CN1790067A - 透射式金属光栅及其制作方法 - Google Patents
透射式金属光栅及其制作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1790067A CN1790067A CN 200510130716 CN200510130716A CN1790067A CN 1790067 A CN1790067 A CN 1790067A CN 200510130716 CN200510130716 CN 200510130716 CN 200510130716 A CN200510130716 A CN 200510130716A CN 1790067 A CN1790067 A CN 1790067A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- metal
- metal substrate
- grating
- base plate
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
一种透射式金属光栅，包括金属基板、金属基板上下表面的光栅亮条纹和金属基板上的暗条纹，光栅亮条纹为金属基板上的缝隙，其透光率为100％，暗条纹为金属基板本身，不透光；金属基板为不锈钢、铜、铝的薄片或金属尺；透射式金属光栅的制造方法是：先对金属基板表面进行清洗，然后在基板上下两面涂上均匀厚度的光刻胶，前烘去除光刻胶中的稀释剂后，将基片上放置在两相同光栅母板间上下对准并进行曝光，再用显影液显影，烘烤坚膜后在FeCl3腐蚀液中腐蚀，最后去胶清洁基片表面。本发明具有重量轻、对比度好、线条稳定性好且抗冲击性、抗腐蚀性、抗辐射性好的优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种光学计量器件及莫尔条纹技术领域，具体地说涉及一种透射式金属光栅及其制作工艺。包括长、圆光栅领域。
背景技术
目前广泛使用的透射式光栅是将光栅线条制作在玻璃上，光栅暗条纹大多为玻璃表面上的三氧化二铬线条，亮条纹则为玻璃本身。这种光栅虽然广泛用于机床、仪器设备上，但它存在以下不足之处：抗冲击能力差、抗腐蚀能力差、抗辐射能力差，所以不能满足航空、航天的需要。
发明内容
本发明的技术解决问题：克服现有技术的不足，提供一种重量轻、对比度好、线条稳定性好且抗冲击性、抗腐蚀性、抗辐射性很好的透射式金属光栅及其制造方法。
本发明的技术解决方案：一种透射式金属光栅，包括长光栅和圆光栅，其特征在于：包括金属基板、金属基板上下表面的光栅亮条纹和暗条纹，光栅亮条纹为金属基板上的缝隙，其透光率为100％，暗条纹为金属基板本身，不透光。
上所述的透射式金属光栅的制造方法，其特征在于采用下述方法进行制造：先对金属基板表面进行清洗，然后在金属基板上下两面涂上均匀厚度的光刻胶，前烘去除光刻胶中的稀释剂后，将金属基板上放置在两相同光栅母板间上下对准并进行曝光，再用显影液显影，烘烤坚膜后在FeCl3腐蚀液中腐蚀，最后去胶清洁基片表面。
本发明与现有技术相比具有的优点：
①制作过程中不需镀膜，所以工序少、制作方便、成本低且适合于大批量生产；
②使用薄金属基板作为载体，重量轻；
③光栅亮条纹为金属基板上的缝隙，其透光率为100％，而暗条纹为金属基片本身，不透光，所以该光栅对比度非常好；
④光栅明暗条纹均为金属基板本身，所以其线条牢固度好；
⑤使用金属基板作载体，双面曝光、双面腐蚀，缩短了金属腐蚀时间、提高了蚀刻深度增大了光栅的强度；
⑥传统的光栅基板为玻璃，金属材料相对于玻璃材料来说抗冲击、抗腐蚀、抗辐射能力高，所以本发明抗冲击、抗腐蚀、抗辐射能力高，特别适合于航天、航空领域。
附图说明
图1为本发明的金属光栅的结构主示意图；
图2为图1的俯视图。
具体实施方式
如图1、图2所示，本发明包括金属基板1、金属基板1上下表面的光栅亮条纹2和暗条纹3，光栅亮条纹2为金属基板1上的缝隙，其透光率为100％，暗条纹3为金属基板1本身，其透光率为0％，金属基板1为不锈钢、铜、铝的薄片或薄尺。
下面以不锈钢片为例对本发明的制造方法进行详细说明：
①选取适当大小、厚度的不锈钢片经平整工艺平整后，用浓度9～11％的稀硝酸去除不锈钢片表面的氧化物，用10～20％浓碱液去除不锈钢片表面的油污；
②用HNO3溶液对不锈钢片进行深处理，即采用10～30％的HNO3溶液在60℃～70℃下浸泡15～20分钟；
③在不锈钢片上涂上均匀厚度的BP212正性光刻胶；
④将光刻胶中的稀释剂烘干；
⑤将不锈钢片放置于上下高精度对准的光栅母板之间，在高压汞灯光源下，双面曝光；
⑥在NaOH碱液中显影，显影液温度控制在20℃左右。
⑦在90～120℃温度下进行烘烤；
⑧放入10％～30％浓度的FeCl3腐蚀液中双面腐蚀，腐蚀时间根据所选用的不锈钢片厚度确定，一般为20～30分钟，FeCl3腐蚀液中需要加入0.1％～0.01％的HNO3和0.1％～0.01％的Ce(SO4)2，HNO3和Ce(SO4)2与金属基板中Cr、Ni杂质的化学反映方程式(1)和(2)
⑨去胶清洁码盘表面，得到成品光栅，描述该成品光栅的结构，其光栅条纹为亮条纹及暗相条纹相间的一个环带，亮条纹为不锈纲片上被腐蚀掉的部分，暗条纹为不锈钢片上未被腐蚀的部分(基板本身)。
Claims (5)
1、一种透射式金属光栅，其特征在于：包括金属基板、金属基板上下表面的光栅亮条纹和暗条纹，光栅亮条纹为金属基板上的缝隙，其透光率为100％，暗条纹为金属基板本身，不透光。
2、根据权利要求1所述的透射式金属光栅，其特征在于：所述的金属基板为不锈钢、铜、铝的薄片或薄尺。
3、透射式金属光栅的制造方法，其特征在于采用下述方法进行制造：先对金属基板表面进行清洗，然后在金属基板上下两面涂上均匀厚度的光刻胶，前烘去除光刻胶中的稀释剂后，将基片上放置在两相同光栅母板间上下对准并进行曝光，再用显影液显影，烘烤坚膜后在FeCl3腐蚀液中腐蚀，最后去胶清洁基片表面。
4、根据权利要求3所述的透射式金属光栅的制造方法，其特征在于：所述的曝光方式为双面曝光，上下两面图案精确对准；或上下两面光源一致；或金属基板两面光刻胶均匀且厚薄一致。
5、根据权利要求3所述的透射式金属光栅的制造方法，其特征在于：所述的金属基板为不锈钢、或铜、或铝的薄片或薄尺。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200510130716 CN1790067A (zh) | 2005-12-23 | 2005-12-23 | 透射式金属光栅及其制作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200510130716 CN1790067A (zh) | 2005-12-23 | 2005-12-23 | 透射式金属光栅及其制作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1790067A true CN1790067A (zh) | 2006-06-21 |
Family
ID=36788050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200510130716 Pending CN1790067A (zh) | 2005-12-23 | 2005-12-23 | 透射式金属光栅及其制作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1790067A (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102331269A (zh) * | 2011-09-20 | 2012-01-25 | 海军工程大学 | 多路绝对式轴角传感器 |
| WO2013040748A1 (zh) * | 2011-09-20 | 2013-03-28 | 中国科学院微电子研究所 | 亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法 |
| CN103258756A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-08-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种剥离设备的剥离能力的评定方法及评定系统 |
| CN103852818A (zh) * | 2014-03-27 | 2014-06-11 | 夏立新 | 具稳定精度的圆光栅 |
| CN109782384A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-05-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 新型的临界角透射光栅制作方法 |
-
2005
- 2005-12-23 CN CN 200510130716 patent/CN1790067A/zh active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102331269A (zh) * | 2011-09-20 | 2012-01-25 | 海军工程大学 | 多路绝对式轴角传感器 |
| WO2013040748A1 (zh) * | 2011-09-20 | 2013-03-28 | 中国科学院微电子研究所 | 亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法 |
| US9442230B2 (en) | 2011-09-20 | 2016-09-13 | Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences | Sub-wavelength extreme ultraviolet metal transmission grating and manufacturing method thereof |
| CN103258756A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-08-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种剥离设备的剥离能力的评定方法及评定系统 |
| CN103258756B (zh) * | 2013-04-26 | 2015-09-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种剥离设备的剥离能力的评定方法及评定系统 |
| CN103852818A (zh) * | 2014-03-27 | 2014-06-11 | 夏立新 | 具稳定精度的圆光栅 |
| CN103852818B (zh) * | 2014-03-27 | 2015-11-04 | 夏立新 | 具稳定精度的圆光栅 |
| CN109782384A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-05-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 新型的临界角透射光栅制作方法 |
| CN109782384B (zh) * | 2018-12-26 | 2020-07-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 临界角透射光栅制作方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1790067A (zh) | 透射式金属光栅及其制作方法 | |
| JP6073683B2 (ja) | 電極コーティングの下の高屈折率層でコーティングされたガラス基材およびその基材を含む有機発光デバイス | |
| CN101750664B (zh) | 一种衍射导光薄膜及其制备方法 | |
| CN102445158B (zh) | 一种制作高温散斑的方法 | |
| CN104160303B (zh) | 防眩膜 | |
| CN108231999B (zh) | 石英谐振器晶片的加工方法 | |
| KR20120085042A (ko) | 박막증착용 쉐도우마스크 제조 방법 | |
| KR20130043633A (ko) | 도전막 및 그 제조 방법, 그리고 터치 패널 및 태양 전지 | |
| CN103589995A (zh) | 一种掩模板的制作方法 | |
| CN110183113A (zh) | 防眩光玻璃的制备方法 | |
| JPWO2014112297A1 (ja) | 透明基材 | |
| CN109081600A (zh) | 采用盐类化学试剂刻蚀减反射玻璃的制备方法 | |
| CN102540297B (zh) | 微米级抗反射金属光栅的制备方法 | |
| CN101685178A (zh) | 一种衍射导光薄膜及其制备方法 | |
| CN106502044B (zh) | 掩膜板及其制造方法 | |
| CN105892084B (zh) | 一种镀铝分划元件制作方法 | |
| CN102277573B (zh) | 液晶显示屏用铬蚀刻液及其制备方法 | |
| CN105906218A (zh) | 防眩光玻璃的制备方法 | |
| CN110357444A (zh) | 减反射玻璃及其制备方法与应用 | |
| CN107797396B (zh) | 导电薄膜对位标记制作方法 | |
| CN103589996A (zh) | 一种掩模板 | |
| JP4867261B2 (ja) | 電磁波遮蔽シート | |
| JP2017181544A (ja) | 表示装置製造用位相シフトマスクの製造方法 | |
| JP2013071854A (ja) | 携帯機器用カバーガラスの製造方法 | |
| CN108085684B (zh) | 用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |