与基板20的大型化容易地对应。
接着，参照图5～图7C说明使用本实施方式的器件制造方法的作为电光学装置的液晶显示装置(器件)的制造方法。
图5是表示无源矩阵型的液晶显示装置的剖面结构的模式图。液晶显示装置200为透射型装置，并构成为在一对玻璃基板201、202之间夹持着由STN(Super Twisted Nematic)液晶等构成的液晶层203的结构。并且，备有用于给液晶层提供驱动信号的驱动器IC213、和成为光源的反光器214。
在玻璃基板201上与其显示区域对应而配设了滤色片204。滤色片204是以规定地排列由红(R)、绿(G)、和蓝(B)的各种颜色构成的着色层204R、204G、和204B而构成的部件。此外，在着色层204R(204G、204B)之间形成有由黑底(black matrix)或贮格围堰(bank)构成的隔壁205。另外，在滤色片204及隔壁205之上配设有外涂层(overcoat)206，该外涂层用于消除根据滤色片204或隔壁205形成的台阶部而使其平坦化。
在外涂层206之上以带状形成有多个电极207，并且其之上形成有取向膜208。
在另一方的玻璃基板202的内面，多个电极209以与上述的滤色片204侧的电极正交的方式形成为带状，在这些电极209上形成有取向膜210。此外，上述滤色片204的各着色层204R、204G、和204B分别被配置在与玻璃基板202的电极209和上述玻璃基板201的电极207之间的交叉位置对应的位置上。另外，电极207、209由ITO(Indium Tin Oxide)等的透明导电材料来形成。玻璃基板202和滤色片204的外面侧分别设有偏转板(未图示)。在玻璃基板201、202彼此之间配设有：未图示的隔离物，其用于一定地保持这些基板201、202彼此之间的间隔(单元间隔)；和密封材料212，其用于从外部的空气遮断液晶203。作为密封材料212，例如使用热固化型或光固化型的树脂，并且配置在上述的密封部S上。
另外，在基板201上以包围显示区域A1的方式形成有遮光膜215。
该遮光膜215例如可以由铬等来形成。并且，在遮光膜215上与密封材料212隔开而配置有外涂层206的端部中的凸起部分206a及取向膜208、210的端部中的凸起部分208a、210a。
在该液晶显示装置200中根据上述的薄膜形成方法(器件制造方法)而形成上述的外涂层206、取向膜208及210。因此，在该液晶显示装置200中，由于在显示区域使取向膜208、210及外涂层206的膜厚均匀化，因此能够进一步提高液晶显示装置200中的显示性能。
另外，在该液晶显示装置200中，由于在遮光膜215上配设有外涂层206的端部中的凸起部分206a、及取向膜208、210端部中的凸起部分208a、210a，因此无需从新设置这些凸起部分206a、208a、210a的配置区域，而可以在显示区域A1中使显示区域A1中的取向膜208、210及外涂层206的膜厚均匀化。
图6A～7C是表示上述液晶显示装置200的制造方法的模式图。
首先，如图6A所示，在形成了滤色片204及遮光膜215的基板201上利用液滴喷出法形成外涂层206。此时，利用上述的本实施方式的薄膜形成方法以将外涂层206的端部的凸起部分206a配置在显示区域A1的外部、以及配置在密封部S的内侧的方式形成外涂层206。通过形成外涂层206，使显示区域A1中的外涂层206的膜厚均匀化而提高显示区域A1中的平坦性。
接着，在显示区域A1中的外涂层206上形成电极207之后，如图6B所示，在显示区域A上使用液滴喷出法形成取向膜208。
此时，利用上述的本实施方式的薄膜形成方法以将外涂层208的端部的凸起部分208a配置在显示区域A1的外部、以及配置在密封部S的内侧的方式形成外涂层208。通过形成外涂层208，使显示区域A1中的取向膜208的膜厚均匀化而提高显示区域A1中的目视性。
接着，如图6C所示，在与形成电极209的基板202上的显示区域A1对应的区域上利用液滴喷出法形成取向膜210。此时，利用上述的本实施方式的薄膜形成方法以将取向膜210的端部的凸起部分210a配置在显示区域A1的外部的方式，形成取向膜210。通过如此形成取向膜210，使显示区域A1中的取向膜210的膜厚均匀化而提高显示区域A1中的目视性。
然后，在基板上201上配置了密封材料212之后，在基板201、202之间夹持液晶层203。具体地讲，如图7A所示，例如使用液滴喷出法在玻璃基板201上定量配置所定量的液晶。此外，应在基板201上配置的液晶的所定量与密封之后形成在玻璃基板彼此之间的空间的容量大致相同。另外，在图7A中省略滤色片、取向膜、和外涂层等的图示。
接着，如图7B及7C所示，在配置了所定量的液晶203的玻璃基板201上经由密封材料212在减压下粘贴另一方的玻璃基板202。
具体地讲，首先，如图7B所示，主要对配置有密封材料212的玻璃基板201、202的边部施加压力，而粘接密封材料212和玻璃基板201、202。然后，经过所定的时间之后，密封材料干燥了某种程度之后对玻璃基板201、202的外面整体施加压力，而将液晶203遍布在夹持在俩基板201、202上的空间整体。
在这种情况下，在液晶203与密封材料212接触时，由于密封材料早已干燥了某种程度，因此随着与液晶203的接触的密封材料212的性能降低或液晶203的劣化少。
粘贴玻璃基板201、202彼此之间之后，通过给密封材料212赋予热或光而使密封材料212固化，从而如图7C所示，在玻璃基板201、202之间密封液晶。
并且，通过经过上述的工序而制造图5所示的液晶显示装置200。
此外，在图5中，表示了无源矩阵型的液晶显示装置，但是也可以采用将TFD(Thin Film Diode：薄膜二极管)或TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)作为开关元件来使用的、有源矩阵型的液晶显示装置。
由于图8A及8B表示在开关元件上使用了TFT的有源矩阵型的液晶显示装置的一例，因此图8A是表示该例的液晶显示装置的整体构成的立体图，图8B是图8A中的一像素的放大图。
图8A及8B所示的液晶显示装置(器件、电光学装置)580，对向配置有形成了TFT元件的侧的元件基板574和对向基板575，在这些基板之间配置有框缘型的密封材料573，在基板间的密封材料573中包围的区域上封入有液晶层(未图示)。
在此，图9是表示使用大型基板(例如，150mm×1800mm)来作成液晶显示装置用的上述元件基板或对向基板的所谓的多倒角之例的模式图。
图9的例中，从1个大型基板作成多个(本例中6个)基板(例如，元件基板574)，在各个元件基板574上如图8A及8B那样形成TFT元件。此外，关于图8A及8B所示的对向基板575也同样地、可以从1张大型基板形成多个基板。
返回到图8A及8B，在元件基板574的液晶侧表面上将多个源线576及多个栅线577以相互交叉的方式设置成格子状。在各源线576和各栅线577的交叉点的附近形成有TFT元件578，而经由各TFT元件578连接像素电极579，多个像素电极579被配置成俯视矩阵状。另一方面，在对向基板575的液晶侧的表面上，与显示区域对应而形成有由ITO等构成的透明导电材料制的公共电极585。
TFT元件578如图8B所示具有：栅电极581，其从栅线577延伸；绝缘膜(未图示)，其覆盖栅电极581；半导体层582，其形成在绝缘膜上；源电极583，其被连接在半导体层582中的源区域并从源线576延伸；漏电极584，其被连接在半导体层582中的漏区域上。并且，TFT元件578的漏电极584被连接在像素电极579上。
图10是有源矩阵型的液晶显示装置的剖面构成图。
液晶显示装置580主要由以下部件构成：相互对向地配置的元件基板574和对向基板575；夹持在这些基板之间的液晶层702；附设在对向基板575上的相位差板715a、和偏光板716a；具备了附设在元件基板574上的相位差板715b、和偏光板716b的液晶面板。通过在该液晶面板上安装液晶驱动用驱动器芯片、和用于传递电信号的配线类、支撑体等的附带因素，构成作为最终制品的液晶显示装置。
对向基板575主要由光透射性基板742、和形成在该基板742上的滤色片751构成。滤色片751具备：隔壁706；作为滤光元件的着色层703R、703G、703B；覆盖隔壁706及着色层703R、703B、703G的保护膜704而构成。
隔壁706以分别包围作为着色层形成区域的滤光元件形成区域707的方式形成为格子状，形成在基板742的一面的742a上，其中所述滤光元件形成区域707是形成各着色层703R、703B、703G的着色层形成区域。
另外，隔板706例如由黑色感光性树脂膜构成，作为该黑色感光性树脂膜，例如采用：如通常的抗蚀剂中所使用的、至少含有正型或负型的感光性树脂、和碳黑等的黑色的无机颜料或黑色的有机颜料的材料。由于该隔壁706含有黑色的无机颜料或有机颜料，形成在除去着色层703R、703G、703B的形成位置的部分，因此能够遮断着色层703R、703G、703B彼此之间的光的透射，从而该隔壁706还具有作为遮光膜的功能。
着色层703R、703G、703B，在经过隔壁706的内壁和基板742而设置的滤光元件形成区域707上，通过液滴喷出法喷出红(R)、绿(G)和蓝(B)的各滤光元件材料，然后使之干燥。
另外，由ITO(Indium Tin Oxide)等的透明导电材料构成的液晶驱动用的电极层705经过保护膜704的大致整个面而被形成。并且覆盖该液晶驱动用的电极层705而设置取向膜719a，另外，元件基板574侧的像素电极579上也设置有取向膜719b。
元件基板574，在光透射性的基板714之上形成未图示的绝缘层，再该绝缘层之上形成TFT元件578和像素电极579而构成。另外，在形成在基板714之上的绝缘层上如图8A及8B所示，多个扫描线和多个信号线形成为矩阵状，在由这些扫描线和信号线所包围的每一个区域设置上述的像素电极579，在各像素电极579与扫描线及信号线电连接的位置上装入TFT元件578，根据对扫描线和信号线施加信号切换TFT元件578而进行向像素电极579的通电控制。另外，该实施方式中，将形成在对向基板575侧的电极层705作成覆盖像素区域整体的整个面电极。此外，能够使用各种TFT的配线电路或像素电极形状。
元件基板574和对向基板575根据密封材料573经由所定的间隙而粘贴，该密封材料沿着对向基板575的外周边形成的。此外，符号756是用于在基板面内一定地保持俩基板间的间隔(单元间隔)的隔离物。在元件基板574和对向基板575之间通过俯视大致框缘状的密封材料573分区形成矩形的液晶封入区域，而在该液晶封入区域内封入液晶。
即使在具有这种构成的液晶显示装置580中，也通过根据本实施方式的薄膜形成方法形成取向膜719a、719b，从而能够提高液晶显示装置580的显示特性。
图11A～11C表示具备上述的液晶显示装置的电子仪器的例。
本例的电子仪器备有作为显示机构的本发明的液晶显示装置。
图11A是表示了移动电话机的一例的立体图。在图11A中，符号1000表示移动电话机主体(电子仪器)，符号1001表示使用了上述液晶显示装置的显示部。
图11B是手表型电子仪器的一例的立体图。在图11B中，符号1100表示手表主体(电子仪器)，符号1101表示使用了上述液晶显示装置的显示部。
图11C是表示了文字处理机、个人计算机等的便携型信息处理装置的立体图。在图11C中，符号1200表示信息处理装置(电子仪器)，符号1202表示键盘等的输入部，符号1204表示信息处理装置主体，符号1206表示使用了上述的液晶显示装置的显示部。
图11A～11C所示的各种电子仪器，由于备有通过使用本实施方式的薄膜形成方法来制造的作为显示机构的液晶显示装置，因此得到具备了显示特性高的显示机构的电子仪器。
以上，虽然参照附图说明了有关本发明的优选的实施方式，但是本发明并不局限于此。上述例中表示的各构成部件的各种形状或组合等为一例，在不脱离本发明的要旨的范围内基于设计要求等是可以进行变更的。
例如，在上述的实施方式中，作成薄膜形成区域A处于显示区域中的构成，但是并不局限于此，也可以作成使用于非显示区域中的构成。
另外，如图9所示，在从大型基板作成多个基板的情况下，也可以将大型基板作为1个基板并使用本发明的薄膜形成方法形成薄膜，也可以对从大型基板作成的各个基板使用本发明的薄膜形成方法形成薄膜。
另外，在上述实施方式中，使用本发明的薄膜形成方法形成了取向膜及外涂层。但是，本发明并不局限于此，例如，使用本发明的薄膜形成方法能够形成抗蚀剂等的各种薄膜。
另外，如上所示，也可以将薄膜的端部的凸起部分作为隔离物来使用，或也可以作为稍微调整薄膜的厚度时的贮格围堰来使用。具体地讲，将凸起部分作为贮格围堰来使用的情况下，通过在向由该凸起部分包围的薄膜中央部喷出配置液体材料，并使液体材料干燥，而能够进一步赢得薄膜的膜厚。

Claims (17)

1、一种器件的制造方法，是具有被形成在基板上的第1区域中、并由密封部包围的膜的器件的制造方法，其中具有：
对所述基板上的第2区域喷出含有所述膜的材料的液体的工序；和
对所述基板上的液体进行干燥的工序；
所述第2区域为所述密封部的内侧，所述第2区域的面积为所述第1区域的面积的1.3倍以上。
2、根据权利要求1中所述的器件的制造方法，其中，
所述第1区域与所述膜的功能范围对应。
3、根据权利要求1或2中所述的器件的制造方法，其中，
所述第1区域以所述液体的喷出方式由所述液体覆盖。
4、根据权利要求1～3的任意一项中所述的器件的制造方法，其中，
所述第1区域为显示区域。
5、一种电光学装置的制造方法，其中所述电光学装置具有形成在基板上的膜，所述方法中使用了权利要求1～4中任意一项所述的器件制造方法。
6、根据权利要求5中所述的电光学装置的制造方法，其中，
所述电光学装置为液晶显示装置；所述膜为取向膜。
7、根据权利要求5中所述的电光学装置的制造方法，其中，
所述电光学装置为液晶显示装置；所述膜为外涂层。
8、一种器件，其中使用权利要求1～4中任意一项所述的器件的制造方法来制造。
9、一种器件，其中，具备：
具有密封部的基板；和
形成在所述基板上的第1区域并由所述密封部包围的膜；
在所述基板上设定第2区域，其喷出含有所述膜的材料的液体；
所述第2区域为所述密封部的内侧，所述第2区域的面积为所述第1区域的面积的1.3倍以上。
10、根据权利要求9中所述的器件，其中，
所述第1区域与所述膜的功能范围对应。
11、根据权利要求9或10中所述的器件，其中，
由所述膜覆盖着所述第1区域。
12、根据权利要求9～12中任意一项所述的器件，其中，
所述第1区域为显示区域。
13、根据权利要求9～12中任意一项所述的器件，其中，
所述膜具有配置在所述第1区域的外侧的凸起部。
14、一种电光学装置，具有器件，所述器件具有被形成在第1区域中、并由密封部包围的膜，是权利要求9～13的任意一项中所述的器件。
15、根据权利要求14中所述的电光学装置，其中，
所述膜为液晶显示装置中的取向膜。
16、根据权利要求14中所述的电光学装置，其中，
所述膜为液晶显示装置中的外涂层。
17、一种电子仪器，其中具备权利要求14～16中任意一项所述的电光学装置。
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