CN1782797A - 附带倾斜功能的浮起单元及浮起装置 - Google Patents

Abstract

一种即使在空气易于逃逸的、弯曲的玻璃基板的端部也可切实地在非接触的状态下保持该基板的浮起单元、及具有该浮起单元的浮起装置，其中，将设有多孔质单元(41)的摆动基体(31)通过球面轴承由基台(21)支撑；并且在基台(21)和摆动主体(31)之间介入空气，使摆动基体(31)及多孔质单元(41)可沿着球面摆动。通过该摆动，喷出空气的改良浮起单元(12)的上面(12a)可自由倾斜。当放置弯曲的玻璃基板时，改良浮起单元(12)的上面(12a)仿效基板的倾斜而变为倾斜的状态。如果在该状态下喷出空气，则基板以与上面(12a)平行的状态浮起，浮力切实作用于基板，从而可解决所述问题。

Description

附带倾斜功能的浮起单元及浮起装置

本申请基于2004年11月24日申请的日本国专利申请第2004-338610号、2005年4月11日申请的日本国专利申请第2005-113364号及2005年4月25日申请的日本国专利申请第2005-126195号的优先权，这些申请的所有内容在该说明书中作为参照被引用。

技术领域

本发明涉及到一种附带倾斜功能的浮起单元、及具有该单元的浮起装置。

背景技术

一直以来，在液晶面板的制造工艺中，设置校正了玻璃基板位置偏差的装置。在制造工艺的各种处理中，要求对玻璃基板进行正确的定位，当基板被传送到这种处理工艺之前，之前的处理及传送等中所使用的位置偏差被校正。称之为校准。

浮起单元在这种校正位置偏差的装置中经常被使用。如果通过从浮起单元喷出的空气使玻璃基板浮起，在非接触的状态下校正该位置偏差，则可防止在接触支撑状态下校正时的问题，即可防止因滑动引起的破损(参照专利文献1)。

如图23所示，浮起单元71在底座72上设置有多个。并且各浮起单元71被定位为其上面(下述多孔质体74的上面)形成同一平面。并且，通过从浮起单元71的上面喷出的空气，玻璃基板G以微小的间隔被支撑。浮起单元71如图24所示，具有主体73及设置在该主体73的上面一侧的多孔质体74。并且，通过在底座72的内部形成的通路75、及在主体73的内部形成的空气通路76将空气提供到多孔质体74，从而使空气从多孔质体74的上面喷出。

因此在玻璃基板G为非接触支撑的状态下，玻璃基板G中产生如图23所示的弯曲。即产生如下弯曲：在浮起单元71的上方接收空气的喷出形成峰，在空气作用变弱的浮起单元71之间形成谷。

这样一来，如图24详示，在玻璃基板G的端部，与浮起单元71之间变为开放状态。因此从浮起单元71的上面喷出的空气大部分从开放部分排出到外部，浮力不能充分作用于空气基板G。其结果是，玻璃基板G与浮起单元71的上面的角接触，存在丧失作为非接触支撑而使用浮起单元71的意义的问题。

并且，在图23及图24中，为了便于说明，将玻璃基板G的弯曲进行了夸张图示。并且，上述接触问题不限于玻璃基板G，只要是薄板状的工件均会发生。

专利文献1：特开2004-241465号公报(第7页第15行一第17行)

为了解决上述问题，可以考虑增加浮起单元的设置个数，抑制弯曲的产生。但是如果增加浮起单元的设置个数，则增加与之对应的设置成本或因大量的空气消耗引起的运行成本的增加，会出现缺乏实用性等其他问题。

发明内容

因此，本发明的主要目的在于提供一种即使在弯曲的工件的端部也可以在切实的非接触的状态下保持工件的浮起单元及具有该单元的浮起装置。

第一附带倾斜功能的浮起单元具有如下构造。即，

具有喷出加压空气的喷出面、和使该喷出面的被动的倾斜自由化的摆动装置，

利用从上述喷出面喷出的加压空气，以与该喷出面非接触的状态来支撑工件。

在该浮起单元中，当外力作用于喷出面时，通过摆动装置，喷出面仿效该外力变为倾斜的状态。因此，用浮起单元非接触地支撑工件时，即使工件自身产生弯曲，在该工件首先被放置的阶段，喷出面仿效工件的倾斜变为倾斜状态。并且，如果在该状态下从喷出面喷出加压空气，工件以底面与喷出面大致平行地面对的状态下浮起，可使加压空气的喷出所产生的浮力切实作用于工件。因此，如果在因工件弯曲引起的倾斜导致加压空气逃逸到外部而易于接触的工件的端部配置该浮起单元，则在其端部可切实地在非接触的状态下保持工件。这里所说的倾斜是指相对于设置面的倾斜。

第一附带倾斜功能的浮起单元的优选例包括：使具有上述喷出面的摆动体相对基台由球面轴承支撑，由其构成上述摆动装置。

在该摆动装置中，通过球面轴承支撑摆动体，从而可使喷出面自由倾斜，因此可以简单的构造使喷出面可向任意方向自由倾斜。

在上述优选例中进一步优选：上述基台及上述摆动体中，在一方设置凹状球面部，在另一方设置凸状球面部，在该球面部彼此配合的状态下由基台支撑摆动体，并在两者之间介入加压空气，从而构成上述球面轴承。

根据该构造，通过介于摆动体和基台之间的加压空气，球面轴承的摩擦阻力消失，即使仅有微小的外力产生作用，也可使喷出面以顺利的动作倾斜。并且，由于基台和摆动体是非接触的，因此喷出面倾斜时不会产生尘埃，适于设置在超净室(clean room)内。

在上述优选例中进一步优选：在上述基台及上述摆动体的内部设置连接两者的弹性管，使加压空气通过该弹性管内提供到上述喷出面，进而在弹性管的周围形成变形允许空间，该变形允许空间允许伴随摆动体的摆动的弹性管的变形。

在该构造下，通过为使基台和摆动体连接而设置的弹性管的施加力，在工件支撑操作后，摆动体自然地恢复到初始位置。这种情况下，在初始位置上使喷出面变为水平，从而在下一次操作中把工件放置在喷出面时，可使工件不接触摆动体的角部分，而进行恰当的放置操作。而且，在弹性管的周围形成变形允许空间，从而使弹性管随着摆动体的摆动可变形，不会妨碍喷出面的自由倾斜。进一步，加压空气向喷出面的供给通过弹性管内来进行，从而使该加压空气不会在中途泄漏，全部提供给喷出面。因此，可向喷出面进行充分的加压空气的供给，并且可抑制加压空气向浮起单元的供给量，且降低运行成本。

第二附带倾斜功能的浮起单元，利用从喷出面喷出的加压空气，以与该喷出面非接触的状态来支撑工件，该浮起单元的构造如下所示。即，

具有：摆动体，其具有上述喷出面，并使具有同一曲率半径的凹状球面部及凸状球面部中的一方形成在与喷出面相反的一侧；和

基台，形成上述凹状球面部及凸状球面部中的另一方，在使球面部彼此配合的状态下支撑摆动体，

通过在上述基台和上述摆动体之间介入加压空气，使摆动体可沿球面摆动，通过该摆动使喷出面的被动的倾斜自由化。

在该浮起单元中，当外力作用于摆动体或喷出面时，摆动体效仿(倣う)该外力以沿着球面的形态摆动，喷出面也变为倾斜状态。因此，用浮起单元非接触地支撑工件时，即使工件本身产生弯曲，在该工件首先被放置的阶段，喷出面仿效工件的倾斜变为倾斜状态。并且，如果在该状态下从喷出面喷出加压空气，工件的底面与喷出面在大致平行相对的状态下浮起，可使加压空气的喷出所产生的浮力切实作用于工件。因此，如果在因工件倾斜导致加压空气逃逸到外部而易于接触的工件的端部配置该浮起单元，则在其端部也可切实地在非接触的状态下保持工件。并且，喷出面的自由倾斜通过球面轴承实现，并且由于加压空气的存在，在球面轴承上没有摩擦阻力，所以可获得与上述第一附带倾斜功能的浮起单元的优选例同样的作用效果。

第二附带倾斜功能的浮起单元的优选例包括：在上述基台中形成基台流路，在上述摆动体中形成与上述喷出面连接的摆动体流路，使两者在上述凹状球面部及凸状球面部上开口，并使该开口彼此相对。

在该构造下，如果向基台流路供给加压空气，则可同时进行向球面轴承部分的加压空气的供给、及向喷出面的加压空气的供给。因此，可使供给到浮起单元的加压空气的供给路径为同一条，从而简化配管构造。

在上述优选例中，进一步优选：使上述基台流路的开口及摆动体流路的开口中的一个形成为宽口(锥状形成宽口)，从而即使在上述摆动体倾斜的状态下，上述摆动体流路的开口也不会堵塞。

在该构造下，即使在摆动体倾斜的状态下，也可避免摆动体流路的开口堵塞。这样一来，在加压空气流入到摆动体流路时不会产生流通阻塞，可向喷出面进行充分的加压空气的供给。

在具有上述摆动体的构造中，优选设有用于防止上述摆动体从基台脱落的防脱装置。

通过防脱装置可防止摆动体从基台脱落。因此可使摆动体的摆动稳定化，并且可稳定地保持摆动体倾斜的状态。

在具有上述摆动体的构造中，优选设有用于使上述摆动体的摆动限制在预定的范围内的摆动限制装置。

通过设置摆动限制装置，摆动体的摆动限制在预定的范围内，可使摆动体的摆动稳定化。

在具有上述摆动体的构造中，优选在上述摆动体的外周设置呈筒状的覆盖筒体，通过该覆盖筒体隐藏上述基台的侧面的至少上部。

在该构造下，通过呈筒状的覆盖筒体，基台的侧面上部被隐藏，经过球面轴承部分的加压空气经过基台的侧面和覆盖筒体的内面之间，并从形成在基台侧面和覆盖筒体内端部之间的开口部分排出。并且，由于该开口部分是向下开口的，因此加压空气也向下排出。因此可降低排出的加压空气吹向工件的可能性。

在该构造中，进一步优选以下构造：上述防脱装置及上述摆动限制装置由形成于基台侧面的凹部、和设置于上述覆盖筒体且其顶端浮插(遊挿)在上述凹部的防脱销(外れ防止ピン)构成。

通过在覆盖筒体上设置防脱销，不仅可防止摆动体从基台上脱落，而且可同时进行摆动体的摆动限制，该销可兼用作防脱装置和摆动限制装置两个装置。因此，可减少配件个数，并可简化构造。此外，由于防脱销浮插在凹部，因此允许摆动体自身的摆动。

在具有上述摆动体的构造中，优选设有用于调整上述摆动体的水平方向的重量平衡的平衡调整装置。

设置平衡调整装置，在不支撑工件的状态下调整摆动体的水平方向的重量平衡以使喷出面水平，从而在工件支撑操作后，喷出面自然地变为水平。这样一来，在下一次操作中把工件放置在喷出面时，可使工件不接触摆动体的角部分而进行恰当的放置操作。

并且在具有上述弹性管的构造下，通过弹性管向初始位置对摆动体施力，但由于此时具有平衡调整装置，因此可使初始位置为喷出面变得水平的位置。

第三附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，该浮起单元构造如下。即，

具有：摆动体，其具有上述喷出面；和支撑体，固定在设置面上并支撑摆动体，在设置于摆动体或支撑体的支撑空间内，配置摆动体的被支撑部和支撑体的支撑部，该被支撑部和支撑部构成为，以上述喷出面相对支撑体的设置面成水平的状态为基准而使上述摆动体可自由摆动，

在上述支撑体内设置支撑体流路，在上述摆动体内设置与上述喷出面连接的摆动体流路，使该支撑体流路和摆动体流路在上述支撑空间内连通，并设置防止该支撑空间内的加压空气泄漏的密封装置。

在该浮起单元中，摆动体通过外力的作用而摆动，位于其上面的喷出面效仿该外力变为从基准位置倾斜的状态。因此，用浮起单元非接触地支撑工件时，即使工件本身产生弯曲，在该工件首先被放置的阶段，喷出面仿效工件的倾斜变为倾斜状态。并且，如果在该状态下从喷出面喷出加压空气，工件以其底面与喷出面大致平行地面对的状态浮起，可使加压空气的喷出所产生的浮力切实作用于工件。因此，如果在因工件弯曲引起的倾斜导致加压空气逃逸到外部而易于接触的工件的端部配置该浮起单元，则在其端部也可切实地在非接触的状态下保持工件。

并且，供给到支撑体流路的加压空气导入到摆动体流路时，即使该加压空气流出到支撑空间内，也可以通过密封装置使其不从支撑空间泄漏到外部。因此，可抑制供给到支撑体流路的加压空气不从喷出面喷出地流出到外部而无端消耗的情况。

第三附带倾斜功能的浮起单元的优选例包括：把上述支撑部及上述被支撑部中的一方设成球面，另一方设成形成为研钵(すり鉢)状的锥面，通过该球面和锥面的抵接使上述摆动体可自由摆动。

在该构造下，通过球面和锥面的抵接，摆动体在可自由摆动的状态下由支撑体支撑。因此摆动体相对于支撑体摆动时，支撑部和被支撑部之间产生的滑动阻力与面接触时相比可降低。

第三附带倾斜功能的浮起单元的其他优选例包括：把上述支撑部或上述被支撑部中的一方设成球体部的球面，另一方设成形成为研钵状的锥面，通过该球面和锥面的抵接使上述摆动体可自由摆动，在与球面和锥面的抵接位置不同的位置上，使上述密封装置与球体部的球面抵接，通过该抵接使密封装置同时具有密封功能和摆动体的保持功能。

在该构造下，通过球面和锥面的抵接，摆动体在可自由滑动的状态下由支撑体支撑。因此摆动体相对于支撑体摆动时，支撑部和被支撑部之间产生的滑动阻力与面接触时相比可降低。并且，密封装置不仅可防止支撑空间内的加压空气向外部泄漏，而且具有保持摆动体的功能，因此可在更稳定的状态下支撑摆动体。

在该优选例中优选：上述密封装置和球体部球面的抵接位置设置在夹着上述球体部与上述锥面和球面的抵接位置上下相反的一侧。

在该构造下，在球体部的上下，在一方通过与锥面的抵接来支撑摆动体，在另一方通过与密封装置的抵接来保持该支撑状态，从而可使摆动体的支撑更稳定。

在第三附带倾斜功能的浮起单元的上述任意一个构造中，优选：上述摆动体及上述支撑体设置成使各自的垂直(鉛直)方向的中心线一致，且以该中心线为中心形成上述支撑空间。

根据该构造，当摆动体被支撑体支撑时，可防止以偏斜的状态被支撑，可平衡良好地支撑摆动体。

在第三附带倾斜功能的浮起单元的上述任意一个构造中，优选：上述支撑体流路及上述摆动体流路设置成在垂直方向延伸的一条直线状。

根据该构造，由于各流路呈直线状，因此易于制造，并且由于两个流路为一条直线状，因此可使加压空气顺利流通。

在该构造中进一步优选：上述摆动体流路的导入侧开口形成得比上述支撑体流路的导出侧开口大。

如果这样形成，即使当摆动体倾斜时，也可使支撑体流路的导出侧开口配置在摆动体流路的导入侧开口内，可防止开口部分闭塞，并确保加压空气的顺利流通。

在第三附带倾斜功能的浮起单元的上述任意一个构造中，优选：使上述密封装置为与球体部的球面密接的O形环(O リング)，将该O形环配置成使支撑空间内的加压空气的压力从环内侧作用于该O形环。

在该构造下，由于加压空气的压力从O形环内侧作用于O形环，因此O形环受此压力要向其外侧扩张。因此O形环向其内侧缩小的力、即挤压球面的挤压力难于增加。这样一来，即使O形环受到加压空气的压力，也可抑制与球体部之间产生的滑动阻力的增大。

或者，也可以使上述密封装置为与球体部的球面密接的O形环，并且由上部构成体和下部构成体构成上述摆动体，通过使两个构成体一体化，形成上述支撑空间和配置有上述O形环的环状槽。

这样一来，即使摆动体由上部构成体及下部构成体多种部件构成，也可用一个O形环密封上部构成体、下部构成体、球体部三者之间。这样一来，由于无需设置多个O形环，因此可减少配件个数，并降低制造成本。

这种情况下，优选：构成上述支撑空间以收容上述球体部整体，在该支撑空间内设置抵接面，该抵接面在与球体部的球面和上述锥面的抵接位置上下相反的一侧与球体部的球面抵接。

在该构造下，球体部不在可自由摆动地支撑摆动体的部分与抵接面抵接，而在与该支撑部分相反的一侧与抵接面抵接，因此可在较稳定的状态下支撑球体部。

第四附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，该浮起单元构造如下。即，

具有：支撑体，其具有球体部，在该球体部的下端设有沿垂直方向延伸的轴部，在该轴部上设置有固定在设置面上的被固定部，且设有在球体部的球面上开口的支撑体流路；和

摆动体，在上面设置具有上述喷出面的喷出部，在内部设有用于收容上述球体部的支撑空间，连通其内外的插通孔的开口部设置在下面，使上述轴部插通于该插通孔，在支撑空间内的上部设置朝下的形成为研钵状的锥面，使该锥面和球体部球面抵接，且设有与上述喷出部连接并在形成上述支撑空间的面上开口的摆动体流路，

通过上述锥面和上述球体部的球面的抵接，上述摆动体相对上述支撑体可自由摆动地被支撑，

在上述插通孔的内侧周缘部设置用于防止上述支撑空间内的加压空气泄漏的O形环，设置与O形环的环内侧抵接的侧壁面，而将该O形环配置于环状槽。

在该浮起单元中，由于加压空气的压力从O形环外侧作用于该环，因此O形环受此压力要向其内侧缩小，但该缩小力不仅变为对球体部的球面的挤压力，而且也变为对侧壁面的挤压力。通过该力的分散，对球面的挤压力与未设置侧壁面的构造相比相对变小。这样一来，即使O形环受到加压空气的压力，滑动阻力变大时，也可防止其增大。

第五附带倾斜功能的浮起单元具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，该浮起单元具有如下构造。即，

具有：支撑体，其具有球体部，在该球体部的下端设有沿垂直方向延伸的轴部，在该轴部上设置有固定在设置面上的被固定部，且设有在球体部的球面上开口的支撑体流路；和

摆动体，在上面设置具有上述喷出面的喷出部，在内部设有用于收容上述球体部的支撑空间，连通其内外的插通孔的开口部设置在下面，使上述轴部插通于该插通孔，在支撑空间内的下部设置可与上述球体部的球面下部抵接的抵接部，且设有与上述喷出部连接并在形成上述支撑空间的面上开口的摆动体流路，

在该摆动体中设有O形环，该O形环在上述支撑空间内的上述球面中央的上方位置上沿水平方向配置，防止来自上述球体和摆动体之间的加压空气的泄漏，

通过上述O形环和上述球体部的球面上部的抵接，上述摆动体相对上述支撑体可自由摆动地被支撑。

在该浮起单元中，当加压空气通过支撑体流路到达支撑空间内时，O形环向环扩张方向、即向对球面的紧固力变弱的方向发生变形。并且O形环配置于在球体部的球面中心的上方与球面抵接的位置。当上述支撑空间内的加压空气的压力增高时，相对支撑体向上举起摆动体力进行作用，但由于该力不是压挤(潰す)O形环的方向上的力，因此挤压球体部的球面的挤压力不会增加。

如上所述，除了使加压空气的压力作用于O形环的内周侧的特征外，还具有使O形环配置在比球面中心的上方的配置上的特征，因此即使受到加压空气的压力，也可进一步抑制和球体部的球面之间产生的滑动阻力的增大。因此即使在支撑空间内的加压空气的压力增高时，也可使摆动体顺利地摆动。

并且，如上所述，使支撑空间内的压力增高并使摆动体相对于支撑体向上方移动的力，通过抵接部和球体部的球面下部的抵接而被承受，可保持O形环的密封效果。在该含意下，在支撑空间内的压力提高的前期阶段，抵接部和球体部的球面下部也可不必抵接，至少在上述压力提高的情况下，只要在O形环的密封效果被破坏之前，抵接部和球体部的球面下部处于抵接的位置关系即可。

并且，上述抵接部优选形成为呈向上的研钵状的锥面，并且，O形环优选收容在摆动体上形成的环状槽中。进一步，在支撑空间内，从抑制空气振动的观点出发，优选在作为O形环的上方空间的位置，支撑体和摆动体保持非接触。

第六附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，该浮起单元构造如下。即，

具有：摆动体，其具有上述喷出面；和支撑体，支撑该摆动体，

在上述支撑体中设置球体部，将该球体部收容在设置于上述摆动体的支撑空间内，

在上述支撑空间内设有环状密封装置，该环状密封装置与形成该支撑空间的内面、及上述球体部的球面中央的上部抵接而密封两者之间，并且通过该抵接使摆动体支撑于支撑体上，

在上述支撑体中设置支撑体流路，该支撑体流路在球体部与上述密封装置的抵接部分的上部开口，在上述摆动体中设置摆动体流路，该摆动体流路一端与上述喷出面连接，另一端在形成支撑空间的内面上开口，通过支撑空间与上述支撑体流路的上述开口连通。

在该浮起单元中，摆动体通过密封装置支撑在支撑体上。当外力作用于该摆动体时，球体部的球面和密封装置滑动，摆动体摆动。因此，位于摆动体上面的喷出面效仿外力从基准位置开始变为倾斜状态。因此，通过该浮起单元，也可随着工件的弯曲使喷出面倾斜，可切实地在非接触状态下保持工件。并且，供给到支撑体流路的加压空气通过支撑空间导入到摆动体流路时，加压空气的压力作用于密封装置，密封装置受此压力要向外侧扩张。通过该扩张，密封装置挤压球体部的球面及形成支撑空间的内面的挤压力增加，因此在加压空气供给状态下，可提高密封装置的密封效果。

并且，如上所述，将摆动体可自由摆动地支撑在支撑体上的构造，仅是使球体部球面抵接到支撑空间内设置的密封装置，通过该密封装置进行支撑的构造，可以说是非常简易的构造。并且，无需高精度的加工。在用锥面夹持球体部上下并使摆动体自由摆动的构造中，在加工及组装时要求较高的精度，但与之相比可降低成本。

第七附带倾斜功能的浮起单元具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，该浮起单元构造如下。即，

具有：摆动体，其具有上述喷出面；和支撑体，支撑该摆动体，

在上述摆动体中设置球体部，将该球体部收容在设置于上述支撑体的支撑空间内，

在上述支撑空间内设有环状密封装置，该环状密封装置与形成该支撑空间的内面、及上述球体部的球面中央的下部抵接而密封两者之间，并且通过该抵接使摆动体支撑于支撑体上，

在上述摆动体中设置摆动体流路，该摆动体流路一端与上述喷出面连接，另一端在上述球体部与上述密封装置的抵接部分的下部开口，在上述支撑体中设置支撑体流路，该支撑体流路通过支撑空间与摆动体流路的上述另一端的开口连通。

在该浮起单元中，在摆动体上设置球体部并在支撑体中设置支撑空间这一点上不同，但通过支撑空间内的密封装置和球体部的抵接使摆动体可自由摆动地被支撑这一技术思想，与上述第六附带倾斜功能的浮起单元是相同的。并且，提供到支撑体流路的加压空气通过支撑空间导入到摆动体流路时，由于加压空气的压力，密封装置向外侧扩张，在这一点上也是相同的。因此，该第七附带倾斜功能的浮起单元也可获得与上述第六附带倾斜功能的浮起单元相同的作用效果。

第六及第七附带倾斜功能的浮起单元的优选例包括：设有抵接部件和挤压装置，该抵接部件在与上述密封装置和上述球体部球面的抵接位置上下相反的一侧与上述球面抵接，该挤压装置相对球面挤压该抵接部件。

根据该构造，不仅在球体部的上下的一方通过与密封装置的抵接来支撑摆动体，而且在另一方与抵接部件抵接，可在稳定的状态下保持球体部。进一步，由于挤压装置的挤压力作用于挤压部件，因此可切实保持抵接部件和球体部的抵接状态。这样一来，可使球体部的保持稳定化，进而有助于摆动体的支撑及摆动的稳定化。

第六及第七附带倾斜功能的浮起单元的其他优选例包括如下构造。即，

在上述摆动体或上述支撑体上形成收容凹部，并设置上述支撑空间，

具有上述球体部的支撑体或摆动体具有轴部，该轴部从该球体部起通过上述收容凹部的开口部直至收容凹部外部，在垂直方向上延伸设置，

使至少2个垫圈插通于上述轴部，在插通有轴部的插通孔的内周缘部上与上述球体部抵接的第一垫圈、及与该第一垫圈相邻的第二垫圈之间，介入用于在轴部的轴线方向上对两个垫圈施力的施力装置，

在形成上述收容凹部的周面上形成环状的安装槽，在该安装槽上设置卡环(snap ring)，该卡环使上述第一垫圈保持与上述球体部抵接的状态。

根据该构造，不仅在球体部的上下的一方通过与密封装置的抵接来支撑摆动体，而且在另一方与第一垫圈抵接，可在稳定的状态下保持球体部。进一步，通过施力装置的施加力，第一垫圈挤压球面，因此可切实保持第一垫圈和球体部的抵接状态。这样一来，可使球体部的保持稳定化，进而有助于摆动体的支撑及摆动的稳定化。

并且，由于可仅通过卡环保持第一垫圈和球体部的抵接状态，因此与用螺栓连接闭塞部件的构造相比，配件个数变少。这样一来，有助于降低成本。但是如果只使用卡环，在该环与安装槽之间产生松动，会产生垫圈和球体部的抵接状态不稳定的问题。因此，在该构造下，在卡环和第一垫圈之间设置第二垫圈，进一步在两个垫圈之间介入施力装置。该施力装置的施加力通过第二垫圈也作用于卡环，可抑制松动的发生。

在上述任意一个优选例中，上述挤压装置或上述施力装置优选板簧、波形垫圈。板簧呈薄板状地形成，因此可简化浮起单元的构造，并有助于实现小型化。

在第六及第七附带倾斜功能的浮起单元的上述任意一个构造中，优选：在形成上述支撑空间的内底面上形成用于安装上述密封装置的圆形的密封安装槽，使上述密封装置的外径与上述密封安装槽的径长相同，将该密封装置在该装置与形成密封安装槽的底面及周面抵接的状态下收容在密封安装槽中。

根据该构造，无需沿着圆周方向形成用于在形成支撑空间的内周面上安装密封装置的安装槽，因而安装槽的加工变得容易。并且，仅通过将与密封安装槽具有相同外径的密封装置配置在该槽上，就可完成密封装置的组装，因此其操作极其简单。

在第六及第七附带倾斜功能的浮起单元的上述任意一个构造中，上述密封装置优选为O形环。

如果使用O形环，其价格较为低廉，且易于获得，因此有助于降低成本。

在上述任意一个构造中，优选上述喷出面由多孔质体形成。

如果是这种构造，由于加压空气从多孔质体的表面喷出，因此通过加压空气经过多孔质体时的节流(絞り)，可产生适当的静压。并且与单纯的节流通路相比，可在与工件之间产生平均的静压。其结果是，在非接触状态下可进一步稳定地保持工件。

第一浮起装置，具有多个浮起单元，利用从该浮起单元的喷出面喷出的加压空气非接触地支撑薄板状的工件，其中，上述多个浮起单元中，在平面视图下的四角或端部上配置上述任意一种附带倾斜功能的浮起单元。

使工件浮起时，由于弯曲(うわる)，在工件的端部，加压空气逃逸到外部而接触，但在该浮起装置中，由于在其端部配置附带倾斜功能的浮起单元，因此在其端部也可切实以非接触的状态保持工件。并且，由于四角是加压空气最容易逃逸的场所，因此在那里设置附带倾斜功能的浮起单元，与现有技术相比，可切实地在非接触状态下进行保持。进一步，由于仅在四角或端部设置附带倾斜功能的浮起单元，因此可抑制作为浮起装置的成本增加。

第二浮起装置，具有多个浮起单元，利用从该浮起单元的喷出面喷出的加压空气非接触地支撑薄板状的工件，其中，上述多个浮起单元全部是上述任意一种附带倾斜功能的浮起单元。

当浮起单元的个数少于现有的浮起装置时，浮起单元之间的工件的挠曲变大，但在该浮起装置中，由于所有浮起单元都是附带倾斜功能的浮起单元，因此即使挠曲变大，也可切实在非接触状态下保持工件。通过减少浮起单元的个数，向浮起装置的加压空气的供给量减少，可实现运行成本的降低。进一步，在向浮起装置设置浮起单元时，可使各浮起单元的喷出面的高度调整等操作性良好。并且，由于校正位置偏差的工件的大小不总是相同的，有时也较小，因此通过使所有浮起单元为附带倾斜功能的浮起单元，即使对于较小的工件，也可切实地在非接触的状态下保持工件。

附图说明

图1是第一实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图(图2的A-A线截面图)。

图2是第一实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的斜视图。

图3是表示从玻璃基板放置到浮起为止的情况的示意图。

图4是表示玻璃基板的位置偏差被校正的状态的平面图。

图5是第二实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图。

图6是第三实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图(图7的B-B线截面图)。

图7是第三实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的透视图。

图8是第三实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的分解截面图。

图9是表示O形环的作用的说明图。

图10是表示从玻璃基板放置到浮起为止的情况的示意图。

图11是第四实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图。

图12是将O形线部分扩大后的部分截面图。

图13是第四实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的分解截面图。

图14是第五实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图。

图15是第六实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图。

图16是第六实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的分解截面图。

图17是表示其他实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图。

图18是表示其他实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图。

图19是表示其他实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图(图20的C-C线截面图)。

图20是表示其他实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的透视图。

图21是表示其他实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图。

图22是表示其他实施方式下的附带倾斜功能的浮起单元的截面图。

图23是表示利用现有的浮起单元使玻璃基板浮起的状态的示意图。

图24是在图23中将玻璃基板的端部放大表示的放大截面图。

具体实施方式

(第一实施方式)

以下对将发明具体化的第一实施方式参照附图进行说明。图1是附带倾斜功能的浮起单元的截面图(图2的A-A线截面图)、图2是附带倾斜功能的浮起单元的透视图、图3是表示从玻璃基板的放置到浮起为止的状况的示意图、图4是表示校正了玻璃基板位置偏差的状态的平面图。并且以下的“上下”是指垂直方向。

如图4所示，在校正作为工件的玻璃基板G的位置偏差的装置中，具有非接触地支撑玻璃基板G的浮起装置。浮起装置具有在该图中未图示的底座2，在该底座2上设有多个浮起单元。在本实施方式中，各浮起单元1配置在前后左右，更具体而言，以等间隔呈格子状地配置。并且，浮起单元1的设置个数要考虑到作为对象的玻璃基板G的面积、挠曲难易度等进行适当的增减。浮起单元1由二种构成。一种是现有的一般浮起单元11，另一种是附带倾斜功能的浮起单元12(以下称为改良浮起单元12)。

当全部使用一般浮起单元11非接触支撑玻璃基板G时，产生在图4的前后左右两个端部接触的问题。因此在该前后左右两个端部上配置改良浮起单元12。

并且，各浮起单元1，其上面形成同一平面而放置。并且，通过从各浮起单元1的上面喷出的空气，玻璃基板G以微小的间隔被支撑。设置在玻璃基板G周围的多个校正辊S用于校正位置偏差。该校正辊S通过未图示的驱动装置在接近/离开玻璃基板G的侧面的方向(图4中所示的箭头方向)上同步移动，从而校正位置偏差。

接着对上述改良浮起单元12的构造进行详细说明。一般浮起单元11的基本构造和现有构造相同，仅是其上面如上所述，与改良浮起单元12的上面12a形成同一平面。因此省略其详细说明。

如图1及图2所示，改良浮起单元12在平面视图中具有呈圆形的基台21。经过该圆的中心的上下方向的中心线为改良浮起单元整体的中心线，构成改良浮起单元12的下述各部分及各部件以该中心线为基准而设置。基台21中，在其上面21a形成呈凹状球面的凹状球面部23。并且，在基台21中，在其内部形成作为基台流路的第一流路24。第一流路24形成为，一方向凹状球面部23的中央部开口，另一方在底面21b上开口。第一流路24的凹状球面部23上的开口部24a形成为锥状、宽口。另一方面，在底面21b的开口部24b的周围设置O形环26。

基台21直接放置在底座2上，通过适当的固定装置固定在底座2上。底座2中形成在其上面2a上开口的空气流路3，并放置基台21，使上述第一流路24的开口部24b和该空气流路3的开口对应。因此，从底座2外供给并在空气流路3中流通的空气被供给到第一流路24。由于基台21的底面21b和底座2的上面2a之间通过上述O形环26密封，因此可防止从其间泄漏空气。

在基台21中，在该凹状球面部23上，在平面视图下，设有比基台21半径大的呈圆形的摆动基体31。摆动基体31和下述多孔质单元41一同构成摆动体。摆动基体31的上面31a平坦地形成。与之相对，在其下面一侧、即基台21一侧，是呈凸状球面的凸状球面部33，使该凸状部分和上述基台21的凹状球面部23的凹状部分配合而进行配置。并且，凸状球面部33的曲率半径形成得与凹状球面部23的曲率半径相同。因此，凸状球面部33和凹状球面部23变为凹凸重合的状态。

上述摆动基体31收容在圆筒状的覆盖筒体34的中空部分中，覆盖筒体34具有与该摆动基体31的外径配合的内径。如上所述，在平面视图下，由于摆动基体31的外径比基台21大，因此通过该覆盖筒体34，不仅覆盖摆动基体31，而且也基本覆盖上述基台21的周围。并且，覆盖筒体34在其上面34a与摆动基体31的上面31a形成同一平面的状态下，通过螺栓36固定在摆动基体31上。

并且，在摆动基体31中，在其内部形成第二流路37。第二流路37与下述第三流路47一同构成摆动体流路。第二流路37形成为，一方在摆动基体31的上面31a的中央部开口，另一方在上述凸状球面部33的中央部(顶部部分)开口。并且，第二流路37的凸状球面部33上的开口部37a如下所述形成为窄口，即使摆动基体31倾斜时也位于第一流路24的开口部24a的范围内。

在此，摆动基体31采用了不会从上述基台21脱落的构造。对该构造进行说明。在上述覆盖筒体34的下部，其内面34b为与基台21的侧面21c相对的状态，在该覆盖筒体34的下部，贯通覆盖筒体34内外的一对贯通孔38互相位于相反侧而形成。并且，该贯通孔38中从覆盖筒体34的外面34c一侧压入防脱销39，在未从覆盖筒体34的外面34c突出的状态下固定在覆盖筒体34上。另一方面，在上述基台21的侧面21c上，一对凹部27互相位于相反侧而形成。并且，在该凹部27中浮插上述防脱销39的顶端部。即，凹部27的开口面积形成得比防脱销39的横截面略大，防脱销39有游隙地插入到凹部27。因此，即使摆动基体31及覆盖筒体34成为仅松动与该游隙对应的量的状态，也不会从基台21脱落。并且，该松动允许摆动基体31的倾斜。并且，该凹部27及防脱销39构成防脱装置及摆动限制装置。

在摆动基体31的上面31a上设有多孔质单元41，通过螺栓42固定在摆动基体31上。多孔质单元41由单元主体43和多孔质体44构成。单元主体43的上面43a上形成收容槽45，多孔质体44在从上面43a突出的状态下收容在该收容槽45中。此外，从多孔质体44的上面44a开始到凸状球面部33的下端为止的长度尺寸小于凸状球面部33的曲率半径。在收容槽45的底面形成流通槽46。并且，单元主体43的内部形成第三流路47。第三流路47形成为：一方在流通槽46的底面开，另一方在单元主体43的底面43b的中央部开口。并且，单元主体43的底面43b的开口部47a比上述第三流路37的开口部37b窄。并且，在该开口部47a的周围设有O形环49。

上述多孔质体44通过烧结三氟树脂、烧结四氟树脂这样的氟树脂形成。并且，当空气供给到上述流通槽46时，该空气经过多孔质体44的细微孔，从上面44a喷出。并且，多孔质体44除了氟树脂以外，也可由烧结尼龙树脂、烧结聚缩醛树脂等合成树脂材料、烧结铝、烧结铜、烧结不锈钢等金属材料、烧结碳、烧结陶瓷等形成。

在以上构造的改良浮起单元12中，当通过底座2的空气流路3将空气供给到基台21的第一流路24时，该空气从第一流路24经过摆动基体31的第二流路37、多孔质单元41的第三流路47及流通槽46，供给到多孔质体44。这样一来，从多孔质体44的上面44a、即从改良浮起单元12的上面12a喷出空气。通过该空气的喷出，使放置在改良浮起单元12的上面12a上的玻璃基板G浮起，产生将其在非接触状态下支撑的浮力。并且在本实施方式中，改良浮起单元12的上面12a(多孔质体44的上面44a)为喷出面。

并且，供给到第一流路24的空气也在基台21和摆动基体31之间、即凹状球面部23和凸状球面部33之间流通。通过该空气的流通，两者之间生成气膜，因此两者间的摩擦阻力消失。这样一来，由基台21的凹状球面部23和摆动基体31的凸状球面部33构成球面轴承。并且，通过该球面轴承，当来自外部的力作用于摆动基体31及多孔质单元41时，摆动基体31及多孔质单元41在上述松动范围内效仿该力，沿着凹状球面部23转动，变为相对于底座2的上面2a倾斜的状态。将其称为效仿动作。并且，在凹状球面部23和凸状球面部33之间流通的空气从凹状球面部23的外周缘部分流出，在通过基台21的侧面21c和覆盖筒体34的内面34b之间后，从位于浮起单元12下部的开口部13排出。并且，由于该开口部13朝下开口，因此空气也向下排出。

接着对校正玻璃基板G的位置偏差的装置的动作进行说明，该装置全部使用由上述改良浮起单元12和一般浮起单元11构成的多个浮起单元1。在其动作之中，针对非接触地支撑玻璃基板G的动作，特别对改良浮起单元12的动作参照图3进行详细说明。并且在图3中为使动作易于理解，省略了覆盖筒体34。

如上所述，在该位置偏差校正装置中，一般浮起单元11及改良浮起单元12在底座2上设有多个(参照图4)。并且，玻璃基板G通过未图示的传送装置放置在各浮起单元1的上面。

玻璃基板G由于对同基板G实施的各种处理，在被放置前的阶段中，其自身已经产生某种程度的弯曲。因此如图3(a)所示，在玻璃基板G被放置前的状态下，基板G和改良浮起单元12的上面12a变为非平行状态。并且，在放置玻璃基板G时，用于在凹状球面部23和凸状球面部33之间生成气膜以降低摩擦阻力的空气提供到第一流路24。这样一来，变为可进行仿效动作的状态。通过该空气供给，从改良浮起单元12的上面12a也有空气喷出，但不会产生可使玻璃基板G浮起的浮力。

并且，通过传送装置使玻璃基板G下降，并放置到各浮起单元1上。这样一来，在改良浮起单元12中，如图3(b)所示，摆动基体31及多孔质单元41仿效玻璃基板G的倾斜进行转动，变为倾斜状态，基板G在其底面与改良浮起单元12的上面12a面接触的状态下被接触支撑。

接着，空气通过底座2的空气流路3供给到各浮起单元1，从各浮起单元1的上面喷出该空气。在此提供充分的空气以产生使玻璃基板G浮起的浮力。这样一来，通过浮力的作用，玻璃基板G从各浮起单元1的上面浮起，并从该上面以微小的间隔非接触地支撑。并且，改良浮起单元12中，如图3(c)所示，其上面12a和玻璃基板G的底面(改良浮起单元12一侧的面)在大致平行地相对的状态下浮起，并在该状态下非接触地被支撑。因此，从改良浮起单元12的上面12a喷出的空气所产生的浮力可切实地作用于玻璃基板G，基板G接触到其上面12a的可能性几乎没有。当该改良浮起单元12设置在产生以下问题的地方：使用一般浮起单元11时因基板G的弯曲而接触的地方，即图4中的前后左右两个端部上，从而可解决接触的问题。

之后，通过设置在玻璃基板G的周围的多个校正辊S，位置偏差被校正。在该实施方式中，通过使用改良浮起单元12，可解决玻璃基板G和浮起单元1的接触问题，因此在进行该位置偏差校正时，不会对玻璃基板G造成损伤。

如上所述，根据本实施方式，会具有以下良好的效果。

根据本实施方式，当因玻璃基板G自身的弯曲，即使基板G和改良浮起单元12的上面12a处于非平行状态，当该基板G放置在改良浮起单元12的上面12a上时，摆动基体31及多孔质单元41仿效玻璃基板G的倾斜而转动。通过该仿效动作，改良浮起单元12的上面12a仿效玻璃基板G的倾斜而倾斜，在基板G的底面与其上面12a面接触的状态下，基板G支撑在改良浮起单元12上。如果在该状态下使空气从其上面12a喷出，则玻璃基板G在其底面与上面12a大致平行相对的状态下浮起，空气喷出产生的浮力可切实作用于基板G。因此，在因玻璃基板G倾斜使空气逃逸到外部并易于接触的基板G的端部，如果配置该改良浮起单元12，则在该端部也可切实以非接触的状态保持基板G。

并且，改良浮起单元12伴随玻璃基板G的弯曲可使浮力切实产生作用，因此在基板G大幅弯曲的情况下，也可切实地进行非接触的保持。这样一来，可减少浮起单元1的设置个数(减少浮力产生处)，并使玻璃基板G产生较大的弯曲。因此，也派生出可减少浮起单元1的设置个数并降低成本的有益之处。

在本实施方式中，通过由凹状球面部23和凸状球面部33构成的球面轴承支撑摆动基体31及多孔质单元41，从而可使改良浮起单元12的上面12a自由倾斜。因此可以简单的构造实现该上面12a向任意方向的自由倾斜。

在本实施方式中，通过基台21和摆动基体31之间的空气，球面轴承中的摩擦阻力消失，即使仅作用微小的外力，也可使改良浮起单元12的上面12a以顺利的动作倾斜。并且，基台21和摆动基体31是非接触的，因此上面12a倾斜时不会产生尘埃，适用设置在超净室内。

在本实施方式中，如果向第一流路24供给空气，则可同时进行向凹状球面部23和凸状球面部33之间的空气供给、及向改良浮起单元12的上面12a的空气供给。因此，可使向改良浮起单元12的空气供给路径为同一条，可简化配管构成。

在本实施方式中，在连接第一流路24和第二流路37的部分，第一流路中24的开口部24a形成为锥状且宽口，第二流路的开口部37a为窄口。因此，在摆动基体31及多孔质单元41仿效玻璃基板G的倾斜而倾斜的状态下，也在该开口部24a的范围内配置第二流路37的开口部37a。这样一来，即使摆动基体31及多孔质单元41倾斜，第二流路37的开口部37a也不会产生一部分或全部闭塞而使空气流通堵塞的情况，可向浮起单元12的上面12a进行充分的空气供给。

在本实施方式中，由于防脱销39浮插在基台21的凹部27，因此可限制摆动基体31及多孔质单元41的倾斜动作，同时可防止其从基台21脱落。因此，改良浮起单元12的上面12a的倾斜动作稳定，并且该倾斜状态可稳定地保持。并且由于起到防止脱落和限制摆动两个作用，因此可减少配件个数，使构造简单化。

在本实施方式中，由于通过覆盖筒体34隐蔽基台21的侧面21c的上部，因此经过球面轴承部件、即经过凹状球面部23和凸状球面部33之间的空气，经过基台21的侧面21c和覆盖筒体34的内面34b之间，从开口部13排出。并且，由于该开口部13向下开口，所以空气也向下排出。因此，可降低排出空气吹向玻璃基板G的可能性。

(第二实施方式)

在以下说明中，对与上述第一实施方式的不同点参照图5进行说明，对相同的部分省略其说明。并且，构成改良浮起单元50的下述各部分及各部件以改良浮起单元50的中心线为基准设置。

如图5所示，基台21的内部形成上下贯通的、其孔径比空气流路3的流路径大的安装孔51，在单元主体43的底面43b上形成与安装孔51的孔径具有相同槽径的安装槽52。并且，在单元主体43的内部，形成一方在安装槽52的底面开口，另一方在流通槽46的底面开口的空气流路53。并且，在摆动基体31的内部形成上下贯通的、其孔径比安装孔51大的收容孔54。并且，从安装孔51到安装槽52插入弹性管55。

弹性管55的两端粘接到安装孔51及安装槽52的壁面。通过该粘接，弹性管55和安装孔51及安装槽52的壁面之间变为气密状态。并且，通过弹性管55，摆动基体31及多孔质单元41被定位在浮起单元50的上面50a变为水平的位置。弹性管55的内径与空气流路3的流路径相同，从空气流路3供给的空气经过弹性管55内，并供给到多孔质体44。在本实施方式中，凹状球面部23和凸状球面部33的球面轴承由滑动轴承构成，但如上所述由于变为气密状态，因此空气不会泄漏到两个球面部23、33之间。

弹性管55的外周面和收容孔54的壁面之间形成作为变形允许空间的空隙。这样一来，在玻璃基板G支撑操作时，允许伴随仿效动作的弹性管55的变形，进一步可防止进行效仿动作时，收容孔54的下侧端部与弹性管55冲突。因此，在设有弹性管55的构造下，不会妨碍效仿动作。另一方面，在进行完玻璃基板G的支撑操作后，通过弹性管55的施力，摆动基体31及多孔质单元41恢复为初始位置(上面50a变为水平的位置)。

如上所述，本实施方式具有以下良好效果。

根据本实施方式，通过弹性管55的施力，在进行完玻璃基板G的支撑操作后，摆动基体31及多孔质单元41自然地恢复到初始位置。这样一来，在下一次操作中，把玻璃基板G放置到上面50a上时，可使玻璃基板G不接触到多孔质体44的角部分，可进行适当的放置操作。这种情况下，由于弹性管55的外周面和收容孔54的壁面之间形成空隙，因此不会妨碍效仿动作。

并且，向多孔质体44的空气供给通过弹性管55内来进行，该空气不会在中途泄漏地全部提供到多孔质体44。因此可向多孔质体44进行充分的空气供给，进一步可抑制向浮起单元50的空气供给量，并降低运行成本。

并且，通过设置弹性管55，附加了使摆动基体31及多孔质单元41恢复到初始位置的功能、及防止空气泄漏的功能。这样一来，可以简单的构造附加两个功能。

(第三实施方式)

接着对第三实施方式参照附图进行说明。图6是浮起单元的截面图(图7的B-B线截面图)，图7是浮起单元的斜视图，图8是将图6分解的截面图，图9是表示O形环的作用的说明图，图10是表示从玻璃基板放置开始到浮起为止的状况的示意图。

如图6所示，改良浮起单元112具有支撑体121、和由该支撑体121自由摆动地支撑的摆动主体131。

如图6及图8所示，支撑体121具有向上下方向延伸的轴部122，其基端部设有被固定部123。并且，轴部122的顶端一侧设有呈球面形状的作为支撑部的球体部124。支撑体121上设有作为支撑体流路的空气通路125，该空气通路在向球体部124的上端和被固定部123的底面具有开口(以下分别称为上侧开口、下侧开口)。轴部122的中心线与通过被固定部123、球体部124及空气通路125的中心的上下方向的中心线一致，其作为改良浮起单元112整体的中心线。并且，构成改良浮起单元112的下述各部及各部件以该中心线为基准而设置。

如图6至图8所示，上述摆动主体131外形呈圆柱状，在其下面的中央部设有可收容球体部124的收容凹部132。收容凹部132的开口周边形成阶部(段部)132b。该阶部132b中收容作为密封装置的O形环133。

在摆动主体131的内部形成作为摆动体流路的空气通路134，该通路具有在该收容凹部132内的上面132a上具有开口(下侧开口)。并且，对空气通路134的另一个开口(上侧开口)在稍后论述。空气通路134的下侧开口形成得比支撑体121上形成的上述空气通路125的上侧开口宽。并且，在下侧开口的周边整体上形成作为被支撑部的锥面135。并且，由该锥面135包围的空间与收容凹部132内的空间是连续的，通过这些空间形成支撑空间。

收容凹部132中收容支撑体121的球体部124。在该收容状态下，球体部124的下部变为从摆动主体131的下面突出的状态。并且，球体部124的球面124a上部抵接到上述锥面135，通过该抵接，摆动主体131可自由摆动地支撑在支撑体121上。

并且，摆动主体131的上面131a平坦地形成，在该上面131a上形成收容槽136。收容槽136中多孔质体137在从上面131a突出的状态下被收容。多孔质体137由烧结三氟树脂、烧结四氟树脂这样的氟树脂形成。收容槽136的底面形成流通槽138。摆动主体131中形成的上述空气通路134在该流通槽138的底面开口，该开口为上侧开口。因此，流通槽138为与空气通路134及支撑体121的空气通路125连通的状态。并且，当通过这些空气通路125、134向上述流通槽138供给空气时，该空气通过多孔质体137的细微孔，从上面137a喷出。并且，多孔质体137除了氟树脂以外，也可由烧结尼龙树脂、烧结聚缩醛树脂等合成树脂材料、烧结铝、烧结铜、烧结不锈钢等金属材料、烧结碳、烧结陶瓷等形成。

摆动主体131的下面设有用于堵塞该开口的平板状的闭塞部件141。在本实施方式中，摆动主体131和闭塞部件141构成摆动体。闭塞部件141呈板状，平面形状形成得与摆动主体131相同。闭塞部件141，使其上面141a与摆动主体131的下面配合而设置，并在该状态下通过未图示的螺栓等固定装置固定到摆动主体131。并且，通过设置在摆动主体131一侧的上述O形环133，摆动主体131和闭塞部件141之间被密封。

在闭塞部件141的中央部形成可插通上述支撑体121的轴部122及被固定部123的插通孔143。并且，当闭塞部件141组装到摆动主体131时，成为支撑体121的轴部122插通于该插通孔143的状态。

并且，在闭塞部件141中，在其上面141a的插通孔143周边部形成环状槽145。环状槽145的内侧周缘和插通孔143周缘构成同一平面，该平面146比闭塞部件141的上面141a靠下。环状槽145中收容作为密封装置的O形环147。O形环147为与上述支撑体121的球体部124的球面124a抵接的状态。因此，通过O形环，该球面124a和闭塞部件141的插通孔143周边部之间被密封。

因此，通过O形环133、147，可防止摆动主体131内的空气泄漏到外部。并且，O形环133、147还具有以下功能：将制造支撑体121、摆动主体131及闭塞部件141的各部件时所产生的误差通过其过盈量来吸收的功能。这样一来，这些部件无需分别进行高精度的加工。

接着对具有上述构造的改良浮起单元112的作用进行说明。

支撑体121直接放置在底座2上，在通过被固定部123通过未图示的螺栓等固定装置固定在底座2上。如图6所示，底座2上形成在其上面2a开口的空气流路103，使支撑体121的空气通路125的下侧开口与该空气流路103的开口配合而放置支撑体121。因此，在空气流路103中流通的空气供给到空气通路125。并且，底座2的上面2a和被固定部123的底面之间通过未图示的O形环等被密封。

供给到空气通路125的空气经过摆动主体131的空气通路134及流通槽138而供给到多孔质体137。并且，从多孔质体137的上面137a、即从改良浮起单元112的上面112a喷出空气。通过该空气的喷出，使放置在改良浮起单元112的上面112a的玻璃基板G浮起，并生成以在非接触状态对其进行支撑的浮力。在本实施方式中，改良浮起单元112的上面112a(多孔质体137的上面137a)成为喷出面。

并且，从空气通路125的上侧开口流出的空气的一部分流经球体部124的球面124a和锥面135之间，并导入到收容凹部132内，但由于O形环133、147的密封功能，该空气不会泄漏到外部。

并且，当来自外部的力作用于摆动主体131时，摆动主体131及闭塞部件141效仿该力，在球体部124的球面124a和锥面135的抵接部分一边滑动，一边相对支撑体121倾斜。该倾斜以以下状态为基准：改良浮起单元112的上面112a相对于作为支撑体121的设置面的底座2的上面2a变为水平的状态。此时，球体部124和锥面135的接触是形成了锥面135的圆周方向的线接触，两者之间产生的滑动阻力被降低。并且，摆动主体131在O形环147和球体部124的球面124a的抵接部分也一边滑动一边倾斜，在倾斜中及倾斜后的状态下，O形环147和球体部124的球面124a之间的密封功能也被保持。

但是在改良浮起单元112中，如上所述，采用了使O形环147收容在环状槽145的构成。在此对其意义进行说明。

如图9(a)及(b)所示，O形环147在其环的外侧受到导入到收容凹部132内的空气的压力。因此O形环147要向其内侧缩小。如图9(a)所示，在仅将O形环147的收容处设置在台阶部149的构造下，在O形环147的内侧，仅与球体部124的球面124a抵接。因此，当O形环147向其内部缩小时，大部分缩小力变换为对球面124a的挤压力。因此在该构造下，O形环147挤压球面124a的力(密封力)大幅增大，O形环147和球面124a的滑动阻力变大。这样一来，当摆动主体131接收到来自外部的力并倾斜时，会产生难于进行该倾斜运动的问题。

而在改良浮起单元112中，如图9(b)所示，其构造是，使O形环147收容在环状槽145中，并设置与O形环147的内侧抵接的侧壁面145a。在该构造下，当O形环147向其内侧缩小时，其产生的缩小力不仅变为对球体部124的球面124a的挤压力，而且变为对侧壁面145a的挤压力。更为具体而言，O形环147在侧壁面145a的上端部附近与侧壁面145a压接，该压接部分的下方区域作为环状槽145内的变形力而被消耗，仅压接部分的上方区域变换为对球面124a的挤压力。通过这种力的分散，对球面124a的挤压力与未设置侧壁面145a的构造(参照图9(a))相比相对变小。这样一来，O形环147即使受到收容凹部132内的空气压力而滑动阻力变高时，也可抑制其升高，易于进行摆动主体131的倾斜运动。

接着对利用了由如上所述的改良浮起单元112和一般浮起单元11构成的多个浮起单元1并用于校正玻璃基板G的位置偏差的装置的动作进行说明。在该动作中，针对非接触支撑玻璃基板G的动作，参照图10对改良浮起单元112的动作特别进行详细说明。

该位置偏差校正装置与图4所示的校正偏差装置具有同样的构造，一般浮起单元11及改良浮起单元112在底座2上设有多个(参照图4)。并且，玻璃基板G首先通过未图示的传送装置放置在各浮起单元1上。

玻璃基板G，由于对同基板G实施的各种处理而在被放置前的阶段中，其自身已经产生某种程度的弯曲。因此如图10(a)所示，在玻璃基板G被放置前的状态下，基板G和改良浮起单元112的上面112a变为非平行状态。并且，通过传送装置使玻璃基板G下降，并放置在各浮起单元1上。这样一来，在改良浮起单元112中，如图10(b)所示，摆动主体131及闭塞部件141仿效玻璃基板G的倾斜而倾斜。玻璃基板G在其底面与改良浮起单元112的上面112a面接触的状态下被接触支撑。

接着，空气通过底座2的空气流路103供给到各浮起单元1，从各浮起单元1的上面喷出该空气。从而通过该空气喷出产生浮力，由于该浮力，玻璃基板G从各浮起单元1的上面浮起，并从该上面以微小的间隔非接触地支撑。并且，改良浮起单元112中，如图10(c)所示，其上面112a和玻璃基板G的底面(改良浮起单元112一侧的面)在大致平行地相对的状态下浮起，并在该状态下非接触地被支撑。并且，玻璃基板G从上面112a浮起的浮起量实际为数μm一数十μm左右，为了便于说明，在图10(c)中，将该浮起量较大地图示。因此，从改良浮起单元112的上面112a喷出的空气所产生的浮力可切实地作用于玻璃基板G，基板G接触到其上面112a的可能性几乎没有。当该改良浮起单元112设置在使用一般浮起单元11时产生因基板G的弯曲而接触的问题的地方，即图9中的前后左右两个端部上，因而可解决接触的问题。

之后，通过设置在玻璃基板G的周围的多个校正辊S，位置偏差被校正。在该实施方式中，通过使用改良浮起单元112，可解决玻璃基板G和浮起单元1的接触问题，因此在进行该位置偏差校正时，不会对玻璃基板G造成损伤。

如上所述，根据第三实施方式，会具有以下良好的效果。

根据本实施方式，当玻璃基板G自身有弯曲时，摆动主体131及闭塞部件141也效仿该弯曲的倾斜而倾斜。通过该效仿动作，可使空气喷出形成的浮力切实地作用于玻璃基板G。因此，在因玻璃基板G倾斜使空气逃逸到外部而易于接触的基板G的端部，如果配置该改良浮起单元112，则在该端部也可切实以非接触的状态保持基板G。

并且如上所述，由于改良浮起单元112即使在玻璃基板G弯曲的情况下，也可伴随玻璃基板G的弯曲使浮力切实产生作用，因此可切实地进行非接触的保持。这样一来，可减少浮起单元1的设置个数(减少浮力产生处)，并可以使玻璃基板G产生较大的弯曲。因此，也派生出可减少浮起单元1的设置个数并降低成本的有益之处。

并且，在本实施方式中，改良浮起单元112的构造是不使空气泄漏到其外部。因此，可抑制如下情况：使用于从改良浮起单元112的上面112a喷出而供给的空气不从其上面112a喷出而流出到外部，无端消耗。空气的无端消耗会导致用于生成压缩空气的压缩机驱动量的增大，进而导致运行成本的增加，而本实施方式中，通过抑制空气的无端消耗，可抑制运行成本。

进一步，在本实施方式中，O形环147不是仅收容在台阶部，而是收容在环状槽145中，并设置与O形环147的内侧抵接的侧壁面145a。因此，即使从其外侧向O形环147作用收容凹部132内的空气压力，也可抑制挤压球体部124的球面124a的力(密封力)的增加，并抑制滑动阻力的增大。这样一来，可抑制使摆动主体131难于进行倾斜运动的问题。

(第四实施方式)

以下对第四实施方式参照附图进行说明。该第四实施方式是与上述第三实施方式的改良浮起单元112不同的构造。但同样以改良浮起单元为名称进行说明。并且，图11是浮起单元的截面图，图12是将O形环部分扩大后的一部分截面图，图13是分解了图11的截面图。

如图11及图13所示，该第四实施方式的改良浮起单元160具有支撑体161、和通过该支撑体可自由摆动支撑的作为摆动体的摆动主体171。

支撑体161具有和第三实施方式的支撑体121相同的构造。即，在具有轴部162、被固定部163及球体部164的同时，设有作为支撑体流路的空气通路165。空气通路165具有上侧开口和下侧开口。并且，轴部162的中心轴线与通过被固定部163、作为支撑部的球体部164及空气通路165的中心的上下方向的中心线一致，将其作为改良浮起单元160整体的中心线。并且，构成改良浮起单元160的下述各部分及各部件以该中心线为基准而设置。

上述摆动主体171外形呈圆柱状，由上部构成体172和下部构成体173构成。两个构成体172、173具有相同的横截面积。上部构成体172中，在其下面的中央部形成可收容球体部164的上侧凹部174。形成上侧凹部174的侧壁在整个圆周上成为作为被支撑部的上侧锥面175，上侧凹部174形成为向下的研钵状。

在下部构成体173中，在其上面的中央部形成可收容球体部124的下部的下侧凹部176。在下侧凹部176的上侧开口边缘部设有台阶部177。比台阶部177靠下形成下侧凹部176的侧壁，在整个圆周上成为作为抵接面或抵接部的下侧锥面178，下侧凹部176形成向上的研钵状。并且，下侧锥面178与上述上侧锥面175呈对称的形状，互相夹着台阶部177呈上下相反的形状。并且，下侧凹部176的底部贯通到下部构成体173的下面，在下部构成体173的下面中央部形成贯通孔179的开口。贯通孔179形成得可插通有支撑体161的轴部162及被固定部163。

使上部构成体172的下面和下部构成体173的上面配合并用未图示的螺栓等固定装置将两者固定后，由上侧凹部174和下侧凹部176形成作为支撑空间的收容空间180。在该收容空间180中收容有支撑体161的球体部164，在该收容状态下，通过贯通孔179，轴部162和被固定部163成为从下部构成体173的下面突出的状态。并且，在球体部164的上部，球面164a和上侧锥面175抵接，在球体部164的下部球面164a和下侧锥面178变为抵接状态。如上所述，由于上侧锥面175和下侧锥面178是上下对称的形状，因此与球面164a抵接的位置也是上下对称。并且，上部构成体172和下部构成体173一体构成摆动主体171，通过使上侧锥面175与球体部164的球面164a抵接，而自由摆动地支撑在支撑体161上。并且，通过下侧锥面178和球面164a的抵接，该支撑状态被稳定地保持。

并且，摆动主体171具有多孔质体181，其构成为从该多孔质体181的上面181a喷出空气。其具体构造如下所述。并且，多孔质体181自身的构造与第一实施方式中的多孔质体137相同。

构成摆动主体171的上部构成体172中，在其平坦的上面172a的中央部形成收容槽182。收容槽182中，多孔质体181在从上面172a突出的状态下被收容。在收容槽182的底面形成流通槽183。在上部构成体172中，在其内部形成作为摆动体流路的空气通路184。该空气通路184的一方在流通槽183的底面开口，与上述上侧凹部174的底部对应的位置直接变为另一方的开口。因此，流通槽183变为与摆动主体171的空气通路184(具体而言是上部构成体172的空气通路184)及支撑体161的空气通路165连通的状态。当空气通过这些空气通路165、184供给到流通槽183时，该空气经过多孔质体181的细微孔，并从上面181a喷出。

并且，如图12所示，当使上部构成体172和下部构成体173一体化时，在由上侧凹部174的开口周边部分的下面、及上述下侧凹部176的台阶部177形成的环状槽185中，设有作为密封装置的O形环186。O形环186以与球体部164的球面164a、上侧凹部174的开口部分的下面、及台阶部177的壁面抵接的状态进行设置。由于在台阶部177的上下设有对称的锥面175、178，因此上述环状槽185配置在形成收容空间180的壁面的上下方向的中央部。因此，O形环186在以球体部164的中心线为基准的赤道部分，成为在整个圆周方向上与球体部164的球面164a抵接的状态。通过该一个O形环186，球体部164、上部构成体172及下部构成体173三者被密封，防止在摆动主体171内部流通的空气泄漏到外部。

接着对具有如上构造的改良浮起单元160的作用进行说明。

支撑体161与第三实施方式一样固定在底座2上，空气供给到空气通路165。该供给空气从多孔质体181的上面181a、即改良浮起单元160的上面160a喷出。通过该空气喷出而生成浮力，使放置在改良浮起单元160上面160a上的玻璃基板G浮起。在本实施方式中，改良浮起单元160的上面160a(多孔质体181的上面181a)为喷出面。

并且，从空气通路165的上侧开口流出的空气的一部分经过球体部164的球面164a和上侧锥面175的抵接部分，并到达其之下的空间，但由于O形环186，该空气不会泄漏到外部。

并且，当来自外部的力作用于摆动主体171时，摆动主体171效仿该力，在球体部164的与上下锥面175、178的抵接部分一边滑动，一边相对支撑体161倾斜。此时，球体部164和锥面175、178的接触是形成锥面175、178的圆周方向的线接触，两者之间产生的滑动阻力降低。摆动主体171在O形环186和球体部164的球面164a的抵接部分也一边滑动一边倾斜，在倾斜中及倾斜后的状态下，O形环186和球体部164的球面164a之间的密封功能也被保持。

并且，由于O形环186是与球体部164与其赤道部分抵接的构造，因此如图12所示，经过球体部164的球面164a和上侧锥面175的抵接部分的空气的压力作用于O形环186的环内侧。受此压力，O形环186要向其外侧扩张。并且，在这种O形环186的配置构造中，O形环186向其内侧缩小的力、即挤压力难于增大。因此即使O形环186受到空气的压力，也可抑制与球体部164之间生成的滑动阻力的升高，易于进行摆动主体171的倾斜运动。

如果将上述第四实施方式的改良浮起单元160用于校正玻璃基板G的位置的装置上，可解决使玻璃基板浮起时接触的问题。

因此，根据第四实施方式，其具有以下良好的效果。

在本实施方式中，即使玻璃基板G自身有弯曲，摆动主体171也可以效仿该弯曲的倾斜而倾斜。通过该效仿动作，可使空气喷出形成的浮力切实地作用于玻璃基板G。因此，可获得与第三实施方式一样的效果。

并且，在本实施方式中，改良浮起单元160的构造是不使空气泄漏到其外部。因此，可抑制如下情况：用于从改良浮起单元160的上面160a喷出而供给的空气不从其上面160a喷出而流出到外部，无端消耗。

在本实施方式中，防止空气泄漏到摆动主体171的外部的O形环186，配置于在球体部164的赤道部分与球面164a抵接的位置。因此，从该环内侧空气压力作用于O形环186。由于O形环186受此压力向其外侧扩张，因此挤压球体部164的球面164a的挤压力难于增加。这样一来，即使O形环186受到空气的压力也可抑制与球体部164的球面164a之间产生的滑动阻力的升高。

在本实施方式中，由上部构成体172和下部构成体173形成的环状槽185上设有O形环，且设置在该环状槽185上的O形环186构成为也与球体部164的球面164a抵接。因此，通过一个O形环186可密封上部构成体172、下部构成体173、球体部164三者间。这样一来，由于无需设置多个O形环，因此可减少配件个数，并降低制造成本。

(第五实施方式)

以下参照图14对第五实施方式进行说明。对于该第五实施方式中的改良浮起单元190，仅说明与在第四实施方式中所说明的改良浮起单元160不同的部分，对于其他共通部分赋予相同的标号，并省略其说明。

本实施方式的改良浮起单元190与上述改良浮起单元160相比，在以下各点上不同。即，在上述改良浮起单元160中，在下部构成体173上形成台阶部177，在下部构成体173的上端部分形成环状槽185，而在本实施方式的改良浮起单元190中，上述环状槽185形成在上部构成体172的下端部分。其结果是，收容在其中的O形环186配置在球体部164的球面164a中心的上方。并且，O形环186的紧固力不仅变为确保与球面164a之间的密封的密封力，而且也变为相对于球体部164向上挤压摆动主体171的力。并且，其结果是，在本实施方式的改良浮起单元190中，球体部164的球面164a在与下侧锥面178抵接的同时也与0形环186抵接，但与上侧锥面175变为非接触状态，存在预定的间隙。

因此，根据第五实施方式，可获得如下良好效果。

在本实施方式中，即使玻璃基板G自身有弯曲，摆动主体171也效仿该弯曲的倾斜而倾斜。通过该效仿动作，可使空气喷出形成的浮力切实地作用于玻璃基板G。因此，可获得与第三及第四实施方式一样的效果。

并且，在本实施方式中，改良浮起单元190的构造是不使空气泄漏到其外部。因此，可抑制如下的情况：用于从改良浮起单元190的上面160a喷出而供给的空气不从其上面160a喷出而流出到外部，无端消耗。

在本实施方式中，防止空气泄漏到摆动主体171的外部的O形环186配置在从球体部164的外周抵接球面164a的位置。因此，空气的压力从O形环186的内侧作用于该环。由于O形环受此压力向其外侧扩张，因此挤压球体部164的球面164a的挤压力难于增加。并且O形环186配置于在比球体部164的赤道部分靠上的上方与球面164a抵接的位置。当施加到多孔质体181的空气压力升高时，相对于支撑体161使摆动主体171向上升起的力产生作用，但由于该力不会变为向压挤O形环186的方向的力，因此挤压球体部164的球面164a的挤压力不会增加。如上所述，除了使空气压力作用于O形环186的内周一侧这样的和第三、第四实施方式同样的特征外，还具有使O形环186配置在比球面164a的中心靠上的位置的配置上的特征，因而即使受到空气的压力，也可进一步抑制与球体部164的球面164a之间生成的滑动阻力。

在本实施方式中，在由上部构成体172和下部构成体173形成的环状槽185中设有O形环，且设置在该环状槽185上的O形环186构成为也与球体部164的球面164a抵接。因此，用一个O形环186可密封上部构成体172、下部构成体173、球体部164三者。这样一来，由于无需设置多个O形环，因此可减少配件个数，并降低制造成本。

在本实施方式中，支撑体161和摆动主体171之间的密封仅通过O形环186来进行，未采用在第四实施方式中所示的使上侧锥面175和球面164a抵接的金属密封，在上侧锥面175和球面164a之间主动地形成间隙。因此，上侧锥面175和球面164a之间的空气流通变得顺利，并可抑制空气在上侧锥面175和球面164a之间流通时所担心产生的空气振动。

(第六实施方式)

接着对第六实施方式参照图15及图16进行说明。并且图15是浮起单元的截面图，图16是浮起单元的分解截面图。

如图15及图16所示，改良浮起单元200具有支撑体211、和通过该支撑体211自由摆动地支撑的作为摆动体的摆动主体221。

上述支撑体211具有基部212。在基部212的上端形成向上延伸的上侧轴部213，下端形成向下延伸的下侧轴部214。在上侧轴部213的上端面设有从该上端面向上延伸的安装轴部215。上侧轴部213、下侧轴部214及安装轴部215的横截面分别形成圆形，安装轴部215的横截面积形成得比上侧轴部213的略小。因此，上侧轴部213的上端面中，除安装轴部215以外的部分变为圆环状的球体支撑面213a。上侧轴部213、安装轴部215及下侧轴部214的中心线是相同的，其轴线也是支撑体211的中心轴线。沿着该中心轴线，在支撑体211中，一条直线状地设有在安装轴部215的上端面和下侧轴部的下端面具有开口(以下分别称为上侧开口、下侧开口)的作为支撑体流路的空气通路216。并且，该支撑体211的中心轴线也是改良浮起单元200的中心线，以其为基准设有下述各部分及各部件。

如图16所示，上述上侧轴部213及上述安装轴部215上插通一对平垫圈236、237及波形垫圈238。平垫圈236、237使用在其内周缘进行了倒角加工的结构。各垫圈236-238从基部212一侧开始，以第二垫圈237、作为挤压装置及施力装置的波形垫圈238、作为抵接部件的第一垫圈236的顺序插通在上述两个轴部213、215上，变为一对平垫圈236、237之间介入波形垫圈238的状态。

并且，安装轴部215上设有球体部217。上述球体部217上形成与安装轴部215的横截面具有大致同一形状的贯通孔218。球体部217上形成与贯通孔218的中心线垂直相交的一对端面，贯通孔218在其两个端面上开口。两个端面中的一个成为球体被支撑面217b，该被支撑面中，除贯通孔218的开口以外的部分形成为与上述上侧轴部213的球体支撑面213a同一形状且同一面积的圆环状。此外，为了便于说明，另一个端面为上端面217c。并且，将球体被支撑面217b设置在下，并向球体部217的贯通孔218压入安装轴部215，直到球体被支撑面217b和球体支撑面213a抵接为止，这样一来，球体部217安装到安装轴部215。由于球体部217的球体被支撑面217b和上端面217c之间形成得长于安装轴部215，因此在球体部217被安装的状态下，安装轴部215的上端位于球体部217的上端面217c的下方。

在上述下侧轴部214的下端部形成螺钉槽等被安装部219。并且，通过该被安装部219，支撑体211安装到底座2等安装对象上。

接着如图15所示，上述摆动主体221的纵截面大致呈T字状地形成。在摆动主体221的下面的中央部形成可收容上述球体部217的收容凹部222。通过该收容凹部222形成支撑空间。收容凹部222由形成在摆动主体221下面的第一凹部223、及形成在该第一凹部223的底面223a的第二凹部225构成。

上述第一凹部223形成为，在摆动主体221的横截面中呈与上述支撑体211上设置的一对平垫圈236、237的外径大致相同径长的圆形。在形成第一凹部223的内周面223b中形成环状的安装槽224。另一方面，上述第二凹部225在摆动主体221的横截面中也呈圆形地形成。在该第二凹部225的底面225a中设有作为密封装置的O形环226。该O形环是具有与第二凹部225的半径大致为相同外径的环，在与第二凹部225的底面225a及形成该凹部225的内周面225b抵接的状态下配置。并且，该第二凹部225与第一凹部223同时形成支撑空间，且兼用作密封安装槽。

在上述第二凹部225中收容上述支撑体211的上述球体部217。在该收容状态下，球体部217的球面217a在其上部与上述O形环226抵接。并且，在O形环226和球体部217抵接的状态下，球体部217的上端面变为从第二凹部225的底面向下离开的状态。通过该O形环226和球体部217的球面的抵接，摆动主体221相对支撑体211自由摆动地支撑。

并且，在上述球体部217收容在上述第二凹部225中的状态下，设置在上述支撑体211的各垫圈偏向球体部217侧，变为使第一垫圈的内周缘部和球体部217的球面217a抵接的状态。并且，在该状态下，上述第一凹部223的内周面223b上形成的上述安装槽224上设有卡环227。这样一来，卡环227与第二垫圈237抵接，各垫圈236-238的向上述基部212一侧的移动受到限制，第一垫圈236在其内周缘部在与球体部217的球面217a抵接的状态下被保持。并且，通过介于一对平垫圈236、237之间的波形垫圈238，第一垫圈236被向上方加力，与球体部217的球面217a的抵接力提高。除此之外，通过第二垫圈237，卡环227被向下加力并挤压安装槽224的壁面。这样一来，可防止卡环227和安装槽224之间产生松动。

在上述第二凹部225的底面中，在上述O形环226的内侧且与上述球体部217的上端面217c相对的部分中，形成具有比该上端面217c大的开口的导入槽228。并且，摆动主体221的上面221a平坦形成，在该上面221a中形成收容槽229。收容槽229中，多孔质体230在从上面221a突出的状态下被收容。多孔质体230通过烧结三氟树脂、烧结四氟树脂这样的氟树脂形成。在收容槽229的底面形成流通槽231。摆动主体221中一条直线状地形成空气通路232，该空气通路在该流通槽231的底面和上述导入槽228的底面开口，并连通两个槽228、231。由于该空气通路232，流通槽231通过由第二凹部225的O形环226密封的空间，变为也和支撑体211的空气通路216连通的状态。并且，当空气通过这些空气通路216、232供给到上述流通槽231时，该空气经过多孔质体230的细微孔，从上面230a喷出。在本实施方式中，该多孔质体230的上面230a为喷出面。并且，多孔质体230除了氟树脂以外，也可由烧结尼龙树脂、烧结聚缩醛树脂等合成树脂材料、烧结铝、烧结铜、烧结不锈钢等金属材料、烧结碳、烧结陶瓷等形成。

接着对如上构成的改良浮起单元200的作用进行说明。

支撑体211通过在其下侧轴部214上设置的被安装部219安装在安装对象上，空气供给到空气通路216。该供给空气从多孔质体230的上面230a、即改良浮起单元200的上面200a喷出。通过该空气喷出产生浮力，使放置在改良浮起单元200的上面200a的玻璃基板G浮起。

并且，从支撑体211的空气通路216的上侧开口流出的空气的一部分经过第二凹部225内到达导入槽228，但因O形环226而不会使空气泄漏到外部。并且，通过空气的流通，O形环226的内侧的内压变高，该内压从内侧作用于O形环226。这样一来，O形环226的半径要扩大，挤压球体部217的球面217a、第二凹部225的底面225a及内周面225b的力增大。并且，通过这种内压的增大，可获得切实的密封力，因此O形环的压缩余量(潰レ代)为10％以下即可。

并且，当来自外部的力作用于摆动主体221时，摆动主体221效仿该力，在球体部217的球面217a和O形环226的抵接部分滑动的同时，相对支撑体211倾斜。此时，球面217a和O形环226的接触是圆周方向的线接触，两者之间产生的滑动阻力降低。摆动主体221在球体部217的球面217a和第一垫圈236的内周缘部的抵接部分也一边滑动一边倾斜，由于波形垫圈238的施加力，在倾斜中或倾斜后的状态下，也保持两者的抵接状态。并且，O形环226和球体部217的球面217a之间的密封功能也在摆动主体221倾斜中及倾斜后的状态下被保持。

因此，如果将上述第六实施方式的改良浮起单元200用于校正玻璃基板G的位置的装置，则可解决使玻璃基板G浮起时的接触问题。

因此，根据第六实施方式，具有以下良好的效果。

在本实施方式中，即使玻璃基板G自身有弯曲，摆动主体221也效仿该弯曲的倾斜而倾斜。通过该效仿动作，可使空气喷出形成的浮力切实地作用于玻璃基板G。因此，可获得与第三至第五实施方式一样的效果。

并且，在本实施方式中，改良浮起单元200通过O形环226和球体部217的球面217a的抵接、及O形环226和第二凹部225的底面225a及内周面225b的抵接，使空气不会泄漏到O形环226之外。因此，可抑制如下的情况：用于从改良浮起单元200的上面200a喷出而供给的空气不从其上面200a喷出而流出到外部，无端消耗。

在本实施方式中，构成为使第二凹部225内设置的O形环226和球体部217的球面217a抵接，通过该抵接支撑体211自由摆动地支撑摆动主体221。这种构造是简单的，并且无需高精度的加工。另一方面，在将球体部217的上下用锥面夹持而使摆动主体221自由摆动的构造中，需要进行高精度的加工及组装，与之相比可降低成本。

在本实施方式中，在支撑体211上设置在球体部217的下部与该球面217a抵接的第一垫圈236。因此球体部217的下部与第一垫圈236抵接，可使球体部217以稳定的状态保持。并且，通过波形垫圈238的施力，第一垫圈236挤压球面217a的力增大，可切实保持第一垫圈236和球体部217之间的抵接状态。进一步，当摆动主体221倾斜时，在其倾斜中及倾斜后也可切实保持两者的抵接状态。这样一来，可使球体部217的保持较为稳定，且有助于使摆动主体221的支撑及摆动稳定化。

在本实施方式中，限制各垫圈236-238向下的移动，第一垫圈236与球体部217的球面217a抵接的状态仅通过卡环227保持。因此，与用螺栓紧固闭塞部件获得同样作用的构造相比，配件个数减少。这样一来有助于降低成本。但是，当仅使用卡环227时，该环227和安装槽224之间产生松动，也存在第一垫圈236和球体部217的抵接状态不稳定的问题。因此，在本实施方式中，在卡环227和第一垫圈236之间设置第二垫圈237，进一步在两个垫圈236、237之间介入波形垫圈238。该波形垫圈238的施加力通过第二垫圈237也作用于卡环227，可抑制松动的产生。

在本实施方式中，将与第二凹部225的半径具有同一外径的O形环226在与第二凹部225的底面225a及内周面225b抵接的状态下设置。这样一来，形成第二凹部225的内周面225b中，安装O形环226的安装槽无需沿着圆周方向形成。并且，由于仅通过把O形环226配置在第二凹部225的底面225a上即完成O形环226的组装，因此其操作是极其简单的。

(其他实施方式)

并且，上述第一至第六实施方式不限于上述内容，例如也可如下实施。

在上述第一实施方式中，供给到第一流路24的空气在凹状球面部23和凸状球面部33之间流通，从而生成气膜，也可采用其他构造。例如，在凹状球面部23上设置多孔质体，从该多孔质体向凸状球面部33喷出空气的构造，及使两者之间仅由滑动轴承支撑的构造。

在上述第一实施方式中，构成为向多孔质体44的空气供给、及向球面轴承部分的空气供给在第一流路24这种共同的路径中进行，其构造也可以是分别在不同的供给路径中进行。

在上述第一实施方式中，其构造是，在放置玻璃基板G的时刻在两个球面部23、33之间生成气膜，用于降低摩擦阻力的空气供给到第一流路24，之后，供给用于产生使玻璃基板G浮起的浮力所需的充分的空气。但是，其构造也可以是在玻璃基板G放置的时候提供充分用于产生上述浮力的空气。这种情况下，气膜的生成动作和玻璃基板G的浮起动作同时完成，可提高位置偏差校正操作的时间效率。

在上述第二实施方式中，其构造是两个球面部23、33之间仅用滑动轴承支撑，也可以是设置滚珠轴承的构造。

在上述第二实施方式中，也可以是不设置覆盖简体34的构造。通过该构造，可简化浮起单元50的构造。并且这种情况下，弹性管55构成防脱装置及摆动限制装置。

在上述第一及第二实施方式中，构成为将多孔质单元41通过螺栓42固定到摆动基体31，其构造也可是省略多孔质单元，将多孔质体44直接设置到摆动基体31。这种情况下，摆动基体31构成摆动体。并且根据该构造，配件个数减少，因此有助于降低成本。

在上述第一及第二实施方式中，在基台21上设置凹状球面部23，在摆动基体31上设置凸状球面部33，也可将两个球面部23、33分别相反设置。即，构成为在基台21上设置凸状球面部，在摆动基体31上设置凹状球面部。

在上述第一及第二实施方式中，其构造是在摆动基体31的下面侧形成凸状球面部33而构成球面轴承，但球面轴承也可以是图17所示的构造。即，在图17中，其构造是将摆动基体61的凸状球面部62设置到摆动基体61的侧面部分。在该摆动基体61上，在其上部设置多孔质单元63。在外壳64中形成送气孔65，当空气供给到该送气孔65时，通过摆动基体61内的空气通路66，空气供给到多孔质体63a。这样一来，空气从多孔质体63a的上面喷出，使未图示的玻璃基板浮起。并且，供给到送气孔65的空气在凸状球面部62和外壳64的凹状球面部67之间流通，并在两者间生成气膜。这样一来，可进行摆动基体61的仿效动作。并且，凸状球面部62和凹状球面部67之间可以仅是滑动轴承的构造，也可以是设置滚珠轴承的构造。

在上述第一及第二实施方式中，设置由凹状球面部23和凸状球面部33构成的球面轴承，使多孔质单元41可摆动，但如图18所示，其构造也可以是，在多孔质单元41和底座2之间设置波纹管(bellows)68并使多孔质单元41可摆动。并且，不限于折箱68，也可以介入橡胶等弹性体。此时，这些介入部件构成摆动装置。

在玻璃基板G未配置在浮起装置上的状态(中间状态)下，也可将用于使上面112a变得水平的构造附加到上述第一及第二实施方式中。例如，如图19及图20所示，在单元主体43的侧部以等间隔(90度间隔)形成四个沿中心侧延伸的螺孔81。并且，向各螺孔81中螺入带六角孔的螺钉82。此时，通过调整各螺钉82的螺入量，可调整摆动基体31及多孔质单元41的水平方向的重量平衡，使得在中立(neutral)状态下的上面112a变为水平。此外，从上面112a开始到凸状球面部33的下端为止的长度尺寸比凸状球面部33的曲率半径短，因此当在中立状态下，在两个球面部23、33之间产生气膜时，摆动基体31及多孔质单元41自然恢复到调整过水平方向的重量平衡的位置。由上，如上所述，通过调整重量平衡，在玻璃基板G的支撑操作后，上面112a自然变得水平，在下次操作时可适当地进行玻璃基板G的放置操作。

在上述第三实施方式中，其构造是通过O形环147对球体部124的球面124a和闭塞部件141的上面141a的插通孔143周边之间进行密封，其构造也可是用金属密封取代O形环密封。此时，闭塞部件141的上面141a的插通孔143周边部形成为球面状。在上述构造下，由于需要对该金属密封部分进行高精度的加工，因此与设置O形环147的构造相比，成本增加。但是由于需要高精度加工的部分是设置了插通孔143的周边部这样的局部，因此可控制大幅的成本增加。并且，无论是O形环的密封还是金属密封中的哪一种密封，均优选使密封部分可进行完全的空气流通阻断，但即使略有空气泄漏，只要在允许的环境下可执行就没有问题。

在上述第四实施方式中，环状槽185由下部构成体173一侧形成的台阶部177和上侧凹部174的开口周边部分的下面形成，也可在上部构成体172设置台阶部，在两个构成体172、173的台阶部之间形成该环状槽185(参照图21)。

在上述第三到第五实施方式中，其构造是将球体部124、164设置在支撑体121、161上，将与球体部124、164抵接的锥面135及上侧锥面175设置在摆动主体131、171上，从而使摆动主体131、171自由摆动地支撑，但该支撑构造也可以是相反的。例如，在第四实施方式的构造中，其相反的支撑构造如图21所示。在该构造中，支撑体191和摆动主体192中，在支撑体191的内部设有收容空间193，在支撑体191一侧形成支撑摆动主体192的锥面194。摆动主体192设有在上述收容空间193内收容的球体部195、通过该球体部195和轴部196连接的多孔质支撑部197。利用这种构造，也可使摆动主体192自由摆动地支撑。

并且，这种情况下，也可使构成支撑体191的上部构成体198进一步由二个块构成，并使其一体化，从而形成研钵状的上侧凹部198a。这种构造下，在把摆动主体192组装到下部构成体后，通过分别组装二个块可构成上部构成体198。这样一来，即使在插通有轴部196的插通孔199无法使多孔质支撑部197插通时，也可容易地组装上部构成体198。

在上述第六实施方式中，其构造是，将球体部217设置在支撑体211上，将收容凹部22及O形环226设置在摆动主体221上，从而自由摆动地支撑摆动主体221，但也可使该支撑构造相反。例如图22所示的改良浮起单元240。在该构造中，支撑体241上形成收容凹部242，该收容凹部242中设置O形环243。并且，支撑体241中形成与收容凹部242连通的空气通路244。另一方面，摆动主体245中设有球体部246。并且，摆动主体245中形成空气通路248，该空气通路的一端与多孔质体247连接，另一端通过由O形环243密封的空间与上述支撑体241的空气通路244连通。因此，空气通过各空气通路244、248空气供给到多孔质体247，由此，空气从多孔质体247的上面247a(改良浮起单元240的上面240a)喷出。并且，通过使球体部246收容在收容凹部242内并与O形环243抵接，摆动主体245自由摆动地被支撑。该支撑构造仅是将第六实施方式中的支撑构造上下反转后的构造，省略其详细说明。通过该改良浮起单元240也可获得与上述第六实施方式同样的作用效果。

在上述第六实施方式中，在第一垫圈236和第二垫圈237之间介入作为挤压装置及施力装置的波形垫圈，但这些装置也可以是波形垫圈以外的构造。例如也可使用橡胶等弹性体、盘簧、线圈弹簧等弹簧。

在上述第六实施方式中，作为密封装置使用了O形环226，也可使用其之外的例如D形环等。

在上述第一至第六实施方式中，其构造是将改良浮起单元12、50、112、160、190、200、240仅设置在图4中的前后左右的两个端部，也可以全部是改良浮起单元12、50、112、160、190、200、240。根据该构造，当放置了比预想小的玻璃基板G时也可切实地进行非接触支撑。并且，如果全部为改良浮起单元12、50、112、160、190、200、240，在设置了同单元12、50、112、160、190、200、240的位置，可切实地非接触地支撑玻璃基板G，因此可减少放置在底座2上的浮起单元1的设置个数。这样一来，即使改良浮起单元12、50、112、160、190、200、240本身的成本与一般浮起单元11相比增加，由于可减少整体的设置个数，因此与成本增加的部分抵消，可控制成本增加。

并且，由于四个角是空气最易逃逸的地方，因此也可是仅在其上设置改良浮起单元12、50、112、160、190、200、240的构造。该构造下，与现有构造相比，可保持较为切实的非接触状态。

在上述各实施方式中，其构造是通过喷出空气使玻璃基板G浮起，但喷出的加压空气不限于空气。例如也可以是氮气等气体。

在上述第一至第五实施方式中，作为工件以玻璃基板G为例进行了说明，但只要是薄板状的工件，就不限于玻璃基板G。

Claims (32)

1.一种附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面、和使该喷出面的被动的倾斜自由化的摆动装置，

利用从所述喷出面喷出的加压空气，以和该喷出面非接触的状态来支撑工件。

2.根据权利要求1所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，使具有所述喷出面的摆动体相对基台由球面轴承支撑，由其构成所述摆动装置。

3.根据权利要求2所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，所述基台及所述摆动体中，在一方设置凹状球面部，在另一方设置凸状球面部，在该球面部彼此配合的状态下由基台支撑摆动体，并在两者之间介入加压空气，从而构成所述球面轴承。

4.根据权利要求2所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，在所述基台及所述摆动体的内部设置连接两者的弹性管，使加压空气通过该弹性管内而提供到所述喷出面，进而在弹性管的周围形成变形允许空间，该变形允许空间允许伴随摆动体的摆动的弹性管的变形。

5.一种附带倾斜功能的浮起单元，利用从喷出面喷出的加压空气，以与该喷出面非接触的状态来支撑工件，其特征在于，具有：

摆动体，其具有所述喷出面，并使具有同一曲率半径的凹状球面部及凸状球面部中的一方形成在与喷出面相反的一侧；和

基台，形成所述凹状球面部及凸状球面部中的另一方，在使球面部彼此配合的状态下支撑摆动体，

通过在所述基台和所述摆动体之间介入加压空气，使摆动体可沿球面摆动，通过该摆动使喷出面的被动的倾斜自由化。

6.根据权利要求5所述的附带倾斜功能的浮起单元，在所述基台中形成基台流路，在所述摆动体中形成与所述喷出面连接的摆动体流路，使两者在所述凹状球面部及凸状球面部上开口，并使该开口彼此相对。

7.根据权利要求6所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，使所述基台流路的开口及摆动体流路的开口中的一个形成为宽口，从而即使在所述摆动体倾斜的状态下，所述摆动体流路的开口也不会堵塞。

8.根据权利要求2至7中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，设有用于防止所述摆动体从基台脱落的防脱装置。

9.根据权利要求2至8中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，设有用于使所述摆动体的摆动限制在预定的范围内的摆动限制装置。

10.根据权利要求2至9中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，在所述摆动体的外周设置呈筒状的覆盖筒体，通过该覆盖筒体隐藏所述基台的侧面的至少上部。

11.根据权利要求10所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，所述防脱装置及所述摆动限制装置由形成于基台侧面的凹部、和设置于所述覆盖筒体且其顶端浮插在所述凹部的防脱销构成。

12.根据权利要求2至11中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，设有用于调整所述摆动体的水平方向的重量平衡的平衡调整装置。

13.一种附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，其特征在于，

具有：摆动体，其具有所述喷出面；和支撑体，固定在设置面上并支撑摆动体，

在设置于摆动体或支撑体的支撑空间内，配置摆动体的被支撑部和支撑体的支撑部，该被支撑部和支撑部构成为，以所述喷出面相对支撑体的设置面成水平的状态为基准而使所述摆动体可自由摆动，

在所述支撑体内设置支撑体流路，在所述摆动体内设置与所述喷出面连接的摆动体流路，使该支撑体流路和摆动体流路在所述支撑空间内连通，并设置防止该支撑空间内的加压空气泄漏的密封装置。

14.根据权利要求13所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，把所述支撑部及所述被支撑部中的一方设成球面，另一方设成形成为研钵状的锥面，通过该球面和锥面的抵接使所述摆动体可自由摆动。

15.根据权利要求13所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，把所述支撑部或所述被支撑部中的一方设成球体部的球面，另一方设成形成为研钵状的锥面，通过该球面和锥面的抵接使所述摆动体可自由摆动，在与球面和锥面的抵接位置不同的位置上，使所述密封装置与球体部的球面抵接，通过该抵接使密封装置同时具有密封功能和摆动体的保持功能。

16.根据权利要求15所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，所述密封装置和球体部球面的抵接位置设置在夹着所述球体部与所述锥面和球面的抵接位置上下相反的一侧。

17.根据权利要求13至16中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，所述摆动体及所述支撑体设置成使各自的垂直方向的中心线一致，且以该中心线为中心形成所述支撑空间。

18.根据权利要求13至17中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，所述支撑体流路及所述摆动体流路设置成在垂直方向延伸的一条直线状。

19.根据权利要求18所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，所述摆动体流路的导入侧开口形成得比所述支撑体流路的导出侧开口大。

20.根据权利要求13至19中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，使所述密封装置为与球体部的球面密接的O形环，将该O形环配置成使支撑空间内的加压空气的压力从环内侧作用于该O形环。

21.根据权利要求13至19中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，使所述密封装置为与球体部的球面密接的O形环，并且由上部构成体和下部构成体构成所述摆动体，通过使两个构成体一体化，形成所述支撑空间和配置有所述O形环的环状槽。

22.根据权利要求21所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，构成所述支撑空间以收容所述球体部整体，在该支撑空间内设置抵接面，该抵接面在与球体部的球面和所述锥面的抵接位置上下相反的一侧与球体部的球面抵接。

23.一种附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，其特征在于，具有：

支撑体，其具有球体部，在该球体部的下端设有沿垂直方向延伸的轴部，在该轴部上设置有固定在设置面上的被固定部，且设有在球体部的球面上开口的支撑体流路；和

摆动体，在上面设置具有所述喷出面的喷出部，在内部设有用于收容所述球体部的支撑空间，连通其内外的插通孔的开口部设置在下面，使所述轴部插通于该插通孔，在支撑空间内的上部设置朝下的形成为研钵状的锥面，使该锥面和球体部球面抵接，且设有与所述喷出部连接并在形成所述支撑空间的面上开口的摆动体流路，

通过所述锥面和所述球体部的球面的抵接，所述摆动体相对所述支撑体可自由摆动地被支撑，

在所述插通孔的内侧周缘部设置用于防止所述支撑空间内的加压空气泄漏的O形环，设置与O形环的环内侧抵接的侧壁面，而将该O形环配置于环状槽。

24.一种附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，其特征在于，具有：

支撑体，其具有球体部，在该球体部的下端设有沿垂直方向延伸的轴部，在该轴部上设置有固定在设置面上的被固定部，且设有在球体部的球面上开口的支撑体流路；和

摆动体，在上面设置具有所述喷出面的喷出部，在内部设有用于收容所述球体部的支撑空间，连通其内外的插通孔的开口部设置在下面，使所述轴部插通于该插通孔，在支撑空间内的下部设置可与所述球体部的球面下部抵接的抵接部，且设有与所述喷出部连接并在形成所述支撑空间的面上开口的摆动体流路，

在该摆动体中设有O形环，该O形环在所述支撑空间内的所述球面中央的上方位置上沿水平方向配置，防止来自所述球体和摆动体之间的加压空气的泄漏，

通过所述O形环和所述球体部的球面上部的抵接，所述摆动体相对所述支撑体可自由摆动地被支撑。

25.一种附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，其特征在于，

具有：摆动体，其具有所述喷出面；和支撑体，支撑该摆动体，

在所述支撑体中设置球体部，将该球体部收容在设置于所述摆动体的支撑空间内，

在所述支撑空间内设有环状密封装置，该环状密封装置与形成该支撑空间的内面、及所述球体部的球面中央的上部抵接而密封两者之间，并且通过该抵接使摆动体支撑于支撑体上，

在所述支撑体中设置支撑体流路，该支撑体流路在球体部与所述密封装置的抵接部分的上部开口，在所述摆动体中设置摆动体流路，该摆动体流路一端与所述喷出面连接，另一端在形成支撑空间的内面上开口，通过该支撑空间与所述支撑体流路的所述开口连通。

26.一种附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面，利用从该喷出面喷出的加压空气以和喷出面非接触的状态来支撑工件，其特征在于，

具有：摆动体，其具有所述喷出面；和支撑体，支撑该摆动体，

在所述摆动体上设置球体部，将该球体部收容在设置于所述支撑体的支撑空间内，

在所述支撑空间内设有环状密封装置，该环状密封装置与形成该支撑空间的内面、及所述球体部的球面中央的下部抵接而密封两者之间，并且通过该抵接使摆动体支撑于支撑体上，

在所述摆动体中设置摆动体流路，该摆动体流路一端与所述喷出面连接，另一端在所述球体部与所述密封装置的抵接部分的下部开口，在所述支撑体中设置支撑体流路，该支撑体流路通过支撑空间与摆动体流路的所述另一端的开口连通。

27.根据权利要求25或26所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，设有：抵接部件，在与所述密封装置和所述球体部球面的抵接位置上下相反的一侧与所述球面抵接；和挤压装置，相对球面挤压该抵接部件。

28.根据权利要求25或26所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，

在所述摆动体或所述支撑体上形成收容凹部，并设置所述支撑空间，

具有所述球体部的支撑体或摆动体具有轴部，该轴部从该球体部起通过所述收容凹部的开口部直至收容凹部外部，在垂直方向上延伸设置，

使至少2个垫圈插通于所述轴部，在插通有轴部的插通孔的内周缘部上与所述球体部抵接的第一垫圈、及与该第一垫圈相邻的第二垫圈之间，介入用于在轴部的轴线方向上对两个垫圈施力的施力装置，

在形成所述收容凹部的周面上形成环状的安装槽，在该安装槽上设置卡环，该卡环使所述第一垫圈保持与所述球体部抵接的状态。

29.根据权利要求25至28中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，在形成所述支撑空间的内底面上形成用于安装所述密封装置的圆形的密封安装槽，使所述密封装置的外径与所述密封安装槽的径长相同，将该密封装置在该装置与形成密封安装槽的底面及周面抵接的状态下收容在密封安装槽中。

30.根据权利要求1至29中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元，其特征在于，所述喷出面由多孔质体形成。

31.一种浮起装置，具有多个浮起单元，利用从该浮起单元的喷出面喷出的加压空气非接触地支撑薄板状的工件，其特征在于，

所述多个浮起单元中，在平面视图下的四角或端部上配置如权利要求1至30中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元。

32.一种浮起装置，具有多个浮起单元，利用从该浮起单元的喷出面喷出的加压空气非接触地支撑薄板状的工件，其特征在于，

所述多个浮起单元全部是权利要求1至30中任意一项所述的附带倾斜功能的浮起单元。

Images