CN1289437C - 丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法 - Google Patents
丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1289437C CN1289437C CN200410017305.XA CN200410017305A CN1289437C CN 1289437 C CN1289437 C CN 1289437C CN 200410017305 A CN200410017305 A CN 200410017305A CN 1289437 C CN1289437 C CN 1289437C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- texturing
- tio
- piezoelectric ceramics
- bismuth titanate
- sodium potassium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 229910002115 bismuth titanate Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 17
- WSSKLPBIOYSPEX-UHFFFAOYSA-N [Bi].[Na].[K] Chemical compound [Bi].[Na].[K] WSSKLPBIOYSPEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 19
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 17
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 8
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 claims description 6
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 claims description 6
- 229910003237 Na0.5Bi0.5TiO3 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 claims description 6
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 claims description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 4
- 238000007716 flux method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims description 4
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 claims description 3
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 claims description 3
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 claims description 3
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 3
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 3
- 238000010792 warming Methods 0.000 claims description 3
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 8
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 2
- WMWLMWRWZQELOS-UHFFFAOYSA-N bismuth(iii) oxide Chemical compound O=[Bi]O[Bi]=O WMWLMWRWZQELOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 abstract 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 235000015320 potassium carbonate Nutrition 0.000 abstract 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 235000017550 sodium carbonate Nutrition 0.000 abstract 1
- 235000010215 titanium dioxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 description 8
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 235000015895 biscuits Nutrition 0.000 description 3
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 2
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 2
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010257 thawing Methods 0.000 description 2
- 239000004902 Softening Agent Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
本发明涉及一种丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的工艺。采用本方法所选择的原料及提供的工艺条件，可以获得取向度因子达80%的织构化钙钛矿无铅压电陶瓷。该钙钛矿无铅压电陶瓷的化学式为：(1-x)Nao.5Bi0.5TiO3:xK0.5Bi0.5TiO3。本发明的特征是以助融剂法合成的片状Bi4Ti3O12或水热法合成的TiO2晶须为模板，以TiO2，Na2CO3，K2CO3，Bi2O3为其它原料，加入粘结剂、溶剂，配成丝网印刷浆料，然后通过多层印刷和干燥得到陶瓷膜片，并进一步剪裁、叠压、排塑、烧结得到织构化陶瓷。该发明的主要特点是浆料配置和印刷工艺简便，压电陶瓷晶粒取向度较高。
Description
技术领域
本发明涉及一种网印刷制备织构化钛酸铋钠钾的方法，属于压电陶瓷制备领域。
背景技术
压电陶瓷作为一类重要的功能材料，在机械、电子、精密控制等领域有着广泛的应用。然而，目前实用的压电陶瓷主要是以Pb(Ti，Zr)O3(PZT)为基的材料，其中氧化铅占原料总重的70％左右，在材料的制备过程中，铅的挥发会给环境带来很大的损害。为适应环境保护的需求，压电陶瓷无铅化或低铅化成为此类陶瓷的发展趋势之一。
目前的无铅压电陶瓷材料主要有钛酸盐陶瓷(如BaTiO3，Na0.5Bi0.5TiO3陶瓷)，铌酸盐陶瓷(如LixNa1-xNbO3)，铋层状结构的压电陶瓷(如Bi4Ti3O12陶瓷)等。其中Na0.5Bi0.5TiO3是一种A位复合取代的钙钛矿型结构的铁电材料，在室温下，它的剩余极化Pr＝38μC/cm2，矫顽场为Ec＝7.3kV/mm，具有很强的铁电性。自从1960年Smolenskii报道该物质的铁电性以来，这一体系引起了越来越多研究者的关注。其中钛酸铋钠钾被认为是一类很有前途的无铅压电材料。但是与PZT(d33＝71～590pC/N，kp＝0.25～0.65)相比，这类材料(d33＝100左右，kp＝0.255)的压电性能相对较低。
模板晶粒定向技术可以通过改善陶瓷的显微结构，形成织构化陶瓷从而有效地提高压电陶瓷的电学性能。
目前这种技术多采用流延或挤压工艺(针对不同形貌的模板)，尤其是前者。T.Tani等人在J.Korean Phys.Soc.(32(1998)S1217)中采用流延工艺来制备晶粒定向陶瓷。但是在流延工艺操作过程中，浆料的配制比较复杂，需要加入溶剂、粘结剂、增塑剂、分散剂等多种添加剂；而且使用前需要消除气泡；干燥过程中要非常小心，需要在溶剂气氛中慢慢干燥等。这是因为流延的膜层较厚(0.1mm以上)，如果浆料控制不好或操作不当，不但会影响到晶粒定向的结果，而且会出现膜片开裂，厚度不均匀，膜片与衬底粘结严重等许多问题，使得工艺过程非常复杂。
发明内容
本发明提供了一种网印刷制备织构化钛酸铋钠钾的方法，从而大大简化了该种陶瓷的制备过程。
在实验室制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷过程中，发明人发现采用丝网印刷工艺单次印刷可使陶瓷浆料膜厚控制在几个微米之内，在单个膜层内，浆料中的模板通过重力和表面张力的作用取向排列，显示出了极好的织构化特性。然后通过多层印刷浆料得到陶瓷膜片，进一步剪裁、堆垛和叠压，最后排塑烧结同样可得到织构化陶瓷且定向性较好。
本发明针对的钛酸铋钠钾压电陶瓷的化学通式为：(1-x)Na0.5Bi0.5TiO3∶xK0.5Bi0.5TiO3，0＜x≤0.2。
本发明主要包括以下步骤：
采用助融剂法合成的片状Bi4Ti3O12或水热法合成的TiO2晶须为模板剂原料，该两种模板剂的制备方法均已见报道。
以TiO2，Na2CO3，K2CO3，Bi2O3为其它原料。
使用片状Bi4Ti3O12为模板剂时，片状Bi4Ti3O12提供的Ti占陶瓷所需Ti量摩尔比的5％-30％，剩余的Ti和Bi由TiO2和Bi2O3提供，(1-x)Na0.5Bi0.5TiO3∶xK0.5Bi0.5TiO3，0＜x≤0.2称取原料。
使用TiO2晶须为模板剂时，TiO2晶须提供的Ti占陶瓷所需Ti的摩尔比的5％-80％，剩余的Ti由TiO2提供，按(1-x)Na0.5Bi0.5TiO3∶xK0.5Bi0.5TiO3，0＜x≤0.2称取原料。
选用甲基纤维素、乙基纤维素、或硝化纤维素可作为粘结剂。
选用乙二醇、醋酸丁酯、或松油醇可作为溶剂。
按质量比1∶10-30∶5-15将粘结剂∶溶剂∶原料配料。
将粘结剂溶于溶剂中，搅拌至完全溶解；
将除模板剂外其余粉料加入上述溶液中，球磨混合均匀；
将片状Bi4Ti3O12或TiO2晶须加入上述浆料中，球磨得到所需的浆料；
将浆料通过丝网印刷工艺印刷到衬底(如涤纶薄膜，塑料胶片等)上并于70～120℃烘箱中烘干；
重复多次印刷、烘干步骤，最后得到丝网印刷膜片，根据所使用的膜片确定厚度，一般厚度在0.05-3mm左右；
将上述膜片剪裁为所需大小和形状的膜片，经过叠压后得到块状样品；
将块状样品在450～650℃范围内排塑1～5小时，以升温速率为每小时50～300℃升温至700～1200℃范围内保温0.5～10小时烧结得到不同取向的陶瓷。
本发明中，陶瓷晶粒取向度由(h00)方向的取向因子F来表示，F的计算采用Lotgering’s定义的公式：
F＝(P-P0)/(1-P0)
P＝ΣI(h00)/ΣI(hkl)，P0＝ΣI0(h00)/ΣI0(hkl)
其中I与I0分别指晶粒定向工艺与传统工艺烧结得到陶瓷的XRD衍射峰强。P和P0分别代表晶粒定向工艺与传统工艺烧结得到陶瓷的(h00)面的峰强占所有面(hkl)峰强总和的比例。
本发明的特点在于浆料配制和操作过程简便，适合于实验室操作；所配原料使用期长，均匀性好；制备得到的织构化陶瓷定向排列稳定，最高取向度F可达到＞80％，显示出了相当优秀的压电性能前景。这种方法同时也可以用于其它体系如铋层状、铌酸盐等体系的模板晶粒定向过程中。
附图说明
图1以片状Bi4Ti3O12为模板，1160℃烧结5h得到的陶瓷断面的SEM照片，可以看出陶瓷晶粒在垂直于叠压方向呈砖块状定向排列。
图2以针状TiO2为模板，1150℃烧结5h得到的陶瓷断面的SEM照片，可以看出陶瓷晶粒在垂直于叠压方向呈一定程度的取向排列。
图3不同条件下得到的陶瓷的XRD图。(a)为传统方法，(b)TiO2为模板，(c)Bi4Ti3O12为模板，可以看出定向排列后(h00)面的峰强大大提高。
具体实施方式
实施例1
将3g甲基纤维素溶于70g的松油醇中，搅拌至完全融化。然后将8.552g TiO2，3.027g Na2CO3，0.694gK2CO3，7.275gBi2O3加入上述溶液中，球磨3h混合均匀。接着将10.452g助融剂法合成的片状Bi4Ti3O12加入上述浆料中，再球磨得到混合均匀的浆料。然后将配好的浆料用丝网印刷工艺印刷到涤纶薄膜衬底上，印刷后在90℃的烘箱中烘干。然后重复印刷烘干步骤多次。最后得到0.1mm厚的印刷膜片，将其剪裁成直径为15mm的圆片，然后将圆片堆垛，叠压得到1.5mm厚的陶瓷素坯。在600℃排塑3h，升温到1160℃烧结5h后(升温速率2℃/min)，在平行于于叠压方向的平面上，陶瓷晶粒呈砖块状排列(图1)。XRD分析得到陶瓷在垂直于叠压方向的平面上，(100)方向取向因子为73％(图3)，
实施例2
将3.5g甲基纤维素溶于70g的松油醇中，加热50℃搅拌至完全融化。然后将8.552g TiO2，3.027g Na2CO3，0.694gK2CO3，7.275gBi2O3加入上述溶液中，球磨3h混合均匀。接着将10.452g助融剂法合成的片状Bi4Ti3O12加入上述浆料中，再球磨得到混合均匀的浆料。然后通过将配好的浆料用于丝网印刷到涤纶薄膜衬底上，印刷后在100℃的烘箱中烘干。然后重复印刷烘干步骤多次。最后得到0.1mm厚的印刷膜片，将其剪裁成直径为15mm的圆片，然后将圆片堆垛，叠压得到2mm厚的陶瓷素坯。在550℃排塑3h，升温到1000℃烧结5h(升温速率2℃/min)，XRD分析得到陶瓷在垂直于叠压方向的平面上，(100)方向取向因子为56％。
实施例3
将4g甲基纤维素溶于70g的松油醇中，加热50℃搅拌至完全融化。然后将6.414g TiO2，3.027g Na2CO3，0.694gK2CO3，15.589gBi2O3加入上述溶液中，球磨混合均匀。接着将4.276g水热法合成的TiO2晶须加入上述浆料中，再球磨得到混合均匀的浆料。然后通过将配好的浆料用丝网印刷到涤纶薄膜衬底上，印刷后在85℃的烘箱中烘干。然后重复印刷烘干步骤多次。最后得到0.15mm厚的印刷膜片，将其剪裁成直径为15mm的圆片，然后将圆片堆垛，叠压得到2mm厚的陶瓷素坯。将其在600℃排塑3h后，升温到1150℃烧结5h后(升温速率2℃/min)，在平行于叠压方向的平面上，陶瓷晶粒呈一定程度的取向排列(图2)，XRD分析得到陶瓷在垂直于叠压方向的平面上，(100)方向取向因子为26％(图3)。
Claims (10)
1、丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，包括下述步骤：
(1)以TiO2和Na2CO3和K2CO3和Bi2O3和采用助融剂法合成的片状Bi4Ti3O12为原料并按化学式(1-x)Na0.5Bi0.5TiO3:xK0.5Bi0.5TiO3，0＜x≤0.2称取；其中片状Bi4Ti3O12为模板剂，其提供的Ti占陶瓷所需Ti量摩尔比的5％-30％；
(2)选用甲基纤维素、乙基纤维素或硝化纤维素作为粘结剂；
(3)选用乙二醇、醋酸丁酯或松油醇作为溶剂；
(4)按质量比1∶10-30∶5-15将粘结剂∶溶剂∶原料配料，将配好的料球磨混合均匀得到所需的浆料；
(5)将浆料丝网印刷到衬底上烘干，重复多次，得到丝网印刷膜片，膜片剪裁为所需大小和形状的膜片，经过叠压后得到块状样品；
(6)块状样品经排塑、烧结后得到织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷。
2、按权利要求1所述的丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，其特征在于所述的烧结过程以升温速率每小时50～300℃升温至700～1200℃范围内保温0.5～10小时。
3、按权利要求1或2所述的丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，其特征在于所述的排塑过程在450～650℃范围内排塑1～5小时进行。
4、按权利要求1或2所述的丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，其特征在于所述的烘干过程的温度为70～120℃。
5、按权利要求1或2所述的丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，其特征在于所用的衬底为涤纶薄膜或塑料胶片。
6、丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，包括下述步骤：
(1)以TiO2和Na2CO3和K2CO3和Bi2O3和采用水热法合成的TiO2晶须为原料并按化学式(1-x)Na0.5Bi0.5TiO3:xK0.5Bi0.5TiO3，0＜x≤0.2称取；其中TiO2晶须为模板剂，TiO2晶须提供的Ti占陶瓷所需Ti的摩尔比的5％-80％；
(2)选用甲基纤维素、乙基纤维素或硝化纤维素作为粘结剂；
(3)选用乙二醇、醋酸丁酯或松油醇作为溶剂；
(4)按质量比1∶10-30∶5-15将粘结剂∶溶剂∶原料配料，将配好的料球磨混合均匀得到所需的浆料；
(5)将浆料丝网印刷到衬底上烘干，重复多次，得到丝网印刷膜片，膜片剪裁为所需大小和形状的膜片，经过叠压后得到块状样品；
(6)块状样品经排塑、烧结后得到织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷。
7、按权利要求6所述的丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，其特征在于所述的烧结过程以升温速率为每小时50～300℃升温至700～1200℃范围内保温0.5～10小时。
8、按权利要求6或7所述的丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，其特征在于所述的排塑过程在450～650℃范围内排塑1～5小时进行。
9、按权利要求6或7所述的丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，其特征在于所述的烘干过程的温度为70～120℃。
10、按权利要求6或7所述的丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法，其特征在于所用的衬底为涤纶薄膜或塑料胶片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN200410017305.XA CN1289437C (zh) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN200410017305.XA CN1289437C (zh) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1562875A CN1562875A (zh) | 2005-01-12 |
| CN1289437C true CN1289437C (zh) | 2006-12-13 |
Family
ID=34478902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200410017305.XA Expired - Fee Related CN1289437C (zh) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1289437C (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100455538C (zh) * | 2006-12-11 | 2009-01-28 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种钛酸铋钠-钛酸钡无铅压电陶瓷及其制备方法 |
| CN101215172B (zh) * | 2008-01-09 | 2010-06-09 | 华中科技大学 | 一种制备钛酸铋钠基无铅压电厚膜的方法 |
| CN101244933B (zh) * | 2008-03-18 | 2013-01-16 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种片状钛酸铋钠模板晶粒制备方法 |
| CN101863661B (zh) * | 2010-06-04 | 2016-01-06 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 织构化铌酸钾钠基无铅压电陶瓷的制备方法 |
| CN102627452A (zh) * | 2012-05-09 | 2012-08-08 | 哈尔滨工业大学 | 织构化BiFeO3陶瓷的制备方法 |
| CN103241768A (zh) * | 2013-05-15 | 2013-08-14 | 哈尔滨理工大学 | 一种低温结晶制备减少无铅热释电薄膜界面扩散的方法 |
-
2004
- 2004-03-30 CN CN200410017305.XA patent/CN1289437C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1562875A (zh) | 2005-01-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100455538C (zh) | 一种钛酸铋钠-钛酸钡无铅压电陶瓷及其制备方法 | |
| US8529785B2 (en) | Metal oxide | |
| CN1116247C (zh) | 可与银在降低的烧结温度下共烧结的低损耗pzt陶瓷组合物和其制备方法 | |
| CN1097833C (zh) | 介电陶瓷及采用该材料的独石陶瓷电子元件 | |
| US7498725B2 (en) | Piezoelectric ceramic composition and laminated piezoelectric element | |
| CN101217180B (zh) | 一种无铅压电厚膜制备方法 | |
| CN103708828B (zh) | 一种钛酸铋钠-钛酸钡无铅复合压电厚膜的制备方法 | |
| WO2014034692A1 (en) | Piezoelectric material and piezoelectric element using the same, and electronic apparatus using the piezoelectronic element | |
| CN1289437C (zh) | 丝网印刷制备织构化钛酸铋钠钾压电陶瓷的方法 | |
| CN116120054B (zh) | 一种钛酸铋钙基压电陶瓷材料及其制备方法 | |
| US11895924B2 (en) | Piezoelectric ceramic composition and manufacturing method thereof, including piezoelectric ceramic, piezoelectric element, and piezoelectric vibration device | |
| CN106129242A (zh) | 一种大应变多层无铅压电致动器及其制备方法 | |
| JP5118848B2 (ja) | 圧電セラミック材料、多層構造素子及び該セラミック材料の製造方法 | |
| CN1064938C (zh) | 压电陶瓷及其制备方法 | |
| JP2002208743A (ja) | 積層体変位素子 | |
| CN105732032A (zh) | 高致密度的铌锑酸钾钠锂-锆酸铋钠钙二元系无铅压电陶瓷及其制备方法 | |
| KR101347451B1 (ko) | 무연 압전 세라믹 적층형 액추에이터 | |
| CN101337813A (zh) | 高压电性能多元系少铅压电陶瓷及其制备方法 | |
| CN116916732A (zh) | 一种钛酸钡基织构电致伸缩多层陶瓷驱动器的制备方法 | |
| JP2839925B2 (ja) | 大変位量圧電効果素子及びそれに利用する磁器組成物 | |
| JP7548716B2 (ja) | 積層型圧電セラミックス及びその製造方法、積層型圧電素子並びに圧電振動装置 | |
| JP4211419B2 (ja) | 積層型圧電体素子 | |
| KR20220169975A (ko) | 배향 무연 압전 세라믹 조성물 및 이의 제조방법 | |
| CN103539447B (zh) | 一种低温烧结的压电陶瓷材料及其制备方法 | |
| JP4804709B2 (ja) | 低温焼結可能なｐｚｔ組成物とそれを用いた圧電セラミック装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20061213 Termination date: 20120330 |