CN1799767A - 刀具罩装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种刀具罩装置，该刀具罩装置可以从其前面侧向主轴的轴向容易地调节内置的外周喷嘴的喷射口的位置。本发明的刀具罩装置(40)在切削装置中，覆盖安装在主轴前端的切削刀具。该刀具罩装置(40)的特征在于，具有外周喷嘴(60)和喷射口位置调节机构(70)，其中上述外周喷嘴(60)内置于刀具罩装置(40)中，与切削刀具(22)的外周面相对地配置，向切削刀具(22)供给切削液；上述喷射口位置调节机构(70)使外周喷嘴(60)的喷射口(62)在主轴的轴向(Y轴方向)移动，可以从刀具罩装置(40)的前面侧进行操作。通过该结构，即使在刀具罩装置(40)中内置有外周喷嘴(60)的情况下，操作人员也可以操作喷射口位置调节机构(70)，将外周喷嘴(60)的喷射口(62)的位置向主轴的轴向进行调节。

Description

刀具罩装置

技术领域

本发明涉及覆盖切削装置的切削刀具的刀具罩装置。

背景技术

在精密切削装置，例如在切割装置(ダイシング装置)中，使用安装在高速旋转的主轴的前端部的切削刀具切削半导体晶圆等的被加工物。在该切削装置中，如图7所示，为了覆盖切削刀具122的外周，配设有刀具罩140。为了在该刀具罩140上，冷却切削刀具122与加工点，冲出切屑，设置有从切削刀具122的两个侧面(Y轴方向前面及背面)侧供给切削液的一对侧面喷嘴(刀具冷却喷嘴)127。

而且，在只利用该侧面喷嘴127不能充分地供给切削液时，增加设置向切削刀具122的外周面供给切削液的外周喷嘴(喷淋喷嘴)164。该外周喷嘴164通常以与切削刀具的外周面相对的方式配设于切削方向前方。在增加设置该外周喷嘴164时，一般采用相对于刀具罩140在外部安装外周喷嘴组件160的方式。

在外部安装该外周喷嘴组件160时，如图7所示，从刀具罩140的侧面侧相对于刀具罩140，利用螺栓150固定外周喷嘴组件160。在该固定方式中，需要将外周喷嘴164的喷射口162的主轴的轴向(Y轴方向)的位置与切削刀具122的外周面的位置正确地对准。如果该喷射口162的位置未与切削刀具122的外周面的位置正确对准，则会产生外周喷嘴164的冷却效果降低，在被加工物上出现大的崩刃的问题。因此，采用将外周喷嘴组件160的螺栓通孔设置为与Y轴方向平行的长孔、在Y轴方向上可以调节位置的结构，在将外周喷嘴组件160安装在刀具罩140上时，进行微调，以将外周喷嘴组件160定位于适当的Y轴位置上，在此基础上，从刀具罩140的侧面侧利用螺栓150将外周喷嘴组件160固定。

但是，在采用设置面积小的切削装置时，如图7所示，由于在刀具罩140的附近存在切削装置主体壁与外罩等的障碍物111，因此在刀具罩140的侧面侧只能存在于非常狭窄的空间中。所以，在外周喷嘴组件160的安装操作中，需要特殊的工具、操作非常困难，因此存在如果不是某种程度熟练的操作人员将不能安装的问题。

为了解决该问题，如专利文献1、2中所记载的那样，可以考虑采用将外周喷嘴组件和刀具罩形成为一体，将外周喷嘴内置于刀具罩中的结构。如此，通过将外周喷嘴内置于刀具罩中，不需要从后面安装外周喷嘴组件的操作。

【专利文献1】特开2003-59864号公报

【专利文献2】特开平11-114949号公报

发明内容

但是，在上述以往的内置外周喷嘴的刀具罩中，例如，即使在初期设置时将切削刀具罩的外周面与外周喷嘴的喷射口正确对位、将外周喷嘴内置，并且更换使用相同种类的切削刀具，在更换切削刀具后，也具有外周喷嘴的喷射口与切削刀具的外周面的Y轴方向的位置产生错位的问题。进一步详细说明，在切削装置中，要求数μm水平的切削加工精度，而切削刀具与固定切削刀具的安装部件等的质量很难满足该水平。因此，很容易产生由固定安装螺母的力、切削刀具的质量等引起的厚度的偏差，而且高精度地制造将主轴与安装部件接合的锥面是很困难的，容易产生误差，由于这些原因，如果更换切削刀具，则外周喷嘴的喷射口与切削刀具的外周面的Y轴方向的位置一定会错位。其结果，有时从外周喷嘴喷射的切削液的冷却效果将会降低，在被加工物上将会产生崩刃。

此外，在采用外部安装外周喷嘴组件的方式的刀具罩中，虽然将外周喷嘴组件160整体的位置向Y轴方向微调安装，但在采用外周喷嘴内置方式的刀具罩中，将会产生采用该调节方式，不能将外周喷嘴的喷射口的位置向Y轴方向调节的问题。

而且，从刀具罩的侧面侧进行该外周喷嘴的喷射口的位置调节操作需要特殊的工具，操作很困难。因此，需要一种可以从刀具罩的前面侧容易地调节外周喷嘴的喷射口的位置的刀具罩。

所以，本发明就是鉴于该问题而提出的，其目的在于提供一种新型且经过了改良的刀具罩装置，该装置在内置有外周喷嘴的刀具罩中，可以从刀具罩装置的前面侧容易地向主轴轴向调节外周喷嘴的喷射口的位置。

为了解决上述课题，根据本发明的第一观点，提供一种刀具罩装置，其用于覆盖安装在主轴前端的切削刀具，其特征在于，具有：外周喷嘴，该外周喷嘴内置于刀具罩装置中，与切削刀具的外周面相对地配置，向切削刀具供给切削液；喷射口位置调节机构，该喷射口位置调节机构使外周喷嘴的喷射口的位置在主轴的轴向移动，可以从刀具罩装置的主轴的轴向的前面侧进行操作。

通过该结构，即使在刀具罩装置中内置外周喷嘴的情况下，操作人员也可以操作喷射口位置调节机构，将外周喷嘴的喷射口位置向主轴的轴向调节。因此，即使在更换切削刀具时，也可以将外周喷嘴的喷射口位置与切削刀具的位置对准，所以可以提高从外周喷嘴供给的切削液的冷却效果，可在适当的状态下进行切削加工。因此，不会在被加工物上产生崩刃，可提高加工质量。

此外，操作人员可以从刀具罩装置的前面侧操作喷射口位置调节机构，所以可以不使用特殊的工具，容易且迅速地将外周喷嘴的喷射口的位置向主轴的轴向调节。而且，刀具罩装置的前面是指刀具罩装置的主轴的轴向前侧的面(操作人员一侧的面)。刀具罩装置的背面是指刀具罩装置的主轴的轴向里侧的面(操作人员的相反侧的面)。

此外，上述喷射口位置调节机构通过使内置有刀具罩装置的外周喷嘴的部分向主轴的轴向弹性变形，使外周喷嘴的喷射口向主轴的轴向移动。据此，可以将喷射口位置调节机构的结构简单化。而且，内置有刀具罩装置的外周喷嘴的部分的材质，最好采用可以弹性变形的材料，例如塑料等的合成树脂。

此外，也可以为：上述刀具罩装置的上部侧一体构成，上述刀具罩装置的下部侧，在上述主轴的轴向上被分割为内置有上述外周喷嘴的刀具罩前部、和与上述刀具罩前部间隔规定的间隙地配置的刀具罩后部，上述喷射口位置调节机构具有：紧固螺栓，该紧固螺栓从上述刀具罩装置的前面侧向上述主轴的轴向贯通上述刀具罩前部，与上述刀具罩后部拧合；定位螺栓，该定位螺栓从上述刀具罩装置的前面侧向上述主轴的轴向插入到上述刀具罩前部中，与上述刀具罩前部拧合，其前端部与上述刀具罩后部的前面接触，通过从上述刀具罩装置的前面侧旋转上述紧固螺栓以及/或者上述定位螺栓，使上述外周喷嘴的喷射口的位置在上述主轴的轴向移动。

通过该结构，可以从刀具罩装置的前面侧操作定位螺栓及紧固螺栓。通过紧固该定位螺栓、将其较深地拧合在刀具罩前部，及/或通过松开紧固螺栓、将其较浅地拧合在刀具罩后部，可以使刀具罩前部向主轴的轴向前面侧弹性变形，使外周喷嘴的喷射口向主轴的轴向前面侧移动。此外，通过松开该定位部件、将其较浅地拧合在刀具罩前部、及/或通过紧固紧固螺栓、将其较深地拧合在刀具罩后部，可以使刀具罩前部向主轴的轴向背面侧弹性变形，使外周喷嘴的喷射口向主轴的轴向背面侧移动。如此，可以采用结构比较简单的喷射口位置调节机构，从刀具罩装置前面侧容易地调节外周喷嘴的喷射口的位置。

如上所述，若采用本发明，则即使是在刀具罩装置中内置的外周喷嘴，也可以向主轴的轴向调节外周喷嘴的喷射口的位置，因此即使在更换切削刀具的情况下，也可以将外周喷嘴的喷射口的位置与切削刀具的外周面的位置对准。所以，可以提高从外周喷嘴喷射的切削液的冷却效果，在适当的状态下进行切削加工。据此，可以防止由于切削加工而在被加工物上产生崩刃，可提高加工质量。

此外，操作人员可以从刀具罩装置的前面侧操作喷射口位置调节机构，所以可以不需要特殊的工具，可容易地调节外周喷嘴的喷射口的位置。

附图说明

图1是表示本发明第一实施方式的切割装置的整体立体图。

图2是表示该实施方式的切削组件的立体图。

图3是表示本实施方式的刀具罩装置的主视图(a)及右侧视图(b)。

图4是图3(a)的A-A线的局部放大剖面图。

图5是表示本发明的第二实施方式的刀具罩装置的主视图(a)及右侧视图(b)。

图6是图5(a)的B-B线的局部放大剖面图。

图7是表示以往的刀具罩装置的主视图。

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明的优选实施方式进行详细说明。而且，在本说明书及图纸中，对于实质上具有相同功能结构的结构元件，通过标记相同的符号省略重复的说明。

(第一实施方式)

首先，根据图1，对于作为本发明的第一实施方式的切削装置的一例的切割装置10的整体结构进行说明。图1为表示本实施方式中的切割装置10的整体立体图。

如图1所示，切割装置10例如具有作为切削加工半导体晶圆等的被加工物的切削机构的切削组件20、作为保持被加工物的被加工物保持机构的卡盘台(未图示)、切削组件移动机构(未图示)、和卡盘台移动机构(未图示)。

切削组件20具有安装在主轴上的切削刀具22。该切削组件20通过使切削刀具22高速旋转并切入被加工物中，以此切削被加工物、形成极薄的切缝(切槽)。

另外，卡盘台例如为其上表面大致平坦的圆盘状的工作台，其上面具有真空卡盘(未图示)等。在该卡盘台上，例如载置有处于经由晶圆胶带(未图示)被支架(未图示)支承状态的被加工物。卡盘台真空吸附该被加工物，并稳定地进行保持。

切削组件移动机构使切削组件20向Y轴方向移动。该Y轴方向是相对于切削方向(X轴方向)垂直的水平方向，与延伸设置在切削组件20中的主轴的轴向一致。通过使切削组件20向Y轴方向移动，可以将切削刀具22的刀尖与被加工物的切削位置(切削线)对准。此外，在进行更换切削刀具22的操作时或进行后述的外周喷嘴的喷射口位置调节操作时，可以使切削组件20向Y轴方向前侧(操作人员一侧)，即，切割装置10的前表面(正面)侧前进，将切削组件20配置于操作人员容易操作的位置。而且，该切削组件移动机构也可以使切削组件20向Z轴向(垂直方向)移动。据此，可以调整切削刀具22相对于被加工物的切入深度。

卡盘台移动机构在切削加工时，使保持被加工物的卡盘台向切削方向(X轴方向)往返移动，按照直线的轨迹使切削刀具22的刀尖作用于被加工物上。

该结构的切割装置10使高速旋转的切削刀具22切入被加工物中，同时，通过使切削组件20与卡盘台相对移动，切削被加工物的配置为格子状的多条切削线。据此，可以切割加工被加工物，分割为多个部分。

但是，图1所示的切割装置10，为了缩小设置面积，研究了装置的结构，采用了纵向较长的结构。因此，在切削组件20的X轴方向两侧，在切削组件20的附近配置有覆盖切削刀具20的壁11，因此，在切削组件20的侧方，只存在狭窄的空间。所以，操作人员从切削组件20的侧面(X轴方向两侧)侧接近切削组件20，进行各种调整、保养操作是很困难的。因此，在本实施方式的切削组件20中进行了改善，以使操作人员可以从切削组件20的前面侧(Y轴方向前侧)接近，并可将外周喷嘴的喷射口的位置向主轴的轴向(Y轴方向)调节，在这一点上具有特点。而且，该喷射口位置调节机构的详细情况，将在后面叙述。

下面，根据图2，对本实施形态的切削组件20的结构进行详细说明。图2为示出本实施方式中的切削组件20的立体图。

如图2所示，切削组件20例如主要具有凸缘21、切削刀具22、螺母24、主轴25、主轴罩26、侧面喷嘴27和刀具罩装置40。

切削刀具22例如为大致环状的极薄的切削砂轮。该切削刀具22例如利用凸缘21及螺母24安装在主轴25的前端部25a上。本实施方式中的切削刀具22例如通过所谓的垫圈刀具(ワツシヤ一ブレ一ド)构成，是一种通过利用凸缘21挟持其两侧、利用螺母24进行固定，以此安装在主轴25上的结构。但是，并不局限于此，切削刀具22也可以由轮毂刀具(ハブブレ一ド)构成，该轮毂刀具由配置在外周部的作为切削砂轮的工作面部和用于将该工作面部轴安装在主轴25上的底座部一体构成。

此外，主轴25例如为用于向切削刀具22传送电动机(未图示)的旋转驱动力的旋转轴，例如可以以30,000rpm使安装的切削刀具22高速旋转。该主轴25的大部分被主轴罩26覆盖，其前端部25a从主轴罩26露出，在该前端部25a上安装有切削刀具22等。而且，该主轴25向与切削方向(X轴方向)垂直的Y轴方向延伸设置。

此外，主轴罩26是一种以覆盖主轴25的外周的方式设置的外罩。该主轴罩26利用内部设置的空气轴承(未图示)等，可以旋转地支承主轴25。

此外，侧面喷嘴27例如安装在刀具罩装置40上，是一种与切削刀具22的侧面(指切削刀具22的Y轴方向侧的平坦面)的下部邻接配设的切削液供给喷嘴。该侧面喷嘴27如后述的图3等所示，是配置在切削刀具22的正面侧的正面喷嘴27a和配置在切削刀具22的背面侧的背面喷嘴27b的总称。该侧面喷嘴27朝向切削刀具22的侧面下部及加工点喷射切削液(例如切削水)。如此，通过供给切削液，可以冷却切削刀具22及加工点，在切削加工时防止在被加工物上发生崩刃(チツピング)。此外，通过该切削液的供给，也可以冲去由切削加工而产生的切屑。

刀具罩装置40配设为覆盖切削刀具22的外周，并固定在主轴罩26的前端部。该刀具罩装置40在保护切削刀具22的同时，防止伴随着切削加工的切削液、切屑、破损的刀具片等向切削组件20外部飞散。该刀具罩装置40如以下详述，其特征在于，作为切削液供给喷嘴内置有外周喷嘴，设置有调整该外周喷嘴的喷射口的位置的喷射口位置调整装置。

下面，根据图2～图3，对于本实施形态的刀具罩装置40进行详细说明。图3是表示本实施方式的刀具罩装置40的主视图(a)及右侧视图(b)。

如图2及图3所示，刀具罩装置40例如大致由固定在主轴罩26上、覆盖切削刀具22的外周的固定底座部44，和可以向X轴方向滑动地安装在固定底座部44的上部的移动罩部42构成。

固定底座部44例如是一种由塑料等合成树脂形成的大致长方体形状的部件，固定设置在主轴罩26的前面上。在该固定底座部44的前面(Y轴方向前侧的面)的中央部上，凹陷形成有直径稍大于切削刀具22的大致圆形的凹部442。通过在该凹部442中配置切削刀具22，以此在切削刀具22的外周中，除了切入被加工物中的下部以外的部分都被固定底座部44覆盖。据此，利用固定底座部44，可以在保护切削刀具22的同时，防止切削加工时的切削液、切屑等的飞散。

此外，在该固定底座部44上，如图3所示，内置有外周喷嘴60。该外周喷嘴60配置为与切削刀具22的外周面相对，是一种从切削方向前方(X轴正方向)向切削刀具22的外周喷射切削液的切削液供给喷嘴(喷淋喷嘴)。

该外周喷嘴60形成于固定底座部44的切削方向前方侧的一部分(后述的刀具罩前部46)的内部。该外周喷嘴60具有喷射切削液的例如大致圆形的喷射口62、和与该喷射口62连通的通道64。喷射口62在固定底座部44的凹部442的切削方向前方侧的侧面上，形成在与切削刀具22的外周面相对的位置上。另外，流路64形成为在固定底座部44的刀具罩前部46的内部向垂直方向延伸，向喷射口62引导从外部供给的切削液。

而且，在该固定底座部44的一侧上部，设置有软管连结部52，在该软管连结部52上连结有设置在刀具罩装置40的外部上、与切削液供给装置(未图示)连通的供液软管521。通过采用该结构，经由供液软管521供给的切削液，通过在固定底座部44的内部形成的外周喷嘴60的流路64，从喷射口62向切削刀具22的外周面喷射。

如此，在本实施方式的刀具罩装置40中，不是如以往那样，在固定底座部44上外装外周喷嘴组件，而是通过在固定底座部44本身上形成喷射口62及流路64，将外周喷嘴60内置(换句话说，外周喷嘴组件与固定底座部44成为一体)。据此，可以减少刀具罩装置40的部件数量，将用于设置外周喷嘴60的结构简单化。

此外，移动罩部42如图2所示，例如，采用不锈钢等的金属制造，配设为覆盖固定底座部44的整个上面、和固定底座部44的Y轴方向的前面以及背面的上部、固定底座部44的X轴方向的一侧面的上部。该移动罩部42，在其上面上形成有向X轴方向延伸的长孔425，利用插入该长孔425、与固定底座部44拧合的紧固螺栓53相对于固定底座部44进行固定。利用该结构，通过松开紧固螺栓53，可以相对于固定底座部44，使移动罩部42向X轴方向滑动。

此外，在该移动罩部42的一侧下部，如图3所示，安装有上述两个侧面喷嘴27(正面喷嘴27a及背面喷嘴27b)。而且，在移动罩部42的一侧上部，例如设置有两个软管连结部51，在该各软管连结部51上，连结有与上述切削液供给装置连通的供液软管511。利用该结构，经由供液软管511供给的切削液，通过移动罩部42的内部形成的流路426到达各侧面喷嘴27，从各侧面喷嘴27向切削刀具22的两个侧面(前面及背面)的下部及加工点喷射。

下面，参照图2～4，对在上述结构的刀具罩装置40中，调节上述外周喷嘴60的喷射口62的位置的喷射口位置调节机构70进行说明。而且，图4是图3(a)的A-A线的局部放大剖面图。

本实施方式的喷射口位置调节机构70通过使形成刀具罩装置40的外周喷嘴60的部分向主轴25的轴向(以下称为“Y轴方向”)弹性变形，以使外周喷嘴60的喷射口62向Y轴方向移动，并进行位置调节，使其对准切削刀具22的外周面位置。

该喷射口位置调节机构70例如如图2～图4所示，由通过将刀具罩装置40的固定底座部44的下部侧向Y轴方向分开而形成的刀具罩前部46及刀具罩后部48、紧固螺栓74、定位螺栓76构成。

如图2及图3(b)所示，在刀具罩装置40的固定底座部44中，包括至少配设有外周喷嘴60的喷出口62的部位的下部侧部分，通过向垂直方向延伸的狭缝状的间隙72，分割为位于刀具罩装置40的前面侧的刀具罩前部46和位于刀具罩装置40的背面侧的刀具罩后部48。其中，在刀具罩前部46中，内置有上述外周喷嘴60。

该间隙72，例如通过从固定底座部44的下面向垂直方向至规定高度为止插入狭缝而形成。该间隙72的Y轴方向的形成位置例如为固定底座部44的Y轴方向的中心位置，此外，间隙72的Y轴方向的宽度根据外周喷嘴60的喷射口32的位置调整宽度(最大例如1mm左右)来决定。此外，间隙72的Z轴向的长度为从固定底座部44的下面开始，至少到达外周喷嘴60的喷射口62的上部的长度，确定为通过该间隙72分开的刀具罩前部46可以向Y轴方向充分弹性变形的长度。

而且，在该间隙72的上端部，形成具有大于间隙72的Y轴方向宽度的直径的圆形加宽孔721。通过该圆形加宽孔721，在刀具罩前部46相对于刀具罩后部48向Y轴方向弹性变形时，可缓和间隙72的上端部的应力，因此可以防止圆形加宽孔721周边的固定底座部44的破损，可使刀具罩前部46顺利地向Y轴方向弹性变形。

紧固螺栓74如图4所示，从刀具罩装置40的前面侧(即，刀具罩前部46的前面461侧)向Y轴方向贯通刀具罩前部46的螺栓通孔462，与刀具罩后部48的内螺纹孔482拧合。在该紧固螺栓74的头部74a与刀具罩前部46的前面461之间，夹装有垫圈741，避免由于紧固螺栓74的旋转刀具罩前部46的前面461被划伤。

上述刀具罩前部46的螺栓通孔462向Y轴方向贯通刀具罩前部46而形成。该螺栓通孔462的内径大于紧固螺栓74的外螺纹部74b的直径。因此，虽然紧固螺栓74的外螺纹部74b不会与刀具罩前部46卡合，但是通过紧固螺栓74的头部74a，刀具罩前部46被朝向刀具罩后部48侧卡定。

另一方面，定位螺栓76如图4所示，从刀具罩装置40的前面侧(即，刀具罩前部46的前面461侧)向Y轴方向插入刀具罩前部46的内螺纹孔464中。该定位螺栓76的外螺纹部76b与向Y轴方向贯通形成在刀具罩前部46中的内螺纹孔464拧合。

而且，该定位螺栓76的前端部76c在间隙72中，与刀具罩后部48的前面481抵接。如图4所示，外螺纹部76b的长度调整为：在刀具罩前部46未弹性变形的状态下，即使定位螺栓76的前端部76c与刀具罩后部48的前面481抵接，定位螺栓76的头部76a与刀具罩前部46的前表面461也将间隔规定的距离。因此，可从图4的状态，使定位螺栓76向紧固方向旋转，进一步深入地与刀具罩前部46拧合。

使用上述结构的紧固螺栓74及定位螺栓76，可以使喷射口62的位置向Y轴方向前后移动地进行调节。

具体地说，在使喷射口62的位置向Y轴方向的后方移动的情况下，使定位螺栓76向松开方向旋转，将定位螺栓76的外螺纹部76b相对于刀具罩前部46的内螺纹孔464较浅地拧合，同时，向紧固方向旋转紧固螺栓74，使紧固螺栓74的外螺纹部74b相对于刀具罩后部48的内螺纹孔482较深地拧合。据此，由于利用紧固螺栓74将刀具罩前部46向Y轴方向后方推压，因此刀具罩前部46以接近刀具罩后部48的方式向Y轴方向后方弹性变形。此时，刀具罩前部46在与刀具罩后部48之间存在有间隙72，因此刀具罩前部46可以仅以该间隙72的宽度的量向刀具罩后部48侧弹性变形。如此，可以使刀具罩前部46上设置的外周喷嘴60的喷射孔62向刀具罩装置40的背面侧(Y轴方向后方)移动。

另一方面，在使喷射口62的位置向Y轴方向前方移动时，将定位螺栓76向紧固方向旋转，使定位螺栓76的外螺纹部76b相对于刀具罩前部46的内螺纹孔464较深地拧合，同时，向松缓方向旋转紧固螺栓74，使紧固螺栓74的外螺纹部74b相对于刀具罩后部48的内螺纹孔482较浅地拧合。据此，定位螺栓76的前端部76c推压刀具罩后部48的前面481，因此刀具罩前部46以从刀具罩后部48离开的方式向Y轴方向前方弹性变形。据此，可以使刀具罩前部46上设置的外周喷嘴60的喷射孔62向刀具罩装置40的前面侧(Y轴方向前方)移动。

而且，在进行微调时，即使只旋转紧固螺栓74或者定位螺栓76中的任何一个，也可以使外周喷嘴60的喷射孔62向Y轴方向前方/后方进行某种程度的移动。

(第二实施方式)

下面，对本发明的第二实施方式的刀具罩装置40进行说明。而且，第二实施方式的刀具罩装置40与上述的第一实施方式的刀具罩装置40相比，只是喷射口位置调节机构70的结构在以下方面有所不同，其他功能结构与上述第一实施方式的情况大致相同，因此省略详细说明。

以下，根据图5及图6对第二实施方式的刀具罩装置40进行说明。图5是示出第二实施方式的刀具罩装置40的主视图(a)及右侧视图(b)。图6是图5(a)的B-B线的局部放大剖面图。

如图5及图6所示，刀具罩装置40的固定底座部44，在垂直方向上被完全分割为内置有外周喷嘴60的正面侧的刀具罩前部46、和背面侧的刀具罩后部48，该刀具罩前部46和刀具罩后部48作为不同部件而构成。如此被完全分割的刀具罩前部46和刀具罩后部48，在其之间的上部夹装有规定厚度的衬垫79，例如通过两个连接螺栓78进行连结固定。

该连结螺栓78如图6所示，从刀具罩装置40的前面侧(即，刀具罩前部46的前面461侧)向Y轴方向插入，贯通刀具罩前部46及衬垫79，到达刀具罩后部48。该连结螺栓78的外螺纹部78b，与刀具罩前部46的内螺纹孔466及刀具罩后部48的内螺纹孔486拧合，连结螺栓78的头部78a卡定刀具罩前部46的前面461侧。如此，连结螺栓78连结固定被分割的刀具罩前部46与刀具罩后部48。

在如此连结固定的刀具罩前部46与刀具罩后部48之间，从连接螺栓78的附近向上部侧夹装有衬垫79，因此，在该刀具罩前部46与刀具罩后部48之间的下部侧，存在有上述衬垫79的Y轴方向宽度部分的间隙72。在该空间72存在的部位上，配设有上述紧固螺栓74及定位螺栓76。该紧固螺栓74及定位螺栓76具有与上述第一实施方式大致相同的功能结构，因此省略详细说明。

如此，在第二实施方式的喷射口位置调节机构70中，不是如第一实施方式那样，在固定底座部44上形成狭缝状的间隙72，并部分地分割为刀具罩前部46和刀具罩后部48，而是通过将固定底座部44完全分割为刀具罩前部46和刀具罩后部48，并在其之间夹装衬垫79、利用连结螺栓78进行连结，以此形成刀具罩前部46的弹性变形所需的间隙72。

即使是该结构，也与上述第一实施方式相同，通过紧固/松开紧固螺栓74及/或者定位螺栓76，可以使刀具罩前部45向Y轴方向弹性变形，并向Y轴方向调节外周喷嘴60的喷射口62的位置。而且，通过将刀具罩前部46与刀具罩后部48分割为不同的部件，可以比较简单地制造设置有间隙72的固定底座部44。

以上，对于第一及第二实施方式的外周喷嘴内置型的刀具罩装置40所具有的喷射口位置调节机构70进行了说明。使用该喷射口位置调节机构70，可以将外周喷嘴60的喷射口62的位置向Y轴方向微调整，并可容易且准确地与切削刀具22的外周面对位。

具体地说，在使外周喷嘴60的喷射口62向刀具罩装置40的背面侧(图4的右侧)移动时，使用六角扳手等一般的工具，松开定位螺栓76，紧固紧固螺栓74。据此，可以使内置有外周喷嘴60的刀具罩前部46向Y轴方向后方弹性变形，使外周喷嘴60的喷射口62向Y轴方向后方移动，与切削刀具22的外周面对位。

另一方面，在使外周喷嘴60的喷射口62向刀具罩装置40的正面侧(图4的左侧)移动时，使用上述一般的工具，松开紧固螺栓74，紧固定位螺栓76。据此，可以使刀具罩前部46向Y轴方向前方弹性变形，使外周喷嘴60的喷射口62向Y轴方向前方，向正面侧移动，与切削刀具22的外周面对位。

因此，在由于破损、磨耗等原因更换切削刀具22的情况下，利用上述喷射口位置调节机构70，可以将外周喷嘴60的喷射口62的位置与切削刀具22的外周位置正确地对位。所以，可以从外周喷嘴60向适当的位置供给切削液，提高切削刀具22及加工点的冷却效果，因此可以防止被加工物上产生崩刃。

此外，在进行该位置调节时，操作人员可以从刀具罩装置40的前面侧接近，操作喷射口位置调节机构70(紧固/松开紧固螺栓74及定位螺栓76)。因此，操作人员可以不必使用特殊的工具地容易且迅速地向Y轴方向调节外周喷嘴60的喷射口62的位置，不需要操作的熟练度。

此外，由于外周喷嘴60内置于刀具罩装置40中，因此不需要以往的操作人员后安装外周喷嘴组件的操作，同时可以将刀具罩装置40的结构简单化。

以上，一边参照附图一边对本发明的优选的实施方式进行了说明，但本发明并不局限于此，这是不言而喻的。只要是本领域技术人员，在权利要求所述的范畴内，很明显可以想到各种变更例或修正例，关于这些当然也属于本发明的技术范围。

例如，在上述的实施方式中，作为切削装置列举了切割装置10的例子进行了说明，但是本发明并不局限于此。例如，只要是采用通过主轴25而高速旋转的切削刀具22切削加工被加工物的装置，例如也可以为进行切割加工以外的切削加工的各种切削装置。

此外，在上述实施方式中，刀具罩装置40由移动罩部42和固定底座部44构成，但本发明并不局限于此，可以将移动罩部42与固定底座部44形成为一体，或者也可以在固定底座部44上设置侧面喷嘴27，省略移动罩部42。

此外，在上述实施方式中，刀具罩装置40的固定底座部44的材质为塑料等的合成树脂，但是本发明并不局限于此。固定底座部44的材质，只要是可以使形成有外周喷嘴60的刀具罩前部46按照最大位置调节宽度弹性变形的材质，例如也可以为金属类等任意的材料。

此外，在上述实施方式的刀具罩装置40中，紧固螺栓74及定位螺栓76以紧固螺栓74位于Z轴向上部侧的方式上下邻接配置，但是本发明并不局限于此。例如，也可以将紧固螺栓74及定位螺栓76上下颠倒配置，或者也可以在水平方向或者倾斜方向排列配置。

此外，在上述实施方式中，紧固螺栓74及定位螺栓76分别配置为1个，但并不局限于此，也可以配置多个。

此外，在上述实施方式中，虽然将紧固螺栓74及定位螺栓76两者向紧固/松开的方向旋转，将喷射口62的位置向Y轴方向调节，但是并不局限于此。例如，也可以通过将紧固螺栓74或者定位螺栓76的任何一方向紧固/松开方向旋转，以此使喷射口62的位置向Y轴方向移动某种程度、进行微调。

产业上的利用可能性

本发明可以适用于覆盖切削装置中的切削刀具的刀具罩装置。

Claims (2)

1.一种刀具罩装置，用于覆盖安装在主轴前端的切削刀具，其特征在于，具有：

外周喷嘴，该外周喷嘴内置于上述刀具罩装置中，与上述切削刀具的外周面相对地配置，向上述切削刀具供给切削液；

喷射口位置调节机构，该喷射口位置调节机构使上述外周喷嘴的喷射口的位置在上述主轴的轴向移动，可以从上述刀具罩装置的上述主轴的轴向的前面侧进行操作。

2.如权利要求1所述的刀具罩装置，其特征在于，上述刀具罩装置的上部侧一体构成，上述刀具罩装置的下部侧，在上述主轴的轴向上被分割为内置有上述外周喷嘴的刀具罩前部、和与上述刀具罩前部间隔规定的间隙地配置的刀具罩后部，

上述喷射口位置调节机构具有：

紧固螺栓，该紧固螺栓从上述刀具罩装置的前面侧向上述主轴的轴向贯通上述刀具罩前部，与上述刀具罩后部拧合；

定位螺栓，该定位螺栓从上述刀具罩装置的前面侧向上述主轴的轴向插入到上述刀具罩前部中，与上述刀具罩前部拧合，其前端部与上述刀具罩后部的前面接触，

通过从上述刀具罩装置的前面侧旋转上述紧固螺栓以及/或者上述定位螺栓，使上述外周喷嘴的喷射口的位置在上述主轴的轴向移动。

Images