CN1578852A - 电镀装置中的夹式工件吊具 - Google Patents
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Abstract
本发明为用于以悬吊状态支承平板状工件(W)用的夹式工件吊具,该工件吊具在横长基板(3)上组装有多个夹持用夹子(4),于可动体(13)的对(向)面上形成该前述夹持用夹子之可动侧接点(8)、且前述可动体藉由支承轴(14)使前述可动侧接点以成与工具面面接触的转动角度来朝上下方向转动的方式构成,使得即使对于不同厚度的工件也能使接点确实地成面接触。又藉由导电线(25)使于下端部具有可动侧接点(8)的可动侧夹持杆(6)和前述横长基板导电连接,以令从可动侧接点至工件的通电效率良好。再者,前述夹持用夹子下部侧,除了各接点之外,将以硅橡胶制的绝缘盖(20)可自由装卸地嵌入被覆,使得除了与工件的接点之外、可以被确实地成绝缘被覆,且容易更换该绝缘盖。
Description
技术领域
本发明涉及电镀装置中的夹式工件吊具,在可增进从阴极杆至工件的通电效率的同时,防止挟持工件的接点部的接触不良,可靠地进行通电,尤其涉及即使对于大致平板状工件的厚度变化,也能稳定地通电并支承的工件吊具。
背景技术
在电镀装置中使用的工件吊具,是支承放入于电镀液中实施电镀处理的工件、且使电流从阴极杆通电至前述工件的装置。作为用于印刷(电路)基板等大致平板状的工件中的工件吊具,本申请人从现有技术已知,包括:同时具有可朝横向移动自如地悬挂支承成于阴极杆上的支承功能及能导电性地连接于该阴极杆上的接触功能的支承构件;与该支承构件成一体构成于该支承构件下部或以面接触状态固定与前述支承构件的下部导电连接,并沿着前述工件的横长边方向延伸的横长基板;及分别组装于该横长基板上且夹持前述工件上部,并以悬吊状态悬挂支承该工件用的多个夹持用夹子。
而作为前述夹持用夹子,本申请人从现有技术已知,具备有:固定成面接触状态来使上部导电性连接于前述横长基板且于下部配设有固定侧接点的固定侧挟持杆,和在该固定侧夹持杆中间部藉由轴销枢转安装其中间部的可动侧夹持杆,而将与前述固定侧接点相对向的可动侧接点设置于可动侧夹持杆下部,且将盘簧等弹性构件夹装于前述固定侧夹持杆上部侧和前述可动侧夹持杆上部侧之间,而利用该弹性构件的弹力以前述轴销作为支点来使前述可动侧接点对于前述固定侧接点朝关闭方向弹压,使得能与相对于前述固定侧关闭的前述可动侧接点之间成悬吊状态夹持前述工件上部。
本申请人已在使用的前述夹式工件吊具,如图9所示的其接点部那样,除了各接点(固定侧接点7和可动侧接点8)之外的将与大致平板状的工件W一起放进于电镀液A中的夹持用夹子的下部侧、即前述固定侧夹持杆5及前述可动侧夹持杆6的各下部,被以氯化乙烯基树脂所形成的非导电性层30被覆,以令各接点7、8从前述非导电性层30突出少许,或形成为与前述非导电性层30表面大致同一高度。另外,第9图所示的夹式工件吊具,使各接点7、8对于固定侧夹持杆5及前述可移动侧夹持杆6固定地配设两接点,即构成所谓两接点固定型。
发明内容
如在现有技术中所述,所谓两接点固定型的夹式工件吊具,因设定成当所要夹持的工件厚度一定时形成面接触,因而当平板状工件厚度有变化时,会由该厚度之变化而使夹持位置移位的前述可动侧夹持杆6的可动侧接点8不与前述工件W的工件面面接触,而形成线接触或点接触。因此,当工件改变成设定以外的厚度时,无法确实地夹持工件,以致无法稳定地支承,而且在从阴极杆经由夹持用夹子通电至工件时,主要藉由对于工件面成面接触状态的固定侧接点向工件通电,从对于工件面成线接触或点接触状的可动侧接点处不会向工件过多地通电,使得整体来说从夹持用夹子通电至工件的通电效率变差。鉴于这样的实际情况,本发明第1个课题提供一种夹式工件吊具,即使将大致平板状的工件更换为所设定以外的厚度时,也可令可动侧接点对于工件面能确实地成面接触,而能与固定侧接点间确实地夹持工件,同时,也可从可动侧接点一侧以良好效率向工件通电,整体而言能增进从前述夹持用夹子导电至工件的导电效率。
并且,在现有技术中所说明的夹式工件吊具,当从阴极杆经由夹持用夹子来使电流向工件通电时,从阴极杆经由导电性构件(支承构件或横长基板)的面接触部通电的电流,将主要会藉由以面接触状态固定于前述导电性构件上的前述固定侧夹持杆5来向工件通电,而从与导电性构件未成面接触状态的前述可动侧夹持杆6不能向工件过多地通电,以致整体而言从夹持用夹子向工件的通电效率变得不佳。鉴于这种实际情况,本发明的第2课题提供一种可增进从前述可动侧夹持杆6至工件的通电效率,以增进从夹持用夹子至工件的通电效率的夹式工件吊具。
并且,在现有技术中所说明的夹式工件吊具,除了各接点(固定侧接点7和可动侧接点8)之外,由以氯乙烯基树脂所形成的非导电性层30来被覆会与工件一起放入于电镀液中的夹持用夹子下部侧、即前述固定侧夹持杆5及前述可动侧夹持杆6的各下部侧,并令各接点7、8从前述非导电性层30突出少许,或与前述非导电性层30表面大致成为同一高度。因此,如第9图所示,可利用从前述非导电性层30突出少许的各接点7、8形成使各接点7、8周壁于前述工件W面和前述非导电性层30之间露出的间隙,以致电镀液不仅会从该间隙渗入到未被绝缘的各接点周壁上,甚至也会渗入到与工件面接触的各接点7、8上,具有于各接点及各接点周壁上生成附着贝壳状电镀块P的弊病。为此,可由附着于各接点及各接点周壁上的贝壳形状的电镀块P而导致与工件形成接触不良,使得会产生通电不良的弊病。而且,需要实施从各接点及各接点周壁去除贝壳形状的电镀块P的作业,但贝壳形状的电镀块P因紧紧地附着于各接点及各接点周壁上,使得去除作业极其困难。另外,由于长期使用而劣化的被覆体(前述非导电性层30)虽以约6个月的周期实施更换,但对于缺乏弹力性的氯乙烯基树脂所形成的被覆体,要进行更换作业极其困难。鉴于这样的实际情况,本发明的第3课题提供一种夹式工件吊具者,除了与工件要接触的各接点外,能确实绝缘要放入于电镀液中的夹持用夹子的下部侧,且消除如已知的工件吊具会于各接点及各接点周壁上生成附着贝壳形状的电镀块的弊病,以防止用于夹住工件的各接点的接触不良来确实地进行通电,进而可简单地更换作为消耗品的绝缘被覆体。
根据本发明的电镀装置的夹式工件吊具,以悬吊状态支承要放入于电镀液(A)中实施电镀处理的大致平板状的工件(W),而从阴极杆(B)使电流向前述工件通电的电镀装置的工件吊具(1),该工件吊具包括:同时具有可成朝横向移动自如地悬挂支承于前述阴极杆的支承功能及能成导电性连接于该阴极杆的接触功能的支承构件(2);与该支承构件成一体地构成于该支承构件下部或固定成面接触状态以便导电性连接于前述支承构件下部、且沿着前述工件的横长边方向延伸的横长基板(3);及分别组装于该横长基板上且挟持前述工件上部,并以悬吊状态悬挂支承该工件的多个夹持用夹子(4),而以导电性材料形成前述工件吊具的前述各构成部分的前述支承构件,前述横长基板及前述夹持用夹子,以令电流能从前述阴极杆经由前述支承构件,前述横长基板,前述夹持用夹子来从各夹持用夹子通电至前述工件,而前述夹持用夹子(4)具备有成面接触状态固定上部以便导电性连接于前述横长基板且配设固定侧接点(7)于下部的固定侧夹持杆(5),及在该固定侧夹住杆中间部藉由轴销(10)枢着其中间部的可动侧夹持杆(6),且于该可动侧夹持杆下部配设与前述固定侧接点成相对向的可动侧接点(8),于前述固定侧夹住杆上部侧和前述可动侧夹住杆上部侧之间夹装盘簧等弹性构件(11),而利用该弹性构件的弹力以前述轴销作为支点来朝着相对于前述固定侧接点关闭的方向弹压前述可动侧接点,而能于前述固定侧接点和关闭于前述固定侧接点的前述可动侧接点之间夹持前述工件上部,尤其,为了解决前述第1课题,以从前述固定侧夹持杆下部朝对向方向所突出的突部(12)的对向面形成前述固定侧接点,以组装于前述可动侧夹持杆下部的可动体(13)的对向面形成前述可动侧接点,并将前述可动体的对向面、即可动侧接点配设成能从前述可动侧夹持杆朝向对向面方向突出,且前述可动体在前述可动侧夹持杆下部藉由支承轴(14)以能使该可动体的对向面、即可动侧接点能朝上下方向转动的方式支承,以令该可动体的对向面、即前述可动侧接点对于前述固定侧接点能以使互相的接触面形成正好相对向且面对面的角度进行变位,而构成为能使前述可动体的对向面、即前述可动侧接点能对应于前述工件的厚度变化,而以与前述工件的工件面成面接触的转动角度来夹持工件,配设可分别成装卸自如地被覆嵌合到与前述工件一起放入于电镀液中的前述固定侧夹持杆和前述可动侧夹持杆之各下部侧上的绝缘盖(20),这些绝缘盖由具有弹力性的非导电性物质形成,并在前述固定侧接点和可动侧接点的被覆嵌合部位形成用于仅露出这些接点用的开口部(21)。
并且,根据本发明的电镀装置的夹式工件吊具,为了解决前述第2课题,将藉由导电线(25)将各夹住用夹子(4)的可动侧夹持杆(6)上部侧和前述横长基板(3)分别导电地连接起来。
并且,根据本发明的电镀装置的夹式工件吊具,为了解决第3课题,前述绝缘盖(20)由具有弹力性的非导电性物质的橡胶材料形成,且在该橡胶制的绝缘盖上成一体地形成包围前述开口部(21)的突缘部(22),而前述突缘部以可紧密地被覆前述突部(22)周壁或前述可动体的突出部分周壁的方式形成,且从各接点的突出位置突出仅少许。再者,前述绝缘盖(20)由具有弹力性的非导电性物质的硅橡胶形成。
附图说明
图1是本发明的部分纵向剖视侧面图。
图2是本发明的正面图。
图3是显示薄板状工件的夹持状态的本发明的夹持用夹子部的放大侧面图。
图4是显示厚板状工件的夹持状态的本发明的夹持用夹子部的放大侧面图。
图5是将本发明的夹持用夹子部分离为固定侧和可动侧、而从各夹持方向看的放大分解正面图。
图6是放大本发明的可动侧夹持杆下部侧来显示的侧面图。
图7是本发明的可动侧夹持杆下部侧从夹持方向看的放大正面图。
图8是用于说明在本发明的可动侧夹持杆的下部侧安装绝缘盖的状态用的侧面图。
图9是显示现有的工件吊具的接点部的放大纵向剖视侧面图。
具体实施方式
参照图式说明有关本发明的实施形态。
图中,符号1是在电镀装置中使用的工件吊具,该工件吊具1用于成悬吊状态支承要放入于电镀液A中实施电镀处理的印刷电路基板等的大致平板状工件W,且使电流从阴极杆B通电至前述工件W。该工件吊具1包括:同时具有可朝横向移动自如地悬挂支承于前述阴极杆B上的支承功能及对于该阴极杆B导电连接的功能的支承构件2;由固定螺栓C1成面接触状态固定于该支承构件2下部以便导电性连接、且沿着前述工件W的横长边方向延伸的长方形横长基板3;及朝该横长基板3之横长方向隔着适当间隔配设以分别组装于该横长基板3上、夹住前述工件W上部,用于成悬吊状态支承悬挂该工件W用的多个(图中为4个)夹持用夹子4。前述工件吊具1之前述各构成部分(前述支承构件2,前述横长基板3及前述夹持用夹子4)由导电性材料形成,以令电流能从前述阴极杆B经由前述支承构件2、前述横长基板3、前述夹持用夹子4来从各夹持用夹子4通电至前述工件W。具体地说,考虑到导电率或拉伸强度,用不锈钢形成前述支承构件2和前述夹持用夹子4,而以铜或黄铜形成前述横长基板3。
前述夹持用夹子4以固定螺栓C2成面接触状态地将上部固定于前述横长基板3上,以便导电性连接,且具备有配设了固定侧接点7于下部的固定侧夹持杆5,及在固定于该固定侧夹持杆5中间部的托架9藉由轴销10来枢转安装其中间部的可动侧夹持杆6,并在该可动侧夹持杆6下部,配设有与前述固定侧接点相对向的可动侧接点8。再者,由盘簧所形成的弹性构件11夹持于前述固定侧夹持杆5上部侧和前述可动侧夹持杆6上部侧之间,而由该弹性构件(盘簧)11之弹力以前述轴销10作为支点来使前述可动侧接点8朝着对于前述固定侧接点7关闭的方向弹压,而能以悬吊状态于前述固定侧接点7和对于前述固定侧接点7成关闭的可动侧接点8之间夹持前述工件W上部。当反抗于前述弹性构件(盘簧)11的弹力来朝前述固定侧夹持杆6上部侧按压前述可动侧夹持杆6上部侧时,前述可动侧接点8会朝向从前述固定侧接点7分离的方向移动、开放各接点。再者,当要对于前述夹持用夹子4安装或卸下前述工件W时,虽同时以反抗前述弹性构件(盘簧)11的弹力来按压各夹持用夹子4的可动侧夹持杆6上部侧,但该按压是使用由未图示的机械性的强制性力量来实施的。
前述固定侧接点7由从固定侧夹持杆5下部朝对面方向突出的突部12的对向面(顶部面)所形成。而该对向面(顶部面)、即前述固定侧接点7如第5图(a)所示,形成为接触面成矩形状的矩形状接点。作为形成前述突部12(前述固定侧接点7)的手段,在图示的实施形态中以留下前述突部12的形态来切削会成为前述固定侧夹持杆5的不锈刚制的板体的对向面侧下方部,以使前述固定侧夹持杆5和前述突部12(前述固定侧接点7)成为一体。从前述固定侧夹持杆5成一体地形成前述突部12(前述固定侧接点7),因而,对于本来就较前述可动侧夹持杆6在构造上具有通电至工件的通电效率为高的前述固定侧夹持杆5,使得更能增进通电效率。再者,图示的前述突部12的突出宽度形成大约3mm。
前述可动侧接点8是以组装于前述可动侧夹持杆6下部的可动体13的对向面所形成的,该可动体13的对向面、即可动侧接点8配设成从前述可动侧夹持杆6朝对向方向突出状。且在该配设状态下,前述可动体13在前述可动侧夹持杆6下部藉由支承轴14以朝上下方向转动(在图6以箭符号所示)的方式支承成该可动体13的对向面、即可动侧接点8,以令该可动体13的对向面、即可动侧接点8对于前述固定侧接点7能变位成互相的接触面正好成为相对向的角度,而构成为能使前述可动体13的对向面、即可动侧接点8对应于前述工件W的厚度变化与前述工件W的工件面形成面接触的转动角度来夹持工件W。
将依据图示的实施形态来更具体地说明有关前述可动体13、即可动侧接点8。前述可动体形成长方形,该可动体13之一面具有作为前述可动侧接点8的功能。该可动侧接点8,如图5(b)及图7所示,形成将接触面成矩形状的矩形状接点。在前述可动侧夹持杆6的下端部形成有朝对向方向的剖面成反向凹部状的沟部15。而在该沟部15内,配设前述可动体13,使可动侧接点8从前述沟部15内朝对向面方向突出,且在该配设状态下,令与该沟部15成正交(垂直相交)方向架设固定于前述沟部15内的前述支承轴14插穿于形成在前述可动体13的贯穿孔16内,而构成为能以前述支承轴14为中心朝上下方向转动(在图6以箭符号所示)该可动体13的前述可动侧接点8。前述贯穿孔16内面构成可朝旋转方向滑动前述支承轴14的四周,另外,前述可动体13构成可令该可动体13两侧壁在沿着前述沟部15的相对向侧壁滑动的同时可进行转动,使得可防止对于前述可动体13的导电效率下降。在于前述沟部15内的顶部面和前述可动体顶部面之间,形成有容许前述可动体转动且用于将该转动范围限制在前述可动侧接点朝向前述固定侧接点7方向的上下范围中用的间隙17。再者,图中所示的前述可动体13的突出宽度形成约3mm。
配设用于分别可装卸自如地被覆嵌合要与前述工件W一起放入于电镀液A的前述固定侧夹持杆5和前述可动侧夹持杆6各自的下部侧的绝缘盖20,这些绝缘盖20由具有弹力性的非导电性物质形成,且于前述固定侧接点7和可动侧接点8的被覆嵌合部位上形成有仅使这些接点露出用的开口部21。前述绝缘盖20由具有弹力性的非导电性物质的橡胶材(硅橡胶)形成,且于该硅橡胶制的绝缘盖20上成一体地形成要包围前述开口部21用的突缘部22。前述突缘部22以紧密地被覆前述突部12四周壁或前述可动体13的突出部分四周壁的方式形成,且形成为仅从各接点7、8的突出位置突出少许而已。前述突缘部22虽形成为从各接点7、8突出少许,但在各接点7、8成分开状态时,处于从接点7、8突出的状态,而在关闭(接触)各接点7、8时,就会变形成夹住前述工件W且使各接点7、8压接。这样,要与前述工件W一起放入于电镀液A中的前述固定侧夹持杆5和前述可动侧夹持杆6的各下部侧,除了各接点7、8之外,均由前述绝缘盖20来确实地与电镀液隔断,使之确实地予以绝缘。并且,硅橡胶制的前述(绝缘)盖20因具有特别优异的弹力性,因而如第8图所示,当要装卸时,对应于各接点7、8的突出形态容易地变形,因而,可容易地安装到夹持用夹子或从夹持用夹子卸下,可简单地实施更换绝缘被覆体(绝缘盖)的作业。
在第1图及第2图中,符号25为导电线,藉由该导电线25分别导电连接前述夹持用夹子4的各可动侧夹持杆6上部侧和前述横长基板。前述导电线25系以氯乙烯基树脂来被覆例如铜线,而该导电线25的连接端部藉由固定螺栓固定于前述横长基板3或前述可动侧夹持杆6上部侧。由于藉由前述导电线25使前述夹住用夹子4的各可动侧夹持杆6和前述横长基板3导电性连接,以致当要从阴极杆B经由前述夹持用夹子4来通电流至前述工件W时,从阴极杆B经由导电性构件(前述支承构件2或前述横长基板3)的面接触部所通电的电流,在将可藉由以面接触状态固定于前述导电性构件上的前述固定侧夹持杆5通电至工件W的同时,也能从前述可动侧夹持杆6以良好的效率通电至工件W,以致整体言,可增进从前述夹持用夹子4通电至工件W的通电效率,进而可增进从阴极杆B通电至工件W的通电效率。
根据本发明(权利要求第1项、第2项)的电镀装置的夹式工件吊具,以从前述固定侧夹持杆下部朝对向方向所突出的突部(12)的对向面形成固定侧接点,以组装于前述可动侧夹持杆下的可动体(13)的对向面所形成前述可动侧接点,且前述可动体的对向面、即可动侧接点配设成会从前述可动侧夹持杆朝向对向面方向突出,且前述可动体在前述可动侧夹持杆下部藉由支承轴(14)以该可动体的对向面、即可动侧接点成为能朝上下方向转动的方式支承,以使该可动体的对向面、即前述可动侧接点以相对于前述固定侧接点形成互相的接触面正好相互对向且面对面的角度进行变位,而构成为令前述可动体的对向面、即前述可动侧接点会响应于前述工件的厚度变化,以与前述工件的工件面成面接触状态下夹持工件,因而即使是将大致平板状的工件更换成所设定以外的厚度的工件时,也能确实地令可动侧接点对于工件面确实地面接触,以致可确实地在与固定侧接点之间夹持工件的同时,还可从可动侧接点侧以良好效率通电至工件,使得整体而言,可增进从前述夹住用夹子通电至工件的导电效率,进而可增进从阴极杆通电至工件的导电效率。
并且,根据本发明(权利要求4记载)的电镀装置的夹式工件吊具,将前述夹住用夹子(4)的各可动侧夹持杆(6)上部侧和前述横长基板(3)藉由导电线(25)分别导电性连接,因而当从阴极杆经由前述夹持用夹子通电流至工件时,从阴极杆经由导电性构件(前述支承构件或前述横长基板)的面接触部进行通电的电流,可藉由固定以面接触状态固定于前述导电性构件的前述夹住用夹子之前述固定侧夹持杆来通电至工件W,同时,也会从前述夹持用夹子的前述可动侧夹持杆以良好效率通电至工件W,使得整体而言,可增进从前述夹持用夹子通电至工件的通电效率,进而可增进从阴极杆通电至工件W的通电效率。
并且,根据本发明(权利要求5、6记载)的电镀装置的夹式工件吊具,在会与工件一起放入于电镀液中的夹持用夹子的下部侧,各接点(前述固定侧接点、前述可动侧接点)确实地与工件面成面接触,而除了各接点之外的前述固定侧夹持杆和前述可动侧夹持杆的各下部侧由具有弹力性的非导电性物质的橡胶材料(优选为具有优异弹力性的硅橡胶)所形成的绝缘盖(20)所被覆,因而能确实地从电镀液隔断包括各接点的夹持用夹子下剖侧,使得可确实地进行绝缘。因此,依据本发明可消除如现有的在工件吊具的包括接点周围生成附着贝壳形状的电镀块的弊病,以致可防止用于夹住工件用的接点产生接触不良,可确实地通电。再者,依据以硅橡胶所形成的前述绝缘盖,因具有特别优异的弹力,以致在装卸时,因能响应各接点的突出形态来容易地变形,容易安装到夹持用夹子上或从夹持用夹子上卸下,由此而能简单地进行更换绝缘被覆体(绝缘盖)的作业。
Claims (7)
1.一种电镀装置的夹式工件吊具(1),以悬吊状态支承要放入于电镀液(A)中实施电镀处理的大致平板状的工件(W),而从阴极杆(B)使电流向前述工件通电,其特征为:该工件吊具包括:同时具有可成朝横向移动自如地悬挂支承于前述阴极杆的支承功能及能成导电性连接于该阴极杆的接触功能的支承构件(2);与该支承构件成一体地构成于该支承构件下部或固定成面接触状态以便导电性连接于前述支承构件下部、且沿着前述工件的横长边方向延伸的横长基板(3);及分别组装于该横长基板上且夹持前述工件上部,并以悬吊状态悬挂支承该工件的多个夹持用夹子(4),以导电性材料形成前述工件吊具的前述各构成部分的前述支承构件、前述横长基板及前述夹持用夹子,以使电流能从前述阴极杆经由前述支承构件、前述横长基板、前述夹持用夹子、而从各夹持用夹子通电至前述工件,前述夹持用夹子(4)具备有成面接触状态固定上部以便导电性连接于前述横长基板且固定侧接点(7)设于下部的固定侧夹持杆(5)、及在该固定侧夹持杆中间部由轴销(10)枢轴安装其中间部的可动侧夹持杆(6),且于该可动侧夹持杆下部配设与前述固定侧接点成相对向的可动侧接点(8),于前述固定侧夹持杆上部侧和前述可动侧夹持杆上部侧之间夹装盘簧等弹性构件(11),而利用该弹性构件的弹力以前述轴销作为支点来朝着相对于前述固定侧接点关闭的方向弹压前述可动侧接点,能于前述固定侧接点和关闭于前述固定侧接点的前述可动侧接点之间夹持前述工件上部,以从前述固定侧夹持杆下部朝对向面方向所突出的突部(12)的对向面形成前述固定侧接点,在组装于前述可动侧夹持杆下部的可动体(13)的对向面形成前述可动侧接点,并将前述可动体的对向面、即可动侧接点配设成能从前述可动侧夹持杆朝向对向面方向突出,且前述可动体在前述可动侧夹持杆下部由支承轴(14)以能使该可动体的对向面、即可动侧接点能朝上下方向转动的方式通过轴支承,以令该可动体的对向面、即可动侧接点对于前述固定侧接点能以使互相的接触面形成正好相对向且面对面的角度进行变位,而构成为能使前述可动体的对向面、即前述可动侧接点能对应于前述工件的厚度变化,而以与前述工件的工件面成面接触的转动角度来夹持工件,配设可分别成装卸自如地被覆嵌合到与前述工件一起放入于电镀液中的前述固定侧夹持杆和前述可动侧夹持杆的各下部侧上的绝缘盖(20),这些绝缘盖由具有弹力性的非导电性物质形成,并在前述固定侧接点和可动侧接点的被覆嵌合部位形成用于仅露出这些接点用的开口部(21)。
2.如权利要求1所述的电镀装置的夹式工件吊具,其特征在于:前述可动体(13)形成长方形形状,而使该可动体的一面作为前述可动侧接点(8)来产生作用,在前述可动侧夹住杆(6)下端部形成朝向对向方向剖面呈倒凹部状的沟部(15),并在该沟部内配设前述可动体,使该可动体的前述可动侧接点从前述沟部内朝相对方向突出,而在该配设状态下,将朝向与该沟部成正交方向所架设固定于前述沟部内的前述支承轴(14)插穿于形成在前述可动体上的贯穿孔(16)内,而使该可动体的前述可动侧接点能以前述支承轴为中心朝上下方向转动,前述可动体以该可动体的两侧壁一边沿着前述沟部的相对向侧壁滑动一边转动的方式构成,并在前述沟部内部的顶部面和前述可动体的顶部面间形成允许前述可动体转动且用于限制转动范围用的间隙(17)。
3.如权利要求1所述的电镀装置的夹式工件吊具,其特征在于:前述固定侧接点(7)将作为固定侧夹持杆(5)的板状构件的对向面侧下方部切削成残留前述突部(12)的形态,并使该突部的顶部面作为固定侧接点(7)。
4.一种电镀装置的夹式工件吊具(1),以悬吊状态支承要放入于电镀液(A)中实施电镀处理的大致平板状的工件(W),而从阴极杆(B)使电流向前述工件通电,该工件吊具包括:同时具有可成朝横向移动自如地悬挂支承于前述阴极杆的支承功能及能成导电性连接于该阴极杆的接触功能的支承构件(2);与该支承构件成一体地构成于该支承构件下部或固定成面接触状态以便导电性连接于前述支承构件下部、且沿着前述工件的横长边方向延伸的横长基板(3);及分别组装于该横长基板上且夹持前述工件上部,并以悬吊状态悬挂支承该工件的多个夹持用夹子(4),而以导电性材料形成前述工件吊具的前述各构成部分的前述支承构件、前述横长基板及前述夹持用夹子,以使电流能从前述阴极杆经由前述支承构件、前述横长基板、前述夹持用夹子从各夹持用夹子通电至前述工件,前述夹持用夹子(4)具备有成面接触状态固定上部以便导电性连接于前述横长基板且配设固定侧接点(7)于下部的固定侧夹持杆(5)、及在该固定侧夹持杆中间部由轴销(10)枢轴安装其中间部的可动侧夹持杆(6),且于该可动侧夹持杆下部配设与前述固定侧接点成相对向的可动侧接点(8),于前述固定侧夹持杆上部侧和前述可动侧夹持杆上部侧之间夹装盘簧等弹性构件(11),而利用该弹性构件的弹力以前述轴销作为支点来朝着对于前述固定侧接点关闭的状态弹压前述可动侧接点,能于前述固定侧接点和关闭于前述固定侧接点的前述可动侧接点之间夹持前述工件上部,其特征为:由导电线(25)使各夹持用夹子(4)的可动侧夹持杆(6)上部侧和前述横长基板(3)分别呈导电连接。
5.一种电镀装置的夹式工件吊具(1),以悬吊状态支承要放入于电镀液(A)中实施电镀处理的大致平板状的工件(W),而从阴极杆(B)使电流向前述工件通电,该工件吊具包括:同时具有可成朝横向移动自如地悬挂支承于前述阴极杆的支承功能及能成导电性连接于该阴极杆的接触功能的支承构件(2);与该支承构件成一体地构成于该支承构件下部或固定成面接触状态以便导电性连接于前述支承构件下部、且沿着前述工件的横长边方向延伸的横长基板(3);及分别组装于该横长基板上且夹持前述工件上部,并以悬吊状态悬挂支承该工件的多个夹持用夹子(4),而以导电性材料形成前述工件吊具的前述各构成部分的前述支承构件、前述横长基板及前述夹持用夹子,以使电流能从前述阴极杆经由前述支承构件、前述横长基板、前述夹持用夹子、从各夹持用夹子通电至前述工件,而前述夹持用夹子(4)具备成面接触状态地固定上部以便导电性连接于前述横长基板且配设固定侧接点(7)于下部的固定侧夹持杆(5)、及在该固定侧夹住杆中间部由轴销(10)枢轴安装其中间部的可动侧夹持杆(6),且于该可动侧夹持杆下部配设与前述固定侧接点成相对向的可动侧接点(8),于前述固定侧夹持杆上部侧和前述可动侧夹持杆上部侧之间夹装盘簧等弹性构件(11),而利用该弹性构件的弹力以前述轴销作为支点来朝着对于前述固定侧接点关闭的状态弹压前述可动侧接点,能于前述固定侧接点和关闭于前述固定侧接点的前述可动侧接点之间夹持前述工件上部,其特征为:前述固定侧接点和前述可动侧接点朝相对向方向突出形成,配设用于分别装卸自如地被覆嵌合与前述工件一起要放入于电镀液中的前述固定侧夹持杆和前述可动侧夹持杆的各下部侧的绝缘盖(20),这些绝缘盖以具有弹力性的非导电性物质形成,而且在该绝缘盖形成用于露出各接点的开口部(21),同时,成一体地形成包围该开口部的突缘部(22),前述突缘部以可紧密地覆盖着突出形成的各接点的周壁的方式形成,且比各接点的突出位置突出少许。
6.如权利要求1或5所述的电镀装置的夹式工件吊具,其特征在于:前述绝缘盖(20)由具有弹力性的非导电性物质的硅橡胶形成。
7.如权利要求1、2、3或5所述的电镀装置的夹式工件吊具,其特征在于:前述固定侧接点(7)及前述可动侧接点(8)形成矩形状接点。
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