CN1536440A - 灰色调掩模的缺陷检查方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种灰色调掩模的判定(检查，保证)和校正方法。该灰色调掩模具有：灰色调部，是对透过量进行了调整的区域，其目的是通过减少透过该区域的光的透过量而选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚；遮光部和透光部，其特征在于，具有：(1)生成上述灰色调部的图像数据的工序；(2)根据上述图像数据，实施使得能够识别出灰色调部的缺陷的图像处理的工序；以及(3)根据上述图像处理后的数据，进行缺陷检查的工序。由此，在对正常图形和所有校正图形进行判定的情况下，可容易地对灰色调部在用户的曝光和转印处理中是否发生问题进行检查(判定)。
Description
技术领域
本发明涉及一种具有作为对透光量进行了调整的区域，其目的是通过减少透过该区域的光的透光量而选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚的灰色调部的灰色调掩模的灰色调部的缺陷检查(判定)方法和缺陷校正方法等。
背景技术
近年，在大型LCD用掩模领域中，正尝试使用灰色调掩模来削减掩模片数(非专利文献1)。
此处，灰色调掩模，如图5(1)所示，在透明基板上具有遮光部1、透光部2和灰色调部3。灰色调部3例如是形成了在使用灰色调掩模的大型LCD用曝光机的极限分辨率以下的遮光图形3a的区域，且是以减少透过该区域的光的透光量、减少该区域的照射量并选择性改变光致抗蚀膜的膜厚为目的而形成的。3b是灰色调部3的曝光机的极限分辨率以下的细微透光部。遮光部1和遮光图形3a通常全都由采用铬和铬化合物等的相同材料制成的厚度相同的膜形成。透光部2和细微透光部3b全都是在透明基板上未形成遮光膜等的透明基板的部分。
使用灰色调掩模的大型LCD用曝光机的极限分辨率，对于步进方式的曝光机为约2.5μm，对于镜面投影方式的曝光机为约3μm。为此，例如，在图3(1)中，把灰色调部3的细微透光部3b的间隔宽度设定为不足2.5μm，把曝光机的极限分辨率以下的遮光图形3a的线条宽设定为不足2.5μm。在用上述大型LCD用曝光机曝光时，由于通过了灰色调部3的曝光光的整体曝光量不足，因而基板上的正成像型光致抗蚀膜在通过该灰色调部3曝光后，只是膜厚变薄。也就是说，抗蚀膜根据曝光量的不同，在与通常的遮光部1对应的部分和与灰色调部3对应的部分的两者之间，产生对显影液的溶解性差异，因而显影后的抗蚀膜形状，如图5(2)所示，与通常的遮光部1对应的部分1’例如约1μm，与灰色调部3对应的部分3’例如约0.4～0.5μm，与透光部2对应的部分成为无抗蚀膜的部分2’。然后，在无抗蚀膜的部分2’进行被加工基板的第1蚀刻，使用灰化等除去与灰色调部3对应的薄部分3’的抗蚀膜，并在该部分进行第2蚀刻，从而可用1片掩模进行以往2片掩模的工序，削减了掩模片数。
另外，对于上述灰色调掩模的灰色调部，细微图形的加工是不容易的，且在制造工序中发生的碎屑等有很大影响，由于此等原因，发生了由遮光图形3a的细、粗等的CD误差和剩余图形(突起(凸)，短路(搭桥)，斑点等)及欠缺图形(缺口(凹)和断线等)组成的图形缺陷等(以下，把图形的粗度和剩余图形缺陷等称为黑缺陷，把图形的细度和欠缺缺陷等称为白缺陷)。
因此，尽管可对灰色调部发生的缺陷实施图形校正，然而由于灰色调部的图形是细微的，因而存在着各种问题。
第1，例如，当使用最小狭缝尺寸2μm的校正装置校正2μm以上的灰色调图形时，由于灰色调部的图形细微(线宽细)，并且校正装置的校正精度有界限，因而与应形成校正图形的部分和要形成校正图形的部分的偏差相当的定位精度，以及与应形成校正图形的部分和实际形成有校正图形的部分的差异相当的校正精度有界限。因此，按照与正常图形相同的形状(正常图形的CD容许精度内)进行校正，对于要发生的缺陷，在技术上是非常困难的(例如在巨大欠缺缺陷部分形成细微校正膜图形并进行校正的情况)，因而尽可能校正成近似于正常图形，即，进行近似于正常图形的校正(正常图形的CD容许精度外)。
第2，由于用最小狭缝尺寸2μm的校正装置校正例如1μm的灰色调图形在技术上是不可能的，因而本发明申请人事先就一种技术，即：通过形成不复原成近似于正常图形的形状，而取得与正常图形同等的灰色调效果的校正图形(与正常图形形状不同和/或排列不同的校正图形)，进行灰色调部校正的技术(特殊校正方法)，进行了申请(专利文献1)。
[非专利文献1]月刊FPD Intelligence，p.31-35，1999年5月
[专利文献1]特开2002-107913
上述现有技术存在以下的问题。
第1，在校正成与正常图形形状相同(正常图形的CD容许精度内)的图形时，虽然可进行通过把通常图形相互比较来进行检查的比较检查，然而在按照与正常图形形状近似的图形(正常图形的CD容许精度外)进行了校正时，以及在按照与正常图形形状不同的图形进行了校正时，由于不能进行通常的比较检查，因而存在着不容易检查的问题。
第2，在用激光修补装置除去黑缺陷时，由于玻璃基板容易受损，因而即使在被校正后的遮光图形3a满足所设定的技术规格(图形线宽和形状)的情况下，在细微透光部(玻璃部)3b受损时，也会造成细微透光部(玻璃部)3b的透光率下降，因而在用户的曝光和转印处理中会发生问题。具体地说，在玻璃受损的情况下，为了弥补细微透光部(玻璃部)3b的透光率不足，有必要形成比所设定的技术规格(图形线宽和形状)线宽更细的遮光图形3a。在该情况下，存在着仅进行图形形状的检查是不充分的问题。
第3，即使是为了满足用户要求(在用户曝光时，保留规定的抗蚀膜膜厚)而满足了所设定的技术规格(图形线宽和形状)的正常图形(当然CD容许精度内)和正常图形的CD容许精度内的校正图形，由于存在用户实际使用灰色调掩模在被转印基板的抗蚀膜上获得转印图形时的曝光条件根据转印所用的曝光装置的光学条件的设定条件而不同的情况，因而在用户的曝光和转印处理中会发生问题。具体地说，存在用户使用的灰色调掩模的曝光条件不是通常条件的情况(例如，光的照射量条件不是通常条件的情况(过不足的照射条件等))，有意使灰色调图形不解像的条件。由此得知：(1)即使是满足所设定的技术规格(图形线宽和形状)的正常图形和校正图形(全都为CD容许精度内)，在用户的曝光和转印处理中也会出现问题；(2)即使是近似于正常图形的校正图形(正常图形的CD容许精度外)，只要在用户的曝光和转印图像处理中不发生问题便可(只要对于由用户进行曝光后的抗蚀膜图形的合格与否的判定结果为合格便可)；(3)在用户的曝光和转印处理中，进行是否发生问题的判定(检查)，是有其必要性和重要性的。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的第1目的是提供一种可容易且高精度对灰色调部在用户的曝光和转印处理中是否发生问题进行检查(判定)的灰色调掩模的检查(判定，保证)和校正方法。
并且，本发明的第2目的是提供一种利用上述检查(判定)方法的灰色调掩模的灰色调部图形决定方法。
本发明具有以下构成。
(构成1)一种灰色调掩模的缺陷检查方法，该灰色调掩模具有：灰色调部，是对透过量进行了调整的区域，其目的是通过减少透过该区域的光的透过量而选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚；遮光部；和透光部，
其特征在于，包括：
生成上述灰色调部的图像数据的工序；
根据上述图像数据，实施使得能够识别出灰色调部中的缺陷的图像处理的工序；以及
根据上述图像处理后的数据，进行缺陷检查的工序。
(构成2)根据构成1所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述图像处理实施工序包括模糊处理。
(构成3)根据构成1或2所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述图像处理实施工序包括强调处理。
(构成4)根据构成1至3中任意一项所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述灰色调部是形成了在使用灰色调掩模的曝光机的极限分辨率以下的遮光图形的区域。
(构成5)根据构成1至4中任意一项所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述缺陷检查是对于上述图像处理后的数据根据预先设定的深浅容许范围(阈值)来进行。
(构成6)根据构成5所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述图像数据是校正后的灰色调部的图像数据。
(构成7)根据构成6所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述校正后的灰色调部包括与正常图形形状近似的图形，或者取得与正常图形同等的灰色调效果而形状和/或排列不同的校正图形。
(构成8)根据构成1至7中任意一项所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，灰色调掩模是LCD制造用掩模或者显示器件制造用掩模。
(构成9)一种灰色调掩模的图形决定方法，该灰色调掩模具有：灰色调部，是对透过量进行了调整的区域，其目的是通过减少透过该区域的光的透过量而选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚；遮光部；和透光部，
其特征在于，具有：
(1)以规定形状和/或排列做成上述灰色调部的工序；
(2)生成上述灰色调部的图像数据的工序；以及
(3)根据上述图像数据实施使得能够识别出灰色调部中的缺陷的图像处理的工序；
根据通过上述(1)～(3)的工序获得的上述图像处理后的数据，决定灰色调部的形状和/或排列以使缺陷不存在。
(构成10)根据构成9所述的灰色调掩模的图形决定方法，其特征在于，上述图像处理实施工序包括模糊处理。
(构成11)根据构成9或10所述的灰色调掩模的图形决定方法，其特征在于，上述图像处理实施工序包括强调处理。
(构成12)根据构成9至11中任意一项所述的灰色调掩模的图形决定方法，其特征在于，上述灰色调部是形成了在使用灰色调掩模的曝光机的极限分辨率以下的遮光图形的区域。
附图说明
图1是对本发明实施例1的灰色调部的黑缺陷校正和检查方法进行说明的局部俯视图。
图2是对本发明实施例的强调处理进行说明的示意图。
图3是对本发明实施例2的灰色调部的微小黑缺陷的检查方法进行说明的局部俯视图。
图4是对激光校正装置的概略构成进行说明的示意图。
图5是对灰色调掩模进行说明的图，图5(1)是局部俯视图，图5(2)是局部剖视图。
图中：1…遮光部；2…透光部；3…灰色调部；3a…遮光图形；3b…细微透光部
具体实施方式
本发明的灰色调掩模的检查(判定，保证)和校正方法，其特征在于，具有：
(1)生成包括灰色调部的图像(例如包括校正后的灰色调部的图形的图像和包括正常图形的图像等)的图像数据的工序；
(2)根据上述图像数据，实施使得能够识别出灰色调部的缺陷的图像处理的工序；以及
(3)根据上述图像处理后的数据，进行缺陷检查的工序(构成1)。
在本发明中，根据包括灰色调部的图像(例如包括校正后的灰色调部的图形的图像和包括正常图形的图像等)的图像数据，生成能判定用户的曝光和转印处理中的转印状况的图像，使灰色调部的图形达到用户的容许范围。
此处，在生成包括灰色调部的图像的图像数据的工序(工序(1))中，对于由可对包括灰色调部的区域进行观察和解像的光学系统(例如装在校正装置上的显微镜、单独的显微镜及检查装置等的光学系统等)获得的包括灰色调部的图像，通过使用扫描器读取照相摄影和CCD摄像的图像的方法，和使用视频捕获直接读取方法等，获得对包括灰色调部的电子化图像的图像数据。
作为光学系统，列举出可进行反射光和透过光观察的光学系统，其中可进行透过光观察的光学系统优选可实现更近似于用户的曝光和转印处理中的转印状况的状态的光学系统。
另外，通过根据图像数据，实施可识别灰色调部的缺陷的图像处理(工序(2))，来生成可判定用户的曝光和转印处理中的转印状况的图像。
在本发明中，作为图像处理，例如，除了“模糊处理”(构成2)和“强调处理”(构成3)以外，具体还列举出图像取得处理、灰度级化(丢弃色彩信息)处理、色调补偿处理(仅补偿图像内的特定亮度区域的处理，例如包括仅抽出白、黑信息的处理)等。
此处，“模糊处理”与“锐化处理”相反，是指使变化平滑的处理。该“模糊处理”通常主要是指，通过图像处理，使图像细微化(分割)并对于该细微化的各个图像不改变面积(强度)而是进行高斯分布化，之后再度使各个图像重合(叠加)的处理方法，也包括在图像处理领域中被称为“模糊处理”的其他处理方法。“模糊处理”的条件可通过图像的细微化(像素化)程度和高斯分布化的数据加工(例如改变模糊部分的范围(距离))等详细设定，根据要检查的图形等，可变更详细设定条件(即模糊效果程度的设定)。另外，在模糊处理后，也不改变面积(强度)的合计。该模糊处理条件，通过模拟的方法被确认为与用户的曝光和转印处理中的实际的光的转印状态大致同等。也就是说，通过研究用户的曝光条件(例如，光的照射量条件，有意使灰色调图形不解像的条件等)，并进行与此对应的模糊处理，可根据灰色调部的图形，生成与用户的曝光后的转印图像对应的能判定用户的曝光和转印处理中的转印状况的图像。
这样，本发明借助图像处理，通过任意设定并且模拟用户的曝光条件，可生成与用户的曝光后的转印图像对应的图像，即，能判定用户的曝光和转印处理中的转印状况的图像。也就是说，由于作为生成可判定用户的曝光和转印处理中的转印状况的图像而采用图像处理，因而可容易且高精度进行用户的曝光条件的任意设定和模拟，特别是由于可任意设定和模拟光的照射量条件，与使用曝光机实际确认的方法相比，特别有利且实用性高。
并且，“强调处理”是指对图像中的缺陷部分进行强调化的处理。例如，列举出对于图像处理后的数据，根据预先设定的深浅阈值，对超过阈值的区域进行强调显示的处理。
在本发明中，为了提高缺陷检查(判定)精度，优选进行“模糊处理”和“强调处理”的双方的处理。
在根据上述图像处理后的数据进行缺陷检查的工序(工序(3))中，对于图像处理后的数据，可根据预先设定的深浅容许范围(例如阈值)，进行缺陷检查(判定)(构成5)。
由于灰色调部存在重复图形，因而存在重复图形的CD偏差。在考虑了这些CD偏差的基础上，用户在“上限(例如粗图形)”和“下限(例如细图形)”全都没有影响的条件下进行曝光。为此，校正后的图形必须达到上限～下限(容许偏差范围)之间。作为一例，与该上限～下限(容许偏差范围)对应，设定阈值。对于与灰色调部的未校正的正常图形的CD容许精度对应的透光率范围，可根据将±5％或-5％范围扩大的透光率范围的深浅容许范围(阈值)，进行缺陷检查(判定)。
在本发明中，根据可判定用户的曝光和转印处理中的转印状况的图像处理后的数据(图像)对校正部进行评价，根据该评价结果，可再度校正成使校正后的图形达到用户的容许范围(构成6)。而且，也能预先存储该评价结果，并能根据该存储的数据对灰色调部进行缺陷校正(构成6)。
本发明的缺陷检查方法特别适合于灰色调部是形成了在使用灰色调掩模的曝光机的极限分辨率以下的遮光图形的区域的情况(构成4)。这是因为，由于超过阈值的线宽的粗度或细度的影响通过图像处理而明显化，因而可对在用户的曝光条件下的灰色调部的图形是否有缺陷进行高精度的判定。
另外，本发明的缺陷校正和判定方法也能适用于灰色调部是形成了半透光膜的区域的情况。
本发明可利用在对于灰色调掩膜的灰色调部的新图形和与正常图形形状不同的校正图形的图形决定方法中。
具体地说，具有：
(1)以规定形状和/或排列生成上述灰色调部的新图形和与正常图形形状不同的校正图形的工序；
(2)生成包括上述灰色调部的图形的图像数据的工序；
(3)根据上述图像数据实施使得能够识别出灰色调部的缺陷的图像处理。
通过根据由上述(1)～(3)的工序获得的上述图像处理后的数据判定在用户的曝光条件下是否发生问题，反馈该判定结果，并通过决定灰色调部的形状和/或排列以使缺陷不存在，可决定取得所期望的灰色调效果的灰色调部的图形(构成9)。
本发明作为LCD制造用灰色调掩模或者显示器件制造用灰色调掩模的缺陷校正和判定方法特别有用(构成8)。这是因为，随着近年显示装置的高清晰化，上述各种问题的解决成为当务之急。
根据上述本发明，取得以下效果。
(1)通过研究用户的曝光条件(例如，光的照射量条件，有意使灰色调图形不解像的条件等)，并进行与此对应的图像处理，可根据灰色调部的图形，生成与用户的曝光后的转印图像对应的能判定出用户的曝光和转印处理中的转印状况的图像。
(2)通过生成图像数据，可使用图像处理软件进行使得能够识别出缺陷的图像处理，因而可进行高精度的缺陷检查。
(3)对于新图形，可判定是否取得所期望的灰色调效果。
(4)对于上述第1问题，即使在按照与正常图形形状近似的图形(正常图形的CD容许精度外)进行了校正时(构成7)，以及在按照与正常图形形状不同的图形进行了校正时(构成7)(即全都不能进行通常的比较检查时)，也能够通过与用户的曝光条件(例如，有意使灰色调图形不解像的条件，光的照射量条件(例如过不足的照射条件等)等)对应的转印图像，容易地进行判定。
(5)对于上述第2问题，即使在由校正引起的玻璃损坏而使玻璃基板的透光率低下时，也能判定在用户的曝光条件(例如，有意使灰色调图形不解像的条件，光的照射量条件(例如过不足的照射条件等)等)下是否发生问题。
(6)对于上述第3问题，可判定在用户的曝光条件(例如，有意使灰色调图形不解像的条件，光的照射量条件(例如过不足的照射条件等)等)下，灰色调部的图形是否有缺陷。
(7)例如，甚至能够判断出在用户的曝光和转印处理中成为问题的微小缺陷。
[实施例]
图4是对实施例使用的激光校正装置(激光CVD修理装置)的概略构成进行说明的示意图。
在该图中，激光束11通过射束扩展器12扩展，通过平凸透镜13形成平行光线，通过可变成矩形的长方形狭缝(可变矩形光阑)14整形，由成像透镜(物镜)15缩小并在光掩模20上成像，形成作为矩形光阑的像的矩形激光校正区域。在图4中，引导光16是用于在激光照射前使用显微镜17对作为可变矩形光阑14的光掩模20上的像的矩形激光校正区域进行确认，并用于使用显微镜17把激光校正区域定位在缺陷位置的照明系统，照明(卤素灯等)18位于成像透镜(物镜)15的反对侧，光掩模20被夹持在两者之间，并可使用显微镜17进行光掩模20的透过光观察的照明系统。另外，缺陷位置和激光校正区域的定位是在放置有掩模的XY粗动载物台上进行粗略定位，之后在XY微动载物台上进行正确定位。
在该装置中，具有：可借助激光照射除去膜(黑缺陷校正)的激光除去功能(激光修补功能)，以及可借助激光照射形成膜(白缺陷校正)的激光成膜功能(激光CVD功能)。
(实施例1)
图1是对本发明实施例的灰色调部的黑缺陷校正和检查方法进行说明的局部俯视图。
如图1(1)所示，在灰色调部3的遮光图形3a的一部分发生黑缺陷(压痕)时，使用图2所示的激光修补装置等，除去黑缺陷，进行近似于正常图形的校正(正常图形的CD容许精度外)(图1(2))。此时，由于使用激光修补装置除去线宽粗的部分(所谓的校正精度的追加)会使邻接的细微透光部3b(玻璃部图形)和遮光图形3a受到影响，因而不予进行。另外，在本实施例中，由于使用激光修补装置除去黑缺陷，因而细微透光部3b(玻璃部图形)受损，校正部位的透光率低下。
对于包括校正后的图形的区域的图像，进行本发明的图像处理。也就是说，使用包括灰色调部的区域进行观察和解像的光学系统，读取包括灰色调部的图像，并获得电子化的图像数据。
具体地说，采用使图2所示的激光校正装置的成像透镜(物镜)15动作，使用显微镜取得包括校正后的图形的区域的图像的合焦图像，并使用视频捕获(VC)直接读取该图像的方法等，获得对包括灰色调部的电子化图像的图像数据(图1(3))。
对该电子化图像数据进行灰度级化(丢弃色彩信息)处理，接着，进行色调补偿处理(例如是仅抽出白、黑信息的处理，在正常图形的情况下，玻璃基板部分大致相当于“白”，图形部分大致相当于“黑”)(图1(4))。另外，具有以下优点：使用视频捕获取得的图像，由于图像的电子化容易，因而可通过简单操作进行图像处理。
对于上述色调补偿处理后的图像数据，进行了“模糊处理”。具体地说，是通过进行图像细微化(分割)、对该细微化的各个图像不改变面积(强度)而进行高斯分布化、之后再度使各个图像重合(叠加)的处理，来进行“模糊处理”。进行了“模糊处理”后的状态如图1(5)所示。
此时，由正常图形组成的灰色调部(未图示)显示出大致均匀亮度(大致均匀灰色)，而包括校正后的图形的区域的图像，如图1(5)所示，具有暗的(深灰色)部分。因此，相对由正常图形组成的灰色调部的大致均匀亮度(大致均匀灰色)，对于包括具有一定程度以上暗(一定程度以上深灰色)的部分的校正图形的灰色调部，可通过对一定程度以上暗(一定程度以上深灰色)的部分的暗度(深度)、面积、位置等进行综合判断，来评价校正的部分。
在本实施例中，对于“模糊处理”后的图像，进行使图像中的缺陷部分强调化的“强调处理”。“强调处理”后的图像如图1(6)所示。该“强调处理”根据对于图像处理后的数据而预先设定的深浅阈值，实施对超过阈值的区域进行强调显示的处理。具体地说，如图2所示，对于“模糊处理”后的图像，对于与正常图形的CD容许精度对应的范围(图中，显示成灰色调部容许范围)，通过把该范围以下(阈值以下)的一定程度以上深灰色的部分用黑色显示，把该范围以上(阈值以上)的一定程度以上浅灰色的部分用白色显示，进行“强调处理”。通过该“强调处理”，借助基于阈值的数值处理，可用黑色或白色显示缺陷部分，因而可更容易且高精度进行缺陷检查。
在本实施例中，通过基于图像处理的“模糊处理”而明显化的线宽的粗细的影响，和由通过同样基于图像处理的“模糊处理”而明显化的玻璃部的损坏引起的透光率低下的影响是复合产生的影响，可高精度且容易对该影响在用户的曝光和转印处理中是否发生问题进行判定。
在本实施例中，在校正装置上校正后，可在相同校正装置上对刚被校正后的校正部位进行评价。
(实施例2)
图3是对本发明实施例的灰色调部的黑缺陷校正和检查方法进行说明的局部俯视图。
本实施例涉及以下情况：对于图3(1)所示的灰色调部3的正常图形，在图3(2)所示的为满足用户要求而设定的规格(图形线宽和形状)方面不成为问题的微小黑缺陷(凸缺陷)发生在灰色调部3的遮光图形3a的一部分。此时，由于使用激光修补装置进一步除去微小黑缺陷(凸缺陷)(所谓的校正精度的追加)会使邻接的细微透光部3b(玻璃部图形)和遮光图形3a受到影响，因而不予进行。
对于包括校正后的图形的区域的图像，进行本发明的图像处理。也就是说，使用可对包括灰色调部的区域进行观察和解像的光学系统，读取包括灰色调部的图像，并获得电子化的图像数据。
具体地说，使在缺陷的观察和检查中通常使用的显微镜的成像透镜(物镜)移动，通过照相摄影取得包括校正后的图形的区域的图像的合焦图像，对于该图像照片，使用扫描器等，获得对包括灰色调部的电子化图像的图像数据(图3(3))。
对该电子化的图像数据进行灰度级化(丢弃色彩信息)处理，接着，进行色调补偿处理(例如是仅抽出白、黑信息的处理，在正常图形的情况下，玻璃基板部分大致相当于“白”，图形部分大致相当于(“黑”)(图3(4))。
对于上述色调补偿处理后的图像数据，进行“模糊处理”。具体地说，通过进行图像细微化(分割)，对该细微化的各个图像不改变面积(强度)而进行高斯分布化，之后再度使各个图像重合(叠加)的处理，来进行“模糊处理”。进行“模糊处理”的状态如图3(5)所示。
此时，相对由正常图形组成的灰色调部(未图示)显示出大致均匀亮度(大致均匀灰色)，而包括校正后的图形的区域的图像，则如图1(5)所示，具有暗的(深灰色)部分。因此，相对由正常图形组成的灰色调部的大致均匀亮度(大致均匀灰色)，而对于包括具有一定程度以上暗(一定程度以上深灰色)的部分的校正图形的灰色调部，可通过对一定程度以上暗(一定程度以上深灰色)的部分的暗度(深度)、面积、位置等进行综合判断，来评价被校正的部分。
在本实施例中，对于“模糊处理”后的图像，进行使图像中的缺陷部分强调化的“强调处理”。“强调处理”后的图像如图3(6)所示。该“强调处理”是对于图像处理后的数据，根据预先设定的深浅阈值，实施对超过阈值的区域进行强调显示的处理。具体地说，与实施例1同样，对于“模糊处理”后的图像，对于与正常图形的CD容许精度对应的范围，通过把其以下范围的一定程度以上深灰色的部分用黑色显示，进行“强调处理”。通过该“强调处理”，基于阈值的数值处理，可用黑色或白色显示缺陷部分，因而可更容易且高精度进行缺陷检查。
在本实施例中，可高精度且容易对通过基于图像处理的模糊处理而明显化的微小黑缺陷(在为满足用户要求而设定的规格(图形线宽和形状)方面不成为问题的微小黑缺陷)在用户的曝光和转印处理中是否发生问题进行判定。
另外，在本发明中，相对由正常图形组成的灰色调部的“模糊处理”后的图像中的大致均匀亮度(大致均匀灰色)，而对于包括具有一定程度以上亮(一定程度以上浅灰色)部分的校正图形的灰色调部，可通过对一定程度以上亮(一定程度以上浅灰色)部分的亮度(浅度)、面积、位置等进行综合判断，来评价校正后的部分的白缺陷。并且，由于通过进行“强调处理”处理和基于阈值的数值处理，可用白色显示缺陷部分，因而可更容易且高精度进行缺陷检查。
(比较例)
对于图1(2)所示的校正后的图形，以及图3(2)所示的具有微小黑缺陷的图形，进行与正常图形的通常比较检查，结果，仅校正部被强调，合格与否判定是困难的。另外，对于图1(2)所示的校正后的图形，当然不能进行通常的比较检查。并且，对于图3(2)所示的微小黑缺陷，使用通常的比较检查不能进行检测。
另外，本发明不限于上述实施例。
在上述实施例1中，列举出进行近似于正常图形的校正(正常图形的CD容许精度外)的情况，除此之外，对于：(1)形成取得与正常图形同等的灰色调效果而形状和/或排列不同的校正图形的情况，(2)进行正常图形和所有校正图形的判定的情况，可在用户的曝光条件下，对灰色调部的图形是否有缺陷进行判定。
并且，对于上述第2问题的“由玻璃损坏引起的玻璃基板的透光率低下”，通过使用透过光观察的图像，可进行与用户的曝光后的转印图像对应的缺陷判定。
如以上说明那样，根据本发明，具有以下效果。
(1)通过研究用户的曝光条件，并进行与此对应的图像处理，可根据灰色调部的图形，生成与用户的曝光后的转印图像对应的使得能够判定出用户的曝光和转印处理中的转印状况的图像。
(2)通过生成图像数据，可使用图像处理软件进行使得能够识别出缺陷的图像处理，因而可进行高精度的缺陷检查。
(3)对于新图形，可判定是否取得所期望的灰色调效果。
(4)对于上述第1问题，即使在按照与正常图形形状近似的图形(正常图形的CD容许精度外)进行了校正时，以及在按照与正常图形形状不同的图形进行了校正时(即全都不能进行通常比较检查时)，也可通过与用户的曝光条件对应的转印图像容易地进行判定。
(5)对于上述第2问题，即使在由校正引起的玻璃损坏而使玻璃基板的透光率低下时，也能判定在用户的曝光条件下是否发生问题。
(6)对于上述第3问题，可判定在用户的曝光条件下，灰色调部的图形是否有缺陷。
(7)例如，能够判定出在用户的曝光和转印处理中成为问题的微小缺陷。
Claims (12)
1.一种灰色调掩模的缺陷检查方法，该灰色调掩模具有：灰色调部，是对透过量进行了调整的区域，其目的是通过减少透过该区域的光的透过量而选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚；遮光部；和透光部，
其特征在于，包括：
生成上述灰色调部的图像数据的工序；
根据上述图像数据，实施使得能够识别出灰色调部中的缺陷的图像处理的工序；以及
根据上述图像处理后的数据，进行缺陷检查的工序。
2.根据权利要求1所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述图像处理实施工序包括模糊处理。
3.根据权利要求1或2所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述图像处理实施工序包括强调处理。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述灰色调部是形成了在使用灰色调掩模的曝光机的极限分辨率以下的遮光图形的区域。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述缺陷检查是对于上述图像处理后的数据根据预先设定的深浅容许范围(阈值)来进行。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述图像数据是校正后的灰色调部的图像数据。
7.根据权利要求6所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，上述校正后的灰色调部包括与正常图形形状近似的图形，或者取得与正常图形同等的灰色调效果而形状和/或排列不同的校正图形。
8.根据权利要求1至7中任意一项所述的灰色调掩模的缺陷检查方法，其特征在于，灰色调掩模是LCD制造用掩模或者显示器件制造用掩模。
9.一种灰色调掩模的图形决定方法，该灰色调掩模具有：灰色调部，是对透过量进行了调整的区域，其目的是通过减少透过该区域的光的透过量而选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚；遮光部；和透光部，
其特征在于，具有：
(1)以规定形状和/或排列做成上述灰色调部的工序；
(2)生成上述灰色调部的图像数据的工序；以及
(3)根据上述图像数据实施使得能够识别出灰色调部中的缺陷的图像处理的工序；
根据通过上述(1)～(3)的工序获得的上述图像处理后的数据，决定灰色调部的形状和/或排列以使缺陷不存在。
10.根据权利要求9所述的灰色调掩模的图形决定方法，其特征在于，上述图像处理实施工序包括模糊处理。
11.根据权利要求9或10所述的灰色调掩模的图形决定方法，其特征在于，上述图像处理实施工序包括强调处理。
12.根据权利要求9至11中任意一项所述的灰色调掩模的图形决定方法，其特征在于，上述灰色调部是形成了在使用灰色调掩模的曝光机的极限分辨率以下的遮光图形的区域。
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