JP2002166128A - 装置内部腐蝕防止手段を備えたガススクラバー - Google Patents

装置内部腐蝕防止手段を備えたガススクラバー

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、装置内部を構成する合金の腐蝕
を防止するための手段を備えたガススクラバーを提供す
る。 【解決手段】排気ガスが流入する流入口と、流入した排
気ガスをバーニング処理するためのバーニングチャンバ
と、バーニングチャンバでバーニング処理された排気ガ
スから水溶性有害物質を取り除くためのウェッティング
チャンバと、このような処理過程を経た排気ガスが排出
される排出口を含んで構成されるが、特にバーニングチ
ャンバにはバーニングエアーを供給するためのバーニン
グエアー供給パイプが連結されて、内壁と外壁二重で構
成され、内壁と外壁間には断熱材が備わって、断熱材と
内壁間には水供給パイプが内蔵され、前記水供給パイプ
の端は前記バーニングエアー供給パイプに連結される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガススクラバーに関
するものであり、さらに詳細には装置内部特に、バーニ
ングチャンバ内部を構成する合金の腐蝕防止手段を備え
たガススクラバーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造中に生じる排気ガス
には毒性物質が比較的高濃度に含まれているので、この
ような排気ガスは大気中に放出される前に毒性物質を除
去しなければならない。
【０００３】このように排気ガスの毒性物質を取り除く
ための排気ガス処理用ガススクラバーは図１に示された
ように排気ガスが流入する流入口１と、流入した排気ガ
スをバーニング処理するためのバーニングチャンバ３
と、前記バーニングチャンバ３でバーニング処理された
排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェッテ
ィングチャンバ５と、このような処理過程を経た排気ガ
スが排出される排出口(図示せず)とを含んで構成され
る。
【０００４】そして、前記バーニングチャンバは図２に
示されたように排気ガスのバーニング処理のためにバー
ニングエアーを供給するパイプ１１が連結されて、その
外廓は外壁１３ａと内壁１３ｂ二重で形成されて、前記
外壁１３ａと内壁１３ｂ間には断熱材１５が具備され
る。このようなバーニングチャンバ３に流入する排気ガ
スにはＦ２、ＮＦ３等の装置内部を構成する合金を腐蝕
させる成分を含有している。特に、前記バーニングチャ
ンバ３で排気ガスを燃焼させる中排気ガスに含まれたＦ
２、ＮＦ３の成分がバーニングチャンバ３の内部を腐蝕
させて装置の寿命を短縮させる問題点が生じることであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】それで本発明は前記し
たような問題を解決して装置内部を構成する合金の腐蝕
を防止するための手段を備えたガススクラバーを提供す
ることにその目的がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記したような目的を達
成するための本発明のガススクラバーは、一般的なガス
スクラバーのように排気ガスが流入する流入口と、流入
した排気ガスをバーニング処理するためのバーニングチ
ャンバと、前記バーニングチャンバでバーニング処理さ
れた排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェ
ッティングチャンバと、このような処理過程を経た排気
ガスが排出される排出口とを含んで構成される。
【０００７】前記バーニングチャンバにはバーニングエ
アーを供給するためのバーニングエアー供給パイプが連
結されて、内壁と外壁二重で構成され、前記内壁と外壁
間には断熱材が備わるが、本発明では特に前記断熱材と
内壁間に水供給パイプが内蔵されて前記水供給パイプの
端は前記バーニングエアー供給パイプに連結される。
【０００８】前記水供給パイプの一端では水が注入され
て、注入された水は前記バーニングチャンバの内壁と外
壁間に内蔵された水供給パイプを沿って移動しながら加
熱されて水蒸気になる。前記水供給パイプは前記バーニ
ングエアー供給パイプに連結されるので水蒸気は前記バ
ーニングエアー供給パイプに注入されてバーニングエア
ーと一緒にバーニングチャンバに供給される。このよう
にバーニングチャンバに供給された水蒸気はバーニング
チャンバ内部で合金腐食性物質と化学反応して他の物質
に変化させるようになって、したがって、バーニングチ
ャンバ内部構成合金の腐蝕を防ぐことができることであ
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付した例示図面
を参照して詳細に説明する。
【００１０】図３は、本発明による装置内部腐蝕防止手
段を備えたバーニングチャンバの一部折欠斜視図であ
る。
【００１１】このようなバーニングチャンバも図１に示
された一般的なガススクラバーすなわち、排気ガスが流
入する流入口１と、流入した排気ガスをバーニング処理
するためのバーニングチャンバ３と、前記バーニングチ
ャンバ３でバーニング処理された排気ガスから水溶性有
害物質を取り除くためのウェッティングチャンバ５と、
このような処理過程を経た排気ガスが排出される排出口
(図示せず)とを含んで構成されるガススクラバーで用い
られる。
【００１２】図３に示された本発明によるバーニングチ
ャンバ３は排気ガスをバーニング処理するためにバーニ
ングエアーを供給するパイプ２１が連結されていて、チ
ャンバを形成して流入した排気ガスと接触する内壁２３
ｂと外観を形成する外壁２３ａの二中壁で構成される。
前記外壁２３ａと内壁２３ｂ間には熱の放出を防ぐため
の断熱材２５が備わって、前記内壁２３ｂと断熱材２５
間には水供給パイプ２７が内蔵される。
【００１３】このように構成された本発明のガススクラ
バーではバーニングチャンバ３の壁を沿って内蔵された
水供給パイプ２７に水が流入して、この水がパイプを沿
って移動しながらバーニングチャンバの熱によって加熱
されて水蒸気化される。そして、このような水蒸気は水
供給パイプ２７と連結されたバーニングエアー供給パイ
プ２１に注入されて、バーニングエアーと一緒にバーニ
ングチャンバ３内部に供給されることである。
【００１４】このように流入した水蒸気は、前記バーニ
ングチャンバ３内部の排気ガス中Ｆ２、ＮＦ３と化学反
応してＨＦ、ＨＯＦ、ＨＮＯ２、ＦＮＯ２等に変化させ
るようになる。
【００１５】その化学反応を取り調べれば次のようであ
る。 ２Ｆ２＋２Ｈ２Ｏ→４ＨＦ＋Ｏ２ ＮＦ３＋Ｈ２Ｏ→２ＨＦ＋ＮＯＦ ２ＮＦ３＋３Ｈ２Ｏ→３ＨＦ＋３ＨＯＦ＋Ｎ２ ＮＦ３＋２Ｈ２Ｏ→３ＨＦ＋ＨＮＯ２ ＮＦ３＋２Ｈ２Ｏ→２ＨＦ＋ＦＮＯ２＋Ｈ２
【００１６】前記化学反応により生成された生成物であ
るＨＦ、ＨＯＦ、ＨＮＯ２、ＦＮＯ２等はＦ２、ＮＦ３
に比べて合金腐蝕力が著しく低くて装置の耐久力を向上
させることができ、前記生成物は水に対する溶解度が高
くてバーニングチャンバを経た排気ガスの次の処理段階
であるウェッティングチャンバで溶解処理できるので全
体的に排気ガス処理効率を向上させることができること
である。
【００１７】
【発明の効果】以上で説明したように本発明によるガス
スクラバーは排気ガス中装置内部合金を腐蝕させること
ができるＦ２、ＮＦ３をバーニングチャンバで水蒸気と
化学反応させてＨＦ、ＨＯＦ、ＨＮＯ２、ＦＮＯ２等に
変換させるので装置の耐久力を向上させて寿命を延長さ
せることができる効果がある。また、前記の化学反応に
よる生成物は水に対する溶解度が高くてウェッティング
チャンバにおける処理も容易であるという利点がある。
【００１８】共にこのような腐蝕成分処理に用いられる
水蒸気生成のためにはバーニングチャンバのバーニング
処理に用いられた熱を再使用するのでエネルギー効率も
向上させる効果がある。
【００１９】以上では本発明の望ましい実施例に対して
示してまた説明したが、本発明は前記した実施例に限ら
ず、以上請求範囲で請求する本発明の要旨を逸脱しない
範囲内で該発明の分野で通常の知識を有する者であれば
誰でも多様な変形実施が可能なことはもちろんであり、
そのような変形は請求範囲の記載範囲内にあるようにな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的なガススクラバーの構成を示した斜視
図、
【図２】図１のガススクラバーのバーニングチャンバの
一部折欠斜視図、
【図３】図１のような一般的なガススクラバーに用いら
れることができる本発明による内部腐蝕防止手段を備え
たバーニングチャンバの一部折欠斜視図である。
【符号の説明】
３:バーニングチャンバ ２１:バーニングエアー供給パイプ ２３ａ:外壁 ２３ｂ:内壁 ２５:断熱材 ２７:水供給パイプ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 排気ガスが流入する流入口と、流入した
    排気ガスをバーニング処理するためのバーニングエアー
    供給パイプが連結されたバーニングチャンバと、前記バ
    ーニングチャンバでバーニング処理された排気ガスから
    水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャン
    バと、このような処理過程を経た排気ガスが排出される
    排出口とを含んで構成されるガススクラバーにおいて、 前記バーニングチャンバは、内壁と外壁二重で構成され
    て、前記内壁と外壁間には断熱材が備わって、 前記断熱材と内壁間には水供給パイプが内蔵されて前記
    水供給パイプの端は前記バーニングエアー供給パイプに
    連結されていて、 前記バーニングチャンバの内壁と外壁間に内蔵された水
    供給パイプで加熱された水蒸気が前記バーニングエアー
    供給パイプに注入されて、前記バーニングエアー供給パ
    イプを通して前記バーニングチャンバにはバーニングエ
    アーと水蒸気とが一緒に供給されることを特徴とするガ
    ススクラバー。
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