CN114253083B - 旋转承载装置、光刻机及旋转承载装置的校准方法 - Google Patents

Abstract

本发明的一种旋转承载装置及其校准方法，其通过将本发明的旋转承载装置中的标记和位置读取装置可移动设置，以在对该旋转承载装置进行校准时，通过位置读取装置读取的标记的位置信息，在位置信息与位置读取装置的位置信息不匹配时；调整标记在固定板上的位置，和/或调整位置读取装置的位置，进而使得调整后的标记与位置读取装置的位置信息匹配。从而使得本发明的旋转承载装置能够在多个方向上动态调整，且调整过程中的调整链较短，有利于提升调节精度，进而提升上板精度。

Description

旋转承载装置、光刻机及旋转承载装置的校准方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及旋转承载装置、光刻机及旋转承载装置的校准方法。

背景技术

光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模版上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。

在往光刻机中的掩模台中上下片的过程中通常会使用到旋转承载装置，旋转承载装置通常包括旋转台和位于旋转台下的用于吸附掩模板的两个吸附装置，旋转台旋转带动两个吸附装置旋转，进而实现掩模板的互换。旋转承载装置的精度决定了掩模板放置在掩模台上的位置精度，进而影响光刻的精度，因此旋转承载装置中的吸附装置的位置精度调整是上板之前必备的作业流程。

目前的位置精度的调整方法中，通过移动旋转台和吸附装置使位于吸附装置上的标记能够与位置固定的探测器对应，以调整旋转承载装置的精度。然而，上述调整方法不能实现多方向位置调整且调整精度欠佳，同时调整尺寸链过长，从而会使得精度调节出现较大误差，进而导致掩模台上板精度不佳甚至无法正常上板的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种旋转承载装置，本发明中的旋转承载装置能够实现高精度的位置校准，有效改善了现有技术中由于旋转承载装置的精度不佳而导致掩膜台上板精度不佳甚至无法正常上板的问题。

本发明提供的一种旋转承载装置，包括：

旋转台，所述旋转台具有旋转中心轴；

吸附装置，所述吸附装置固定连接在所述旋转台上，以使所述吸附装置在所述旋转台的带动下旋转，所述吸附装置用于吸附掩模板；其中，所述吸附装置均包括吸附台和标记板，所述标记板设置在所述吸附台的吸附面上，所述标记板包括固定板及至少一个标记，所述固定板远离所述旋转中心轴的一端突出所述吸附台，所述标记设置在所述固定板突出所述吸附台的端部，以及所述标记在所述固定板上的位置可调；

位置读取装置，用于读取所述标记的位置信息，以在所述标记的位置信息和所述位置读取装置的位置信息不匹配时，调整所述标记在所述固定板上的位置，和/或调整所述位置读取装置的位置。

可选的，所述旋转承载装置包括两个吸附装置，两个所述吸附装置以所述旋转中心轴为中心线间隔镜像设置在所述旋转台的台面上；

以及，所述旋转承载装置包括两个位置读取装置，所述两个位置读取装置分别用于读取所述两个吸附装置中的标记的位置信息。

可选的，在所述标记的位置信息和所述位置读取装置的位置信息不匹配时，调整所述标记在第一方向上的位置，和/或调整所述位置读取装置在第二方向上的位置；其中，所述第一方向和所述第二方向均垂直于所述旋转中心轴，且所述第一方向和所述第二方向相互垂直。

可选的，所述固定板突出所述吸附台的一端具有至少一个第一通孔，每个所述第一通孔内设有一个所述标记，且所述标记在所述第一通孔内的位置可调。

可选的，所述标记板还包括至少一个第一承载板，所述第一承载板设置在所述第一通孔内，用于承载所述标记，并且所述第一承载板在所述第一通孔内的位置可调；其中，每个所述第一承载板具有第二通孔，所述标记设置在所述第二通孔内，并使所述标记与所述第二通孔的内壁固定连接。

可选的，所述标记板还包括黏胶层，所述黏胶层设置在所述标记和所述第二通孔的内壁之间以固定所述标记和所述第一承载板。

可选的，所述标记板还包括第一紧固件，所述第一紧固件穿过所述第一通孔的侧壁以在所述第一承载板调整到预定位置时固定所述第一承载板。

可选的，所述标记板还包括凸台和第二紧固件，所述凸台设置在所述第一通孔内且与形成所述第一通孔的侧壁固定连接，所述第一承载板卡合在所述凸台上，所述第二紧固件穿过所述第一承载板，以在所述第一承载板调整到预定位置时将所述第一承载板固定在所述凸台上。

可选的，所述标记板还包括至少一个位置调整件，所述位置调整件穿过所述第一通孔的侧壁，以在预定方向上调整所述第一承载板的位置。

可选的，所述标记板还包括至少一个所述第二承载板，所述第二承载板设置在所述固定板突出所述吸附台的端部上并至少固定在所述端部的侧壁上，所述位置调整件穿过所述第二承载板及所述第一通孔的侧壁至所述第一通孔中，以调整所述第一承载板的位置。

可选的，所述第二承载板包括侧板和与所述侧板固定连接的顶板，所述侧板设置在所述固定板突出所述吸附台的端部的侧壁上，所述位置调整件穿过所述侧板，以及所述顶板设置在所述固定板突出所述吸附台的端部的顶表面上，并利用第三紧固件穿过所述顶板将所述第二承载板固定在所述固定板上。

可选的，所述标记板还包括定位件，所述定位件位于所述固定板上，用于限定所述标记在垂直于其移动方向上相对于所述定位件的距离。

可选的，所述位置读取装置包括至少一个光源和至少一个探测器，所述光源和所述探测器分别位于所述标记的两侧，所述探测器用于探测穿过所述标记的光线，以读取所述标记的位置信息。

可选的，所述旋转承载装置还包括可移动框架，所述位置读取装置固定在所述框架上，以利用所述框架移动调整所述位置读取装置的位置。

可选的，所述旋转承载装置还包括固定臂，所述固定臂固定连接所述旋转台和所述吸附装置。

另外，本发明还提供一种光刻机，包括如上所述的旋转承载装置。

基于如上所述的旋转承载装置，本发明还提供了一种旋转承载装置的校准方法，所述方法包括：

第一步骤，提供上述任意一项所述的旋转承载装置；

第二步骤，利用所述位置读取装置读取所述吸附装置中的所述标记的位置信息；

第三步骤，根据所述标记的位置信息，判断所述标记的位置和所述位置读取装置的位置在预定方向上的距离是否在预设范围内；若否，调整所述标记在所述固定板上的位置，和/或调整所述位置读取装置的位置；以及，

重复所述第二步骤和所述第三步骤，直至所述标记的位置与所述位置读取装置的位置在预定方向上的距离在预设范围内。

可选的，所述第二步骤包括：读取所述标记在所述第一方向上的第一位置信息，以及读取所述标记在第二方向上的第二位置信息；

所述第三步骤包括：根据所述第一位置信息，判断所述标记和所述位置读取装置在第一方向上的距离是否在第一预设范围内，若否，则调整所述标记在所述第一方向上的位置；以及，根据所述第二位置信息，判断所述位置读取装置与所述标记在所述第二方向上的距离是否在第二预设范围内，若否，则调整所述位置读取装置在所述第二方向上的位置。

可选的，所述旋转承载装置包括两个吸附装置，两个所述吸附装置以所述旋转中心轴为中心线间隔镜像设置在所述旋转台的台面上；以及，所述旋转承载装置包括两个所述位置读取装置，两个所述位置读取装置分别用于读取两个所述吸附装置中的标记的位置信息；

其中，判断所述位置读取装置与所述标记在所述第二方向上之间的间距是否需要调整之后，所述方法还包括：

步骤一：将所述旋转承载装置旋转180°，以使两个所述吸附装置所对应的位置读取装置相互对调；

步骤一：将所述旋转承载装置旋转180°，以使两个所述读取装置对应读取的所述吸附装置位置调换，以使另一所述位置读取装置对应所述吸附装置；

步骤二：另一所述位置读取装置读取所述吸附装置中的标记在所述第一方向上的第三位置信息，以及读取所述标记在所述第二方向上的第四位置信息；

步骤三：根据所述第三位置信息，判断所述标记和另一所述位置读取装置在所述第一方向上的距离是否在所述第一预设范围内，若否，则调整另一所述位置读取装置在所述第一方向上的位置，或者调整所述位置读取装置、所述旋转台和所述吸附装置的位置；并根据所述第四位置信息，判断另一所述位置读取装置与所述标记在所述第二方向上的距离是否在第二预设范围内，若否，则调整另一所述位置读取装置在所述第二方向上的位置，或者调整所述位置读取装置、所述旋转台和所述吸附装置的位置；

以及，重复所述步骤二到所述步骤三，直至所述标记的位置与另一所述位置读取装置的位置在所述第一方向上的距离在所述第一预设范围内，以及所述标记的位置与另一所述位置读取装置的位置在所述第二方向上的距离在所述第二预设范围内。

可选的，根据标记的位置信息，判断所述标记的位置和所述位置读取装置的位置在预定方向上的距离是否在预设范围内的方法包括：将所述位置信息与所述位置读取装置在所述预定方向上的零位值做差以得到差值，并判断所述差值的绝对值是否在所述预设范围内。

可选的，其特征在于，所述第一预设范围以及所述第二预设范围均为0um～50um。

可选的，所述吸附装置包括两个所述标记，以及所述位置读取装置包括两个探测器；

在所述位置读取装置读取所述标记在所述第一方向上的第一位置信息的同时，所述方法还包括，所述位置读取装置读取两个所述标记所在的直线与两个所述探测器所在的直线之间夹角的角度，并将所述夹角的角度记作第一角度信息；以及，

在所述位置读取装置读取所述第一角度信息之后，所述方法还包括：根据所述第一角度信息，判断所述第一角度信息是否在预设角度范围内，若否，则调整两个所述标记其中至少之一在所述第一方向上的位置使所述第一角度信息位于预设角度范围内。

可选的，所述预设角度范围为：0～150μrad。

本发明中的一种旋转承载装置，由于旋转承载装置中的标记和位置读取装置均为可移动设置，从而在对该旋转承载装置进行校准时，位置读取装置可读取的标记的位置信息，并在标记的位置信息与位置读取装置的位置信息不匹配时，不仅可以选择调整标记在固定板上的位置，并且还可以选择调整位置读取装置的位置，以使调整后的标记与位置读取装置的位置信息匹配。如此一来，即能够在多个方向上动态调整以实现校准过程，且调整过程中的调整链较短，有利于提升调节精度。

附图说明

图1是本发明一实施例的旋转承载装置的结构示意图；

图2是本发明一实施例的旋转承载装置中的标记板的结构示意图；

图3是本发明一实施例的旋转承载装置中的固定板的结构示意图；

图4是本发明一实施例的旋转承载装置中的第一承载板的结构示意图；

图5是本发明一实施例的旋转承载装置中的第二承载板的结构示意图；

图6是本发明一实施例的旋转承载装置的校准方法流程图；

附图标记

10-旋转台；

20-吸附装置；

21-标记板；

211-固定板； 2111-凸台；

212-标记；

213-第一承载板； 214-第一紧固件；

215-第二紧固件； 216-第二承载板；

2161-侧板； 2162-顶板；

217-位置调整件； 218-第三紧固件；

219-定位件； 220-第四紧固件；

22-吸附台；

30-位置读取装置；

31-探测器； 32-光源；

40-固定臂；

101-第一通孔； 102-第二通孔；

103-第三通孔； 104-第四通孔；

105-第五通孔；

X-第一方向； Y-第二方向；

Z-旋转中心轴；

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的旋转承载装置、光刻机及旋转承载装置的校准方法作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

图1是本发明一实施例的旋转承载装置的结构示意图。如图1所示，本实施例中的一种旋转承载装置，包括旋转台10、吸附装置20以及位置读取装置30。

具体的，本实施例中，所述旋转台10具有旋转中心轴Z。以及，所述吸附装置20固定连接在所述旋转台10上，以使所述吸附装置20在所述旋转台10的带动下旋转，所述吸附装置20用于吸附掩模板。其中，所述吸附装置20包括吸附台22和标记板21，所述标记板21设置在所述吸附台10的吸附面上。

接着重点参考图2所示，其中图2是本发明一实施例的旋转承载装置中的标记板的结构示意图。所述标记板21进一步包括固定板211及至少一个标记212，所述固定板211远离所述旋转中心轴Z的一端突出所述吸附台22，所述标记212设置在所述固定板211突出所述吸附台22的端部上，以及所述标记212在所述固定板211上的位置可调。

继续参考图1和图2所示，所述位置读取装置30用于读取所述标记212的位置信息。以及，在所述标记212的位置信息和所述位置读取装置30的位置信息不匹配时，可调整所述标记212在所述固定板211上的位置，和/或调整所述位置读取装置30的位置，进而使得调整后的所述标记212与所述位置读取装置30的位置信息匹配。如此，以实现对旋转承载装置的位置精度的调整，相应的保障了上载于旋转承载装置上的掩模版的位置精度。

具体的，在所述标记212的位置信息和所述位置读取装置(30)的位置信息不匹配时，例如可以调整所述标记212在第一方向X上的位置，和/或调整所述位置读取装置30在第二方向Y上的位置。其中，所述第一方向X和所述第二方向Y均垂直于所述旋转中心轴Z，且所述第一方向X和所述第二方向Y相互垂直。

需要说明的是，本实施例中，当存在位置信息不匹配时，不仅可以对标记的位置进行调整，还可以对位置读取装置30的位置进行调整，有效提高了校准过程中调整灵活度，且调整过程中的调整链较短，有利于提升调节精度。

此外，如图1所示，在本实施例中，所述旋转台10可以为圆柱形，所述圆柱形的旋转台10在进行旋转时旋转更流畅，更稳定。当然，在其他实施例中，所述旋转台10还可以为长方体或正方体等形状，所述旋转台10的具体形状在此不做具体限定。当然，所述旋转台10还可以镂空设置，镂空设置的所述旋转台10可降低所述旋转台10的重量，以减轻所述旋转吸附装置的重量并节约材质，降低成本。

继续参考图1所示，在本实施例中，所述旋转承载装置包括两个位置读取装置30，两个所述位置读取装置30分别用于读取两个吸附装置20中的标记212的位置信息。此外，在本实施例中，所述旋转承载装置还包括可移动框架(图未示)，所述位置读取装置30固定在所述可移动框架上，以利用所述可移动框架(图未示)移动调整所述位置读取装置30的位置。所述可移动框架(图未示)可与伺服机与控制器相连，以通过所述控制器根据实际所述位置读取装置30需要移动的方向、距离来控制所述伺服机工作，进而带动所述可移动框架(图未示)移动，以带动所述位置读取装置30按预定方向、距离进行移动。

本实施例中，所述位置读取装置30和所述可移动框架(图未示)均为两个，两个所述位置读取装置30位于所述旋转台10两侧，每个所述位置读取装置30固定在其对应的所述可移动框架上。

继续参考图1所示，本实施例中，每个所述位置读取装置30均包括至少一个光源32和至少一个探测器31，所述光源32和所述探测器31分别位于所述标记212沿平行于所述旋转中心轴Z的方向的两侧，所述光源32和所述探测器31与所述标记212对应设置。在所述光源32打开时，所述光源32发出的光照射并穿过所述标记212，所述探测器31用于探测穿过所述标记212的光线，以读取所述标记212的位置信息。在本实施例中，每个所述标记板21上的所述标记212为两个，对应的在本实施例中，每个所述位置读取装置30中的所述光源32为两个，所述探测器31也为两个。

继续参图2并结合图1所示，在本实施例中，所述旋转承载装置包括两个吸附装置20，两个所述吸附装置20以所述旋转中心轴Z为中心线间隔镜像设置在所述旋转台10的台面上。此外，在本实施例中，所述旋转承载装置还包括固定臂40，所述固定臂40固定连接所述旋转台10和所述吸附装置20。以及，在本实施例中，由于所述吸附装置20为两个，对应的所述固定臂40也为两个，两个所述固定臂40分别与两个所述吸附装置20固定连接，以连接并固定所述旋转台10和所述吸附装置20。

以及，如图1和图2所示，在本实施例中，所述标记板21上还设有第四紧固件220，所述第四紧固件220一端伸入所述固定臂40，另一端伸入所述标记板21后以使所述固定臂40和所述标记板21固定连接。

图3是本发明一实施例的旋转承载装置中的固定板的结构示意图。继续参考图1～图2并结合图3所示，在本实施例中，所述固定板211突出所述吸附台10的一端具有至少一个第一通孔101，每个所述第一通孔101内设有一个所述标记212，且所述标记212在所述第一通孔101内的位置可调。

以及，在本实施例中，所述标记板21还包括至少一个第一承载板213，所述第一承载板213设置在所述第一通孔101内，用于承载以及保护所述标记212，并且所述第一承载板213在所述第一通孔101内的位置可调。

图4是本发明一实施例的旋转承载装置中的第一承载板的结构示意图，结合图2和图4所示，每个所述第一承载板213具有第二通孔102，所述标记212设置在所述第二通孔102内，并使所述标记212与所述第二通孔102的内壁固定连接。此外，在本实施例中，所述标记板21还包括黏胶层，所述黏胶层设置在所述标记212和所述第二通孔102的内壁之间以固定所述标记212和所述第一承载板213。在其他实施例中，所述标记212和所述第一承载板213还可以通过螺接或一体成型形成。

继续参图2并结合图3所示，本实施例的所述标记板21还包括凸台2111、第一紧固件214和第二紧固件215，所述第一紧固件214穿过所述第一通孔101的侧壁以在所述第一承载板213调整到预定位置时固定所述第一承载板213，其中所述预定位置指的是所述标记213和所述探测器31之间的距离位于预设范围内时，所述第一承载板213在所述第一通孔101内相对于所述固定板211的位置。以及，所述凸台2111设置在所述第一通孔101内且与形成所述第一通孔101的侧壁固定连接，所述第一承载板213卡合在所述凸台2111上，所述第一承载板213设有第三通孔103，所述第二紧固件215穿过所述第三通孔103以穿过所述第一承载板213，以在所述第一承载板213调整到预定位置时将所述第一承载板213固定在所述凸台2111上。

在本实施例中，所述第一紧固件214和所述第二紧固件215可以为弹簧柱塞，所述第一紧固件214和所述第二紧固件215用于在所述第一承载板213调整到预定位置时，将所述第一承载板213固定在所述固定板211上，并用于在对所述第一承载板213的位置进行调整时，提供预紧力。

此外，在所述第一承载板213调整到预定位置时，所述第一紧固件214和所述第二紧固件215可伸入所述第一承载板213，以固定所述第一承载板213；或者，所述第一紧固件214和所述第二紧固件215可与所述第一承载板213抵接以使所述第一承载板213与所述固定板211相互抵接，进而固定所述第一承载板213和所述固定板211。

继续参考图2所示，本实施例中，所述标记板21还包括至少一个位置调整件217，所述位置调整件217穿过所述第一通孔101的侧壁，以在预定方向上调整所述第一承载板213的位置。在本实施例中，所述位置调整件217可以为千分尺，由于所述位置调整件217为千分尺，则可通过所述千分尺来确定所述标记212调整的距离，以方便快捷的将所述标记212调整到所述预定位置。

进一步的，为承载所述位置调整件217，本实施例中的所述标记板21还包括至少一个第二承载板216，所述第二承载板216设置在所述固定板211突出所述吸附台22的端部上并至少固定在所述端部的侧壁上，所述位置调整件217穿过所述第二承载板216及所述第一通孔101的侧壁至所述第一通孔101中，以用于调整所述第一承载板213的位置。

图5是本发明一实施例的旋转承载装置中的第二承载板的结构示意图。结合参图2和图5所示，所述第二承载板216包括侧板2161和与所述侧板2161固定连接的顶板2162，其中，所述侧板2161上设有第四通孔104，以及所述顶板2162上设有第五通孔105。所述侧板2161设置在所述固定板211突出所述吸附台22的端部的侧壁上，所述位置调整件217穿过所述第四通孔104，以及所述顶板2162设置在所述固定板211突出所述吸附台22的端部的顶表面上，并利用第三紧固件218穿过所述顶板2162的所述第五通孔105将所述第二承载板216固定在所述固定板211上。在本实施例中，所述第三紧固件218可以包括螺丝。

下面结合图2～图5，详细说明本实施例中利用所述位置调整件217调整所述标记212的位置的过程，在本实施例中，所述预定方向以第一方向(X方向)为例。

在本实施例中，在调整所述第一承载板213的位置时，可使所述第一紧固件214和所述第二紧固件215均与所述第一承载板213脱离固定。

之后，使所述位置调整件217在所述第一方向X上移动，从而使得与所述位置调整件217抵接的第一承载板213相应的移动，并进一步利用所述第一承载板213带动所述标记212在所述第一方向X上运动。

以及，当所述标记212在所述第一方向X上的位置调整好时，即可再次利用所述第一紧固件214和所述第二紧固件215固定所述第一承载板213，以完成调整过程。

在一种可选的方案中，所述位置调整件217其延伸至第一通孔中的端部和所述第一承载板213固定连接，所述位置调整件217在所述第一方向X上运动时带动所述第一承载板213并带动所述标记212在所述第一方向X上运动，在本实施例中，所述位置调整件217和所述第一承载板213固定连接使得本实施例中对所述标记212在所述第一方向X上的调整过程更便捷。以及，在本实施例中，所述位置调整件217和所述第一承载板213之间可以通过黏胶层连接，也可以通过焊接连接，还可以在所述位置调整件217和所述第一承载板213之间设置固定栓以固定连接所述位置调整件217和所述第一承载板213。

当然，另一种可选的方案中，所述位置调整件217和所述第一承载板213还可以是非固定连接。具体的，可以在所述第一承载板213相对于位置调整件217的一侧设置有弹性件，所述弹性件相应的位于第一承载板213与所述第一通孔101的侧壁之间，所述弹性件可以为弹簧、弹块等具有弹性力的部。如此一来，即可利用所述弹性件和所述位置调整件217共同实现对第一承载板213的位置调整。

具体的，例如，在所述位置调整件217与所述第一承载板216非固定连接，且需要将所述标记212的位置朝向所述旋转中心轴Z方向运动时，则可使所述位置调整件217朝向所述旋转中心轴Z方向运动，以推动所述第一承载板213朝向所述旋转中心轴Z方向运动，所述第一承载板213带动所述标记212朝向所述旋转中心轴Z方向运动。此时，所述弹性件被挤压，被挤压的所述弹性件产生远离所述旋转中心轴Z方向的应力以防止所述第一承载板213与所述固定板211碰撞，进而防止所述标记212被挤压损坏。

再例如，所述位置调整件217与所述第一承载板216非固定连接，且需要将所述标记212的位置远离所述旋转中心轴Z方向运动时，则所述位置调整件217以远离所述旋转中心轴Z方向运动，此时所述弹性件产生的应力推动所述第一承载板216带动所述标记212相应的以远离所述旋转中心轴Z方向运动，以调整所述标记212的位置。

此外，在本实施例中，每个所述标记板21上设置有两个标记212，对应的所述位置读取装置30中包括两个探测器31，每个所述探测器31对应探测一个所述标记212的位置。以及定义两个所述标记212所在的直线与两个所述探测器31所在的直线之间的夹角为所述标记212的角度。在本实施例中，所述角度可调整。

具体的，由于本实施例中的所述位置读取装置30中的两个探测器31之间的相对位置不变。因此，调整两个所述标记212至少其中之一在所述第一方向X上相对于所述固定板211的位置即可调整所述角度。在本实施例中，调整所述标记212相对所述固定板211在所述第一方向X上的位置的同时可调整所述角度，如此一来，节省所述标记212在所述第一方向X上的位置调整的时间，以提升调整效率。

进一步的，继续参图1和图2所示，在本实施例中，所述标记板21还包括定位件219，所述定位件219位于所述固定板211上，所述定位件219用于限定所述标记212在垂直于其移动方向上相对于所述定位件219的距离。例如，所述标记212在如图2所示的第一方向X方向上运动，则所述标记212在第二方向Y方向上相对于所述定位件219的距离固定，即所述定位件219用于限定所述标记212相对于所述定位件219在第二方向Y方向上的距离。基于上述旋转承载装置，本实施例还提供一种旋转承载装置的校准方法。图6是本发明一实施例的旋转承载装置的校准方法流程图；具体的，如图6所示，本实施例的所述旋转承载装置的校准方法包括如下第一步骤到第三步骤。

第一步骤S10，提供上述所述的旋转承载装置。

第二步骤S20，利用所述位置读取装置30读取所述吸附装置20中的所述标记212的位置信息。

在本实施例中，所述位置读取装置30包括光源32以及探测器31，所述光源32和所述探测器31沿平行于所述旋转中心轴Z的方向设置在所述标记212两侧。所述位置读取装置30读取所述吸附装置20中的所述标记212的位置信息的具体方法包括：打开所述光源32以使所述光源32照射并透过所述标记212，所述探测器31探测穿过所述标记212的光线，以读取所述标记212在所述第一方向X上的第一位置信息，以及读取所述标记212在所述第二方向Y上的第二位置信息。具体的，所述探测器31读取所述标记212在所述第一方向X上的第一位置信息可以包括：读取所述标记212中心点在所述第一方向X上的第一位置信息。以及所述探测器31读取所述标记212在所述第二方向Y上的第二位置信息可以包括：读取所述标记212中心点在所述第二方向Y上的第二位置信息。

第三步骤S30，根据所述标记212的位置信息，判断所述标记212的位置和所述位置读取装置30的位置在预定方向上的距离是否在预设范围内；若否，调整所述标记212在所述固定板211上的位置，和/或调整所述位置读取装置30的位置；以及，重复所述第二步骤S20和所述第三步骤S30，直至所述标记212的位置与所述位置读取装置30的位置在预定方向上的距离在预设范围内。

本实施例的旋转承载装置校准方法中，当所述标记212的位置和所述位置读取装置30的位置在预定方向上的距离不在预设范围内时，调整所述标记212在所述固定板211上的位置，和/或调整所述位置读取装置30的位置，进而使得调整后的所述标记212与所述位置读取装置30的位置信息匹配。如此一来，使得旋转承载装置能够在多个方向上动态调整，且调整过程中的调整链较短，以提升调节精度，进而提升上板精度。

进一步的，根据标记212的位置信息，判断所述标记212的位置和所述位置读取装置30的位置在预定方向上的距离是否在预设范围内的方法包括：将所述标记212的位置信息与所述位置读取装置30在所述预定方向上的零位值做差以得到差值，并判断所述差值的绝对值是否在所述预设范围内。

具体的，在本实施例中，所述位置读取装置30在所述第一方向X上具有第一零位值，以及在所述第二方向Y上具有第二零位值。其中，所述第一零位值指所述探测器31的中心点在所述第一方向X上相对于其参照点之间的距离值。以及所述第二零位值指所述探测器31的中心点在所述第二方向Y上相对于其参照点之间的距离值。

以及，所述探测器31读取所述标记212在所述第一方向X上的第一位置信息，并将所述第一位置信息与所述第一零位值做差以得到第一差值，并判断所述第一差值的绝对值是否在第一预设范围内，可以理解的所述第一差值的绝对值可以表示所述探测器31和所述标记212的中心在所述第一方向X上的距离。

若所述第一差值的绝对值不在所述第一预设范围内，则移动所述标记212以调整所述标记212在所述第一方向X上相对于所述固定板211的位置，之后不断重复上述读取所述标记212在所述第一方向X上的第一位置信息、将所述第一位置信息与所述位置读取装置30的第一零位值做差、判断所述差值的绝对值是否在第一预设范围内以及调整所述标记212在所述第一方向X上相对所述固定板211的位置的动作，直至所述标记212的位置与所述位置读取装置30中的所述探测器31的位置在所述第一方向X上的距离在所述第一预设范围内。

其中，在本实施例中，调整所述标记212在所述第一方向X上相对于所述固定板211上的位置过程中，由于所述位置调整装置30的位置不变，则所述位置调整装置30具有的第一零位值也不变化，即调整过程中的所述位置装置30的所有所述第一零位值均相等。

以及，所述探测器31读取所述标记212在所述第二方向Y上的第二零位值，并将所述第二位置信息与所述第二零位值做差以得到第二差值，并判断所述第二差值的绝对值是否在第二预设范围内，可以理解的，所述第二差值的绝对值可以表示所述探测器31和所述标记212的中心在所述第二方向上的距离。

若所述第二差值的绝对值不在所述第二预设范围内，则移动所述位置读取装置30的位置，以调整所述探测器31相对所述标记212在所述第二方向Y上相对所述标记212之间的距离。之后不断重复上述读取所述标记212在所述第二方向Y上的第二位置信息、所述第二位置信息与移动后的所述位置读取装置30的所述第二零位值做差、判断所述差值的绝对值是否在所述第二预设范围内以及移动所述位置读取装置30进而移动所述探测器31在所述第二方向Y上的位置的动作，直至所述标记212的位置与所述位置测量装置30探测器31的位置在所述第二方向Y之间的距离在所述第二预设范围内。

可以理解的，在本实施例中，移动所述位置读取装置30的过程中，由于所述位置读取装置30的位置不断变化，则所述位置读取装置30具有的所述第二零位值不断变化。

其中，在本实施例中，所述第一预设范围和所述第二预设范围可以相同，所述第一预设范围以及所述第二预设范围例如均为0um～50um。即，最终调整后，所述探测器31和所述标记212中心点之间的距离要位于0um～50um内，以保证所述旋转承载装置的精度，进而保证所述掩模板的上板精度。

此外，在本实施例中，先调整所述标记212在所述第一方向X上相对于所述固定板211的位置，以使所述标记212的位置与所述位置读取装置30中的所述探测器31的位置在所述第一方向X上的距离在所述第一预设范围内。之后，再调整所述位置读取装置30在所述第二方向Y上的位置，以使所述所述标记212的位置与所述位置测量装置30探测器31的位置在所述第二方向Y之间的距离在所述第二预设范围内。在其他实施例中，也可以先调整调整所述位置读取装置30在所述第二方向Y上的位置，以使所述所述标记212的位置与所述位置测量装置30探测器31的位置在所述第二方向Y之间的距离在所述第二预设范围内。之后再调整所述标记212在所述第一方向X上相对于所述固定板211的位置，以使所述标记212的位置与所述位置读取装置30中的所述探测器31的位置在所述第一方向X上的距离在所述第一预设范围内。具体的调整顺序在此不做限定，以实际需求为准。

此外，本实施例中的所述吸附装置中的每个所述标记板21包括两个标记212，以及每个所述位置读取装置30均包括两个探测器31和两个光源32。其中，两个所述光源31分别对应照射两个所述标记212，两个所述探测器31分别用于对应读取两个所述标记21的位置信息。

以及，在所述位置读取装置30读取所述标记212在所述第一方向X上的第一位置信息的同时，所述校准方法还包括，所述位置读取装置30读取两个所述标记212所在的直线与两个所述探测器31所在的直线之间夹角的角度，并将所述夹角的角度记作第一角度信息。

以及，在所述位置读取装置30读取所述第一角度信息之后，所述校准方法还包括根据所述第一角度信息判断所述第一角度信息是否在预设角度范围内，若否，则在调整所述标记212在所述第一方向X上的位置的同时，调整所述标记212至少其中之一在所述第一方向X上的位置使所述第一角度信息位于预设角度范围内。其中，所述第一预设角度范围为：0～150μrad。

进一步的，在本实施例中，所述旋转承载装置包括两个吸附装置20，两个所述吸附装置20以所述旋转中心轴Z为中心线间隔镜像设置在所述旋转台10的台面上；以及，所述旋转承载装置包括两个位置读取装置30，所述两个位置读取装置30分别用于读取所述两个吸附装置20中的标记212的位置信息。

其中，判断所述位置读取装置30与所述标记212在所述第二方向Y上之间的间距是否需要调整之后，所述方法还包括如下步骤一到步骤三。

在步骤一中，将所述旋转承载装置旋转180°，以使两个所述读取装置30对应读取的所述吸附装置位置20调换，以使另一所述位置读取装置30对应所述吸附装置30。

在本实施中，将所述旋转承载装置旋转180°的方法包括：以所述旋转中心轴Z为中心线以旋转所述旋转台10，进而带动两个吸附装置20旋转180°，以调换两个吸附装置20所对应的位置读取装置30。

在步骤二中，另一位置读取装置30读取吸附装置20中的标记212在所述第一方向X上的第三位置信息，以及读取所述标记212在所述第二方向Y上的第四位置信息。具体的，读取第三位置信息和读取第四位置信息的方法可以包括：另一位置读取装置30读取所述标记212的中心点在所述第一方向X上的第三位置信息，以及读取所述标记212的中心点在所述第二方向Y上的第四位置信息。

在步骤三中，根据所述第三位置信息，判断所述标记212和另一位置读取装置30在所述第一方向X上的距离是否在第一预设范围内，若否，则调整所述标记212在所述第一方向X上的位置；以及，根据所述第四位置信息，判断所述标记212和另一所述位置读取装置30在所述第二方向Y上的距离是否在第二预设范围内，若否，则调整另一所述位置读取装置30在所述第二方向Y上的位置，或者调整所述位置读取装置30、所述旋转台10和所述吸附装置20的位置。

以及，重复所述步骤二到所述步骤三，直至所述标记212的位置与所对应的所述位置读取装置30的位置在所述第一方向上的距离在所述第一预设范围内，以及所述标记212的位置与所对应的位置读取装置30的位置在所述第二方向上的距离在所述第二预设范围内。

具体的，在本实施例中，另一所述位置读取装置30具有第三零位值，以及另一所述位置读取装置30在所述第二方向Y上具有第四零位值。

其中，所述第三零位值指另一所述位置读取装置30中的所述探测器31的中心点在所述第一方向X上相对于其参照点之间的距离值。以及所述第四零位值指另一所述位置读取装置30中的所述探测器31的中心点在所述第二方向Y上相对于其参照点之间的距离值。

在本实施例中，根据所述第三位置信息，判断所述标记212和另一所述位置读取装置30在所述第一方向X上的距离是否在第一预设范围内的方法包括：将所述第三位置信息与所述第三零位值做差以得到第三差值，并判断所述第三差值的绝对值是否在所述第一预设范围内，可以理解的所述第三差值的绝对值可以表示另一所述位置读取装置30中的所述探测器31和所述标记212的中心在所述第一方向X上的距离。若所述第三差值的绝对值不在所述第一预设范围内，则调整另一读取装置30在所述第一方向X上的位置，或者调整所述位置读取装置30、所述旋转台10和所述吸附装置20在所述第一方向X上的位置。

之后，重复上述读取所述标记的所述第三位置信息、判断所述标记212和另一所述位置读取装置30在所述第一方向X上的距离是否在第一预设范围内以及调整另一所述位置读取装置30在所述第一方向X上的位置，或者调整所述位置读取装置30、所述旋转台10和所述吸附装置20的位置在所述第一方向X上的位置等步骤；直至所述标记212的位置与另一所述位置读取装置30的位置在所述第一方向X上的距离在所述第一预设范围内。在本实施例中，若采用调整所述位置读取装置30、所述旋转台10和所述吸附装置20的位置进行位置调整，则调换后的所述位置读取装置30的位置固定，则另一所述位置读取装置30在所述第一方向X上的第三零位值不变，以及调换后的所述位置读取装置30在所述第二方向Y上的第四零位值不变。

在本实施例中，根据所述第四位置信息，判断所述标记212和另一所述位置读取装置30在所述第二方向Y上的距离是否在第二预设范围内的方法包括：将所述第四位置信息与所述第四零位值做差以得到第四差值，并判断所述第四差值的绝对值是否在所述第二预设范围内，可以理解的所述第四差值的绝对值可以表示另一所述位置读取装置30中的另一所述探测器31和所述标记212的中心在所述第二方向Y上的距离。若所述第四差值的绝对值不在所述第二预设范围内，则调整所述另一读取装置30在所述第二方向Y上的位置，或者调整所述位置读取装置30、所述旋转台10和所述吸附装置20在所述第二方向Y上的位置。

之后，重复上述读取所述标记的所述第四位置信息、判断所述标记212和另一所述位置读取装置30在所述第二方向Y上的距离是否在所述第二预设范围内以及调整所述另一读取装置30在所述第二方向Y上的位置，或者调整所述位置读取装置30、所述旋转台10和所述吸附装置20在所述第二方向Y上的位置等步骤，直至直至所述标记212的位置与另一所述位置读取装置30的位置在所述第二方向Y上的距离在所述第二预设范围内。在本实施例中，若采用调整所述位置读取装置30、所述旋转台10和所述吸附装置20的位置进行位置调整，则另一所述位置读取装置30的位置固定，位于另一所述位置读取装置30中的另一所述探测器31的位置固定，则另一所述探测器31在所述第二方向Y上的第二零位值不变。

进一步的，本实施例还公开了一种光刻机，所述光刻机包括上述的旋转承载装置。

需要说明的是，本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可，此外，各个实施例之间不同的部分也可互相组合使用，本发明对此不作限定。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (23)

1.一种旋转承载装置，其特征在于，包括：

旋转台，所述旋转台具有旋转中心轴；

吸附装置，所述吸附装置固定连接在所述旋转台上，以使所述吸附装置在所述旋转台的带动下旋转，所述吸附装置用于吸附掩模板；其中，所述吸附装置包括吸附台和标记板，所述标记板设置在所述吸附台的吸附面上，所述标记板包括固定板及至少一个标记，所述固定板远离所述旋转中心轴的一端突出所述吸附台，所述标记设置在所述固定板突出所述吸附台的端部，以及所述标记在所述固定板上的位置可调；

位置读取装置，用于读取所述标记的位置信息，以在所述标记的位置信息和所述位置读取装置的位置信息不匹配时，调整所述标记在所述固定板上的位置，和/或调整所述位置读取装置的位置。

2.如权利要求1所述的旋转承载装置，其特征在于，所述旋转承载装置包括两个吸附装置，两个所述吸附装置以所述旋转中心轴为中心线间隔镜像设置在所述旋转台的台面上；

以及，所述旋转承载装置包括两个位置读取装置，所述两个位置读取装置分别用于读取所述两个吸附装置中的标记的位置信息。

3.如权利要求1所述的旋转承载装置，其特征在于，在所述标记的位置信息和所述位置读取装置的位置信息不匹配时，调整所述标记在第一方向上的位置，和/或调整所述位置读取装置在第二方向上的位置；其中，所述第一方向和所述第二方向均垂直于所述旋转中心轴，且所述第一方向和所述第二方向相互垂直。

4.如权利要求1所述的旋转承载装置，其特征在于，所述固定板突出所述吸附台的一端具有至少一个第一通孔，每个所述第一通孔内设有一个所述标记，且所述标记在所述第一通孔内的位置可调。

5.如权利要求4所述的旋转承载装置，其特征在于，所述标记板还包括至少一个第一承载板，所述第一承载板设置在所述第一通孔内，用于承载所述标记，并且所述第一承载板在所述第一通孔内的位置可调；其中，每个所述第一承载板具有第二通孔，所述标记设置在所述第二通孔内，并使所述标记与所述第二通孔的内壁固定连接。

6.如权利要求5所述的旋转承载装置，其特征在于，所述标记板还包括黏胶层，所述黏胶层设置在所述标记和所述第二通孔的内壁之间以固定所述标记和所述第一承载板。

7.如权利要求5所述的旋转承载装置，其特征在于，所述标记板还包括第一紧固件，所述第一紧固件穿过所述第一通孔的侧壁以在所述第一承载板调整到预定位置时固定所述第一承载板。

8.如权利要求5所述的旋转承载装置，其特征在于，所述标记板还包括凸台和第二紧固件，所述凸台设置在所述第一通孔内且与形成所述第一通孔的侧壁固定连接，所述第一承载板卡合在所述凸台上，所述第二紧固件穿过所述第一承载板，以在所述第一承载板调整到预定位置时将所述第一承载板固定在所述凸台上。

9.如权利要求5所述的旋转承载装置，其特征在于，所述标记板还包括至少一个位置调整件，所述位置调整件穿过所述第一通孔的侧壁，以在预定方向上调整所述第一承载板的位置。

10.如权利要求9所述的旋转承载装置，其特征在于，所述标记板还包括至少一个第二承载板，所述第二承载板设置在所述固定板突出所述吸附台的端部上并至少固定在所述端部的侧壁上，所述位置调整件穿过所述第二承载板及所述第一通孔的侧壁至所述第一通孔中，以调整所述第一承载板的位置。

11.如权利要求10所述的旋转承载装置，其特征在于，所述第二承载板包括侧板和与所述侧板固定连接的顶板，所述侧板设置在所述固定板突出所述吸附台的端部的侧壁上，所述位置调整件穿过所述侧板，以及所述顶板设置在所述固定板突出所述吸附台的端部的顶表面上，并利用第三紧固件穿过所述顶板将所述第二承载板固定在所述固定板上。

12.如权利要求1所述的旋转承载装置，其特征在于，所述标记板还包括定位件，所述定位件位于所述固定板上，用于限定所述标记在垂直于其移动方向上相对于所述定位件的距离。

13.如权利要求1所述的旋转承载装置，其特征在于，所述位置读取装置包括至少一个光源和至少一个探测器，所述光源和所述探测器分别位于所述标记的两侧，所述探测器用于探测穿过所述标记的光线，以读取所述标记的位置信息。

14.如权利要求1所述的旋转承载装置，其特征在于，所述旋转承载装置还包括可移动框架，所述位置读取装置固定在所述框架上，以利用所述框架移动调整所述位置读取装置的位置。

15.如权利要求1所述的旋转承载装置，其特征在于，所述旋转承载装置还包括固定臂，所述固定臂固定连接所述旋转台和所述吸附装置。

16.一种光刻机，其特征在于，包括如上述权利要求1～15任意一项所述的旋转承载装置。

17.一种旋转承载装置的校准方法，其特征在于，

第一步骤，提供上述权利要求1～15任意一项所述的旋转承载装置；

第二步骤，利用所述位置读取装置读取所述吸附装置中的所述标记的位置信息；

第三步骤，根据所述标记的位置信息，判断所述标记的位置和所述位置读取装置的位置在预定方向上的距离是否在预设范围内；若否，调整所述标记在所述固定板上的位置，和/或调整所述位置读取装置的位置；以及，

重复所述第二步骤和所述第三步骤，直至所述标记的位置与所述位置读取装置的位置在预定方向上的距离在预设范围内。

18.如权利要求17所述的旋转承载装置的校准方法，其特征在于，其中：

所述第二步骤包括：读取所述标记在第一方向上的第一位置信息，以及读取所述标记在第二方向上的第二位置信息；

所述第三步骤包括：根据所述第一位置信息，判断所述标记和所述位置读取装置在所述第一方向上的距离是否在第一预设范围内，若否，则调整所述标记在所述第一方向上的位置；以及，根据所述第二位置信息，判断所述位置读取装置与所述标记在所述第二方向上的距离是否在第二预设范围内，若否，则调整所述位置读取装置在所述第二方向上的位置。

19.如权利要求18所述的旋转承载装置的校准方法，其特征在于，所述旋转承载装置包括两个吸附装置，两个所述吸附装置以所述旋转中心轴为中心线间隔镜像设置在所述旋转台的台面上；以及，所述旋转承载装置包括两个所述位置读取装置，两个所述位置读取装置分别用于读取两个所述吸附装置中的所述标记的位置信息；

其中，判断所述位置读取装置与所述标记在所述第二方向上之间的间距是否需要调整之后，所述方法还包括：

步骤一：将所述旋转承载装置旋转180°，以使两个所述读取装置对应读取的所述吸附装置位置调换，以使另一所述位置读取装置对应所述吸附装置；

步骤二：另一所述位置读取装置读取所述吸附装置中的标记在所述第一方向上的第三位置信息，以及读取所述标记在所述第二方向上的第四位置信息；

步骤三：根据所述第三位置信息，判断所述标记和另一所述位置读取装置在所述第一方向上的距离是否在所述第一预设范围内，若否，则调整另一所述位置读取装置在所述第一方向上的位置，或者调整所述位置读取装置、所述旋转台和所述吸附装置的位置；并根据所述第四位置信息，判断另一所述位置读取装置与所述标记在所述第二方向上的距离是否在第二预设范围内，若否，则调整另一所述位置读取装置在所述第二方向上的位置，或者调整所述位置读取装置、所述旋转台和所述吸附装置的位置；

以及，重复所述步骤二到所述步骤三，直至所述标记的位置与另一所述位置读取装置的位置在所述第一方向上的距离在所述第一预设范围内，以及所述标记的位置与另一所述位置读取装置的位置在所述第二方向上的距离在所述第二预设范围内。

20.如权利要求17所述的旋转承载装置的校准方法，其特征在于，根据所述标记的位置信息，判断所述标记的位置和所述位置读取装置的位置在预定方向上的距离是否在预设范围内的方法包括：将所述位置信息与所述位置读取装置在所述预定方向上的零位值做差以得到差值，并判断所述差值的绝对值是否在所述预设范围内。

21.如权利要求18或19任意一项所述的旋转承载装置的校准方法，其特征在于，所述第一预设范围以及所述第二预设范围均为0um～50um。

22.如权利要求18所述的旋转承载装置的校准方法，其特征在于，所述吸附装置包括两个所述标记，以及所述位置读取装置包括两个探测器；

在所述位置读取装置读取所述标记在所述第一方向上的第一位置信息的同时，所述方法还包括，所述位置读取装置读取两个所述标记所在的直线与两个所述探测器所在的直线之间夹角的角度，并将所述夹角的角度记作第一角度信息；以及，

在所述位置读取装置读取所述第一角度信息之后，所述方法还包括：根据所述第一角度信息，判断所述第一角度信息是否在预设角度范围内，若否，则调整两个所述标记其中至少之一在所述第一方向上的位置使所述第一角度信息位于预设角度范围内。

23.如权利要求22所述的旋转承载装置的校准方法，其特征在于，所述预设角度范围为：0～150μrad。

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