KR20080023907A - 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR20080023907A KR1020060088033A KR20060088033A KR20080023907A KR 20080023907 A KR20080023907 A KR 20080023907A KR 1020060088033 A KR1020060088033 A KR 1020060088033A KR 20060088033 A KR20060088033 A KR 20060088033A KR 20080023907 A KR20080023907 A KR 20080023907A
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박재병
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Abstract

본 발명은 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법은 전사용 기판 위에 열 변환막을 형성하는 단계, 열 변환막 위에 전기 영동 부재가 분산되어 있는 전사 필름을 형성하는 단계, 제1 전극이 형성되어 있는 제1 표시판을 마련하여 제1 표시판과 전사용 기판을 정렬하는 단계, 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 전사 필름의 소정 부분을 제1 전극 위로 전사하는 단계, 그리고 제2 전극이 형성되어 있는 제2 표시판을 마련하여 제2 전극과 전사된 전사 필름이 대응하도록 제2 표시판과 전사된 전사 필름을 정렬하고 상호 밀착하는 단계를 포함한다. 이에 의해 표시 성능이 우수한 전기 영동 장치를 용이하면서도 정밀하게 제조할 수 있다.
레이저 열 전사법, 전사 필름, 전기 영동 부재, 전기 영동 입자,

Description

전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법{ELECTROPHORETIC DISPLAY AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF}
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 구조를 도시한 배치도이고,
도 2는 도1의 전기 영동 표시 소자를 II-II' 선에 따라 자른 단면도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 3개의 화소 영역을 도시한 단면도,
도 4a 내지 도 4i는 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이고,
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 다른 제조 방법을 나타낸 단면도이고,
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 3개의 화소 영역을 도시한 단면도이고,
도 7 및 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10, 11, 12, 13: 전사용 기판 20: 열 변환막
30: 도포 부재 100: 박막트랜지스터 표시판
110: 절연 기판 121: 게이트선
124: 게이트 전극 129: 게이트선의 끝부분
140: 게이트 절연막 151: 선형 반도체층
161: 선형 저항성 접촉 부재 171: 데이터선
173: 소스 전극 175: 드레인 전극
179: 데이터선의 끝부분 180: 보호막
181, 182, 185: 접촉구 190: 화소 전극
200: 공통 전극 표시판 210: 절연 기판
220: 공통 전극 301, 301: 전기 영동부
310, 311, 312, 313: 전사 필름 315: 전사 필름 형성 물질
316: 자외선 경화제 320, 321, 322, 330: 전기 영동 부재
323, 324, 325, 326, 328: 전기 영동 입자
327: 분산매 329: 캡슐
본 발명은 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근 기존의 브라운관을 대체하여 액정표시장치, 유기 전계 발광 장치(OLED) 및 전기 영동 표시 장치(ELECTROPHORETIC DISPLAY) 등의 평판(flat panel)형 표시 장치가 많이 사용되고 있다.
이 중 전기 영동 표시 장치는 화소 전극 및 공통 전극에 인가된 전압에 따라 양 또는 음의 전하를 띠며 소정의 색상을 갖는 전기 영동 입자가 회전하거나, 화소 전극 또는 공통 전극 가까이로 이동하는 방식으로 원하는 색상을 표현한다.
이러한 전기 영동 표시 장치의 제조 과정을 살펴보면 먼저 전기 영동 입자 및 전기 영동 입자가 분산된 분산매를 가두고 있는 마이크로 캡슐(microcapsule)을 포함하는 전기 영동 부재를 마련한다. 그런 다음 제1 표시판의 화소 전극 또는 화소 전극에 대응하는 제2 표시판의 공통 전극 중 어느 하나에 바인더(binder)를 도포하고 도포된 바인더에 전기 영동 부재를 배치시키거나, 전기 영동 부재가 분산되어 있는 바인더를 도포한다. 그런 다음 바인더를 경화하면 전기 영동 부재가 화소 전극 또는 공통 전극에 부착 고정된다. 이 후 부착 고정된 전기 영동 부재 위에 부착되지 않은 공통 전극 또는 화소 전극이 위치하도록 제2 표시판 또는 제1 표시판을 밀착하는 공정을 거친다.
그러나 바인더를 이용하여 전기 영동 부재를 화소 전극 또는 공통 전극에 부착하는 공정은 복잡하며, 화소 전극 또는 공통 전극의 원하는 부분에 정확하게 바인더를 도포하고 전기 영동 부재를 부착하는 것이 용이하지 않아 전기 영동 표시 장치의 제조 효율이 떨어지고 제조된 전기 영동 표시 장치의 표시 성능이 저하되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이러한 문제점을 해결하여 제조 효율과 표시 성능이 우수한 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 전기 영동 표시 장치는 제1 전극을 포함하는 제1 표시판, 상기 제1 전극과 마주하는 제2 전극을 포함하는 제2 표시판, 그리고 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 위치하며, 상기 제1 전극 또는 상기 제2 전극에 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 부착되어 있으며, 전기 영동 부재와 상기 전기 영동 부재를 분산 고정하는 전사 필름을 포함하는 전기 영동부를 포함한다.
상기 전기 영동 부재는, 흰색을 갖는 제1 전기 영동 입자, 검은색을 갖는 제2 전기 영동 입자, 상기 제1 및 제2 전기 영동 입자가 분산되어 있는 분산매, 그리고 상기 제1 및 제2 전기 영동 입자 및 상기 분산매를 가두고 있는 캡슐을 포함할 수 있다.
상기 전기 영동 부재는, 적색, 녹색 및 청색 중 어느 하나의 색을 갖거나 노란색, 마젠타(magenta), 시안(cyan) 중 어느 하나의 색을 갖는 전기 영동 입자, 상기 전기 영동 입자가 분산되어 있는 분산매, 그리고 상기 전기 영동 입자 및 상기 분산매를 가두고 있는 캡슐을 포함할 수 있다.
상기 전기 영동 부재는, 상기 분산매에 분산되어 있으며 검은색을 갖는 추가의 전기 영동 입자를 더 포함할 수 있다.
상기 전사 필름은 자외선 경화제가 포함된 유기 필름일 수 있다.
상기 제1 전극은 공통 전극이며, 상기 제2 전극은 화소 전극일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법은 전사용 기판 위에 열 변환막을 형성하는 단계, 상기 열 변환막 위에 전기 영동 부재가 분산되어 있는 전사 필름을 형성하는 단계, 제1 전극이 형성되어 있는 제1 표시판을 마련하여 상기 제1 표시판과 상기 전사용 기판을 정렬하는 단계, 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 상기 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극 위로 전사하는 단계, 그리고 제2 전극이 형성되어 있는 제2 표시판을 마련하여 상기 제2 전극과 전사된 상기 전사 필름이 대응하도록 상기 제2 표시판과 전사된 상기 전사 필름을 정렬하고 상호 밀착하는 단계를 포함한다.
상기 전사 필름을 형성하는 단계는, 상기 전사용 기판 위에 전기 영동 부재가 분산되어 있는 전사 필름 형성 물질을 도포하는 단계와 도포된 상기 전사 필름 형성 물질을 경화하는 단계를 포함할 수 있다.
도포된 상기 전사 필름 형성 물질의 경화는 자외선 경화를 통해 이루어질 수 있다.
상기 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극 위로 전사하는 단계와 상기 제2 표시판과 전사된 상기 전사 필름을 정렬하고 상호 밀착하는 단계 사이에, 전사된 상기 전사 필름의 소정 부분을 경화하는 단계를 더 포함할 수 있다.
전사된 상기 전사 필름의 소정 부분의 경화는 자외선 경화를 통해 이루어질 수 있다.
상기 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 사용되는 레이저는 적외선 레이저일 수 있다.
상기 적외선 레이저는 파장이 760nm 내지 1200nm일 수 있다.
상기 전기 영동 부재는, 흰색을 갖는 제1 전기 영동 입자, 검은색을 갖는 제2 전기 영동 입자, 상기 제1 및 제2 전기 영동 입자가 분산되어 있는 분산매, 그리고 상기 제1 및 제2 전기 영동 입자 및 상기 분산매를 가두고 있는 캡슐을 포함할 수 있다.
상기 전기 영동 부재는, 적색, 녹색 및 청색 중 어느 하나의 색을 갖거나 노란색, 마젠타(magenta), 시안(cyan) 중 어느 하나의 색을 갖는 전기 영동 입자, 상기 전기 영동 입자가 분산되어 있는 분산매, 그리고 상기 전기 영동 입자 및 상기 분산매를 가두고 있는 캡슐을 포함할 수 있다.
상기 전기 영동 부재는, 상기 분산매에 분산되어 있으며 검은색을 갖는 추가의 전기 영동 입자를 더 포함할 수 있다.
상기 전사용 기판은 제1 내지 제 3 전사용 기판을 포함하며, 상기 전사 필름을 형성하는 단계는, 제1 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 적색을 갖는 제1 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제1 전사 필름을 형성하는 단계, 제2 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 녹색을 갖는 제2 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제2 전사 필름을 형성하는 단계, 그리고 제3 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 청색을 갖는 제3 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제3 전사 필름을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 전사용 기판은 제1 내지 제 3 전사용 기판을 포함하며, 상기 전사 필름을 형성하는 단계는, 제1 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 노란색을 갖는 제1 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제1 전사 필름을 형성하는 단계, 제2 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 마젠타(magenta)를 갖는 제2 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제2 전사 필름을 형성하는 단계, 그리고 제3 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 시안(cyan)을 갖는 제3 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제3 전사 필름을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 전사용 기판과 상기 제1 표시판을 정렬하는 단계는, 상기 제1 표시판과 상기 제1 전사용 기판을 정렬하는 단계, 상기 제1 표시판과 상기 제2 전사용 기판을 정렬하는 단계, 그리고 상기 제1 표시판과 상기 제3 전사용 기판을 정렬하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극 위로 전사하는 단계는, 상기 제1 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극의 대응 부분 위로 전사하는 단계, 상기 제2 전사 필름의 소정 부분을 전사된 상기 제1 전사 필름의 소정 부분에 이웃하도록 상기 제1 전극의 대응 부분 위로 전사하는 단계, 그리고 상기 제3 전사 필름의 소정 부분을 전사된 상기 제2 전사 필름의 소정 부분에 이웃하도록 상기 제1 전극의 대응 부분 위로 전사하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 전극은 공통 전극이며, 상기 제2 전극은 화소 전극일 수 있다.
상기 제1 전극은 화소 전극이며, 상기 제2 전극은 공통 전극일 수 있다.
이하에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법에 대하여 설명한다.
먼저 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치에 대하여 도 1 내지 도3을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 구조를 도시한 배치도이고, 도 2는 도 1의 전기 영동 표시 장치를 II-II' 선에 따라 자른 단면도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 3개의 화소 영역을 도시한 단면도이다.
본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치는 박막 트랜지스터 표시판(100)과 이와 마주보고 있는 공통 전극 표시판(200) 및 양 표시판(100, 200) 사 이에 위치하며 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 형성된 전기 영동부(300)을 포함한다.
먼저, 박막 트랜지스터 표시판(100)에 대해 설명한다.
도 1 내지 도 3에서 도시한 바와 같이, 투명한 유리 등으로 이루어진 절연 기판(110) 위에 게이트 신호를 전달하는 복수의 게이트선(gate line)(121)이 형성되어 있다. 게이트선(121)은 가로 방향으로 뻗어 있으며, 각 게이트선(121)은 복수의 게이트 전극(gate electrode)(124) 및 다른 층이나 외부 회로와의 연결을 위한 넓은 끝부분(129)을 포함한다.
게이트선(121)은 알루미늄과 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열의 금속, 은과 은 합금 등 은 계열의 금속, 구리와 구리 합금 등 구리 계열의 금속, 몰리브덴과 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열의 금속, 크롬, 티타늄, 탄탈륨 따위로 이루어지는 것이 바람직하다. 게이트선(121)은 물리적 성질이 다른 두 개의 막, 즉 하부막(도시하지 않음)과 그 위의 상부막(도시하지 않음)을 포함할 수 있다. 상부막은 게이트선(121)의 신호 지연이나 전압 강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(resistivity)의 금속, 예를 들면 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열의 금속으로 이루어진다. 이와는 달리, 하부막은 다른 물질, 특히 ITO(indium tin oxide) 및 IZO(indium zinc oxide)와의 접촉 특성이 우수한 물질, 이를테면 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금, 크롬(Cr) 등으로 이루어진다. 하부막과 상부막의 조합의 예로는 크롬/알루미늄-네오디뮴(Nd) 합금을 들 수 있다.
게이트선(121)은 단일막 구조를 가지거나 세 층 이상을 포함할 수 있다.
게이트선(121) 위에는 질화규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다.
게이트 절연막(140) 상부에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon) 등으로 이루어진 복수의 선형 반도체층(151)이 형성되어 있다. 선형 반도체층(151)은 세로 방향으로 뻗어 있으며, 게이트 전극(124)을 향하여 뻗어 나온 복수의 돌출부(extension)(154)를 포함한다. 또한, 선형 반도체층(151)은 게이트선(121)과 만나는 지점 부근에서 폭이 커져서 게이트선(121)의 넓은 면적을 덮고 있다.
반도체층(151)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 이루어진 복수의 선형 및 섬형 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(161, 165)가 형성되어 있다. 선형 접촉 부재(161)는 복수의 돌출부(163)를 가지고 있으며, 상기 돌출부(163)와 섬형 접촉 부재(165)는 쌍을 이루어 반도체층(151)의 돌출부(154) 위에 위치한다.
저항성 접촉 부재(163, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 각각 복수의 데이터선(data line)(171), 복수의 드레인 전극(drain electrode)(175)이 형성되어 있다.
데이터선(171)은 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차하며 데이터 전압(data voltage)을 전달한다. 각 데이터선(171)은 게이트 전극(124)을 향하여 뻗어 J자형으로 굽은 복수의 소스 전극(source electrode)(173)과 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위한 넓은 끝부분(179)을 포함한다. 한 쌍의 소스 전 극(173)과 드레인 전극(175)은 서로 분리되어 있으며 게이트 전극(124)에 대하여 서로 반대쪽에 위치되어 있다.
데이터선(171) 및 드레인 전극(175)은 크롬 또는 몰리브덴 계열의 금속, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속으로 이루어지는 것이 바람직하며, 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금, 크롬(Cr) 따위의 하부막(도시하지 않음)과 그 위에 위치한 알루미늄 계열 금속인 상부막(도시하지 않음)으로 이루어진 다층막 구조를 가질 수 있다.
게이트 전극(124), 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175)은 반도체층(151)의 돌출부(154)와 함께 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 돌출부(154)에 형성되어 있다.
저항성 접촉 부재(161, 165)는 그 아래의 반도체층(151)과 그 상부의 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175) 사이에 존재하며 접촉 저항을 낮추어 주는 역할을 한다.
선형 반도체층(151)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이를 비롯하여 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)에 가리지 않고 노출된 부분을 가지고 있으며, 대부분의 영역에서 선형 반도체층(151)의 폭이 데이터선(171)의 폭보다 작지만 전술한 바와 같이 게이트선(121)과 만나는 부분에서 폭이 커져서 게이트선(121)과 데이터선(171) 사이의 절연을 강화한다.
데이터선(171), 드레인 전극(175) 및 노출된 반도체층(151) 위에는 평탄화 특성이 우수하며 감광성(photosensitivity)을 가지는 유기 물질, 플라즈마 화학 기 상 증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질, 또는 무기 물질인 질화 규소(SiNx) 따위로 이루어진 보호막(passivation layer)(180)이 단일층 또는 복수층으로 형성되어 있다. 예컨대, 유기 물질로 형성하는 경우에는 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 반도체층(154)이 노출된 부분으로 보호막(180)의 유기 물질이 접촉하는 것을 방지하기 위하여, 유기막의 하부에 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiO2)로 이루어진 절연막(도시하지 않음)이 추가로 형성될 수도 있다.
보호막(180)에는 게이트선(121)의 끝부분(129), 드레인 전극(175) 및 데이터선(171)의 끝부분(179)을 각각 노출시키는 복수의 접촉구(contact hole)(181, 185, 182)가 형성되어 있다.
보호막(180) 위에는 ITO 또는 IZO로 이루어지거나 불투명한 금속으로 이루어진 복수의 화소 전극(pixel electrode)(190) 및 복수의 접촉 보조 부재(contact assistant)(81, 82)가 형성되어 있다.
화소 전극(190)은 접촉구(185)를 통하여 드레인 전극(175)과 물리적ㅇ전기적으로 연결되어 드레인 전극(175)으로부터 데이터 전압을 받아 각 전기 영동 부재 (320, 321, 322)에 데이터 전압을 인가한다.
접촉 보조 부재(81, 82)는 접촉구(181, 182)를 통하여 게이트선(121)의 끝부분(129) 및 데이터선(171)의 끝부분(179)과 각각 연결된다. 접촉 보조 부재(81, 82)는 게이트선(121) 및 데이터선(171)의 끝부분과 구동 집적 회로와 같은 외부 장 치와의 접착성을 보완하고 이들을 보호한다.
다음으로 전기 영동부(300)를 설명한다.
전기 영동부(300)는 각각의 화소 전극(190) 위에 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 형성되어 있는 전사 필름(310, 311, 312)과 각 전사 필름(310, 311, 312) 내에 분산 고정되어 있는 전기 영동 부재(320, 321, 322)를 포함한다.
전사 필름(310, 311, 312)은 서로 다른 복수의 화소 전극(190) 위에 교대로 반복적으로 배치되어 있는 제1 전사 필름(310), 제2 전사 필름(311), 제3 전사 필름(312)을 포함하며, 자외선 경화제(316)를 포함하는 유기 필름으로 이루어져 있다.
전기 영동 부재(320, 321, 322)는 서로 다른 복수의 화소 전극(190) 위에 교대로 반복적으로 배치되어 있는 제1 전기 영동 부재(320), 제2 전기 영동 부재(321) 및 제3 전기 영동 부재(322)를 포함한다.
제1 전사 필름(310) 내에 분산 고정 되어 있는 제1 전기 영동 부재(320)는 적색 전기 영동 입자(323), 검은색 전기 영동 입자(326), 전기 영동 입자(323, 326)가 분산되어 있는 분산매(327) 및 이들(323, 326, 327)을 가두고 있는 캡슐(capsule, 329)을 포함한다.
적색 전기 영동 입자(323)는 적색을 나타내며, 음의 전하를 띄는 대전 입자이다.
검은색 전기 영동 입자(326)는 검은색을 나타내며, 양의 전하를 띄는 대전 입자이다.
적색 전기 영동 입자(323) 및 검은색 전기 영동 입자(326)는 상기와 반대로 각각 양의 전하와 음의 전하를 띌 수도 있다.
제2 전사 필름(311) 내에 분산 고정 되어 있는 제2 전기 영동 부재(321) 및 제3 전사 필름(312) 내에 분산 고정 되어 있는 제3 전기 영동 부재(322)는 적색 전기 영동 입자(323) 대신에 각각 녹색 전기 영동 입자(324)와 청색 전기 영동 입자(325)를 포함하는 것을 제외하고는 제1 전기 영동 부재(320)와 동일하다.
여기서, 녹색 전기 영동 입자(324)는 녹색을 나타내며, 음의 전하를 띄는 대전 입자이다. 또한 청색 전기 영동 입자(325)는 청색을 나타내며, 음의 전하를 띄는 대전 입자이다.
제2 전기 영동 부재(321)의 녹색 전기 영동 입자(324) 및 검은색 전기 영동 입자(326)는 상기와 반대로 각각 양의 전하와 음의 전하를 띌 수도 있다. 또한 제3 전기 영동 부재(322)의 청색 전기 영동 입자(325) 및 검은색 전기 영동 입자(326)의 경우도 마찬가지로 각각 양의 전하와 음의 전하를 띌 수도 있다.
한편 적색 전기 영동 입자(323), 녹색 전기 영동 입자(324) 및 청색 전기 영동 입자(325)는 각각 노란색을 갖는 전기 영동 입자, 마젠타(magenta)를 갖는 전기 영동 입자, 시안(cyan)을 갖는 전기 영동 입자로 대체되어도 무방하다.
분산매(327)는 각 전기 영동 입자(323, 324, 325, 326)를 분산하며, 투명색이나검은색을 띌 수 있다. 분산매(327)가 검은색을 띄는 경우 분산매(327)를 이용하여 검은색을 표현할 수 있기 때문에 각 전기 영동 부재(320, 321, 322)에 포함된 검은색 전기 영동 입자(326)는 생략할 수 있다.
캡슐(329)은 각 전기 영동 입자(323, 324, 325, 326)와 분산매(327)를 가두고 있으며 이로 인해 각 전기 영동 입자(323, 324, 325, 326)는 캡슐(329) 내부에서만 색상 표현을 위한 유동이 가능하다.
다음으로 공통 전극 표시판(200)에 대해 설명한다.
공통 전극 표시판(200)은 전기 영동부(300) 위에 형성되어 있으며, 투명한 절연 기판(210)과 절연 기판(210) 위에 형성되어 있는 공통 전극(220)을 포함한다.
공통 전극(220)은 ITO 또는 IZO 이루어진 투명 전극으로서 각 전기 영동 부재 (320, 321, 322)에 공통 전압을 인가한다.
공통 전압(common voltage)을 인가하는 공통 전극(220)은 데이터 전압을 인가하는 화소 전극(190)과 함께 각 전기 영동 부재 (320, 321, 322)에 전기장을 생성한다. 생성된 전기장은 각 전사 필름(310, 311, 312)에 의해 분산 고정되어 있는 각 전기 영동 부재(320, 321, 322)의 전기 영동 입자(323, 324, 325, 326)의 위치를 변화시켜 원하는 색상의 화상을 표시한다.
이하에서는 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치가 여러 가지 색상의 화상을 표시하는 방법에 대해 구체적으로 설명한다.
전기 영동 표시 장치의 드레인 전극(175)을 통해 화소 전극(190)에 음의 전압이 인가되고 공통 전극(220)에 양의 전압이 인가되는 경우를 설명한다.
이 경우 캡슐(329) 내의 분산매(327)에 불규칙하게 분산되어 있으며 음 전하를 띄는 적색, 녹색, 청색 전기 영동 입자(323, 324, 325)는 양의 전압이 인가된 공통 전극(220)으로 이동하여 배열하게 된다. 한편, 양 전하를 띄는 검은색 전기 영동 입자(326)는 음의 전압이 인가된 화소 전극(190)으로 이동하여 배열하게 된다. 이러한 배열에 의해 공통 전극 표시판(200)을 통과하여 입사된 외부광은 각 전기 영동 입자(323, 324, 325)에 의해 반사되면서 화소 영역 별로 각 전기 영동 입자(323, 324, 325)가 띄는 각각의 색상을 외부로 표시한다. 이때 흰색은 적색, 녹색, 청색 전기 영동 입자(323, 324, 325)가 표시하는 각 색상의 가법 혼색을 통해 표시된다.
다음으로 전기 영동 표시 장치의 드레인 전극(175)을 통해 화소 전극(190)에 양의 전압이 인가되고 공통 전극(220)에 음의 전압이 인가되는 경우를 설명한다.
이 경우 분산매(327)에 불규칙하게 분산되어 있으며 각각 음 전하를 띄는 적색, 녹색, 청색 전기 영동 입자(323, 324, 325)는 양의 전압이 인가된 화소 전극(190)으로 이동하여 배열하게 된다. 한편 양 전하를 띄는 검은색 전기 영동 입자(326)는 음의 전압이 인가된 공통 전극(220)으로 이동하여 배열하게 된다.
이러한 배열로 인해 외부로부터 공통 전극 표시판(200)을 통과하여 입사된 외부광은 검은색 전기 영동 입자(326)에 흡수되면서 검은색을 표시한다.
한편, 각 화소 전극(190)은 서로 다른 크기의 양 또는 음의 전압을 인가할 수 있기 때문에 각 화소 전극(190) 별로 각 전기 영동 입자(323, 324, 325, 326)의 배열을 다르게 할 수 있다. 이를 통해 원하는 색상의 표현이 가능하게 된다.
이하에서는 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법에 대하여 도 1 내지 도 3 및 도 4a 내지 도 4i를 참조하여 상세히 설명한다.
도 4a 내지 도 4i는 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다.
먼저, 도 4a에 도시한 바와 같이 제1 전사용 기판(10) 위에 열 변환막(20)을 형성한다. 또한 제2 전사용 기판(도 4f의 11에 해당) 및 제3 전사용 기판(도 4h의 12에 해당) 위에도 각각 열 변환막(20)을 형성한다.
여기서 각 전사용 기판(10, 11, 12)은 투명한 유리 또는 플라스틱 등으로 이루어진 절연 기판이다.
열 변환막(20)은 각 전사용 기판(10, 11, 12)으로 조사된 레이저의 빛 에너지를 열에너지로 바꾸어 열에너지를 각 전사 필름(310, 311, 312)의 일부에 공급한다. 이에 따라 전사 필름(310, 311, 312) 중 열에너지를 공급 받은 부분은 공급된 열에 의해 유동성을 가지게 되어 공통 전극 표시판(200)으로 전사된다.
열 변환막(20)은 코팅에 의해 형성된 프탈로 시아닌(phthalocyanine) 또는 나프탈로 시아닌 (naphtalocyanine) 등의 유기물일 수 있다. 또한 열 변환막(20)은 증착에 의해 형성되며 검은색을 갖는(blackened) 은(Ag) 등의 금속 등을 포함할 수 있다.
그런 다음 도 4b에 도시한 바와 같이 제1 전사용 기판(10) 위에 형성된 열 변환막(20) 위에 적색 및 검은색 전기 영동 입자(323, 326)를 포함하는 제1 전기 영동 부재(320) 및 자외선 경화제(316)가 분산된 액상 또는 젤 상태의 전사 필름 형성 물질(315)을 도포 부재(30)를 이용하여 도포한다.
마찬가지 방법으로 제2 전사용 기판(11) 위에 형성된 열 변환막(20) 위에 녹 색 및 검은색 전기 영동 입자(324, 326)를 포함하는 제2 전기 영동 부재(321) 및 자외선 경화제(316)가 포함된 액상 또는 젤 상태의 전사 필름 형성 물질(315)을 도포 부재(30)를 이용하여 도포한다.
또한 제3 전사용 기판(12) 위에 형성된 열 변환막(20) 위에 청색 및 검은색 전기 영동 입자(325, 326)를 포함하는 제3 전기 영동 부재(322) 및 자외선 경화제(316)가 포함된 액상 또는 젤 상태의 전사 필름 형성 물질(315)을 도포 부재(30)를 이용하여 도포한다.
그런 다음 도 4c에 도시한 바와 같이 제1 전사용 기판(10) 위에 도포된 액상 또는 젤 상태의 전사 필름 형성 물질(315)을 자외선을 이용하여 경화함으로써 경화된 제1 전사 필름(310)을 형성한다.
마찬가지 방법으로 제2 전사용 기판(11) 및 제3 전사용 기판(12) 위에 도포된 액상 또는 젤 상태의 전사 필름 형성 물질(315)을 자외선을 이용하여 경화함으로써 각각 경화된 제2 전사 필름(311, 도 4f 참조) 및 제3 전사 필름(312, 도4h 참조)를 형성한다.
각 전사 필름(310, 311, 312)의 경화는 자외선을 이용하지 않고 건조에 의해서도 가능하다.
그런 다음 도 4d에 도시한 바와 같이 공통 전극(220)이 형성되어 있는 공통 전극 표시판(200)을 마련한 후, 공통 전극(220)과 제1 전사 필름(310)이 마주하도록 공통 전극 표시판(200) 위에 제1 전사용 기판(10)을 정렬한 후, 도 4e에서 보는 바와 같이 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 제1 전 사 필름(310)의 소정 부분을 공통 전극(220)의 대응 부분 위로 전사한다.
여기서, 공통 전극(220)의 대응 부분은 후속 공정에 의해 마주하는 복수의 화소 전극(190) 중에서 제1 전기 영동 부재(320)가 위치하게 되는 화소 전극(190)에 대응되는 부분이기도 하다.
레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 제1 전사 필름(310)의 소정 부분을 공통 전극(220)의 대응 부분 위로 전사하는 과정을 자세히 살펴본다.
먼저 레이저 조사 부재(미도시)를 이용하여 공통 전극 표시판(200)의 상부에서 제1 전사 필름(310)의 소정 부분을 향해 레이저를 조사한다. 레이저 조사 부재(미도시)에 의해 조사되는 레이저는 이에 한정되는 것은 아니나 에너지의 강도 및 조사 시간 등을 고려하여 파장이 760nm 내지 1200nm 를 갖는 적외선 레이저가 바람직하다.
제1 전사 필름(310)의 소정 부분을 향해 조사된 레이저는 투명한 제1 전사용 기판(10)을 통과한 후 열 변환막(20)의 소정 부분에 조사되게 된다. 레이저가 조사된 열 변환막(20)의 소정 부분은 레이저의 빛 에너지를 열 에너지로 변환하여 변환된 열 에너지를 제1 전사 필름(310)의 소정 부분으로 공급하게 된다. 이에 따라 열 변환막(20)의 소정 부분으로부터 열을 공급받은 제1 전사 필름(310)의 대응 부분은 경화 상태를 유지하는 제1 전사 필름(310)의 다른 부분과 달리 유동성을 가지게 되어 아래로 이탈함으로써 공통 전극(220)의 소정 부분 위로 전사되게 된다. 전사되는 제1 전사 필름(310)은 제1 전기 영동 부재(320)을 포함하고 있기 때문에 제 1 전기 영동 부재(320)도 함께 공통 전극(220)의 소정 부분으로 전사된다.
그런 다음 전사된 제1 전사 필름(310)의 소정 부분에 자외선을 조사하여 경화하면 공통 전극(220)의 소정 부분에 각각 적색 또는 검은색 색상을 표현할 수 있는 제1 전기 영동 부재(320)가 부착된다. 한편 전사된 제1 전사 필름(310)의 소정 부분의 경화는 자외선을 이용하지 않고 건조에 의해 이루어질 수도 있다.
이 후 도 4f에 도시한 바와 같이 공통 전극(220)과 제2 전사 필름(311)이 마주하도록 공통 전극 표시판(200) 위에 제2 전사용 기판(11)을 정렬한 후, 도 4g에 도시한 바와 같이 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 제2 전사 필름(311)의 소정 부분을 전사된 제1 전사 필름(310)의 소정 부분에 이웃하도록 공통 전극(220)의 소정 부분으로 전사하고 경화한다. 이를 통해 공통 전극(220)의 소정 부분에 제1 전기 영동 부재(320)와 이웃하는 제2 전기 영동 부재(321)가 부착된다.
그런 다음 도 4h에 도시한 바와 같이 공통 전극(220)과 제3 전사 필름(312)이 마주하도록 공통 전극 표시판(200) 위에 제3 전사용 기판(12)을 정렬한 후, 도 4i에 도시한 바와 같이 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 제3 전사 필름(312)의 소정 부분을 전사된 제1 전사 필름(310)의 소정 부분 및 전사된 제2 전사 필름(311)의 소정 부분에 각각 이웃하도록 공통 전극(220)의 소정 부분으로 전사하고 경화한다. 이를 통해 공통 전극(220)의 소정 부분에 제1 전기 영동 부재(320) 및 제 2전기 영동 부재(321)와 각각 이웃하는 제3 전기 영동 부재(322)가 부착된다. 이를 통해 전기 영동부(300)가 완성된다.
이 후 도 4j에 도시한 바와 같이 공지의 방법으로 제조된 박막 트랜지스터 표시판(100)을 마련하여 전기 영동부(300)의 제1 내지 제3 전사 필름(310, 311, 312) 중 어느 하나가 각 화소 전극(190)에 대응 위치하도록 양 표시판(100, 200)을 정렬하고 상호 가압한다. 가압을 통해 각 화소 전극(190)과 제1 내지 제3 전사 필름(310, 311, 312) 중 어느 하나를 각각 상호 밀착하면 도 1 내지 도 3에 도시한 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치가 완성된다.
본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법을 이용하여 용이하게 각 화소 전극(190)과 공통 전극 사이에 전기 영동 부재(320, 321, 322)를 형성할 수 있다. 따라서 전기 영동 표시 장치의 제조 효율 및 제조의 정확도를 향상시킬 수 있다. 또한 이를 통해 제조 효율과 표시 성능이 우수한 전기 영동 표시 장치가 제공된다.
이하에서는 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 다른 제조 방법을 도 5를 참조하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 다른 제조 방법을 나타낸 단면도이다.
도 5에 도시한 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 다른 제조 방법은 공통 전극(220)이 아닌 박막 트랜지스터 표시판(100)의 각 화소 전극(190)에 제1 내지 제3 전사 필름(310, 311, 312) 중 어느 하나를 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 전사하며, 전사된 제1 내지 제 3 전사 필름(310, 311, 312)과 공통 전극(220)을 상호 밀착하는 것을 제외하고는 도 4a 내지 4j에 도시한 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법과 동일하다.
도 5에 도시한 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 다른 제조 방법에 의해서도 도 4a 내지 4j에 도시한 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법과 동일한 효과를 얻을 수 있다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치를 도 6을 참조하여 설명한다. 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 3개의 화소 영역을 도시한 단면도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치는 전기 영동부(301)의 전기 영동 부재(330)가 모두 흰색을 표시하는 흰색 전기 영동 입자(328)와 검은색을 표시하는 검은색 전기 영동 입자(326)를 포함하는 것을 제외하고는 도 1 내지 도 3에 도시한 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치와 동일하다.
따라서 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치는 본 발명의 한 실시예에 도시한 전기 영동 표시 장치와 달리 흑백 색상 표현만이 가능하다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법을 도 7 및 도 8을 참조하여 설명한다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치는 앞서 설명한 바와 같 이전기 영동부(301)의 전기 영동 부재(330)가 모두 흰색을 표시하는 흰색 전기 영동 입자(328)와 검은색을 표시하는 검은색 전기 영동 입자(326)를 포함하고 있다. 따라서 그 제조 방법은 도 7에 도시한 바와 같이 하나의 전사용 기판(13)에만 열 변환막(20)을 형성하고 열 변환막(20) 위에 도포 및 경화 공정을 통해 전기 영동 부재(330)를 분산 고정하는 전사 필름(313)을 형성하면 된다.
그런 다음 도 8에 도시한 바와 같이 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 전사용 기판(13) 위에 형성된 전사 필름(313)의 소정 부분을 공통 전극(220)의 대응 부분으로 한번의 전사 공정을 통해 전사하여 전기 영동부(301)를 형성할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법에 의해서도 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법과 동일한 효과를 얻을 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 제조 효율과 표시 성능이 우수한 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법이 제공된다.

Claims (24)

  1. 제1 전극을 포함하는 제1 표시판,
    상기 제1 전극과 마주하는 제2 전극을 포함하는 제2 표시판, 그리고
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 위치하며, 상기 제1 전극 또는 상기 제2 전극에 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 부착되어 있으며, 전기 영동 부재와 상기 전기 영동 부재를 분산 고정하는 전사 필름을 포함하는 전기 영동부를 포함하는 전기 영동 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 전기 영동 부재는,
    흰색을 갖는 제1 전기 영동 입자,
    검은색을 갖는 제2 전기 영동 입자,
    상기 제1 및 제2 전기 영동 입자가 분산되어 있는 분산매, 그리고
    상기 제1 및 제2 전기 영동 입자 및 상기 분산매를 가두고 있는 캡슐을 포함하는 전기 영동 표시 장치.
  3. 제1항에서,
    상기 전기 영동 부재는,
    적색, 녹색 및 청색 중 어느 하나의 색을 갖거나 노란색, 마젠타(magenta), 시안(cyan) 중 어느 하나의 색을 갖는 전기 영동 입자,
    상기 전기 영동 입자가 분산되어 있는 분산매, 그리고
    상기 전기 영동 입자 및 상기 분산매를 가두고 있는 캡슐을 포함하는 전기 영동 표시 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 전기 영동 부재는,
    상기 분산매에 분산되어 있으며 검은색을 갖는 추가의 전기 영동 입자를 더 포함하는 전기 영동 표시 장치.
  5. 제1항에서,
    상기 전사 필름은 자외선 경화제가 포함된 유기 필름인 전기 영동 표시 장치.
  6. 제1항에서,
    상기 제1 전극은 공통 전극이며,
    상기 제2 전극은 화소 전극인 전기 영동 표시 장치.
  7. 전사용 기판 위에 열 변환막을 형성하는 단계,
    상기 열 변환막 위에 전기 영동 부재가 분산되어 있는 전사 필름을 형성하는 단계,
    제1 전극이 형성되어 있는 제1 표시판을 마련하여 상기 제1 표시판과 상기 전사용 기판을 정렬하는 단계,
    레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 의해 상기 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극 위로 전사하는 단계, 그리고
    제2 전극이 형성되어 있는 제2 표시판을 마련하여 상기 제2 전극과 전사된 상기 전사 필름이 대응하도록 상기 제2 표시판과 전사된 상기 전사 필름을 정렬하고 상호 밀착하는 단계를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제7항에서,
    상기 전사 필름을 형성하는 단계는,
    상기 전사용 기판 위에 전기 영동 부재가 분산되어 있는 전사 필름 형성 물질을 도포하는 단계와 도포된 상기 전사 필름 형성 물질을 경화하는 단계를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에서,
    도포된 상기 전사 필름 형성 물질의 경화는 자외선 경화를 통해 이루어지는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제7항에서,
    상기 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극 위로 전사하는 단계와 상기 제2 표시판과 전사된 상기 전사 필름을 정렬하고 상호 밀착하는 단계 사이에,
    전사된 상기 전사 필름의 소정 부분을 경화하는 단계를 더 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제10항에서,
    전사된 상기 전사 필름의 소정 부분의 경화는 자외선 경화를 통해 이루어지는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제7항에서,
    상기 레이저 열 전사(laser induced thermal imaging; LITI)법에 사용되는 레이저는 적외선 레이저인 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제12항에서,
    상기 적외선 레이저는 파장이 760nm 내지 1200nm인 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제7항에서,
    상기 전기 영동 부재는,
    흰색을 갖는 제1 전기 영동 입자,
    검은색을 갖는 제2 전기 영동 입자,
    상기 제1 및 제2 전기 영동 입자가 분산되어 있는 분산매, 그리고
    상기 제1 및 제2 전기 영동 입자 및 상기 분산매를 가두고 있는 캡슐을 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제7항에서,
    상기 전기 영동 부재는,
    적색, 녹색 및 청색 중 어느 하나의 색을 갖거나 노란색, 마젠타(magenta), 시안(cyan) 중 어느 하나의 색을 갖는 전기 영동 입자,
    상기 전기 영동 입자가 분산되어 있는 분산매, 그리고
    상기 전기 영동 입자 및 상기 분산매를 가두고 있는 캡슐을 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제15항에서,
    상기 전기 영동 부재는,
    상기 분산매에 분산되어 있으며 검은색을 갖는 추가의 전기 영동 입자를 더 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제15항에서,
    상기 전사용 기판은 제1 내지 제 3 전사용 기판을 포함하며,
    상기 전사 필름을 형성하는 단계는,
    제1 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 적색을 갖는 제1 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제1 전사 필름을 형성하는 단계,
    제2 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 녹색을 갖는 제2 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제2 전사 필름을 형성하는 단계, 그리고
    제3 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 청색을 갖는 제3 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제3 전사 필름을 형성하는 단계를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제15항에서,
    상기 전사용 기판은 제1 내지 제 3 전사용 기판을 포함하며,
    상기 전사 필름을 형성하는 단계는,
    제1 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 노란색을 갖는 제1 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제1 전사 필름을 형성하는 단계,
    제2 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 마젠타(magenta)를 갖는 제2 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제2 전사 필름을 형성하는 단계, 그리고
    제3 전사용 기판 위에 형성된 열 변환막 위에 시안(cyan)을 갖는 제3 전기 영동 입자를 포함하는 전기 영동 부재가 분산 고정되어 있는 제3 전사 필름을 형성하는 단계를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제17항에서,
    상기 전사용 기판과 상기 제1 표시판을 정렬하는 단계는,
    상기 제1 표시판과 상기 제1 전사용 기판을 정렬하는 단계,
    상기 제1 표시판과 상기 제2 전사용 기판을 정렬하는 단계, 그리고
    상기 제1 표시판과 상기 제3 전사용 기판을 정렬하는 단계를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제19항에서,
    상기 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극 위로 전사하는 단계는,
    상기 제1 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극의 대응 부분 위로 전사하는 단계,
    상기 제2 전사 필름의 소정 부분을 전사된 상기 제1 전사 필름의 소정 부분에 이웃하도록 상기 제1 전극의 대응 부분 위로 전사하는 단계, 그리고
    상기 제3 전사 필름의 소정 부분을 전사된 상기 제2 전사 필름의 소정 부분에 이웃하도록 상기 제1 전극의 대응 부분 위로 전사하는 단계를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  21. 제18항에서,
    상기 전사용 기판과 상기 제1 표시판을 정렬하는 단계는,
    상기 제1 표시판과 상기 제1 전사용 기판을 정렬하는 단계,
    상기 제1 표시판과 상기 제2 전사용 기판을 정렬하는 단계, 그리고
    상기 제1 표시판과 상기 제3 전사용 기판을 정렬하는 단계를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  22. 제21항에서,
    상기 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극 위로 전사하는 단계는,
    상기 제1 전사 필름의 소정 부분을 상기 제1 전극의 대응 부분 위로 전사하는 단계,
    상기 제2 전사 필름의 소정 부분을 전사된 상기 제1 전사 필름의 소정 부분에 이웃하도록 상기 제1 전극의 대응 부분 위로 전사하는 단계, 그리고
    상기 제3 전사 필름의 소정 부분을 전사된 상기 제2 전사 필름의 소정 부분에 이웃하도록 상기 제1 전극의 대응 부분 위로 전사하는 단계를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  23. 제7항에서,
    상기 제1 전극은 공통 전극이며,
    상기 제2 전극은 화소 전극인 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  24. 제7항에서,
    상기 제1 전극은 화소 전극이며, 상기 제2 전극은 공통 전극인 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
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