CN1229188C - 洗涤方法和液晶装置的制造方法 - Google Patents
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Abstract
提供一种洗涤方法和采用这种洗涤方法的液晶装置的制造方法，即使用烃类洗涤液进行洗涤，也可以从工件上完全除去有机物类和无机物类等任一种类型的污垢，同时不会残留界面活性剂。在洗涤机500中，作为前洗涤工序，在第一和第二预备洗涤槽602、603中，用在主要成分为正壬烷或正癸烷等正链烷烃中添加了脂肪酸烷基醇酰胺和N亚烷基烯二胺脂肪酸盐等界面活性剂的烃类洗涤液进行洗涤，之后，作为后洗涤工序，是在洗涤槽601中用未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液进行浸渍洗涤、喷淋洗涤和蒸汽洗涤。
Description
技术领域
本发明涉及一种液晶板等工件的洗涤方法，和采用该洗涤方法的液晶装置的制造方法。
背景技术
在制造作为显示装置等使用的液晶装置时，在使两片基板贴合、形成板后，用减压注入等方法在该板之间填充液晶。然后，在将板的液晶注入口封止后，或将板切断后，对板进行洗涤，除去附着在板表面上的液晶等，之后采用各向异性导电膜等连接上柔性印刷线路板。
作为这种洗涤中采用的洗涤液，虽然有氟素类洗涤液，但由于氟素类洗涤液是破坏臭氧层的原因，所以其使用有被限制、禁止的倾向。因此，一直采用烃类洗涤液以取代氟素类洗涤液。
但是，烃类洗涤液虽然可除去有机物类污垢，但存在不能充分除去无机物类污垢的问题。而且，虽然有通过与水洗涤相组合而洗掉无机物类污垢的方法，当如果采用水洗涤，则在废水处理上要花很大成本，同时存在干燥时费时费力的问题。
因此，可以考虑通过采用加有界面活性剂的烃类洗涤液，将附着在液晶板上的有机类和无机类污垢洗掉的方法，但在采用这种洗涤液时，存在洗涤后的液晶板上残留的界面活性剂可能会有影响的问题。
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种即使用烃类洗涤液进行洗涤时，也可以将有机物类和无机物类任一类型的污垢从工件上完全除去、同时不会残留界面活性剂的洗涤方法，和采用该洗涤方法的液晶装置的制造方法。
为了解决上述问题，本发明为一种具有采用加有界面活性剂的烃类洗涤液、对工件进行浸渍洗涤的前洗涤工序，和采用未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液、对该前洗涤工序结束后的工件进行浸渍洗涤的后洗涤工序的洗涤方法，其特征为，在上述后洗涤工序中，在将工件浸渍在洗涤液中的状态下，重复进行使洗涤槽内减压的操作和恢复到大气压的操作。
本发明中，通过用加有界面活性剂的的烃类洗涤液对工件进行洗涤，在将附着在工件上的有机类和无机类污垢除去后(前洗涤工序)，在未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液中洗涤工件，将附着在工件上的加有界面活性剂的烃类洗涤液洗掉(后洗涤工序)。
而且，在洗涤工序中，由于在将工件浸渍在洗涤液中的状态下重复进行使洗涤槽内减压的操作和恢复到大气压的操作，所以在减压时，工件的空隙或工件和工件之间生成气泡并结合，成为大的气泡，从空隙之间放出。因此，由于洗涤液顺利地浸透在空隙之间，所以进入空隙之间的加有界面活性剂的烃类洗涤液可完全置换成未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液。从而在洗涤后的工件上，可完全除去有机类和无机类的污垢，同时含在前洗涤工序中采用的洗涤液中的界面活性剂不会残留在工件上。
在本发明中，最好在上述前洗涤工序和上述后洗涤工序中任一个工序中，边使工件倾斜边将其从洗涤液中拉出。这样，当将工件拉出时，在通常的姿势下流不出来的洗涤液也从工件上流出。因而可大幅度减少附着在从洗涤液中拉出的工件上的洗涤液。
在本发明中，最好在上述前洗涤工序和上述后洗涤工序中任一个工序中，边使工件上下运动边将其从洗涤液中拉出。若采用这种结构，则进入工件的空隙之间或工件和工件之间的脏洗涤液和储存在洗涤槽中的洗涤液能够可靠地置换。
在本发明中，最好在上述前洗涤工序和上述后洗涤工序之间对工件进行干燥处理。若采用这样的结构，则一旦将进入工件的空隙之间或工件和工件之间的洗涤液除去后，可转移到后洗涤工序，所以在进行后洗涤工序时，洗涤液可顺利地进入工件的空隙之间或工件和工件之间，能够进行良好的洗涤。
本发明的洗涤方法可适用于例如将封入了液晶的液晶板作为上述工件进行洗涤的情况。即，在构成液晶板的一对基板中至少一方的基板采用了钠钙玻璃基板的情况下，钠钙玻璃价格低廉，但代价是存在加热时从基板自身有碱金属在表面上析出，生成盐的缺点。尽管如此，在本发明中，由于这种无机物质也由加有界面活性剂的烃类洗涤液洗掉，所以根据本发明，可消除碱金属在表面上析出、生成盐，产生腐蚀这种玻璃基板的问题。
本发明在用于将数片液晶板重叠的状态下洗涤的情况下效果更好。本发明中，在后洗涤工序中，由于是在将液晶板浸渍在洗涤液中的状态下重复在减压的状态和返回大气压的状态，所以减压时气泡生成并结合，成为大的气泡，从空隙之间放出。因此，洗涤液顺利地浸透到空隙之间，所以进入液晶板的空隙或液晶板和液晶板之间的加有界面活性剂的烃类洗涤液可完全置换成未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液。因而在洗涤后的液晶板上，可完全除去有机类和无机类的污垢，同时不会残留含在前洗涤工序中使用的洗涤液中的界面活性剂。
如上所述，在本发明中，通过用加有界面活性剂的烃类洗涤液洗涤工件，在将附着在工件上的有机类和无机类污垢除去之后，在未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液中洗涤工件，将附着在工件上的加有界面活性剂的烃类洗涤液完全洗掉。而且，在后洗涤工序中，由于是在将工件浸渍在洗涤液中的状态下重复进行将洗涤槽内减压的操作和返回大气压的操作，所以在减压时，在工件的空隙或工件和工件之间生成气泡并结合，成为大的气泡，从空隙放出。因此，洗涤液顺利地浸透空隙中。所以，进入到空隙中的加有界面活性剂的烃类洗涤液可完全置换成未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液。因而可在洗涤后的工件上完全除去有机类和无机类污垢，同时也不会残留含在前洗涤工序中使用的洗涤液中的界面活性剂。
而且，在液晶装置的制造方法中采用本发明的洗涤方法，由于不仅可提高液晶装置的洗涤效果，还可以一次处理大量的液晶装置，所以可缩短制造时间和降低成本。
附图的简要说明
图1为构成液晶装置中采用的液晶板的结构的纵向剖视图。
图2为图1所示的液晶板的俯视图。
图3为表示图1所示的液晶板的制造工序中、液晶注入工序中将液晶注入基板之间的方法的说明图。
图4为表示用于实施本发明的洗涤方法的带有蒸馏再生机能的洗涤机整体结构的方框图。
图5为表示在图4所示的带有蒸馏再生机能的洗涤机中进行浸渍洗涤时的说明图。
图6为在图4所示的带有蒸馏再生机能的洗涤机中洗涤液晶板所采用的保持器的说明图。
图7为说明在图4所示的带有蒸馏再生机能的洗涤机中进行喷淋洗涤和蒸汽洗涤时的说明图。
图8为表示在图4所示的带有蒸馏再生机能的洗涤机中进行干燥工序时的说明图。
图9为用于说明在图4所示的带有蒸馏再生机能的洗涤机中，采用多级蒸馏的效果而示出的沸点-组成特性的曲线图。
图10为说明在本发明其它实施形式的洗涤方法中，将液晶板拉出时的说明图。
图11为表示在本发明其它实施形式的洗涤方法中，用别的方法将液晶板拉出时的说明图。
实施发明的形式
参照附图对本发明的实施形式加以说明。另外，在说明本发明的各实施形式之前，对作为洗涤对象(工件)的液晶板的结构和其制造方法加以说明。
工件/液晶板的结构
图1和图2分别为表示液晶显示装置(液晶装置)中采用的液晶板的结构的纵向剖视图和俯视图。图3为表示在该液晶板中注入液晶的工序说明图。
图1中所示的液晶板1为单纯的矩阵型液晶装置用，具有玻璃板构成的透明、薄的第一透明基板10和由相同的玻璃板构成的透明、薄的第二透明基板20。在这些基板的一方上通过印刷等形成密封剂30，隔着该密封剂30，第一透明基板10和第二透明基板20留有指定间隙31(小室间隙)地粘接固定。在此，第一透明基板10和第二透明基板20的小室间隙是由夹在第一透明基板10和第二透明基板20之间的多个隔离件32所规定的。
如图2所示，在密封剂30上形成有作为注入液晶时的液晶注入口301的切口部分，该液晶注入口301是由紫外线固化树脂构成的封止剂305封止的。
在图1中，第一透明基板10和第二透明基板20之间的间隙31中由密封剂30划分的液晶封入区域300内封入有液晶40。在第一透明基板10和第二透明基板20的各对向面上形成的带状电极105、205的双方的表面上形成有定向膜101、201，以STN(Super TwistedNematic)方式使用液晶40。
在第一透明基板10和第二透明基板20的各外侧表面上分别贴有偏光板102、202。另外，在液晶板1是作为反射型液晶板1构成时，贴在第二透明基板20上的偏光板202上贴有反射板203。
在第一透明基板10的内侧表面上，例如通过ITO(铟锡氧化物)膜形成向横向延伸的数个带状电极105，在第二透明基板20的内侧表面上，通过ITO膜形成向纵向延伸的多个带状电极205。在这些带状电极105、205之间的各交叉部分上构成画素。由于第二透明基板20大于第一透明基板10，所以第二透明基板20的一部分从第一透明基板10的下端缘突出，在该突出部分的端部上构成的端子206上通过各向异性导电膜3等连接有柔性印刷线路板2。在此，端子206是例如将在形成于第二透明基板20上的带状电极205原封不动地突出的部分上也配线(延伸)形成的部分、和形成于第一透明基板10上的带状电极105通过导通剂(图中未示出)实现第一透明基板10和第二透明基板20之间电连接，在突出部分上配线形成的部分配列连接加以利用的。因此，当通过柔性印刷线路板2，从外部电路输入各种控制信号或电源等驱动信号时，可根据该驱动信号将电压加在所希望的适当的带状电极105、205上。因而可控制各画素中液晶40的定向状态，在液晶板1上显示所希望的图象。
液晶板的制造方法
在这种液晶板1的制造方法中，第一透明基板10和第二透明基板20均是在中途可取多片这样的基板的大型基板的状态下形成带状电极105、205后，在大型基板的状态下通过密封剂30相互贴合。这样，在大型基板的状态下贴合后切断成长方形的状态下进行图3所示的液晶注入工序。
在图3中，当进行液晶注入工序时，在长方形的板100的切断部分上，是分别在成为液晶板1的部分上开口有液晶注入口301的状态。因此，在将长方形的板100配置在液晶注入装置的处理室内后，使该处理室为真空，在该状态下使储存有液晶40的容器41上升，液晶注入口301为浸渍在容器41内的液晶40中的状态，在该状态下将处理室内向大气开放，解除真空状态。其结果，由于由第一透明基板10和第二透明基板20夹持的间隙31内为真空状态，液晶40从液晶注入口301被吸入间隙31内。
这样，在液晶40的注入结束后，如参照图2所说明的那样，用紫外线固化树脂构成的封止剂305将液晶注入口301封止。
这样，在结束液晶40的注入、封止工序后，或在将长方形的板100切断成单个的液晶板1后，将附着的液晶或切断时附着的玻璃粉洗涤、除去。
洗涤机的整体结构
图4为表示用于上述本发明的洗涤方法的带有蒸馏再生机能的洗涤机整体结构的方框图。图5为表示用图4所示的带有蒸馏再生机能的洗涤机进行浸渍洗涤时的说明图。图6为用带有蒸馏再生机能的洗涤机洗涤液晶板时采用的保持器的说明图。图7为表示用图4所示的带有蒸馏再生机能的洗涤机进行喷淋洗涤或蒸汽洗涤时的说明图。图8为表示用图4所示的带有蒸馏再生机能的洗涤机进行干燥工序时的说明图。
在图4中，本形式的带有蒸馏再生机能的洗涤机500(以下称为洗涤机500)大致是由洗涤液晶板1等工件的洗涤部600和用于将该洗涤部600中使用的洗涤液蒸馏再生的蒸馏再生部700构成的。
在这种洗涤机500中，在洗涤部600中首先配置具备超音波振荡器626的第一预备洗涤槽602，和具备超音波振荡器627的第二预备洗涤槽603，由这两个预备洗涤槽602、603进行前洗涤工序。第一预备洗涤槽602和第二预备洗涤槽603为整体构成，洗涤液从第二预备洗涤槽603向第一预备洗涤槽602中溢流。
在此，第一预备洗涤槽602和第二预备洗涤槽603中储存有在主要成分为正壬烷或正癸烷等正链烷烃中添加了界面活性剂的加有界面活性剂的烃类洗涤液。这种界面活性剂例如为脂肪酸烷基醇酰胺和N亚烷基烯二胺脂肪酸盐，这种添加剂均是在例如5重量％以下的浓度添加的。在本形式中，作为添加剂，分别由下式
R1CON(R2OH)2·NH(R2OH)2(其中，R1和R2为烷基)表示的脂肪酸烷基醇酰胺，和由下式
R3NH·R4H2·2R5COOH(其中，R3和R5为烷基，R4为烷撑基)表示的N亚烷基烯二胺脂肪酸盐，以5重量％以下的浓度添加的。
而且，在洗涤部600中配置有进行后洗涤工序的洗涤槽601，关于该洗涤槽601的结构将在以下与来自蒸馏再生部700的配管结构一起叙述，洗涤槽601中使用的洗涤液为以正壬烷或正癸烷等为主要成分的烃类洗涤液。其中，该洗涤液中未掺合有界面活性剂。
另外，在洗涤部600中配置有将搭载了成为洗涤对象(工件)的液晶板1的洗涤笼685以第一预备洗涤槽602，第二预备洗涤槽603和洗涤槽601的顺序运送的机械手(如箭头D所示)。
另一方面，在蒸馏再生部700中配置有从洗涤槽601溢流而来的洗涤液通过洗涤液排出管702被回收的管理槽701，用于将来自该管理槽701的洗涤液蒸馏再生的蒸馏再生器是多级构成的。即，在蒸馏再生器700中，串联连接有从管理槽701供给洗涤液的第一级(初级)蒸馏再生器721，和蒸馏再生由该蒸馏再生器721蒸馏再生的再生洗涤液的第二级(终级)蒸馏再生器722。
各蒸馏再生器721、722是由将从蒸馏再生器蒸发而来的蒸汽液化的冷凝器731、732和储存由这些冷凝器731、732液化的再生洗涤液的中间槽741、742构成的。
在此，第一级蒸馏再生器721和第一级中间槽741是通过冷凝器731和加装有阀的再生洗涤液排出管761连接的，同时，第一级中间槽741和第二级蒸馏再生器722是通过加装有阀的再生洗涤液供给管781连接的。因此，由第一级蒸馏再生器721蒸馏再生的再生洗涤液可经由第一级中间槽741供给到第二级蒸馏再生器722。
第二级蒸馏再生器722和第二级中间槽742是通过加装有冷凝器732的再生洗涤液排出管762连接的。
在本形式中，在蒸馏再生器721、722的下方位置配置有分别接收从这些蒸馏再生器排出的洗涤液或残渣的接收槽791、792。
在这样构成的洗涤机500中，第一级中间槽741通过加装有阀的浸渍洗涤液供给管782连接在洗涤槽601上，可将由第一蒸馏再生器721蒸馏再生的洗涤液作为浸渍洗涤液供给到洗涤槽601。
第二级中间槽742通过加装有阀的喷淋用洗涤液供给管752连接在洗涤槽601上，可将由第二蒸馏再生器722蒸馏再生的洗涤液作为喷淋洗涤液供给到洗涤槽601。而且，第二级中间槽742通过加装有阀的浸渍洗涤液供给管750连接在洗涤槽601上，可将由第二蒸馏再生器722蒸馏再生的洗涤液作为浸渍洗涤液供给到洗涤槽601。另外，第二级蒸馏再生器722通过加装有阀的洗涤剂蒸汽供给管756连接在洗涤槽601上，可将洗涤剂蒸汽供给到洗涤槽601。
图5中，在配置于洗涤部600中的洗涤槽601高度方向的大致中央位置上配置有洗涤液供给口671，该洗涤液供给口671上连接有浸渍洗涤液供给管750、782。另外，在洗涤槽601上连接有用于维持洗涤液的液面的洗涤液排出管702，通过将洗涤槽601内的洗涤液经由洗涤液排出管702溢流到管理槽701(参照图4)中而维持液面。
洗涤槽601的结构
在用这样构成的洗涤机500洗涤工件(液晶板1)时，例如使用图6中所示的保持器680。在采用该保持器680洗涤液晶板1时，使以重叠状态搭载有液晶板1的保持器680为多段层叠，装入洗涤笼685中。因此，虽然一个洗涤笼685中可装入2000～5000片液晶板1，一次进行洗涤工序。但液晶板1之间几乎没有间隙。
在本形式中，在用图5中所示的洗涤槽601洗涤液晶板1时，在形成于洗涤槽601下半部的浸渍洗涤室610的工件台620上放置洗涤笼685。由于在该浸渍洗涤室610中储存有未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液，所以在将洗涤笼685放置在浸渍洗涤室610的工件台620上的状态下将洗涤笼685内的液晶板1浸渍在洗涤液中。
在此，在工件台620的底面一侧上配置有与工件台620一体的超音波振荡器625。而且，工件台620连结在升降机构(箭头A所示)上，升降机构可使工件台620与超音波振荡器625一起上下移动。另外，形成有储存在浸渍洗涤室610中的洗涤液相对于浸渍洗涤室610的循环路径615，在该循环路径615的中间位置加装有冷却器616。
在本形式中，洗涤槽601的上半部为较浸渍洗涤室610小一圈的小的处理室630，在该处理室630内配置有朝下方喷射洗涤用洗涤液的喷淋嘴631，同时配置有朝下方喷出漂洗用洗涤剂蒸汽的蒸汽吹出口655。
而且，在处理室630的壁面上开口有连接在真空抽吸装置(箭头B所示)上的排气口635，可从该排气口635对处理室630进行真空抽吸。而且，在洗涤槽601中，当升降机构将工件台620从图5所示的位置如图8所示的那样上举时，工件台620作为隔板将下半部的浸渍处理室610和上半部的处理室630完全隔开。因此，在该状态下，洗涤液的蒸汽不会从浸渍洗涤室610侵入处理室630内，并且当从排气口635进行真空抽吸时，可使处理室630内为真空状态。
前洗涤工序
在本形式中，要用洗涤机500洗涤液晶板1，首先，将搭载在洗涤笼685中的液晶板1浸渍在储存于第一预备洗涤槽602中的洗涤液(加有界面活性剂的烃类洗涤液)中，进行超音波洗涤(浸渍洗涤)，然后，浸渍在储存于第二预备洗涤槽603中的洗涤液(加有界面活性剂的烃类洗涤液)中，进行超音波洗涤(浸渍洗涤)。
后洗涤工序
在前洗涤工序结束后，将洗涤笼685放置在洗涤槽601的浸渍洗涤室610中的工件台620上，将液晶板1浸渍在洗涤液(未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液)中。
然后，重复从排气口635进行真空抽吸和导入空气，使浸渍洗涤室610内重复为减压到6.67×103～13.33×103Pa(50～100托)的状态和返回到大致通常的大气压的状态。
然后，在使浸渍洗涤室610返回到接近大气压的状态下，使超音波振荡器625动作，通过洗涤液对液晶板1施加超音波振动，同时进行浸渍洗涤(超音波洗涤)。
这样，经过指定时间后，使超音波振荡器625停止，再次重复从排气口635进行真空抽吸和导入空气，使浸渍洗涤室610内重复于减压状态和返回大气压的状态。
然后，在使浸渍洗涤室610内返回到大气压的状态下使超音波振荡器625再次动作，通过洗涤液对液晶板1施加超音波振动，同时进行浸渍洗涤(超音波洗涤)。
根据需要重复这种循环指定次数后结束浸渍洗涤(超音波洗涤)。
在进行这种超音波洗涤时，在本形式中，是在对洗涤对象的影响或蒸发所产生的洗涤液损耗不会带来问题的范围内将洗涤液加热到例如50～80℃而降低污垢等的粘度，同时通过提高洗涤液的浸透性提高洗涤能力，另一方面，通过冷却器616冷却洗涤液，进行温度控制，防止因超音波使洗涤液过热。通过这种温度控制，即使是具有引火性的洗涤液，也可以保持在低于引火点10℃左右的较低温度。
另外，也可以使超音波振荡器625动作，将超音波振动施加到液晶板1上，同时重复从排气口625进行真空抽吸和导入空气，使浸渍洗涤室610重复于减压的状态和返回大气压的状态。
然后，使升降机构动作，将工件台620从图5中所示的位置上升到图7所示的位置附近，在将下半部的浸渍处理室610和上半部的处理室630完全隔开的状态下，首先从喷雾喷嘴631向液晶板1喷射洗涤液，进行第一次的漂洗。
接着，从排气口635进行真空抽吸，使浸渍洗涤室610和处理室630内为6.67×103～13.33×103Pa(50～100托)的减压状态，从蒸馏再生器722经由洗涤剂蒸汽供给管756和蒸汽吹出口655供给洗涤蒸汽，对液晶板1进行蒸汽洗涤(第二次漂洗)。
然后，在使洗涤槽601返回到大气压的状态下从蒸汽吹出口655喷出洗涤剂蒸汽，对液晶板1进行蒸汽洗涤(第三次漂洗)。
这样，在结束漂洗后，将工件台620上升到图8所示的位置，使工件台620为隔板，将下半部的浸渍处理室610和上半部的处理室630完全隔开。然后，从排气口635对处理室630进行真空抽吸，使处理室630内为2.67×103Pa(20托)以下的减压状态(真空状态)，使液晶板1真空干燥。
这样，将干燥结束后的液晶板1与洗涤笼685一起从洗涤槽601中取出，进行其它的液晶板1的洗涤。
本形式的洗涤方法的效果
在本形式的液晶板1的洗涤方法中，首先，在前洗涤工序中，通过用加有界面活性剂的烃类洗涤液洗涤液晶板1，将附着在液晶板1上的有机类和无机类污垢除去，然后在后洗涤工序中，用未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液洗涤液晶板1，将附着在液晶板1上的加有界面活性剂的烃类洗涤液完全洗掉。
在后洗涤工序中，由于是在将液晶板1浸渍在浸渍洗涤室610内的洗涤液中的状态下使浸渍洗涤室610内重复于减压的状态和返回大气压的状态，所以减压时生成气泡并结合，成为大的气泡，从液晶板1的空隙或液晶板1之间重叠的部分放出。因此，由于洗涤液可顺利地浸透空隙中，所以进入液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之间的加有界面活性剂的烃类洗涤液可完全置换成未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液。因此，在洗涤后的液晶板1上，有机类和无机类污垢被完全除去，同时不会残留含在前洗涤工序中采用的洗涤液中的界面活性剂。
另外，如果是本形式所采用的加有界面活性剂的烃类洗涤液，则可以洗掉加热价廉的钠钙玻璃基板时析出的碱金属或表面上生成的盐，防止腐蚀，所以液晶板1所采用的一对基板中至少一方的基板可采用价廉的钠钙玻璃。
在本形式中，在边对浸渍在洗涤液中的液晶板1施加超音波振动边进行浸渍洗涤(超音波洗涤)时，通过冷却器616将洗涤液冷却，防止因施加超音波而使洗涤液为高温。因此，可防止由薄的玻璃板构成的第一和第二基板10、20(液晶板1)变形。因而不会发生因隔离件32在液晶板1的基板之间移动、集中而引起的显示品质降低。
在本形式中，由于在通过工件台620(隔板)与浸渍洗涤室610邻接的处理室630中连续地对液晶板1进行漂洗和减压干燥处理，所以洗涤液不会漏到外部。因而即使在采用具有引火性的烃类洗涤液时也是安全的。而且，通过使用于对处理室630减压的真空抽吸装置在隔板打开的状态下动作，可原封不动地采用该真空抽吸装置，使浸渍处理室610内重复于减压的状态和返回大气压的状态，并且可使浸渍处理室610内的洗涤液产生蒸汽，进行蒸汽洗涤。因而具有在洗涤槽601中设置一台真空抽吸装置即可的优点。
而且，由于在减压状态下从蒸馏再生器722产生蒸汽，所以即使是与氟素类洗涤液相比沸点高的烃类洗涤液，也具有易于进行蒸汽洗涤的优点。
蒸馏再生操作
在这样进行洗涤期间，在蒸馏再生部700中，如以下所说明的，进行洗涤槽601中使用的洗涤液的蒸馏再生。
首先，在洗涤槽601中使用的洗涤液先储存在管理槽701中，从该管理槽701定量地向第一级蒸馏再生器721输送。在该蒸馏再生器721中，在定量投入洗涤液的状态下进行蒸馏再生(第一蒸馏模式)。
然后，在第一级蒸馏再生器721中产生的洗涤剂蒸汽在加装有再生洗涤液排出管761的冷凝器731中液化，之后储存在第一级中间槽741中，储存在第一级中间槽741中的再生洗涤液通过再生洗涤液供给管781定量地输送到第二级蒸馏再生器722中。在该蒸馏再生器722中以定量投入洗涤液的状态进行蒸馏再生(第一蒸馏模式)。
然后，第二级蒸馏再生器722中产生的洗涤剂蒸汽在加装有再生洗涤液排出管762的冷凝器732中液化，之后储存在第二级中间槽742中。
这样，在本形式的洗涤机500中，由于洗涤所使用的洗涤液是通过多级连接的多个蒸馏再生器721、722蒸馏再生的，所以可获得杂质浓度低的正常的洗涤液。即，在图9中所示的沸点-组成特性中，在蒸馏再生前的洗涤液中混入箭头c所示浓度的杂质的情况下，该洗涤液在第一级(初级)蒸馏再生器721中杂质浓度降低到箭头a所示的水平附近，之后投入到第二级蒸馏再生器722中。由于在该第二级蒸馏再生器722中投入杂质浓度已降低到箭头a所示水平附近的洗涤液，所以杂质浓度可下降到箭头b所示的水平附近。因而可获得净化到漂洗所必须水平的再生洗涤液。
而且，可从多级连接的各蒸馏再生器721、722获得杂质浓度为各种水平的再生洗涤液。因此，仅在蒸馏再生器721中进行了一次蒸馏再生的再生洗涤液(第一级中间槽741内的再生洗涤液)由于杂质浓度较高而用于浸渍洗涤，在蒸馏再生器721、722中进行了两次蒸馏再生的再生洗涤液(第二中间槽742内的再生洗涤液)由于杂质浓度较低而主要用于漂洗，可根据洗涤液的杂质水平分开使用。因而不会发生将费时费力地使杂质浓度进一步降低的洗涤液用于预备洗涤等的浪费。
在进行这种蒸馏操作期间，在洗涤槽601中需要浸渍洗涤液时，储存在第一级中间槽741中的再生洗涤液通过浸渍洗涤液供给管782输送到预备洗涤槽601中。而且，在洗涤槽601中需要浸渍洗涤液时，储存在第二级中间槽742中的再生洗涤液通过浸渍洗涤液供给管750输送到洗涤槽601中。另外，在洗涤槽601中需要喷淋洗涤液时，储存在第二级中间槽742中的再生洗涤液通过喷淋洗涤液供给管752输送到洗涤槽601中。而且，在洗涤槽601中需要蒸汽洗涤所必须的洗涤剂蒸汽时，在第二级蒸馏再生器722中产生的洗涤剂蒸汽通过洗涤剂蒸汽供给管756输送到洗涤槽601中。
随着蒸馏再生的进行，在各蒸馏再生器721、722中杂质浓度逐渐增高。因此，通常是边对各蒸馏再生器721、722定量投入洗涤液边进行蒸馏再生(第一蒸馏模式)，但如图9中箭头c’、a’、b’所示，在各蒸馏再生器721、722内或从此处排出的洗涤液的杂质浓度上升时，或者预想到杂质浓度上升时，进行蒸发操作等降低杂质的操作(第二蒸馏模式)。
该蒸发操作是停止向蒸馏再生器721、722定量投入洗涤液，对此刻储存在各蒸馏再生器721、722中的洗涤液进行蒸馏再生(第二蒸馏模式)。这样，在回收了一定程度的洗涤液的时刻停止蒸馏再生，将各蒸馏再生器721、722中残留的洗涤液与残渣(杂质)一起丢弃在接收槽791、792中，然后，再次边向各蒸馏再生器721、722定量投入洗涤液边进行洗涤液的蒸馏再生。因此，由于可有效地去除蒸馏再生器721、722内的杂质，所以可降低再生洗涤液的杂质浓度。
其它实施形式
在上述形式中，是在前洗涤工序中进行浸渍洗涤，在后洗涤工序中进行浸渍洗涤、喷淋洗涤和蒸汽洗涤，但即使在前洗涤工序和后洗涤工序中任一工序中均仅进行浸渍洗涤的情况下，若采用本发明，则也可以进行良好的洗涤。
即使在前洗涤工序和后洗涤工序中任一工序中，也最好如图10所示，将液晶板1倾斜成将液晶板1从洗涤液中拉出时液晶板1的边呈斜向的姿势。这样，当拉出液晶板1时，以通常的姿势流不出来的洗涤液也从液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之间流出来。因此，若在前洗涤工序中采用本方法，则在将液晶板1移至后洗涤工序中时，可大幅度降低前洗涤工序中所使用的加有界面活性剂的洗涤液附着在液晶板1上的量。因而在后洗涤工序中，附着在液晶板1上的加有界面活性剂的洗涤液可完全置换成未掺合有界面活性剂的洗涤液。而且，若在后洗涤工序中采用本方法，则可大幅度减少附着在液晶板1上的洗涤液，可缩短干燥时间。
在前洗涤工序和后洗涤工序中任一工序中，也最好如图11所示，在将液晶板1从洗涤液中拉出时，如箭头E所示地在洗涤液的界面上使液晶板1上下运动。若采用这种方法，则能够可靠地进行进入到液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之间的脏洗涤液与储存在洗涤槽内的洗涤液的置换。因此，若在前洗涤工序中采用本方法，则可防止将附着有大量脏洗涤液的液晶板1移至后洗涤工序中。而且，若在后洗涤工序中采用本方法，则可防止对附着有大量脏洗涤液的液晶板1进行干燥处理。
在前洗涤工序和后洗涤工序之间最好进行对液晶板1吹温风等的干燥处理。若采用这种结构，则可在将进入到液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之间的洗涤液除去后移至后洗涤工序。因而在进行后洗涤工序时，洗涤液可顺利地进入液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之间，可良好地进行后洗涤工序。
Claims (6)
1.一种洗涤方法，具有：采用加有界面活性剂的烃类洗涤液，对工件进行浸渍洗涤的前洗涤工序；和采用未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液，对该前洗涤工序结束后的工件进行浸渍洗涤的后洗涤工序，其特征为，
在上述后洗涤工序中，在将工件浸渍在洗涤液中的状态下，重复进行使洗涤槽内减压的操作和恢复到大气压的操作。
2.根据权利要求1所述的洗涤方法，其特征为，在上述前洗涤工序和上述后洗涤工序中的至少一个工序中，一边将工件倾斜一边从洗涤液中拉出。
3.根据权利要求1或2所述的洗涤方法，其特征为，在上述前洗涤工序和上述后洗涤工序中的至少一个工序中，一边使工件上下运动一边从洗涤液中拉出。
4.根据权利要求1或2所述的洗涤方法，其特征为，在上述前洗涤工序和上述后洗涤工序之间对工件进行干燥处理。
5.一种液晶装置的制造方法，其特征为，采用权利要求1或2所规定的洗涤方法，将封入了液晶的液晶板作为上述工件进行洗涤。
6.根据权利要求5所述的液晶装置的制造方法，其特征为，上述液晶板是在数片重叠的状态下进行上述前洗涤工序和上述后洗涤工序的。
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