CN1677244A - 曝光装置及其曝光方法、校正方法 - Google Patents

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Abstract

一种曝光装置及其曝光方法、校正方法，在用CCD相机拍摄感光材料的校准标记之前，在可利用CCD相机的拍摄的位置配置基准板，其具有沿CCD相机的移动方向按规定间隔排列的多个检测用标记的，用配置在拍摄感光材料上所设的校准标记的位置的CCD相机拍摄多个检测用标记中的至少一个，基于该拍摄取得的相机的光轴位置偏移数据计算校正用数据，通过将该校正用数据反映在基准位置数据中来校正曝光装置的曝光对位功能。因此，可校正随着用于拍摄感光材料的校准标记的校准相机的移动的姿势的变化而影响精度的曝光对位功能，能够提高相对于感光材料的曝光位置偏移的修正精度。

Description

曝光装置及其曝光方法、校正方法
技术领域
本发明涉及曝光装置的校正方法、曝光方法以及曝光装置，特别涉及，根据图像信息，校正利用由空间调制元件调制的光束曝光感光材料的曝光装置中的曝光对位功能的曝光装置的校正方法、曝光方法以及曝光装置。
背景技术
以往，提出了多种利用数字·微型反射镜·器件(DMD)等空间光调制元件(SLM)，用根据图像数据(图像信息)调制的光束，进行图像曝光的曝光装置。
例如，DMD，是在硅等半导体基板之上以二维状排列根据控制信号变化反射面的角度的多个微型反射镜的反射镜器件，在采用该DMD的以往的数字扫描曝光式(无掩模曝光方式)的曝光装置中，通过具有照射激光的光源、调准(准直)从光源照射出的激光的透镜系、配置在透镜系的大致焦点位置上的DMD、将用DMD反射的激光成像在扫描面上的透镜系、的曝光头(扫描器)，利用调制后的激光，对放置在载物台上的沿扫描方向(Y方向)移动的感光材料扫描曝光图像(图形)，其中根据图像数据等生成的控制信号通断控制DMD的各微型反射镜来调制激光。
此外，在该曝光装置中，为了准确地对正感光材料的X-Y方向的曝光位置，在曝光之前，用CCD相机等校准相机拍摄设在感光材料上的、成为曝光位置的基准的校准标记，基于通过该拍摄得到的标记测定位置(基准位置数据)，进行将曝光位置对正在适当位置的校准，关于该校准相机，由于曝光装置以尺寸及校准标记的位置不同的多种感光材料为曝光对象，因此即使在校准标记向与扫描方向正交的方向变更位置的情况下，也能够拍摄，例如，能够由沿与扫描方向正交的方向(X方向)延伸设置的导轨等导向，由滚珠丝杠等驱动机构驱动，能够移动及定位配置在曝光对象物的X方向尺寸的整个区域中的任意的位置上。另外，利用直线检测元件等位置检测机构检测·测定该校准相机的位置，以该位置为基准，进行上述的校准(例如，参照专利文献1)。
此外，关于如此的校准功能(曝光对位功能)，为保证其精度，在制造时或维护时等，进行有关校准测定的各部的校正。
作为有关该校准功能的校正的技术，以往，就相对于向副扫描方向移动的感光材料一边主扫描一边照射激光来扫描曝光图像的方式的曝光装置提出了多种提案。
例如，在校准显示器(scoope)的位置校正中，在对载置在载置台上的印刷电路基板，用处理部实施规定的处理之前，校正进行印刷电路基板的计测的校准显示器的位置的装置中，具有以下构成的技术，在载物台上具有形成基准图形的基准掩模，在规定位置的基准图形上移动校准显示器后，通过基于基准图形的交点和校准显示器的视野中心的位置偏移量，进行校准显示器的位置校正，能够用简单的构成，简便且高精度实施校准显示器的位置校正(例如，参照专利文献2)。
专利文献1：特开平8-222511号公报
专利文献2：特开2000-329523公报
但是，在上述的数字扫描曝光方式或以往的使激光主扫描的扫描方式的曝光装置中，在利用曝光前的校准向拍摄校准标记的位置移动校准相机的时候，由于构成上述的相机驱动机构的各部件精度或组装精度的误差等，校准相机会因滚动、颠簸及偏摆引起姿势变化，以配置在拍摄位置上的状态拍摄透镜的光轴中心偏移正规的位置。由于该位置偏移直接影响校准标记的计测误差，因此，即使采用上述的校准功能修正曝光位置，进行图像曝光，伴随该校准相机的移动的姿势变化的影响，也存在校准精度降低，曝光位置偏离适当位置的问题。
此外，即使专利文献1及2记载的技术，由于不考虑如此的校准相机的姿势变化而造成的影响，所以即使采用这些技术进行校准调整或校准功能的校正，也不能高精度地修正曝光位置偏移。
此外，在是专利文献2记载的技术的情况下，由于一次校正二维配置的多台(4台)校准显示器，因此采用形成二维状(格子状)的基准图形的大型的基准掩模，但由于在描绘台上装备该基准掩模，因此基准掩模配置在描绘台的基台和吸附板的之间，由透明玻璃形成吸附板。如此，因具有大型的基准掩模，描绘台向厚度方向大型化、大重量化，此外，由于吸附板为玻璃制的，因此存在抗冲击等的耐损坏性、耐久性降低的问题。此外，在所述以往技术中，基于形成在基准掩模上的基准图形和校准显示器的位置偏移量，进行校准显示器的位置校正，但要实现更高精度的曝光位置修正，例如，考虑到与利用光束的曝光位置的关系，希望以曝光位置为基准，进行校准显示器的位置校正。
发明内容
本发明鉴于以上的事实，其目的在于提供一种曝光装置校正方法及曝光装置，能够校正因伴随用于拍摄感光材料的校准标记的校准相机的移动的姿势变化而影响精度的曝光对位功能，能够提高相对于感光材料的曝光位置偏移的修正精度。
为达到上述目的，第1项发明是一种曝光装置，具有：移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使该感光材料向沿着扫描方向的方向移动，读取机构，其读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，曝光机构，其利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取基准标记而取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，其特征在于：所述曝光装置，还具有：读取机构位置标度，其具有沿着所述读取机构的移动方向排列的多个读取机构基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个读取机构基准标记的位置，读取位置数据存储机构，在利用所述读取机构读取基准标记时，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个读取机构基准标记中的至少1个，该读取位置数据存储机构存储经该读取取得的所述读取机构的位置数据，曝光点位置信息存储机构，其具有光束位置检测机构，该光束位置检测机构具有检测利用所述光束进行曝光的曝光位置的检测部，该曝光点位置信息存储机构存储由该光束位置检测机构检测从所述曝光机构输出的规定的光束的曝光点位置而得到的曝光点位置数据，并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述数据存储机构读出所述基准位置数据，从所述曝光点位置信息存储机构读出曝光点位置数据，从所述光束位置检测机构相对于所述读取机构基准标记的相对位置关系，基于所述基准位置数据和所述曝光点位置数据来曝光所述图像数据。
在第1发明中，由于拍摄形成在基板上的校准标记，检测出曝光光束在曝光面上的光束位置，基于此将所希望的图像曝光在感光材料上，所以可以在基板上高位置精度地对曝光图像进行曝光。
第2项发明的曝光装置，其特征在于：所述光束位置检测机构与所述读取机构位置标度被一体设置。
在第2项发明中，通过在具有检测出光束的曝光位置的检测部的光束位置检测机构上一体设置校正用部件，而与将它们分体设置的情况相比，能够高精度地计测检测部与读取机构基准标记的相对位置的同时，也不容易在检测部与读取机构基准标记之间产生位置偏移等。在读取机构读取基准标记的位置读取一体设在检测机构上的读取机构位置标度，取得读取位置数据，另一方面由该检测机构取得光束的曝光位置数据，基于这些读取位置数据与曝光光束位置数据将所希望的图像曝光在感光材料上，因此，可以在基板上高位置精度地对曝光图像进行曝光。
第3项发明是一种曝光装置，具有：移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使该感光材料向沿着扫描方向的方向移动，读取机构，其读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，曝光机构，其利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取基准标记而取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，其特征在于：所述曝光装置，还具有：读取位置校正用部件，其具有沿着所述读取机构的移动方向排列的多个校正用基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个校正用基准标记的位置，校正用数据存储机构，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，该校正用数据存储机构存储基于经该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出的校正用数据，光束位置检测机构，其具有检测由所述光束进行曝光的曝光位置的检测部，曝光点位置信息存储机构，其用于存储由该光束位置检测机构检测从所述曝光机构输出的规定的光束的曝光点位置而得到的曝光点位置数据，并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述校正用数据存储机构读出所述校正用数据，读出使该校正用数据反映到所述基准位置数据中的基准位置修正数据，从所述曝光点位置信息存储机构读出曝光点位置数据，从所述光束位置检测机构相对于所述读取机构基准标记的相对位置关系，基于所述基准位置修正数据和所述曝光点位置数据来曝光所述图像数据。
在第3发明中，由于拍摄形成在基板上的校准标记，检测出曝光光束在曝光面上的光束位置，基于此将所希望的图像曝光在感光材料上，所以可以在基板上高位置精度地对曝光图像进行曝光。
第4项发明的曝光装置，其特征在于：所述光束位置检测机构与所述读取位置校正用部件被一体设置。
在第4项发明中，通过在具有检测出光束的曝光位置的检测部的光束位置检测机构上一体设置校正用部件，而与将它们分体设置的情况相比，能够高精度地计测检测部与读取机构基准标记的相对位置的同时，也不容易在检测部与读取机构基准标记之间产生位置偏移等。在读取机构读取基准标记的位置读取一体设在检测机构上的读取机构位置标度(scale)，取得读取位置数据，另一方面由该检测机构取得光束的曝光位置数据，基于这些读取位置数据与曝光光束位置数据将所希望的图像曝光在感光材料上，因此，可以在基板上高位置精度地对曝光图像进行曝光。
第5项发明的曝光装置，其特征在于：还具有角度检测机构，所述光束位置检测机构相对于所述曝光机构在没有排列在扫描方向上的多个测定位置测定所述光束的曝光点位置，该角度检测机构从在所述多个测定位置测定的曝光点位置检测出所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度。
在第5项发明中，通过从在多个测定位置测定的曝光点位置中检测出光束位置检测机构相对于扫描方向的角度，而能够实现正确、简单的检测方法。
第6项发明的曝光装置，其特征在于：还具有图像数据修正机构，该图像数据修正机构，基于由所述角度检测机构检测出的所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度，修正在曝光面上曝光的图像数据。
在第6项发明中，通过将角度修正机构设成图像数据修正机构，而能够实现正确的调整方法。
第7项发明的曝光装置，其特征在于：还具有角度调整机构，该角度调整机构，基于由所述角度检测机构检测出的所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度，调整所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度。
在第7项发明中，通过将角度修正机构设成调整光束位置检测机构相对于扫描方各的角度的角度调整机构，而能够实现正确的调整方法。
第8项发明是一种曝光装置，具有：移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使所述感光材料向沿着扫描方向的方向移动，读取机构，其能够向与所述扫描方向交叉的方向移动，读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，曝光机构，其在利用所述读取机构读取后，利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，其特征在于：所述曝光装置，还具有：校正用部件，其设在所述移动机构上，并具有沿着所述读取机构的移动方向以规定间隔排列的多个校正用基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个校正用基准标记的位置，数据存储机构，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，该数据存储机构存储基于经该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出的校正用数据，并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述数据存储机构读出所述校正用数据，使该校正用数据反映到所述基准位置数据中进行所述曝光对位、控制所述曝光机构进行曝光动作。
在第8项发明中，可以校正由于随着读取机构的移动改变姿势而影响精度的曝光位置对位功能，能够提高相对于曝光材料的曝光位置偏移的修正精度。
第9项发明是一种曝光方法，使用：移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使该感光材料向沿着扫描方向的方向移动，读取机构，其读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，曝光机构，其利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取基准标记而取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，其特征在于：所述曝光方法，还使用：读取机构位置标度，其具有沿着所述读取机构的移动方向排列的多个读取机构基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个读取机构基准标记的位置，读取位置数据存储机构，在利用所述读取机构读取基准标记时，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个读取机构基准标记中的至少1个，该读取位置数据存储机构存储经该读取取得的所述读取机构的位置数据，曝光点位置信息存储机构，其使用具有检测由所述光束进行曝光的曝光位置的检测部的光束位置检测机构，并存储由该光束位置检测机构检测从所述曝光机构输出的规定的光束的曝光点位置而得到的曝光点位置数据，并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述数据存储机构读出基准位置数据，从所述曝光点位置信息存储机构读出曝光点位置数据，从所述光束位置检测机构相对于所述读取机构基准标记的相对位置关系，基于所述基准位置数据和所述曝光点位置数据来曝光所述图像数据。
在第9项发明中，可以校正由于随着读取机构的移动改变姿势而影响精度的曝光位置对位功能，能够提高相对于曝光材料的曝光位置偏移的修正精度。
第10项发明是一种曝光方法，使用：移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使该感光材料向沿着扫描方向的方向移动，读取机构，其读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，曝光机构，其利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取基准标记而取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，其特征在于：所述曝光方法，还使用：读取位置校正用部件，其具有沿着所述读取机构的移动方向排列的多个校正用基准标记的同时，配置在能够由所述读取机构读取该多个校正用基准标记的位置，校正用数据存储机构，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，该校正用数据存储机构存储基于经该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出的校正用数据，光束位置检测机构，其具有检测由所述光束进行曝光的曝光位置的检测部，曝光点位置信息存储机构，其用于存储由该光束位置检测机构检测从所述曝光机构输出的规定的光束的曝光点位置而得到的曝光点位置数据，并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述校正用数据存储机构读出所述校正用数据，读出使该校正用数据反映到所述基准位置数据中的基准位置修正数据，从所述曝光点位置信息存储机构读出曝光点位置数据，从所述光束位置检测机构相对于所述读取机构基准标记的相对位置关系，基于所述基准位置修正数据和所述曝光点位置数据来曝光所述图像数据。
在第10项发明中，由于拍摄形成在基板上的校准标记，检测出曝光光束在曝光面上的光束位置，基于此将所希望的图像曝光在感光材料上，所以可以在基板上高位置精度地对曝光图像进行曝光。
第11项发明的曝光方法，其特征在于：还使用角度检测机构和图像数据修正机构，所述光束位置检测机构相对于所述曝光机构在没有排列在扫描方向上的多个测定位置测定所述光束的曝光点位置，该角度检测机构从在所述多个测定位置测定的曝光点位置检测出所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度；该图像数据修正机构，基于由所述角度检测机构检测出的所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度，修正在曝光面上曝光的图像数据。
在第11项发明中，通过将角度修正机构设成图像数据修正机构，而能够实现正确的调整方法。
第12项发明的曝光方法，其特征在于：还使用角度检测机构和角度调整机构，所述光束位置检测机构相对于所述曝光机构在没有排列在扫描方向上的多个测定位置测定所述光束的曝光点位置，该角度检测机构从在所述多个测定位置测定的曝光点位置检测出所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度；该角度调整机构，基于由所述角度检测机构检测出的所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度，调整所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度。
在第12项发明中，通过将角度修正机构设成调整光束位置检测机构相对于扫描方各的角度的角度调整机构，而能够实现正确的调整方法。
第13项发明是一种曝光方法，使用：移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使所述感光材料向沿着扫描方向的方向移动，读取机构，其能够向与所述扫描方向交叉的方向移动，读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，曝光机构，其在利用所述读取机构读取后，利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，其特征在于：所述曝光方法，还使用：校正用部件，其被设在所述移动机构上，并具有沿着所述读取机构的移动方向以规定间隔排列的多个校正用基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个校正用基准标记的位置，数据存储机构，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，该数据存储机构存储基于经该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出的校正用数据，并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述数据存储机构读出所述校正用数据，使该校正用数据反映到所述基准位置数据中进行所述曝光对位、控制所述曝光机构进行曝光动作。
在第13项发明中，由于拍摄形成在基板上的校准标记，检测出曝光光束在曝光面上的光束位置，基于此将所希望的图像曝光在感光材料上，所以可以在基板上高位置精度地对曝光图像进行曝光。
第14项发明是一种曝光装置的校正方法，由能够向与感光材料的扫描方向交叉的方向移动的读取机构读取被设在所述感光材料上的成为曝光位置的基准的基准标记而取得基准位置数据，基于该基准位置数据进行相对感光材料的曝光对位，由移动机构使该感光材料向所述扫描方向移动的同时、校正由对应图像数据调制过的光束进行曝光的曝光装置的所述曝光对位功能，其特征在于：在由所述读取机构读取所述基准标记之前，在能够由所述读取机构读取的位置配置校正用部件，该校正用部件具有沿着读取机构的移动方向以规定间隔排列的多个校正用基准标记，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，基于该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出校正用数据，并将该校正用数据反映到所述基准位置数据中，从而校正所述曝光装置的曝光对位功能。
在第14项发明中，为了校正曝光装置的曝光对位功能，在利用读取机构读取设在感光材料上的成为曝光位置的基准的基准标记之前，在能够由所述读取机构读取的位置配置校正用部件，该校正用部件具有沿着读取机构的移动方向以规定间隔排列的多个校正用基准标记，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取多个校正用基准标记中的至少1个，基于该读取取得的读取机构的位置数据、例如在读取机构为拍摄机构时基于拍摄光轴(透镜光轴)和校正用基准标记的位置偏移数据等计算出校正用数据，并将该校正用数据反映到基准位置数据中，据此，可以校正由于随着读取机构的移动改变姿势而影响精度的曝光位置对位功能，能够提高相对于曝光材料的曝光位置偏移的修正精度。
第15项发明，在第14项发明的曝光装置的校正方法的基础上，其特征在于：所述曝光装置具有检测机构，该检测机构具备检测出由所述光束曝光的曝光位置的检测部，在所述检测机构上一体设置所述校正用部件，并且，通过将运算由所述检测机构检测出的光束的曝光位置数据与所述校正用数据求得的修正数据反映到所述基准位置数据中，而校正所述曝光装置的曝光对位功能。
在第15项发明中，通过在具有检测光束的曝光位置的检测部的检测机构上一体设置校正用部件，与将它们设定为分体时相比，能够高精度计测检测部和校正用基准标记的相对位置，同时在检测部和校正用基准标记的之间不易产生位置偏移。只要是通过运算利用该检测机构检测的光束的曝光位置数据和采用一体设在检测机构上的校正用部件得到的校正用数据后求出的修正数据，就能够抑制其误差量，通过将校正用数据反映在基准位置数据中，能够更高精度地进行曝光对位功能。
第16项发明，在第14项或第15项发明的曝光装置的校正方法的基础上，其特征在于：所述移动机构具有载置所述感光材料的载物台，
所述校正用基准部件，按照在将所述感光材料载置在所述载物台上的状态下能够利用所述读取机构读取所述校正用基准标记的方式、设在所述载物台上。
在第16项发明中，通过在载置感光材料的移动机构的载物台上设置校正用基准部件，并且，以在将感光材料载置在载物台上的状态下可利用读取机构读取校正用基准标记的方式配设在载物台上，从而，即使在用曝光装置曝光感光材料的情况下，也能够校正上述曝光对位功能，简化了校正作业。
由于本发明的曝光装置的校正方法及曝光装置设成上述方法及构成，所以可以校正由于随着用于拍摄感光材料的校准标记的校准相机的移动改变姿势而影响精度的曝光位置对位功能，能够提高相对于曝光材料的曝光位置偏移的修正精度。
另外，本发明的曝光方法及曝光装置，由于拍摄形成在基板上的校准标记，检测出曝光光束在曝光面上的光束位置，基于此将所希望的图像曝光在感光材料上，所以可以在基板上高位置精度地对曝光图像进行曝光。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的曝光装置的立体图。
图2是表示构成本发明的一实施方式的扫描器的构成的立体图。
图3是表示本发明的一实施方式的曝光头的光学系的简要构成图。
图4(A)是表示本发明的一实施方式的曝光装置中的、不倾斜DMD(数字微型反射镜器件)时的利用各微型反射镜的曝光光束的扫描轨迹的主要部位俯视图，(B)是表示倾斜DMD时的曝光光束的扫描轨迹的主要部位俯视图。
图5是表示设在本发明的一实施方式的曝光装置上的DMD的构成的局部放大图。
图6(A)及(B)是用于说明图5的DMD的工作的说明图。
图7是表示构成本发明的一实施方式的校准单元的构成的立体图。
图8是表示构成本发明的一实施方式的基准板的立体图。
图9(A)是表示在本发明的一实施方式的曝光装置中，利用检测用缝隙检测出点灯的特定像素和光的蔓延像素的状态的说明图，(B)是表示光电传感器检测点灯的特定像素时的信号的说明图。
图10是表示设在本发明的一实施方式的曝光装置上的控制器上的控制用的电系统的简要构成的块图。
图11(A)～(D)是表示说明利用CCD相机拍摄本发明的一实施方式的相机位置检测部时的检测用标记和拍摄视野的关系的说明图。
图12是表示用本发明的一实施方式的曝光装置进行的、相机校正动作的控制内容的流程的流程图。
图13是表示用本发明的一实施方式的曝光装置进行的、曝光基准和相机光轴中心的位置关系的取得动作的控制内容的流程的流程图。
图14是表示用本发明的一实施方式的曝光装置进行的、曝光基准和相机校正基准的位置关系的取得动作的控制内容的流程的流程图。
图15是表示相机位置检测部的变形例的俯视图。
图16(A)～(D)是表示说明利用CCD相机拍摄其它变形例的相机位置检测部时的检测用标记和拍摄视野的关系的说明图。
图17是表示本发明的一实施方式的基准板与曝光头的角度测定方法的图。
图18是表示用本发明的一实施方式的曝光装置进行的、曝光基准和相机校正基准的位置关系的取得方法的图。
图中：10-曝光装置，12-感光材料，13-校准标记(基准标记)，14-载物台(移动机构)，24-扫描器(曝光机构)，26-CCD相机(读取机构)，28-控制器(控制机构)，30-曝光头(曝光机构)，70-基准板(检测机构/校正用部件)，70A-光束位置检测部(检测机构)，70B-相机位置检测部(校正用部件)，74-检测用缝隙(检测部)，77A-检测用标记(校正用基准标记)，77B-检测用标记(校正用基准标记)，85-存储器(数据存储机构)。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施方式的曝光装置。
图1表示本发明的一实施方式的曝光装置。此外，图2～图6表示用于本实施方式的曝光装置的曝光头及空间光调制元件，图7表示用于本实施方式的曝光装置的校准单元。
如图1所示，曝光装置10，具有由4根腿部16支撑的矩形厚板状的设置台18。在设置台18的上面，沿纵向延伸设置2根导轨20，在这2根导轨20之上设置矩形平盘状的载物台14。载物台14，纵向朝导轨20的延伸设置方向配置，由导轨20可在设置台18上往返移动地支撑，被未图示的驱动装置驱动，可沿导轨20往返移动(图1的箭头Y方向)。
在载物台14的上面，通过未图示的定位部以定位在规定的载置位置的状态载置成为曝光对象物的矩形状的感光材料12。在该载物台14的上面(感光材料载置面)上，形成未图示的多个槽部，通过利用负压供给源使这些槽部内形成负压，而将感光材料12吸附保持在载物台14的上面。此外，在感光材料12上，设置多个表示曝光位置的基准的校准标记13，在本实施方式中，通过圆形的贯通孔构成的校准标记13，合计4个，分别逐个配置在感光材料12的四角附近。
在设置台18的中央部，以跨越载置14的移动路径的方式设置“コ”字状的门22。门22的两端部分别固定在设置台18的两侧面上，夹着门22地在一侧设置曝光感光材料12的扫描器24、在另一侧设置校准单元100，校准单元100具有多台(例如，2台)CCD相机26，用于拍摄设在感光材料12上的校准标记13。
如图7所示，校准单元100，具有安装在门22上的矩形状的单元基座102。在单元基座102的相机配置面一侧，沿与载置台14的移动方向(箭头Y方向)正交的方向(箭头X方向)延伸设置一对导轨104，各CCD相机26，可滑动地由这一对导轨104引导，同时由分别单独准备的滚珠丝杠机构106及驱动其的未图示的步进电机等驱动源驱动，向与载物台14的移动方向正交的方向独立移动。此外，各CCD相机26，使设在相机本体26A的前端的透镜部26B朝下、同时透镜光轴以呈大致垂直的姿势配置，在该透镜部26B的前端部，安装环状的闪光灯光源(LED闪光灯光源)26C。
另外，在拍摄感光材料12的校准标记13的时候，各CCD相机26，通过上述的驱动源及滚珠丝杠机构106，向箭头X方向移动，分别配置在规定的拍摄位置，即，透镜光轴，以与随着载物台14的移动而移动的感光材料12的校准标记13的通过位置一致的方式配置，通过按校准标记13到达规定的拍摄位置的时间，使闪光灯光源26C发光，经由透镜部26B，将照射在感光材料12上的闪光灯光的在感光材料12上面的反射光输入到相机本体26A，如此拍摄校准标记13。
此外，载物台14的驱动装置、扫描器24、CCD相机26及用于移动CCD相机26的驱动源，与控制它们的控制器28连接。通过该控制器28，在后述的曝光装置10的曝光动作时，控制载物台14以规定的速度移动，控制CCD相机26配置在规定的位置上，按规定的时间，拍摄感光材料12的校准标记13，控制扫描器24按规定的时间，曝光感光材料12。
如图2所示，在扫描器24的内部，设置多个(例如，8个)以m行n列(例如，2行4列)的大致矩阵状排列的曝光头30。
曝光头30的曝光区域32，例如以将扫描方向作为短边的矩形状构成。在此种情况下，在感光材料12上，随着该扫描曝光的移动动作，每个曝光头30形成带状的曝光过的区域34。
此外，如图2所示，以向与扫描方向正交的方向无间隙地排列带状的曝光过的区域34的方式，线状排列的各行的曝光头30分别向排列方向偏移规定间隔(曝光区域的长边的自然倍数)地配置。因此，例如第一行的曝光区域32和第二行的曝光区域32的之间的不能曝光的部分，能够由第二行的曝光区域32曝光。
如图3所示，各曝光头30，作为根据图像数据分别将入射的光束调制成每个像素的空间光调制元件，具有数字·微型反射镜·器件(DMD)36。该DMD36，与具有数据处理部和反射镜驱动控制部的上述控制器28连接。
在控制器28的数据处理部，基于输入的像素数据，按每个曝光头30，生成驱动控制DMD36的要控制区域内的各微型反射镜的控制信号。另外，关于要控制区域如后述。此外，在作为DMD控制器的反射镜驱动控制部中，基于在数据处理部生成的控制信号，按每个曝光头30控制DMD36中的各微型反射镜的反射面的角度。并且，关于该反射面的角度的控制如后述。
在各曝光头30上的DMD36的光入射侧，如图1所示，连接束状的光纤40，其分别从作为激光射出包括紫外波长区域的向一方向延伸的多波束的照明装置38引出。
照明装置38，图示省略，但在其内部设置多个合波模块，用于合波从多个半导体激光器芯片射出的激光再输入到光纤中。从各合波模块延出的光纤，是传输合波的激光的合波光纤，多条光纤扎成一束，形成束状的光纤40。
此外，在各曝光头30上的DMD36的光入射侧，如图3所示，配置均匀照明光学系41和反射镜42，均匀照明光学系41用于使从光纤40的连接端部射出的激光形成均匀的照明光，反射镜42用于向DMD36反射投射均匀照明光学系41的激光。
设在各曝光头30上的DMD36的光反射侧的投影光学系，为了将光源像投影在位于DMD36的光反射侧的曝光面上的感光材料12上，而从DMD36侧向感光材料12依次配置透镜系50、微型透镜阵列54、物镜系56的各曝光用的光学部件，如此构成。
这里，透镜系50及物镜系56，如图3所示，以组合多块透镜(凸透镜或凹透镜等)的扩大光学系构成，通过扩大由DMD36反射的激光束(光线束)的截面积，将由DMD36反射的激光束在感光材料12上的曝光区域32的面积扩大到规定的尺寸。另外，感光材料12被配置在物镜系56的后方焦点位置上。
微型透镜阵列54，如图3所示，在反射通过各光纤40从照明装置38照射的激光的DMD36的各微型反射镜46上，二维状排列1对1地对应的多个微型透镜60，并成型成一体，形成矩形平板状，各微型透镜60，分别配置在分别透射透镜系50的各激光束(曝光光束)的光轴上。
此外，DMD36，如图5所示，以由立柱支撑微型反射镜(微小反射镜)46的方式配置在SRAM单元(存储器单元)44上，构成为格子状排列构成像素(像点)的多个(例如，600个×800个)微小反射镜的反射镜器件构成。在各像点的最上部设置由立柱支撑的微型反射镜46，在微型反射镜46的表面上蒸镀铝等反射率高的材料。
此外，在微型反射镜46的正下方，经由包含未图示的折叶及轭铁的支柱配置用通常的半导体存储器生产线制造的硅栅CMOS的SRAM单元44，整体构成为单片状(一体型)。
如果在DMD36的SRAM单元44中写入数字信号，则被支柱支撑的微型反射镜46，就相对于以对角线为中心配置DMD36的基板侧、以±α度(例如±10度)的范围倾斜。图6中，表示一例扩大DMD36的一部分，将微型反射镜46控制在+α度或-α度的状态，图6(A)表示微型反射镜46为通态(on状态)即倾斜+α度的状态，图6(B)表示微型反射镜46为断态(off状态)即倾斜-α度的状态。因此，通过根据像素信号，如图6所示，控制DMD36的各像点上的微型反射镜46的倾斜，入射到DMD36的光，向各自的微型反射镜46的倾斜方向反射。
各自的微型反射镜46的通断(on/off)控制，由与DMD36连接的控制器28的反射镜驱动控制部进行。将由通态的微型反射镜46反射的光调制成曝光状态，入射到设在DMD36的光射出侧的投影光学系(参照图3)。此外，由断态的微型反射镜46反射的光调制成非曝光状态，入射到吸光体(图示省略)。
此外，DMD36，优选以其短边方向与扫描方向成规定角度(例如，0.1°～0.5°)的方式，稍微倾斜地配置。图4(A)是表示不倾斜DMD36时的各微型反射镜形成的反射光像(曝光光束)48的扫描轨迹，(B)表示倾斜DMD36时的曝光光束48的扫描轨迹。
在DMD36上，沿纵向(行方向)多个(例如，800个)排列微型反射镜46的微型反射镜列，在横向多组(例如，600组)排列，但如图4(B)所示，通过倾斜DMD36，各微型反射镜46形成的曝光光束48的扫描轨迹(扫描线)的间距P2，比不倾斜DMD36时的扫描线的间距P1窄，从而能够大幅度提高分辨率。另一方面，由于DMD36的倾斜角微小，因此倾斜DMD36时的扫描宽度W2和不倾斜DMD36时的扫描宽度W1大致相同。
此外，能够利用不同的微型反射镜列，重复曝光(多重曝光)相同扫描线上的大致同一位置(点阵)。如此，通过多重曝光，能够控制曝光位置的微小量，能够实现高精细的曝光。此外，通过微小量的曝光位置控制，能够无高度差地连接排列在扫描方向上的多个曝光头间的接缝。
另外，即使代替倾斜DMD36，在与扫描方向正交的方向偏移规定间隔地交错状配置各微型反射镜列，也能够得到同样的效果。
在本实施方式的曝光装置10中，如图1及图2所示，在载物台14的移动方向(箭头Y方向)的校准计测方向的下游侧(曝光方向的上游侧)配置检测照射的光束位置和其光量来检测上述位置偏移的检测机构，该检测机构，具有安装在载物台14的校准计测方向的下游侧的端缘部上的基准板70，和可以移动地安装在该基准板70的背面侧的光电传感器72。
基准板70，由具有载物台14的宽度方向总长的长度的矩形状的玻璃板形成，在载物台14的校准计测方向的下游侧设置光束位置检测部70A，在上游侧设置相机位置检测部70B(参照图8)。
在光束位置检测部70A，沿X方向按规定间隔排列多个检测用缝隙74，其按镀铬等金属膜形成的图形，以朝X方向开口的“ㄑ”字型形成在透明部(透光部)上。
如图9(A)所示，“ㄑ”字型的检测用缝隙74，以在各自的一端部上直角连接的形状形成位于载物台移动方向的上游侧的具有规定长度的直线状的第1缝隙部74a、和位于载物台移动方向的下游侧的具有规定长度的直线状的第2缝隙部74b。即，第1缝隙部74a和第2缝隙部74b相互正交，同时相对于Y轴第1缝隙部74a具有135度的角度，第2缝隙部74b具有45度的角度。
另外，图示中，检测用缝隙74中的第1缝隙部74a和第2缝隙部74b，相对于载物台14的移动方向(扫描方向)，以具有45度的角度的方式形成，但如果以相对于曝光头30的像素排列倾斜、同时相对于载物台移动方向倾斜的状态(相互不平行地配置的状态)，配置第1缝隙部74a和第2缝隙部74b，也可以任意设定相对于载物台移动方向的角度。此外，也可以代替检测用缝隙74，使用衍射光栅。
在该光束位置检测部70A的检测用缝隙74的下方配置有检测来自曝光头30的光的光电传感器72(也可以是CCD、CMOS或光电探测器)、和移动操作光电传感器72的移动装置76。移动装置76，以通过根据控制器28的指令驱动控制的线性电机送给机构、丝杆送给机构或传送带机构等传送机构，沿X方向移动光电传感器72，并使其停止在各规定位置的方式构成。这里，基于控制器28的指令，进行使光电传感器72，分别向光束位置检测部70A中的检测用缝隙74正下方的规定位置移动并使其停止的动作。
另一方面，如图8所示，在相机位置检测部70B，按镀铬等金属膜形成的图形、沿X方向按规定间隔交替排列被形成为圆形的多个检测用标记77A及被形成为十字型的检测用标记77B。
如图11(A)～(D)所示，该检测用标记77A的宽度尺寸MA和检测用标记77B的宽度尺寸MB相等(MA＝MB)，检测用标记77A、77B的排列间距P1设定为从CCD相机26的视野(拍摄视野)V的X方向的长度尺寸L中减去检测用标记77A、77B的宽度尺寸的1/2的值[P1＝L-(MA/2)＝L-(MB/2)]。此外，这里，向CCD相机26的X方向的移动单位U1设定为检测用标记77A、77B的宽度尺寸的1/2(U1＝MA/2＝MB/2)。
下面，采用图10的方块图，说明设在本实施方式的曝光装置10上的控制器28的控制用的电系统的简要构成。
在控制器28的控制用的电系统中，连接有：CPU80，其是通过总线78统一进行装置各部的控制的主控制部，并且作为数据处理部；指示输入机构82，其具有安装在控制器28上的开关类，用于操作者输入指令；存储器84，其用于临时存储图像数据等；存储器85，其用于存储后述的校正用数据；DMD控制器86，其作为反射镜驱动控制部，控制各自的DMD36中的各自的微型反射镜46；相机移动用控制器88，其用于驱动控制移动各CCD相机26的驱动源(同步电机等)；载物台驱动用控制器90，其驱动控制使载置感光材料12的载物台14上面的槽部内产生负压的负压供给源及用于使载物台14向扫描方向移动的驱动装置等；曝光处理控制用控制器92，其进行在用曝光装置10曝光处理时所需的照明装置38等各种装置的控制。
在用该控制用的电系统进行曝光处理的情况下，操作者，操作控制器28的指示输入机构82，例如输入成为曝光处理对象的图像数据等的指示。于是，传递图像数据的CPU80，暂时将图像数据存储在存储器84中，根据曝光处理开始的指令，控制DMD控制器86，从而基于从存储器84读出的图像数据进行图像的形成处理，并且通过载物台驱动用控制器90和曝光处理控制用控制器92，控制驱动装置、照明装置38等，进行曝光处理。
接着，对检测从设在该曝光装置10上的扫描器24的各曝光头30照射的光束位置，特定DMD36的一个特定像素Z1点灯(将一个特定像素形成on时)的实际的位置的顺序进行说明。另外，特定点灯特定像素Z1的实际的位置、检测点灯的特定像素Z1的光亮的方法，也能够用于特定像素Z1的适当状态的确认、或初期条件的确认等。
首先，如果操作者操作控制器28的指示输入机构82输入特定一个特定像素Z1点灯的实际的位置的指示，接受该指令的CPU80就移动操作载物台14，使基准70的规定曝光头30用的规定检测用缝隙74，位于扫描器24的下方。
接着，CPU80，向DMD控制器86和曝光处理控制用控制器92输出控制信号，进行控制，以便只使规定的DMD36中的特定像素Z1呈点灯状态。然后，CPU80向载物台驱动用控制器90输入控制信号，控制移动载物台14，如图9(A)中实线所示，使其移动到检测用缝隙74达到曝光区域32之上的规定位置(例如，应作为原始点的位置)。此时，CPU80，识别第1缝隙部74a和第2缝隙部74b的交点为(X0、Y0)，并存储在存储器84中。另外，在图9(A)中，将从Y轴向逆时针方向转动的方向规定为正角。
接着，如图9(A)所示，CPU80，通过向载物台驱动用控制器90输出控制信号来控制移动载物台14，开始沿Y轴向图9(A)的右方移动检测用缝隙74。然后，CPU80，当检测到：在用所述规定位置的右方的虚线所示的位置，如图9(B)所示，来自点灯的特定像素Z1的光透过第一缝隙部74a被光电传感器72检测出检测用缝隙74的时候，向载物台驱动用控制器90输出控制信号，使载物台14停止。CPU80，识别第1缝隙部74a和第2缝隙部74b的交点为(X0、Y11)，存储在存储器84中。
接着，CPU80，向载物台驱动用控制器90输出控制信号，控制移动载物台14，使检测用缝隙74开始沿Y轴向图9(A)的左方移动。然后，CPU80，当检测到：在用所述规定位置的左方的虚线所示的位置，如图9(B)所示，来自点灯的特定像素Z1的光透过第2缝隙部74b被光电传感器72检测检测用缝隙74的时候，向载物台驱动用控制器90输出控制信号，使载物台14停止。CPU80，识别此时的第1缝隙部74a和第2缝隙部74b的交点为(X0、Y12)，并存储在存储器84中。
接着，CPU80，读出存储在存储器84中的坐标(X0、Y11)和(X0、Y12)，求出特定像素Z1的坐标，特定实际的位置。这里，如果将特定像素Z1的坐标规定为(X1、Y1)，则以X1＝X0+(Y11-Y12)/2表示，以Y1＝(Y11+Y12)/2表示。
另外，如上所述，在组合使用具有与第1缝隙部74a交叉的第2缝隙部74b的检测用缝隙74和光电传感器72的情况下，光电传感器72能够只检测通过第1缝隙部74a或第2缝隙部74b的所规定范围的光。因此，光电传感器72，不用形成检测与第1缝隙部74a或第2缝隙部74b对应的窄范围的光量的微细、特殊的构成，能够使用市售的廉价的传感器等。
接着，说明利用如上构成的曝光装置10对感光材料12的曝光动作。
首先，如果将根据曝光图形的图像数据输入到控制器28，则暂时将其存储在控制器28内的存储器84中。该图像数据，是用2值(点的存储的有无)表示构成像素的各像素浓度的数据。
接着，将感光材料12放置在载物台14上，操作者进行从控制器28的指示输入机构82输入曝光开始的操作。另外，作为利用曝光装置10进行图像曝光的感光材料12，可列举在印刷布线基板、或作为形成(图像曝光)液晶显示元件等的图形的材料的基板或玻璃板等的表面上涂布感光性环氧树脂等光抗蚀剂，或采用干膜时进行层叠等得到的感光材料。
如果通过上述的输入操作，开始曝光装置10的曝光动作，就利用控制器28控制驱动装置，上面吸附感光材料12的载物台14，就沿着导轨20，从移动方向(箭头Y方向)的校准计测方向的上游侧向下游侧，以固定速度开始移动。与该载物台的开始移动同步，或者，按感光材料12的前端达到各CCD相机26的正下方的稍微提前的时间，利用控制器28控制各CCD相机26，进行工作。
随着载物台14的移动，在感光材料12通过CCD相机26的下方时，利用CCD相机26进行校准测定。
在该校准测定中，首先，如果设在感光材料12的移动方向下游侧(前端侧)的角部附近的2个校准标记13到达CCD相机26的正下方(透镜的光轴上)，CCD相机26就按规定的时间，分别拍摄校准标记13，将该拍摄的图像数据，即，将包括由校准标记13表示曝光位置的基准的基准位置数据的图像数据，输出给控制器28的数据处理部即CPU80。在校准标记13的拍摄后，载物台14再开始向下流侧的移动。
此外，如本实施方式的感光材料12那样，在沿着移动方向(扫描方向)设置多个校准标记13的情况下，如果下一个校准标记13(设在移动方向上游侧(后端侧)的角部附近的2个校准标记13)，到达CCD相机26的正下方，同样CCD相机26就按规定的时间，分别拍摄校准标记13，将该图像数据输出给控制器28的CPU80。
另外，当在感光材料上沿着移动方向设置3个以上的校准标记的情况下，也同样，各校准标记每通过CCD相机26的下方，就按规定的时间，重复进行利用CCD相机26拍摄校准标记，将拍摄全部校准标记的图像数据输出给控制器28的CPU80。
CPU80，根据从输入的各校准标记13的图像数据(基准位置数据)判明的图像内的标记位置及标记间的间距等、和拍摄该校准标记13时的载物台14的位置及CCD相机26的位置，通过运算处理，掌握载物台14上的感光材料12的载置位置的偏移、感光材料12相对于移动方向的倾斜的偏移、及感光材料12的尺寸精度误差等，计算相对于感光材料12的被曝光面的恰当的曝光位置。然后，在利用后述的扫描器24图像曝光时，将基于存储在存储器84上的曝光图形的图像数据生成的控制信号，与该恰当的曝光位置相一致，进行图像曝光的修正控制(校准)。
如果感光材料12通过CCD相机26的下方，就结束利用CCD相机26的校准测定，继续利用驱动装置向相反的方向驱动载物台14，使其沿着导轨20向曝光方向移动。另外，感光材料12随着载物台14的移动，沿扫描器24的下方，向曝光方向的下游侧移动，如果被曝光面的图像曝光区域到达曝光开始位置，扫描器24的各曝光头30就照射光束，开始对感光材料12的被曝光面的图像曝光。
这里，按多条线的量逐次读出存储在控制器28的存储器84中的图像数据，基于由作为数据处理部的CPU80读出的图像数据，按每个曝光头30生成控制信号。对该控制信号，通过所述的修正控制(校准)，增加相对于校准测定的感光材料12的曝光位置偏移的修正。然后，作为反射镜驱动控制部的DMD控制器86，基于生成及修正的控制信号，按每个曝光头30通断控制DMD36的各个微型反射镜46。
如果从照明装置38的光纤40射出的激光照射在DMD36上，则在DMD36的微型反射镜为通态时，反射的激光，由包括微型透镜阵列54的各对应的微型反射镜60的透镜系，成像在感光材料12的曝光面上。如此，对每个像素，通断控制从照明装置38射出的激光，按与DMD36的使用像素数大致相同的数量的像素单位(曝光区域)，曝光感光材料12。
此外，通过与扫描器24一同，按固定速度移动感光材料12，能够在与载物台14相反的方向，利用扫描器24扫描感光材料12，按每个曝光头30形成带状的曝光过的区域34(图2中图示)。
如果结束利用扫描器24的感光材料12的图像曝光，载物台14，就由驱动装置直接向曝光方向的下游侧驱动，返回到位于曝光方向的最下游侧(校准计测方向的最上游侧)的原始点。由此，结束利用曝光装置10的对感光材料12的曝光动作。
下面，说明本实施方式的曝光装置10的校准功能(曝光对位功能)的校正方法。
在具备上述的校准功能的本实施方式的曝光装置10中，如前所述，CCD相机26随着移动引起姿势变化(滚动、颠簸及偏摆)，由于有时在配置在拍摄位置的状态下拍摄透镜的光轴中心偏移正规的位置，因而，受其影响，即使采用校准功能来修正曝光位置，进行图像曝光，曝光位置也会偏移适当位置，有时超出允许范围。
为了校正因该CCD相机26的姿势变化造成的光轴偏移引起的影响精度的校准功能，在制造曝光装置10或维护等时，利用以下说明的校正方法，实施校准功能的校正作业。
作为该校正作业的顺序，以先进行CCD相机26的校正、接着取得曝光基准和相机光轴中心的位置关系、然后将该取得信息反映到根据曝光头30的曝光对位中的顺序进行，但该校正作业也可以在感光材料12的曝光顺序之外另行预先实施，或在对感光材料12曝光时同时实施。此外，关于CCD相机26的校正、及曝光基准和相机光轴中心的位置关系的取得，能够连续或单独进行，但在这里，以连续进行时进行说明。
关于CCD相机26的校正，在图12所示的步骤150中，首先，操作者向控制器28输入成为曝光对象物的感光材料12的校准标记13的位置数据。通过输入该位置数据，取得校准标记13的坐标。
然后，如果操作者从控制器28的指示输入机构82进行校正开始的输入操作，开始曝光装置10的校正工作，在步骤152，控制器28的相机移动用控制器88，基于上述输入的位置数据，控制各CCD相机26的驱动源，分别使各CCD相机26向拍摄感光材料12的校准标记13的规定的拍摄位置移动。此时，各CCD相机26的位置，通过对各驱动源(同步电机)的脉冲进行计数，而由控制器28控制，此外，以所述的移动单位(U1)的步进送出。
如果各CCD相机26配置在校准标记13的拍摄位置，在步骤154，载物台14就沿着导轨20，从校准计测方向的上游侧向下游侧移动，移动到将基准板70的相机位置检测部70B配置在各CCD相机26的下方(视野内)的位置。
如果在各CCD相机26的视野内配置基准板70的相机位置检测部70B，就由控制器28控制各CCD相机26，分别拍摄相机位置检测部70B。此时，各CCD相机26分别拍摄排列在相机位置检测部70B上的多个检测用标记77A、77B中的至少一个。
接着，在步骤156，控制器28通过图像处理等，计测从拍摄的检测用标记77A、77B的视野中心(光轴中心)的位置偏移量。另外，这里，拍摄的检测用标记是检测用标记77A、77B中的任一个，采用模式匹配等图像处理进行切换。
这里，拍摄的检测用标记77A、77B，通过上述的脉冲特定是多个设置中的哪个检测用标记，此外，各检测用标记77A、77B的绝对位置数据，通过其它测定机构预先测定，并存储在控制器28，计算该绝对位置数据和上述计测结果(计测值)的差量，取得基准板70和各CCD相机26的光轴中心的位置偏移数据。从该计测及计算结果，得到校正用数据，进行拍摄校准标记13的位置(校准计测位置)上的各CCD相机26的光轴中心偏移量的修正，该校正用数据存储在控制器28的存储器85内(参照图7)。然后，结束CCD相机26的校正工作，接着，转入曝光基准和相机光轴中心的位置关系的取得工作。
如果开始该工作，在图13所示的步骤160，利用控制器28控制驱动装置，载物台14将基准板70的光束位置检测部70A移动到曝光头30的激光的照射位置(曝光位置)。接着，在步骤162，从曝光头30朝基准板70的光束位置检测部70A照射激光束，通过上述的光束位置检测工作，计测曝光基准点的位置。
这里，光束位置检测部70A和相机位置检测部70B设在同一基准板70上，它们的位置关系可预先通过其它测定机构测定。由此，判明曝光基准与用上述的相机的校正工作拍摄的检测用标记77A、77B的位置关系。从而，通过运算由本工作计测的曝光基准数据、和由相机的校正工作取得的与CCD相机26的光轴中心的位置偏移数据(校正用数据)，能得到表示曝光基准和相机光轴中心的位置关系的曝光基准-相机光轴中心的位置数据(修正数据)，在结束曝光基准和相机光轴中心的位置关系的取得工作后，结束校正工作。
在采用以上的校准功能(曝光对位功能)的校正方法进行曝光装置10的校正作业、利用该校正的曝光装置10图像曝光感光材料12的情况下，CPU80从存储器85中读出曝光基准-相机光轴中心的位置数据，通过采用该曝光基准-相机光轴中心的位置数据，运算处理基于存储在存储器84中的曝光图形的图像数据而生成的控制信号(曝光数据)，将该校正用数据反映在曝光数据。然后，再对该控制信号进行修正控制(校准)，反映如前所述校准测定感光材料12时取得的曝光位置的修正数据，与恰当的曝光位置相一致，进行图像曝光。
如上所述，在本实施方式的校准功能(曝光对位功能)的校正方法中，为校正曝光装置10的校准功能，在利用CCD相机26拍摄(校准计测)感光材料12的校准标记13之前，在可利用CCD相机26拍摄的位置(视野内)上配置具有沿着CCD相机26的移动方向(X方向)按规定间隔排列的多个检测用标记77A、77B的基准板70的相机位置检测部70B，用配置在读取设于感光材料12上的校准标记13的位置上的CCD相机26，拍摄多个检测用标记77A、77B中的至少一个，基于该拍摄取得的光轴位置偏移数据(CCD相机26的位置数据)，计算校正用数据，在对感光材料12的曝光中，通过将该校正用数据反映在基准位置数据中，进行校准，与恰当的曝光位置相一致，进行图像曝光，能够校正因随着CCD相机26的移动的姿势的变化而影响精度的曝光对位功能，能够提高相对于感光材料12的曝光位置偏移的修正精度。
此外，在本实施方式中，通过在具有利用激光束检测曝光位置的检测用缝隙74的基准板70(光束位置检测部70A)上一体设置相机位置检测部70B，与将它们设定为分体时相比，能够高精度计测检测用缝隙74和检测用标记77A、77B的相对位置，同时不易在检测用缝隙74和检测用标记77A、77B的之间产生位置偏移等。因而，只要是通过运算由该基准板70的光束位置检测部70A(及光电传感器72)检测的激光束的曝光位置数据、和采用一体设在基准板70上的相机位置检测部70B取得的校正用数据，而求出的修正数据，就能够抑制其误差量，通过反映修正数据，能够更高精度地进行校准。
这时，通过使用多个CCD相机26能够进一步发挥本发明的效果。即，在为了缩短读取时间而使用多个CCD相机26时，由于多个CCD相机26的相互位置关系容易偏移，所以校正的效果变大。
并且，CCD相机26的光轴偏移也可以通过对Y方向(图1)检测来进行校正。
另外，使用本实施方式的曝光装置作为本实施方式的应用例也可以如下述那样进行曝光。
利用图14的流程图及图18的构成图进行说明。在通过上述的工作由CCD相机26读取校准标记13之前或之后在读取了校准标记13的CCD相机26的位置记取检测用标记77A、77B(步骤174)。如上所述，预先以另外的测定机构测定检测用标记77A、77B的绝对位置数据并存储在控制器28中，读取由CCD相机26读取的校准标记13的位置数据来作为以检测用标记77A、77B的绝对位置数据为基准的位置数据(步骤176)。
接着，以上述的图13中的从步骤160到步骤164的顺序，计测DMD36的特定的像素点灯时的曝光面上的光束位置(步骤170)来取得光束位置数据(步骤172)。这是曝光基准点相对于光束位置检测部70A的相对的位置数据。
这里，光束位置检测部70A和相机位置检测部70B设在同一基准板70上，它们的相对位置关系可预先通过其它测定机构测定(步骤178)。
据此，能够取得相对于光束位置检测部70A的曝光基准点的在曝光面上的光束位置、和以相机位置检测部70B为基准的校准标记位置。即，由于光束位置检测部70A和相机位置检测部70B的相对位置被测定，所以能够取得以光束位置检测部70A为基准的校准标记13的位置数据。
在曝光感光材料的步骤，由CCD相机26读取校准标记13(步骤182)，基于读取的校准标记13取得位置数据(步骤184)。控制器28，按步骤174、176的顺序计算出校准标记13的以检测用标记77A、77B为基准的基准位置数据(步骤186)。并且，控制器28基于曝光基准点相对于光束位置检测部70A的光束位置数据、和校准标记13相对于光束位置检测部70A的位置数据，以使曝光图像的图像数据上的校准标记13与校准标记13相对于光束位置检测部70A的位置相一致的方式对图像数据分配DMD36的各像素，与图像数据相对应地调制DMD36的各像素来对曝光图像进行曝光(步骤188)。
通过由上述的本实施方式的应用例进行曝光，利用CCD相机26进行已知与光束位置检测部70A的相对位置关系的读取机构基准标记(检测用标记77)、和校准标记13的位置测定，从而掌握基准标记位置与曝光点位置的位置关系，基于这些数据曝光描绘图像，因此，能够高精度地曝光描绘图像。
即，将校准标记13及曝光基准点的曝光位置作为相对于同一标度(光束位置检测部70A或相机位置检测部70B)的相对位置取得各自的数据，由于基于该校准标记13的位置数据及曝光点基准位置数据进行曝光，所以能够高精度地在感光材料之上对描绘图像进行曝光。
所需说明的是，上述以曝光基准点为1点的情况进行说明，但通过将多个像素作为曝光基准点进行位置测定，能够更加高精度地在感光材料之上曝光描绘图像。
此外，在本实施方式中，通过在载置感光材料12的载物台14上设置具有相机位置检测部70B的基准板70，并且，通过以在载物台14上载置感光材料12的状态下能够进行利用CCD相机26拍摄检测用标记77A、77B的方式进行配设，即使在用曝光装置10曝光感光材料12的情况下，也能够校正校准功能，校正作业容易。
此外，在图15及图16中，表示将设在上述基准板70的相机位置检测部70B上的检测用标记设定为1种时的变形例。
在图15所示的相机位置检测部70B上，沿X方向按规定间隔只排列多个圆形的检测用标记77A。在该变形例中，相同地设定多个检测用标记77A的排列间距P2、和CCD相机26向X方向的移动单位U2(P2＝U2)，进而，以位于CCD相机26的视野(拍摄视野)V的中央的方式配设各检测用标记77A。
此外，也在图16(A)～(D)所示的检测用标记77B上，沿X方向按规定间隔只排列多个圆形的检测用标记77A。在该变形例中，相同地设定多个检测用标记77A的排列间距P3、和CCD相机26的视野V的X方向的长度尺寸L(P3＝L)。此外，这里，CCD相机26向X方向的移动单位U3，按检测用标记77A的宽度尺寸设定(U3＝MA)。
如此，即使在将设于相机位置检测部70B上的检测用标记设定为1种的情况下，通过采用上述设定，在CCD相机26的移动中，即使在将CCD相机26配置在以移动单位(U2/U3)的步进推进的任何位置上的情况下，也能够只拍摄多个排列中的一个检测用标记77A。另外，在这些变形例中，如上述的实施方式，为了判别用CCD相机26拍摄2种检测用标记77A、77B中的哪一个，由于不需要图形匹配等图像处理，因此，能够简化有关校正工作的处理。
图17表示基准板与曝光头的角度测定方法。
如图17所示，各曝光头30可以按各像素进行曝光的通断。
即，作为将入射的光束分别与图像数据相对应按各像素进行调制的空间光调制元件，具有数字·微型反射镜·器件(DMD)36。若从曝光头30射出的激光照射到DMD36上，则在DMD36的微型反射镜为通状态时所反射的激光，通过透镜系成像在感光材料12的曝光面上。激光按每个像素被通断，以与DMD36的使用像素大致相同的数量的像素单位(曝光区域)曝光感光材料12。
作为曝光光束位置的检测机构，设置基准板70(光束位置检测部70A)，该基准板70具有用于检测激光光束的曝光位置的检测用缝隙74，并且相对于一个曝光头30至少设置2个检测用缝隙74。
首先，在图1 7的头1中依次对像素1-a、1-b、1-c进行点灯。其中，在扫描方向(Y方向)求出并排在一直线上的1-a、1-b的头1上的像素位置(坐标)，而能够计算出头1相对于扫描方向的角度θhead(θhead_h1)。
另外，通过求出同一行(头1上)上的像素1-b、1-c的头1上的像素位置(坐标)，而能够计算出基准板70相对于头1的角度θscale(θscale_h1)。
同样，利用多个曝光头30(头1～头n)求出头角度θhead_hn、和基准板70的角度θscale_hn，由角度调整装置95来调整基准板70，使各自的平均值相等。
由于通过上述的调整可相对于扫描方向将基准板70正确地沿垂直方向对正角度，所以能以正确的坐标系测定多个曝光头30内的像素与校准相机26的位置，能够实现准确地进行曝光位置的校准修正的曝光。
即，由于头1与扫描方向的角度、头1与基准板70的角度可以检测，所以能够从这2方面检测、校正扫描方向与基准板70的角度。
通过上述的构成，能够自身高精度地修正位于曝光装置10内的成为坐标基准的基准板70的位置。据此，在曝光装置10内随时间而发生变化时，例如载物台14的扫描方向变化、或基准板70的安装角度相对于扫描方向变化等时无需用于测定扫描方向的高精度的测定装置，只利用装置内的功能就可校正，因此，曝光装置10整体的随时间变化的可靠性。
以上，通过上述实施方式更详细地说明了本发明，但是本发明并不局限于此，在本发明的范围内，可以实施其它种种变更。
例如，在上述实施方式中，说明了检测用标记(校正用基准标记)为圆形及十字型的2种时的情况，但是，关于该检测用标记的形状，可以采用圆形及十字型以外的形状，进而，也能够采用3种以上的检测用标记。即使在此种情况下，也如上所述，通过按规定的条件规定CCD相机26的视野及移动单位、和检测用标记的排列间距，也能够实现同等的功能。
此外，在上述实施方式中的曝光装置10对感光材料12的曝光动作中，说明了一边移动载物台14，一边扫描感光材料12时的情况，但曝光动作也不局限于如此的扫描曝光，另外，也可以暂时停止移动到最初的曝光位置的感光材料12，只曝光规定的曝光区域，在该曝光后，将感光材料12移动到下个曝光位置，再停止，只曝光下个规定的曝光区域的方式，形成反复进行感光材料12的移动→停止在曝光位置→图像曝光→移动……的动作。
此外，在上述实施方式中的曝光装置10中，说明了作为空间调制元件具有DMD的曝光头，但除如此的反射型空间光调制元件之外，也能够使用透射型空间光调制元件(LCD)。例如，也能够使用MEMS(MicroElectro Mechanical Systems)式的空间光调制元件(SLM：Special LightModulator)，或利用电光学效应调制透射光的光学元件(PLZT元件)或液晶光快门(FLC)等液晶快门-阵列等MEMS式以外的空间光调制元件。另外，所谓MEMS，是利用以IC制造工艺为基础的微细加工技术的微小尺寸的传感器、驱动器，及使控制电路集成化的微细系统的总称，所谓MEMS式的空间光调制元件，是指利用静电力的电气机械动作驱动的空间光调制元件。进而，也能够采用多列排列Grating Light Valve(GLV)，呈二维状构成的元件。在使用这些反射型空间光调制元件(GLV)或透射型空间光调制元件(LCD)的构成中，除上述的激光器外，也能够使用灯等作光源。
此外，作为上述实施方式中的光源，能够使用：具有多个合波激光光源的光纤阵列光源、使光纤光源阵列化的阵列光纤光源(其中的光纤光源具备1根光纤，射出从具有1个发光点的单一半导体激光器入射的激光)、二维状排列多个发光点的光源(例如，LD阵列、有机EL阵列等)等。
此外，在上述的曝光装置10中，也能够使用利用曝光直接记录信息的光子式感光材料、利用曝光发生的热记录信息的热式感光材料中的任何一种。在使用光子式感光材料的情况下，作为激光装置使用GaN系半导体激光器、波长变换固体激光器等，在使用热式感光材料的情况下，作为激光装置使用AlGaAs系半导体激光器(红外激光器)、固体激光器。

Claims (16)

1.一种曝光装置，
具有：
移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使该感光材料向沿着扫描方向的方向移动，
读取机构，其读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，
曝光机构，其利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，
控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取基准标记而取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，
其特征在于：
所述曝光装置，还具有：
读取机构位置标度，其具有沿着所述读取机构的移动方向排列的多个读取机构基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个读取机构基准标记的位置，
读取位置数据存储机构，在利用所述读取机构读取基准标记时，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个读取机构基准标记中的至少1个，该读取位置数据存储机构存储经该读取取得的所述读取机构的位置数据，
曝光点位置信息存储机构，其具有光束位置检测机构，该光束位置检测机构具有检测利用所述光束进行曝光的曝光位置的检测部，该曝光点位置信息存储机构存储由该光束位置检测机构检测从所述曝光机构输出的规定的光束的曝光点位置而得到的曝光点位置数据，
并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述数据存储机构读出所述基准位置数据，从所述曝光点位置信息存储机构读出曝光点位置数据，
从所述光束位置检测机构相对于所述读取机构基准标记的相对位置关系，基于所述基准位置数据和所述曝光点位置数据来曝光所述图像数据。
2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于：所述光束位置检测机构与所述读取机构位置标度被一体设置。
3.一种曝光装置，
具有：
移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使该感光材料向沿着扫描方向的方向移动，
读取机构，其读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，
曝光机构，其利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，
控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取基准标记而取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，
其特征在于：
所述曝光装置，还具有：
读取位置校正用部件，其具有沿着所述读取机构的移动方向排列的多个校正用基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个校正用基准标记的位置，
校正用数据存储机构，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，该校正用数据存储机构存储基于经该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出的校正用数据，
光束位置检测机构，其具有检测由所述光束进行曝光的曝光位置的检测部，
曝光点位置信息存储机构，其用于存储由该光束位置检测机构检测从所述曝光机构输出的规定的光束的曝光点位置而得到的曝光点位置数据，
并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述校正用数据存储机构读出所述校正用数据，读出使该校正用数据反映到所述基准位置数据中的基准位置修正数据，从所述曝光点位置信息存储机构读出曝光点位置数据，
从所述光束位置检测机构相对于所述读取机构基准标记的相对位置关系，基于所述基准位置修正数据和所述曝光点位置数据来曝光所述图像数据。
4.如权利要求3所述的曝光装置，其特征在于：所述光束位置检测机构与所述读取位置校正用部件被一体设置。
5.如权利要求1～4中任意一项所述的曝光装置，其特征在于：还具有角度检测机构，所述光束位置检测机构相对于所述曝光机构在没有排列在扫描方向上的多个测定位置测定所述光束的曝光点位置，该角度检测机构从在所述多个测定位置测定的曝光点位置检测出所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度。
6.如权利要求5所述的曝光装置，其特征在于：还具有图像数据修正机构，该图像数据修正机构，基于由所述角度检测机构检测出的所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度，修正在曝光面上曝光的图像数据。
7.如权利要求5所述的曝光装置，其特征在于：还具有角度调整机构，该角度调整机构，基于由所述角度检测机构检测出的所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度，调整所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度。
8.一种曝光装置，
具有：
移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使所述感光材料向沿着扫描方向的方向移动，
读取机构，其能够向与所述扫描方向交叉的方向移动，读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，
曝光机构，其在利用所述读取机构读取后，利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，
控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，
其特征在于：
所述曝光装置，还具有：
校正用部件，其设在所述移动机构上，并具有沿着所述读取机构的移动方向以规定间隔排列的多个校正用基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个校正用基准标记的位置，
数据存储机构，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，该数据存储机构存储基于经该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出的校正用数据，
并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述数据存储机构读出所述校正用数据，使该校正用数据反映到所述基准位置数据中进行所述曝光对位、控制所述曝光机构进行曝光动作。
9.一种曝光方法，
使用：
移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使该感光材料向沿着扫描方向的方向移动，
读取机构，其读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，
曝光机构，其利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，
控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取基准标记而取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，
其特征在于：
所述曝光方法，还使用：
读取机构位置标度，其具有沿着所述读取机构的移动方向排列的多个读取机构基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个读取机构基准标记的位置，
读取位置数据存储机构，在利用所述读取机构读取基准标记时，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个读取机构基准标记中的至少1个，该读取位置数据存储机构存储经该读取取得的所述读取机构的位置数据，
曝光点位置信息存储机构，其使用具有检测由所述光束进行曝光的曝光位置的检测部的光束位置检测机构，并存储由该光束位置检测机构检测从所述曝光机构输出的规定的光束的曝光点位置而得到的曝光点位置数据，
并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述数据存储机构读出基准位置数据，从所述曝光点位置信息存储机构读出曝光点位置数据，
从所述光束位置检测机构相对于所述读取机构基准标记的相对位置关系，基于所述基准位置数据和所述曝光点位置数据来曝光所述图像数据。
10.一种曝光方法，
使用：
移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使该感光材料向沿着扫描方向的方向移动，
读取机构，其读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，
曝光机构，其利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，
控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取基准标记而取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，
其特征在于：
所述曝光方法，还使用：
读取位置校正用部件，其具有沿着所述读取机构的移动方向排列的多个校正用基准标记的同时，配置在能够由所述读取机构读取该多个校正用基准标记的位置，
校正用数据存储机构，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，该校正用数据存储机构存储基于经该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出的校正用数据，
光束位置检测机构，其具有检测由所述光束进行曝光的曝光位置的检测部，
曝光点位置信息存储机构，其用于存储由该光束位置检测机构检测从所述曝光机构输出的规定的光束的曝光点位置而得到的曝光点位置数据，
并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述校正用数据存储机构读出所述校正用数据，读出使该校正用数据反映到所述基准位置数据中的基准位置修正数据，从所述曝光点位置信息存储机构读出曝光点位置数据，
从所述光束位置检测机构相对于所述读取机构基准标记的相对位置关系，基于所述基准位置修正数据和所述曝光点位置数据来曝光所述图像数据。
11.如权利要求9或10所述的曝光方法，其特征在于：还使用角度检测机构和图像数据修正机构，所述光束位置检测机构相对于所述曝光机构在没有排列在扫描方向上的多个测定位置测定所述光束的曝光点位置，该角度检测机构从在所述多个测定位置测定的曝光点位置检测出所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度；
该图像数据修正机构，基于由所述角度检测机构检测出的所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度，修正在曝光面上曝光的图像数据。
12.如权利要求9或10所述的曝光方法，其特征在于：还使用角度检测机构和角度调整机构，所述光束位置检测机构相对于所述曝光机构在没有排列在扫描方向上的多个测定位置测定所述光束的曝光点位置，该角度检测机构从在所述多个测定位置测定的曝光点位置检测出所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度；
该角度调整机构，基于由所述角度检测机构检测出的所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度，调整所述光束位置检测机构相对于扫描方向的角度。
13.一种曝光方法，
使用：
移动机构，其载置设有成为曝光位置的基准的基准标记的感光材料，使所述感光材料向沿着扫描方向的方向移动，
读取机构，其能够向与所述扫描方向交叉的方向移动，读取载置在所述移动机构上的所述感光材料的所述基准标记，
曝光机构，其在利用所述读取机构读取后，利用对应图像数据调制的光束曝光由所述移动机构移动的所述感光材料，
控制机构，其在所述曝光机构的曝光中，基于由所述读取机构读取取得的基准位置数据，进行所述光束的曝光对位，控制所述曝光机构进行曝光动作，
其特征在于：
所述曝光方法，还使用：
校正用部件，其被设在所述移动机构上，并具有沿着所述读取机构的移动方向以规定间隔排列的多个校正用基准标记的同时，配置在能够由读取机构读取该多个校正用基准标记的位置，
数据存储机构，由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，该数据存储机构存储基于经该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出的校正用数据，
并且，在对所述感光材料的曝光中，所述控制机构，从所述数据存储机构读出所述校正用数据，使该校正用数据反映到所述基准位置数据中进行所述曝光对位、控制所述曝光机构进行曝光动作。
14.一种曝光装置的校正方法，由能够向与感光材料的扫描方向交叉的方向移动的读取机构读取被设在所述感光材料上的成为曝光位置的基准的基准标记而取得基准位置数据，基于该基准位置数据进行相对感光材料的曝光对位，由移动机构使该感光材料向所述扫描方向移动的同时、校正由对应图像数据调制过的光束进行曝光的曝光装置的所述曝光对位功能，其特征在于：
在由所述读取机构读取所述基准标记之前，
在能够由所述读取机构读取的位置配置校正用部件，该校正用部件具有沿着读取机构的移动方向以规定间隔排列的多个校正用基准标记，
由配置在读取所述基准标记的位置的读取机构读取所述多个校正用基准标记中的至少1个，基于该读取取得的所述读取机构的位置数据计算出校正用数据，并将该校正用数据反映到所述基准位置数据中，从而校正所述曝光装置的曝光对位功能。
15.如权利要求14所述的曝光装置的校正方法，其特征在于：所述曝光装置具有检测机构，该检测机构具备检测出由所述光束曝光的曝光位置的检测部，在所述检测机构上一体设置所述校正用部件，并且，通过将运算由所述检测机构检测出的光束的曝光位置数据与所述校正用数据求得的修正数据反映到所述基准位置数据中，而校正所述曝光装置的曝光对位功能。
16.如权利要求14或15所述的曝光装置的校正方法，其特征在于：所述移动机构具有载置所述感光材料的载物台，
所述校正用基准部件，按照在将所述感光材料载置在所述载物台上的状态下能够利用所述读取机构读取所述校正用基准标记的方式、设在所述载物台上。
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