CN1592050A

CN1592050A - 音圈电动机和三相直线电动机

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Publication number: CN1592050A
Application number: CNA2004100683940A
Authority: CN
Inventors: 森英彦; 金子诚; 臼井道太郎; 筱平大辅
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2003-09-01
Filing date: 2004-08-31
Publication date: 2005-03-09
Anticipated expiration: 2024-08-31
Also published as: JP2005080415A; CN1592050B; KR20050024212A; TWI272756B; JP4532864B2; KR100585184B1; TW200511689A

Abstract

本发明提供一种有效降低线圈发热的三相直线电动机。该三相直线电动机以设置三相线圈的线圈设置间隔为间隙、将不同磁极相互对置的一对永久磁铁在可动部的移动方向上排列多对，在移动方向上的邻接的永久磁铁的磁极也不同。各相线圈(60U、60W、60V)由2个鞍型线圈60A、60B构成，该鞍型线圈(60A、60B)是近似矩形的线圈的短边侧相对于各自长边侧的直线部成约90度的角度而成为折返部的。这2个鞍型线圈以各鞍型线圈中的2个折返部相互反向对置组合，并且，一个鞍型线圈中的2个折返部间的2个直线部与另一个鞍型线圈中的2个折返部间的直线部分别作为贴紧直线部贴紧地组合。并且，各相的线圈被排列成串联并排在移动方向上，并且，邻接相的线圈中贴紧直线部彼此贴紧地组合。

Description

音圈电动机和三相直线电动机

技术领域

本发明涉及一种音圈电动机和三相直线电动机。

背景技术

已知一种用于构成直线电动机的最通用的线圈单体如图9所示的、称作所谓的跑道型的构件。该线圈100通过贯穿线圈中心的轴系的回转动作而被制作，具有平面的结构。图中在上下方向上延伸的2个直线部(长边侧部分)101为产生推力的有效部分。另一方面，上下的两端部分(短边侧部分)只具有连接2个直线部101的功能，称作短边部102。而且，2个直线部101的中心距为Lc。

使用图9的跑道型线圈来构成音圈电动机或三相同步直线电动机情况下的基本结构如图10所示。在图10中以俯视图的形态示出了、将图9中说明的跑道型线圈作为音圈200使用的情况和将3个相同的跑道型线圈组合来作为三相线圈300使用的情况。音圈200、三相线圈300被收纳于图中被记有线圈设置间隔的空间中，但在图10中，为了简化起见，示出的音圈200，三相线圈300是在外侧。

直线电动机的磁铁装置是以在单轴方向上延伸的线圈设置间隔为间隙地排列着多个永久磁铁210而成。特别是，相互对置的永久磁铁210的磁极相异，并且相互邻接的永久磁铁210的磁极也相异。其结果，在成为线圈设置间隔的空隙产生较强的磁通密度。从一个永久磁铁210的N极中心到邻接的永久磁铁210的S极中心为止的距离称作磁极间距。将一个N极中心作为原点，将沿着磁铁列的坐标用磁极间距规范化地表示相位时，就成为图10所示的状况。在图10中，磁极间距为π(rad)，从一个N极中心到下个N极中心的磁周期长度为2π(rad)。此时，沿着该坐标的磁通密度在其最大值为A时，大致用cosθ表示。

在图10中，音圈电动机为，使2个线圈直线部的中心距Lc与磁极间距π相等、2个线圈直线部分别与相互邻接的永久磁铁210的N极和S极的中心一致而配置的电动机。即，在图10中，尽管将相互对置的永久磁铁210成一对的表示了多个，但在音圈电动机的情况下，永久磁铁侧至少由二对永久磁铁210构成。在音圈200的2个直线部，电流和磁通具有相反的方向，但由矢量积产生的推力成为相同的方向。音圈200由于设置在磁通密度的最大点处，因此，所产生的推力也是最大的。可是，无法取得大的行程。

正如图9中所说明的，在跑道型线圈100的情况下，有助于产生推力的只是直线部101，与上下的短边部102无关。短边部102进入图10所示的磁铁列中时，产生垂直于推进方向的侧力，因此，必须从磁铁列中除去。短边部102的宽度(图中，上下方向的尺寸)与直线部101的宽度(图中，左右方向的尺寸)基本相同，在构成线圈组件的情况下，存在着该短边部102的收纳性差的问题。

另一方面，在图10的三相同步直线电动机的情况下，以U相、W相、V相的顺序，将3个线圈300U、300W、300V在磁性的2个周期(4π(rad))间设置成一体。并且，在各线圈中流动着其大小调节成与磁相位同步的电流时，即使三相线圈300移动，也可得到与其位置无关大致一定的推力。

如图10可清楚地知道，在三相线圈300中，由于邻接相中的线圈的直线部相互干涉，实际上，线圈直线部的宽度只能得到音圈200时的一半。因此，短边部的宽度与音圈200相比，也减半，该部分的收纳性同样有问题。

作为解决上述的跑道型线圈中短边部问题的方法，提出了一种图11所示的被称作鞍型线圈的方案。该鞍型线圈400外观上具有将图9所示的跑道型线圈100的短边部102相对于直线部101在垂直方向折返的形状。该鞍型线圈400的制造方法的一例将在下面说明。

在图11(a)中，将具有宽度t的矩形断面的线圈、在同一平面上卷绕规定的圈数、做成单层跑道型的线圈。该单层线圈在最内侧具有初绕端100s，最外侧具有卷绕终端100e。接着，为了制成单相线圈，如图11(a)所示的单层的线圈以2个直线部101的主面相互对置的方式弯折约90度地成形为大致コ字形。

在图11(b)中，上述的大致成形为コ字形的线圈准备有多个，并将该多个线圈层叠，以制成单相的鞍型线圈400。由于如此层叠，不言而喻，在上述的弯折工序中，处于最内侧的线圈的2个直线部的间隔最小，处于最外侧的线圈的2个直线部的间隔最大。以下，将左右的2个长边部分称作直线部401，将上下的短边部分称作折返部402。不用说，上述的鞍型线圈的制造方法始终为一个例子，主要是，可以将近似矩形的线圈的短边侧分别相对于长边侧的直线部制作成90度角度的折返部。

此外，提出了一种将2个图11所示的鞍型线圈相组合的如图12所示的线圈被称作连接鞍型线圈500的方案。在图12中，将2个鞍型线圈400A、400B对置，以使折返部402A、402B相互成反向，而且将2组直线部401A、401B分别贴紧地组合而成。并且，贴紧的直线部401A、401B中流动相同方向的电流。由此，可获得使贴紧的直线部401A、401B结合成一体的线圈(例如，参照专利文献1、2)。

【专利文献1】日本专利公开公报2002-95231号

【专利文献2】日本专利公开公报2001-103725号

发明内容

本发明的课题是提供一种使用如上所述的连接鞍型线圈有效地降低线圈的发热的音圈电动机以及三相直线电动机。

本发明还实现了在上述的音圈电动机和三相直线电动机中，转换线圈中流动的电流用的开关箱和线圈间的配线数目的降低。

根据本发明，提供了一种音圈电动机，其以设置线圈的线圈设置间隔为间隙、将不同磁极相互对置的一对永久磁铁在可动部的移动方向上至少排列二对，在所述移动方向上的邻接的永久磁铁的磁极也不同，其特征在于，所述线圈由2个鞍型线圈构成，该鞍型线圈是近似矩形的线圈的短边侧相对于各自长边侧的直线部成约90度的角度而成为折返部的，这2个鞍型线圈以各鞍型线圈中的2个折返部相互反向对置组合，而且，一个鞍型线圈中的所述2个折返部间的2个直线部与另一个鞍型线圈中的所述2个折返部间的直线部分别作为贴紧直线部贴紧地组合。

在本音圈电动机中，2个所述贴紧直线部中流过相反方向的电流。

在本音圈电动机中，所述线圈配置成使2个所述的贴紧直线部中的各贴紧部的位置与所述移动方向上的邻接的2个永久磁铁的磁极中心一致。

根据本发明，还提供了一种三相直线电动机，其以设置三相线圈的线圈设置间隔为间隙、不同磁极相互对置的一对永久磁铁在可动部的移动方向上被排列多对，在所述移动方向上的邻接的永久磁铁的磁极也是不同的，其特征在于，所述三相线圈中的各相线圈由2个鞍型线圈构成，该鞍型线圈是近似矩形的线圈的短边侧相对于各自长边侧的直线部成约90度的角度而成为折返部的，这2个鞍型线圈以各鞍型线圈中的2个折返部相互反向对置组合，并且，一个鞍型线圈中的所述2个折返部间的2个直线部与另一个鞍型线圈中的所述2个折返部间的2个直线部分别作为贴紧直线部贴紧地组合，并且，所述三相线圈中各相的线圈被排列成串联并排在所述移动方向上，并且，邻接相的线圈中所述贴紧直线部彼此贴紧地组合着。

在本三相直线电动机中，在各相的2个所述贴紧直线部中流过相反方向的电流。

而且在本三相直线电动机中，所述各相的线圈配置成使2个所述的贴紧直线部中的一个贴紧直线部的外侧或内侧与另一个贴紧直线部的内侧或外侧间的距离，与所述移动方向上的邻接的2个永久磁铁的磁极中心间的距离相等。

本发明的音圈电动机或三相直线电动机，通过使用连接鞍型线圈，可有效地降低线圈的发热，可实现转换线圈中流动的电流用的开关箱和线圈之间的配线数目的降低。而且，将连接鞍型线圈收纳于冷却用罩体中，并在减压气氛中使用的情况下，可容易实现对冷却用罩体内外的压力差引起的冷却用罩体的膨胀加以抑制的强化作用。

附图说明

图1为对利用连接鞍型线圈的、本发明的音圈电动机和三相直线电动机中永久磁铁与线圈关系进行说明的俯视图，

图2为本发明的音圈电动机中使用的连接鞍型线圈的一例的示意图，

图3为本发明的三相直线电动机中使用的连接鞍型线圈的一例的示意图，

图4为将图1所示的音圈电动机或三相直线电动机作为可动线圈型电动机(图a)、可动磁铁型电动机(图b)构成的情况下的纵剖面图，

图5为图1所示的音圈电动机中变位量-推力特性的一例的示意图，

图6表示为了与图1所示的音圈电动机相比、使用众所周知的跑道型线圈的音圈电动机的一例的俯视图，

图7表示为了与图1所示的三相直线电动机相比、使用众所周知的跑道型线圈的三相直线电动机的一例的俯视图，

图8表示将本发明中使用的音圈电动机或三相直线电动机收纳于冷却用罩体中使用的情况下的大致结构的纵剖面图，

图9表示跑道型线圈一例的立体图，

图10为说明众所周知的音圈电动机和三相直线电动机中永久磁铁与线圈关系的俯视图，

图11为本发明中使用的鞍型线圈的制造过程的一例的说明图，

图12为将图11的鞍型线圈连接的连接鞍型线圈例的示意图。

具体实施方式

图1表示本实施例的音圈电动机和三相直线电动机与图10相同的俯视图形态。在音圈电动机的磁铁装置的情况下，以在单轴方向上延伸的线圈设置间隔为间隙，至少排列2对永久磁铁11。另一方面，在三相直线电动机的情况下的磁铁装置，以在单轴方向上延伸的线圈设置间隔为间隙，排列多对永久磁铁11。特别是，在各对中相互对置的永久磁铁11的磁极相互不同，相互邻接的永久磁铁11的磁极也相互不同。其结果，在成为线圈设置间隔的空隙中产生较强的磁通密度。

另外，在本实施例中，作为线圈使用了所述的连接鞍型线圈，但特别是在音圈电动机用的连接鞍型线圈中，正如后述，将直线部的宽度较宽的连接鞍型线圈50作为音圈使用。另一方面，在三相直线电动机用的连接鞍型线圈中，正如后述，使用直线部的宽度较窄的连接鞍型线圈。

在本实施例中，从一个永久磁铁11的N极中心到邻接的永久磁铁11的S极中心为止的距离称作磁极间距p，将一个N极中心作为原点，将沿着磁铁列的坐标由磁极间距p规范化地表示相位时，成为图1那样。即，磁极间距p为π(rad)，从一个N极中心到下个N极中心为止的磁周期长度为2π(rad)。此时，沿着该坐标的磁通密度，其最大值为A时，也可大致用Acosθ表示，正如图10所述那样。

在图1中，对于音圈电动机而言，可用2个鞍型线圈构成的连接鞍型线圈50置换图10所述的音圈200。该音圈电动机，在2个鞍型线圈中，直线部贴紧的部分间的距离Lp与磁极间距p相等，将直线部贴紧的部分分别配置成与相互邻接的永久磁铁11的N极和S极的中心一致。下面，将2个直线部贴紧而成的直线部称作贴紧直线部。不用说，以贴紧直线部的电流方向相同的方式连接。而且，一个贴紧直线部的电流方向与另一个贴紧直线部的电流方向相反，磁通也具有相反的方向，但由矢量积产生的推力成为相同的方向。连接鞍型线圈50由于设置在磁通密度的最大点，因而所产生的推力也最大。

另一方面，三相直线电动机的情况下，用2个鞍型线圈构成的连接鞍型线圈60U、60W、60V这3个置换图10所述的3个跑道型线圈300U、300W、300V。换言之，以U相、W相、V相的顺序，将3个连接鞍型线圈60U、60W、60V设置于2个磁周期(4π(rad))间并成一体。即，3个连接鞍型线圈60U、60W、60V被设置成，使连接鞍型线圈60U的一个贴紧直线部的外侧与连接鞍型线圈60W的一个贴紧直线部的外侧贴紧，连接鞍型线圈60W的另一个贴紧直线部的外侧与连接鞍型线圈60V的一个贴紧直线部的外侧贴紧，同时，并排在单轴方向上并成为一体。并且，对于连接鞍型线圈60U而言，一个贴紧直线部的外侧(或内侧)与另一个贴紧直线部的内侧(或外侧)之间的距离与上述距离Lp即磁极间距p相等。对于连接鞍型线圈60W、60V也是同样的。

在这样的三相线圈中，在各相线圈中流动中其大小调节为与磁相位同步的电流时，即使三相线圈移动，也可获得与其位置无关大致一定的推力。

下面，参照图2，图3对本发明的音圈电动机或三相直线电动机中使用的连接鞍型线圈进行说明。无论是在图2还是图3中，均示出了将2个通过在跑道型线圈中装上折返部获得的鞍型线圈相连接而成的鞍型线圈。

图2的连接鞍型线圈50示出了将由2个直线部的宽度较宽的跑道型线圈做成的鞍型线圈50A、50B以图12所述的方式由2个组合而成的例子。这样的连接鞍型线圈50适用于音圈电动机，但也适用于三相直线电动机。另外，虚线所示的部分示出折返前的轮廓。

图3的连接鞍型线圈60示出了将由2个直线部的宽度较窄的跑道型线圈做成的鞍型线圈60A、60B以图12所述的方式由2个组合而成的例子。这样的连接鞍型线圈60适用于三相直线电动机。这是正如前述，邻接相中的线圈直线部相互干涉的缘故。但也可适用于音圈电动机。

图2的连接鞍型线圈50中，对于在鞍型线圈50A、50B中与产生推力有关的直线部，宽度、厚度和高度是相同的。在跑道型线圈中，只是折返部的宽度(上下方向的尺寸)部分上下延伸，但在连接鞍型线圈的构造中，是将其左右分开。上下延伸好还是左右分开好、这样的选择，是根据使用形态来定的，因此不能一概而论。可是，例如在图4所示的形态中使用的情况下，可以是连接鞍型线圈。

图4(a)示出连接鞍型线圈适用于被称作可动线圈型的直线电动机情况下的纵剖面结构。连接鞍型线圈可使用图2、图3任意一种，但以下，对使用图3的连接鞍型线圈60的情况进行说明。在图4(a)中，被固定于未图示的固定部上且在单轴方向上延伸的大致U形的偏转线圈40的内侧壁上，以图1所述的形态固定着多个永久磁铁41。在形成于两侧的永久磁铁41间的线圈设置间隔中，可移动地设有图1所示的由3个连接鞍型线圈60U、60W、60V做成的三相线圈。在图4(a)中，用60示出了1个连接鞍型线圈。连接鞍型线圈60在其一个、在此是上个折返部侧装有支架42。支架42通过在单轴方向上延伸的未图示的导引部件，在单轴方向上可移动地被支撑着。支架42上通常还设有被搬送物搭载用的台子。

图4(b)示出连接鞍型线圈适用于被称作可动磁铁型的直线电动机情况下的纵剖面构造。在图4(b)中，多个图1所示的由3个连接鞍型线圈60U、60W、60V做成的三相线圈被串联地排列在单轴方向上，其两端部由固定部固定。在图4(b)中，用60示出了1个连接鞍型线圈。断面为矩形的偏转线圈45可移动地被配置在单轴方向上，以便围住连接鞍型线圈60周围。即，偏转线圈45具有规定的长度，通过在单轴方向上延伸的未图示的导引部件，可移动地被支撑在单轴方向上。在偏转线圈45的两内侧壁上分别固定有多个永久磁铁46。

在图4(a)、图4(b)任意一种情况下，由于在连接鞍型线圈60的贴紧直线部的两侧嵌入永久磁铁，因此，其上下恰好生成收纳折返部的适当的间隔。对此，使用跑道型线圈的情况下，上下变得变长，永久磁铁的上下会产生无效的空间。

在音圈电动机的情况下，也形成与图4(a)、图4(b)相同的形态。即，可动线圈型的情况下，在形成于两侧永久磁铁41间的线圈设置间隔中，可移动地设有图1所示的连接鞍型线圈50即音圈。另一方面，可动磁铁型的情况下，多个图1所示的连接鞍型线圈50被串联地排列在单轴方向上，其两端部由固定部固定。

图10所示的音圈200、图1所示的连接鞍型线圈50(音圈)在图示的位置(θ＝0rad)，推力为最大值。随着音圈移动，如图5所示，推力下降。通常，作为音圈最好是与位置变动无关地继续输出一定推力。例如，相对于想使推力下降抑制在10％以内的要求，θ最多只为0.45(rad)。磁极间距为p(mm)时，其规范化坐标由于为π(rad)，从而相当于0.45(rad)的行程L(mm)成为L＝(0.45/π)p(mm)。

为了加大行程L，必须使磁极间距p加大。对此，在直线部的宽度较宽的跑道型线圈中，得到较大的磁极间距p时，上下的短边部的宽度(上下方向的尺寸)变大，收纳性变差，正如前述。因此，随着要求较大的行程L，很显然本发明的连接鞍型线圈(音圈)50的优越性得到了提高。

不过，对于跑道型线圈，也需要将线圈分成2部分，设法阻止上下短边部的宽度变小。例如，考虑用图6所示的2个跑道型音圈200A、200B代替图10的音圈200。这种情况下，有效地产生推力的直线部的体积保持与图10或图1的音圈(连接鞍型线圈50)相同的同时，短边部的宽度可减半。而且，由中央的永久磁铁215的N极朝向S极的磁通密度也以同样的方式获取。但是，具有配置于永久磁铁215两侧的一半的长度的永久磁铁216的磁通密度与中央的磁通密度相比，降低许多。

因此，图6的音圈电动机的情况下，除了综合的推力低劣外，相对于音圈位置变动的推力降低率也变大。此外，也具有不得不制作尺寸不同的永久磁铁215、216的负担。因此，本发明的由连接鞍型线圈50做成的音圈电动机具有与图6的音圈电动机相同的效果，但性能更胜一筹。

为了说明本发明的三相直线电动机的优越性，参照图7，对前述的专利文献2所公开的三相直线电动机进行说明。图7以与图1相同的俯视图的形态示出使用连接鞍型线圈的三相直线电动机。

在图7中，将本例中图11说明的6个鞍型线圈按如下方式并排在单轴方向上并成一体。U相的第1鞍型线圈71-1U的一个直线部的内侧与折返部逆向的V相第1鞍型线圈71-1V的一个直线部的内侧邻接设置。U相的第1鞍型线圈71-1U的一个直线部的外侧与折返部同向的W相第1鞍型线圈71-1W的一个直线部的外侧邻接设置。该W相的第1鞍型线圈71-1W的一个直线部的内侧与V相的第1鞍型线圈71-1V的另一个直线部的内侧邻接设置。在W相的第1鞍型线圈71-1W的另一个直线部的内侧与V相的第1鞍型线圈71-1V的一个直线部的外侧之间，邻接设置着折返部逆向的U相的第2鞍型线圈71-2U的一个直线部。在W相的第1鞍型线圈71-1W的另一个直线部的外侧与U相的第2鞍型线圈71-2U的另一个直线部的内侧之间，邻接设置着折返部同向的V相的第2鞍型线圈71-2V的一个直线部。在U相的第2鞍型线圈71-2U的另一个直线部的外侧与V相的第2鞍型线圈71-2V的另一个直线部的内侧之间，邻接设置着折返部逆向的W相的第2鞍型线圈71-2W一个直线部。另外，从鞍型线圈的一个直线部的内侧到另一个直线部的外侧为止的距离与磁极间距π相等。

在此，相对于图10或图1的三相线圈以规范化长度4π安装有三相线圈1个组件，用图7的三相线圈以(4+2/3)π安装有2个组件。由于每1个组件的直线部的体积相同，使用鞍型线圈的三相线圈为单位长度，可安装接近跑道型线圈的2倍的线圈匝数。并且，流过同样的电流的情况下，采用图7的三相线圈，推力约为2倍，发热量也约成为2倍。

另一方面，用跑道型线圈获得2倍推力时，通过流过2倍电流，发热量成为4倍。因此，图7的三相线圈产生同样的推力的话，发热约为1/2。

只从产生热量的观点来看，由于图7的三相线圈较优，也许考虑不要图1的三相线圈。可是实际上，最好是图1的三相线圈的情况较多。例如，在可动磁铁型直线电动机中，要求非常长的行程的场合。这种情况下，为了抑制发热，将各线圈与具有多个转换开关的开关箱连接，随着可动元件(三相线圈)移动，需要通过转换开关转换流过电流的线圈。

然而，采用图7的三相线圈，线圈数约为2倍，因此，连接开关箱与各线圈的配线的数目也为2倍。配线数对于每一个线圈组件需为3根，从而例如在超过10个组件的情况下，成为30根以上是很难的。对此，本发明的情况是配线数只为一半因而比较好。

进而，图8为说明适用于可动线圈型直线电动机的、线圈的冷却系统的纵剖面图。鞍型连接线圈60被收纳于断面形状比其大的冷却用罩体80。在冷却用罩体80内，液体制冷剂可循环，在与鞍型连接线圈60的上侧的折返部相对应处、具有上侧贮液部81，而在与鞍型连接线圈60的下侧的折返部相对应处、具有下侧贮液部82。83为线圈支架。另外，直线电动机的定子侧在图示省略了。

带有图8所示的冷却用罩体的直线电动机在真空中使用的情况下，由于冷却用罩体80内外的压力差变大，因此最好进行约束冷却用罩体80膨胀的强化。

在图7的三相线圈中，由于线圈大致遍布全长地塞入，没有进行强化的空间。对此，根据图1的本发明的三相线圈，由图3可知，由于在线圈的中央具有较大的空间，可通过该空间进行强化工作。因此，本发明的三相电动机比较适用。

产业上的可利用性

本发明的音圈电动机或三相直线电动机可适用于逐步移动器等，该逐步移动器用于使被驱动物体做微小移动的载物台装置或半导体制造装置、曝光装置等。

Claims

1、一种音圈电动机，其以设置线圈的线圈设置间隔为间隙、将不同磁极相互对置的一对永久磁铁在可动部的移动方向上至少排列二对，在所述移动方向上的邻接的永久磁铁的磁极也不同，

其特征在于，所述线圈由2个鞍型线圈构成，该鞍型线圈是近似矩形的线圈的短边侧相对于各自长边侧的直线部成约90度的角度而成为折返部的，这2个鞍型线圈以各鞍型线圈中的2个折返部相互反向对置组合，同时，一个鞍型线圈中的所述2个折返部间的2个直线部与另一个鞍型线圈中的所述2个折返部间的2个直线部分别作为贴紧直线部贴紧地组合。

2、如权利要求1所述的音圈电动机，其特征在于，在2个所述贴紧直线部中流过相反方向的电流。

3、如权利要求1或2所述的音圈电动机，其特征在于，所述线圈配置成使2个所述的贴紧直线部中的各贴紧部的位置与所述移动方向上的邻接的2个永久磁铁的磁极中心一致。

4、一种三相直线电动机，其以设置三相线圈的线圈设置间隔为间隙、不同磁极相互对置的一对永久磁铁在可动部的移动方向上被排列多对，在所述移动方向上的邻接的永久磁铁的磁极也是不同的，其特征在于，所述三相线圈中的各相线圈由2个鞍型线圈构成，该鞍型线圈是近似矩形的线圈的短边侧相对于各自长边侧的直线部成约90度的角度而成为折返部的，这2个鞍型线圈以各鞍型线圈中的2个折返部相互反向对置组合，并且，一个鞍型线圈中的所述2个折返部间的2个直线部与另一个鞍型线圈中的所述2个折返部间的2个直线部分别作为贴紧直线部贴紧地组合，并且，所述三相线圈中各相的线圈被排列成串联并排在所述移动方向上，并且，邻接相的线圈中所述贴紧直线部彼此贴紧地组合着。

5、如权利要求4所述的三相直线电动机，其特征在于，在各相的2个所述贴紧直线部中流过相反方向的电流。

6、如权利要求4或5所述的三相直线电动机，其特征在于，所述各相线圈配置成使的2个所述贴紧直线部中的一个贴紧直线部的外侧或内侧与另一个贴紧直线部的内侧或外侧间的距离，与所述移动方向上的邻接的2个永久磁铁的磁极中心间的距离相等。