CN1517792A - 光罩保护膜的卸除装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光罩保护膜的卸除装置，用以快速卸除光罩的保护膜。本发明的光罩保护膜的卸除装置是以把手固定元件作为支点，扳动ㄇ字型把手时借助连动轴将ㄇ字型把手末端的插入元件插进光罩保护膜的孔洞，并藉杠杆原理将光罩保护膜卸离光罩，如此可避免工作人员运用公知卸除器具时不小心刮伤光罩的危险，同时节省卸除光罩保护膜所花的时间。

Description

光罩保护膜的卸除装置

技术领域

本发明涉及一种光罩保护膜的卸除装置，特别是关于应用在卸除光罩保护膜过程中，可避免不小心刮伤光罩的一种光罩保护膜的卸除装置。

背景技术

光罩在整个半导体工艺中可谓相当重要的一环，光罩是高精密度的石英平板，用来制作芯片上电子电路图像，以利集成电路的制作。所以光罩的制造和保存皆十分严格，才能使精准的光罩得到妥善保存，从而微影后所呈现的电路图像才会符合预定的要求。否则，利用有缺陷或刮伤的光罩进行微影工艺时，不完美的电路图像便会被复制到芯片上，进而使得制造的产品出现问题，浪费生产成本。

随着半导体技术的进步，半导体元件的尺寸愈来愈小，集成电路愈来愈精密。而随着微影成像技术的发展，光罩的线幅尺寸(Critical Dimension；CD)已进入0.18微米，甚至是0.13微米以下。然而，具有更精密的线幅尺寸的光罩，意味着制作光罩的成本越加昂贵，所以在保存及应用光罩时需更加小心。

一般而言，光罩借着盖于其上的光罩保护膜而得以保护，免于受到外界的伤害及沾上不必要的尘灰。

请同时参考图1A、图1B和图2，图1A和图1B所绘示为公知具有光罩保护膜的光罩的立体示意图，图2所绘示为光罩保护膜的公知卸除器具的示意图。如图1A和图1B所示的光罩10，其光罩保护膜12两旁皆具有多个孔洞14(一般共有四个，分置于两旁)，这些孔洞供工作人员利用公知卸除器具进行卸除时用。如图2所示，公知卸除器具16具有供握持的手柄18，且于卸除器具16的顶端具有支撑元件20以及供插入孔洞14的突出物22。在进行卸除光罩保护膜12时，工作人员首先固定具有光罩保护膜12的光罩10，例如用手将具有光罩保护膜12的光罩10固定于工作台上，并手持卸除器具16的手柄18，以卸除器具16的顶端的支撑元件20作为支撑点，将突出物22插入孔洞14，借着杠杆原理将光罩保护膜12推离光罩10，接着应用卸除器具16于各个孔洞14重复进行以上所述的步骤，直至完全卸除光罩保护膜12。

但是，由于一般具有光罩保护膜12的光罩10的两旁分别有两个孔洞14，所以当工作人员利用公知卸除器具16卸除光罩保护膜12时，需至少重复进行上述步骤四次，浪费不少时间。而且，在工作人员卸除光罩保护膜12的过程中，非常容易因人为的操作不当或施力不当，于光罩保护膜12推离光罩10时导致公知卸除器具16刮伤光罩10表面，造成光罩10上的电路图案损伤。因此，经由此光罩10制造出来的电路图具有缺陷，于是只能修补或重新制作昂贵的光罩10，使得制造成本大幅提高。故非常迫切需要一种光罩保护膜的卸除装置，可快速卸除光罩保护膜12，同时也可避免不小心刮伤光罩10。

发明内容

鉴于上述的发明背景，随着半导体技术和微影成像技术的进步，光罩的线幅尺寸已进入0.13微米以下，使得制作光罩的技术和成本大为提升，于是光罩的保存显得十分重要。一般应用光罩保护膜来保护光罩免受外界的伤害及尘灰。然而，光罩保护膜的公知卸除器具在操作时非常容易因人为的操作不当或施力不当，光罩在卸除过程时常被公知卸除器具刮伤，于是制作出具有缺陷的电路图案。

本发明的主要目的，在于提供一种光罩保护膜的卸除装置，将光罩固定于本发明的光罩保护膜的卸除装置的承载台上，将连接于活动把手下方的突出物同时插入光罩保护膜的孔洞中，然后将把手往下扳动，运用杠杆原理同时将光罩保护膜推离光罩，快速达到卸除光罩保护膜的目的。

本发明的上述目的是这样实现的，本发明提供的一种光罩保护膜的卸除装置，至少包括：具有至少一滑动轴的底座元件；至少一承载与固定元件，置于该底座元件上，且用以承载及固定具有光罩保护膜的光罩；至少一把手固定元件，借助至少一连接构件与至少一滑动轴连接；至少一对把手元件，借助数个转动元件与至少一把手固定元件连接；数个承接元件，借助数个连动轴分别连接至至少一对把手元件的一端；以及数个插入元件，借助数个连动轴分别连接至至少一对把手元件的一端(与承接元件同样位于至少一对把手元件的同一端)，借以当扳动至少一对把手元件时，将插入元件插进具有光罩保护膜的孔洞中，并同时借助杠杆原理将光罩保护膜同时推离光罩，然后由承接元件承托已卸离的光罩保护膜，达至快速卸除光罩保护膜的目的。此外，这些插入元件的尺寸吻合具有光罩保护膜的孔洞的尺寸。

本发明的一优点为提供一种光罩保护膜的卸除装置，工作人员利用本发明的光罩保护膜的卸除装置上的把手，将连接在把手一端的突出物同时插入具有光罩保护膜的孔洞，然后将把手往下扳动，借着杠杆原理将光罩保护膜完全推离光罩，达到卸除光罩保护膜的目的，同时可避免人为操作上的失误导致刮伤光罩的危险。

同时，本发明的另一优点为在卸除光罩保护膜的过程中，是在同一时间内将光罩保护膜完全推离光罩，而非传统卸除过程中利用公知卸除器具对每一孔洞逐一施行，故本发明在操作上方便快捷，能节省卸除光罩保护膜的时间。

下面，结合本发明的具体实施例及其附图，对本发明的技术特征及技术内容作进一步详细的说明，然而，所示附图仅供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图说明

图1A和图1B是绘示公知具有光罩保护膜的光罩的立体示意图；

图2是绘示光罩保护膜的公知卸除器具的示意图；

图3是绘示当具有光罩保护膜的光罩置于本发明的一实施例的光罩保护膜的卸除装置时的立体示意图；

图4是绘示当具有光罩保护膜的光罩置于本发明的一实施例的光罩保护膜的卸除装置时的正视示意图；

图5是绘示当具有光罩保护膜的光罩置于本发明的一实施例的光罩保护膜的卸除装置时的侧视示意图；

图6是绘示根据图3的光罩保护膜的卸除装置但不具有把手固定元件、转动元件和把手元件的立体示意图；

图7是绘示根据图3的把手元件于扳动前的放大示意图；

图8是绘示根据图3的把手元件于扳动后的放大示意图；

图9是绘示把手元件于扳动前的放大示意图；以及

图10是绘示把手元件于扳动后的放大示意图。

具体实施方式

在本发明的图1A至图10中涉及如下图号：光罩10、光罩保护膜12、孔洞14、卸除器具16、手柄18、支撑元件20、突出物22、卸除装置100、底座元件102、把手元件104、承载与固定元件106、光罩保护膜108、把手固定元件110、转动元件112、承接元件114、孔洞116、孔洞118、连接构件120、连动轴122、滑动轴124、锁紧元件126、旋钮128、插入元件130。

本发明所提供的一种光罩保护膜的卸除装置，主要是用以快速卸除光罩的保护膜，同时避免在卸除过程中不小心刮伤光罩。

请参考图3，图3所绘示为当具有光罩保护膜的光罩置于本发明的一实施例的光罩保护膜的卸除装置时的立体示意图，并请一并参考图4和图5，图4所绘示为当具有光罩保护膜的光罩置于本发明的一实施例的光罩保护膜的卸除装置时的正视示意图，图5所绘示为当具有光罩保护膜的光罩置于本发明的一实施例的光罩保护膜的卸除装置时的侧视示意图。如图3、图4和图5所示，本发明的光罩保护膜的卸除装置100至少包括：底座元件102，借以固定本发明的卸除装置100于工作台(未绘示)上；承载与固定元件106(示于图6)，置于底座元件102上，借以承载及固定具有光罩保护膜108的光罩；把手固定元件110，是经由连接构件120与底座元件102上的滑动轴124相连，使得把手固定元件110可以水平移动；把手元件104，其中此把手元件104是通过转动元件112(示于图7)与把手固定元件110连接，并以把手固定元件110作为支点，使得把手元件104可以扳动；承接元件114(示于图9)，经由连动轴122(绘示于图7和图8)而连接于把手元件104的一端；以及插入元件130(绘示于图7和图8)，经由连动轴122(绘示于图7和图8)而连接于把手元件104的一端，使得把手元件104被扳动时插入元件130可经由连动轴122的带动而插入光罩保护膜108的孔洞116和孔洞118(示于图9和图10)中，同时将光罩保护膜108推离光罩，然后由承接元件114承托已卸离的光罩保护膜108。

其中，在滑动轴124的两端还包括有一个锁紧元件126，锁紧元件126可以在滑动轴124上水平移动，并可借助旋紧锁紧元件126上的旋钮128而使锁紧元件126固定于滑动轴124上，所以利用锁紧元件126即可限制或固定连接构件120于滑动轴124上。此外，并请参考图6，图6所绘示为根据图3的光罩保护膜的卸除装置但不具有把手固定元件、转动元件和把手元件的立体示意图。

请参考图7、图8、图9和图10，图7所绘示为根据图3的把手元件于扳动前的示意图，图8所绘示为根据图3的把手元件于扳动后的示意图，图9所绘示为把手元件于扳动前的放大示意图，图10所绘示为把手元件于扳动后的放大示意图。图7和图8中仅绘示把手固定元件110、转动元件112和把手元件104的连接关系，而且扳动把手元件104前的相关连接关系如图7所示，在扳动把手元件104后的相关连接关系如图8所示。

由于把手元件104是通过转动元件112与把手固定元件110连接，因此把手元件104可以被扳动，并由于把手元件104的末端通过连动轴122连接突出的插入元件130，在扳动把手元件104后，借助转动元件112及连动轴122的带动，将突出的插入元件130插入光罩保护膜108的孔洞116和孔洞118中，此时承接元件114并未伸出(如图9所示)，避免妨碍插入元件130的动作。

在插入元件130插入光罩保护膜108的孔洞116和孔洞118时，同时以把手固定元件110作为支点，利用杠杆原理同时将光罩保护膜108往上方推离光罩，此时承接元件114伸出(如图10所示)，借以承托已卸离的光罩保护膜108。当承接元件114伸出并承托已卸离的光罩保护膜108时，插入元件130则退出光罩保护膜108的孔洞116和孔洞118。

其中，如图3、图4、图5、图7和图8所示，把手元件104可为ㄇ字型把手，而插入元件130的数量、位置及尺寸大小等是视光罩保护膜与光罩的设计而定，借以达到互相吻合，其中本发明的光罩保护膜的卸除装置的插入元件130是圆条状，而承接元件114如图9和图10所示可为扁平状。

另外，本发明中有关于制造各构件的材料并不限定，在未脱离本发明所揭示的功用和机构下，本发明中各构件皆可以不同材料制成。同时，本发明的光罩保护膜的卸除装置中插入元件的形状是与光罩保护膜的孔洞互相吻合，借以达至扳动把手元件时可将插入元件插入光罩保护膜的孔洞并进一步卸除光罩保护膜的目的。

如熟悉此技术的人员所了解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的实施范围；凡其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均包含在下述权利要求范围内。

Claims (9)

1.一种光罩保护膜的卸除装置，其特征在于，至少包括：

一底座元件，该底座元件上具有至少一滑动轴；

至少一承载与固定元件，该至少一承载与固定元件置于该底座元件上，且用以承载及固定具有一光罩保护膜的一光罩；

至少一把手固定元件，该至少一把手固定元件借助至少一连接构件与该至少一滑动轴连接；

至少一对把手元件，该至少一对把手元件借助多个转动元件与该至少一把手固定元件连接；

多个承接元件，该承接元件借助多个连动轴分别连接至该至少一对把手元件的一端；以及

多个插入元件，该插入元件借助该连动轴分别连接至该至少一对把手元件的一端，借以当扳动该至少一对把手元件时，将该插入元件插进该光罩保护膜的多个孔洞，该至少一对把手元件以该至少一把手固定元件作为支点，利用杠杆原理将该光罩保护膜卸离该光罩，然后由该承接元件承托已卸离的该光罩保护膜。

2.如权利要求1所述的光罩保护膜的卸除装置，其特征在于，所述至少一承载与固定元件是用以承载及固定具有该光罩保护膜的光罩的四角。

3.如权利要求1所述的光罩保护膜的卸除装置，其特征在于，所述插入元件的尺寸与该光罩保护膜的孔洞的尺寸吻合。

4.如权利要求3所述的光罩保护膜的卸除装置，其特征在于，所述插入元件的形状为圆条状。

5.如权利要求1所述的光罩保护膜的卸除装置，其特征在于，所述承接元件的形状为扁平状。

6.如权利要求1所述的光罩保护膜的卸除装置，其特征在于，所述至少一对把手元件为至少一对ㄇ字型把手元件。

7.如权利要求6所述的光罩保护膜的卸除装置，其特征在于，所述插入元件连接至该至少一对ㄇ字型把手元件的每一突出端。

8.如权利要求6所述的光罩保护膜的卸除装置，其特征在于，所述承接元件连接至该至少一对ㄇ字型把手元件的每一突出端。

9.如权利要求1所述的光罩保护膜的卸除装置，其特征在于，所述至少一滑动轴上还包括用以固定该至少一连接构件的多个锁紧元件。

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