CN1640795B - 适应传送带拐弯的定位传送机脱离式安装部件 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种连续移动、高速定位传送机系统的脱离式安装系统。支撑悬架从传送带悬出，使得支撑悬架相对传送带上至少一点保持在一个固定位置和方向，在传送带、支撑悬架或者在传送带和支撑悬架之间的连接件上不会引起明显的应力。该安装件可以包括连接到支撑悬架上的可旋转引导支持件，支撑悬架可松开地与连接到传送带上的第一键卡合，可旋转支持件适于承受由传送带施加到支撑悬架的旋转力。安装部件也可以包括连接到支撑悬架的滑动支持件，该支撑悬架可松开地与连接到传送带的第二键卡合，使滑动支持件适于承受由传送带施加到支撑悬架的纵向力。

Description

适应传送带拐弯的定位传送机脱离式安装部件

本申请要求2003年11月13日申请的、名称为“传送物体单独化”的美国临时专利申请序列号No.60/520049的优先权，在此引用其全文中的内容以备所用。

相关申请的交叉引用

本申请涉及下面共同受让的，共同待审的美国专利申请，在此引用其全文中的内容以备所用。

2003年8月28日申请的、名称为“传送基片载体的系统”的US专利申请No.10/650310。(律师档案号6900)

2003年8月28日申请的、名称为“利用基片载体移动来打开/关闭基片载体门的方法和设备”的US专利申请No.10/650312。(律师档案号6976)

2003年8月28日申请的、名称为“从基片载体传送系统中卸载基片载体的方法和设备”的US专利申请No.10/650481。(律师档案号7024)

2003年8月28日申请的、名称为“给加工工具提供基片的方法和设备”的US专利申请No.10/650479。(律师档案号7096)

2002年8月31日申请的、名称为“具有在垂直和水平方向之间重调晶片载体方位的机构的末端执行器”的专利申请US60/407452。(律师档案号7097/L)

2002年8月31日申请的、名称为“在坞站设有入坞抓具的晶片装载站”的US专利申请No.60/407337。(律师档案号7099/L)

2003年8月28日申请的、名称为“带有门闩和基片夹持机构的基片载体”的US专利申请No.10/650311。(律师档案号7156)

2003年8月28日申请的、名称为“从移动的传送机上直接卸载基片载体的基片载体卸载器”的US专利申请No.10/650480。(律师档案号7676)

2004年1月26日申请的、名称为“传送基片载体的方法和设备”的US专利申请No.10/764982。(律师档案号7163)

2004年1月26日申请的、名称为“悬挂基片载体的架空传送法兰和支架”的US专利申请No.10/764820。(律师档案号8092)

2003年1月27日申请的、名称为“存放和装载晶片载体的设备和方法”的US临时专利申请No.60/443115。(律师档案号8202/L)

2003年11月13日申请的、名称为“高速载入器与基片传送系统的调校”的US临时专利申请No.60/520180。(备案号8158/L)；和

2003年11月13日申请的、名称为“在输送机之间传送基片载体的设备和方法”的US临时专利申请No.60/520035。(备案号8195/L)

发明领域

本发明大致涉及电子设备的制造系统，尤其涉及制造设备中基片载体的传送。

发明背景

在制造设备中，通过传送路径传送物品(例如基片工件、或如基片载体或FOUPS的工件容器)的现有技术的系统可以包括悬架，被传送的物品可以装载在该悬架上。这种系统停止在不同的处理工具下，以便从所需要的悬架或者工具中装载或者卸载基片载体。一般地，悬架停下来使用末端执行器的机械臂从悬架上卸下载体，或者将载体装载到悬架上。

在现有技术的系统中，悬架在传送机上自由地枢轴旋转，或者能在传送带上移动。当卸下载体时，载体的方向可以通过例如机械臂控制器来决定。可是，由于载体停止旋转(或移动)需要时间，载体定向需要时间，以及从悬架卸下载体需要时间，这种系统不适用于连续移动的高速传送机系统。

在现有技术的传送系统中，悬架刚性地安装到传送机上，传送系统可能被设计为：当悬架通过传送路径的弯道处时，该传送系统能承受悬架和传送机相互施加的应力。固有应力导致系统设备故障前，这种系统可以设计成，至少在一个最小可接收的时间内能够使用。因此，这种系统需要定期维护来更换疲劳部件。因为需要维护，这种系统不适合于连续移动的高速传送带系统。

因此，需要一些系统和方法，来将悬架安装到适于用在连续移动的高速传送系统中的传送机上。

发明概要

本发明的第一方面，提供连续移动的高速定位的传送系统的脱离安装系统。支撑悬架从传送带悬出，使得支撑悬架相对传送带上至少一点保持在一个固定位置和方向，在传送带、支撑悬架或者在传送带和支撑悬架之间的连接件上不会引起明显的应力。该安装件可以包括连接到支撑悬架上的可旋转引导支持件，支撑悬架可松开地与连接到传送带上的第一键卡合，可旋转支持件适于承受由传送带施加到支撑悬架的旋转力。安装部件也可以包括连接到支撑悬架的滑动支持件，该支撑悬架可松开地与连接到传送带的第二键卡合，使滑动支持件适于承受由传送带施加到支撑悬架的纵向力。

第二方面，提供一种方法，其包括沿带有至少一个弯道的传送路径连续地驱动传送带，且从传送带上悬出支撑悬架，使得支撑悬架在相对于传送带上至少一点保持在一个固定位置和方向，不会在传送带上、支撑悬架或者在传送带和支撑悬架之间的连接件上引起明显的应力。

第三方面，提供一种设备，其包括一个传送带，和用一个适于承受旋转力的连接件和一个适于承受纵向力的连接件，将其安装在传送带上的支撑悬架。

第四方面，提供一种设备，其包括传送带、在至少包括两个键的传送带上的一个固定位置、和带有至少一个可旋转支持件和一个滑动支持件的支撑件，上述支持件适于卡合任一个键。通过支持件和键的卡合，可以将悬架安装在传送带上的安装位置。

第五方面，提供一种设备，其包括悬架、与悬架连接的旋转支持件和连接到悬架上的纵向支持件。上述支持件适于安装在传送带上，使得由悬架支撑的基片载体的方向保持在已知的且相对传送带不变的方向。

第六方面，提供一种设备，其包括传送带和多个连接到传送带上的键。这些键可以适于卡合一个可旋转支持件和/或一个纵向支持件。这些键可以彼此相同和适于在不同时候卡合旋转支持件和纵向支持件。不同键可以用于不同的支持件。

第七方面，传送基片载体纵向位于传送带的纵向位置(这里的“纵向位置”一词在下面将做特殊讨论)，同时在传送基片载体中产生的惯性载荷沿传送带多个纵向位置分布。在至少一个实施例中，这可以减少传送带潜在的疲劳。

第八方面，在传送带和定位传送机的悬架之间提供连接接口，其中该连接接口包括连接部件，其通常将悬架纵向定位在传送机纵向位置上，和当被施加预定大小的正面冲击力时允许悬架偏离纵向位置。在至少一个实施例中，这允许悬架以及任何由悬架支撑的被传送物品从传送带上移走。

本发明的其它特征和方面将从下面示范性实施例、附加权利要求和附图的详细描述中变得更加明显。

附图的简要说明

图1是典型传送带的示意图，该传送带根据本发明实施例可以使用在定位传送带系统中。

图2是典型传送带的端视图，该传送带根据本发明实施例可以使用在定位传送带系统中。

图3是典型传送带的侧视图，该传送带根据本发明实施例可以使用在定位传送带系统中。

图4是典型传送带的顶视图，该传送带根据本发明实施例可以使用在定位传送带系统中。

图5是根据本发明实施例的典型定位传送带系统的部分顶视图。

图6是典型传送带的剖面端视图，该传送带根据本发明实施例可以使用在定位传送带系统中。

图7是典型传送带的剖面顶视图，该传送带是图2-4的定位传送带的实施例。

图8是根据本发明实施例的典型定位传送带的实施例的部分剖面顶视图。

图9是根据本发明实施例的典型定位传送带俯视的透视图。

图10A和10B根据本发明实施例的传送带一部分示例的透视图。

图11是根据本发明实施例中键的实施例示例的透视图。

图12是根据本发明实施例中带有旋转支撑支持件和纵向滑动支持件的悬架实施例示例的透视图。

图13A-13D是根据本发明实施例示有图11键示例的图12中旋转支撑支持件示例的(分别地)透视图、侧视图、正视图和顶视图。

图13E-13H是根据本发明实施例不带有键的图12中的旋转支撑支持件示例的(分别地)透视图、侧视图、正视图和顶视图。

图14A-14D是根据本发明实施例示有图11键示例的图12中纵向滑动支撑支持件示例的(分别地)透视图、侧视图、正视图和顶视图。

图14E-14H是根据本发明实施例不带有键的图12中的纵向滑动支撑支持件示例的(分别地)透视图、侧视图、正视图和顶视图。

图15是根据本发明实施例包括可选择的支撑支持件的悬架示例的透视图。

详细描述

电子装置制造设备中，在加工工具之间移动基片的架空传送(OHT)系统可以设计成高速连续运行而不需要停机维修，例如，前面援引的2003年8月28日申请的、名称为“传送基片载体的系统”(律师档案号6900)的美国专利申请No.10/650310。在这种应用中，使用的传送带优选地设计成，使传送带疲劳或者其它磨损传送带的力减小到不明显的水平(例如，以便防止显著的疲劳或者磨损)。此外，最好是保持电子装置制造设备的清洁度，来减小在该设备中处理的基片被污染的可能性。

本发明提供将保持基片载体，包括小批量载体的支持件(悬架)，可靠地安装到适于用在OHT系统的传送带上的方法和设备。本发明还有利于在载体传送时精确定位，使得加工工具和其它设备可靠地定位或者卸下由传送机传送的载体，且不用停止传送机而将载体加到传送机上。此外，本发明的支撑件安装方法和设备，使施加在传送机上的力和由这种力导致的任何微粒的产生最小化。在一些实施例中，实现这一点可以通过使用带有两个(或者更多)最小化触点的安装件而将每个支架支撑件安装在传送机上，使得当传送机弯曲(在其轨道上穿过电子装置制造设备)时，可以由该安装件调节由传送机施加在该安装件上的旋转力和轴向(例如沿传送机的长度)力，同时不影响传送机上安装件的定位。

在一些实施例中，本发明的方法和设备可以采用安装件，其同时的使用两个不同的连接，以便将单个基片载体支撑件安装到传送机上。当传送机穿过传送路径上弯道而弯曲时，第一连接可以调节传送机施加到安装件上的旋转力。在一些实施例中，第一连接可以包括刚性的连接支撑件且适于由第一垂直指卡旋转地承载基片载体支撑支持件或者刚性的连接到传送机的键。当传送机弯曲或者两个键之间的距离减小时，第二连接可以调节由传送机施加到安装件的轴向力，该第二连接可以采用第二垂直指卡或者刚性的连接传送机的键，。

在一个或者更多实施例中，第二连接可以包括支撑支持件，例如轴向滑动支持件，刚性的连接基片载体支撑件且适于提供通道，在该通道中第二垂直指卡或者刚性地连接传送机的键自由轴向移动同时承载基片载体支撑件。在一些实施例中，一个或者更多附加连接可以一个特定的支撑件。

在可选择和/或者附加的实施例中，连接可以是“脱离”连接。换句话说，如果支撑件(或者支撑件保持的基片载体)预想不到地遇到一障碍物，那么连接可以设计成可控制地释放支撑件，使得由于碰撞由安装件施加到传送机上的力的值减小到不危害传送机(和/或由传送机传送的基片载体)的预定值的脱离力。在一些实施例中，第一连接的支持件可以是夹片支持件，其旋转地连接到指卡，但是如果多于预定量的脱离力出现在纵向时，那么释放该指卡。由于第二连接不限制支撑件在纵向上移动，第二连接可以设计成通过具有滑动支持件来解除支撑件，该滑动支持件的长度限制在调节最明显的(例如最小半径)弯曲所需的最小长度，，该弯曲通常是调节传送机所需的。因此，根据本发明使用脱离连接的安装件，可以阻止在安装在传送机或者其它物体上的支撑件(或者从支撑件上悬出的基片载体)之间碰撞的情况下传送机停止或者损坏。

这里使用的术语“基片”可以指任何类型的基片、掩模、标线片、其它装置、和/或可以在电子装置制造设备的载体中被传送的其它材料(例如，半导体晶片、玻璃板、聚合物基片等)。

这里使用的术语“小批量规模”载体或者“小批量”载体是指，适于支持比传统的一般支持十三或者二十五个基片的“大批量规模”载体少得多的载体。例如，小批量规模载体可以适于支持5个或者更少数量的基片。在一些实施例中，可以采用其它小批量规模的载体(例如支特一、二、三、四或者多于五个基片的小批量规模的载体，但是要显著地少于大批量规模载体)。通常，在半导体装置或者其它制造设备中，每个小批量规模载体可能支持很少的基片，以致人力传送载体也是可能的。注意，本发明可用于小批量载体和/或大批量载体。

同时，这里使用的术语“悬架”和“支撑件”可以是同一个意思，且可以指能够承受、反抗或者传送各种力，和/或能够执行各种与物品传送相关功能的设备。悬架可以有纵向延伸的形状(例如沿传送带直道的长度)，在与纵向延伸尺寸基本上对齐的方向上，可以承受传动力(例如匀速和/或变速)以及正加速度和负加速度。当被纵向地驱动(例如旋转)和/或加速时，这种悬架可以受到竖直和/或侧向引导力，该引导力往往将纵向移动的支撑件限制到预定移动路径和方向上。(因此可以采用预定移动路径来定义传送路径，通过该传送路径移动被运送的物品。)在一些实施例中，这种悬架也可以适于侧向弯曲(例如变形、弯曲、偏斜、枢转、铰链、关节连接、根据需要呈弯曲形状，和/或局部涨出和/或凹陷)使得在预定传送路径上配合一个或者多个侧向弯道，以及变直(例如当侧向弯道出现后再回到基本上直道的形状)使得在预定传送路径上适应一个基本上直道。(在传送路径中出现这样一个侧向弯道时，该侧向弯道可以被认为定义了一个传送平面，在该平面中可以认为悬架旋转)。通常，这种悬架还承受被传送物品的重量。

本发明定位传送系统可以相对加工工具或者存放站来定向或者定位载体。这里使用的术语定位传送机，是一种包括诸如上述悬架这种部件的传送机，且其允许被传送物品占据相对悬架的一个预定纵向位置(例如沿悬架纵向尺寸的特定位置)。

这种定位传送机的悬架可以要求以一种受被控方式(例如不承受疲劳应力，不适当的偏移、和/或不适当的变形)承受由被传送物品产生的惯性载荷作用，特别是，由被传送的物体通过传送路径的侧向弯道时产生的惯性载荷。因此，本发明提供一些方法和设备，允许定位特送机的悬架和/或悬架安装件有效地吸收和/或接受由被传送的物品产生的惯性载荷。

如上面所述，在电子器件制造设备中的存放站和加工站之间，和/或在电子器件制造设备中在单个的加工工具之间传送基片载体的系统，可以包括一些传送系统，其中在装载或卸载过程中，该传送系统附加地提供从安装了支撑件的传送机上装载和卸载基片载体，而不需要支撑件停止、甚至减慢速度。例如这种传送系统在前面援引的2003年8月28日申请的美国专利申请序列号No.10/650480(AMAT7676)中描述。

上面引用的申请公开了一些方法和设备，使装载/卸载机器人末端执行器：(1)基本上匹配被传送基片载体的传送路径(例如，从上面看，沿与传送路径的一段对齐的路线移动，在制造设备中，传送机的支撑件或者悬架沿该路径传送基片载体)；(2)基本上匹配传送基片载体的传送速度，同时匹配传送路径(例如，以与传送机悬架沿一段传送路径携带基片载体的速度相等的速度沿该路线移动)；(3)基本上匹配传送基片载体的正在移动的传送位置，同时基本上匹配传送路径和传送速度(例如，占据并保持沿着该路线的一个移动位置，该路线从上面看与在一段传送路径中被基片载体占据的移动位置对齐)；(4)基本上匹配被传送基片载体的传送标高，同时基本上匹配传送路径、传送速度和移动传送位置(例如从移动基片载体的下方升高移动基片载体，使得产生末端执行器的安装结构，来作用或者卡合基片载体的互补部件)；(5)将基片载体抬离悬架，同时基本上继续匹配传送路径、传送速度和移动传送位置；和/或(6)使基片载体(现在不再由悬架承载)离开传送带和传送路径(例如以避免进一步接触旋转部件，并避免任何与其它移动基片载体或者传送机的其它部件的意外接触，该传送机可能沿传送路径正与悬架一起移动)。

就从悬架卸载基片载体的方法和设备，和特别是关于上面描述的步骤(3)而言，包括定位传送机的从中移走基片载体的传送系统具有有益效果，因为这种传送机可以用来对被传送物品的轴向位置提供好的控制。因此，本发明公开了提供被传送物品的精确定位的新颖的方法和设备，且进一步包括创造性方面，一方面是，可以导致悬架以改进的方式抵抗由被传送的基片载体产生的惯性力，以及另一方面，当传送机受到在预定大小的正面或者其它冲击力时，可以允许悬架和被传送的物体以一种受控的方式从传送机移走。

术语

这里使用的术语，定位传送机的传送带，包括一系列沿传送带纵向尺寸设置的点。每个这种点，在下文中称为传送带的纵向位置，沿传送带的纵向范围占据/具有一个预定位置(例如沿传送路径相对于传送带的结构部件可移动)，因此与传送带所有其它纵向位置的位置相比，任何一个纵向位置的预定位置能够表示成一个特殊的位置。传送带可以属于任何可用的形状、尺寸和/或方向。

传送带的另一个特征，是传送带可以在两个这样的纵向位置之间的侧向弯曲(例如通过弯曲、铰接、枢转、关节连接等)，使得与在传送路径中的侧向弯道一致。同时，这里使用的纵向位置，可以指传送带上的多个点，这些点相对传送带有相同的纵向位置(例如其中多个点形成一轴线和/或一平面，和/或该轴或者平面在相对传送带的传送路径局部方向上保持垂直的定向)。例如形成在传送带上或者传送带中的和/或相对传送带的纵向尺寸固定连接的一个有形的基准结构或者基准表面(安装通孔、螺纹安装孔、安装柱、安装表面、销钉等)，可以归结为部分地或完全地限定传送带的纵向位置的一个点、轴、和/或平面。因此，这种基准结构和基准表面所归结的点、轴、或者面不必和传送带的有形结构部件相交(例如纵向位置可以与穿过传送带的结构部件和相对传送路呈垂直方向的通孔所归结的轴相对应)。更进一步，术语纵向位置可以指不是上面特别描述的其它的点或者位置，但是表示与目前使用的术语一致。

术语纵向位置并不是也许都适当地包括沿给定的传送带纵向尺寸的每个点。例如，如果传送带由纵向布置的一系列的连接和段组成，其中连接和段本身基本上侧向不能弯曲(例如，不能使连接弯曲，有任何明显程度地离开纵向延伸方向)，但是在这种连接之间的关节的一个或多个点或沿该关节的一个或多个点，传送带能够形成需要的侧向弯曲(例如经过该连接之间的柔性接触或者非接触连接)，在至少一个实施例中，不多于一个纵向位置可以与每个这种连接有关。

相反地，其它传送带理论上可以包括可能是无穷大数量的不同的纵向位置。例如，传送带可以包括至少一个纵向延伸结构部件(和/或纵向布置的一系列的这种部件)，该部件在其延伸的纵向上具有整体的(例如连续的)结构，在纵向该结构使得该部件具有基本上的尺寸稳定性(例如部件是完全不可压缩和完全不可拉伸)，同时沿其长度在必要的任何点上允许部件局部弯曲，以允许基本上与传送路径中侧向弯道的形状一致(这种传送带的一些实施例可以包括一个条和带(例如，由例如弹性不锈钢、聚碳酸酯、复合材料(例如碳石墨，玻璃纤维)、钢或者其它加强的聚亚安酯、聚丙烯、环氧树脂多层板、塑性或者聚合制料含有不锈钢、纤维(例如碳纤维、玻璃纤维、由杜邦出售的Kevlar、聚乙烯、钢网等)或者其它加强硬度的材料等)在其相反的端侧连接起来形成与传送路径相一致的封闭路径)。既然沿传送带长度的两个纵向不同的点之间的距离无论怎样小，通常可能设想在两个纵向不同的点之间存在一个附加点或者一些点，在这些点上或者沿着这些点，传送带形成弯曲(无论多么轻微)，那么，关于这种传送带，可以设想有一连串的靠得很近的纵向位置。

解决的技术问题

至少最初讨论的关于不同类型的传送带的纵向位置的概念，现在可以看成，传送带和传送物品之间的接口是系统的一个重要部分，该系统寻求用一种精确、准确、和/或可重复的方式为传送物品的定位，例如有利于上述传送物品的平滑卸载。图1简要地示出用在具有创造性的定位传送系统环境中的典型传送带。对图1传送带的分析，可以说明相对传送物品的精确定位的可能的复杂性。例如现在要解释的，传送带能够在任意两个纵向位置之间弯道的一个必然要求是任何两个纵向位置之间的绝对距离可以变化，例如在传送路径弯道所限定的传送平面内该距离可以被测量。(例如取决于在任何给定的时刻，在纵向位置之间是否出现这种传送带的弯曲)。

图1简要地示出典型传送带101，其中示出了传送路径103，沿该路径可以导致传送带101在纵向105旋转，且限制在该方向中。传送路径103由该路径上具有的侧向弯道107形成一个传送平面(与图1中纸的平面共面)。传送带101沿它的纵向尺寸在尺寸上是稳定的(例如传送带101整体上沿传送路径103既不可以明显被压缩又明显被延长)。传送带包括一典型部分109，该部分上存在第一纵向位置111，和在典型部分109上相对靠近第一点附近的第二纵向位置113，和相对传送方向105的第一点的上游区。传送带101是定位传送机115(没有单独示出)的一部分。最初就要考虑到传送物品(未示出)要占据相对传送带101的一预定纵向位置，至少部分地经过在第一和第二纵向位置111、113上由传送带101提供的纵向位置引导件(例如被传送的物品将同时纵向位于两个这种纵向位置上)。

当传送带101的典型部分109通过传送路径103的第一基本上直道117时，第一和第二纵向位置111、113将由第一尺寸119表示的距离保持分开(如传送平面中测量的)，该距离将往往保持基本恒定。与之相比，只要在传送路径103中传送带101的典型部分109穿过弯道107时，第一和第二纵向位置111、113之间的距离将缩短到由第二尺寸121表示的第二较小距离。此外，也如图1中所示，一旦传送带101的典型部分109从弯道107过来，并且例如经过靠近弯道107的第二基本上直道125时，原来的点到点的距离可以恢复，该距离由第三尺寸123表示，等于第一尺寸119。

因为第一和第二纵向位置111、113之间的绝对距离，将往往根据纵向位置111、113是否通过传送路径的直道或弯道而变化，使传送物品(未示出)趋向于同时位于传送带101的两个这样的点上，会引起一个或多个下面的复杂性：

(1)相对传送带101传送物品(未示出)的实际纵向位置不确定；

(2)实现所有传送物品(未示出)相一致的和精确的空间定向(例如不同于保持相一致的纵向位置)的问题；和/或

(3)一处和多处机械方面的冲突，可能潜在地损伤或变形传送带101、被传送的物品(未示出)、或者为传送物品提供支撑的其它设备(未示出)。

这样，至少为确定被传送物品相对定位传送机的传送带的纵向精确位置，预定/预选一个被传送物品所处的纵向位置是有益的，而不是为了纵向定位依靠多个纵向位置。而且，为纵向定位而使用一个纵向位置的固有优点持续存在，不管传送带通常纵向尺寸是否稳定(如图1所示和关于图1的上面的描述)，还是具有纵向尺寸中不一定尺寸稳定的特性(例如在传送路径方向上传送带可以相对地压缩和/或拉长，和/或在纵向相邻但结构分开的接头、段、或包括传送带的部件之间出现间隙。

图2-4假设，这种定位传送机可以包括介于传送的基片载体和旋转部件之间的物品定位支架，其中每个物品支撑件的第一端能够接受通过基片载体，以及相对物品支撑件确切地纵向定位，每个物品支撑件的第二端使物品支撑件位于传送带预定的纵向位置。

图2是根据本发明定位传送机127的端视图，它与参照图1上面描述的定位传送机115相似，除了定位传送机127包括一个传送带129，其不必象图1中传送带一样具有纵向尺寸的尺寸稳定性的特征之外，且可以具有如下面描述的特征。定位传送机127还包括物品支撑件131(即定位传送机127可以包括多个这种物品支撑件131)。物品支撑件131接收和支撑基片载体133，以使基片载体133在纵向(例如进入图2的平面)确切地位于物品支撑件131上。在连接到传送带129时，物品支撑件131精确地纵向定位在传送带129的纵向位置135，其纵向位置135可以认为基本上相当于图1的纵向位置111。这样，物品支撑件131相对传送带129的纵向定位精度，可以“传递”到被传送的基片载体133(例如或多或少地依靠物品支撑件131的有关特性(例如刚度、存在的关节连接、关节连接程度等，和/或控制物品支撑件131相对传送带129空间定向的方式)。

图3是图2中定位传送机127的传送带129的部件137的侧视图，包括物品支撑件131和被传送的基片载体133，物品支撑件131纵向位于传送带129的纵向位置135，被传送的基片载体133由物品支撑件131支撑并相对于物品支撑件131纵向设置。可以使传送带129的部件137沿传送带129的传送路径139基本上直道通过，由此使被传送的基片载体133沿传送路径141移动。

图4是图2中定位传送机127的顶视图，对应于布置在第一和第二完基本上直道145、147之间的传送带的传送路径139的弯曲段143对应。因为物品支撑件131纵向位于传送带129的纵向位置135，所以可以使物品支撑件131用传送带129沿传送路径139传送，例如传送带129穿过第一基本上直道145，进入与弯曲段143一致的弯道，进入第二基本上直道147中和在其中直行。由于物品支撑件131的这种设置，相对于物品支撑件131纵向设置的基片载体133通常也被认为纵向设置在纵向位置135。

图2、3、和4进一步分别示出传送带129可以受到多个出现惯性力，它们出现在传送基片载体133中，和/或出现在包括被传送基片载体133和物品支撑件131的子组件中，且分别以一个或者多个横摆力矩149、纵摆力矩151和/或旋摆力矩153的方式由物品支撑件131传递。此外，图2、3、4中的每一个示出了，在定位传送机127的这种特定实施例中，物品支撑件131和传送带129之间传送力的相互作用，被有意地限制在纵向位置135和/或紧邻纵向位置135的传送带129区域，和/或上面提及的力矩往往集中作用在传送带129上，在同一个纵向位置即纵向位置135合并，需要传送带129相应地承受。例如，在某中程度上，物品支撑件131与传送带129的连接包括对物品支撑件131相对于纵向位置135旋转(如旋转或者摆动)程度的限制和约束，物品支撑件131以悬臂方式产生作用，该悬臂从传送带129延伸到有一个偏移量的位置，该偏移是在纵向位置135与被传送的基片载体133的重心之间，和/或与基片载体/物品支撑件子组件的重力中心之间的偏移。出现在被传送基片载体133中的惯性力，因为通过整个悬臂支架起作用，根据约束的特性和程度(例如整体上或局部)，可以横摆力矩149(图2)、纵摆力矩151(图3)和/或旋摆力矩153(图4)的形式传递到传送带129上。

如下面关于图5的讨论，例如物品支撑件131与传送带129的连接可以包括，对物品支撑件131侧向旋转即旋摆量(参看图4中旋摆力矩153)进行基本上完全约束。例如接口装置(未示出)的一对互补和相配合的圆柱形或者圆球形基准面可以位于纵向位置135。该对基准面中的一个与传送带129可以有一个固定的空间和位置(例如在水平面上固定)关系，另一个基准面可以有与物品支撑件131相同的关系。通过小心的“定位”彼此相对的基准面，操作者可以调节物品支撑件131的偏转方向，以使物品支撑件131与传送带129纵向对准，且由于这种对准，当它纵向旋转时，就与限定传送带129的传送路径139纵向对准。一旦物品支撑件131在偏转平面被带入这种的对准状况，彼此相对的基准面的旋转方向可以固定，使得可以使该物品支撑件保持在该对准状况。

定位传送机127的某些实施例，如上所述地限制物品支撑件131和传送带129之间在纵向位置135的相互作用，如刚才描述地可以允许在偏转方向上保持物品支撑件131相对传送路径139对准齐状态，不管物品支撑件131在某一时间穿过传送路径中的弯道(参见图4的弯道143)，还是穿过传送路径中基本直道(参见图4中第一和第二基本直道145、147)。这样，所有其它被认为相同的变量、方法和设备可以适应相同的设备沿传送路径139中的弯道或者基本直道，该方法和设备在传送带129移动的同时从传送带129中移走传送基片载体133，在移走过程中要求传送基片载体133呈现并保持相对传送路径139在偏转方向上对齐。

再次参照图2-4，例如传送带129的一个或多个特定实施例可以是均匀的(例如沿纵向尺寸)较轻的重量，以允许以高转速穿过弯道，而不会可能引起在传送带129受到影响的部分中出现难处理的惯性力，和/或是高长宽比(例如上面描述的垂直定向的带型情况)，以有助于精确作用侧向引导力，和使传送带129在传送路径中符合侧向弯道。这样，如果更重要的设计准则是希望避免，在传送带129中响应来自基片载体133或者来自基片载体/物品支撑件子组件的一个或者多个大的传送惯性力矩而产生疲劳应力和/或塑性变形，那么在纵向位置135上传送带129的至少一个尺寸(例如传送带形成的连续带的厚度，或者传送带接头或段道的厚度)可以更小。

例如传送带129某一实施例可以用上面描述的方式优化(例如关于重量、精确的侧向和/或垂直引导的能力、精确符合(图4)中传送路径139侧向拐弯的能力)，结果使得在传送路径139的横向或者垂直于传送路径139(图4)延伸的方向155上，纵向位置135处有较小厚度的尺寸。并且，该特定实施例也可以将物品支撑件131和传送带之间力传递相互作用限制在纵向位置或者它紧邻的区域。然而，这样的传送情况也会出现，例如要求传送带承受不相称的大横摆力矩149(例如横摆力矩149被周期性地施加，例如每次传送带133通过与传送路径139的弯道段143(图4)对应的传送路径141(图3)部分)。这可能在纵向位置135的紧邻区域或其内引起过早损伤传送带129。这种损伤可能例如马上发生(例如塑性变形)或者过一段时间发生(例如由周期性的高应力水平而引起的的疲劳形成的裂纹和裂纹的扩展)。

根据传送用途，下列变量与传送带129是否受到由于横摆、纵摆或旋摆载荷引起的过早损伤有关，尤其是旋摆载荷(例如当传送的基片载体133通过传送路径141(图3)中的弯道时，这种情况可以出现，该弯道限定成如传送带的传送路径139(图4)中弯道一样)：

(1)基片载体133的基本惯性和/或基片载体/物品支撑件子组件的基本惯性(它可以较高，例如在FOUP适于存放25个或者更多的基片的情况下)；

(2)传送带129的局部刚度和/或强度(例如由于上述设计考虑，其可以较低)；

(3)物品支撑件131的总刚度和/或强度(因为与传送带129力传递接口的跟部限定在纵向位置135，所以其可以限定靠近传送带的横截面上)；

(4)传送带129沿传送路径139旋转的速度；

(5)惯性载荷作用的频率(由于高的旋转速度和/或传送路径139中存在多个侧向弯道，该频率可以较高)

(6)传送路径139中表示的弯道半径的相对尺寸(例如在具有瞬间半径值的可变半径弯道的情况，和具有恒定半径值的恒半径弯道的情况)；

(7)传送基片载体133能够存放的基片的总数，以及存放在特定的传送基片载体133中的基片数量，和任何支持少于存放基片被装满数的传送载体133的装载结构；和/或

(8)被传送的基片载体133的重心和/或基片载体/物品支撑件的子组件的合成重心与纵向位置135之间分开的“悬臂”距离(例如惯性体重心和纵向位置135之间的纵向偏移(横摆力矩下)和/或竖向偏移(纵摆力矩和旋摆力矩下))。

传送带129的一个实施例，在物品支撑件131所处的相同纵向位置，将往往承受出现在传送的基片载体133上的、或者基片载体/物品支撑件子组件内的全部所有的惯性载荷，这些载荷常常就在纵向位置135处和/或紧邻在纵向位置135和/或在其周围的传送带129的区域内，形成使寿命缩短的裂纹和/或过度的弹塑性变形。

对传送带129损伤的结果可能有阻止传送带基片载体133从移动传送带129平滑移走的后果，尤其在传送带必须保持沿传送路径139连续、高速旋转的环境下。因此，需要这样的方法和设备：使传送带在物品支撑件131所位于的纵向位置135处避免受到使寿命缩短水平的应力，同时可靠地承受(例如以好的控制方式承受)出现在传送基片载体133和/或基片载体/物品支撑件子组件的惯性载荷，以及为了平滑地带速卸载基片载体133，对物品支撑件131的纵向位置和空间方向连续施加精确的控制。

发明实施例的描述

图5是按照本发明在制造设备中传送基片的定位传送系统157的部分预视图。参照图5，位置传送系统157包括基片载体133(虚线所示)(定位传送系统157可以包括多个这样的基片载体133)，和适于沿着传送路径移动基片载体133的定位传送机127a(没有单独表示，参看图3中的传送路径141)。定位传送机127a以传送带129a的形式包括图2-4中传送带129的实施例，其具有如下所描述的附加特征，包括有(如图1的传送带101)沿着传送带129a纵向尺寸的尺寸稳定性。图5中示意性示出的传送带129a，其中图5示出了沿着纵向105旋转的传送带129a的传送路径103，以及其上可以由竖向和/或侧向的引导装置限定它(未示出)。传送路径103经传送路径103中的侧向弯道107形成传送平面(符合图5的纸平面)。传送带129a包括第一纵向位置111a和第二纵向位置113a位于其上的部分109a，以及相对于传送带105第一位置的上游部分，第二纵向位置113a相对靠近在部分109a上的第一位置。

重要的是，定位传送机127a还包括物品支撑件131a，类似上面描述的物品支撑件131，且具有下面描述的特征，其中该特征是，从传送基片载体133中或者从基片载体/物品支撑件子组件(以例如图2的横摆力矩149和/或图4的旋摆力矩153的力矩形式，它们由物品支撑件131a传递到传送带129a)中出现的惯性载荷分布在传送带129a的多个纵向位置。例如物品支撑件131a可以包括传送基片载体133可以制成依靠该部件的支承部件159，以及可以连接到支撑部件159的第一和第二接口部件161、163(两者以横截面表示)，和/或与支撑部件159连成整体的结构(铰接也是可能的)，使得第一和第二接口部件161、163从支撑部件159向上延伸，并占据支撑部件159上的位置，这些位置一般以预定的固定距离分开(例如该距离尽管一般是固定的，但是可以或者不调节长度)。第一和第二接口部件161、163适于与传送带129a相配合作用，以在第一和第二纵向位置111a、113a之间分配上述载荷。

第一接口部件161适于纵向和侧向定位在第一纵向位置111a上(这样，来相对传送带129a纵向和侧向定位物品支撑件113a)，使得允许物品支撑件131a通过纵向位置111a将以横摆和纵摆力矩形式的惯性载荷传递到传送带129a，同时允许物品支撑件131a围绕第一纵向位置111a作一定程度的旋摆旋转(例如其中第一纵向位置111a可以设置在物品支撑件131a的旋转中心)。这样物品支撑件131a的空间方向相对传送带129a在旋摆方向上不完全固定，如关于图2-4的上述传送带129的某些实施例。

第二接口部件163适于侧向设置在传送带129a的第二纵向位置113a上，使得物品支撑件131a在第二纵向位置113a将横摆惯性载荷传输到传送带129a上，而不干涉第一接口部件161的纵向和侧向定位功能，通过该第一接口部件161物品支撑件131a获得相对传送带129a的纵向位置。在其它潜在的复杂性中，在上述结合图1描述的、与定位不确定，机械干扰有关的复杂性(1)-(3)中，可以避免使用物品支撑件131a，同时沿着多个纵向位置分配潜在的损伤惯性载荷，以减少可能由于高应力水平而引起的局部疲劳和/或传送带129a不适当的局部弯曲。

作为图5中所示的物品支撑件131a的实施例，传送带129a可以包括纵向和侧向定位于第一纵向位置111a的第一安装部件165(以横截面表示)，它与物品支撑件131a的第一接口部件161相互作用。例如传送带129a的第一安装部件169的部分或全部可以是与传送带129a的连接件(未示出)一体化的结构。可选择地或者附加地，在第一纵向位置111a，第一安装部件169可以包括一个或多个与传送带129a分开的和连接到传送带129a上的部件。

物品支撑件131a的第一接口部件161和传送带的第一安装部件165可以分别包括第一基准面167和第二基准面169。第一基准面167和第二基准面169可以包括互补的定位部件，它们实际上同轴和/或同心设置和适于滑动配合以允许在两表面之间相对旋转，同时为了好的定位精确度两表面保持接触和/或紧密靠近。例如第一基准面167和第二基准面169的横截面侧部(例如平行于图5的纸面)被表示成部分圆周(例如一个、两个和多个圆周段)和/或整圆，且第一基准面167和第二基准面169本身可以表示成互补的部分球状或整球状、圆锥状、圆柱状、和/或其它互补的曲线或者波浪形状，以利于相对旋转。

第一基准面167和第二基准面169中任意一个或两者的圆形截面不需要一定形成完整的圆形，至少因为不一定需要提供表面相互之间的完全旋转。不同半径的圆形段也是可以的，如果提供的所有这种段同心，以利于物品支撑件131a相对传送带129a同时纵向和侧向定位。

如果第二基准面169形成球形，那么第二基准面169可以归结为一点(未示出)，该点可以与纵向位置111a重合。同时，如果第二基准面169归结为一轴线(未示出)(例如当基准面169形成圆柱，圆锥、曲线或者波浪形状等)，那么第二基准面169归结的该轴线可以或不与纵向位置111a重合。如果第二基准面169归结的该点或轴线不与纵向位置135重合，那么在纵向和/或侧向该点或轴线与纵向位置135也许分开基本上固定的偏移量。这种情况下的重合或近似重合设置的有益效果在于，它们最好可用来限定被传输的惯性力矩的总幅度。

图5中示出的物品支撑件131a的实施例还表示了，传送带129a可以包括第二安装部件171，它位于第二纵向位置113a并与物品支撑件131a的第二接口部件163相互作用。例如传送带129a的第二安装部件171的部分或者全部可以是与传送带129a一体化的结构。可选择地或者附加地，第二安装部件171可以包括在第二纵向位置113a与传送带129a分开的并连接到传送带129a上的一个或多个部件。

物品支撑件131a的第二接口部件163可以包括分开的第三基准面173和第四基准面175，上述两基准面相互隔开并通常相互面对(例如如果协调控制尺寸公差，那么可以认为它们一起归结到一个轴线上，或者位于它们之间的平面上，这些在下面进一步描述)，传送带129a的第二安装部件171可以包括第五基准面177。第三基准面173和第四基准面175可以单独地适于(例如不必同时)与第五基准面177相滑配，以允许在成对的接触面之间保持接触或者如果接触破坏，保持紧密接近地平移和旋转。例如，穿过第三基准面173和第四基准面175的侧切面(例如平行于图5的纸面)可以形成两个直的且相互平行并按照预先确定的距离179分开的线，第五基准面177的侧切面可以形成直径稍小于上述两个平行直线之间距离179的部分或全部圆周，或者可以形成相同或不同半径的两个或多个圆弧段，该半径加起来的总长度稍稍的小于距离179。第三基准面173或第四基准面175中的任何一个或两者本身在纵向上可以基本上是平面的(例如如果两者都是平面的，它们可以基本上相互平行)，和/或可以在空间上凸出来形成曲线和/或波动线的形状。虽然第三和第四基准面173、175通常可以在相同的纵向上延伸，但是从侧向竖直截面方向上看过去，它们通过该截面可以或不是呈双侧对称，只要在侧向水平方向的截面上，基准面173、175看起来基本上是平行的线(同图5中一样)。

第二安装部件171可以总是侧向(例如相对纵向的移动方向105呈垂直)保持被“捕获”在物品支撑件131a的第二接口部件163的第三和第四基准面173、175之间(例如同时保持接触和/或紧密接近第三和第四基准面173、175中的每一个)，而通常相对第二接口部件163作某种程度的自由旋转(特别是相对第三和第四基准面173、175)，和/或在基本纵向上沿由相对的第三和第四基准面173、175形成的槽181作某种程度的移动。第二接口部件163的一些实施例中，第三和第四基准面173、175可以看作归结于一个中心平面或轴线，例如在一定程度上它们被看作关于中心平面或者轴线(没有分别示出)双向对称。这种中心平面或轴线可以限定槽181的纵向，可以或不与第二纵向位置113a的非平面实施例一致。

与上述的定位传送机127a的功能一致，可以提供定位传送机127a的实施例，其中第一安装部件165或第二安装部件171中的任何一个或两者也承受传送基片载体133和/或基片载体/物品支撑件子组件的重量。例如第一和/或第二安装部件165、171外径特征可以为自低到高(没有另外示出)的线性锥形(例如圆锥形)和/或非线性锥形(例如凸面或凹面)，相应接口部件的内径(例如在第一接口部件161)或者面与面的空间尺寸(例如在第二接口部件163)可以同样呈锥形，使得接口部件固定在安装部件的上面。这种设计中，至少部分地通过在旋转部件129a的安装部件的一对或多对相应的基准面和物品支撑131a的接口部件之间这种承重相互作用，也可以调整物品支撑件131a的高度，使得物品支撑件131可以相对传送带129a垂直地定位。可以选择地，如下面将要描述的，该相应的基准面不可以实现承重和/或垂直定位的功能，这些功能可以通过分开的部件和/或结构实现(例如它们可以包括部分的安装部件和/或接口部件)，这些部件和/或结构不一定必须包括相对传送带129a纵向和/或侧向定位物品支撑件131a。

图5顺序表示传送带129a的一部分109a通过(1)沿传送路径103的第一基本直道117，(2)沿传送路径弯道107，和(3)沿传送路径103的第二基本直道125。以与参照图1的上面描述和示出的相同方式，该弯道107中第一和第二纵向位置111a、113a之间的绝对距离可以缩短，且第二基本直道125中可以恢复。传送带129a的第二安装部件171和物品支撑件131a的第二接口部件163之间的侧向定位接口，可以通过允许第二安装部件171在第二接口部件的槽181中根据需要前进和后退来适应这种缩短和恢复。例如第一纵向位置111a已经进入该弯道107后，但是当第二纵向位置113a保持在第一基本直道117时，可以要求第二安装部件171在槽181中前进，这些可以通比较过图5中所示的传送带129a的典型部分109的第一和第二情况看出来。作为另一个实施例，第一纵向位置111a退出弯道107后，但是当第二纵向位置113a保持在弯道107时，可以要求第二纵向位置113a在槽181中退却，这些可以通过比较过图5中所示的传送带129a的典型部分109的第二和第三情况看出来。假定物品支撑件131a的第二接口部件163是足够的长，无论第二纵向位置113a在槽181中的相对位置，第二接口部件163可以保持第二接口部件163被约束(例如较紧的弯道可能需要第二接口部件163的较大的最小长度)。

图5的定位传送机127a可以被优化，使得物品支撑件131a沿基本上直道117、125相对传送带129a在悬摆方向精确对齐。这样，当设计用来卸载基片载体的设备例如在上面引用的480专利申请中描述的装载/卸载机器人，沿直的传送路线移动的时候，定位传送机结合这些设备可以产生有益效果。例如第一和第二基准面167、169可以为圆柱形，和有足够的长度，使得物品支撑件131a和传送基片载体133在纵摆方向和横摆方向的精确定向。可以控制圆柱形第二基准面169归结的轴线，以基本上竖直通过纵向位置111a，使物品支撑件131a和传送带基片载体133在纵向位置111a上纵向和侧向定位。使物品支撑件131a与传送带129a纵向对齐可以提供物品支撑件131a相对传送路径103的在旋摆方向精确定位。

至少物品支撑件131a的三个方面可以共同作用来提供这种纵向对齐。第一方面，虽然物品支撑件113a的第一接口部件161围绕第一安装部件165旋转能力必须舍去在传送路径103所有点上正确纵向对齐的可能性，但是其可以有一种弹性，需要使传送带129a的第一和第二安装部件165、171彼此相对旋转。之所以需要这种弹性，例如一定程度上是为了相对于传送带129a的传送方向的某一点的切向，固定传送带129a的第一和第二安装部件165、171中任何一个在旋摆方向上特别的定向(见图5，其中每个安装部件165、171的阴影平行线方向保持与传送路径103方向对齐，结果在两个安装部件165、171穿过弯道107时，两个安装部件之间在旋摆方向上方位不同)。

第二方面，物品支撑件131的第二接口部件163通过其与第二纵向位置113a的侧向定位和纵向传送关系(例如通过第二安装部件171)，使得第二安装部件171相对(例如围绕)第一纵向位置111a旋转物品支撑件131a，以提供期望的旋摆值。这样，某种程度上使传送带129a采取基本上直的形状，第一和第二纵向位置将沿传送路径103在它们最大的点到点的距离上对齐，由第二安装部件171的作用而确定的期望位置因此是可重复的且可靠的。第三方面，因为物品支撑件131a自身沿传送带129a的纵向尺寸延长，所以可以选择第一和第二纵向位置111a、113a之间最大的点到点精确的距离，该距离有足够长度来减小和/或消除在悬摆方向上的任何潜在的误差，该误差是由传送带129a的安装结构的外径和可以相对旋转的物品支撑件131a接口部件的内部尺寸之间的间隙引起的。

然而，当物品支撑件131a进入传送路径103中的弯道107或从传送路径103中的弯道107出来(和/或传送路径103中任何的弯道)时，可以观察到物品支撑件131a相对传送路径103的悬摆情况不断变动，在两个纵向位置111a、113a通过该弯道时，某种程度上弯道107的半径保持恒定，物品支撑件131a将至少保持相对传送路径103恒定悬摆方向。这样，当定位传送机127a通过传送路径的弯道时，它可以与适于卸下基片载体133的装载/卸载机器人(未示出)兼容，只要装载/卸载机器人能够将悬摆偏移控制在一个恒定值。

通过保证和/或保持表面平滑，这种基准面之间的滑动接触受欢迎，和这种滑动接触产生的颗粒是不受欢迎的。可选择地和/或另外地，可以应用具有低颗粒产生的材料到基准面，加强最少颗粒产生的滑动。

图6是图5中传送带129a的典型实施例端视剖面图。如图6中所示，传送带129a的带183可以有高的长宽比，在垂直方向相对较宽，利于使带183受到高精度的侧向引导，以紧密地粘着到传送路径103上(图4)，以及在侧向相对较窄，利于使用带183来限定被传送基片载体133(图3)的精确的传送路径141(图3)。例如，除了图6中示出的具有高的长宽比，在纵向尺寸中带183的特征在于整体的连续的结构，在这种情况下，侧向尺寸较窄可以提供传送带129aa弹性弯曲的能力，与传送路径103(图5)中侧向弯道(见图5中弯道107)相适应，以及允许可能的无数的模式和沿传送带129a纵向位置(例如图5中纵向位置111a、113aa)设置的点到点距离。

图6也表示了传送带129a的纵向位置可以包括传送带183上的多个点。例如，传送带129a的第一安装部件165a，可以是圆柱形和如图6中所示，可以有延长的竖直长度，以在横摆和竖摆方向上提供精确的期望角度，可以在传送带183的多个点185固定到传送带上，所有点可以占据相对带183的相同纵向位置(例如它们可以沿垂直轴对齐)，使得由于送路径103中的侧向弯道产生的这些点之间的距离的缩短或恢复不发生。第一安装部件165a还可以在带183的最低长度184下延伸，例如有利于连接完全处在下方的物品支撑件(未示出)和/或与带183分开。在一些实施例中，安装部件可以不在带183的最低长度184下延伸，例如以保证任何物体的使悬架与安装部件脱离的间隙。

图7是定位传送机127b部分横截面顶视图，它是图2-4中定位传送机127的实施例，近似于图5中的定位传送机127a，却有下述差异，该差异包括至少物品支撑件的脱离部件。定位传送机127b可以包括类似于图5中描述的传送带129a，其中还以传送路径103的形式部分示意性描述该传送带，该传送带包括第一安装部件165。定位传送机127b可以进一步包括在相关部分示出的物品支撑件131b，该部分是物品支撑件131b的第一接口部件187。第一接口部件187可以具有类似于图5中第一接口部件161的结构和功能，但是有某些差异。例如第一接口部件187类似于第一接口部件161，其中其在日常使用中将物品支撑件131b纵向或侧向定位在传送带129a的第一纵向位置111a上。一个差异为第一接口部件187可以包括脱离连接。例如当被施加预定大小的力189(例如在物品支撑件131b沿传输路径103通过与更低物体之间碰撞产生的力)，例如25磅或者更大的力时，第一接口部件187适于允许物品支撑件131b从第一纵向位置111a偏离(例如与传送带131b的纵向路径191方向完全相反的方向190)。

第一接口部件187的至少一个实施例中，因为第一接口部件187允许物品支撑件131b自纵向位置111a偏离，所以可以允许物品支撑件131b，以及与物品支撑件相关的任伺传送物品，自传送带129a完全卸掉。例如，在围绕传送带129a的第一安装部件165的不同圆周方向上，第一接口部件187可以包括从公共支架196延伸的第一指卡193和第二指卡195，第一指卡193和第二指卡195可以形成类似于图5的第一基准面167的第一基准面167a的至少一部分，其中第一基准面167a位于第一安装部件165的第二基准面169上并与之相匹配可滑动地旋转。在横截面中，第一基准面167a可以只形成部分圆周，其中失去的整圆的至少一部分可以是这样的一部分，即通常布置在第一安装部分165的下游或其引导部分197(失去的部分可以是例如较小的部分，例如只占第一和第二指卡193、195端部199之间的小的间隙，或者是例如图7中示出的某种较大间隙)。例如指卡193、195和公共支架196可以包括具有连续整体结构的单个设备的多个部分。

响应于力189，第一指卡193、第二指卡195中一个或者两者可以产生例如弹性(例如弹性方式)或者塑性(以损失的方式，该部分被弯曲或者折断和必须更换)变形，以使第一基准面167a(和/或该表面在变形之前预先包括第一基准面167a)从第一安装部件165的第二基准面169分开。还有，第一指卡193、第二指卡195和第一接口部件187的中心支架196，与物品支撑件131b的剩余部分一起，在例如图7中所示的路径191的纵向相反的方向上，被引起从传送带129a的第一安装部分165偏离。因此，可以使物品支撑件131b从传送带129a完全脱离。

附加的和/或选择的实施例中，第一安装部分165具有可压缩性，使得第一指卡193、第二指卡195不会受该力189影响变形或者偏离，但是由于压缩第一安装部分165，物品支撑件131b可以释放。在一些实施例中，由于第一和第二指卡193，195的变形以及第一安装部分165的压缩，物品支撑件131b受到力189可以释放。

申请人已经获知，将这种脱离部件安装到物品支撑件131b的第一接口部件187的纵向定位中，可以提供优于缺少脱离部件的相似装置，例如避免太大的损坏，和/或限制这种损坏，以精确传输装置和细微处理生产工件(例如电子装置基片)。例如定位传送机127b的传送带129a已经被优化，在传送路径103的纵向191中在相对高的恒定速度下旋转(例如可以是相对轻的重量)，和可以出现较小尺寸的一个或多个尺寸(例如参见图6)(例如提供对于被传送物品的精确定位和/或方向，和/或来允许侧向弯道中弯曲)。因此，对传送带129a损坏的后果，超出了与替换和/或修理精密和高工程成本的设备相关的所占极大费用，包括由于工件传送中的故障(或者停工)带来的麻烦和高费用的停工期，表现为其它适当工作的处理设备空闲或者未充分利用。

上述本发明的脱离部件可以有效地隔离传送带129a避免在传输路径103中受与物品或人的正面碰撞力而损坏，和可以限制发生在受影响的被传送物品(未示出)和/或受影响的物品支撑件131b、和/或紧跟受影响部件的一个或多个类似部件上的损坏，在重力作用下它们中的一些和/或全部会从旋转物品129a中跌落。

图8是定位传送机127c的部分横截面顶视图，该传送机是图2-4的定位传送机127的一个实施例，并且类似于图7中的定位传送机127b，即包括物品支撑件的脱离部件，其中它具有后面解释的区别。参照图8，定位传送机127c可以包括传送带129a(图7)，其中传送带还以传送路径103(图7)的形式部分示意性的示出，和包括第一安装部分165。定位传送机127c还可以包括相应部分中示出的物品支撑件131c，该部分是物品支撑件131c的第一接口部件201。第一接口部件201可以有与图7中第一接口部件187类似的作用和结构，但是有一定的差别。例如第一接口部件201与第一接口部件187的相同之处在于包括脱离连接，其中当被施加预定大小的力189例如25磅或者更大的力时(例如在沿传送路径103(图7)经过的物品支撑件131c与窜入和/或出现在传输路径103(图7)中的更低的物体或相对不动的物体之间的碰撞产生的力)，第一接口部件201适于允许物品支撑件131c从第一纵向位置111a偏离(例如在与传送带131c的路径191纵向完全相反的方向190上)。

图8的第一接口部件201和图7中第一接口部件189之间的区别至少包括指卡的特征和它们允许物品支撑件131c自第一纵向位置111a偏离的方式。例如第一接口部件201可以铰接，其中它包括从公共支架207延伸的第一指卡203和第二指卡205，其中第一和第二指卡203、205中的一个或两个不是随着力189弯曲或者变形，而是可以相对公共支架207旋转，使得允许物品支撑件131c从第一纵向位置111a脱离。如图8所示，这种铰接方式可以允许第一和第二指卡203、205相互远离旋转，这样从第一安装部件165上脱开。

如图8中所示的实施例，中心支架207可以包括一支柱，在第一指卡203和中心支架207之间接口位置，和/或在第二指卡205和中心支架207之间接口位置，放置一个弹簧(例如象图8中所示的弹簧209一样的扭转弹簧，或者另一种弹簧或者适用结构的类似偏置部件)以提供必要的关闭或者偏置力用来相配合(例如，根据预选的期望的脱离力大小可以选择弹簧常数)。在其它的实施例中，中心支架207可以有侧向延伸的形状，每个第一和第二指卡203、205可以有与中心支架207分开的连接，它们适于绕该中心支架铰接，和可以提供脱离弹簧以提供必要的偏置力，来相对第一安装部件165关闭每个指卡。

图9是发明的定位传送机127d向下的示意透视图，其是图2-4中定位传送机127的一实施例。定位传送机127d也类似于图5中定位传送机127a，例如其中定位传送机127d包括沿传送路径103(图5)在传送带129b传送方向上基本上不能压缩、也不能延伸的传送带129b。图9中定位传送机127d与图5中定位传送机127a的区别在于，定位传送机127d的物品支撑件131c的第一接口部件211包括相对传送带129b的第一安装部件165的脱离连接(例如脱离连接功能，与图7中定位传送机127b的功能类似)，与图5中定位传送机127a的其它相似的地方也存在，这些将参照图9在下面讨论。

传送带129b可以包括带183a，类似于图6中的带183。例如带183a足够长以在整个传送路径103中延伸成环(图5)，使得传送带183a的相对端可以相互连接，例如经过公共附件与用于此目的的一个或多个支架213连接。传送带129b还可以包括连接到传送带183a上的第一和第二安装部件165b、171b，传送带129b的第一和第二安装部件165b、171b可以各自包括至少两段。

第一安装部件165b的第一段215和第二段(看不到)可以分别连接到带183a相对的第一和第二侧向侧面217、219，以形成分开且共同作用的基准面的片断，例如第二基准面169a。第二基准面169a可以是第二基准面169的圆柱形方式(参照图5和与此相关的描述)，该基准面可以沿带183a向上延伸，使得出现延伸垂直部分。例如第二基准面169a的这种垂直延伸部分在分配沿垂直轴的以横摆力矩149的方式的惯性载荷上具有有益效果(同样参照图2和与此相关的描述)。如图9中所示，这种垂直轴可以包括传送带129b的第一纵向位置111a(同样参照图5和与此相关的描述)。

第二安装部件171b的第一段221和第二段(看不到)可以分别连接带183a相对的第一和第二侧向侧面217、219上，以形成分开且共同作用的基准面的片断，例如第五基准面177a。第五基准面177a可以是参照图5和图7所示和所描述的第五基准面177的圆柱形方式(参照图5和与此相关的描述)，该基准面可以沿带183a向上延伸，使得出现延伸垂直部分。例如第五基准面177a的这种垂直延伸部分在分配沿垂直轴的以横摆力矩149的方式的惯性载荷上具有有益效果(同样参照图2和与此相关的描述)。如图9中所示，这种垂直轴可以包括传送带129b的第二纵向位置113a(同样参照图5和与此相关的描述)。

第一、第二安装部件165b、171b中第一段和第二段的最低延伸(例如第二安装部件171b的第一段221的最低延伸223)被设置在与带183的最低延伸一样的高度。可以选择地，安装部件中第一段和第二段的最低延伸可以设置在相对较高的高度(例如稍高的高度)，或者相对较低的高度(例如如图6中所示)。

物品支撑件131c的第一接口部件211包括连接到(例如固定连接)物品支撑件131c(传送基片载体可以依靠该支撑件)的支架159a上的中心支架227，该物品支撑件可以有侧向延伸部分228，该部分侧向通过带183a的最低延伸225下面，使得在带183a的两个侧面上提供支撑。第一接口部件221的中心支架227还可以具有沿带183a的第一侧向侧面217向上延伸的第一垂直延伸部分229，沿第二侧向侧面219向上延伸的第二垂直延伸部分(不明显)。

第一接口部件221还包括类似于图7中第一接口部件187的第一指卡193的第一指卡193，该指卡可以自第一垂直延伸部分229纵向延伸并沿外周围绕传送带129b的第一安装部件165b。例如当施加预定大小(例如25磅的力)的正面力189(图7)推动到这样的弯曲来触发这种脱离时，第一指卡193可以是与第一垂直部分229成一体的连续结构，在正常操作中可以由此提供必要的弹力以允许指卡的第一基准面(不明显)与第一安装部件165b的第二基准面169a保持配合，以及允许第一指卡193向外弯曲，并且这样从第一安装部件165b脱离(参照图7和相关描述)。第一交接面部分211还可以包括适于以相同或相似的方式在带183a的第二侧向侧面221上作用的第二指卡(不明显)(例如其第一基准面也可以形成一部分)以及第二垂直延伸部分(不明显)。

物品支撑件131c还可以包括第二接口部件163a，该部分可以是图5中物品支撑件131a的第二接口部件163的一个实施例。例如第二接口部件可以包括连接(例如固定连接)物品支撑件131c的支架159a的中心支架231，中心支架231可以有侧向延伸部分233，该部分侧向通过带183a的最低延伸225下面，使得在带183a的两个侧面上提供支撑。第二接口部件163a的中心支架231还可以具有沿带183a的第一侧向侧面217向上延伸的第一垂直延伸部分235，和沿第二侧向侧面221向上延伸的第二垂直延伸部分(不明显)。第一垂直延伸部分235和第二垂直延伸部分(不明显)可以分别包括位于传送带129b的第二安装部件171b的第五基准面177a上的第三和第四基准面(不明显)。例如第三和第四基准面(不明显)可以包括基本上平的表面，它适于与图9中示出的第二安装部件171b的基本上圆柱形的第五基准面平滑相接。

与参考图5的上面描述一样，第一基准面167(属于物品支撑件131a的第一接口部件161)和第二基准面169(属于传送带129a的第一安装部件165)之间的相互作用，和/或第三和第四基准面173、175(属于物品支撑件131a的第二接口部件163)和第五基准面177(属于传送带129a)之间的相互作用，可以包括重力的传送(例如使得从物品支撑件131a中将重力传送到传送带129a)。如图9中所示，和如前面所暗指的，这种重力传送可以用不同的方式来实现。

如图9中所示，第一基准面(不明显)和第二基准面169a的圆柱形是基本上垂直定向的，这种表面可能必须与重力传送功能隔离。例如传送带129b的第一侧向侧面217上，第一安装部件165b可以包括第一重力支承表面237。第一重力支承表面237可以朝上(例如可以是平面(和水平定向或者倾斜)或者弯曲的或者圆锥形的)，以允许物品支撑件131c第一接口部件的一个或多个侧向延伸接头241的整个表面239靠在第一重力支承表面237上，和以在传送带129b的第一纵向位置111上允许传送带129b支承传送物品(未示出)的重量，和/或传送物品/物品支撑件子组件的重量。选择地，在传送带129b第一侧向侧面217上第二安装部件171b可以包括第二重量支承表面243。第二重量支承表面243可以朝上(例如可以是平面(例如水平定向或者倾斜)或者弯曲的或者圆锥形的)以允许物品支撑件131c第二接口部件163a的一个或多个侧向延伸接头247的整个表面239靠在第二重力支承表面237上，和在第二纵向位置113a上允许传送带129b支承传送物品(未示出)的重量，和/或传送物品/物品支撑件子组件的重量。例如第一和第二安装部件165b、171b可以用纵向分配方式分开均匀承担总重，在重量支承表面和接头的整个表面之间根据需要(例如一定要允许纵向位置111a、113a之间相对旋转和/或平移)允许滑动旋转接触(例如在第一纵向位置111a)和/或滑动旋转和平移接触(例如在第二纵向位置113a上)。可以在传送带129b的第二侧向侧面219上提供类似的重量支承表面和横向延伸接头，例如提供侧向平衡支架。

如上面描述的一样，在指卡193、195和第一安装部件165b之间形成的脱离连接，至少部分地提供从传送带129b卸载图9中物品支撑件131c。对这样一种卸载可以对施加如下面描述的控制。

物品支撑件131c的第一接口部件211还可以包括设置在传送带129b第一安装部件165b下面的引导面249(例如平面、曲面等)，第一安装部件165b可以包括整个面(不明显)，该整个面可以允许与第一接口部件211的引导面249纵向滑动连接。在朝上向传送带129a推物品支撑件131c的情况下(例如在从传送带129b纵向卸载过程中)，第一接口部件211的引导面249可以完成与第一安装部件165b的全表面(不明显)接触(例如防止物品支撑件131c进一步向上移动)。可以这样在物品支撑件131c第一接口部件211的相对表面239、249之间传送带129b第一侧向侧面217上第一纵向位置111a处形成槽251(例如纵向定位槽)，可以使槽251沿纵向(例如至少直到指卡193脱离第一安装部件165b，可以允许物品支撑件131c从传送带129b分开)相对传送带129b引导物品支撑件131c运动。根据需要和要求，在第一纵向位置111a传送带129b第二侧向侧面上，和/或在第二纵向位置113a传送带129b其中一个或两者侧向侧面上，具有相似的成对的表面和/或移动控制槽。

翻到图10A和10B，现在详细描述本发明的特定实施例。图10A描述一部分传送带1000的实例。描述的实例部分足够长以传送相互分开约500mm的两小批基片载体1002。

在一些实施例中，本发明的方法和设备可以同时使用两个不同连接器1004、1006以将悬架1008安装到传送带1000上。第一连接器1004可以承受当传送带1000弯曲穿过传送路径(未画出)上的弯道时由传送带1000施加给悬架1008的旋转力。在一些实施例中，第一连接器1004可以包括刚性地连接到悬架1008上并用刚性连接到传送带1000上的键1012适于旋转承载的支撑支持件1010。

当传送带1000弯曲时，第二连接器1006可以承受通过传送带1000施加给悬架1008的纵向力，且两个连接器1004、1006之间的传送带1000的长度增加。第二连接器1006可以包括支撑支持件，例如图10A、10B中描述的纵向滑动支持件1014，它刚性地连接到悬架1008上并适于提供通道，当承载悬架1008时，刚性地连接到传送带1000的第二键1016在该通道中可自由的纵向移动。在一些实施例中，可以为某一个支架用上一个或多个附加连接器。在可选择的和/或附加的实施例中，当悬架1008沿传送路径移动时，第一连接器1004可以用做引导连接器。在其它的实施例中，当悬架1008沿传送路径移动时，可以用第二连接器1006做引导连接器。

在可选择的和/或附加的实施例中，连接器1004、1006可以是脱离连接器。在这种实施例中，如果悬架1008(或者悬架1008支撑基片载体1002)突然碰撞障碍物，那么连接器1004、1006可以可控地(即在可预测的方向上)松开悬架1008，由于碰撞作用到传送带100的力被限制在一个预定大小的脱离力，该力将不损坏传送带1000或者驱动系统。在一些实施例中，预定大小的该力可以为约25磅。也可以使用其它脱离力。

在一个或多个实施例中，第一连接器1004的支持件1010可以是弹簧支持件和/或卡式支持件，其旋转地连接到键1012上，如果在纵向上有一个大于预定脱离力的力作用则松开键1012(通过弹簧的变形和/或键1012的压缩)。由于在纵向上第二连接器1006不限制悬架1008的移动，因此通过使滑动支持件1014将长度限定在最小长度，第二连接器1006可以允许悬架1008受控松开，该最小长度要求承受最急剧的(例如最小半径)弯曲，该弯曲是通常要求传送带1000可以接受的。因此，在安装在传送带1000上的悬架1008(或者从悬架1008上悬挂下来的基片载体1002)和其它物体之间碰撞情况下，根据本发明使用脱离连接器1004、1006的安装件可以防止传送带1000停止或者被损坏。

注意到在图10A的例子中，有两个安装悬架1008的位置1018、1020。图10A的左侧的位置1018不带有安装的悬架1008，而图10A的右侧位置1020包括支承小批量基片载体1002示例的安装悬架1008。图10A中左侧和右侧之间的区别显示带有支承载体1002(右侧)的安装悬架1008和空的安装位置1018(左侧)之间的区别，在安装位置1018例如可以使用本发明的脱离部件卸下悬架(未画出)。注意，安装位置1018的例子包括两个适当间隔开的与悬架1008上支持固定件1010、1014相卡合的键1022、1024。

与图10A相比，图10B描述了传送带1000的一部分的同样的示例，但是，右侧位置1020中悬架1008不象图10A中右侧的悬架一样支承基片载体1002。这种不同是指装有悬架和不装有悬架的不同。

与图10A中的实例一样，图10B中实例描述两个安装悬架的位置1018、1020。图10B中左侧位置1018不具有安装的悬架，而图10B中右侧位置1020包括安装的悬架1008。与图10A一样，图10B左侧和右侧之间的不同是指已安装的悬架1008(右侧)和安装位置1018(左侧)之间的不同，在安装位置1018使用本发明的脱离部件卸下悬架(未图示)。

因此，在正常操作中，悬架1008提供装置支承基片载体1002，在加工工具上(未图示)装载或卸载该载体。作为比较，连接器1004、1006或者安装部件将悬架1008保持在传送带1000上，除非碰撞引起悬架1008被卸下，或者传送系统在每个安装位置1018开始没有配制悬架1008。因此，在一些结构中，不是所有的安装位置1018都带有已安装的悬架1008。

图10A和10B中各个的典型实施例中，安装位置(例如1018、1020)的每一个包括一对键1012、1016和1022、1024或者垂直销钉，它们被传送带1000分成两部分。键1012、1016可以以相互分开的预定距离和距其它一对键1022、1024的预定距离，刚性地连接到传送带1000上。在描述的特定实施例中，键1012、1016、1022、1024使用两个贯通螺栓连接到传送带1000上，且可选择地和/或附加地使用不同固定装置、粘接剂和/或其它类似方法安装，例如焊接。在附加的和/或可选择的实施例中，键可以相互不同以承受/或卡合不同类型的支持件。

翻到图11，提供了描述键1100(或者垂直销钉)的典型实施例的透视图。

键1100可以包括承载面1102，连接表面1104，离隙面1106和定位支持表面1108。在一些实施例中，适于本发明的键由超高分子量(UHMW)塑料，不锈钢或者铝制成，大约1.25英寸高、直径1.2英寸。而且，其它合适的材料和尺寸也可以用。注意，由UHMW制成的键是可压缩的并允许在旋转支持件上使用刚性和半刚性的夹持臂。

图11的实例中的承载面1102是键1100的平坦、水平、上表面，在这里连接到悬架1008上的支持件1010、1014被支撑。为了可靠地支承悬架1008和基片载体1002的重量，如图11中描述的键1100的承载面1102合适大小的面积为0.125平方英寸。然而，其它合适的尺寸也可以用。图11的实例中连接面1104是平的垂直表面，该表面接触传送带(未示出)。图11的实例中离隙面1106是邻近连接表面1104的平的垂直表面，该表面不接触传送带1000。图11的实例中定位支持表面1108是弯曲的垂直表面，其成形为与旋转支持件的套环或弹簧臂卡合或者在纵向支承的通道中滑动。此外，上面描述的键1100可以包括使用固定件1114将键1100连接到传送带1000上的一个或多个通孔1110和垫片1112。键1100还可以包括一个或多个包括消除锐边的斜截面1116，在支持件1010、1014的表面上该锐边可以切掉或者另外磨削。

图11的典型实例中，描述的键1100带在水平方向(例如沿传送带的长度纵向地)和垂直方向(例如沿传送带的高度)有最小的连接表面1104。通过减小连接表面1104的水平尺寸，传送带1000能够沿传送路径制成较紧的弯道(例如具有较小弯曲半径)。因此，对于给定的弯曲半径，连接表面1104有最大水平尺寸，其将不会在传送带1000上引入明显的应力。例如对于聚亚安酯(polyurethane)或者有24英寸弯曲半径的弹性不锈钢(例如奥氏体17-7)制成的传送带1000，连接表面1104的最大水平尺寸将为约0.25英寸。然而，其它适用的材料和尺寸也可以用。此外，根据使用的材料，连接表面1104的水平尺寸要足够大，以提供有效表面积，来适应无论使用任何固定方法都能把键1100刚性连接到传送带1000上。例如连接表面1104的水平尺寸要要足够大以允许使用特殊的卡合固定件，需要该固定件来支承悬架和装载的基片载体的部分重量。

与连接表面1104的水平尺寸一样，需要垂直尺寸足够大，来提供有效表面积无论使用任何固定方法都能将键1100刚性连接到传送带1000上。此外，当连接表面1104的垂直尺寸不需要被减少来适应最小弯曲半径时，也许要求增加该尺寸来满足最小数量的侧向支承要求。例如定位传送机上基片载体侧向希望摆动量为零。因此，连接表面1104的垂直尺寸是最好足够大以阻止悬架相对传送带的任伺侧向运动。例如，对于由聚亚安酯制成的传送带，连般表面1104的最小垂直尺寸大约1.25英寸。但是，可以用其它适用的材料和尺寸。

离隙面1106可以是平面或者曲面，该曲面以角θ从连接面1104呈一角度或者倾斜，以在传送路径中最紧的弯道(最小弯曲半径)上避免与传送带1000产生任何接触。例如在一些实施例中，其中最小弯曲半径大约24英寸，角θ大约是7度。键1100的两半可以包括两个离隙面1106(例如引导离隙面和拖尾离隙面1106)。可以使用其它弯曲半径值和/或角θ。

可以形成定位支持表面1108来配合连接悬架1008的支撑支持件1010、1014。可以形成定位支持表面1108，来配合两个旋转支撑支持件1010和/或纵向滑动支撑支持件1014。在一些实施例中，键1100可以根据支撑支持件的类型具有不同的定位支持表面1108，它们与该支撑支持件配合。

翻到图12，示出了带有引导旋转支撑支持件1010和拖尾纵向滑动支撑支持件1014实施例的悬架1008。注意，实例的引导旋转支撑支持件1010包括连接到键1100上的两个弹簧臂1200，拖尾纵向滑动支撑支持件1014包括接收键1100的通道1202或者槽。

翻到图13A-13D，表示了图12(分别地)的旋转支撑支持件1010的实例，与插入到支持件1010的弹簧臂1200中的图11中的键的实例在一起的透视图、侧视图、前视图和顶视图。在一些实施例中，本发明的适于使用的旋转支撑支持件1010由超高分子(UHMW)塑料，弹性不锈钢和/或铝制成，大约1.5英寸高、1.5英寸宽。但是，其它合适的材料和尺寸也可以用。注意，在这些图中使用简单表示的键1100的实例并且该离隙面1106不明显。

图13E-13H也(分别地)提供了图12旋转支撑支持件1010实例的透视图、侧视图、前视图和顶视图，但没有插入键1100的实例。注意，为了更清楚地表示支持件1010和表示键1100如何固定到旋转支撑支持件1010中，这些图中没有描述传送带1000，但是其通常固定在截开键1100和支持件1010的槽1300中。也能看到，如这些图中所示的一样，但是图13B和13D中最清楚，旋转支撑支持件1010的至少一部分1302伸出键1100的顶部，并依靠在键1100的承载面1102上，为了减少表面接触产生的颗粒，可以将与承载面1102接触的外伸量1302减少到最小，来提供正好的支承，足以来承载悬架1008和已装载基片载体1002一半的重量(在两个支持件的实施例中的一个)。还有，在图中示出的且在图13D中最清楚示出的，弹簧臂1200绕键1100延伸超过180度，以将支持件1010旋转地但是牢固地连接到键1100上。

翻到图14A-14D2，表示了图12(分别地)纵向滑动支撑支持件1014实例的透视图、侧视图、前视图和顶视图，图11中键1100的实例插入在支持件1014的滑动通道1202中。在一些实施例中，本发明的纵向滑动支撑支持件1014由超高分子量(UHMW)塑料，弹性不锈钢和/或铝制成，大约1.5英寸高、1.5英寸宽。然而，其它合适的材料和尺寸也可以用。注意，在这些图中使用简单表示的键1100的实例，并且离隙面1106不明显。

图14E-14H也(分别地)提供了图12纵向滑动支撑支持件1014的实例透视图、侧视图、前视图和顶视图，但是没有将键1100的实例插入到滑动通道1202中。注意，为了更清楚的表示支持件1014和表示键1100如何固定到纵向滑动支持件1014中，这些图中没有表示传送带1000，但是其通常安装在截开的键1100和支持件1014的槽1400中。与图中所示的一样，但是图14D1和14D2中最清楚，键1100能够移动通过一个位置范围。在图14D1中，键1100位于相对纵向滑动支持件1014的最前位置。图14D2中，键1100相对纵向滑动支持件1014向后移动。因此，图14D1与一个键位置一致，这时传送带1000达到最大弯曲(例如在传送路径中最小半径弯道过程中)并且两个键1012、1016之间的距离被最大量地缩短。图14D2与一个键位置一致，这时传送带1000是直的并且键1012、1016在它们的最大距离位置。

看图14D1和14D2，注意，与旋转支撑支持件1010一样，纵向滑动支撑支持件1014的至少一部分1402伸出键1100的顶部，并依靠在键1100的承载面1102上。为了减少接触中由表面产生的颗粒，可以将与承载面1102接触的外伸量1402减到最小，来提供正好的支承，足够来承载悬架1008和已装载的基片载体1002一半的重量(两个支持件的实施例中的一个)。

翻到图15，表示了带有可选的支撑支持件1510、1514的悬架1508的具体实例。可选的旋转支撑支持件1510包括带有垂直槽1524的信号标记1522，以允许使用光敏传感器准确地决定基片载体的位置(未示出)。可选的纵向滑动支持件1514包括信号标记1520以允许使用光敏部件准确地确定支架1508的存在。

上面的描述只公开了发明的部分实施例；落在发明范围内的上面公开的方法和设备的修改对本领域的普通技术人员是容易实现的。例如虽然图6、9所示的传送带出现较长的垂直延伸部分以及相对窄的横向部分，但是定位传送机的传送带具有任何特殊的侧向或者横向部分，对本发明是没有必要的。而且，虽然上面讨论和描述的许多传送带被描述为在纵向上基本上不能压缩和/或不能伸长，例如在连续的纵向结构上，但是按照本发明的许多和/或所有实施例，在纵向上还提供了一段长度或连接段(例如铰接段)。还有，本发明的至少一些实施例提供不一定要水平方向定向的输送平面(例如传送路径中侧向弯道相对水平面倾斜和/或垂直)。还有，本发明的实施例可以提供在纵摆方向(参见图9中力矩151)以及横摆方向(例如和第二纵向位置113a(例如参见图9)有关的第三、第四和第五基准面)惯性力矩在不同纵向位置的分配。互锁和/或波动的曲面可以用于这种目的，和/或引导纵向卸载(如上所述)。

在可选择的和/或附加的实施例中，含有旋转支持件的单个连接件可以与旋转限制部件一起，来将悬架安装到传送带上。在这种实施例中，旋转支持件可以定位在旋架重心上方，使得旋转支持件支承悬架和任何连接的基片载体的所有重量。在传送带的任何一侧，旋转限制部件可以在纵向延伸出(向前和/或向后)离开旋转支持件。在一些实施例中，在传送带的任何一侧，旋转限制部件可以从悬架(旋转支持件的前方和/或后方)向上延伸。这种旋转限制部件可以操作，来将旋转支持件的旋转量限制到与传送带的弯曲成比例的量。

在可选择的和/或附加的实施例中，每个悬架可以采用附加连接件，来支承重的载体。在这种实施例中，悬架可以包括一个或多个接头，以允许悬架在传送带中随弯道弯曲。

可是在其它可选择的和/或附加的实施例中，可以有意地从传送带移走和/或插入传送带上，而不停止传送带。在一些实施例中，在旋架移动中与其安全卡合的卸载工具，在与旋架移动方向相反的方向中，通过作用一个受控制的力将旋架拖离传送带。许多实施例中，所作用的卸载旋架的力的大小为大约25磅。

可以用一个插入工具来卡合在传送带上的旋架且不停止传送带。插入工具使要安装的旋架沿传送带，以一个大于传送带的速度移动。在沿传送带移动时，在两个安装位置之间旋架被升高(其中在引导安装位置未安装旋架)，以使传送带穿过旋架支持件。一旦旋架抓在可用的旋架安装位置上，足够的力被作用以使键和支持件卡合。一旦卡合后，该工具与将要由传送带带走的旋架脱离。

在一些实施例中，可以由具有两种功能的单个工具来用作卸载和插入工具。在使用本发明的电子设备制造装置中，不停止传送带来卸载和插入旋架还可以保持系统设备不停止生产。

可以理解，无论成型的或者未成型的，该发明也可以用于任伺类型的基片例如硅基片、玻璃板、罩壳、标划板等，和/或用于传送和/或加工这种基片的设备。

因此，当结合特定的实施例已经公开本发明的同时，应该理解其它一些实施例也落在本发明下面的权利要求限定的精神和范围内。

Claims (21)

1.一种支撑件安装方法，包括：

沿带有至少一个弯道的传送路径连续地驱动传送带，

提供适于承受旋转力的第一连接件，

提供适于承受纵向力的第二连接件，

从传送带上悬挂支撑悬架，使得在传送带移动期间，支撑悬架在相对于传送带上的至少一点保持在一个固定位置和方向，不会在传送带上、支撑悬架或者在传送带和支撑悬架之间的连接件上引起明显的应力，以及

其中，该第一连接件是该支撑悬架的支撑支持件，并且悬挂该支承悬架包括将该支撑悬架的支撑支持件与连接到该传送带上的第一键连接；以及

该第二连接件是该支撑悬架的纵向滑动支持件，并且悬挂该支承悬架包括将该支撑悬架的纵向滑动支持件与连接到该传送带上的第二键连接。

2.根据权利要求1的方法，它还包括：

将基片载体定位在定位传送机的传送带的一个纵向位置上；

沿传送路径移动传送带；以及

沿传送带上多个纵向位置分配出现在传送基片载体上的惯性载荷，以限制传送带上产生疲劳。

3.一种支撑件安装设备，包括：

一个传送带；和

经由第一连接件和第二连接件安装在传送带上的支承悬架，该第一连接件适于承受旋转力，第二连接件适于承受纵向力；以及

其中，该第一连接件是该支撑悬架的支撑支持件，并且该支撑支持件与连接到该传送带上的第一键连接；以及

该第二连接件是该支撑悬架的纵向滑动支持件，并且该纵向滑动支持件与连接到该传送带上的第二键连接。

4.根据权利要求3的设备，其特征在于，当支承悬架受到比预定数量的力大的碰撞时，在预定的方向上与传送带脱离。

5.根据权利要求3的设备，其特征在于，它还包括：

位于传送带上的至少一个安装位置，该传送带包括该第一键和该第二键；

每个支持件适于卡合任一个键，其中，通过键与支持件的卡合，支撑悬架可以在安装位置安装在传送带上。

6.根据权利要求5的设备，其特征在于，使用支撑支持件作为相对传送带方向的引导支持件。

7.根据权利要求5的设备，其特征在于，响应施加到支撑悬架的预定大小的力，支持件可被操作与键松开。

8.根据权利要求5的设备，其特征在于，键刚性地连接到传送带上，以使键的接触面积最小化。

9.根据权利要求5的设备，其特征在于，键刚性地连接到传送带上，以致传送带的高度与没有连接键时相同。

10.根据权利要求3的设备，其特征在于，

第一连接件是连接到悬架上的支撑支持件；和

第二连接件是连接到悬架上的纵向支持件，

其中，这些支持件适于安装到传送带上，使得在传送带移动期间，可由悬架支承的基片载体的方向相对传送带保持在已知的方向。

11.根据权利要求10的设备，其特征在于，纵向支持件在拖尾位置连接到悬架上。

12.根据权利要求3的设备，其特征在于，它还包括：

沿传送带的长度连接到传送带上的多个键，其中，这些键适于卡合第一连接件或第二连接件，第一连接件是支撑支持件而第二连接件是纵向支持件。

13.根据权利要求12的设备，其特征在于，每个键包括适于支承悬架和被装载的基片载体的至少部分重量的承载面。

14.根据权利要求12的设备，其特征在于，每个键包括连接表面，该连接表面适于沿传送机长度以最小的尺寸接触传送机，该传送机要求稳定支承悬架和被装载的基片载体的至少部分重量。

15.根据权利要求12的设备，其特征在于，每个键包括一定位支持表面，其具有适于卡合支撑支持件的至少一个弹簧臂的曲面。

16.根据权利要求12的设备，其特征在于，每个键包括一定位支持表面，其具有至少一个适于卡合纵向支持件通道的表面。

17.根据权利要求12的设备，其特征在于，每个键包括一定位支持表面，其适于沿纵向支持件的平坦面滑动。

18.一种把物品支撑件连接到传送系统的传送带上的连接接口，包括：

在传送带的纵向位置设置在传送系统的传送带上的一个安装部件；

一个与传送带接触的旋转限制部件；和

一个旋转连接部件，其

适于连接到物品支撑件上，

适于承受旋转力，

适于通过与安装部件配合，设置在传送带的纵向位置，

适于通过旋转限制部件限制旋转量，

适于当产生足够大的正面碰撞时，其通过相对安装部件的纵向移动与安装部件脱扣。

19.一种支撑件安装设备，包括：

传送带；和

经由第一连接件和第二连接件安装在该传送带上的支承悬架，该第一连接件适于承受旋转力，第二连接件适于承受纵向力；以及

其中，该第一连接件是该支撑悬架的支撑支持件，并且该支撑支持件与连接到该传送带上的第一销钉连接；以及

该第二连接件是该支撑悬架的纵向滑动支持件，并且该纵向滑动支持件与连接到该传送带上的第二销钉连接，并且这些销钉刚性地竖直安装在该传送带上。

20.如权利要求19所述的设备，其特征在于，这些销钉被传送带等分，以形成具有至少两个不接触传送带的离隙面的部件。

21.如权利要求20所述的设备，其特征在于，该离隙面与该传送带成角度，使得在传送带最小半径下离隙面不接触传送带。

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