KR100851269B1 - 전기영동 다색 디스플레이의 제조방법 및 이 방법으로얻은 디스플레이 - Google Patents

전기영동 다색 디스플레이의 제조방법 및 이 방법으로얻은 디스플레이 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기영동 디스플레이의 분야에 관한 것이다. 더욱 자세하게는, 본 발명은 다색 디스플레이 요소의 이미지 방향 개구 및 밀봉 공정, 및 다색 디스플레이의 제조방법에 관한 것이다.
다색 전기영동 디스플레이

Description

전기영동 다색 디스플레이의 제조방법 및 이 방법으로 얻은 디스플레이{PROCESS OF MANUFACTURING ELECTROPHORETIC MULTICOLOR DISPLAYS AND DISPLAYS OBTAINED THEREWITH}
기술분야
본 발명은 전기영동 디스플레이 분야에 관한 것이다. 더욱 자세하게는, 다색 디스플레이 요소의 이미지방향 (imagewise) 개구 및 충전 공정, 및 다색 디스플레이의 제조 방법에 관한 것이다.
배경기술
전기영동 디스플레이 (EPD) 는 디지털, 영숫자, 아날로그 또는 그래픽 정보의 표시용으로 적합한 비방출형 디스플레이로 알려져 있다. 통상적으로, EPD 시스템은 2개의 전극 사이에 수용되어있는 유전체 액내의 안료입자의 현탁액을 포함하며, 2개의 전극중 하나 이상은 투명하다. 이들 전극에 걸쳐 전위를 인가할 경우, 하전입자가 한 전극 또는 다른 전극으로 이동한다. 현탁액이 안료입자와 대조되는 컬러의 유전체액을 포함하는 경우, 안료입자가 이동하여, 이미지를 표시시키는데, 이 이미지는 뷰 시트 (viewing sheet) 또는 투명전극을 통하여 볼 수 있다.
EPD 는 액정디스플레이에 비해 우수한 휘도와 콘트라스트의 특성, 넓은 시야각, 쌍안정성, 및 저전력 소비를 갖는다. EPD 의 개발 및 제조와 관련한 기본기술은 미국특허 제5,961,804호, 제4,732,830호, 제4,680,103호, 제4,298,448호, 제4,732,830호 및 그 명세서내에 인용된 특허공보에 개시되어 있으며, 그 개시내용 전체가 본 명세서 내에 참조로서 통합되어 있다.
다른 종류의 평판 디스플레이보다 우수한 EPD의 이점들 중에는, 매우 낮은 전력소비가 있다. 특히, 이러한 현저한 이점에 의해, EPD는 랩톱, 셀 폰, 개인휴대 정보단말기, 휴대용 전자 의료진단장치, GPS (global positioning system) 장치 등과 같은, 휴대용이고 배터리로 전력을 공급받는 장치에 적합하다.
유전유체내에 침전과 같이, 입자의 원하지 않은 이동을 방지하기 위해, 2개의 전극들 사이에 격벽들을 형성하여, 그 공간을 좀 더 작은 셀들로 분리하는 방법이 제안되었다. 예를 들면, M. A Hopper 및 V. Novotny의 IEEE Trans. Electr. Dev. (Vol ED 26, No. 8, pp. 1148-1152 (1979)) 를 참조한다. 그러나, 이들 셀들 내에 전기영동 유체를 충전하고 밀봉하는 공정은 매우 낮은 스루풋과 높은 비용이 든다.
현탁액을 마이크로캡슐들 내에 밀봉하려는 시도들이 이루어졌다. 미국특허 제5,961,804호 및 미국특허 제5,930,026호에는 마이크로캡슐화 EPD이 개시되어 있다. 이들 디스플레이는 실질적으로 마이크로캡슐들의 2차원 배치를 갖는데, 각각의 마이크로캡슐은 내부에, 하전 입자들과 시각적으로 대조를 이루는 유전유체 내에 부유되어 있는 하전 안료입자의 전기영동 조성물을 갖는다.
동일한 출원인에게 양도된, 미국특허출원 09/518,488 (WO 01/67170의 대응특허출원) 및 09/784,972 (이하, "'488 및 '972 출원"이라 함) 에는, 광학적으로 대조를 이루는 유전체 용매 내에 분산된 하전 안료 입자들로 충전된, 잘 정의된 형상, 크기, 및 종횡비를 갖는 셀들을 포함하는 EPD가 개시되어 있다. 또한, 잘 정의된 형상, 크기 및 종횡비의 셀들 또는 마이크로컵들을 제조하는 방법도 이 특허출원 '488 및 '972에 개시되어 있으며, 그 전체가 여기에 참조로서 통합되어 있다.
'488 및 '972 출원에 개시되어 있는, 개선된 컬러 EPD 를 제조하는 방법은, 미리 형성된 빈 마이크로컵들에 포지티브형 포토레지스트의 층을 적층하는 단계, 포지티브 포토레지스트를 이미지 방향으로 노광하여 특정 개수의 마이크로컵을 선택적으로 개구하는 단계, 포토레지스트를 현상하는 단계, 선택적으로 개구된 마이크로컵을 착색된 전기영동 유체로 충전시키는 단계, 및 충전된 마이크로컵을 밀봉하는 단계를 포함한다. 포토레지스트의 개구와 현상, 및 마이크로컵의 충전과 밀봉을 연속해서 반복단계로 수행하여, 다른 색의 전기영동 유체로 충전되는 밀봉된 마이크로컵을 형성할 수도 있다
상술한 '972 출원의 일 양태은, 디스플레이의 제조를 동기화된 포토리소그래피 공정에 의해 연속으로 수행하는 신규의 롤-투-롤 방법 및 장치에 관한 것이다. 또한, 이 동기화된 롤-투-롤 방법 및 장치는 액정표시장치 (LCD) 및 또 다른 구조물과, 전자장치의 어셈블리에 유용하다.
또한, '972 출원은, 어드레스지정가능한 인듐-주석 산화물 (ITO) 라인과 같이, 패터닝된 컨덕터막을 포함한 서포트 웹 상에 형성되며, 2 차원 구조의 어레이 어셈블리의 부분들로서 서로 일체적으로 형성된 복수의 마이크로컵들의 제조방법을 개시하고 있다. 어레이 어셈블리의 각각의 마이크로컵을, 유전용매 내의 하전 안료 입자의 분산액 또는 현택액으로 충전시킨 다음 밀봉시켜 전기영동셀을 형성한다.
상부에 마이크로컵들을 형성한 기판 웹은 ITO 컨덕터라인과 같은 사전형성된 컨덕터막을 포함하는 어레이를 어드레스지정하는 디스플레이를 포함한다. 컨덕터막 (ITO 라인) 과 서포트 웹은 방사선 경화층으로 코팅된다. 이후, 이 막과 방사선 경화층을 이미지 방향으로 방사선에 노광시켜 마이크로컵 웰 구조물을 형성한다. 노광에 후속하여, 현상액를 이용하여 비노광 영역을 제거한 다음, 컨덕터막/서포트 웹에 본딩된, 경화된 마이크로컵 웰들만을 남겨놓는다. 이미지 방향의 노광은 UV 또는 다른 형식의 방사선에 의해 포토마스크를 통하여 수행하여, 컨덕터막 상에 코팅된 방사선 경화 재료 노광의 이미지 또는 소정의 패턴을 생성할 수 있다. 대부분의 애플리케이션에 반드시 필요한 것은 아니지만, 컨덕터막, 즉, ITO 라인들에 대하여 마스크를 위치맞춤한 다음 정렬시켜, 투명 마스크부분을 ITO 라인들 사이에 있는 공간과 정렬시키고 불투명 마스크 부분을 ITO 재료들과 정렬시킬 수도 있다. 또한, 이 '488 및 '972 출원은, 사전패터닝된 숫몰드로, 컨덕터막상에 코팅된 열가소성 또는 열경화 전구체층을 엠보싱한 다음 숫몰드 (male mold) 를 제거하는 단계를 포함하는 방법에 의해 제조되는 마이크로컵 어레이를 개시하고 있다. 이 전구체층은 방사선, 냉각, 용매증발 또는 다른 수단에 의해 경화시킬 수도 있다. 내용제성이고 열역학적으로 안정된, 넓은 범위의 크기, 형상, 패턴, 및 개구비를 갖는 마이크로컵들을, 상술한 방법들 중의 어느 한 방법에 의해 제조할 수 있다.
또한, 상술한 '488 및 '972 출원은, 단일 안료 현탁액 조성물로 마이크로컵들을 충전시키고, 마이크로컵들을 밀봉시킨 다음, 마지막으로 접착층에 의해 사전코팅된 제 2 컨덕터막을 마이크로컵들의 밀봉된 어레이에 적층시킴으로써, 마이크로컵 어셈블리로부터의 단색 EPD 제조 방법을 개시하고 있다.
또한, 이 '488 및 '972 출원은 소정의 마이크로컵 서브세트의 순차적인 선택적 개구 및 충전 공정에 의한 마이크로컵 어셈블리로부터의 컬러 EPD 제조에 관한 것이다. 이 방법은 미리 형성한 마이크로컵들을 포지티브형 포토레지스트의 층으로 적층 또는 코팅하는 단계, 포지티브형 포토레지스트를 이미지 방향으로 노광시켜 특정 개수의 마이크로컵들을 선택적으로 개구하는 단계, 그 레지스트를 현상하는 단계, 개구된 컵들을 착색된 전기영동 유체로 충전시키는 단계, 및 충전된 마이크로컵들을 밀봉공정에 의해 밀봉하는 단계를 포함한다. 이들 단계들을 반복수행하여, 다른 컬러의 전기영동 유체로 충전된 밀봉 마이크로컵들을 형성함으로써, 컬러 EPD 를 형성할 수 있다.
또한, '972 출원은 동기화된 롤-투-롤 포토리소그래피 노광 방법 및 장치를 개시하고 있는데, 이 방법에 따르면, 마이크로컵 어레이의 형성 공정 및 마이크로컵들의 어레이들을 선택적으로 충전하는 공정을 포함한, 복수의 유용한 프로세스를 이용하여 컬러 디스플레이 어셈블리를 형성할 수도 있다. 이미지 방향의 롤-투-롤 포토리소그래피 노광은, 이동마스크를 통하여 동기화된 또는 반연속으로 동기화된 방식으로 이동 웹 기판에 수행하여, 공정중에 있는 제품 (예를 들면, 마이크로컵 어레이 또는 컬러 디스플레이) 의 이미지 방향의 노광을 연속적으로 또는 반연속적으로 및 무결절성 (seamless) 방식으로 가능하게 한다. 또한, 이러한 동기화된 롤-투-롤 노광 포토리소그래피 공정은 컬러 디스플레이의 제조에 대해서도 수행할 수 있다.
동기화된 롤-투-롤 공정은 예를 들면, 패터닝된 ITO 막, 가요성 회로기판과 같은 서포트 웹 기판 상에 형성가능한 전자장치에 대하여 별도의 패턴 또는 넓은 범위의 구조물을 제조하는데 이용할 수도 있다.
그러나, 높은 콘트라스트 비의 컬러 디스플레이의 제조에, 구조적으로 넓고 깊은 마이크로컵들의 이용이 필요한 경우, 마이크로컵들 간의 비교적 얇은 격벽에 의해, 종종 완성된 디스플레이에 결함이 관찰된다.
이들 결함은, 포지티브 포토레지스트의 빈약한 기계적 특성과 용해 특성, 현상액에 의한 레지스트의 언더커트 에러, 및 마이크로컵들의 격벽 또는 측벽에 대한 포토레지스트의 빈약한 접착성을 포함한, 여러 개별 제조단계에서의 부분적인 결함에 의한 것일 수 있다. 이들 제조 결함은 정확하지 못한 마이크로컵 구조로 나타나, 디스플레이 이미지의 품질에 악영향을 미친다. 따라서, 마이크로컵들을 이미지 방향으로 개구하고 컬러 EPD의 형성을 위해 선택적으로 착색된 전기영동 유체로 마이크로컵들을 충전시키는 신규의 무결함 제조방법이 필요하다.
발명의 개요
본 발명의 가장 넓은 애플리케이션에서, 다색 디스플레이의 제조를 위한 혁신적인 접근방법은 마이크로컵들 어레이를, 포지티브형 포토레지스트용의 현상액으로 제거되거나 세정될 수 있는 제거가능한 임시 충전제 재료로 충전시키는 단계, 충전시킨 마이크로컵들 상에 포지티브형 포토레지스트로 코팅하는 단계, 레지스트를 이미지 방향으로 노광한 다음 현상하는 단계, 레지스트 현상 공정 이후 또는 현상 공정 동안에 충전제 재료를 제거하는 단계, 빈 마이크로컵들을 착색된 디스플레이 유체로 충전시키는 단계, 및 충전된 컵을, 본 발명의 양수인에게 양도된, 현재 출원계류중인 '488 및 '972 출원에 개시되어 있는 밀봉공정에 의해 마지막으로 밀봉하는 순서를 포함한다. 그 후, 다르게 착색된 디스플레이 유체에 의해, 동일한 반복 공정을 수행하여 다색 디스플레이를 제조한다.
임시 충전제를 부가 및 제거하는 단계는, 비이미징 영역에서의 마이크로컵들 상에 코팅된 포토레지스트층의 구조적 보존성을 유지시키는 기능, 특히, 50 내지 200 마이크론 직경과, 3 내지 약 100 마이크론 범위의 깊이, 바람직하게는 약 5 내지 50 마이크론의 깊이와 같은 크고 깊은 개구부들을 갖는 컵 상에 코팅된 레지스트에 대하여, 구조적 보존성을 유지시키는 기능을 한다. 또한, 이들 단계는 마이크로컵 어레이와 포토레지스트 간에 텐팅 (tenting) 접착층의 필요성을 없앤다. 본 발명의 제조방법은 고선명도 다색 디스플레이의 제조에 더 폭넓은 공정과 재료 관용도를 제공한다.
여러 컬러 디스플레이 매체 또는 다른 컬러의 현탁액, 조성물, 액정 또는 당해 기술에 알려진 다색 디스플레이를 생성하는 다른 어떤 적절한 디스플레이 유체를 이용할 수 있다.
본 발명에 개시된, 이러한 단순하고 효과적인 제조방법은 고품질, 상당히 낮은 공정비의 고해상 다색 디스플레이, 적은 결함, 높은 수율, 및 인접한 컬러 유체들 간의 크로스토크 (crosstalk) 의 비발생을 제공한다. 또한, 이들 다단계 방법은 롤-투-롤 동작 또는 당해 기술에 알려진 공정하에서 효과적으로 수행할 수도 있고 일괄 동작으로 수행할 수도 있으며, 연속적인 또는 반연속적인 동작으로 수행할 수도 있다.
도면
도 la 내지 도 1h는 본 발명의 다색 디스플레이 요소의 이미지 방향의 개구와 충전 공정 및 디스플레이의 제조 방법에 대한 여러 특징을 나타낸 것이다.
도 1a는 컨덕터막 (2) 과 기판 (3) 상에, 각종 열가소성 또는 열경화성 전구체의 여러 조성물 (1) 로부터 형성된 마이크로컵들을 나타낸 것이다.
도 1b는 포지티브 포토레지스트층 (5) 을 포함하는 코팅과 함께 제거가능한 충전제 재료 (4) 로 충전된 마이크로컵 어레이를 나타낸다.
도 1c는 방사선에 의한 포지티브 포토레지스트의, 제 1 이미지 방향 노광, 코팅의 선택적인 현상과 제거, 및 현상하고 클리닝한 마이크로컵들을 생성하는 충전제 제거 결과를 나타낸다.
도 1d는 제 1 컬러 디스플레이 유체 (6) 로, 개구된 마이크로컵들을 첫번째로 충전시킨 다음 밀봉한 결과를 나타낸다.
도 1e는 방사선에 의한 포지티브 포토레지스트의, 제 2 이미지 방향 노광, 코팅의 선택적인 현상과 제거, 및 현상하고 클리닝한 마이크로컵들을 생성하는 충전제 제거 결과를 나타낸다.
도 1f는 제 2 컬러 디스플레이 유체 (7) 로, 개구된 마이크로컵들을 두번째로 충전시킨 다음 밀봉한 결과를 나타낸다.
도 1g는 방사선에 의한 포지티브 포토레지스트의, 제 3 이미지 방향 노광, 코팅의 선택적인 현상과 제거, 및 현상하고 클리닝한 마이크로컵들을 생성하는 충전제 제거 결과를 나타낸다.
도 1h는 제 3 컬러 디스플레이 유체 (8) 로, 개구된 마이크로컵들을 세번째 로 충전시킨 다음 밀봉한 결과를 나타낸다.
발명의 상세한 설명
본 발명의 제 1 양태에서, ITO/PET 막과 같은 컨덕터 기판 상에 형성된 마이크로컵들을, 제거가능한 임시 충전제 재료로 충전시킨다. 본 발명에 이용되는 마이크로컵들은 약 4 마이크론2 내지 약 5 x 105 마이크론2, 바람직하게는,약 103 마이크론2 내지 약 5 x 104 마이크론2 범위의 개구면적을 가지는 원형, 대칭 또는 비대칭의 다각형일 수 있다. 깊이는 약 5 내지 약 100 마이크론, 바람직하게는, 약 10 내지 약 50 마이크론 범위에 있을 수 있으며, 종횡비는 약 0.01 내지 5 범위인 것이 바람직하며, 약 0.1 내지 2.5 범위인 것이 가장 바람직하다.
마이크로컵들은 원, 정사각형, 직사각형, 다이아몬드, 삼각형과 같은 다각형 또는 이들의 조합과 같은 상이한 기하학적 및 비기하학적인 많은 패턴으로 배열될 수 있거나, 예를 들면, 2차원 또는 3차원적으로, 복수의 행, 열 또는 이들의 여러 조합들과 같은 대칭 또는 비대칭 분포로 배열되어 디스플레이의 원하는 시각적 이미지를 최적화할 수 있다.
본 발명의 양수인에게 양도된, 모두 출원계류중인 '488 및 '972 출원에 개시된 바와 같이, 마이크로컵들을, 각종 열가소성 또는 열경화성 전구체 조성물로 제조할 수 있다. 이 전구체들은 다관능성 또는 다가 아크릴레이트 또는 메타크릴레이트, 시아노아크릴레이트, 디비닐벤젠, 디비닐 실란을 포함한 다가 비닐, 다가 비닐에테르, 다가 에폭사이드, 다가 알릴, 및 상술한 가교성 관능기 등을 함유한 중합체 또는 올리고머를 포함할 수 있다. 가장 바람직하게, 열가소성 또는 열경화성 전구체 조성물은 다관능성 아크릴레이트 및 이들의 올리고머를 포함한다. 통상적으로, 우레탄 아크릴레이트, 폴리부타디엔 (및 이들의 공중합체), 디아크릴레이트 또는 폴리에스테르 아크릴레이트와 같이 가요성을 부여하는 가교성 올리고머를 첨가하여 엠보싱된 마이크로컵들의 내굴곡성을 향상시킨다. 마이크로컵들의 조성물은 올리고머, 모노머, 첨가제, 및 선택적으로 중합체를 함유할 수도 있다. 1 보다 큰 가교 메카니즘을 적용할 수도 있다. 실시예들은 라디컬 및 양이온성 또는 개환 중합 메카니즘의 하이브리드의 이용을 포함한다.
본 발명의 양수인에게 양도된, 미국특허출원 '488은 잘 정의된 형상, 크기, 패턴, 및 애스펙트비의 셀을 포함한 EPD를 개시하고 있는데, 이 셀들은 광학적으로 대조를 이루는 유전용매에 분산시킨 하전 안료 입자로 충전되어 있다. 또한, 이 특허출원에는 그 제조방법도 개시되어 있다.
본 발명에서, 마이크로컵 어레이는 제거가능한 임시 충전제 재료로 먼저 충전시킨 다음, 포지티브 포토레지스트의 층으로 코팅한다. 본 발명에 적용하기 위한 적절한 충전제는 마이크로컵들 또는 비노광된 포토레지스트의 보전성에 반응 또는 악영향을 미치지 않는 재료를 포함하며, 포토레지스트의 현상 동안에 또는 현상후에 쉽게 제거할 수 있다.
본 발명에 이용하는 적절한 충전제는 마이크로컵들 또는 포지티브 포토레지스트와 반응 또는 악영향을 미치지 않는, (포지티브 포토레지스트의 현상액과 같은) 산성 또는 염기성 용액, 수성 또는 비수성 용매 또는 용매 혼합물과 같은 클리닝 용액을 이용하여 마이크로컵들을 쉽게 제거하거나 세정할 수 있는 재료를 포함할 수 있다. 충전제로서 이용하는 적절한 재료는 무기물, 유기물, 유기금속, 중합재료, 및 이들의 미립자를 포함한다. 이 충전제는 클리닝용액에 용해가능하거나 또는 분산가능하여야 한다.
또한, 충전제 재료의 예로서는, AQ 분지 폴리에스테르 (Eastman Chemical Company), Carboset
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Polymers (BF Goodrich), 폴리비닐피롤리돈, 폴리 (비닐알콜), 폴리 (4 비닐 페놀), 노볼락 수지, 및 이들의 공중합체와 같은 수분산성 (Water-dispersible) 또는 가용성 중합체를 포함할 수 있다. 더욱 바람직한 충전제 재료는 PMMA, 폴리스티렌, 폴리에틸렌, 및 카르복실화한 공중합체의 라텍스 및 이들의 대응 염과 같은 비막 형성입자 (non-film forming particles), 왁스 유탁액, 콜로이드 실리카, 티타늄 산화물, 및 칼슘 카보네이트 분산물 및 이들의 혼합물이다. 특히, 바람직한 충전제 재료는 ACqua220, ACqua240, 및 ACqua250 (Honeywell, New Jersey) 와 같은 에틸렌 공중합체의 이오노머의 수성 분산물을 포함한다. ACqua220 및 250 는 통상적인 노볼락 포지티브 포토레지스트에 이용하는 현상액을 포함한 통상적인 알카리성 클리너로 제거할 수 있다. ACqua240 는 온수 또는 냉수로 제거할 수 있다. 계면활성제, 분산제, KOH, 트리에탄올아민, 방향족 또는 지방족 염기, 방향족 또는 지방족 산, 디아지드 (diazide) 화합물과 같은 첨가제, 사전노광된 포지티브 노볼락 포토레지스트, 및 폴리에틸렌 글리콜, 폴리비닐 알콜, 폴리비닐피롤리돈, 폴리비닐피리딘, 폴리아크릴산, 폴리메타크릴산, 폴리아크릴아미드 및 이들의 공중합체와 같은 수용성 중합체를 이용하여, 충전제, 특히, 미립자 충전제의 분산성 또는 용해성을 강화시킬 수도 있다.
충전제로서 포지티브 포토레지스트를 이용하는 것은 비교적 얕은 마이크로컵들의 선택적 개구, 충전 및 밀봉을 위한 적용에 특히 유용하다. 비노광 포지티브 포토레지스트로 마이크로컵들을 전체적으로 충전시키는 경우, 마이크로컵 깊이는 10 마이크론 보다 작은 것이 바람직하며, 5 마이크론 보다 작은 것이 더욱 바람직하다. 좀더 깊은 마이크로컵들에 대하여, 포지티브 포토레지스트를 마이크로컵 내에 언더코팅하고 노광한 다음, 포지티브 포토레지스트의 층으로 오버코팅한다.
본 발명의 제 2 양태에서, 충전제를 포함하는 마이크로컵들은 Myrad 바, 그라비어, 닥터 블래이드, 슬롯 코팅, 또는 슬릿 코팅, 또는 이와 유사한 장치를 이용하여 포지티브 포토레지스트로 오버코팅된다. 여러 상업적으로 이용가능한 포지티브 포토레지스트가 본 발명에 적합하다. 그 예들은 S-1818, SJR-1075, SJR-3000, SJR-5440, SJR-5740, APEX-E DUV (Shipley Company), AZ-9260, AZ-4620, AZ-4562 (AZ Electronic Materials, Clariant AG), 및 THB-Positive (JSR Microelectronics) 와 같은 노볼락계 포토레지스트를 포함한다. 또한, 포지티브형 레지스트 자체가 충전제인 경우, SJR-5440, SJR-5740 및 thet-BOC 성분을 함유한 것과 같은, 두꺼운 코팅 도포용 레지스트가 바람직하다.
통상적으로, 마이크로컵들의 오버코팅시, 과잉의 포토레지스트를 충분한 양으로 도포하여, 마이크로컵들이 레지스트에 의해 완전히 커버되는 것을 보장한다. 바람직하게, 충전된 마이크로컵들 상의 포토레지스트의 도포는, 마이크로컵들의 상부표면 상의 레지스트 층의 두께가 약 0.1 내지 5 마이크론 범위로, 더욱 바람직하게는 약 0.5 내지 3 마이크론 범위로 제어될 정도로 수행한다. 레지스트의 정밀한 코팅은 Myrad 바, 그라비어, 닥터 블래이드, 슬롯 코팅 또는 슬릿 코팅 또는 관련 장치와 같은 장치와 알려진 과정을 이용하여 수행할 수 있다. 마이크로컵들 상의 레지스트 과잉분은 와이퍼 블래이드 또는 이와 유사한 장치로 스크랩핑하는 것을 포함한, 당해 기술에 알려진 여러 방법을 이용하여 제거할 수 있다. 이후, 포토레지스트를 포토레지스트 공급자에 의해 제시되는 표준 과정을 이용하여 오븐에서 베이킹한다. 후속하는 포토레지스트의 이미지 방향의 노광은, 365nm에서 약 6mW/cm2 의 강도를 갖는 메탈헬라이드램프가 장치된 Loctite Zeta 7410 노광유닛 또는 365nm 에서 약 5 mW/cm2 의 강도를 갖는 500 watts 모델 l68810 수은 ARC 램프가 장치된 ORIEL 87000 시리즈 UV 시스템과 같은 UV 광원을 이용하여 수행할 수 있다. 이 노광은, 포토레지스트가 현상액에 의해 현상된 후에도 우수한 콘트라스트로 이미지 식별을 보여주기에 충분한 정도의 기간동안 수행한다.
본 발명의 제 3 양태에서, 동기화된 노광 메카니즘을 이용한다. 실제에 있어서, 포토마스크 루프는 웹에 대하여 동기 동작으로 "롤링하여" 노광 동안에 마스크와 웹 간의 정렬과 인쇄정합을 유지시킨다. 연속적인 동기동작과 노광공정에서, 웹과 마스크는 노광동안에 동일한 속도와 동일한 방향으로 이동하여 일정한 정렬과 인쇄정합을 유지시킨다. 선택된 개개의 마이크로컵들에 대한 포토레지스트의, 이미지 방향의 노광은 웹상에서 정확하고 연속적으로 실시할 수 있다.
본 발명의 제 4 양태에서, 선택된 마이크로컵들에 대한 노광된 포지티브 포토레지스트를, Developer-351 및 453 (Shipley Company, Marlborough, Massachu-setts) 와 같은 현상액을 이용하여 현상하고 제거한다. 이후, 커버되지 않은 마이크로컵들을, 증류수 또는 희석시킨 현상액 용액으로 완전히 세정하여, 충전제를 제거할 수 있다. Triton X-100 (Union Carbide), 에어로졸 OT, 도데실벤젠나트륨 술포네이트와 같은 계면활성제 또는 분산제를 첨가하여, 노광된 영역에 충전제의 제거효율을 증가시킬 수도 있다. 이후, 현상되어 클리닝된 마이크로컵들은 바람 쐬기, 가열, 또는 진공 등으로 건조시킨다.
본 발명의 제 5 양태에서, 개구된 마이크로컵들은, 마이크로컵들 상에 포토레지스트와 충전제 재료를 코팅하는데 이용되는 표준 코팅 방법을 이용하여, 열가소성 또는 열경화성 전구체 (아래 참조할 것) 를 선택적으로 함유하는 제 1 컬러 디스플레이 유체로 충전된다. 여러 컬러 디스플레이 유체와 현탁액은, 모두 출원계류중인 특허출원 '488 및 '972에 개시된 바와 같이, 상이한 컬러 전기영동 유체, 및 여러 컬러의 이색성 염료를 함유한 액정을 포함하여, 당해 기술에 알려져 있다.
본 발명의 제 6 양태에서, 충전된 마이크로컵들을 밀봉한다. 마이크로컵들의 밀봉은 모두 출원계류중인 특허출원 '488 및 '972 에 개시된 여러 방법에 의해 달성할 수 있다. 바람직한 실시형태들중 하나로는, EPD 유체에 열가소성 또는 열경화성 전구체를 분산시켜 밀봉을 실시할 수 있다. 디스플레이 유체가 디스플레이 유체보다 낮은 비중을 갖는 전구체와 혼화되지 않도록, 디스플레이 유체와 열가소성 또는 열경화성 전구체의 조성물들을 선택한다. 마이크로컵들을 전구체/디스플레이 유체 혼합물로 충전시킨 후, 전구체 상은 컬러 디스플레이 유체로부터 분리된 다음, 용매 또는 가소제의 증발, 냉각, 계면 반응, 가습, 가열 및 방사선에 의해 이후 경질화되거나 경화되는 상청액층을 형성한다. 바람직하게는, 상술한 2개 이상의 방법들의 조합을 이용하여 밀봉단계의 스루풋을 증가시킬 수 있는 경우에도, 마이크로컵들을 UV와 같은 방사선으로 경화시킨다.
다른 방법으로는, 마이크로컵들의 밀봉을, 열가소성 또는 열경화성 전구체의 용액으로 EPD 유체를 오버코팅하여 실시할 수도 있다. 이 밀봉은 용매증발, 계면반응, 가습, 가열, 방사선, 또는 여러 경화 메카니즘의 조합에 의해 전구체를 경화시켜 실시할 수도 있다. 바람직하게, 오버코팅 용액은 디스플레이 유체보다 가벼우며, 코팅동안에 혼합정도를 감소시키도록 디스플레이 유체보다 제한된 혼화성을 갖는다. 오버코팅 용액의 점성도와 표면장력을 신중하게 조절함으로써, 우수한 코팅 균일성 및 밀봉층과 마이크로컵 어레이 간의 만족스러운 접착성이 달성될 수 있다.
상술한 전제 제조 단계들을 반복하여, 원하는 구성의 다른 선택된 착색 디스플레이 유체를 이용하여, 선택된 마이크로컵에 충전시킬 수도 있다. 이후, 충전되어 밀봉된 다색 마이크로컵 어레이를, 접착제에 의해 PET 상의 ITO 와 같은 컨덕터막 상에 적층한다.
본 발명에 따라 제조된 EPD 는, 얇고, 가요성이 높으며, 내구성있는, 여러가지 상이한 적용에 대하여 우수한 컬러 어드레스지정 능력을 갖는 다색 디스플레이의 롤-투-롤 연속적 또는 반연속적 제조 실시에 적용할 수도 있다.
본 발명에 따라 제조된 EPD는 온도와 습도와 같은 제조환경에 민감하지 않다. 이렇게 제조된 디스플레이는 얇고 가요성이 있으며 내구성있고 조작하기 쉬우며 구성에서 유연성 (format-flexible) 을 갖는다. 본 발명에 따라 제조된 EPD는 우수한 종횡비와 잘 정의된 형상과 크기의 마이크로컵들을 구비하기 때문에, 쌍안정 반사 디스플레이가 우수한 컬러 어드레스지정능력, 고콘트라스트비, 및 고속의 스위칭 레이트를 갖게 된다.
정의
"종횡비 (aspect ratio)"는 마이크로컵들의 폭에 대한 깊이 (또는 높이), 길이에 대한 깊이 또는 지름에 대한 깊이 비율을 의미한다.
용어 "잘 정의된"은 마이크로컵들 또는 셀들을 설명하는데 이용하며, 마이크로컵 또는 셀이 제조공정의 특정 파라미터에 따라 소정의, 정확한 형상, 크기 및 종횡비를 갖고 있음을 나타낸다.
실시예
실시예 1: 마이크로컵 형성
35 중량부의 Ebecryl 600 (UCB), 40 중량부의 SR-399 (Sartomer), 10 중량부의 Ebecryl 4827 (UCB), 7 중량부의 Ebecryl 1360 (UCB), 8 중량부의 HDDA (UCB), 0.05 중량부의 Irgacure 369 (Ciba Specialty Chemicals), 및 0.01 중량부의 이소프로필 티옥산톤 (thioxanthone) (ITX, Aldrich) 을 균질하게 혼합하여 마이크로엠보싱에 이용하였다.
실시예 2: 마이크로컵 어레이의 제조
5 중량부의 Ebecryl 830, 2.6 중량부의 SR-399 (Sartomer), 1.8 중량부 의 Ebecry 1701, 1 중량부의 PMMA (Mw = 350,000, Aldrich), 0.5 중량부의 Irgacure 500 및 40 중량부의 메틸 에틸 케톤 (MEK) 을 포함하는 프라이머 용액을, 2 mil 60 ohm/sq. ITO/PET 막 (Sheldahl Inc., MN) 상에 #3 Myrad 바를 이용하여 코팅하고 건조시킨 다음, Zeta 7410 (5 w/cm2, Loctite) 노광유닛을 이용하여 15 분 동안 공기중에서 UV 경화시켰다. 실시예 1에서 제조한 마이크로컵 형성물을, 처리된 ITO/PET 막 상에 약 50㎛의 목표 두께로 코팅시키고, 10㎛ 폭의 격벽 선을 갖고 60㎛ (폭) x 60 ㎛ (길이) 의 반복되는 돌출부 패턴을 갖는 Ni-Co 숫몰드로 엠보싱시킨 다음, PET 측으로부터 20 sec 동안 UV 경화하여 약 4 내지 5 ft/min의 속도로 2”필링 바 (peeling bar) 를 이용하여 몰드로부터 제거하였다. 대응 돌출부 높이를 갖는 숫몰드를 이용하여 10 내지 50 ㎛ 범위의 깊이를 갖는 잘 정의된 마이크로컵들을 제작하였다.
실시예 3: 비교예: 노볼락 포토레지스트가 적층된 마이크로컵 어레이
3g/m2의 (건조된) 포지티브형 포토레지스트 SJR-5740 (Shipley, MA) 를, Myrad 바로 제거가능한 클리어 서포트 PET-4851 (Saint-Gobain, MA) 상에 코팅하였다. 이후, 포토레지스트 상에, 9 중량부의 Nacor 72-8685 (50% 고체, National Starch) 및 91 중량부의 Carboset 515 (BF Goodrich) 의 20% 수용액을 포함하는 3gm/m2 의 (건조된) 알칼리 현상가능 접착성 조성물을 Myrad 바로 코팅시켰다. 이후, 3개의 층, 접착제/레지스트/서포트를, 40 ℃에서 실시예 2를 따라 제작한 10 마이크론 깊이의 빈 마이크로컵 어레이 상에 적층시켰다. PET 서포트를 제거하였고 마이크로컵 어레이에 적층한 포토레지스트를, Zeta 7410 (5W/cm2, Loctite) 노광유닛을 이용하여 포토마스크를 통해 이미지 방향으로 1분동안 노광시킨 다음, 2분 동안 Developer-453 (Shipley) 에 의해 현상시켰다. 현상 단계 이후, 핀홀과 같은 비노광 영역에서의 레지스트 보존성의 열화와 마이크로컵들로부터의 레지스트의 박리를 관찰하였다.
실시예 4: 포토레지스트로 완전히 충전된 10 마이크론 깊이의 마이크로컵들
실시예 2에 따라 제조한 10 마이크론 깊이의 마이크로컵 어레이를, 약 1 분동안 BD-10A 코로나 표면처리기 (Electron-Technic Products, Inc, Chicago,IL) 로 코로나 처리한 다음, #8 Myrad 바를 이용하여 포토레지스트 SJR-5740 (42.5% 고체) 로 코팅시켰다. 마이크로컵들의 상부표면 상의 레지스트 두께는 약 3 마이크론으로 측정되었다. 코팅한 마이크로컵 어레이를, 약 1분동안 Zeta 7410 노광유닛을 이용하여 이미지 방향으로 UV노광한 다음, Developer-453 (Shipley) 에 의해 2분 동안 현상시켰다. 비노광 영역에서의 격벽의 측벽에 대하여 레지스트 보전성의 열화가 없이 우수한 이미지 식별이 관측되었다. 노광-현상 사이클을 1회 더 반복하였다. 두번째 현상공정 이후에도, 비노광 영역에서의 격벽의 측벽에 대하여 레지스트 보전성의 열화가 관측되지 않았다.
실시예 5: 비교예, 포토레지스트로 완전히 충전된 40 마이크론 깊이의 마이크로컵들
40 마이크론 깊이의 마이크로컵 어레이를 이용하고 노광시간과 현상 시간을 2분과 13분으로 각각 증가시킨 것을 제외하고는, 실시예 4와 동일한 과정을 수행하였다. 두번째 현상공정 이후에, 비노광 영역에서의 격벽 측벽에 대하여 일부 결함과 원하지 않는 현상을 관측하였다.
실시예 6: 특정 충전제로 충전시킨 다음, 포토레지스트로 오버코팅시킨 마이크로컵들
실시예 2에 따라 제조한 35 마이크론 깊이의 마이크로컵 어레이를 이용하였다. 1 중량부의 PVA 205 (Air Product) 의 10% 수용액과 9 중량부의 폴리스티렌 라텍스 (50% 고체) 를 함유한 충전제 조성물을, 25 마이크론 갭 개구부로 사전설정된 Universal Blade를 이용하여 마이크로컵들 상에 코팅시켰다. 마이크로컵 어레이를 건조한 다음, 광학 현미경 검사를 수행하여, 약간 부족하게 충전된 마이크로컵들을 확인하였다. 충전된 마이크로컵 어레이를, 10 마이크론 갭 개구부로 사전설정된 Universal Blade를 이용하여 포지티브 포토레지스트 SJR-5740 로 오버코팅시켰다. 포토레지스트 상의 레지스트의 목표 두께는 3 마이크론이였다. 30 sec 동안의 이미지 방향의 노광 이후, 마이크로컵 어레이를, 1분동안 Developer-453 에 의해 현상시키고, 후속하여, 탈이온수로 충분히 린스하였다. 노광-현상 세정 사이클을 1회 반복하였다. 두번째 사이클을 수행한 후에도, 비노광 영역에서의 격벽의 측벽에 대한 레지스트 보존성의 열화가 관측되지 않았다.
실시예 7: 특정 충전제로 충전시킨 다음, 포토레지스트로 코팅시킨 마이크로컵들
3개의 별도의 실험에서, 폴리스티렌 라텍스를 ACqua220, ACqua240, 및 ACqua250 (Honeywell, New Jersey) 로 교체한 것을 제외하고는 실시예 6과 동일한 과정을 수행하였다. 두번째 사이클 이후에도, 비노광 영역에서 결함이 없이 우수한 이미지 식별을 관측하였다.
실시예 8 내지 13: 감광성 용해 억제제를 함유한 충전제
충전제를 표 1에 나타낸 조성물로 교체한 것을 제외하고는 실시예 6과 동일한 과정을 수행하였다. 따라서, 0 내지 20%의 광활성 화합물, 4-t-부틸펜올 215 에스테르 (St-Jean Photochemical) 및 0 내지 10% 의 폴리비닐펜올 (Aldrich, Mn = 8000 또는 Mn = 20,000) 을, MEK 에서 수분산성 수지 AQ-1350 (Eastman Chemical) 에 첨가하여 마이크로컵들 상에 코팅시켰다. 약간 부족하게 충전된 마이크로컵들을 2분 동안에 블랭킷 노광시킨 다음, 7 마이크론 갭 개구부로 사전설정된 Universal Blade를 이용하여 포토레지스트 SJR-5740 로 오버코팅시켰다. 마이크로컵 어레이를 오버코팅한 레지스트를 30 sec 동안에 이미지 방향으로 노광하여 2분동안 Developer-453 에 의해 현상시켰다. 노광-현상 사이클을 1회 더 반복하였다. 두번째 사이클 이후에도, 비노광 영역에서 결함이 없이 우수한 이미지 식별을 관측하였다.
[표 1] 노광된 감광성 용해 억제제를 포함한 충전제 (중량부)
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실시예 14: 충전제로서 노광된 노볼락 포토레지스트
충전제를 포토레지스트 SJR-5740로 교체시킨 것을 제외하고는, 실시예 8 내지 13과 동일한 과정을 수행하였다. 노광-현상 사이클을 1회 더 반복하였다. 두번째 사이클 이후에도, 비노광 영역에서 결함이 없이 우수한 이미지 식별을 관측하였다.
실시예 15: TiO 2 분산물
균질기로 6.42 g의 Ti Pure R706 (Du Pont) 를, 1.94 g의 Fluorolink D (Ausimont), 0.22 g의 Fluorolink 7004 (Ausimont), 0.37 g의 플루오르화 구리 프탈로시아닌 염료 (3M), 및 52.54 g의 퍼플루오로 용매 HT-200 (Ausimont) 을 함유하는 용액내에 분산시켰다.
실시예 16: Ti0 2 분산물
Ti Pure R706 와 Fluorolink 를 TiO2 입자 PC-9003 (Elimentis, Highstown, NJ) 및 Krytox (Du Pont) 로 각각 코팅되는 중합체로 교체한 것을 제외하고는, 실시예 15와 동일한 과정을 수행하였다.
실시예 17: 마이크로컵 밀봉
실시예 2에서 제조한 35 마이크론의 마이크로컵 어레이를 이용하였다. 실시예 15에서 제조한 85 중량부의 Ti02 분산물을, 15 중량부의 퍼플루오로 용매 FC-77 (3M) 로 희석시킨 다음, 0.1 mil 갭 개구부를 갖는 Universal Blade Applicator를 이용하여 마이크로컵들 상에 코팅시켰다. 약간 부족하게 충전된 마이크로컵 어레이를 얻었다. 이후, 부분적으로 충전된 컵들 상에, 헵탄에서 폴리이소프린 7.5% 용액을, 6 mil 개구부를 갖는 Universal Blade Applicator로 오버코팅시켰다. 이후, 오버코팅된 마이크로컵들을 실온에서 건조시켰다. 약 6 마이크론 두께의 무결절성 밀봉 층을 현미경으로 관측하였다. 밀봉된 마이크로컵들에 공기방울이 가두어진 것이 관측되지 않았다.
실시예 18: 마이크로컵 밀봉
실시예 16에서 제조한 TiO2 를 이용한 것을 제외하고는 실시예 17과 동일한 과정을 수행하였다. 약 6 마이크론 두께의 무결절성 밀봉 층을 현미경으로 관측하였다. 밀봉된 마이크로컵들에 공기방울이 가두어진 것이 관측되지 않았다.
본 발명의 특정 형태를 설명하였지만, 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한 여러 변형예를 실시할 수 있다. 따라서, 발명의 범위는 첨부된 청구범위를 제외하고는, 상술한 실시형태에 의해 제한되지 않는다.

Claims (38)

  1. a) 디스플레이 셀을 충전제 재료로 충전시키는 단계;
    b) 상기 충전된 디스플레이 셀을 선택적으로 개구하고 상기 개구된 디스플레이 셀로부터 상기 충전제 재료를 제거하는 단계;
    c) 상기 개구된 디스플레이 셀을 제 1 컬러 디스플레이 유체로 충전시키는 단계;
    d) 상기 디스플레이 유체로 충전된 디스플레이 셀만을 밀봉하는 단계; 및
    e) 다색 디스플레이를 형성할 때까지 하나 이상의 다른 컬러 디스플레이 유체로 상기 b) 내지 d) 공정단계를 순서대로 반복하는 단계를 포함하는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 b) 공정단계는 상기 충전제 재료로 충전된 디스플레이 셀을 포토레지스트층으로 코팅한 후, 상기 포토레지스트를 이미지 방향으로 노광 및 현상함으로써 수행되는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 b) 공정단계는, 상기 충전제 재료를 제거하기 위해, 증류수 또는 희석시킨 현상액 용액으로 상기 개구된 디스플레이 셀을 세정하는 단계를 포함하는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 충전재 재료는 수용액으로 세정함으로써 제거될 수 있는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 충전제 재료는 유기물, 무기물, 및 중합체 미립자, 수용성 및 분산성 중합체, 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택되는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 충전제 재료는 AQ 분지 폴리에스테르, Carboset
    Figure 112007032159810-pct00012
    Polymers, 폴리(비닐알콜), 폴리비닐피롤리돈, 폴리(4-비닐 페놀), 사전노광된 포지티브 포토레지스트, 폴리아크릴산, 폴리메타크릴산 및 이들의 공중합체, ACqua220, ACqua240 및 ACqua250 분산물, 비막 형성 (non-film forming) 라텍스, 콜로이드 실리카, 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택되는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 충전제 재료는 계면활성제, 분산제 및 감광성 용해 억제 화합물로 이루어진 그룹에서 선택되는 첨가제를 포함하는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 감광성 용해 억제 화합물은 디아지드 (diazide) 화합물인, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 충전제 재료는 사전노광된 포지티브형 노볼락 포토레지스트인, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 포토레지스트는 노볼락계 포토레지스트 S-1818, SJR-1075, SJR-3000, SJR-5440, SJR-5740, AZ-9260, AZ-4620, AZ-4562, THB-Positive, 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택되는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 포토레지스트는 폴리비닐페놀계 포토레지스트인, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  12. 제 2 항에 있어서,
    상기 포토레지스트는 폴리비닐페놀계 포토레지스트의 t-BOC 유도체인, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  13. 제 2 항에 있어서,
    상기 노광 단계는 UV 방사선 또는 가시광에 의해 수행되는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 노광 단계 이전에 포토레지스트를 소프트베이킹하는 단계를 더 포함하는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  15. 제 2 항에 있어서,
    상기 현상 단계는 상기 노광된 디스플레이 셀을 현상액과 접촉시키는 단계를 포함하는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 현상액은 알카리성 용액, 수산화나트륨, 나트륨 테트라붕산염 데카수화물과 붕산염 용액 및 수산화칼륨과 붕산염 용액으로 이루어진 그룹에서 선택되는 염기성 현상액인, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 현상액은 계면활성제 또는 분산제를 포함하는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 현상된 디스플레이 셀을 용매 또는 용매들의 혼합물로 세정하는 단계를 더 포함하는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  19. 제 1 항에 있어서,
    상기 디스플레이 유체는 전기영동 유체 또는 액정 조성물인, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 액정 조성물은 이색성 염료를 포함하는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  21. 제 1 항에 있어서,
    상기 d) 공정단계는, 상기 디스플레이 유체와 부분적으로 혼화될 수 없는 열가소성 또는 열경화성 전구체 조성물로 상기 디스플레이 유체를 오버코팅한 후, 상기 열가소성 또는 열경화성 전구체 조성물을 경화시킴으로써 수행되며, 상기 열가소성 또는 열경화성 전구체 조성물은 상기 디스플레이 유체보다 낮은 비중을 갖는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  22. 제 1 항에 있어서,
    상기 c) 및 d) 공정단계는, 상기 디스플레이 유체와 열가소성 또는 열경화성 전구체 조성물의 분산물로 상기 개구된 셀을 충전시킨 후, 상이 분리되어 상기 디스플레이 유체 위에 상청액층을 형성하는 동안 또는 그 이후에 상기 열가소성 또는 열경화성 전구체 조성물을 경화시킴으로써 수행되며, 상기 열가소성 또는 열경화성 전구체 조성물은 상기 디스플레이 유체보다 낮은 비중을 갖는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  23. 제 21 항 또는 제 22 항에 있어서,
    상기 열가소성 또는 열경화성 전구체 조성물의 경화는, 용매 또는 가소제의 증발, 냉각, 계면반응, 가습, 가열, 방사선 또는 상술한 방법들의 조합에 의해 수행되는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  24. 제 1 항에 있어서,
    상기 단계들은 연속 또는 반연속 동작으로 반송하는 롤-투-롤 공정기술로 수행되는, 다색 전기영동 디스플레이의 제조방법.
  25. 제 1 항에 기재된 다색 전기영동 디스플레이 제조방법에 따라 제조된 다색 전기영동 디스플레이로서,
    상기 디스플레이 표면적에서 40% 가 넘는 부분이 광학 활성화 뷰 부분인, 다색 전기영동 디스플레이.
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