CN1697586A - 光罩传送盒的防静电装置 - Google Patents
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Abstract
本发明有关一种光罩传送盒的防静电装置，该光罩传送盒具有盖体及底座，而盖体内部具有容置空间，且容置空间内可供设置防静电装置，该防静电装置具有基座，且于基座周缘设有复数定位部，而各定位部上均设有定位孔，并相对于各定位部设有复数定位件，各定位件上则设有螺孔可供锁固件锁入；而当基座置入盖体的容置空间内，利用复数定位件抵持于各定位部，再藉由锁固件锁入定位件后锁固于座体的容置空间，而将基座锁设于容置空间内，以符合半导体工业用的机械标准接口(SMIF)系统用的光罩传送盒，以达到基座便于组装、拆解或更换的功能。
Description
技术领域
本发明涉及一种光罩传送盒的防静电装置，尤指符合半导体工业用的机械标准接口(SMIF)系统用的光罩传送盒装置，及一种固设于光罩传送盒盖体内的防静电装置，该防静电装置以基座设置于光罩盒的盖体内，且可予以拆解以进行清洗，以达到组装及拆解或更换方便且具有防呆效果的目的。
背景技术
当人类生活进入高科技时代的领域中，许多人类生活周遭的用具、物品均以高科技产品取而代之，不仅带给人们许多方便，也同时得以享受高科技的文明进步成果，而在高科技的时代中，大多数物品、用具都会与科技有关系或以高科技进行操控，以达到自动化的迅速、确实的目的，所以人类生活在高科技的领域中，则必须以更进步的知识、技术来控制各种高科技产物，例如：电脑、电视、影音设备、大楼中央管理、汽车、飞机等等食、衣、住、行的相关产品、用具；但这些高科技晶圆是相当重要的对象，因为晶圆具有极精密的电子电路，其制造过程又利用光罩盒在无尘室中进行高精密度的作业，所以代价相当的昂贵，成本也就属于高档位的，因此在制造作业的过程中实不容有小许的错误或些许的偏差，以避免晶圆的制造产生损毁而必须付出相当高的代价。
在一种由惠普公司所提出的SMIF系统已于美国专利第4,532,970号及第4,534,389号中有所说明。SMIF系统的目的是为了减少半导体晶圆在半导体制程的储运过程中所受的微粒通量。可局部达成此一目的的作法包括：在储运过程中以机械方式确保晶圆周围的气态介质(例如空气或氮气)基本上相对于晶圆而固定不动，及确保周围环境中的微粒不致进入紧邻晶圆的环境中。
且SMIF系统可利用一少量、无微粒的气体，为对象提供一干净的环境，该气体的运动、气流方向及外部污染物均受控制。
而无尘室中为了避免破坏晶圆或光罩，都会采用光罩传送盒来输送晶圆或光罩，但在输送的过程中必须保持晶圆或光罩的稳定与无尘状态，防止晶圆或光罩受到细尘污染或被损毁，而在光罩传送盒使用一段时间后，多少都会沾附有少部份的细小微尘、粉尘颗粒、或者肉眼难以辨视的杂质等，所以光罩传送盒必须定时做清洗整理，以确保光罩传送盒内部的无尘状态，而不致于在传送、保存过程中污染光罩，否则当微尘掉落在光罩线路图形上而没有被发现时，会导致后续制作的晶圆全部报废，会使工厂损失惨重。故一般发现有的半导体晶圆工厂多会作定时清洗光罩传送盒的工作，若发现防静电装置已经磨损也必须作定期更换的动作。
由于一般半导体工厂尤其是晶圆代工厂，光罩数量庞大，相对的光罩传送盒的数量也一样很多，所以定期清洗的工作若因为光罩传送盒不易拆装组合，将会变得很繁重，清洗的成本也会增加。
再者光罩传送盒是存放光罩重要的装置，一片光罩成本很高，也是生产芯片重要的工具，若因为清洗时组装错误造成使用时光罩损坏，则需重新制作一片光罩，延误生产，增加许多风险与成本。
因此基于上述理由，光罩传送盒的防静电装置须具有好拆装且具有防呆的功能，以满足现有业界要求方便清洗或更换新品的效果为发明人及业界所急欲改善的方向所在。
发明内容
发明人有鉴于上述的缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考量，并以从事于此行业累积的多年经验，并经过不断试作及修改，终设计出此种可简易组装、拆解的光罩盒的防静电装置。
本发明的主要目的在于提供一种光罩传送盒的防静电装置，该光罩传送盒具有盖体及底座，而盖体内部具有容置空间，且容置空间内可供设置防静电装置，该防静电装置具有基座，且于基座周缘设有复数定位部，且各定位部上均设有定位孔，并相对于各定位部设有复数定位件，各定位件上则设有螺孔可供锁固件锁入；而当基座置入盖体的容置空间内，则利用复数定位件抵持于各定位部，再藉由锁固件锁入定位件后锁固于座体的容置空间，而将基座锁设于容置空间内，而达到基座便于组装、拆解或更换的功能。
本发明的次要目的在于提供一种光罩传送盒的防静电装置，该防静电装置的基座以防静电的材质制成，在光罩传送盒中放置光罩或晶圆时，能避免产生静电而使光罩或晶圆受损。
附图说明
图1为本发明的立体外观图。
图2为本发明的立体分解图。
图3为本发明的分解侧视剖面图。
图4为本发明的侧视剖面图。
元件符号说明
1、光罩传送盒 11、盖体
121、底板 111、容置空间
122、光罩板 12、底座
2、防静电装置 21、基座
221、螺孔 211、定位部
222、锁固件 2111、定位孔
23、抵持部 22、定位件
231、凸点
具体实施方式
请参阅图1、2、3所示，本发明的光罩传送盒1包括有盖体11及底座12所组成，该盖体11内部具有容置空间111，并于容置空间111内可置入防静电装置2，而防静电装置2具有基座21及复数定位件22，该基座21呈中空盒体，于其周缘设有复数定位部211，且各定位部211上均设有定位孔2111，并相对于各定位部211设有复数定位件22，该定位件22上均设有螺孔221，该螺孔221可供锁固件222穿入以达到锁固的功效。其中，该基座21是由具有掺合导电高分子所组成的导电或静电消散塑胶材料所制作而成，在光罩传送盒1中放置光罩或晶圆时，能避免产生静电而使光罩或晶圆受损。
再请参阅图2、3、4所示，当基座21置入盖体11的容置空间111内，即利用复数定位件22分别抵压于基座21的各定位部211，再以锁固件222锁入定位件22的螺孔221、定位部211的定位孔2111后并锁入盖体11，而将基座21锁固于盖体11内部容置空间111中；且盖体11的容置空间111内防静电装置2的基座21在一段时间后，只需松动锁固件222即可将基座21取出容置空间111，使基座21可进行清洗的作业；或者在防静电装置2的基座21使用一段时间后产生毁损现象，或容易形成细屑，即必须将基座21更换，以确保盖体11内不会产生细小尘屑、微粒。
而防静电装置2的基座21于表面上凸设有抵持部23，且抵持部23上设有复数凸点231，当基座21利用锁固件222锁固于盖体11内的容置空间111时，再以盖体11罩盖于底座12的底板121上，则基座21上抵持部23的复数凸点231即抵持在底板121的光罩板122上，可防止光罩板122因为与凸点231摩擦产生静电，也会因为形成一导电的通路机制而将光罩板122上存在的静电消散掉，同时也利用复数凸点231抵持在光罩板122上，对光罩板122产生抵持、定位，使光罩板122更不易晃动、偏移，具有防静电及定位的多重功效。
但以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，非因此局限本发明的专利范围，故举凡运用本发明说明书及图式内容所为的简易修饰及结构变化等效，均应同理包含于本发明的专利范围内。
Claims (6)
1、一种光罩传送盒的防静电装置，其为符合半导体工业用的机械标准接口系统用的光罩传送盒，固设于光罩传送盒盖体内的防静电装置，该光罩传送盒具有盖体及底座，而盖体内部具有容置空间，且容置空间内可供设置防静电结构，其特征是：该防静电装置具有基座，且于基座周缘设有复数定位部，并相对于各定位部设有复数定位件，而当基座置入盖体的容置空间内，利用复数定位件抵持于各定位部，再藉由锁固件锁入定位件后锁固于座体的容置空间，而将基座锁设于容置空间内，而达到基座便于组装、拆解或更换的功能。
2、如权利要求1所述的光罩传送盒的防静电装置，其特征是：该基座是由具有掺合导电高分子所组成的导电或静电消散塑胶材料所制作而成。
3、如权利要求1所述的光罩传送盒的防静电装置，其特征是：该基座的各定位部均设有定位孔。
4、如权利要求1所述的光罩传送盒的防静电装置，其特征是：该基座的表面上凸设有抵持部。
5、如权利要求4所述的光罩传送盒的防静电装置，其特征是：该抵持部上可设有至少一个以上的抵持凸点。
6、如权利要求1所述的光罩传送盒的防静电装置，其特征是：该定位件上设有螺孔，可供锁固件锁入。
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