CN1641385A - 制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备 - Google Patents

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Abstract

一种制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备包括玻璃合成燃烧器、给玻璃合成燃烧器供应玻璃形成气体的气源和将气源连接到玻璃合成燃烧器的管道，其中管道包括由挠性合成树脂制成的至少一个层，其中管道的透湿系数P(g·cm/cm2·s·cmHg)与管道的厚度L(cm)的比(P/L)小于1.0×10－10g/cm2·s·cmHg。

Description

制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备
技术领域
本发明涉及一种制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备。
本申请要求2004年1月14日申请的日本专利申请No.2004-6632和2004年11月22日申请的日本专利申请No.2004-338049的优先权，在此将这些申请的内容以引用参考的方式结合在本申请中。
背景技术
在如下过程之后可以制造光纤预制件：使用各种方法比如VAD(气相轴向淀积)法或OVD(外部气相淀积)法制造多孔玻璃预制件，然后在电炉中干燥和烧结所得的多孔玻璃预制件以使其玻璃化。在外部气相淀积法中，对玻璃形成气体比如四氯化硅(SiCl4)或四氯化锗(SiGe4)与氧气和氢气在火焰中进行水解或氧化反应以合成玻璃颗粒。所得的玻璃颗粒(烟灰)淀积在由玻璃制成的圆柱形芯预制件的外周边上。成为所得的光纤的芯或者芯和一部分包层的圆柱形芯预制件绕它的轴线旋转以形成由多层构成的多孔层。
在制造多孔玻璃预制件时，一般使用制造多孔玻璃预制件的设备，这种设备包括具有将玻璃形成气体喷射到芯预制件的喷嘴的玻璃合成燃烧器、包括将玻璃形成气体提供给玻璃合成燃烧器的气筒、罐、容器的气源和将气源连接到玻璃合成燃烧器的管道。
在制造多孔玻璃预制件的设备中，将玻璃形成气体从气源供应到玻璃合成燃烧器的管道被要求具有抗酸性，因为玻璃形成气体是酸性的。此外，在将玻璃形成气体加热到大约60℃和100℃之间的同时供应该气体的情况下要求该管道具有耐热性。
具体地，在用于外部气相淀积法的多孔玻璃预制件制造设备中，在这种外部气相淀积法中具有将玻璃形成气体喷射到芯预制件的喷嘴的玻璃合成燃烧器相对于芯预制件移位，要求供应玻璃形成气体的管道根据玻璃合成燃烧器的移位弯曲。因此，使用由合成树脂例如聚四氟乙烯等制成的挠性管道(例如参见日本未审查专利申请首次公开No.2000-159532)。
此外，即使玻璃合成燃烧器没有移位，金属管道和玻璃制造玻璃合成燃烧器也不可能直接连接，或者在需要容易处理时，使用合成树脂比如聚四氟乙烯等制成的管道作为供应玻璃形成气体的管道。
在合成树脂比如聚四氟乙烯等制成的管道用作供应玻璃形成气体的管道较长的时间时，管道可能硬化，失去它的挠性。在空气中的湿气渗透进入管道并与在管道中的内壁附近的四氯化硅(即玻璃形成气体)反应以产生二氧化硅并且所得的二氧化硅淀积在管道的内壁的表面上时就发生了这种管道的硬化。随着管道的硬化的进行，在管道中可能产生裂缝或破裂并且玻璃形成气体可能从其中泄漏。
此外，在其中玻璃合成燃烧器沿芯预制件的纵向来回移位的玻璃预制件制造设备中，连接到玻璃合成燃烧器的管道更容易裂缝或破裂，因为管道根据玻璃合成燃烧器的移位反复地弯曲或延伸。
近年来，已经要求外部气相淀积法：可移动的玻璃合成燃烧器的纵向移动增加。玻璃合成燃烧器的移动的增加导致了供应线弯曲更多次。因此造成了管道的更快速地劣化。更多的管道容易裂缝或破裂，因此要求更经常地更换管道，这造成了各种问题，除了增加生产成本之外，比如由于玻璃形成气体从这种裂缝或破裂泄漏引起整个设备的腐蚀。
此外，在管道内产生的二氧化硅脱落时它在预制件中产生了气泡或外物，这使预制件的质量劣化。
此外，尽管没有公开的专利文献要求保护使用合成树脂比如聚四氟乙烯等的管道，但是日本未审查专利申请首次公开No.2000-159532公开了一种由聚四氟乙烯制成的原料供应管。
发明内容
本发明考虑到上述背景技术，因此本发明的一个目的是提供一种用于制造在较长的时间周期上具有非常好的耐用性的用于光纤的多孔玻璃预制件的设备。
为了解决上述的问题，本发明涉及一种制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，该设备包括玻璃合成燃烧器、给玻璃合成燃烧器供应玻璃形成气体的气源和将气源连接到玻璃合成燃烧器的管道，其中管道包括由挠性合成树脂制成的至少一个层，其中管道的透湿系数P(g·cm/cm2·s·cmHg)与管道的厚度L(cm)的比(P/L)小于1.0×10-10g/cm2·s·cmHg。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，管道可以包括至少两个层，至少两个层中的至少一个层可由不锈钢和铝中的一种制成。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，管道可以包括用于供应玻璃形成气体的内管和提供在内管的外周边的周围并与其间隔一间隙的外管，以及干燥气体可以通过所述间隙供应。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，通过间隙供应的气体可以包含从由氮气、氩气和氦气组成的组中选择的至少一种气体。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，外管可以由聚四氟乙烯制成。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，管道可以由加热器和绝热材料覆盖。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，合成树脂可以是从由尼龙11、尼龙12、聚氨酯、聚氯乙烯和含氟树脂组成的一组中选择的至少一种。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，管道可以包括内层和外层。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，内层可以由合成树脂制成，而外层可以由具有较小的透湿系数P的材料制成。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，具有较小的透湿系数P的材料可以是从由不锈钢、铝、铜、镍和铁组成的组中选择的一种。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，内层可以是由聚四氟乙烯制成，而外层可以是由不锈钢制成。
在根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，内层可以具有0.3mm和2.0mm之间的厚度，而外层可以具有在0.01mm和0.20mm之间的厚度。
根据本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，由于在将玻璃形成气体从气源供应给玻璃合成燃烧器的管道中管道的透湿系数(P)(g·cm/cm2·s·cmHg)与管道的厚度L(cm)的比(P/L)小于1.0×10-10，因此减少了在空气的湿气向管道的渗透和通过湿气和四氯化硅之间的反应产生的二氧化硅。因此，延迟了管道的硬化的进程，并延长了管道的寿命。此外，由于管道包括由挠性合成树脂制成的至少一个层，因此可以防止对管道的损坏比如断裂，因为在玻璃合成燃烧器在芯预制件的纵向上移位时管道可以根据玻璃合成燃烧器的移位弯曲。
附图说明
附图1所示为作为本发明的一种实施例通过OVD法制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备的示意性附图；
附图2所示为在本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中使用的连接气源到玻璃合成燃烧器的管道的一种实例的示意性横截面视图；
附图3所示为表示在用于光纤的多孔玻璃预制件的制造中在连续地使用气体供应管道一个月的周期时气体供应管道每单位长度(10cm)的重量的增加-log(P/L)的曲线图；
附图4所示为气体供应管道的另一实例的示意性横截面视图；和
附图5所示为表示气体供应管道的耐用性研究的结果的曲线图。
具体实施方式
下文参考附图描述本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备的各种实施例。
附图1所示为作为本发明的一种实施例通过OVD制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备的示意性附图。附图2所示为在本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中使用的连接气源到玻璃合成燃烧器的管道的一种实例的示意性横截面视图。
在附图1中，参考标号10表示玻璃合成燃烧器，参考标号20表示连接气源到玻璃合成燃烧器的管道(下文称为“气体供应管道”)，参考标号40表示芯预制件，以及参考标号30表示用于固定芯预制件以绕它的纵轴可旋转的卡盘。
在本实施例的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备中，圆柱形芯预制件40的两端通过卡盘30固定以绕它的轴线可旋转。玻璃合成燃烧器10被设置成它在芯预制件40的纵向上可移位。玻璃合成燃烧器10连接到气体供应管道20以借助于载气等从气源(未示)(比如烘焙箱或泡)供应四氯化硅作为玻璃形成气体。
此外，玻璃合成燃烧器10包括能够在芯预制件40的纵向上来回移位玻璃合成燃烧器10的机构。因此，通过将玻璃合成燃烧器10构造成在芯预制件40的纵向上可来回移动，从玻璃合成燃烧器10喷射的玻璃颗粒可均匀地淀积在芯预制件40的外周边的周围。
玻璃合成燃烧器10例如包括被供应四氯化硅的氢氧焰燃烧器以将在四氯化硅的焰水解中产生的二氧化硅(silica)颗粒淀积在芯预制件40周围以形成用于光纤的多孔玻璃预制件。
气体供应管道20包括由挠性合成树脂制成的至少一个层，并且气体供应管道20的透湿系数P(g·cm/cm2·s·cmHg)与气体供应管道的厚度L(cm)的比(P/L)小于1.0×10-10。如果气体供应管道20的透湿系数与气体供应管道的厚度的比(P/L)超过1.0×10-10，则在空气中的湿气渗透进管道的里面，所渗透进的湿气与在玻璃形成气体中的四氯化硅反应以产生二氧化硅。结果，气体供应管道20的硬化容易地进行。
气体供应管道20的挠性合成树脂是从由尼龙11、尼龙12、聚氨酯、聚氯乙烯和含氟树脂组成的一组中选择的至少一种。
除了挠性之外，由于这些合成树脂具有非常好的机械强度，因此在玻璃合成燃烧器在芯预制件的纵向上移位时可以防止对管道的损害比如损坏。
正如在此所使用，给定的材料的透湿系数P(g·cm/cm2·s·cmHg)是指示湿气如何容易渗透进该材料的指标。因此，管道的透湿系数与厚度的比(P/L)表示湿气如何容易渗透进具有厚度L的管道的给定的表面，以及湿气随厚度L的增加较不容易渗透。
例如，通常用于气体供应管道的聚四氟乙烯的透湿系数P是1.0×10-11g·cm/cm2·s·cmHg，以及在由聚四氟乙烯制成的管道的厚度L是0.1cm时，透湿系数与厚度的比是1.0×10-10g/cm2·s·cmHg。
在此，附图3表示在用于光纤的多孔玻璃预制件的制造中气体供应管道连续使用一个月的周期时每单位长度(10cm)的气体供应管道的重量增加-log(P/L)图。
在附图3的曲线中，气体供应管道的重量的增加等于在气体供应管道内产生的二氧化硅的重量。如附图3所示，如果透湿系数与厚度的比(P/L)超过1.0×10-10g/cm2·s·cmHg，则在气体供应管道内产生的二氧化硅的量显著地增加。在使用其中透湿系数与厚度的比(P/L)是1.0×10-10g/cm2·s·cmHg的由具有0.1cm的厚度的聚四氟乙烯制成的气体供应管道时，大约在18个月产生了裂纹。这意味着如果透湿系数与厚度的比(P/L)是1.0×10-10g/cm2·s·cmHg或更高，则更早地产生裂纹，在空气中的湿气渗透进入到连接气源到玻璃合成燃烧器的气体供应管道的里面，以及渗透进的湿气与四氯化硅，即玻璃形成气体反应以产生二氧化硅。结果，气体供应管道的硬化可能发生。
在本发明中，可以提供具有这样的结构的气体供应管道20，通过使用具有更小的透湿系数P的材料和/或通过增加厚度L和/或通过在双管结构中的内管和外管之间的间隙中供应干燥的惰性气体，该结构更小地受到湿气的渗透。通过构造具有这种结构的气体供应管道20，抑制了在空气中的湿气渗透进入气体供应管道20和通过湿气和四氯化硅之间的反应产生二氧化硅。通过抑制气体供应管道20内的二氧化硅的产生，延迟了气体供应管道20的硬化并且延长了气体供应管道20的寿命。
例如，在比较由聚四氟乙烯制成的气体供应管道和由具有相同厚度的聚四氟乙烯的透湿系数的三分之一的透湿系数的材料制成的气体供应管道时，后者的寿命比前者长三倍。
控制气体供应管道20的透湿系数与厚度的比(P/L)小于1.0×10-10g/cm2·s·cmHg的方法如下：
(1)使用具有多层结构的气体供应管道20，该多层结构包括由小的透湿系数的材料制成的至少一个层。
(2)增加气体供应管道20的厚度。
(3)构造包括供应玻璃形成气体的内管和提供在内管的外周边周围的外管同时其间以间隙间隔的气体供应管道20，并在所述间隙中供应干燥的惰性气体。
作为具有多层结构的气体供应管道20的实例，该多层结构包括由具有小的透湿系数的材料制成的至少一个层，该结构在附图2中示出。
气体供应管道20包括内层21和设置在内层21的外周边上的外层22。在气体供应管道20中，内层21和外层22中的至少一个由具有小的透湿系数的材料制成。
例如，在气体供应管道20中，内层21可以由合成树脂制成，而外层22可以由具有小的透湿系数的材料制成。
应该注意，虽然在附图2中示出了包括内层21和外层22的两层结构作为气体供应管道20，但是本发明并不限于这种结构。气体供应管道可以具有三层或更多层的结构，这些层中包括由具有小的透湿系数的材料制成的至少一个层。
只要气体供应管道20具有包括由具有较小的透湿系数的材料制成的至少一个层的多层结构，就可以减小在空气中的湿气渗透进气体供应管道20中。
作为具有小的透湿系数的材料，优选使用具有大约零的透湿系数的金属。这种金属例如包括不锈钢、铝、铜、镍、铁，在它们之中不锈钢或铝更为优选地用于其中具有氧化作用的四氯化硅(即玻璃形成气体)从气源供应到玻璃合成燃烧器的应用中，因为不锈钢和铝都具有抗酸性。通过使用具有大约零的透湿系数的金属作为气体供应管道20的材料，气体供应管道20的厚度可以减小并且可以制造挠性的气体供应管道20。此外，金属优选作为气体供应管道20的材料，因为它们具有耐热性。
此外，由于不锈钢或铝具有良好的导热性，因此可以提高用于控制玻璃形成气体的温度的管道的加热的效率。
气体供应管道20的具体实例是具有由聚四氟乙烯制成的内层21和由不锈钢制成的外层22的气体供应管道。例如，在具有这种结构的气体供应管道20中，其中内层21的厚度为0.3mm和2.0mm之间，如果外层22的厚度在0.01mm和0.20mm之间，则气体供应管道20具有大约零的透湿系数并具有足够的挠性和抗酸性。
通过构造具有这种结构的气体供应管道20，由于聚四氟乙烯不暴露在气体供应管道20的外部的空气中，因此聚四氟乙烯更不容易受到水的渗透。因此，可以防止管道的挠性的劣化和管道的硬化。如果气体供应管道仅由金属制成，则气体供应管道将具有较小的挠性。相反，通过提供由聚四氟乙烯制成的内层21，气体供应管道20具有良好的挠性。此外，如果内层由金属制成，则内层可能受到玻璃形成气体的腐蚀。
附图4示出了气体供应管道的可替换的结构，其中供应玻璃形成气体的内管和提供在内管的外周边的周围的外管通过间隙间隔开，并通过这个间隙供应干燥的惰性气体。
气体供应管道20具有如附图4所示的所谓的双管结构，这种双管结构包括用作气体供应管道的内管23和外管24。通过将气体供应到在内管和外管24之间形成的间隙25中，可以防止从外管24渗透进间隙25的湿气渗透到内管23。
此外，气体供应管道20可以由加热器(heater)和绝热材料覆盖。加热器的实例包括镍-.铬线加热器和铁-铬线加热器。绝热材料的实例包括硅树脂(silicone resin)和氨基甲酸酯(urethane)
接着，解释使用这个实施例的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备制造用于光纤的多孔玻璃预制件的方法。
首先，芯预制件40的两端通过卡盘30固定，芯预制件40绕它的轴旋转。然后，通过气体供应管道20将四氯化硅从气源(未示)供应到玻璃合成燃烧器10同时在芯预制件40的纵向上来回移动玻璃合成燃烧器10。在这个过程中，通过来自玻璃合成燃烧器10的火焰中发生的四氯化硅的水解或者氧化反应合成二氧化硅，并将所得的二氧化硅均匀地淀积在芯预制件40的外周边以形成用于光纤的多孔玻璃预制件。
实例
下文解释具体的实施例的描述。然而，虽然下文通过参考实例更详细地解释本发明，但是本发明并不限于下面的实例。显然这些实例仅用于说明的目的，并不用于限制本发明。
实例1
使用如附图1所示的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备制造用于光纤的多孔玻璃预制件。
在实例1中，将四氯化硅即玻璃形成气体从气源供应到玻璃合成燃烧器10的气体供应管道20具有双层结构，在这种结构中内层由聚四氟乙烯(1.0×10-11g·cm/cm2·s·cmHg的透湿系数P)制成，外层通过在内层上电镀不锈钢(透湿系数P大约为零)形成。气体供应管道20的外径是0.61cm，内层的厚度是0.1cm，以及外层的厚度是0.005cm。气体供应管道20的透湿系数与厚度的比(P/L)大约是零。
每天20小时使用气体供应管道20制造用于光纤的多孔玻璃预制件，测量直到在气体供应管道20中产生裂缝或破裂的时间。对具有相同结构的四个气体供应管道20实施测量。结果在附图5中示出。
实例2
使用如在附图1中所示的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备制造用于光纤的多孔玻璃预制件。
在实例2中，气体供应管道20具有单层结构，该结构由聚四氟乙烯(1.0×10-11g·cm/cm2·s·cmHg的透湿系数P)制成，并具有0.6cm的外径和0.2cm的厚度。气体供应管道20的透湿系数与厚度的比(P/L)是0.5×10-10g/cm2·s·cmHg。
每天20小时使用气体供应管道20制造用于光纤的多孔玻璃预制件，测量直到在气体供应管道20中产生裂缝或破裂的时间。对具有相同结构的四个气体供应管道20实施测量。结果在附图5中示出。
实例3
使用如附图1所示的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备制造用于光纤的多孔玻璃预制件。
在实例3中，作为气体供应管道20，使用双管道，该双管道包括由聚四氟乙烯制成的内管23和由聚四氟乙烯制成的外管24，该外管24提供在内管的外周边上并与其间隔间隙25，如附图4所示。内管23具有0.6cm的外径和0.1cm的厚度，外管24具有1.0cm的外径和0.1cm的厚度。
每天20小时使用气体供应管道20制造用于光纤的多孔玻璃预制件同时以3升/分钟的流速将氮气(露点为-80℃)供应到在内管23和外管24之间的间隙中，测量直到在气体供应管道20中产生裂缝或破裂的时间。对具有相同结构的四个气体供应管道20实施测量。结果在附图5中示出。
比较实例
使用如在附图1中所示的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备制造用于光纤的多孔玻璃预制件。
在这个比较实例中，气体供应管道20具有单层结构，该结构由聚四氟乙烯(1.0×10-11g·cm/cm2·s·cmHg的透湿系数P)制成，并具有0.6cm的外径和1cm的厚度。气体供应管道20的透湿系数与厚度的比(P/L)是1.0×10-10g/cm2·s·cmHg。
每天20小时使用气体供应管道20制造用于光纤的多孔玻璃预制件，测量直到在气体供应管道20中产生裂缝或破裂的时间。对具有相同结构的四个气体供应管道20实施测量。结果在附图5中示出。
附图5的结果显示在36个月之后在实例1和3的气体供应管道20中还没有产生裂缝或破裂。
在30个月之后在实例2的气体供应管道20中产生了裂缝或破裂。
在大约20个月之后在比较实例的气体供应管道20中产生了裂缝或破裂。
可以相信，实例2的气体供应管道20的寿命几乎比比较实例的气体供应管道20的寿命长两倍的原因在于实例2的气体供应管道20的透湿系数与厚度的比(P/L)是比较实例的比率的一半。
本发明的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备可用于其中要求减小在管道内的湿气的渗透的各种情况。
虽然已经描述了本发明的优选的实施例，但是应该理解的是本发明的这些实例并不认为是限制性的。在不脱离本发明的精神或范围的前提下可以作出增加、省略、替换和其它的修改。因此，认为本发明也不受前文的描述的限制，仅通过附加的权利要求的范围限制。

Claims (17)

1.一种制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，包括：
玻璃合成燃烧器；
给玻璃合成燃烧器供应玻璃形成气体的气源；和
将气源连接到玻璃合成燃烧器的管道，其中所述管道包括由挠性合成树脂制成的至少一个层，
其中管道的透湿系数P(g·cm/cm2·s·cmHg)与管道的厚度L(cm)的比(P/L)小于1.0×10-10g/cm2·s·cmHg。
2.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中管道包括至少两个层，所述至少两个层中的至少一个层由不锈钢或铝中的一种制成。
3.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中管道包括用于供应玻璃形成气体的内管和提供在内管的外周边的周围并与其间隔一个间隙的外管，以及干燥气体通过间隙供应。
4.根据权利要求3的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中通过间隙供应的气体包含从由氮气、氩气和氦气组成的组中选择的至少一种气体。
5.根据权利要求3的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中外管由聚四氟乙烯制成。
6.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中管道由加热器和绝热材料覆盖。
7.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中合成树脂是从由尼龙11、尼龙12、聚氨酯、聚氯乙烯和含氟树脂组成的一组中选择的至少一种。
8.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中管道包括内层和外层。
9.根据权利要求8的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中内层由合成树脂制成，而外层由具有大约零的透湿系数P的材料制成。
10.根据权利要求9的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中所述外层是由具有大约零的透湿系数P的材料制成，其是从由不锈钢、铝、铜、镍和铁组成的组中选择的一种。
11.根据权利要求9的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中内层是由聚四氟乙烯制成，而外层是由不锈钢制成。
12.根据权利要求9的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中内层具有0.3mm和2.0mm之间的厚度，而外层具有在0.01mm和0.20mm之间的厚度。
13.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中玻璃形成气体是四氯化硅。
14.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，进一步包括多个卡盘，其中该卡盘固定圆柱形芯预制件，并且圆柱形芯预制件被旋转。
15.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中玻璃合成燃烧器能够在纵向上移位。
16.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中玻璃合成燃烧器包括在纵向上能够使燃烧器移位的机构。
17.根据权利要求1的制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备，其中玻璃合成燃烧器是氢氧焰燃烧器。
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