CN1219582C - 具有内部防腐措施的涤气装置 - Google Patents
具有内部防腐措施的涤气装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1219582C CN1219582C CNB011039590A CN01103959A CN1219582C CN 1219582 C CN1219582 C CN 1219582C CN B011039590 A CNB011039590 A CN B011039590A CN 01103959 A CN01103959 A CN 01103959A CN 1219582 C CN1219582 C CN 1219582C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- supply pipe
- wall
- combustion
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/14—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by absorption
- B01D53/18—Absorbing units; Liquid distributors therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
一种具有内部防腐措施的涤气装置,有流入口、燃烧室、湿法处理室、气体排放口;燃烧室接燃烧气体供应管道,壳体的内外壁之间装绝热材料;特征是:在绝热材料与内壁之间安装供水管道,供水管道的一端接燃烧气体的供应管道。注入水沿着燃烧室内外壁之间的供水管道进行流动,被加热成水蒸汽注入供应燃烧气体的管道中,和燃烧气体一同进入燃烧室内。水蒸汽同腐蚀性物质进行化学反应,从而防止燃烧室内部合金构件的腐蚀。
Description
技术领域
本发明涉及一种涤气装置,具体的说是一种在燃烧室中具有防腐措施的涤气装置。
背景技术
通常,在半导体生产过程中产生的排放气体含有较高浓度的有害物质,因此将排放气体排放到大气之前必须要除掉该有害物质。一般用来清除排放气体有害物质的涤气装置,如图1所示,它由下列几部分组成,即:流入排放气体的流入口1;对流入的排放气体进行燃烧处理的燃烧室3;将在燃烧室3中进行过燃烧处理的排放气体清除水溶性有害物质的湿法处理室5;排放经由上述处理过程的气体排放口(图中未示出)等。燃烧室如在图2中所示,为了排放气体的燃烧处理,连接着用来提供燃烧空气的管道11,壳体由外壁13a和内壁13b形成一种双重结构,在外壁13a和内壁13b之间装有绝热材料15。流入这种燃烧室3的排放气体中含有腐蚀装置内部合金的F2、NF3等腐蚀性气体。在燃烧室3中燃烧排放气体的过程中,排放气体中的F2、NF3成分要腐蚀燃烧室的内部合金构件,这将缩短装置的使用寿命。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述问题而提供一种能防止腐蚀设备内部合金构件的涤气装置。
本发明的目的是通过如下技术方案实现的:本发明的涤气装置,也如同通常的涤气装置一样,由下列的几个部分构成,即:流入排放气体的流入口;对流入的排放气体进行燃烧处理的燃烧室;将在燃烧室中进行燃烧处理过的排放气体清除水溶性有害物质用的湿法处理室;排放经由上述处理过程的气体排放口;在燃烧室中为了提供燃烧气体,接有燃烧气体供应管道,壳体制成由内壁和外壁形成的双重结构,在内壁和外壁之间装有绝热材料;其特征是:在绝热材料与内壁之间安装供水管道,供水管道的一端连接到燃烧气体的供应管道上。从上述供水管道的另一端如果注水,那么被注入的水将沿着安装在燃烧室的内壁与外壁之间的供水管道进行流动,同时被加热成水蒸汽。由于供水管道与供应燃烧气体的管道相连,水蒸汽将被注入到供应燃烧气体的管道中,并跟燃烧气体一同进入燃烧室内。进入燃烧室内的水蒸汽将同腐蚀性物质进行化学反应,变成另外一种物质,从而可以防止燃烧室内部合金构件的腐蚀。
本发明具有如下优点:由于采用如上所述的装置,在其燃烧室中就使排放气体中会腐蚀设备内部合金构件的F2、NF3等与水蒸汽进行化学反应,变成HF、HOF、HNO2、FNO2等化合物,能提高设备的耐久性能,因而延长使用寿命。另外,在上述化学反应中生成的化合物对水的溶解度高,因而在湿法处理室中的处理过程变得容易。与此同时,在腐蚀成分处理中使用的水蒸汽是再利用燃烧室的燃烧处理用热量来生成的,因此也具有提高能效的效果。
附图说明
下面,参照附图对本发明进行详细的说明。
图1是一般涤气装置结构示意图。
图2是一般涤气装置的燃烧室结构示意图。
图3是本发明具有内部防腐措施的燃烧室局部立体剖视图。
具体实施方式
见图1、3,本发明的这种燃烧室也用于如图1所示的一般用涤气装置上。该涤气装置设有流入排放气体的流入口1;对流入的排放气体进行燃烧处理的燃烧室3;将在燃烧室中进行燃烧处理过的排放气体清除水溶性有害物质用的湿法处理室5;排放经由上述处理过程的气体排放口(图中未示出)。图3示出本发明的燃烧室3,它连接着一个对排放气体进行燃烧处理所需的供应燃烧气体用管道21;它的壳体由形成内腔并与流入排放气体相接触的内壁23b和形成外罩的外壁23a构成的双重结构形成。在外壁23a和内壁23b之间装有防止散热的绝热材料25;在内壁23b和绝热材料25之间装有供水管道27。
在本发明的涤气装置中,如向装在燃烧室3壳体内的供水管道27注水,那么水将沿着水管流动的同时借助燃烧室的热量被加热成水蒸汽。水蒸汽将注入到一个与供水管道27相连的供应燃烧气体的管道21中,并同燃烧气体一起注入到燃烧室3内。流入的水蒸汽将与燃烧室3中的排放气体的F2、NF3进行化学反应,变成HF、HPF、HNO2、FNO2等。这种化学反应的结果如下:
经上述化学反应生成的物质HF、HOF、HNO2、FNO2等,跟F2、NF3相比对合金构件的腐蚀力显著的低下,因而能明显地提高设备的耐久性能。另外,新生成的排放气体在下一处理工序,即湿法处理室中能得到溶解处理,于是总体的排放气体处理效率能够得到明显的提高。
上面就本发明的一个具有实用性的实例进行了说明。但是本发明不仅限于上述的实例。在本发明的技术领域中,在不超出上述技术方案要点描述的范围内可以制成各式各样的变形产品。
Claims (1)
1、一种具有内部防腐措施的涤气装置,由下列的几个部分构成,即:流入排放气体的流入口;对流入的排放气体进行燃烧处理的燃烧室;将在燃烧室中进行燃烧处理过的排放气体清除水溶性有害物质用的湿法处理室;排放经由上述处理过程的气体排放口;在燃烧室中为了提供燃烧气体,接有燃烧气体供应管道,壳体制成由内壁和外壁形成的双重结构,在内壁与外壁之间装有绝热材料;其特征是:在绝热材料与内壁之间安装供水管道,供水管道的一端连接到燃烧气体的供应管道上。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2000-0068377A KR100368811B1 (ko) | 2000-11-17 | 2000-11-17 | 장치내부 부식방지수단을 구비한 가스 스크러버 |
KR68377/2000 | 2000-11-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1354040A CN1354040A (zh) | 2002-06-19 |
CN1219582C true CN1219582C (zh) | 2005-09-21 |
Family
ID=19699624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB011039590A Expired - Lifetime CN1219582C (zh) | 2000-11-17 | 2001-02-16 | 具有内部防腐措施的涤气装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20020090323A1 (zh) |
JP (1) | JP3556181B2 (zh) |
KR (1) | KR100368811B1 (zh) |
CN (1) | CN1219582C (zh) |
GB (1) | GB2369073B (zh) |
TW (1) | TW527210B (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100730377B1 (ko) * | 2005-07-26 | 2007-06-19 | (주)대하이노텍 | 버닝 스크러버 |
US7976807B2 (en) * | 2006-03-07 | 2011-07-12 | Kanken Techno Co., Ltd. | Method for detoxifying HCD gas and apparatus therefor |
CN104043319B (zh) * | 2014-06-24 | 2016-06-15 | 宜兴市海纳环境工程有限公司 | 脱硫喷淋塔的重型防腐改造工艺及重型防腐结构 |
CN112335459B (zh) * | 2020-10-30 | 2023-05-12 | 天津北洋百川生物技术有限公司 | 一种基于生物质能源的大棚控温装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US548941A (en) * | 1895-10-29 | Liquid-heater | ||
US3852409A (en) * | 1972-10-31 | 1974-12-03 | Lone Star Steel Co | Process for the removal of particulate matter and acidic gases from carrier gases |
CA1033291A (en) * | 1973-04-26 | 1978-06-20 | Francis A.L. Dullien | Gas scrubber |
GB2059799A (en) * | 1979-10-01 | 1981-04-29 | Wen Shen Su | Method for scrubbing material from flue gases |
DE3508087A1 (de) * | 1985-03-07 | 1986-11-06 | Muellverbrennungsanlage Wupper | Balgenwaschvorrichtung |
US4635569A (en) * | 1986-03-28 | 1987-01-13 | Irving Domnitch | Incinerator system arrangement with dual scrubbing chambers |
US5209187A (en) * | 1991-08-01 | 1993-05-11 | Institute Of Gas Technology | Low pollutant - emission, high efficiency cyclonic burner for firetube boilers and heaters |
KR0114474Y1 (ko) * | 1994-03-03 | 1998-04-16 | 강달영 | 조립식 소각로 |
KR0153406B1 (ko) * | 1994-10-27 | 1999-02-18 | 우제정 | 폐기물 소각 방법 및 장치 |
TW342436B (en) * | 1996-08-14 | 1998-10-11 | Nippon Oxygen Co Ltd | Combustion type harm removal apparatus (1) |
-
2000
- 2000-11-17 KR KR10-2000-0068377A patent/KR100368811B1/ko active IP Right Grant
-
2001
- 2001-02-16 CN CNB011039590A patent/CN1219582C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-03-13 TW TW090106136A patent/TW527210B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-03-16 GB GB0106494A patent/GB2369073B/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-03-28 US US09/819,841 patent/US20020090323A1/en not_active Abandoned
- 2001-04-25 JP JP2001128412A patent/JP3556181B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100368811B1 (ko) | 2003-01-24 |
CN1354040A (zh) | 2002-06-19 |
JP2002166128A (ja) | 2002-06-11 |
GB2369073A (en) | 2002-05-22 |
KR20020038254A (ko) | 2002-05-23 |
JP3556181B2 (ja) | 2004-08-18 |
US20020090323A1 (en) | 2002-07-11 |
GB0106494D0 (en) | 2001-05-02 |
TW527210B (en) | 2003-04-11 |
GB2369073B (en) | 2004-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7976807B2 (en) | Method for detoxifying HCD gas and apparatus therefor | |
KR200405303Y1 (ko) | 폐가스 정화처리 장치 | |
KR20070066998A (ko) | 수분리 냉각 장치를 구비한 플라즈마 스크러버 시스템 및이를 이용한 유해가스 처리방법 | |
CN1219582C (zh) | 具有内部防腐措施的涤气装置 | |
US20040141900A1 (en) | Method for processing perfluorocompounds exhaust | |
JP2010023000A (ja) | 排ガス除害装置 | |
KR970023777A (ko) | 반도체 제조설비의 폐가스 처리장치 | |
JP2692237B2 (ja) | 排ガス中のNOxの脱硝方法及び排ガス処理装置 | |
JP3215074B2 (ja) | 半導体製造排ガスの除害方法と除害装置 | |
KR100328632B1 (ko) | 복합 가스 스크러버 시스템 | |
CN206902221U (zh) | 干燥及预钝化装置 | |
KR102437338B1 (ko) | 전자파가 혼입되는 촉매방식의 플라즈마 스크러버 및 이를 이용한 폐가스 처리 방법 | |
CN109562348B (zh) | 流体处理装置和方法 | |
CN206838652U (zh) | 低温等离子体商用厨房自动清洗装置 | |
JP2000515808A (ja) | 電子ビームの照射によるガス処理方法及び装置 | |
JP2002210330A (ja) | 半導体プロセス用排ガス処理装置 | |
KR200405302Y1 (ko) | 폐가스 정화처리장치의 연소챔버부 | |
CN216677512U (zh) | 一种pecvd尾气处理装置 | |
KR20040070756A (ko) | 반도체 공정용 가스세정장치 | |
TWI669151B (zh) | 排氣之減壓除害方法及其裝置 | |
KR100992752B1 (ko) | 반도체 제조 공정의 폐가스 처리장치 | |
CN206334521U (zh) | 废气处理设备 | |
TWI826817B (zh) | 利用螺旋管柱之氣體處理設備用粉塵除去裝置 | |
CN220110730U (zh) | 一种实验室废气高效处理集成设备 | |
KR100341955B1 (ko) | 가스 스크러버 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20050921 |
|
CX01 | Expiry of patent term |