CN1488769A - 烧结材料产品及其生产方法 - Google Patents

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Abstract

提供一种烧结铜合金材料产品,在其表面上牢固地形成一种膜(特别是低附着性的固体润滑剂膜,例如PTFE或二硫化钼),该膜在无润滑环境中或腐蚀环境中具有良好的滑动性和良好的抗咬合性。使用一种选择性的化学蚀刻液处理烧结铜合金材料,该溶液含有一种或多种选自过氧化物、过氧化合物、铬酸和高锰酸的化合物,和一种或多种选自磷酸、硫酸、硝酸、盐酸、氢氟酸、氢氟酸锆、氢氟酸钛、钛酸、钼酸、钨酸、钒酸、铌酸和有机螯合剂的化合物。之后,在处理材料表面上形成一润滑膜。

Description

烧结材料产品及其生产方法
发明背景
本发明涉及一种烧结材料,它用于如汽车、轮船之类的运输机动车辆、其他通用工业机械、家用电器、办公自动化设备和建筑材料或印刷。特别是本发明涉及具有良好滑动性和良好耐腐蚀性的烧结材料产品。
铜合金具有良好的导热、导电性和良好的耐腐蚀性和良好的可加工性,它们已经用于如建筑、印刷、电器、汽车及其他各种工业领域。特别是具有良好耐腐蚀性和良好滑动性的铜合金广泛用于各种齿轮、导轨、汽车部件、家用电器、泵、发动机、办公自动化设备和其他设备中的滑动部件。
在不能使用润滑油和要求长期耐用性的环境中,要对滑动表面进行表面处理。
例如,人们已提出在滑动表面上形成一层碳氟化合物树脂涂层,它在耐风蚀、防尘、防水和润滑性方面非常出众。人们提出了另一个方案,即在滑动表面上形成功能性陶瓷膜,它具有耐热、耐磨、亲水、光催化剂性质和远-红外线反射功能。
但是,上述薄膜对作为基底的烧结铜合金通常具有较差的附着力,从而导致了较差的耐用性。
JP-P1993-157115A公开了一种往烧结铜合金浸渍如聚酰胺或聚酰亚胺之类树脂的方法。上述树脂易于浸渍到烧结铜合金的孔中,从而使烧结铜合金材料具有良好的附着力。
但是,与如PTFE(聚四氟乙烯)之类的碳氟化合物树脂膜相比,上述树脂膜的滑动性较差,因此不能得到足够的滑动性能。
相反地,与如聚酰胺和聚酰亚胺之类的树脂相比,如PTFE之类的碳氟化合物树脂难以浸渍到烧结铜合金的孔中。因此,碳氟化合物树脂与对铜合金的附着性显得很差。
如二硫化钼之类的固体润滑剂显示出与碳氟化合物树脂相似的趋势。
为了改善薄膜的附着性,人们已考虑向烧结铜合金喷沙或陶瓷颗粒。
这种喷砂技术改善了附着性,但喷出颗粒穿透了(软铜合金的)基底。穿透的喷出颗粒使反面材料磨损变形,降低了抗咬合性或耐用性。由于这一原因,烧结铜合金产品不能采用喷砂技术。
发明的简要说明
本发明用于解决上述问题。
本发明的一个目的是提供一种具有良好滑动性和良好耐用性的烧结铜合金材料产品。
本发明的另一个目的是提供一种烧结铜合金材料产品,在其表面上牢固地形成了膜(特别是低附着性的固体润滑剂膜,如PTFE或二硫化钼)。
本发明的另一目的是提供一种在无润滑环境中或腐蚀环境中或具有良好滑动性和良好耐用性的烧结铜合金材料产品。
本发明者积极研究解决了上述问题。因此,如铜合金中锌之类的倾向于腐蚀的组分(易腐蚀组分)在严重腐蚀环境中受到腐蚀,产生了氧化产物。已发现腐蚀会加速咬合。为了防止更早咬合,考虑到在基底(一种烧结铜合金材料)表面上涂布固体润滑剂,如PTFE或二硫化钼。但是,固体润滑剂对基底(一种烧结铜合金材料)的附着性显得很差。因此,证明这种方法并不足够有效。
本发明者积极地进行了进一步研究。使用含有一种或多种选自过氧化物、过氧化合物、铬酸和高锰酸化合物的溶液,选择性地去除了易腐蚀组分或氧化产物。之后,形成如PTFE或二硫化钼之类的固体润滑剂膜。由此产生的产物具有侵入基底(烧结铜合金材料)孔的膜。这种构造具有改善的膜附着性。此外,已知去除腐蚀性产物会导致改善耐用性(抗腐蚀性)。
本发明建立在上述知识的基础之上。
通过采取以下生产方法解决上述问题。即,一种烧结铜合金材料产品的生产方法,该产品有烧结铜合金材料和在烧结铜合金材料上形成的膜,包括以下步骤:(A)用选择性的化学蚀刻液处理所述烧结铜合金材料,和(C)在步骤(A)之后在所述烧结铜合金材料表面上形成一种膜。
特别是一种烧结铜合金材料产品的生产方法,该产品有烧结铜合金材料和在烧结铜合金材料上形成的膜,包括以下步骤:(A)用选择性的化学蚀刻液处理烧结铜合金材料,(B)在步骤(A)之后在烧结铜合金材料表面上形成金属磷酸盐和/或金属氧化物的层,和(C)在步骤(B)之后在烧结铜合金材料的表面形成一种膜。
如果没有特别指出,选择性化学蚀刻液的处理温度和处理时间没有限制。例如,处理温度例如是室温到50℃,则处理时间例如是1-10分钟。
由此生产的烧结产物具有以下结构。
即,烧结铜合金材料有入口直径范围为10-200微米的孔。各个孔的入口孔径/内孔径平均值是2或更大。特别是入口孔径/内孔径是2-20。孔隙度是2-35体积%。
而且,在膜下形成了金属磷化物和/或金属氧化物层。
步骤(A)中使用的选择性的化学蚀刻液优选地是含有一种或多种选自过氧化物、过氧化合物、铬酸和高锰酸化合物的溶液。特别是蚀刻液优选地是含有过氧化物或过氧化合物的水溶液。
例如,过氧化合物例如是过硫酸、过磷酸、过钒酸、过铌酸、过钽酸、过硼酸、过钛酸、过钨酸、过钼酸和过铬酸。还可以使用上述酸的可溶性盐,特别是过硫酸及其盐。特别是过硫酸铵盐、钠盐和钾盐是优选的。
过氧化物优选地是过氧化氢。
过氧化物或过氧化合物的优选浓度是1-30重量%(特别是3-20重量%)。其原因是过低浓度会导致选择性去除易腐蚀组分或氧化物的作用小。相反地,过高浓度会导致晶体沉淀和蚀刻液不稳定。
优选地,选择性的化学蚀刻液含有过氧化物或过氧化合物,以及一种或多种选自磷酸、硫酸、硝酸、盐酸、氢氟酸、氢氟酸锆、氢氟酸钛、钛酸、钼酸、钨酸、钒酸、铌酸和有机螯合剂(优选地,酒石酸、柠檬酸、EDTA、有机膦酸或植酸,它们对铜有螯合作用)的化合物。
具有优选组合的选择性化学蚀刻液是包括例如磷酸-过硫酸、过磷酸-硫酸、磷酸-过氧化氢、酒石酸-过氧化氢、磷酸-硝酸-过氧化氢或硫酸-过氧化氢的水溶液。
选择性化学蚀刻液的pH优选地是1-5。用如氨水、碳酸铵、氢氧化钠、碳酸钠或氢氧化钾之类的碱适当调整pH。
在本发明中,由于以下原因,特别使用过氧化物或过氧化合物。即,通过采用喷砂方法进行的机械表面粗加工方法,或通过使用普通酸或碱进行的化学蚀刻,不能实现所要求的选择性蚀刻。而使用过氧化物或过氧化合物可以有效地实现选择性蚀刻。在步骤(A)之后,在烧结铜合金材料上形成膜,以便侵入其表面。这样能够提供非常高的固着效果和高的膜附着性。
在步骤(A)之后,优选地用含有一种或多种选自Zn、Ca、Mg、Mn、Ni、Co、Mo、W、Cu、Sn、Ti、Zr、V、In和Cr金属化合物溶液处理烧结铜合金材料。
例如,使用上述金属硫酸盐、乙酸盐、氯化物、磷酸盐、碳酸盐或氢氧化物的金属离子水溶液或使用上述金属氧化物的胶态溶胶,处理烧结铜合金材料。因此,在受到选择性化学蚀刻的烧结铜合金材料表面上形成金属磷酸盐层和/或金属氧化物层。该层的优选厚度是0.1-2微米(更优选0.2-1微米)。该层改善了耐腐蚀性。在层与在该层上形成的膜之间附着性得到改善。
在步骤(A)和步骤(B)之后,优选的是在水中快速漂洗烧结铜合金材料。换句话说,通过水洗去除残留在铜合金材料上的酸。例如,烧结铜合金材料中残留的酸造成耐腐蚀性降低。特别优选的是烧结铜合金材料进行超声波清洗。即,通过超声波清洗去除残留在烧结铜合金材料表面上的残余物,于是得到具有良好附着性的材料表面。
在水漂洗之后,优选的是用含有有机碱化合物(例如链烷醇胺)的水溶液处理烧结铜合金材料。这一处理中和在烧结铜合金材料中残留的酸,从而改善了耐腐蚀性。而且,还改善了在烧结铜合金材料上形成的膜的附着性。其分子结构有至少一个氨基的每个低分子化合物都可优选地作为有机碱化合物。例如,作为低分子化合物可列举单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、吗啉及其衍生物,和具有不同氨基的烷氧基硅烷。这些化合物改善了固体润滑剂膜的表面附着性和漆的润湿性。
在如上处理的烧结铜合金材料表面上形成了一层膜(特别是固体润滑剂膜)。
含有固体润滑剂的涂层薄膜被列为膜。例如聚四氟乙烯(PTFE)、四氟全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、石墨、二硫化钼、二硫化钨、氮化硼、氟化钨、氮化钛可适当用作固体润滑剂。作为涂层膜的粘结剂组分,例如可列举聚酯、聚烯烃、聚氨酯、聚丙烯、聚酰胺、聚酰亚胺、环氧树脂和硅氧烷之类的树脂。作为这些漆,例如可以使用由Nihon Parkerizing有限公司生产的FL-J4668,和Kawamura研究实验室公司生产的LHF4B。使用喷雾法、浸渍法、辊涂法、粉末法或电沉积法将含有各种组分的漆涂布到烧结铜合金材料上,然后烘干,以形成漆膜。漆膜的厚度优选地例如是1-40微米(特别是膜厚度是2-20微米或1-10微米)。
根据本发明,烧结铜合金含有铜。铜的含量是优选地20-95重量%(特别是50-90重量%)。另外,作为除铜之外的组分,例如列举Zn、Fe、Mn、Al、Co、P、Mo、Sn、Ni或C。具体地,烧结铜合金材料是B031、B110、B062或B060。
在选择性化学蚀刻处理之前,优选的是对烧结铜合金材料进行脱脂和清洁。因此,除去粘附在烧结铜合金材料表面上的含油物。
如上所述生产的产品证明了耐用性和抗咬合性(滑动性)得到明显改善。
具体实施方案说明
本发明的烧结材料产物包括烧结铜合金材料和在烧结铜合金材料上形成的膜。特别是膜是含有固体润滑剂的漆膜。
烧结铜合金材料有孔。每个孔的入口直径是10-200微米(特别是20-100微米)。(入口孔径)/(内径)的平均值是2或更大(特别是2-20,或5-20)。孔隙度是2-35体积%(特别是10-25体积%)。
通过用选择性的化学蚀刻液处理烧结铜合金材料,得到多孔的烧结铜合金材料。例如,将烧结铜合金材料浸在选择性的化学蚀刻液中。可选择的另一种方法是,选择性的化学蚀刻液喷在烧结铜合金材料上。另一种方法是,按照流涂法,用选择性的化学蚀刻液润湿烧结铜合金材料表面。处理温度是室温至50℃。处理时间是约1-10分钟。
在本发明的烧结材料产品中,在膜与烧结铜合金材料之间形成一层金属磷酸盐和/或金属氧化物。
本发明涉及烧结铜合金材料产品的生产方法,该产品含有烧结铜合金材料和在烧结铜合金材料上形成的膜。该生产方法包括步骤(A),该步骤用选择性的化学蚀刻液处理烧结铜合金材料。在步骤(A)之后,该生产方法有在烧结铜合金材料表面形成膜的步骤(C)。该生产方法在步骤(A)与步骤(C)之间有步骤(B),即在烧结铜合金材料表面上形成一层金属磷酸盐和/或金属氧化物。
在步骤(A)中使用的选择性的化学蚀刻液优选地是含有一种或多种选自过氧化物、过氧化合物、铬酸和高锰酸化合物的溶液。特别是蚀刻液优选地是含有过氧化物或过氧化合物的水溶液。
作为过氧化合物,可列举过硫酸、过磷酸、过钒酸、过铌酸、过钽酸、过硼酸、过钛酸、过钨酸、过钼酸和过铬酸。还可使用上述酸的可溶性盐。特别是可使用过硫酸或其盐。特别是焦硫酸的铵盐、钠盐和钾盐是优选的。过氧化物优选地是过氧化氢。
过氧化物或过氧化合物的优选浓度是1-30重量%(特别是3-20重量%)。
优选地,选择性的化学蚀刻液含有过氧化物或过氧化合物,以及一种或多种选自磷酸、硫酸、硝酸、盐酸、氢氟酸、氢氟酸锆、氢氟酸钛、钛酸、钼酸、钨酸、钒酸、铌酸或有机螯合剂(例如酒石酸、柠檬酸、EDTA、有机膦酸或植酸)的化合物。
具有优选组合的选择性蚀刻液是一种水溶液,它包括例如磷酸-过硫酸、过磷酸-硫酸、磷酸-过氧化氢、酒石酸-过氧化氢、磷酸-硝酸-过氧化氢或硫酸-过氧化氢。
选择性化学蚀刻液的pH优选地是1-5。使用如氨水、碳酸铵、氢氧化钠、碳酸钠或氢氧化钾之类的碱适当调整pH。
如果选择性化学蚀刻液不含有酸(如磷酸)或有机螯合剂,就要考虑在选择性化学蚀刻步骤之后,用酸(如磷酸)或用有机螯合剂进行后处理。但是,这一方法导致生产步骤增加。
如果必要,在步骤(A)之后进行步骤(B)。换句话说,在选择性化学蚀刻处理之后,用含有金属化合物的溶液处理烧结铜合金材料。在这样一个步骤中使用的优选金属是Zn、Ca、Mg、Mn、Ni、Co、Mo、W、Cu、Sn、Ti、Zr、V、In或Cr。例如,用上述金属的硫酸盐、乙酸酯、氯化物、磷酸盐、碳酸盐或氢氧化物水溶液(浓度是0.02-2重量%)处理烧结铜合金材料。可选择的另一种方法是,用金属氧化物的胶态溶胶处理烧结铜合金材料。由此形成一层金属磷酸盐和/或金属氧化物,它的厚度是0.1-2微米(优选0.2-1微米)。
如果必要,在步骤(A)或步骤(B)之后,优选的是在水中快速漂洗烧结铜合金材料(特别是对其进行超声波清洁)。该步骤可除去在烧结铜合金材料中的残留酸。
如果必要,水漂洗之后,用含有有机碱化合物的水溶液处理烧结铜合金材料。作为有机碱化合物,可列举其分子结构有至少一个氨基的每个低分子化合物。例如,作为低分子化合物,可列举单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、吗啉及其衍生物,和具有不同氨基的烷氧基硅烷。
在上述处理之后,在烧结铜合金材料表面形成一层膜。特别是该膜是含有固体润滑剂的漆膜(或涂层)。作为固体润滑剂,例如列举PTFE、TPA、石墨、二硫化钼、二硫化钨、氮化硼、氟化钨、氮化钛。作为漆膜粘结剂组分,例如可列举如聚酯、聚烯烃、聚氨酯、聚丙烯、聚酰胺、聚酰亚胺、环氧树脂和硅氧烷之类的树脂(热塑性树脂)。作为这些漆,可以使用例如由Nihon Parkerizing有限公司生产的FL-J4668和Kawamura研究实验室公司生产的EB3和LHF4B。使用喷雾法、浸渍法、辊涂法、粉末法或电沉积法,将含有上述各种组分的漆涂布到烧结铜合金材料上,然后烘干。因此,形成了漆膜,其厚度例如是2-20微米(特别是1-10微米)。
根据本发明,烧结铜合金是含有铜的合金。铜的含量是优选地20-95重量%(特别是50-90重量%)。另外,除铜以外的组分例如是Zn、Fe、Mn、Al、Co、P、Mo、Sn、Ni或C。具体地,烧结铜合金材料是B031、B110、B062或B060。
以下将描述具体的实施方案以及对比实施例。
具体实施方案1
粒度为150微米或更小的铜合金粉末,在150-350兆帕模制压力下,以预定形状模压。之后,模制材料在700-900℃下,在铵分解气体的气氛中烧结40分钟。用100-400兆帕精整压力修正烧结材料。
首先,用得到的烧结铜合金材料B031(铜85重量%,锡10重量%,碳5重量%)制成的滑动件脱脂。脱脂剂是碱性脱脂剂(由Nihon Parkerizing有限公司生产的FC-315)。脱脂剂浓度为20克/升。脱脂温度是60℃。脱脂时间为2分钟。
脱脂后,在水中漂洗滑动件。之后,在含有过氧合焦硫酸钾(浓度5重量%)和硫酸(浓度5重量%)的水溶液中浸渍该滑动件。浸渍温度27℃。浸渍时间180秒。
浸渍之后,在流动水中清洗滑动件。
之后,用喷枪喷涂FL-J4668(主要组分是PTFE)(由Nihon Parkerizing有限公司生产),以使干燥厚度为3微米。然后,在200℃烘干喷涂膜。
具体实施方案2
使用与具体实施方案1相似的方法获得的用B031制成的滑动件。
首先,滑动件脱脂。脱脂剂是FC-315。脱脂剂浓度为20克/升。脱脂温度是60℃。脱脂时间为2分钟。
脱脂后,在水中漂洗滑动件。
之后,在含有过氧合磷酸钠(浓度5重量%)和磷酸(浓度10重量%)的水溶液中浸渍该滑动件。浸渍温度27℃。浸渍时间180秒。
浸渍之后,在流动水中清洗滑动件。
之后,用喷枪喷涂LHF4B(主要组分是PTFE)(由Kawamura研究实验室公司生产),以使干燥厚度为4微米。然后,在200℃烘干喷涂膜。
具体实施方案3
使用与实施方案1相似的方法获得的用B031制成的滑动件。
首先,滑动件脱脂。使用的脱脂剂是FC-315。脱脂剂浓度为20克/升。脱脂温度60℃。脱脂时间2分钟。
脱脂后,在水中漂洗滑动件。
之后,在含有铬酸(浓度5重量%)和过氧化氢(浓度5重量%)的水溶液浸渍该滑动件。浸渍温度27℃。浸渍时间180秒。
浸渍之后,在流动水中清洗滑动件。
接下来,在含有磷酸(浓度5重量%)和硝酸锌(2重量%)的水溶液中浸渍该滑动件。浸渍温度45℃。浸渍时间60秒。
然后,该滑动件进行超声波清洗(25千赫×30分钟)。
之后,用喷枪喷涂FL-J4668,以形成干燥厚度3微米。然后,在200℃烘干喷涂的膜。
具体实施方案4
使用与实施方案1相似的方法获得的用B031制成的滑动件。
首先,滑动件脱脂。使用的脱脂剂是FC-315。脱脂剂浓度为20克/升。脱脂温度60℃。脱脂时间2分钟。
脱脂后,在水中漂洗滑动件。
之后,在含有过氧合焦硫酸钾(浓度5重量%)和硫酸(浓度5重量%)的水溶液中浸渍该滑动件。浸渍温度27℃。浸渍时间180秒。
浸渍之后,在流动水中清洗滑动件。
接下来,在单乙醇胺(浓度0.5重量%)水溶液中浸渍该滑动件,然后隔15秒后提起来。接着该滑动件在120℃干燥10秒。
之后,用喷枪喷涂FL-J4668,以便形成干燥厚度3微米。然后,在200℃烘干喷涂膜。
对比实施例1
使用与实施方案1相似的方法获得的用B031制成的滑动件。
首先,滑动件脱脂。脱脂剂是FC-315。脱脂剂浓度为20克/升。脱脂温度60℃。脱脂时间2分钟。
脱脂后,在水中漂洗滑动件。
之后,在盐酸(浓度10重量%)水溶液中浸渍该滑动件。浸渍温度27℃。浸渍时间180秒。
浸渍之后,在流动水中清洗滑动件。
之后,用喷枪喷涂FL-J4668,形成干燥厚度3微米。然后,在200℃烘干喷涂膜。
特性
检查上述具体实施方案所得到滑动件漆膜(润滑膜)的附着性、耐腐蚀性和滑动性。结果列在表1中。并且检查蚀刻处理后B031材料的表面轮廓。结果列在表1中。
                                 表1
                               漆膜                       B031材料表面
                 附着性      耐腐蚀性      滑动性    孔隙度    孔径大小比率
具体实施方案1      ○           ○           ○       27.9         15.6
具体实施方案2      ○           ○           ○       30.6         16.7
具体实施方案3      ○           ○           ○       25.1         13.4
具体实施方案4      ◎           ○           ◎       33.5         18.9
对比实施例1        ×                        △                       ×               1.4          1.2
附着性(横切试验):
用切刀切割漆膜,形成100个格子,每个格子1毫米×1毫米。接下来,玻璃纸胶带贴在漆膜上,再剥去。在这个试验中,符号◎代表膜没有被剥去的情况。符号○代表一片或三片膜被剥去的情况。符号△代表4或20片膜被剥去的情况。符号×代表21或更多片膜被剥去的情况。
耐腐蚀性:
遵照JIS-K540进行喷盐试验。符号○表示没有任何生锈的迹象。符号△表示有一个生锈的迹象。在发现生锈的情况中,材料被当作不合格物品处理。
滑动性:
用SRV摩擦/磨损试验机检查直到出现咬合的负载(N)。以50N/分钟的速度逐步提高施加的负载。振动频率是50赫,振幅是2毫米。用SUJ-2制成的直径为10毫米的钢球,用作反向材料。不用润滑剂。施加负载为5000N的情况用符号◎表示。施加负载为4000-5000N或更大的情况用符号○表示。施加负载为2000-4000N的情况用符号△表示。施加负载小于2000N的情况用符号×表示。
孔隙度:
根据ISO 2738测定孔隙度:可渗透烧结金属材料的denst B、油含量和openporosit B确定。
孔径大小比率:
在显微镜下与使用孔数量测量器得到孔径大小比率。首先,得到入口直径10-200微米的孔。其次,得到相应的内孔径。通过计算其商得到平均值。
上述结果证明了,本发明烧结材料有优异的膜附着性,该膜是通过选择性化学蚀刻处理在烧结材料上形成的。而且,烧结材料具有良好的耐腐蚀性和良好的滑动性。即,即使在仅进行了简单蚀刻而没有进行选择性化学蚀刻的对比实施例1情况下,以与该具体实施方案相似的方法在烧结材料上形成了膜。但是,该膜的附着性、耐腐蚀性和滑动性都较差。
根据本发明,如PTFE或二硫化钼之类的固体润滑剂膜能以附着状牢固地固定在烧结材料上。在润滑条件或腐蚀条件下能达到良好的滑动性。

Claims (14)

1、一种烧结材料产品,该产品含有:
一种烧结铜合金材料;和
一种在所述烧结铜合金材料上形成的膜;
所述的烧结铜合金材料有每个入口直径为10-200微米的孔;
其中所述各个孔的入口孔径/内孔径的平均值是2或更大。
2、根据权利要求1所述的烧结材料产品,其中所述孔的孔隙度是2-35体积%,所述的入口孔径/内孔径的平均值是2-20。
3、根据权利要求1所述的烧结材料产品,它还包括在所述膜下的金属磷酸盐和/或金属氧化物层。
4、根据权利要求1所述的烧结材料产品,其中所述的膜是一种含有固体润滑剂的膜。
5、一种烧结材料产品的生产方法,该产品有烧结铜合金材料和在所述烧结铜合金材料上形成的膜,该方法包括以下步骤:
(A)用选择性的化学蚀刻液处理所述的烧结铜合金材料,和
(C)在步骤(A)之后,在所述的烧结铜合金材料表面上形成一种膜。
6、根据权利要求5所述的方法,该方法还包括下述步骤:
(B))在所述步骤(A)之后与在所述步骤(C)之前,在所述烧结铜合金材料表面上形成金属磷酸盐和/或金属氧化物层。
7、根据权利要求5所述的方法,其中所述的选择性化学蚀刻液含有一种溶液,该溶液含有一种或多种选自过氧化物、过氧化合物、铬酸和高锰酸的化合物。
8、根据权利要求5所述的方法,其中所述的选择性化学蚀刻液含有一种溶液,该溶液含有一种或多种选自过氧化物、过氧化合物、铬酸和高锰酸的化合物,和一种或多种选自磷酸、硫酸、硝酸、盐酸、氢氟酸、氢氟酸锆、氢氟酸钛、钛酸、钼酸、钨酸、钒酸、铌酸和有机螯合剂的化合物。
9、根据权利要求6所述的方法,其中所述步骤(B)包括用含有一种或多种选自Zn、Ca、Mg、Mn、Ni、Co、Mo、W、Cu、Sn、Ti、Zr、V、In和Cr的金属化合物溶液处理所述烧结铜合金材料的步骤。
10、根据权利要求5所述的方法,该方法还包括在所述步骤(A)之后与在所述步骤(C)之前,超声波清洗所述烧结铜合金材料的步骤。
11、根据权利要求5所述的方法,该方法还包括在所述步骤(A)之后与在所述步骤(C)之前,用含有有机碱化合物的溶液处理所述烧结铜合金材料的步骤。
12、根据权利要求6所述的方法,该方法还包括在所述步骤(B)之后与在所述步骤(C)之前,超声波清洗所述烧结铜合金材料的步骤。
13、根据权利要求6所述的方法,该方法还包括在所述步骤(B)之后与在所述步骤(C)之前,用含有有机碱化合物的溶液处理所述烧结铜合金材料的步骤。
14、根据权利要求5所述的方法,其中所述的膜含有固体润滑剂。
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