CN1391133A - 图形打开和填充彩色显示成分以及制作彩色显示器的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及电泳显示器，特别涉及图形打开、填充、以及密封多色显示组分和多色显示器的制造。

Description

图形打开和填充彩色显示成分以及 制作彩色显示器的方法
本发明所属技术领域
本发明涉及电泳显示器，尤其涉及图形打开和填充多色显示器成分以及多色显示器的制作。
与本发明相关的背景技术
电泳显示器(EPDs)是已知的非发射性显示器，适用于数字、混编的字母数字、模拟或图像信息的显示。典型的电泳显示器系统包括装在两个电极之间、分散于介电流体中的颜料微粒悬浮物，其中至少一个电极是透明的。两电极之间的电动势引起带电微粒向一电极或另一电极迁移。其中的悬浮物包括颜料微粒和具有对比色的介电液；颜料粒子的运动引起图像显示，通过透明的电极或观察片可以看到显示图像。
与液晶显示器相比，电泳显示器具有极佳的亮度和对比度、宽阔视角、双稳定性以及低能耗的特点。美国专利5,961,804号、4,732,830号、4,680,103号、4,298,448号、4,732,830号，以及在此引述的专利，披露了开发和制造电泳显示器的基本技术；所述披露的专利结合在此一并作为参考。
相对于其它类型的平板显示器，电泳显示器的优点是能耗很低。这个突出的优点使得电泳显示器特别适合于便携式和以电池驱动的设备，如手提式电脑、移动电话、个人数字处理器、便携式电子医疗与诊断设备、全球定位系统设备等等。
为避免不希望的微粒迁移(例如沉淀)，有人建议在二个电极之间划分区间，以便将空间细分为更小的单元。例如M.A Hopper和V.Novotny，电气和电子工程师协会会报-《电子装置》(IEEETrans.Electron Device)，卷ED 26，No.8，pp.1148-1152(1979)。然而，在这些单元中进行电泳流体的填充和密封，产量低而成本高。
现有技术试图在微胶囊里封装悬浮物。美国专利5,961,804号和5,930,026号描述了微胶囊化的电泳显示器。这些显示器具有基本二维的微胶囊排列，其中各微胶囊含有悬浮在一介电流体(在视觉上与微粒形成反差)的带电荷颜料微粒的电泳组分。
属于同一个发明实体的美国专利申请09/518,488和09/784,972(第`488和`972号申请)描述了包含有明确定义的形状、尺寸和纵横比的电泳盒，用分散于存在视觉反差的介电溶剂中的带电颜料颗粒填充的电泳显示器。制作有明确定义的形状、尺寸和纵横比的电泳盒或微型杯的方法，在第`488和`972号申请中也有说明，结合于此一并作为参考。
第`488和`972号申请披露了制作改进的彩色电泳显示器的方法，包括用一层正性作用光致抗蚀剂层压预成型的空微型杯；采用正性光致抗蚀剂的图形曝光，以便有选择地打开一定数量的微型杯；对光致抗蚀剂显影；用着色的电泳流体填充选择打开的微型杯；密封填充过的微型杯。可以重复进行打开和显影光致抗蚀剂、填充和密封微型杯的步骤，以便制作出填充不同颜色电泳流体的密封微型杯。
上面引述的第`972号申请，一方面涉及一种新颖的辊对辊方法和设备，允许用同步光刻法连续进行显示器制作。对于制作液晶显示器(LCD)和其它电子设备的结构和组件，该同步辊对辊方法和设备也很有效。
第`972号申请也对多个微型杯的制作进行了说明，微型杯在一图案化导电膜(例如可寻址的氧化铟锡(ITO)区带)的基底衬板上，作为结构化的二维阵列组件的部分彼此整体形成。用悬浮或分散在介电溶剂中的带电微粒填充阵列组件的各微型杯，密封形成电泳盒。
在其上形成微型杯的基质衬板，其组成包括一种显示寻址阵列，此阵列由预成型的导电膜，如ITO导电区带构成。该导电膜(ITO区带)和基质衬板涂布有一层辐射固化涂层。辐射下对该导电膜和辐射固化涂层进行图形曝光，以形成微型杯壁的结构。曝光之后，用显影剂除掉未曝光部分，留下与导电膜/基质衬板接合的固化微型杯壁。可以通过使紫外光或其它形式的辐射，透过光掩模进行图形曝光，使涂布在导电膜上的辐射固化材料产生曝光图象或预定图案。虽然在大多数情况下不需要，但是光掩模可以相对于导电膜(即ITO区带)定位或对正，使得透明的光掩模部分对正ITO区带之间的空隙，不透明光掩模部分与ITO材料对正。第`488号与`972申请也描述了一种制备微型杯阵列的方法，采用预制图形的阳模在涂布于导电膜的一层热塑性或热固性前体物层上进行模压，然后脱模。可以用辐射`冷却、溶剂蒸发或其他方法硬化该前体物层。可以用前述的任一方法制备耐溶剂、热机械性能稳定、具有宽范围的尺寸、形状、图形、和开口比率的微型杯。
另外，上述第`488和`972申请中，描述了一种用微型杯组件制作单色电泳显示器的方法，此方法是用单一颜料悬浮组分填充微型杯，密封微型杯，最后用预涂胶的第二导电膜层叠在密封的微型杯阵列上。
在第`488和`972号申请中，也涉及通过依次有选择地打开和填充预定的微型杯组方法，用微型杯组件制作彩色电泳显示器。此方法包括用正性作用光致抗蚀层叠或涂布在预成型的微型杯上，通过图形曝光选择性地打开一定数量的微型杯，然后显影抗蚀剂，用着色的电泳流体填充打开的微型杯，用一种密封方法密封填充的微型杯。可以重复这些步骤，以制作不同颜色的电泳流体填充的密封微型杯，用于制备彩色电泳显示器。
第`972号申请也描述了同步辊对辊光蚀刻曝光的方法和设备，该方法和设备可用于很多有用的方法中，包括制作微型杯阵列的方法和选择性填充微型杯阵列以形成彩色显示组件的方法。该图形辊对辊光蚀刻曝光，是通过与一个移动的基板同步或半同步地移动光掩模，使工作部件(如微型杯阵列或彩色显示器件)可以以一种连续或半连续、无缝的方式进行图形曝光来完成。这种同步的辊对辊曝光光蚀刻方法也适用彩色显示器的制作。
该同步辊对辊方法也适合制作可以在一种基质衬板基材(例如，图案化的ITO膜，柔性电路板等)上形成的，用于电子装置结构的大范围或非连续图案。
然而，在高对比度的彩色显示器的制作中，需要用到结构宽而深的微型杯，而这导致微型杯之间的部分相对较薄，在完成的显示器中经常可看到缺陷。
这些缺陷可部分地归因于在各个独立的制作步骤中出现的缺陷，包括正性光致抗蚀剂不良的机械和溶解特性、显影剂对抗蚀剂的钻溶、光致抗蚀剂与微型杯壁或间隔部分的粘接力不足。这些制造缺陷以不确定微型杯结构的形式出现，对显示图象的质量产生不利影响。这样，就需要一种新颖、无加工缺陷的方法，用于制作彩色电泳显示器的图形打开和选择使用着色电泳流体填充微型杯。
发明简述
在本发明最广泛的应用中，制作多色显示器的创新方法包括：去除临时填充材料，依次填充微型杯阵列；这些填充材料能够用正性作用光致抗蚀剂去除或洗掉，在填充过的微型杯上涂布正性作用光致抗蚀剂，图形曝光并显影抗蚀剂，在抗蚀剂显影的过程中或之后除去填充材料，用着色显示流体填充空杯，最后，用属于同一发明实体的未决第`488和`972号申请所披露的密封方法，密封经填充的微型杯。重复操作，用不同颜色的显示流体制作多色显示器。
添加或去除临时填充材料的步骤，是为了保持涂布在非成像区的微型杯上的光致抗蚀剂涂层的结构完整性，特别是对涂布在具有大而深的开口，例如直径50至200微米，深度在3至100微米，优选深度大约5至50微米的微型杯上的抗蚀剂。这些步骤省去了在光致抗蚀剂和微型杯阵列之间涂布胶层的需要。本发明的制作方法，提供了制作高精度多色显示器更广泛的方法和材料范围。
可以应用本领域现有技术的各种彩色显示介质或不同颜色的悬浮物、组分、液晶，或任何其它产生多色显示的适用的显示流体。
采用本发明披露的简单而高效的制作方法，能提供高质量、高分辨率的多色显示器，而且可明显降低加工成本、减少缺陷、提高生产率，且无相邻彩色流体间干扰。这些多步骤方法，也可以在现有技术的辊对辊操作或处理中高效率地进行，而且它们可以在分批操作中进行，或通过连续或半连续的操作进行。
附图简要描述
图1A-1H举例说明了本发明在图形打开、填充多色显示器组分和制作显示器的方法上具有的各种特点。
图1A图示说明了使用在导电膜(2)和基板(3)上的各种热塑性或热固性前体物(1)制成的微型杯。
图1B图示说明了可去除填充材料(4)填充的微型杯阵列上，涂布有一层正性光致抗蚀剂层(5)。
图1C图示说明了第一次用辐射对正性光致抗蚀剂进行图形曝光，选择性显影和除去涂层，除去填充材料，获得制成显影和清洗过的微型杯。
图1D图示说明第一次用第一色显示流体(6)填充并密封打开了的微型杯的结果。
图1E图示说明第二次用辐射对正性光致抗蚀剂进行图形曝光，然后选择性地显影和除去涂层，除去填充材料，获得制成的显影和清洗过的微型杯。
图1F图示说明第三次用第二色显示流体(7)填充并密封打开了的微型杯的结果。
图1G图示说明第三次用辐射对正性光致抗剂进行图形曝光，然后选择性地显影和除去涂层，除去填充材料，获得制成的显影和清洗过的微型杯。
图1H图示说明第三次用第三色显示流体(8)填充并密封打开了的微型杯的结果。
本发明详述
本发明的第一方面，在一导电基板(诸如ITO/PET膜)上形成微型杯，用可去除的临时填充材料填充。用于本发明的微型杯可以是圆形、对称和不对称的多边形，其开口面积从约4平方微米至约5×105平方微米，优选约103平方微米至约5×104平方微米。深度可以从约5微米到约100微米，优选为约10微米到50微米，并且较好的深度与宽度比为0.01到5，优选为0.1至2.5。
微型杯可以用多种不同的几何或非几何图形方式排列，如圆形、多边形如正方形、长方形、菱形、三角形、或它们的组合，例如，它们可以2或3维、对称或不对称分布，如多排、多列、或各种组合，使所希望的显示器视觉图像最优化。
也可以用属于同一发明实体的、未决的第`488号和第`972号申请所描述的各种热塑性或热固性前体物组分制备微型杯。该前体物可以包括多官能团或多价的丙烯酸酯类或甲基丙烯酸酯、氰基丙烯酸酯、多价的乙烯基化合物(包括二乙烯基苯，二乙烯基硅烷，多价的乙烯基醚)、多价的环氧化物、多价的丙烯基化合物、以及含以上可交联的官能团的低聚物或聚合物和类似物。热塑性或热固性前体物组分优选包含多官能团的丙烯酸酯及其低聚物。通常加入一种赋予挠性的可交联的低聚物，如氨基甲酸乙酯丙烯酸酯、聚丁二烯(及其共聚物)、二丙烯酸酯、或丙烯酸酯聚酯，以改善模压微型杯的抗弯曲性。微型杯的组分可以含低聚物、单体、添加剂、以及非必选地的聚合物。可以应用多于一种的交联机理。例如可以混合应用辐射聚合、阳离子聚合、或开环聚合机理。
属于同一发明实体的美国专利申请第`488号，描述了包括有明确定义的形状、尺寸、图形、和纵横比的微型杯盒的电泳显示器，该盒用分散在有视觉反差的介电溶剂中的带电颜料微粒填充。另外，在同一专利申请中也描述了它们的制作方法，结合于此，一并作为参考文献。
在本发明中，首先用可去除的临时填充材料填充微型杯阵列，然后涂布一层正性光致抗蚀剂。适用于本申请的填充材料，包括那些不与微型杯或未曝光的光致抗蚀剂反应、或不会对其整体性产生不利影响，且能在光致抗蚀剂显影期间或之后很容易地去除的材料。
适用于本发明的填充材料可包括这样的物质，其能够用清洗液例如酸或碱性溶液(例如用于正性光致抗蚀剂的显影剂)、水性溶剂、非水性溶剂或混合溶剂，很容易地从微型杯中去除或冲洗掉，这类清洗液不会与微型杯或正性光致抗蚀剂发生反应、或对其产生不利影响。用作填充材料的合适的物质包括无机物、有机物、有机金属化物、聚合物、或它们的微粒。填充材料应能溶解或分散在清洗液中。
填充材料的非限定性的实例也可包括水分散或水溶性的聚合物，如AQ支链聚酯(Eastman化学公司)、Carboset聚合物(BFGoodrich)、聚乙烯基吡咯烷酮、聚乙烯醇、聚(4-乙烯基苯酚)、酚醛树脂，及它们的共聚物。较好的填充材料为不成膜微粒，如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)乳胶、聚苯乙烯、聚乙烯、及其羧基化共聚物和相应的盐、石蜡乳状液、二氧化硅胶体、氧化钛、和碳酸钙分散物，以及它们的混合物。优选的填充材料包括含离子键的乙烯共聚物，如Acqua220、Acqua240、Acqua250(新泽西州，Honeywell)的水性分散物。Acqua220和250能用一般的碱性清洗剂除去，这些碱性清洗剂包括用于典型的酚醛树脂正性光致抗蚀剂的显影剂。Acqua240能用热水或冷水洗掉。可以使用一些添加剂改善填充材料的，特别是微粒填充材料的分散性或溶解性，这些添加剂包括表面活性剂、分散剂、氢氧化钾、三乙醇胺、芳香或脂肪碱、芳香或脂肪酸、预曝光的正性酚醛树脂光致抗蚀剂、和水溶性的聚合物如聚乙二醇、聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮、聚乙烯基吡啶、聚丙烯酸、聚甲基丙烯酸、聚丙烯酰胺，及其共聚物。
已发现作为填充材料的正性光致抗蚀剂，在应用于有选择性的打开、填充和密封相应的浅微型杯中尤其有效。如果微型杯全部用未曝光的正性光致抗蚀剂填充，则较好的微型杯的深度小于10微米，优选为小于5微米。对于更深的微型杯，正性光致抗蚀剂可以涂到微型杯里面，进行曝光，然后在其上涂布一层正性光致抗蚀剂。
本发明的第二方面，使用Myrad棒、凹印板、刮刀片、开槽涂布、开缝涂布、或类似的装置，将一正性光致抗蚀剂涂布在含填充材料的微型杯上。许多种可以买到的正性光致抗蚀剂都适合本发明。例如，酚醛树脂类的光致抗蚀剂，如S-1818、SJR-1075、SJR-3000、SJR-5440、SJR-5740、APEX-E DUV(Shipley公司)、AZ-9260、AZ-4620、AZ-4562(AZ电子材料，Clariant股份有限公司)、和THB-Positive(JSR Microelectronics)。如果正性作用抗蚀剂本身也是填充材料，优选用作厚涂层的抗蚀剂如SJR-5440、SJR-5740、以及那些含有t-BOC组分的抗蚀剂。
涂布微型杯时，通常采用过量的光致抗蚀剂，以保证微型杯全部覆盖抗蚀剂。较好的情形，是在被填充的微型杯上涂覆光致抗蚀剂，以便控制微型杯上表面涂布的抗蚀剂层厚度在大约0.1至5微米的范围，优选为0.5至3微米。可以用已知的方法和装置，如Myrad棒、凹印板、刮刀片、开槽涂布或开缝涂布、或相关的装置完成抗蚀剂的精确涂布。可以用许多本领域现有的方法除去微型杯上过量的抗蚀剂，包括用扫杆刮刀或类似的装置刮除。然后根据光致抗蚀剂供应商的建议，采用标准程序在烘箱中烘干光致抗蚀剂。接下来可以用紫外线光源完成光致抗蚀剂的图形曝光，紫外线光源可以是装有光强度为6毫瓦/平方厘米，波长为365纳米的金属卤化物灯的Loctite Zeta 7410曝光装置，或装有500瓦、型号68810汞ARC灯，光强度为5毫瓦/平方厘米，波长为365纳米的ORIEL 87000系列紫外光系统。曝光在一段足够长的时间内完成，显影剂显影后的光致抗蚀剂表现出良好对比度的图像分辨。
本发明的第三个方面，采用了同步曝光机理。实际上，一种环状光掩模相对一基质衬板是同步“转”动的，以便在曝光过程中使该光掩模和基质衬板之间保持对正并定位。在一连续的同步运动和曝光方法中，为了保持这种恒定的对正和定位，该基质衬板和光掩模在曝光过程中同速同向移动。对被选中的离散微型杯上的光致抗蚀剂的图形曝光，可以在基质衬板上精确而连续地完成。
本发明的第四个方面，在选中的微型杯上用显影剂如显影剂-351和453(马萨诸塞州，Marlborough，Shipley公司)显影并去除已曝光的正性光致抗蚀剂。然后可以把打开的微型杯用蒸馏水或稀释的显影剂溶液彻底冲洗去除填充材料。可以加入表面活性剂，例如Triton X-100(Union Carbide公司)、气溶胶OT、十二烷基苯磺酸钠，以提高在曝光区去除该填充材料的效率。然后用气流、加热、或真空等把已显影和清洗过的微型杯干燥。
本发明的第五个方面，用与在微型杯上涂布光致抗蚀剂和填充材料一样的标准涂布方法，在打开的微型杯中填充第一色显示流体，优选含有热塑性或热固性前体物(如下所示)的流体。各种颜色的显示流体和悬浮物是本领域技术已知的，包括含有各种颜色的二色性染料的液晶，以及在未决的第`488号和第`972号专利申请所描述过的不同颜色的电泳流体。
本发明的第六个方面，密封被填充的微型杯。微型杯的密封可以用未决的第`488号和第`972号专利申请所描述的各种方法完成。在其中一个优选的实施例中，可以通过在电泳显示流体中分散热塑性或热固性前体物来完成密封。显示流体的组分以及热塑性或热固性前体物的选择，应使显示流体与前体物不相溶，前体物的比重低于显示流体的比重。用前体物/显示流体的混合物填充微型杯后，前体物相从彩色显示流体相中分离出来，形成一漂浮层，然后该层通过溶剂蒸发、界面反应、湿气、加热或辐射的方法硬化或固化。虽然上述的两种或多种方法的结合，可以用来提高密封步骤的生产能力，但优选用辐射，如紫外线辐射的方法硬化微型杯。
另外，微型杯的密封也可以通过将热塑性或热固性前体物的溶液涂布在电泳显示流体上完成。通过溶剂蒸发、界面反应、湿气、加热、辐射或不同固化机理的组合来硬化前体物，完成密封。优选涂布溶液比重低于显示流体，并且与后者的相溶性有限，以减少涂布过程中的界面混合程度。通过调整涂布溶液的表面张力和粘度，在密封层和微型杯阵列之间可以获得良好的涂布均匀性和满意的粘附力。
可以重复上述全部制作步骤，用所选的其它着色显示流体按期望的组合方式填充所选的微型杯。然后用粘合剂将导电膜(例如以PET上的ITO)层压在已填充并经密封的多色微型杯阵列上。
根据本发明的电泳显示器，可以用辊对辊连续或半连续方法，制成薄的、高柔韧性、经久耐用、并且具有优良的色彩寻址性能的显示器，适用于许多不同用途。
根据本发明制作的电泳显示器对制作环境，如湿度和温度等不敏感。所得显示器薄而柔韧、经久耐用、容易操作、形式多样。因为根据本发明制作的电泳显示器包括具有令人满意的纵横比和有明确定义的形状和尺寸的微型杯，所以双稳定的反射式显示器具有优异的颜色重复定位精度、高对比度和快的切换速率。定义
“纵横比”指深度(或高度)与宽度、深度与长度，或深度与微型杯的直径的比值。
术语“明确定义的”在这里用来描述微型杯或盒，并且指明该微型杯或盒具有根据本方法的特定参数预定的明确的形状、尺寸、和纵横比。
实施例 实施例1  微型杯的配方
按重量配比35份Ebecyl 600(UCB)、40份SR-399(Sartomer)、10份Ebecryl 4827(UCB)、7份Ebecyl 1360(UCB)、8份HDDA(UCB)、0.05份Irgacure 369(Ciba特种化学品公司)、和0.01份异丙基噻吨酮(ITX，Aldrich)，均匀混合，用于微模压。实施例2  微型杯阵列的制备
含有5份Ebecryl 830、2.6份SR-399(Sartomer)、1.8份Ebecy1701、1份聚甲基丙烯酸甲酯(分子量＝350,000，Aldrich)、0.5份Irgacure 500、和40份甲乙酮(MEK)组成的初始溶液，用一个#3号的Myrad棒涂布到一个2密耳(mil)60欧姆/□(方块电阻单位ohm/sq)的ITO/PET膜(蒙大拿州Sheldahl公司)上，干燥，用Zeta 7410(5瓦/平方厘米，自Loctite公司)曝光装置的空气中紫外光固化15分钟。把按实施例1制作的微型杯配方组分涂布在处理过的ITO/PET膜上，目标厚度约50微米，用一具有60微米(宽度)×60微米(长度)重复突起方形、分隔区带为10微米宽的Ni-Co阳模进行模压，并从PET侧用紫外光辐射固化20秒，然后以大约4-5英尺/分钟的速度用2”剥离棒从模上脱出。具有明确定义的深度范围在10至50微米的微型杯，用具有相应突出高度的阳模制得。实施例3  对比实施例：用酚醛树脂光致抗蚀剂层压的微型杯阵列
用Myrad棒把3克/平方米(gm/m2)(干燥后)的正性作用光致抗蚀剂SJR-5740(马萨诸塞Shipley公司)涂布在一可去除的支撑层PET-4851(马萨诸塞Saint-Gobain公司)上。在该光致抗蚀剂上，用Myrad棒涂布3克/平方米(干燥后)的碱性可显影粘性组分，该组分由9份Nacor 72-8685(50％固体，National Starch公司)，和91份20％的Carboset 515(BF Goodrich)水溶液组成。然后把该三层粘合剂/抗蚀剂/支撑层在40℃下层压到一个10微米深，根据实施例2方法制备的空的微型杯阵列上。除去PET支撑层，用Zeta 7410(5瓦/平方厘米，Loctite)曝光装置，通过一光掩模，对微型杯阵列上层压的光致抗蚀剂图形曝光约1分钟，然后用显影剂-453(Shipley)显影2分钟。在显影步骤之后，可以看到未曝光部分的抗蚀剂的整体性遭到破坏，如存在针孔、抗蚀剂从微型杯上脱层等。实施例4  注满光致抗蚀剂的10微米深微型杯
根据实施例2所述方法制作的10微米深的微型杯阵列，用BD-10A电晕放电表面处理器(伊利诺斯州，芝加哥，Electron-Technic Products公司)对其进行电晕放电处理约1分钟，然后用#8 Myrad棒涂布光致抗蚀剂SJR-5740(42.5％的固体)。测得杯体上表面上的抗蚀剂厚度约为3微米。用Zeta 7410曝光装置对涂布过的微型杯阵列进行紫外光图形曝光约1分钟，然后用显影剂-453(Shipley)显影2分钟。可以看到良好的图形辨别，在未曝光部分的隔离壁上没有破坏抗蚀剂的整体性。曝光-显影循环重复一次。在第二次显影之后，在未曝光区的隔离壁上没有看到抗蚀剂的整体性被破坏。实施例5  对比实施例：注满光致抗蚀剂的40微米深微型杯
根据实施例4进行同样的处理，不同之处是用40微米的微型杯阵列，曝光和显影的时间分别增加到2分钟和13分钟。在第二次显影之后，可以看到未曝光区域的隔离壁上有一些缺陷和不希望的抗蚀剂显影。实施例6  用特定填充材料填充并用光致抗蚀剂涂覆的微型杯
使用根据实施例2的方法制作的深度为35微米的微型杯阵列。用一种预设25微米开口的通用刮刀(Universal Blade)，将由1份10％的PVA205(Air Product)的水溶液和9份聚苯乙烯乳胶(50％的固态组分)组成的填充材料组分涂布在微型杯上。干燥微型杯阵列，进行光学显微镜的检验以确认微型杯略微未填满。用一种预先设定10微米开口的通用刮刀，在填充过的微型杯上涂布正性光致抗蚀剂SJR-5740。光致抗蚀剂上的抗蚀剂目标厚度为3微米。图形曝光30秒钟之后，用显影剂-453对微型杯阵列显影1分钟，接着用去离子水彻底冲洗。曝光-显影-清洗循环重复一次。在第二次循环之后，在未曝光区的隔离壁上没有看到抗蚀剂的整体性被破坏。实施例7  用特定填充材料填充并用光致抗蚀剂涂覆的微型杯
在三个单独的实验中，除了用ACqua220，ACqua240，和ACqua250(Honeywell，新泽西州)代替聚苯乙烯乳胶，其余按实施例6进行同样的处理。在第二次循环之后，未曝光区域可以看到极好的图形识别，没有缺陷。实施例8-13  含有光敏溶解抑制剂的填充材料
除了用表1中所示的组分取代填充材料以外，按实施例6进行同样的处理。这样，把0-20％的光活性化合物，4-t-丁基苯酚215酯(St-Jean Photochemical)和0-10％的聚乙烯基苯酚(Aldrich，Mn＝8000或Mn＝20,000)加入到在MEK中的可用水分散的树脂AQ-1350(Eastman Chemical)中，并涂布到微型杯上。对稍微未填满的微型杯进行涂层曝光(blanket expose)2分钟，用一种预先设定7微米开口的通用刮刀，在微型杯上涂布光致抗蚀剂SJR-5740。对抗蚀剂涂布的微型杯阵列图形曝光30秒钟，用显影剂-453显影2分钟。曝光-显影循环重复一次。在第二次循环之后，在未曝光区域的隔离壁上没有看到抗蚀剂的整体性被破坏。
表1.含有曝光的光敏溶解抑制剂的填充材料(重量份数)
实施例 AQ-1350  PAC  PVPL-8,000  PVPL-20,000
    8     100     0
    9     100     10
    10     100     10     10
    11     100     10      10
    12     100     20
    13     100     20     10
PAC＝4-t-丁基苯酚215-酯；PVPL＝聚(4-乙烯基苯酚)实施例14  曝光的酚醛树脂光致抗蚀剂作为填充材料
除了用光致抗蚀剂SJR-5740取代填充材料外，按实施例8-13进行同样的处理过程。曝光-显影循环重复一次。在第二次循环之后，在未曝光区域的隔离壁上没有看到抗蚀剂的整体性被破坏。实施例15  二氧化钛分散物
用均化器把6.42克Ti Pure R706(杜邦)分散在一种溶液中，该溶液含有1.94克Fluorolink D(Ausimont)、0.22克Fluorolink 7004(Ausimont)、0.37克氟化酞菁铜染料(3M)、和52.54克全氟溶剂HT-200(Ausimont)。实施例16  二氧化钛分散物
除了用聚合物包裹的二氧化钛微粒PC-9003(新泽西州，Highstown Elimentis公司)和Krytox(杜邦)分别代替Ti Pure R706和Fluorolink外，其余都按实施例15进行同样的步骤。实施例17  微型杯的密封
使用实施例2中制备的35微米深的微型杯阵列。把85份实施例15中制备的二氧化钛分散物，用15份全氟溶剂FC-77(3M)稀释，用0.1密耳(mil)开口的通用刮刀涂布器(Universal bladeApplicator)涂布在微型杯上。得到稍微未填满的微型杯阵列。然后把7.5％聚异戊二烯的庚烷溶液，用6密耳开口的通用刮刀涂布器涂布在部分填充的微型杯上。涂布过的微型杯在室温下干燥。在显微镜下可观察到约6微米厚的无缝密封层。在密封过的微型杯中看不到气泡。实施例18  微型杯的密封
除了使用实施例16中制备的二氧化钛分散物外，按实施例17进行同样的程序。在显微镜下可观察到约6微米厚的无缝密封层。在密封过的微型杯中看不到气泡。
虽然本发明已经参考其特定的具体实施例而加以描述，但是对于本领域技术人员来说，可以容易地对上述实施方案进行多种修改和改进。因此，对实施例的说明不能用来限定本发明范围，本发明的保护范围由权利要求所限定。
组件符号说明1 前体物2 导电膜3 基板4 填充材料5 正性光致抗蚀剂层6 第一色显示流体7 第二色显示流体8 第三色显示流体

Claims (38)

1.一种用于制作具有尺寸和形状基本相同并具有明确定义的微型杯的多色电泳显示器的方法，其中所述的方法包括以下步骤：
a)用一种填充材料填充所述微型杯；
b)在填充过的所述微型杯上涂布一层光致抗蚀剂；
c)图形曝光并显影所述曝光过的抗蚀剂；
d)在显影过程中或之后除去所述的填充材料；
e)用第一色显示流体填充所述经显影的微型杯；
f)密封所述显示流体填充的微型杯；以及
g)用一种或多种不同颜色的显示流体，依次重复以上
a)到f)的处理步骤，以获得所述多色显示器。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述填充材料包括在后续步骤中能用清洗液从所述微型杯中容易去除的物质，所用所述清洗液对未曝光的光致抗蚀剂是弱溶剂或非溶剂，但对所述填充材料是一种良好溶剂或分散介质。
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述清洗液是一种水性溶液。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述填充材料选自有机物、无机物、和聚合物微粒、在水中可溶解或分散的聚合物、及它们的混合物。
5.根据权利要求4所述的方法，其中所述填充材料选自AQ支链型聚酯、Carboset聚酯、聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮、聚(4-乙烯基苯酚)、预先曝光的正性光致抗蚀剂、聚丙烯酸、聚甲基丙烯酸、及它们的共聚物、ACqua220、ACqua240、和ACqua250分散物、不形成膜的乳胶包括聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯乳胶、二氧化硅胶体、及其混合物。
6.根据权利要求4所述的方法，其中所述填充材料包含选自表面活性剂、分散剂、和光敏溶解抑制化合物的添加剂。
7.根据权利要求6所述的方法，其中所述光敏溶解抑制化合物是二叠氮化物。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述填充材料是预曝光的正性作用酚醛树脂光致抗蚀剂。
9.根据权利要求1所述的方法，其中所述光致抗蚀剂的涂层包括一厚度为0.5至15微米的涂层。
10.根据权利要求9所述的方法，其中所述光致抗蚀剂涂层包括一厚度为1至3微米的涂层。
11.根据权利要求8所述的方法，其中所述光致抗蚀剂选自酚醛树脂类光致抗蚀剂S-1818、SJR-1075、SJR-3000、SJR-5440、SJR-5740、AZ-9260、AZ-4620、AZ-4562、THB-Positive、及其混合物。
12.根据权利要求1所述的方法，其中所述光致抗蚀剂是一种聚乙烯基苯酚类的光致抗蚀剂。
13.根据权利要求1所述的方法，其中所述光致抗蚀剂是一种聚乙烯基苯酚类的光致抗蚀剂的t-BOC衍生物。
14.根据权利要求1所述的方法，其中所述曝光步骤是用紫外光辐射、可见光、或其它辐射源来完成的。
15.根据权利要求14所述的方法，还包括在所述曝光步骤之前对所述光致抗蚀剂温和烘烤的步骤。
16.根据权利要求1所述的方法，其中所述显影步骤包括用显影液接触所述曝光的微型杯。
17.根据权利要求16所述的方法，其中所述显影液是选自碱性溶液、显影剂-351、和显影剂-453的碱性显影剂。
18.根据权利要求16所述的方法，其中所述显影液包含诸如表面活性剂或分散剂的添加剂。
19.根据权利要求16所述方法的显影步骤，进一步包括用一种溶剂或溶剂混合物清洗显影过的微型杯。
20.根据权利要求19所述方法的显影步骤，其中所述溶剂是蒸馏水或去离子水。
21.根据权利要求1所述的方法，其中所述显示流体是由着色介电溶剂中的微粒分散物构成的电泳流体。
22.根据权利要求21所述的方法，其中所述微粒是白色微粒。
23.根据权利要求1所述的方法，其中所述显示流体是液晶。
24.根据权利要求23所述的方法，其中所述液晶包含一种二色性染料。
25.根据权利要求1所述的方法，其中所述显示流体的颜色为任意次序的红色、蓝色、和绿色。
26.根据权利要求1所述的方法，其中所述填充后的微型杯的密封步骤进一步包括涂布一层热塑性或热固性前体物，并硬化所述涂布层。
27.根据权利要求26所述的方法，其中所述经填充微型杯的密封是通过用一热塑性或热固性前体物组分涂覆所述显示流体完成的，所述前体物组分与所述的显示流体部分不相容，所述前体物组分具有低于所述显示流体的比重。
28.根据权利要求26所述的方法，其中所述热塑性或热固性涂层的硬化是通过溶剂或增塑剂的蒸发、冷却、界面反应、湿气、热、辐射，或上述方法的组合形式完成的。
29.根据权利要求1所述的方法，其中所述微型杯的纵横比范围大约为0.01至5。
30.根据权利要求1所述的方法，其中所述微型杯的纵横比范围大约为0.1至2.5。
31.根据权利要求1所述的方法，进一步包括涂布一层或多层热塑性或热固性前体物，通过固化或硬化来密封经填充的多色显示器的步骤。
32.根据权利要求1所述的制作方法是通过辊对辊的工艺技术完成的，以连续或半连续的操作来输送。
33.根据权利要求1所述方法制造的多色电泳显示器，其中所述显示器表面上的光学有效视率大于40％。
34.根据权利要求33所述的多色电泳显示器，其中所述微型杯的开口面积在大约为102至5×105平方微米的范围。
35.根据权利要求33所述的多色电泳显示器，其中所述微型杯的开口面积在大约为103至5×104平方微米的范围。
36.  根据权利要求33所述的多色电泳显示器，其中所述微型杯的开口为圆形、多边形、六角形、长方形、正方形、或几种形状的组合。
37.根据权利要求33所述的多色电泳显示器，其中所述微型杯的深度在大约3至100微米的范围。
38.根据权利要求33所述的多色电泳显示器，其中所述微型杯的深度在大约10至50微米的范围。
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