CN1767705A

CN1767705A - 一种有机电致发光显示器件及制作方法

Info

Publication number: CN1767705A
Application number: CN 200410067666
Authority: CN
Inventors: 孙润光
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2004-10-29
Filing date: 2004-10-29
Publication date: 2006-05-03

Abstract

本发明涉及一种平板显示器件及制造方法，尤其是指有机电致发光或有机发光二极管显示器件及制造方法。该器件由透明导电阳极、有机半导体材料层、金属阴极构成。在透明导电阳极间做上绝缘层，并在绝缘层上制作上隔离柱，利用隔离柱将阴极引线导出。本发明的优点是利用隔离柱分割镀在衬底上的金属层导出阴极技术，不需要使用镀有辅助金属电极的衬底如常用的ITO/Cr的玻璃基片，降低成本同时减少工艺步骤，还避免因为刻蚀常用的引线金属如铬而带来的环境污染问题。本发明提出直接采用镀透明导电材料如ITO玻璃为衬底制作OLED显示器件的方法，用隔离柱分割金属薄膜并导出引线的制造显示器件技术。

Description

一种有机电致发光显示器件及制作方法

技术领域

本发明涉及一种平板显示器件及制造方法，尤其是指有机电致发光或有机发光二极管(OLED)显示器件及制造方法。

背景技术

有机发光电致又称为有机发光二极管(Organic Light EmittingDiode，OLED)是一种新型的平板显示技术。与液晶显示相比OLED具有主动发光、高亮度、高对比度、超薄、低功耗、大视角以及工作温度范围宽等诸多优点，被认为是最有可能替代液晶显示器的技术。有机发光显示可分为有源和无源驱动两种。无源矩阵有机发光显示器件的结构简单，适合小尺寸的显示屏。有源矩阵有机发光显示器件的一般采用薄膜晶体管来驱动，适合高清晰度大尺寸的显示屏。在目前比较常见的制备无源驱动OLED工艺中，参照图1、图2，基板一般是采用镀有ITO即透明电极材料氧化铟与氧化锡复合膜材的玻璃。在刻蚀ITO阳极之前，需先刻蚀一层预先溅射在上面的金属铬(Cr)或其他金属如钼(Mo)、银(Ag)作为辅助电极以减少阴极引线电阻。采用辅助电极不仅增加了工艺步骤，还出现了因使用铬而带来的环境污染问题。

发明内容

本发明提出不采用铬或其他金属作为辅助电极引线而直接采用ITO/隔离柱镀上金属层导出阴极的制造的有机发光显示器件。这种方法可以降低制造成本、减少工艺步骤，提高生产效率，避免因使用铬而带来的环境污染。

本发明的另一目的在于提供一种制作出上述器件的方法。

在无源矩阵有机发光显示器的基板上有多条ITO透明电极作为有机发光二极管的阳极和与该透明阳极垂直交叉的多条金属阴极形成象素矩阵。无源矩阵有机发光显示器的驱动方式为：利用正、负电极同时导通，空穴与电子分别注入有机材料层形成回路，其中阳极线与阴极线的交点即为显示象素。阳极与阴极之间为有机半导体材料。本发明采用ITO玻璃或塑料为衬底，利用光刻技术将隔离柱延伸出显示区域外所示，通过被隔离柱分割的蒸镀的金属层作为阴极引线。

本发明中的基板可以是刚性的玻璃，也可以是柔性的衬底如塑料。透明导电材料可以是常用的ITO，ZnO，In2O3等已知的半导体材料或极薄的金属膜如金、银、铂等。

附图说明

图1现有技术的ITO、铬图形的基板

图2现有技术制作上绝缘层和隔离柱的基板

图3本发明利用隔离柱制作引线

1、玻璃基板 2、铬引线 3、ITO电极 4、显示区域

5、绝缘层 6、隔离柱

具体实施方式

实施例1：

1、将ITO玻璃1洗净，干燥，涂布光刻胶，预烘烤，曝光，显影，洗净，干燥，后烘烤，ITO刻蚀，刻出ITO图形；将光刻胶去掉。ITO形成为相互平行的条状像素图形；ITO电极3延伸出显示区域4成为引线。本发明也可以采用其他透明导电薄膜如IZO的玻璃/塑料等。

2、旋涂光刻胶，初次烘烤，曝光，显影，清洗，吹干，二次烘烤、固化，就得到置于ITO条形阳极间隙之上作为象素绝缘层的5；绝缘膜的材料可以是聚甲基丙稀酸己脂(PMMA)、聚乙烯醇(PVA)、聚酰氩胺(PI)或环氧树脂或无机绝缘材料如SiO2，Si2N3等；

3、旋涂负性光刻胶，初次烘烤，曝光，曝光后烘烤或二次曝光，显影，清洗，干燥，后烘烤、固化，得到具有倒梯形的光刻胶即隔离柱6；隔离柱6做在与ITO引线3垂直的绝缘层5上；隔离柱的截面呈倒梯形，在显示区域内方向与ITO阳极垂直；在引线区域隔离柱按ITO引线延伸出显示区域4。

4、将基板送入真空腔体中进行镀膜。在基板连续蒸镀有机半导体层。有机半导体层也可以是单层或多层如空穴注入层、发光层、电子传输层、电子注入层等已知的有机发光工艺结构。发光材料是NPB/Alq3，NPD/AND/Alq2或其他已知的有机电致发光材料。发光可以是单色、区域彩色或全彩色。蒸镀电子注入材料是LiF，LiO2，Ba，Ca等已知的低脱出功函数金属。

5、制作金属阴极；在真空腔体中蒸镀金属材料，金属材料覆盖发光区与引线区。隔离柱按照像素与引线的图形把金属薄膜分割开来使金属薄膜在与隔离柱垂直方向不导通。隔离柱延伸出显示区域4，使金属阴极在阴极隔离柱的作用下自然形成阴极图形；金属阴极材料是铝(Al)、银或其稳定的金属或其合金。

6、封装。在显示区域4外边涂胶，将和显示区域大小相称的玻璃或金属的后封盖附在胶上然后固化。

实施例2：

1、将ITO玻璃1洗净，干燥，涂布光刻胶，预烘烤，曝光，显影，洗净，干燥，后烘烤，ITO刻蚀，刻出ITO图形；将光刻胶去掉。ITO3形成为相互平行的条状像素图形；ITO3延伸出显示区域4成为引线。本发明也可以采用其他透明导电薄膜如IZO的玻璃/塑料等。

2、旋涂光刻胶，初次烘烤，曝光，显影，清洗，吹干，二次烘烤、固化，就得到置于ITO条形阳极间隙之上作为象素绝缘层的5；绝缘膜的材料可以是聚甲基丙稀酸已脂(PMMA)、聚乙烯醇(PVA)、聚酰氩胺(PI)或环氧树脂或无机绝缘材料如SiO2，Si2N3等；

3、旋涂负性光刻胶，初次烘烤，曝光，曝光后烘烤或二次瀑布曝光，显影，清洗，干燥，后烘烤、固化，得到具有倒梯形的光刻胶即隔离柱6；隔离柱6做在与ITO引线3垂直的绝缘层5上；隔离柱的截面呈倒梯形，在显示区域内方向与ITO阳极垂直；在引线区域隔离柱按ITO引线延伸出显示区域4。

4、在基板上制备空穴注入聚合物、发光聚合物。制模方法可以是旋涂、印刷或其它已知的成膜方法。空穴注入材料是PEDOT(聚噻酚或其衍生物)，PANI(聚苯胺或其衍生物)；发光材料是PPV(polyphenylenevinylene)或已知的其他有机发光聚合物如PF(polyfluorene)。蒸镀电子注入材料与LiF，LiO2，NaCl，Ba，Ca等已知的低脱出功函数材料。

5、制作金属阴极；在真空腔体中蒸镀金属材料，金属材料覆盖发光区与引线区。隔离柱按照像素与引线的图形把金属薄膜分割开来使金属薄膜在与隔离柱垂直方向不导通。隔离柱延伸出显示区域，使金属阴极7在阴极隔离柱的作用下自然形成阴极图形；金属阴极材料是铝(Al)、银或其稳定的金属或其合金。

6、封装。在显示区域4外边涂胶，将和显示区域大小相称的玻璃或金属的后封盖附着胶上，然后固化。

Claims

1.一种制备OLED显示器方法，其特征在于不需要使用预先蒸有金属薄膜作为辅助电极的衬底，而利用隔离柱(6)延伸出显示区域(4)，而后蒸镀金属阴极层来导出引线。

2.一种OLED显示器，其特征在于不采用镀铬的玻璃衬底，而利用蒸镀金属导出引线。

3.如权利要求1所述的OLED器件的隔离柱(6)，其特征在于隔离柱具有倒置梯形结构或蘑菇形状结构。制备的方法是采用负性光刻胶如聚酰氩胺(PI)等光刻蚀方法，或多次制膜的方法。

4.如权利要求1所述的OLED器件的金属层，其特征在于具有高的电导率、在化学上较为稳定如铝(Al)，银(Ag)或铜(Cu)等金属或其合金。