CN1475347A - 液滴吐出头的驱动装置、制膜装置、驱动方法 - Google Patents

液滴吐出头的驱动装置、制膜装置、驱动方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及液滴吐出头的驱动装置、制膜装置、液滴吐出头的驱动方法。由与各地址(101)对应，记录关于多个不同的线分波形的倾斜值的信息的存储器(102)、当指定地址(101)时，根据所定的读出定时，从对应的存储器读出关于线分波形的倾斜值的信息，根据关于倾斜值的信息形成线分波形，通过组合线分波形生成驱动波形的控制IC(10)、由驱动波形驱动压电换能器(30)，从吐出部分吐出液滴的驱动装置(103)构成。而且，线分波形是为了随着趋向该线分波形的端部使电压变化量的值变小而形成的。通过这种构成，可以抑制压电换能器的恶化，长期地从液滴吐出头稳定地吐出液滴。

Description

液滴吐出头的驱动装置、制膜装置、驱动方法
技术领域
本发明涉及用所定的驱动波形驱动压电换能器，从吐出部分吐出液滴的液滴吐出头的驱动方法等，特别是涉及通过组合存储在存储器中的线分波形生成驱动波形的液滴吐出头的驱动装置、制膜装置、液滴吐出头的驱动方法、制膜方法和电子设备及器件的制造方法。
背景技术
在液晶显示面板的制造装置和计算机终端的打印装置中利用的称为喷墨打印机的液滴吐出装置中，使用通过压电元件的伸缩工作吐出液滴的换能器驱动型的液滴吐出头。压电换能器，例如由压电(PZT)元件等构成，与输入的驱动波形(例如压电波形)相应地进行伸长、收缩。
在这样构成的液滴吐出头的驱动装置中，由如图16所示的大致台形的方形波构成的电压波形驱动压电换能器。例如，图中的电位Vcom是加在压电换能器上的所定电压值，电位VH是对于液滴吐出方向最大地收缩压电换能器的电压值，另一方面，电位VL是对于液滴吐出方向最大地伸长压电换能器的电压值。在层积型的压电元件中，当所加电压为电位VH时，对于液滴吐出方向该压电元件进行最大收缩，当所加电压为电位VL时，从该收缩解放出来进行伸长，超过所谓的静止状态的变位0，惯性地变位到液滴吐出方向。通过这种压电换能器的伸缩工作，液滴吐出装置吐出液滴。
又，图16所示的驱动波形，例如，是由D/A变换器生成的，当在它的输出端观看时，如图17的放大图所示成为对于单位时间ΔT每次上升一定电压ΔV的阶段波形。例如在下面的专利文献1中揭示了用这种驱动波形驱动压电换能器吐出液滴的已有的液滴吐出装置。
[专利文献1]
日本2002年公布的2002-059614号专利公报
这里，因为压电换能器重复进行伸长和收缩的机械工作，所以元件自身因疲劳而恶化，但是由于急剧的伸缩工作引起热负荷的增大、和由于从伸缩状态到停止状态的急剧的转移工作引起机械负荷的增大，加速了元件的恶化，使寿命缩短，这是众所周知的。
而且，在根据上述已有技术的液滴吐出头的驱动装置中，如图16所示，因为由台形波驱动压电换能器，所以在波形的各变化点A0～A5，压电换能器的工作状态急剧变化。从而，存在着如上所述，因为对于压电换能器的机械的和热的负荷增大，所以加快了元件的恶化，不能够长期地从液滴吐出头稳定地吐出液滴的问题。
发明内容
本发明就是鉴于上述问题提出的，本发明的目的是提供可以抑制压电换能器的恶化，长期地进行稳定的液滴吐出工作的液滴吐出头的驱动装置、制膜装置、液滴吐出头的驱动方法、制膜方法和电子设备及器件的制造方法。
为了达到上述目的，本发明的液滴吐出头的驱动装置的特征是在具有压电换能器，用上述压电换能器吐出功能性液体的液滴吐出头的驱动装置中，备有与各地址空间对应的存储器、将关于多个不同的线分波形的倾斜值的信息的存储在该存储器中，根据所定的读出定时，从对应的上述存储器读出关于上述线分波形的倾斜值的信息，根据关于该倾斜值的信息形成线分波形，通过组合该线分波形生成驱动波形的控制装置、和由该驱动波形驱动上述压电换能器，使从上述液滴吐出头的吐出部分吐出液滴的驱动装置，关于上述倾斜值的信息包含每个单位区间的线分波形的电压变化量的信息，对于上述线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量的信息，分别存储在各存储器中。
如果根据本发明，则因为生成作为加在压电换能器上的电压的驱动波形的控制装置，当形成成为驱动波形的线分波形时，将关于它的倾斜值的信息作为每个单位区间的线分波形的电压变化量，对于1个线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量，所以能够用多个电压变化量形成线分波形将驱动波形作成曲线波形。从而，因为在压电换能器上加上曲线的驱动波形，所以能够使压电换能器的伸缩工作变得平缓，抑制机械的、热的负荷增大。
为了达到上述目的，本发明的液滴吐出头的驱动装置的特征是在具有压电换能器，用上述压电换能器吐出功能性液体的液滴吐出头的驱动装置中，备有输出关于多个不同的线分波形的倾斜值的信息的输出部分、根据关于从上述输出部分输出的上述倾斜值的信息，形成线分波形，通过组合该线分波形生成驱动波形的控制装置、和由该驱动波形驱动上述压电换能器，使从上述液滴吐出头的吐出部分吐出液滴的驱动装置，上述输出部分，作为关于上述倾斜值的信息，包含每个单位区间的线分波形的电压变化量的信息，输出对于上述线分波形对应地附加多个数值不同的电压变化量的信息的信息。
如果根据本发明，则因为根据关于从输出部分输出的线分波形的倾斜值的信息形成线分波形，所以对线分波形的倾斜没有限制，提高了生成线分波形的自由度。而且，因为关于线分波形的倾斜值的信息，作为每个单位区间的线分波形的电压变化量，对于1个线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量，所以能够将驱动波形作成曲线波形。
又，在上述液滴吐出头的驱动装置的发明中，最好上述线分波形是由随着趋向上述驱动波形的端部电压变化量变小的线分波形形成的。
如果根据本发明，则因为随着趋向端部电压变化量变小而形成线分波形，所以没有跳跃边缘(急剧的变化点)。因此，能够使压电换能器的工作状态的变化变得平缓，抑制机械的、热的负荷增大。
又，在上述液滴吐出头的驱动装置的发明中，上述驱动波形的特征是包含用于吐出上述液滴的吐出波形和不吐出上述液滴那样地使上述压电换能器微振动的微振动波形。
如果根据本发明，则不仅能够将吐出液滴时的吐出波形，而且也能够将为了防止由于功能性液体的干燥引起的吐出不稳定和堵塞喷头孔使压电换能器微振动的微振动波形作成曲线波形。
又，为了达到上述目的，本发明的制膜装置的特征是它备有上述液滴吐出头的驱动装置，从上述液滴吐出头吐出功能性液体对被处理物进行制膜处理。
如果根据本发明，则因为制膜装置备有用机械的和热的负荷小的压电换能器构成的液滴吐出头，所以能够提供能够长期地稳定地吐出液滴的制膜装置。
又，在上述发明中，上述制膜装置作为制造滤色器的装置是令人满意的。
如果根据本发明，则因为能够长期地稳定地吐出液滴的制膜装置也是制造滤色器的装置，所以可以廉价地制造出由与已有技术比较能够高精度地控制膜厚、平坦度、形成位置等的薄膜构成的高品质的滤色器。
又，在上述发明中，上述制膜装置作为制造成为有机场致发光元件的构成要素的薄膜的装置是令人满意的。
如果根据本发明，则因为能够长期地稳定地吐出液滴的制膜装置也是制造有机场致发光(EL)元件的装置，所以可以廉价地制造出由与已有技术比较能够高精度地控制膜厚、平坦度、形成位置等的薄膜构成的高品质的有机EL元件(装置)。
又，为了达到上述目的，本发明的液滴吐出头的驱动方法的特征是在吐出功能性液体液滴吐出头的驱动方法中，将关于多个不同的线分波形的倾斜值的信息存储在与各地址空间对应的存储器中，当指定上述地址空间时，根据所定的读出定时，从对应的存储器读出关于上述线分波形的倾斜值的信息，根据关于该倾斜值的信息形成线分波形，通过组合该线分波形生成驱动波形，由该驱动波形驱动压电换能器，使从吐出部分吐出液滴，关于上述倾斜值的信息包含每个单位区间的线分波形的电压变化量的信息，对于上述线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量的信息，分别存储在各存储器中。
如果根据本发明，则因为在液滴吐出头的驱动方法中，当形成成为液滴吐出头中的压电元件的驱动波形的要素的线分波形时，将关于它的倾斜值的信息作为每个单位区间的线分波形的电压变化量，对于1个线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量，所以能够用多个电压变化量形成线分波形将驱动波形作成曲线波形。从而，因为在压电换能器上加上曲线的驱动波形，所以能够使压电换能器的伸缩工作变得平缓，抑制机械的、热的负荷增大。
又，为了达到上述目的，本发明的液滴吐出头的驱动方法的特征是在吐出功能性液体的液滴吐出头的驱动方法中，输出关于多个不同的线分波形的倾斜值的信息，根据关于从上述输出部分输出的上述倾斜值的信息，形成线分波形，通过组合该线分波形生成驱动波形，由该驱动波形驱动上述压电换能器，使从上述液滴吐出头的吐出部分吐出液滴，关于上述倾斜值的信息包含每个单位区间的线分波形的电压变化量的信息，对于上述线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量的信息。
如果根据本发明，则因为根据关于从输出部分输出的线分波形的倾斜值的信息形成线分波形，所以对线分波形的倾斜没有限制，提高了生成线分波形的自由度。而且，因为关于线分波形的倾斜值的信息，作为每个单位区间的线分波形的电压变化量，对于1个线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量，所以能够将驱动波形作成曲线波形。
又，在上述液滴吐出头的驱动方法的发明中，最好通过随着趋向上述线分波形的端部，电压变化量的值变小而形成上述线分波形。
如果根据本发明，则因为随着趋向端部电压变化量变小而形成线分波形，所以没有跳跃边缘(急剧的变化点)。因此，能够使压电换能器的工作状态的变化变得平缓，抑制机械的、热的负荷增大。
又，在上述液滴吐出头的驱动装置的发明中，上述驱动波形的特征是包含用于吐出上述液滴的吐出波形和不吐出上述液滴那样地使上述压电换能器微振动的微振动波形。
如果根据本发明，则不仅能够将吐出液滴时的吐出波形，而且也能够将为了防止由于功能性液体的干燥引起的吐出不稳定和堵塞喷头孔使压电换能器微振动的微振动波形作成曲线波形。因此，能够减轻机械的负荷和与此相伴的热的负荷，可以抑制压电换能器的恶化，延长寿命。
又，为了达到上述目的，本发明的制膜方法的特征是用上述的液滴吐出头的驱动方法进行制膜。
如果根据本发明，则因为用加在液滴吐出头的压电换能器上的机械的和热的负荷小的驱动方法进行制膜，所以能够制成长期地稳定地吐出液滴的薄膜，能够制成长期的高品质的薄膜。
又，在上述发明中，当制造成为滤色器的构成要素的薄膜时使用上述制膜方法是令人满意的。
如果根据本发明，则因为用能够进行长期地稳定地制膜的制膜方法制造滤色器，所以可以廉价地制造出由与已有技术比较能够高精度地控制膜厚、平坦度、形成位置等的薄膜构成的高品质的滤色器。
又，在上述发明中，当制造成为有机场致发光元件的构成要素的薄膜时使用上述制膜方法是令人满意的。
如果根据本发明，则因为用能够进行长期地稳定地制膜的制膜方法制造有机EL元件，所以可以廉价地制造出由与已有技术比较能够高精度地控制膜厚、平坦度、形成位置等的薄膜构成的高品质的有机EL元件。
又，为了达到上述目的，本发明的电子设备的特征是备有用上述的制膜方法制造的器件。
如果根据本发明，则因为用能够提供由与已有技术比较能够高精度地控制膜厚、平坦度、形成位置等的薄膜构成的电子设备，所以与已有技术比较发生不合适情况的概率很低，能够低成本地并且迅速地提供具有高功能的更高密度化的电子器件或光学器件等的电子设备。
又，为了达到上述目的，本发明的器件的制造方法的特征是在通过在基片上的所定地方涂敷功能性液体制造的器件的制造方法中，具有用权利要求8到权利要求11中任何一项所述的液滴吐出头的驱动方法，使从上述液滴吐出头将上述功能性液体吐出在上述基片的所定地方的工序。
如果根据本发明，则因为用能够制造由与已有技术比较能够高精度地控制膜厚、平坦度、形成位置等的薄膜构成的器件，所以与已有技术比较发生不合适情况的概率很低，能够低成本地并且迅速地提供具有高功能的更高密度化的器件。
如以上说明的那样，如果根据本发明，则因为能够用多个数值不同的电压变化量形成线分波形，组合这些线分波形生成驱动波形，所以能够用曲线的驱动波形驱动压电换能器，使压电换能器的伸缩工作变得平缓，抑制在压电换能器中的机械的、热的负荷增大。因此，能够减少压电换能器的恶化，能够达到长寿命化的目的。从而，如果根据本发明，则可以实现能够长期地从液滴吐出头稳定地吐出液滴的效果。
如果根据本发明，则通过由随着趋向端部电压变化量变小的线分波形形成驱动波形，能够使驱动波形中的急剧的变化点(跳跃边缘)消失。因此，能够使压电换能器的工作状态的变化变得平缓，抑制机械的、热的负荷增大。从而，如果根据本发明，则能够长期地从液滴吐出头稳定地吐出液滴。
附图说明
图1是表示根据本发明的一个实施形态的液滴吐出头的驱动装置的电路构成的方框图。
图2是表示输入到上述液滴吐出头的驱动装置中的控制IC的各种信号的定时图等的图。
图3A～3C是表示接近曲线波形的驱动波形和微振动波形的一个例子的图。
图4是表示根据本发明的其它实施形态的液滴吐出头的驱动装置的电路构成的方框图。
图5是表示本实施形态的制膜装置的概要的模式斜视图。
图6是表示基片上的滤色器区域的图。
图7A～7F是用于以工序的顺序说明滤色器区域的形成方法的主要部分截面图。
图8是备有有机EL元件的EL显示器的一个例子的电路图。
图9是表示图8所示的EL显示器中的象素部分的平面构造的放大平面图。
图10A～10E是用于以工序的顺序说明有机EL元件的制造方法的主要部分的侧面截面图。
图11A～11C是用于顺序地说明接着图10的工序的主要部分的侧面截面图。
图12A～12C是用于顺序地说明接着图11C的工序的主要部分的侧面截面图。
图13是表示备有本实施形态的光学元件的电子设备的一个例子的图。
图14是表示备有本实施形态的光学元件的电子设备的一个例子的图。图15是表示备有本实施形态的光学元件的电子设备的一个例子的图。
图16是表示已有的压电换能器的驱动波形的图。
图17是已有的压电换能器的驱动波形的放大图。
具体实施方式
下面，我们参照附图说明本发明的一个实施形态。
图1是表示根据本实施形态的液滴吐出头的驱动装置的电路构成的方框图。如图1所示，根据本实施形态的液滴吐出头的驱动装置是由作为控制装置和存储器的控制IC10、对控制IC10进行控制的CPU20、和由于从控制IC10供给的驱动波形进行伸缩，使从液滴吐出头4的吐出部分吐出液滴的压电元件等构成的压电换能器30构成的。
控制IC10，例如，是具有生成压电换能器30的驱动波形的功能的专用IC，由A0～A3的4个比特长的地址空间101、与它对应的存储器102、和控制部分103构成。它的输出端子COM和压电换能器30通过例如FFC(Flexible Flat Cable(软扁平电缆))等实现电连接。
CPU20根据执行存储在图中未画出的ROM和RAM中的程序进行工作，向控制IC10指定地址值(A0～A3)，输入各种时钟(CLK1、CLK2)，进行复位(RST)。而且，通过指定地址和控制时钟输入，生成所要的驱动波形对压电换能器30进行驱动。
这里，从控制IC10通过FFC给予压电换能器30的驱动波形大致区分为用于使从液滴吐出头4吐出液滴的吐出波形和用于使压电换能器30微振动的微振动波形。上述吐出波形是规定用于吐出所定量的液滴的最大电位和最小电位以及波形形状的波形。另一方面，微振动波形是用于通过为了防止由于在液滴吐出头4的喷头孔吐出用液干燥产生吐出不稳定和堵塞，不从液滴吐出头4吐出液滴那样地使压电换能器30微振动，使在喷头孔的吐出液(功能性液体)的液面(弯液面)微振动的波形。
此外，可以将微振动波形与加在压电换能器30上的定时相应地分成以下4类。即，在液滴吐出装置的电源接通状态中总是使压电换能器30微振动的常时微振动波形、在液滴吐出前使压电换能器30微振动的吐出前的微振动波形、在液滴吐出中使压电换能器30微振动的吐出中的微振动波形、和在液滴吐出后使压电换能器30微振动的吐出后的微振动波形。通过改变从CPU20向控制IC10输出的地址值(A0～A3)变更波形倾斜，生成微振动波形，对是将吐出波形给予液滴吐出头4还是将微振动波形给予液滴吐出头4作出波形选择。
其次，我们参照图2说明在根据本实施形态的控制IC10中生成驱动波形的工作。
图2是控制IC10的各端子的定时图。此外，因为RST端子与本工作没有直接关系所以在图2中省略RST端子。在图2中，COM信号是驱动波形的输出线、信号线A0～A3信号是地址输入线、信号线CKL1信号是将地址锁存在上升沿上的锁定信号、信号线CKL2信号是驱动波形的输出定时信号，与CKL2的上升沿同步地从COM端子输出驱动波形。
在图2中的中央部分所示的地址0、1～4分别输入与COM端子的输出信号的期间T0、Ta对应的倾斜值的电压变化量的值，分别与ΔV0～ΔV4对应。ΔV0＝0、ΔV1＜ΔV2＜ΔV3＜ΔV4的关系成立。
首先，在时刻t0，CPU20开始向控制IC10输出周期TCLK2的CLK2信号。在时刻t1，CPU20输出CLK1信号，锁存地址1。这里，作为软件在ROM中组入CLK1信号的输出定时作为它的定时数据，在该定时CPU20输出CLK1信号，锁存电压变化量ΔV1的值。因此，与CLK2信号的上升沿(时刻t1′)同步，COM端子的电位只上升ΔV1。同样，在时刻t2～t4，CPU20根据CLK1信号锁存地址2～4，各个COM端子的电位上升ΔV2到ΔV4。
这里，因为各电压变化量具有ΔV1＜ΔV2＜ΔV3＜ΔV4的关系，所以在时刻t1～t4，COM信号(驱动波形)逐渐增大。根据地址4的电压变化量ΔV4连续2次后，在时刻t5～t7，与时刻t1～t4时相反电压变化量逐渐减小。又，在时刻t11以后，重复与时刻t1～t7相同的工作。
因此，在本实施形态的驱动波形中，因为电压变化量ΔV变化的量是小值，所以不是数字的驱动波形，但是从全体来看成为接近曲线的波形。另一方面，已有的驱动波形是如图16所示的台形的波形，变化点A0～A5成为跳跃边缘(急剧的变化点)。
这样，如果根据本实施形态的液滴吐出头的驱动装置，则因为压电换能器30的驱动波形成为在它的生成阶段接近平缓的曲线波形的数字波形，所以不会受到与压电换能器30连接的FFC中的电阻、寄生电容等的不稳定要素的影响能够由平缓的曲线波形(宏观地看)确实地驱动压电换能器30的元件。
所以，如果根据本实施形态的液滴吐出头的驱动装置，则因为能够由曲线波形(宏观地看)驱动压电换能器30，所以与台形的方形波进行驱动的情形比较，能够减轻机械的负荷和与此相伴的热的负荷，可以抑制压电换能器30的恶化，延长寿命。所以，如果根据本实施形态的液滴吐出头的驱动装置，则可以从液滴吐出头长期地稳定地吐出液滴。
以上，我们说明了生成接近曲线波形的驱动波形，由该驱动波形驱动压电换能器30的方法，但是如上所述的驱动波形与为了吐出液滴的吐出波形和为了防止吐出不稳定和防止堵塞喷头孔的微振动波形具有很大的区别。将以上说明的驱动波形作成曲线波形的方法不仅可以用于将吐出波形作成曲线波形，而且也可以用于将微振动波形作成曲线波形。图3A～3C是表示接近曲线波形的驱动波形和微振动波形的一个例子的图。图3A是表示接近曲线波形的吐出波形的图，图3B是表示接近曲线波形的微振动波形的图，图3C是合成接近曲线波形的吐出波形和微振动波形的图。
如图3A所示，吐出波形w1宏观地全体来看成为接近曲线的波形。又，如图3B所示，微振动波形w2也与吐出波形w1相同，宏观地看成为接近曲线的波形。又，在图3C中，举例表示了在液滴吐出期间T10前将微振动波形w2供给压电换能器30，在液滴吐出期间T10内只将吐出波形w1供给压电换能器30的驱动波形。此外，不一定只使在图3C所示的液滴吐出期间T10前的微振动波形(吐出前的微振动波形)成为接近曲线波形的波形，如上所述总是使微振动波形、吐出中的微振动波形和吐出后的微振动波形宏观地看成为接近曲线的波形。
这样，如果根据本实施形态的液滴吐出头的驱动装置，则因为微振动波形也是接近曲线的数字波形，所以与台形的方形波进行驱动的情形比较，能够减轻机械的负荷和与此相伴的热的负荷，可以抑制压电换能器30的恶化，延长寿命。
其次，我们说明其它的实施形态。图4是表示根据本发明的其它实方施形态的液滴吐出头的驱动装置的电路构成的方框图。根据图1所示的本发明的一个实施形态的液滴吐出头的驱动装置用备有存储器102的控制IC10，但是根据图4所示的本发明的其次实施形态的液滴吐出头的驱动装置用不备有存储器的控制IC11，这一点具有很大的不同。
图1所示的液滴吐出头的驱动装置预先将关于成为驱动波形的线分波形的倾斜值的信息存储在存储器102中，CPU10根据通过信号线A0～A3给予控制IC10的地址值选择存储在存储器102中的线分波形的倾斜值。但是，对于这种构成，驱动波形的线分波形的倾斜值受到限制。
因此，在本实施形态中，将关于为了生成驱动波形的线分波形的倾斜值的信息，从CPU21例如通过10比特的数据线DATA输出到控制IC11中的控制部分105。而且，控制部分105在从CPU21输出锁存信号LAT的时刻将该信号锁存起来，生成具有从CPU21指定的线分波形的倾斜值的驱动波形。此外，控制部分105，在当生成作为驱动波形的一种的吐出波形时、和当生成作为驱动波形的一种的微振动波形时的任何一个情形中，也根据从CPU21通过数据线DATA输入的信息生成这些波形。
此外，如图2所示，当生成接近曲线波形的驱动波形时，用多个不同的电压变化量的值ΔV1～ΔV4，但是顺次地将它们从CPU21输出到控制IC11的控制部分103。即，CPU21，例如当生成在期间Ta的线分波形时，向控制IC11输出多个不同的电压变化量的值ΔV1～ΔV4。在图4所示的构成中，对能够液滴吐出头的驱动装置中生成的驱动波形的倾斜值没有限制，能够生成任意波形的驱动波形。因此，能够实现液滴的稳定吐出和压电元件30的长寿命化自不必说，而且能够提高通用性，当进行种种器件制造和制膜时能够应用该构成。(应用例)
其次，我们参照图5说明备有上述实施形态的液滴吐出头的驱动装置的制膜装置(液滴吐出装置)。图5是表示本实施形态的制膜装置的概要的模式斜视图。
这个制膜装置1，例如，是用于制造滤色器的，具有备有载置在基础架台2上的可以沿X方向和Y方向移动的XY台板3、设置在这个XY台板3上方的液滴吐出头4的构成。
在XY台板3上，例如载置着形成黑底的未着色的状态的基板S。液滴吐出头4安装在设置在台架5上的支持部件6上，具有分别吐出红、蓝、绿各色油墨的用于各色的独立的喷头4a....。分别独立地供给油墨的管子7和用于电信号的电缆(FFC等，图中未画出)与这些各个喷头4a....连接。
通过包含三通阀、溶存氧计等的阀箱8，油墨供给单元9与供给油墨的管子7a的另一端连接。
根据这种构成的制膜装置1通过供给油墨的管子7b、阀箱8、供给油墨的管子7a将油墨槽内的油墨移送到液滴吐出头4，从那里吐出油墨涂敷在基片S上。
而且，因为制膜装置1备有用加在压电换能器30上的机械的和热的负荷小的液滴吐出头的驱动装置，所以能够长期地稳定地吐出液滴。
为了用这样构成的制膜装置1，将油墨吐出到基片S上制造滤色器，首先，将基片S设置在XY台板3上的所定位置上。这里，作为基片S，要用具有适当的机械强度并且光透过性高的透明基片。具体地说，可以用透明的玻璃基片、丙烯玻璃、塑料基片、塑料膜和它们的表面处理品等。
又，在本例中，例如如图6所示，在长方形形状的基片S上，从提高生产性的观点出发，使多个滤色器区域51形成矩阵状。以后通过切断基片S，能够将这些滤色器区域51用作适合于液晶显示装置的滤色器。此外，作为滤色器区域51，如图6所示，以所定的图案，在本例中是已有的众所周知的带型形成并配置R的油墨、G的油墨和B的油墨。此外，作为这个形成图案，除了带型外，也可以是镶嵌型和三角型或方型等。
为了形成这种滤色器区域51，首先，如图7所示对于透明基片S的一个面形成黑底52。作为这种黑底52的形成方法，用旋转涂敷等方法将没有光透过性的树脂(最好是黑色的)涂敷到所定厚度(例如约2μm)。关于由这个黑底52的格子包围的最小的显示要素，即滤色器单元53，例如做成X轴方向的宽度约为30μm，Y轴方向的长度约为100μm。
其次，如图7B所示，从上述液滴吐出头4吐出油墨滴(液滴)54，使它弹附在滤色器单元53上。关于吐出的油墨滴54的量，考虑到在加热工序中油墨的体积减小需要有足够的量。
这样一来，如果将油墨滴54充填在基片S上的所有的滤色器单元53上，则用加热器将基片S加热到所定温度(例如约70℃)进行加热处理。通过这种加热处理，油墨的溶媒蒸发，油墨的体积减小。当这个体积急剧减小时，反复进行油墨吐出工序和加热工序直到作为滤色器得到足够厚的油墨膜为止。通过这种处理，油墨中包含的溶媒蒸发，最终只留下油墨中包含的固形成分实现薄膜化，得到如图7C所示的滤色器55。
其次，为了使基片S平坦化并且保护滤色器55，如图7D所示在基片S上形成保护膜56覆盖滤色器55和黑底52。为了形成这个保护膜56，也可以采用旋转涂敷法、滚筒涂敷法、开裂(ripping)法等方法，但是也能够与滤色器55的情形相同，用图5所示的制膜装置1进行。
其次，如图7E所示在这个保护膜56的整个面上，用溅射法和真空蒸涂法等形成透明导电膜57。此后，使透明导电膜57形成图案，使象素电极58与上述滤色器单元53对应地形成图案。此外，当用TFT(Thin FilmTransistor(薄膜晶体管))驱动液晶显示面板时，不用这种图案形成。
在用这种制膜装置1制造滤色器的情形中，因为用能够长期地稳定地吐出液滴的制膜装置1进行制造，所以可以廉价地制造出由与已有技术比较能够高精度地控制膜厚、平坦度、形成位置等的薄膜构成的高品质的滤色器。
此外，本发明的制膜装置1不限定于图5所示的构成，特别是液滴吐出头4的构成不需要是备有3个喷头4a的构成。
又，上述制膜装置1也能够用于形成成为有机EL元件的构成要素的薄膜。图8、图9是用于说明备有这种有机EL元件的EL显示器的一个例子的概略构成的图，在这些图中标号70是EL显示器。
这个EL显示器70具有如作为电路图的图8所示在透明基片上分别配置多条扫描线131、与这些扫描线131交叉的方向上延伸的多条信号线132、和与这些信号线132并列延伸的多条共同馈电线133和扫描线131和信号线132的各交点中的每一个上设置象素(象素区域单元)71的构成。
对于信号线132，设置备有移位寄存器、电平移动二极管、视频线、模拟开关的数据侧驱动电路72。
另一方面，对于扫描线131，设置备有移位寄存器和电平移动二极管的扫描侧驱动电路73。又，在象素区域71的各个区域中，设置通过扫描线131将扫描信号提供给栅极的开关薄膜晶体管142、保持通过这个开关薄膜晶体管142从信号线132供给的图象信号的保持电容cap、将由保持电容cap保持的图象信号供给栅极的电流薄膜晶体管143、通过这个电流薄膜晶体管143与共同馈电线133电连接时从共同馈电线133流入驱动电流的象素电极141、和被夹入在这个象素电极141与反射电极154之间的发光部分140。
根据这样的构成，当驱动扫描线131使开关薄膜晶体管142接通时，由保持电容cap保持这时的信号线132的电位，与该保持电容cap的状态相应，决定电流薄膜晶体管143的接通·断开状态。而且，通过电流薄膜晶体管143的沟道电流从共同馈电线133流入象素电极141，进一步通过发光部分140电流流到反射电极154，发光部分140与流过它的电流量相对应地进行发光。
这里，各象素71的平面构造，如作为除去反射电极和有机EL元件的状态中的放大平面图的图9所示，以由长方形的象素电极141的四边，信号线132、共同馈电线133、扫描线131和用于图中未画出的其它象素电极的扫描线包围的平面形状进行配置。
其次，我们用图10A～图12C说明在这种EL显示器70中备有的有机EL元件的制造方法。此外，在图10A～图12C中，为了使说明简略化，图中只画出了单个象素71。
首先，准备好基片。这里，也可以在有机EL元件中从基片一侧取出由后述的发光层发出的光，又，也可以做成从基片相反一侧取出的构成。当从基片一侧取出发出的光时，作为基片材料可以用玻璃、石英、树脂等透明或半透明的材料，但是使用特别便宜的玻璃是适宜的。
又，也可以在基片上配置包含滤色器膜和荧光性物质的变色膜或电介质反射膜，对发光的颜色进行控制。
又，当从基片相反一侧取出发出的光的构成时，基片也可以是不透明的，这时，能够用对氧化铝等的陶瓷、不锈钢等金属片实施表面氧化处理等的绝缘处理的材料，热硬化性树脂、热可塑性树脂等。
在本例中，作为基片如图10A所示准备好由玻璃等构成的透明基片121。而且，对它，需要时将TEOS(四乙氧基硅烷)和氧气等作为原料用等离子体CVD法形成厚度约200～500nm的硅氧化膜构成的基底保护膜(图中未画出)。
其次，设定透明基片121的温度约为350℃，用等离子体CVD法在基底保护膜的表面上形成厚度约30～70nm的非结晶型硅膜构成的半导体膜200。其次，对这个半导体膜200进行激光退火或固相成长法等的结晶化工序，使半导体膜200结晶化成为多晶硅膜。在激光退火法中，例如用准分子激光，它是光束的长尺寸为400mm的线光束，它的输出强度例如为200mJ/cm2。关于线光束，使与它的短尺寸方向的激光强度的峰值的90％相当的部分与每个区域重合地扫描线光束。
其次，如图10B所示，使半导体膜(多晶硅膜)200形成图案成为岛状的半导体膜210，对于它的表面，将TEOS和氧气等作为原料用等离子体CVD法形成厚度约60～150nm的硅氧化膜或氮化膜构成的栅极绝缘膜220。此外，半导体膜210成为图9所示的电流薄膜晶体管143的沟道区域和源极·漏极区域，但是也可以形成在不同的截面位置成为开关薄膜晶体管142的沟道区域和源极·漏极区域的半导体膜。即，在图10～图12所示的制造工序中同时制作2类晶体管142、143，但是因为以相同的顺序进行制作，所以在下面的说明中关于晶体管，只说明电流薄膜晶体管143，而省略关于开关薄膜晶体管142的说明。
其次，如图10C所示，用溅射法形成铝(Al)、钽、钼、钛、钨等的金属膜构成的导电膜后，使它们形成图案，形成栅极143A。
其次，在这个状态中注入高浓度的磷离子，在半导体210中对栅极143A自匹配地形成源极·漏极区域143a、143b。此外，不导入杂质的部分成为沟道区域143c。
其次，如图10D所示，在形成层间绝缘膜230后，形成接触孔232、234，在这些接触孔232、234内埋入中继电极236、238。
其次，如图10E所示，在层间绝缘膜230上，形成信号线132、共同馈电线133和扫描线(图10中未画出)。这里，中继电极238和各配线也可以在同一个工序中形成。这时，中继电极236由后述的ITO膜形成。
而且，也为了覆盖各配线的上面而形成层间绝缘膜240，在与中继电极236对应的位置上形成接触孔(图中未画出)，也为了埋入这个接触孔内而形成ITO膜，进一步使这个ITO膜形成图案，在由信号线132、共同馈电线133和扫描线(图中未画出)包围的所定位置上，形成与源极·漏极区域143a电连接的象素电极141。这里，由信号线132和共同馈电线133、另外，在扫描线(图中未画出)中被夹着的部分如后所述成为形成正孔注入层和发光层的地方。
其次，如图11A所示，为了包围上述形成地方而形成隔壁150。这个隔壁150起到作为隔开部件的功能，最好例如由聚酰亚胺等的绝缘性有机材料形成。关于隔壁150的膜厚，例如形成1～2μm的高度。又，最好隔壁150对于从液滴吐出头4吐出的液体显现出非亲和性。为了使隔壁150具有非亲和性，采用例如用氟系化合物等对隔壁150的表面进行表面处理的方法。作为氟系化合物，例如有CF4、SF5、CHF3等，作为表面，例如可以举出等离子、UV照射处理等。
而且，根据这种构成，在形成正孔注入层和发光层的地方，即在这些形成材料的涂敷位置和它周围的隔壁150之间，形成足够高的段差111。
其次，如图11B所示，在基片段21的上面向上的状态中，在由上述隔壁150包围的涂敷位置，即在隔壁150内由上述液滴吐出头4选择地涂敷正孔注入层的形成材料。
作为正孔注入层的形成材料，可以举出聚合物前驱体是聚四氢苯硫基亚苯基(polytetrahydrothiophenylphenylene)的聚苯亚乙烯基(polyphenylenevinylene)、1，1-二-(4-N，N-双甲苯氨苯基)环己烷(1，1-bi-4-N，N-(ditolylaminophenyl)cyclohexane)、和(tris(8-hydroxyquinolino)aluminium)等。
这时，为了提高流动性使液状的形成材料114A在水平方向扩展，但是因为包围涂敷的位置形成隔壁150，所以能够防止形成材料114A越过隔壁150扩展到它的外侧。
其次，如图11C所示，通过加热或光照射使液状的前驱体114A的溶媒蒸发，在象素电极141上形成固形的正孔注入层140A。
其次，如图12A所示，基片121的上面向上的状态中，在上述隔壁150内的正孔注入层140A上由液滴吐出头4选择地涂敷作为油墨的发光层的形成材料(发光材料)114B。
作为发光层的形成材料，最好用包含例如共轭系高分子有机化合物的前驱体和为了改变得到的发光层的发光特性的荧光色素的材料。
共轭系高分子有机化合物的前驱体是在与荧光色素等一起从液滴吐出头4吐出成形为薄膜后，通过加热硬化能够生成成为共轭系高分子有机EL层的发光层，例如在前驱体为锍盐的情形中，通过加热处理，使锍基脱离，成为共轭系高分子有机化合物等。
这样的共轭系高分子有机化合物作为固体具有强的荧光，能够形成均质的固体超薄膜。而且，与富有形成能的ITO电极的粘合性也很高。进一步，因为这种化合物的前驱体硬化后形成强固的共轭系高分子膜，所以在加热硬化前能够将前驱体溶液调整到可以应用于形成喷墨图案的所要的粘度，能够简便地并且在短时间内形成最佳条件的膜。
作为这种前驱体，例如PPV(poly(paraphenylenevinylene)或它的电介质前驱体是令人满意的。因为PPV或它的电介质前驱体可溶于水或有机溶媒中，又，可以聚合物化，所以能够得到在光学上也是高品质的薄膜。进一步，因为PPV具有强的荧光，又也是二重耦合的π电子在聚合物锁上的非极在化的导电性高分子，所以能够得到高性能的有机EL元件。
作为这种PPV或PPV电介质前驱体，可以举出，例如，PPV(poly(paraphenylenevinylene)前驱体、MO-PPV(2，5-dimethoxy-1，4-phenylenevinylene)前驱体、CN-PPV(poly(2，5-bishexyloxy-1，4-phenylene-(1-cyanovinylene)前驱体、MEH-PPV(2-methoxy-5-(2’-ethylhexyloxy)-para-phenylenevinylene)前驱体等。
PPV或PPV电介质前驱体如上所述可溶于水，制膜后通过加热进行高分子化形成PPV层。以上述PPV前驱体为代表的前驱体的含有量，对于组成物全体最好为0.01～10.0wt％，更好为0.1～5.0wt％。当前驱体的添加量过少时不能够充分地形成共轭系高分子膜，当过多时使组合物的粘度增高，不适合于用喷墨法形成高精度的图案。
进一步，作为发光层的形成材料，最好至少包含1种荧光色素。因此，能够改变发光层的发光特性，例如，作为提高发光层的发光效率或者改变光吸收极大的波长(发光的颜色)的方法也是有效的。即，荧光色素不只是作为发光层材料，也能够用作担当发光功能本身的色素材料。例如，能够将由共轭系高分子有机化合物分子上的载流子再结合生成的准分子的能量几乎全部转移到荧光色素分子上。这时，因为只从荧光量子效率高的荧光色素分子产生发光，所以也增加了发光层的电流量子效率。从而，因为通过在发光层的形成材料中加入荧光色素，同时使发光层的发光光谱也成为荧光分子的光谱，所以作为用于改变发光颜色的方法也是有效的。
此外，这里所谓的电流量子效率是用于根据发光功能考察发光性能的尺度，由下列公式定义。
    ηE＝射出光子的能量/输入的电能量
而且，通过由掺杂荧光色素引起光吸收极大的波长的变换，能够使例如红、蓝、绿3原色发光，结果可以得到全色显示体。
进一步，通过掺杂荧光色素，能够大幅度地提高EL元件的发光效率。
作为荧光色素，当形成发出红色光的发光层时，最好用发出红色光的若丹明或若丹明电介质。这些荧光色素因为是低分子所以可溶于水溶液，又，具有很好的与PPV的相溶性，容易形成均匀稳定的发光层。作为这种荧光色素具体地说可以举出若丹明B、若丹明B基、若丹明6G、若丹明101过盐酸盐等，也可以是将它们2种以上混合起来。
又，当形成发出绿色光的发光层时，最好用发出绿色光的喹吖酮(quinacridone)和它的电介质。这些荧光色素与上述红色荧光色素相同，因为是低分子所以可溶于水溶液，又，具有很好的与PPV的相溶性，容易形成发光层。
进一步，当形成发出蓝色光的发光层时，最好用发出蓝色光的联苯乙烯联(二)苯(distyrylbiphenyl)和它的电介质。这些荧光色素与上述红色荧光色素相同，因为是低分子所以可溶于水·乙醇的混合溶液，又，具有很好的与PPV的相溶性，容易形成发光层。
又，作为具有蓝色发光的其它荧光色素，能够举出苯并邻氧芑酮和和它的电介质。这些荧光色素与上述红色荧光色素相同，因为是低分子所以可溶于水溶液，又，具有很好的与PPV的相溶性，容易形成发光层。作为这种荧光色素具体地说可以举出苯并邻氧芑酮、苯并邻氧芑酮-1、苯并邻氧芑酮-6、苯并邻氧芑酮-7、苯并邻氧芑酮120、苯并邻氧芑酮138、苯并邻氧芑酮152、苯并邻氧芑酮153、苯并邻氧芑酮311、苯并邻氧芑酮314、苯并邻氧芑酮334、苯并邻氧芑酮337、苯并邻氧芑酮343等。
进一步，作为其它的具有蓝色发光的荧光色素，能够举出四苯基丁二烯(TPB)或TPB电介质。这些荧光色素与上述红色荧光色素相同，因为是低分子所以可溶于水溶液，又，具有很好的与PPV的相溶性，容易形成发光层。
关于以上的荧光色素，对于各种颜色既可以只用1种，也可以用2种以上的混合物。
对于上述共轭系高分子有机化合物的前驱体固型部分，最好添加0.5～10wt％，更好添加1.0～5.0wt％的这些荧光色素。当荧光色素的添加量过多时难以维持发光层的耐候性和耐久性，另一方面，当添加量过少时不能够充分得到由加入上述那样的荧光色素引起的效果。
又，最好使上述前驱体和荧光色素溶解或分散在极性溶液中作为油墨从液滴吐出头4吐出该油墨。因为极性溶液容易使上述前驱体和荧光色素等溶解或均匀地分散，所以，能够防止发生发光层形成材料中的固型部分附着在液滴吐出头4的喷孔中或堵塞喷孔。
作为这种极性溶液具体地说，可以举出水、甲醇、乙醇等的具有与水相溶性的乙醇、N、N-二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基吡咯NMP)、(DMI)、二甲基咪唑啉DMSO)等有机溶媒或无机溶媒，也可以将这些溶媒2种以上适当地混合起来。
进一步，最好在上述形成材料中添加湿润剂。因此，能够有效地防止形成材料干燥·凝固在液滴吐出头4的喷孔中。作为这种湿润剂，例如可以举出甘油、二乙撑甘油、等的多价乙醇，也可以将这些2种以上混合起来。作为这种湿润剂的添加量，对于形成材料的全体量，最好为5～20wt％左右。
此外，也可以添加其它的添加剂、被膜稳定化材料，例如，能够用稳定剂、粘度调整剂、老化防止剂、pH调整剂、防腐剂、树脂乳剂、致均剂等。
当从液滴吐出头4的喷孔吐出这种发光层的形成材料114B时，将形成材料114A涂敷在隔壁150内的正孔注入层140A上。
这里，通过吐出形成材料114A形成发光层是通过吐出发出红色光的发光层的形成材料、发出绿色光的发光层的形成材料、发出蓝色光的发光层的形成材料并涂敷在各个对应的象素71上进行的。此外，为了规则地配置这些象素而预先决定与各色对应的象素71。
这样一来，如果吐出并涂敷各色的发光层形成材料，则通过蒸发发光层形成材料114B中的溶媒，如图12B所示，在正孔注入层140A上形成固形的发光层140B，从而得到由正孔注入层140A和发光层140B构成发光部分140。这里，关于发光层形成材料114B中的溶媒的蒸发，需要时进行加热或减压等的处理，但是因为发光层的形成材料通常是干燥性良好的具有速干性的材料，所以不特别进行这种处理，从而能够通过顺次地吐出并涂敷各色的发光层形成材料，以该涂敷顺序形成各色的发光层140B。
此后，如图12C所示，在透明基片121的整个表面上或者带状地形成反射电极154，得到有机EL元件。
在这种有机EL元件的制造方法中，因为用制膜装置1制作成为称为正孔注入层140A和发光层140B的有机EL元件的构成要素的薄膜，所以可以高精度地控制正孔注入层140A和发光层140B的膜厚、平坦度、形成位置等，能够减少发生不合适情况的概率，所以能够比较廉价地而且稳定地形成有机EL元件。(电子设备)
下面我们说明备有作为上述实施形态的光学元件(滤色器或有机EL元件)的器件的电子设备的一个例子。
图13是表示便携式电话的一个例子的斜视图。在图13中，标号1000表示便携式电话本体，标号1001表示用上述光学元件的显示部分。
图14是表示手表型电子设备的一个例子的图。在图14中，标号1100表示手表本体，标号1101表示用上述滤色器的显示部分。
图15是表示文字处理机、个人计算机等的便携型信息处理装置的一个例子的斜视图。在图15中，标号1200表示信息处理装置，标号1202表示键盘等的输入部分，标号1204表示信息处理装置本体，标号1206表示用上述滤色器的显示部分。
图13到图15所示的电子设备，因为备有上述实施形态的光学元件，所以能够良好地显示图象，能够降低制造成本，并且能够缩短制造期间。
此外，本发明不限定于上述实施形态，也可以应用于其它的器件制造，在不脱离本发明要旨的范围内能够进行种种变更。例如，从上述实施形态的液滴吐出头的驱动装置将含有金属微粒的液状体吐出到所要的面上，也可以制作成为金属配线的薄膜。因为通过这样做，能够长期稳定地制作成为金属配线的薄膜，所以可以廉价地制造出由与已有技术比较能够高精度地控制膜厚、平坦度、形成位置等的薄膜构成的金属配线，即断线概率很低的能够高密度配置的金属配线。

Claims (16)

1.液滴吐出头的驱动装置，该液滴吐出头的驱动装置具有压电换能器，用上述压电换能器吐出功能性液体，其特征是：备有
与各地址空间对应的存储器、
将关于多个不同的线分波形的倾斜值的信息的存储在该存储器中，根据所定的读出定时，从对应的上述存储器读出关于上述线分波形的倾斜值的信息，根据关于该倾斜值的信息形成线分波形，通过组合该线分波形生成驱动波形的控制装置、和
由该驱动波形驱动上述压电换能器，使从上述液滴吐出头的吐出部分吐出液滴的驱动装置，
关于上述倾斜值的信息包含每个单位区间的线分波形的电压变化量的信息，对于上述线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量的信息，分别存储在各存储器中。
2.液滴吐出头的驱动装置，该液滴吐出头的驱动装置具有压电换能器，
用上述压电换能器吐出功能性液体，其特征是：备有
输出关于多个不同的线分波形的倾斜值的信息的输出部分、
根据关于从上述输出部分输出的上述倾斜值的信息，形成线分波形，通过组合该线分波形生成驱动波形的控制装置、和
由该驱动波形驱动上述压电换能器，使从上述液滴吐出头的吐出部分吐出液滴的驱动装置，
上述输出部分，作为关于上述倾斜值的信息，包含每个单位区间的线分波形的电压变化量的信息，输出对于上述线分波形对应地附加多个数值不同的电压变化量的信息的信息。
3.权利要求1所述的液滴吐出头的驱动装置，其特征是：上述线分波形是由随着趋向上述驱动波形的端部电压变化量变小的线分波形形成的。
4.权利要求1所述的液滴吐出头的驱动装置，其特征是：上述驱动波形包含用于吐出上述液滴的吐出波形和不吐出上述液滴那样地使上述压电换能器微振动的微振动波形。
5.制膜装置，其特征是：它备有权利要求1所述的液滴吐出头的驱动装置，从上述液滴吐出头吐出功能性液体对被处理物进行制膜处理。
6.权利要求5所述的制膜装置，其特征是：上述制膜装置是制造滤色器的装置。
7.权利要求5所述的制膜装置，其特征是：上述制膜装置是制造成为有机场致发光元件的构成要素的薄膜的装置。
8.液滴吐出头的驱动方法，其特征是：
在吐出功能性液体液滴吐出头的驱动方法中，
将关于多个不同的线分波形的倾斜值的信息存储在与各地址空间对应的存储器中，
当指定上述地址空间时，根据所定的读出定时，从对应的存储器读出关于上述线分波形的倾斜值的信息，
根据关于该倾斜值的信息形成线分波形，
通过组合该线分波形生成驱动波形，
由该驱动波形驱动压电换能器，使从吐出部分吐出液滴，
关于上述倾斜值的信息包含每个单位区间的线分波形的电压变化量的信息，对于上述线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量的信息，分别存储在各存储器中。
9.液滴吐出头的驱动方法，其特征是：
在吐出功能性液体的液滴吐出头的驱动方法中，
输出关于多个不同的线分波形的倾斜值的信息，
根据关于从上述输出部分输出的上述倾斜值的信息，形成线分波形，通过组合该线分波形生成驱动波形，
由该驱动波形驱动上述压电换能器，使从上述液滴吐出头的吐出部分吐出液滴，
关于上述倾斜值的信息包含每个单位区间的线分波形的电压变化量的信息，对于上述线分波形，对应地附加多个数值不同的电压变化量的信息。
10.权利要求8所述的液滴吐出头的驱动方法，其特征是：通过随着趋向上述线分波形的端部，电压变化量的值变小而形成上述线分波形。
11.权利要求8所述的液滴吐出头的驱动方法，其特征是：上述驱动波形包含用于吐出上述液滴的吐出波形和不吐出上述液滴那样地使上述压电换能器微振动的微振动波形。
12.制膜方法，其特征是：它用权利要求8所述的液滴吐出头的驱动方法进行制膜。
13.权利要求12所述的制膜方法，其特征是：当制造成为滤色器的构成要素的薄膜时使用上述制膜方法。
14.权利要求12所述的制膜方法，其特征是：当制造成为有机场致发光元件的构成要素的薄膜时使用上述制膜方法。
15.电子设备，其特征是：备有用权利要求12所述的制膜方法制造的器件。
16.器件的制造方法，其特征是：
在通过在基片上的所定地方涂敷功能性液体制造的器件的制造方法中，具有
用权利要求8到权利要求11中任何一项所述的液滴吐出头的驱动方法，使从上述液滴吐出头将上述功能性液体吐出在上述基片的所定地方的工序。
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