TW527210B - Gas scrubber with a device for preventing interior corrosion - Google Patents

Description

527210 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1 ) 本發明涉及一種滌氣裝置，具體的說是一種在燃燒室 中具有防腐措施的滌氣裝置 通常，在半導體生產過程中產生的排放氣體含有較高 濃度的有害物質，因此將排放氣體排放到大氣之前必須要 除掉該有害物質。一般用來清除排放氣體有害物質的滌氣 裝置，如第一圖所示，它由下列幾部分組成’即：流入排 放氣體的流入口 1 ;對流入的排放氣體進行燃燒處理的燃 燒室3 ;將在燃燒室3中進行過燃燒處理的排放氣體清除 水溶性有害物質的濕法處理室5 ;排放經由上述處理過程 的氣體排放口（圖中未示出）等。燃燒室如在第二圖中所 示，爲了排放氣體的燃燒處理，連接著周來提供燃燒空氣 的管道11，殼體由外壁13a和内壁13b形成一種雙重結 構，在外壁1 3 a和内壁13b之間裝有絕熱材料15。流入 該燃燒至3的排放氣體中含有腐餘裝置内部合金的、悅匕 等腐蝕性氣體。在燃燒室3中燃燒排玫氣體的過程中，排 放氣體中的FpNF3成分要腐蝕燃燒室的内部合金構件， 這將縮短裝置的使用壽命。 本發明的目的是爲了解決上述問題而提供一種能防止 腐#設備内部合金構件之務氣裝置。 本發明的目的是通過如下控椒 ,壯择..Ukee也·….技術方案實現的：本發明的 ’由下列的幾個部 滌氣裝置，也如同通常的務氣裝置一样 分構成，即：流入排放氣體的流入 進行燃燒處理的燃燒室；將在燃燒室令 排放氣體清除水溶性有害物質用的濕法2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4 ’對流入的排放氣體 進行燃燒處理過的 理室；排放經由 --------------------訂·！------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) % 527210 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 5 A7 五、發明說明（2 上述處理過程的氣體排放口；在燃燒室中爲了提供燃燒氣 體，接3燃燒氣體供應管道，殼體製成由内壁和外壁形成 的雙重結構，在内壁與外壁之間裝有絕熱材料；其特徵是： 在絕熱材料與内壁之間安裝供水管道，供水管道的一端連 接到燃燒氣體的供應管道上^從上述供水管道的另一端如 不；主水，那麼被注入的水將沿著安裝在燃燒室的内壁與外 壁之間的供水管道進行流動，同時被加熱成水蒸汽。由於 供水管道與供應燃燒氣體的管道相連，水蒸汽將被注入到 供應燃燒氣體的管道中，並跟燃燒氣體一同進入燃燒室 内進入燃燒至内的水蒸汽將同腐银性物質進行化學反 應，變成另外一種物質，從而可以防止燃燒室内部合金構 件的腐ϋ。 本發明具有如下優點··由於採用如上所述的裝置，在 …燃燒至中就使排放氣體中的腐餘設備内部合金構件的 h、肝3等與水蒸汽進行化學反應，變成肿、η卯、關⑴、 FN〇2等化合物，能提高設備的耐久性能，因而延長使用壽 命。另外，在上述化學反應中生成的化合物對水的溶解度 高，因而在濕法處理室中的處理過程變得容易。與此同時二 在腐料分處理中使用的水蒸汽是再利㈣ 理用熱量來生成的，因此也具有提高能效的效果。 下面’參照附圖對本發明進行詳細的說明。 第一圖係一般滌氣裝置結構示意圖。 第二圖係一般滌氣裝置的燃燒室結構示意圖。 第三圖.係本發明具有内㈣腐措施的燃燒室局部立體 ----------丨丨-------丨訂- ---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 527210 A7 B7 五、發明說明（3 ) 剖視圖y (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 見第一圖及第三圖所示’本發明的這種燃燒室也用於 如第一圖所示的一般用滌氣裝置上。該滌氣裝置設有流入 排放氣體的流入口 1 ;對流入的排放氣體進行燃燒處理的 燃燒室3 ;將在燃燒室中進行燃燒處理過的排放氣體清除 水溶性有害物質用的濕法處理室5 ;排放經由上述處理過 程的氣體排放口（圖中未示出）。第三圖示出本發明的燃燒 室3 它連接著一個對排放氣體進行燃燒處理所需的供應 燃燒氣體用管道2 1 ;它的殼體由形成内腔並與流入排放氣 體相接觸的内壁23b和形成外罩的外壁23a構成的雙重結 構形成。在外壁23a和内壁23b之間裝有防止散熱的絕熱 材料25;在内壁23b和絕熱材料25之間裝有供水管道27。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在本發明的滌氣裝置中，如向裝在燃燒室3的殼體内 供水管道2 7注水，那麼水將沿著水管流動的同時藉助燃燒 室的熱量被加熱成水蒸汽。水蒸汽將注入到一個與供水管 道27相連的供應燃燒氣體的管道21中，並同燒燒氣體— 起注入到燃燒室3内。流入的水蒸汽將與燃燒室3中的排 放氣體的F2、肝3進行化學反應，變成HF、HPF、HNCh、FNCh 等。這種化學反應的結果如下： 2F2十2H2〇 —> 4HF + 〇2 NF3 + H2O —> 2HF + N0F 2NF3f3H2〇 —> 3HF + 3H0F + N2 NF3f2H2〇 —> 3HF+HN〇2 NF3 + 2H2O ——^ 2HF + FNO2 + H2 •本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 6 527210

五、發明說明（4 ) 經上述化學反應生成的物質HF、H〇F、M〇2、FN〇2等， 跟F2、NF3相比對合金構件的腐蝕力顯著的低下，因而能 明顯地提高設備的耐久性能^另外，新生成的排放氣體在 下一處理工序，即濕法處理室中能得到溶解處理，於是總 體的排放氣體處理效率能夠得到明顯的提高。 上面就本發明的一個具有實用性的實例進行了說明。 但是本發明不僅限於上述的實例。在本發明的技術領域 中，在不超出上述技術方案要點描述的範圍内可以製成各 式各樣的變形産品。 圖號之簡單說明： 燃燒室3 外壁13a 絕熱材料15 内壁23b 絕熱材料2 5 (請先閱讀背面之注意事頊再填寫本頁) 流入口 1 濕法處理室5 管道11 内壁13b 管道21 外壁23a 供水管道27 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 …本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 7

Claims (1)

1. 527210 AS B8 ___ g8s 一 六、申請專利範圍 1、一種县有内部防腐措施之滌氣裝置，係由下列的幾個部 分構成’即：流入排放氣體的流入口；對流入的排放氣體 進行燃燒處理的燃燒室；將在燃燒室中進行燃燒處理過的 排放氣體清除水溶性有害物質用的濕法處理室；排放經由 上述處理過程的氣體排放口；在燃燒室中爲了提供燃燒氣 體，接有燃燒氣體供應管道，殼體製成由内壁和外壁形成 的雙重結構，在内壁與外壁之間裝有絕熱材料；其特徵是·· 在絕熱材料與内壁之間安裝供水管道，供水管道的一端連 接到燃燒氣體的供應管道上。