CN1475609A - 近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法 - Google Patents
近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1475609A CN1475609A CNA031415237A CN03141523A CN1475609A CN 1475609 A CN1475609 A CN 1475609A CN A031415237 A CNA031415237 A CN A031415237A CN 03141523 A CN03141523 A CN 03141523A CN 1475609 A CN1475609 A CN 1475609A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- ions
- mixed melt
- crystal
- lithium niobate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 33
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Inorganic materials [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- IIPYXGDZVMZOAP-UHFFFAOYSA-N lithium nitrate Inorganic materials [Li+].[O-][N+]([O-])=O IIPYXGDZVMZOAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 12
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 239000006184 cosolvent Substances 0.000 claims description 10
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 24
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 9
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910013553 LiNO Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
一种近化学计量比铌酸锂晶片(SLN)的制备方法,其特点是采用反质子交换反应加热炉进行,先将用K2O助熔剂提拉技术生长的LiNbO3晶片双面抛光,然后将其浸入置于反质子交换反应加热炉中含Li离子的混合熔体中,混合熔体中的Li离子将取代K离子进入晶体中,部分K离子从晶体中扩散出来,进而提高晶片中Li2O的含量;所述的含Li离子的混合熔体为KNO3、NaNO3和LiNO3组成的硝酸盐混合熔体,其交换温度为:300-350℃,交换时间根据情况选择:0.5-15小时。本发明简单易操作,适宜批量生产,从而提高晶体的[Li]/[Nb]的比例>49.9mol%。
Description
技术领域
本发明是一种近化学计量比铌酸锂(Stoichiometric LiNbO3,简称SLN)晶片的制备方法,具体涉及到用类似反质子交换(Reverse ProtonExchange,简称RPE)法制备SLN基片。
背景技术
LiNbO3晶体是应用面很广的压电、铁电和电光晶体。目前商用晶体是利用提拉法从同成份比LiNbO3熔体中生长得到,虽然此方法生长出的晶体有很好的光学质量和一致性,但它是一种典型的非化学计量比晶体,由于晶体中[Li]/[Nb]约为48.6/51.4,严重缺Li,在晶体中形成大量的本征缺陷,对LiNbO3性能产生了许多不利影响,限制了该晶体的应用。而SLN晶体因为晶格完整,消除了缺陷的不利影响,晶体的许多性能得到了改善,如矫顽电场显著减小、光电系数、非线性光学系数、光折变灵敏度和光致折射率变化都有一定程度的提高。
目前,国际上主要发展了3种获得SLN晶体的方法。其中,助熔剂提拉技术以起独特的优势得到了人们的广泛注意。1992年乌克兰科学家G.Malovichko等人采用这种技术从掺入K2O助熔剂的LiNbO3熔体中生长,K2O的掺入降低了熔体的熔点,当熔体中K2O的含量达到11mol%时,熔体温度降低了大约100℃,生长出的LN晶体中的[Li]/[Nb]非常接近化学计量比(参见Phys.Stat.Sol.,(a)第133卷,1992年,第K29页)。
在先技术生长的SLN单晶,有明显缺点:[Li]/[Nb]难以达到真正的化学计量比,而且,生长的SLN单晶中掺杂有少量的K离子,少量K离子的存在会影响SLN单晶的物理性能。
发明内容
本发明的目的是提供一种SLN晶片的制备方法,以克服在先技术生长的LiNbO3单晶中[Li]/[Nb]没有达到真正的化学计量比和K离子掺杂的缺点。
本发明的技术解决方案是:
一种近化学计量比铌酸锂晶片(SLN)的制备方法,其特点是采用反质子交换反应加热炉进行,先将用K2O助熔剂提拉技术生长的LiNbO3晶片双面抛光,然后将其浸入置于反质子交换反应加热炉中含Li离子的混合熔体中,混合熔体中的Li离子将取代K离子进入晶体中,部分K离子从晶体中扩散出来,进而提高晶片中Li2O的含量;所述的含Li离子的混合熔体为KNO3、NaNO3和LiNO3组成的硝酸盐混合熔体,硝酸盐混合熔体中KNO3和NaNO3的浓度比为1∶1,而KNO3和LiNO3的浓度比为1∶(0.1-1);其交换温度为:300-350℃,交换时间根据情况选择:0.5-15小时。
所述的近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法,包括如下具体的工艺流程:
<1>将KNO3、NaNO3和LiNO3粉料按所需比例混合均匀,配比为KNO3∶NaNO3∶LiNO3=1∶1∶(0.1-1),制成含Li离子的混合熔体;
<2>将以上混合熔体(5)装入石英管(4)内,将该石英管(4)装入反质子交换反应加热炉中,然后升温,将上述混合熔体(5)加热到所需的交换温度,恒温一段时间(0.5-1hr);
<3>然后将用K2O助溶剂提拉技术生长的LiNbO3晶片(6)浸入混合熔体(5)中,在选定的交换温度下交换时间为0.5-15hr;
<4>用预热的钳子将制备好的近化学计量比铌酸锂基片缓慢地从石英管(4)中取出,在空气中自然冷却,即获得所需的近化学计量比铌酸锂晶片。
所述的K2O助溶剂提拉技术生长的LiNbO3晶片(6)的厚度可为0.5-1mm。
与在先技术相比,本发明采用类似于RPE法将用K2O助溶剂提拉技术生长的LiNbO3中的K离子交换出来,从而提高晶体的[Li]/[Nb](>49.9mol%)。本发明简单易操作,适宜批量生产,以满足光电子技术迅猛发展的市场需求,具有良好的经济效益。
附图说明
图1是反质子交换(RPE)反应加热炉示意图
具体实施方式
本发明近化学计量比铌酸锂晶片(SLN)的制备方法,所用的反质子交换(RPE)法制备SLN基片的装置称为反质子交换(RPE)反应加热炉,如图1所示,炉体内部的结构包括石英管4、发热体1和保温材料层2,发热体1一般为电阻丝,周围和顶板有保温材料层2,石英管4是置于炉体内的中心位置,内置含Li离子的混合熔体5和LiNbO3晶片6,温度计7从石英管4顶部插入混合熔体5中,炉体之外有电阻加热电源、稳压电源和818P4欧路精密控温系统(图中未示),监控和测温热电偶3。
本发明中SLN晶片的制备方法,是先将用K2O助熔剂提拉技术生长的LiNbO3晶片双面抛光,然后将其浸入含Li离子的混合熔体中,混合熔体中的Li离子将取代K离子进入晶体中,部分K离子从晶体中扩散出来,进而提高晶片中Li2O的含量。含Li离子的混合熔体5为KNO3、NaNO3和LiNO3组成的硝酸盐混合熔体,其中,硝酸盐混合熔体中KNO3和NaNO3的浓度比为1∶1,而KNO3和LiNO3的浓度比为1∶(0.1-1)。交换温度为:300-350℃,交换时间为:0.5-15hr。
本发明的Li离子置换K离子进入晶体的反应式是:
反应式中Li1-xKxNbO3是用K2O助熔剂提拉技术生长的含有x%摩尔比K+离子的铌酸锂晶体分子式,其中0<x<1,经过以上的反质子交换(RPE)后,有y%摩尔比K+离子被Li+离子置换出来,其中0<y<1,。
本发明的SLN晶片制备的工艺流程如下:
<1>将KNO3、NaNO3和LiNO3粉料按所需比例混合均匀,我们选取配比为KNO3∶NaNO3∶LiNO3=1∶1∶(0.1-1),制成含Li离子的混合熔体5。
<2>将以上混合熔体5装入石英管4内,然后升温,将上述混合熔体5加热到所需的温度:300-350℃,恒温一段时间(0.5-1hr)。
<3>然后将用K2O助溶剂提拉技术生长的LiNbO3晶片6(厚度为0.5-2mm)浸入混合熔体中,交换合适的时间:0.5-15hr。
<4>用预热的钳子将制备好的SLN基片缓慢地从石英管中取出,在空气中自然冷却,即获得所需的SLN晶片。
下面举例说明本发明。
实施例1:
按工艺步骤<1>和<2>将KNO3∶NaNO3∶LiNO3=1∶1∶0.1(摩尔比)粉料混合均匀,装入石英管内,加热到300℃,形成含有LiNO3的硝酸盐混合熔体,恒温30min左右;
按工艺步骤<3>将长度为20mm,宽为8mm,厚度为1mm的用K2O助溶剂提拉技术生长的LiNbO3晶片浸入熔体中,交换3hr;
按工艺步骤<4>用预热的钳子将制备好的SLN晶片缓慢地从石英管中取出,在空气中自然冷却。
实施例2;
按工艺步骤<1>和<2>将KNO3∶NaNO3∶LiNO3=1∶1∶0.5(摩尔比)混合均匀后装入石英管内,加热到320℃,形成含有LiNO3的硝酸盐混合熔体,恒温30min左右;
按工艺步骤<3>将长度为20mm,宽为8mm,厚度为1mm用K2O助溶剂提拉技术生长的LiNbO3晶片浸入熔体中,交换10hr;
<3>用预热的钳子将制备好的SLN晶片缓慢地从石英管中取出,在空气中自然冷却。
实施例3;
按工艺步骤<1>将KNO3∶NaNO3∶LiNO3=1∶1∶1(摩尔比)混合均匀后装入石英管内,加热到350℃,形成含有LiNO3的硝酸盐混合熔体,恒温30min左右;
按工艺步骤<2>将长度为20mm,宽为8mm,厚度为1mm的用K2O助溶剂提拉技术生长的LiNbO3晶片浸入熔体中,交换13hr;
按工艺步骤<4>用预热的钳子将制备好的SLN晶片缓慢地从石英管中取出,在空气中自然冷却。
本发明同样适合用助溶剂提拉技术生长的各种掺杂的LiNbO3晶片,如掺镁和锌(掺杂量为0-5mol%)等。
所制备的SLN晶片中K离子含量很低,Li2O的含量达到49.9mol%以上,可以满足日益发展的光电技术的市场需求。
Claims (3)
1、一种近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法,其特征是采用反质子交换反应加热炉进行,先将用K2O助熔剂提拉技术生长的LiNbO3晶片双面抛光,然后将其浸入置于反质子交换反应加热炉中含Li离子的混合熔体中,混合熔体中的Li离子将取代K离子进入晶体中,部分K离子从晶体中扩散出来,进而提高晶片中Li2O的含量;所述的含Li离子的混合熔体为KNO3、NaNO3和LiNO3组成的硝酸盐混合熔体,其中,硝酸盐混合熔体中KNO3和NaNO3的浓度比为1∶1,而KNO3和LiNO3的浓度比为1∶(0.1-1);其交换温度为:300-350℃,交换时间为:0.5-15hr。
2、根据权利要求1所述的近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法,其特征是具体的工艺流程如下:
<1>将KNO3、NaNO3和LiNO3粉料按所需比例混合均匀,我们选取配比为KNO3∶NaNO3∶LiNO3=1∶1∶(0.1-1),制成含Li离子的混合熔体;
<2>将以上混合熔体(5)装入石英管(4)内,将该石英管(4)装入反质子交换反应加热炉中,然后升温,将上述混合熔体(5)加热到所需的交换温度,恒温一段时间0.5-1hr;
<3>然后将用K2O助溶剂提拉技术生长的LiNbO3晶片(6)浸入混合熔体(5)中,在交换温度下交换时间为0.5-15hr;
<4>用预热的钳子将制备好的近化学计量比铌酸锂基片缓慢地从石英管(4)中取出,在空气中自然冷却,即获得所需的近化学计量比铌酸锂晶片。
3、根据权利要求1或2所述的近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法,其特征在于所述的K2O助溶剂提拉技术生长的LiNbO3晶片(6)的厚度为0.5-2mm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 03141523 CN1263901C (zh) | 2003-07-11 | 2003-07-11 | 一种近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 03141523 CN1263901C (zh) | 2003-07-11 | 2003-07-11 | 一种近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1475609A true CN1475609A (zh) | 2004-02-18 |
CN1263901C CN1263901C (zh) | 2006-07-12 |
Family
ID=34155329
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 03141523 Expired - Fee Related CN1263901C (zh) | 2003-07-11 | 2003-07-11 | 一种近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN1263901C (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105133016A (zh) * | 2015-10-09 | 2015-12-09 | 新疆大学 | 钒酸锂非线性光学晶体的制备方法和用途 |
-
2003
- 2003-07-11 CN CN 03141523 patent/CN1263901C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105133016A (zh) * | 2015-10-09 | 2015-12-09 | 新疆大学 | 钒酸锂非线性光学晶体的制备方法和用途 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1263901C (zh) | 2006-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102251281B (zh) | 采用液相生长法的ZnO单晶的制造方法 | |
CN109574506A (zh) | 一种CsPb1-xTixBr3量子点微晶玻璃及其制备方法 | |
CN108751737B (zh) | 锡掺杂氧化镍-二氧化锡复合纳米晶薄膜及其制备方法 | |
CN111455453A (zh) | 一种生长超晶格铌酸锂晶体的方法 | |
CN108546936A (zh) | 一种低温制备高性能ZnO基透明导电氧化物薄膜的方法 | |
CN1263901C (zh) | 一种近化学计量比铌酸锂晶片的制备方法 | |
CN1304648C (zh) | 钛酸铋钠钾系非铅铁电压电单晶及其生长方法 | |
CN100344800C (zh) | 一种三硼酸铯单晶的助熔剂生长方法 | |
CN1547627A (zh) | 磁性石榴石单晶膜形成用衬底、光学元件及其制备方法 | |
CN1424437A (zh) | 掺钕钇铝石榴石和钇铝石榴石复合激光晶体的制备方法 | |
JPH05504328A (ja) | ドーピング処理された結晶性組成物およびそれらの製造方法 | |
WO2005056887A1 (en) | Method for manufacturing garnet single crystal and garnet single crystal manufactured thereby | |
CN1026823C (zh) | 通过液相外延生长的M1-xNxTiAst-aPaO5波导 | |
CN1216185C (zh) | 坩埚下降法生长近化学计量比铌酸锂单晶的方法 | |
CN109868502B (zh) | 一种稀土掺杂铌酸盐单晶上转换发光材料及其制备方法 | |
CN111187005A (zh) | 一种硫系红外微晶玻璃及其制备方法 | |
CA1089114A (en) | Method of producing a dielectric of two-layer construction | |
CN114645315A (zh) | 一种准相位匹配器件ppktp用ktp晶体及其制备方法 | |
CN113233772B (zh) | 一种调控玻璃网络结构实现高介电常数及高击穿性能的玻璃陶瓷及其制备方法 | |
JP6887678B2 (ja) | 磁性ガーネット単結晶の製造方法 | |
JPH05117096A (ja) | ニオブ酸リチウム単結晶の薄膜の育成方法 | |
CN118241299A (zh) | 一种磷酸氧钛铷电光晶体的生长方法 | |
JPH05897A (ja) | LiNbO3の配向膜を有する複合結晶体およびその製法 | |
JP3013206B2 (ja) | ニオブ酸リチウム単結晶の製造方法 | |
RU2278833C1 (ru) | Способ получения стеклокристаллического пироэлектрического материала |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20060712 |