CN1199500A - 利用纤维场致发射器的显示面板 - Google Patents

利用纤维场致发射器的显示面板 Download PDF

Info

Publication number
CN1199500A
CN1199500A CN96197589A CN96197589A CN1199500A CN 1199500 A CN1199500 A CN 1199500A CN 96197589 A CN96197589 A CN 96197589A CN 96197589 A CN96197589 A CN 96197589A CN 1199500 A CN1199500 A CN 1199500A
Authority
CN
China
Prior art keywords
microns
groove
group
convex ridge
display floater
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN96197589A
Other languages
English (en)
Inventor
A·米勒尔
D·J·贝赤斯
S·A·利普
J·P·约翰森
小D·I·阿梅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EIDP Inc
Original Assignee
EI Du Pont de Nemours and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EI Du Pont de Nemours and Co filed Critical EI Du Pont de Nemours and Co
Publication of CN1199500A publication Critical patent/CN1199500A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/30Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • H01J1/304Field-emissive cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/04Cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/10Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
    • H01J31/12Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
    • H01J31/123Flat display tubes
    • H01J31/125Flat display tubes provided with control means permitting the electron beam to reach selected parts of the screen, e.g. digital selection
    • H01J31/126Flat display tubes provided with control means permitting the electron beam to reach selected parts of the screen, e.g. digital selection using line sources
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2201/00Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30Cold cathodes
    • H01J2201/304Field emission cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2201/00Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30Cold cathodes
    • H01J2201/304Field emission cathodes
    • H01J2201/30446Field emission cathodes characterised by the emitter material
    • H01J2201/30453Carbon types
    • H01J2201/30457Diamond
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2329/00Electron emission display panels, e.g. field emission display panels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)

Abstract

包含至少一个包含一个电子场致发射器的悬挂纤维阴极的显示面板。纤维阴极由包含两组平行的凹槽行和凸脊行的基底(10)支撑。第一组平行的凸脊(11)和凹槽(12)提供了纤维阴极沿其排列的凹槽。第二组平行的凸脊(13)和凹槽(14)第一组垂直。凹槽(14)提供了用于悬挂纤维电极的装置。

Description

利用纤维场致发射器的显示面板
                       发明领域
本发明总的来说涉及显示面板。尤其是具有包含电子场致发射器的一个悬挂的纤维阴极的显示面板。
                       发明背景
显示屏有极其广阔的用途,诸如家庭和商业的大屏幕电视,膝上型电脑和台式电脑,以及室内和户外做广告和信息显示。所谓的平面显示器是仅仅几英寸厚,而不是在普通电视机和台式电脑上用的有深的阴极射线管的监视器。平的显示面板是膝上型电脑所必需的,而且在许多其它应用中提供其在尺寸和重量方面的优势。目前的膝上型电脑平面显示利用能通过小的电信号的施加,从一种透明状态转换至一种不透明状态的液晶。这难于产生大于膝上型电脑的那些更大尺寸的显示屏。
等离子体显示已被推荐取代液晶显示。等离子体显示利用放电气体的微小的象素产生图象,并且要求较大的电力来操作。
具有一个利用场致发射电子源的阴极,即场发射材料或者场发射器,和在场发射器发射的电子轰击下能发光的荧光剂的显示面板已被提出。这样的显示面板有视觉显示优于常规阴极射线管以及深度,重量和功耗优于平面显示的潜力。美国专利No.4,857,799和5,015,912公开了利用由钨,钼或者硅所构成的微型-尖端阴极的矩阵-编址平面显示。WO94-15352,WO94-15350和WO94-28571公开了有比较平的发射表面的阴极的平面显示。
现在发现纤维阴极较阴极具有能提供较平坦的发射表面的优点。纤维阴极由基底支持,并且当纤维阴极的部分被编址,从此处发生电子发射,以及纤维阴极被悬挂而不与基底发生直接物理接触时,能进一步改进性能。结果,当需要时,就要求另一种技术以制造用于这些用途的高质量和有效的和大尺寸显示面板。本发明的其它目标与优点将在熟悉本专业的人士参考以下的附图和对本发明的详尽描述后而一目了然。
                       发明综述
本发明提供了一种包含由至少一种包括场致发射材料的纤维所形成的纤维阴极的显示面板,导电膜作为阳极,并和纤维阴极之间有一间隙,以及能够在被纤维场致发射材料发射的电子轰击时发光的荧光剂层,并且被配置与阳极邻近,在其中纤维阴极由基底支撑,所说的纤维阴极部分被编址,从中产生电子发射,并且被悬挂而与基底不直接物理接触。
一个实施例提供:
a.在基底上的有规律的起伏表面,其上有第一组平行的凸脊行和凹槽行及第二组平行的凸脊行和凹槽行,其中第一组的凸脊行和凹槽行与第二组的凸脊行和凹槽行不平行;
b.基本由至少一种包括场致发射材料的纤维所形成的纤维阴极沿第一组平行的凸脊行和凹槽行的每一凹槽的长度方向排成一行;和
c.沿着第二组平行的凸脊行和凹槽行的每一凹槽的长度方向放置的悬挂元件,支持纤维阴极。
优选的是,第一组平行的凸脊行和凹槽行垂直于第二组平行的凸脊行和凹槽行。另外最好在基底除了第二组平行的凸脊行和凹槽行的凹槽中和凹槽的侧面外,都被涂上一层导电材料。这一导电涂层作为栅电极。悬挂元件可包含沿第二组平行的凸脊行和凹槽行中的每一凹槽的长度方向排成一行的非发射纤维。第二非发射纤维在纤维阴极的顶端沿第二组平行的凸脊行和凹槽行中的每一凹槽的长度方向排成一行,因而固定所说的纤维阴极。
另一个实施例提供
a.在基底上的有规律的起伏表面,其上有平行的凹槽行和基本上低平的凸脊行;及
b.纤维阴极基本上由规律间隔平行排列的,包含发射材料的纤维构成,其中纤维由基底的基本上低平的凸脊行支撑,且被悬挂在基底的凹槽的上面。
在这一实施例中,优选的是,在基底的一组平行的凹槽行和基本上低平的凸脊行的凹槽中和凹槽的侧面,都被涂上一层导电材料,即,使基底沿每一列凹槽行而不是基本上低平的凸脊行涂上一层连续的导电材料带。每一所说的导电涂层带作为栅电极。起伏的表面能通过蚀刻平滑的基底而形成,基本上低平的凸脊对应于基底的轻度蚀刻的区域,同时凹槽对应于基底的深度蚀刻的区域。(本发明也可使用其它清除和构建材料形成凹槽和凸脊的装置)。
在上面所描述的两个实施例中,至少可提供一个附加的栅电极以更好地控制电子的发射。更优选的是纤维阴极包含至少一种金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳合成纤维,合成纤维基本上由非金刚石核心的金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳构成。可以理解上面所描述的有金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳涂层的合成纤维也可包括以上组合的涂层。
这些实施例提供在显示面板中电子发射控制的改进。
                       附图简述
图1(a)显示本发明的一个实施例,即包含第一组平行的凸脊行和凹槽行并垂直于第二组平行的凸脊行和凹槽行的基底。
图1(b)和1(c)显示图1的直角面,显示包含有在悬挂元件和固定元件之间的一个纤维阴极的凸脊行和凹槽行的平行。
图2,包含图2(a),2(b)和2(c),说明本发明另一个可能的实施例,其中基底是平行的凹槽行和基本平坦的凸脊行以金刚石类型晶格形成的。
                     优选实施例详述
本发明提供包括纤维阴极的显示面板,其中发生电子发射的纤维阴极部分被编址,并且被悬挂而不与基底有直接的物理接触。
由本发明所提供的显示面板最好包括:(a)由多个场致发射材料构成的纤维所形成的一个纤维阴极;(b)一个有晶格,透明的导电膜作为阳极,与纤维阴极之间有一空间;同时(C)荧光剂层,被安置在紧邻阳极的位置,通过纤维阴极的纤维的发射电子轰击而致发光。
不偏离本发明精神的阳极和荧光剂层的安排与放置是可以的。例如,荧光剂层可以被配置在阳极和阴极之间或者,另外,阳极可以被配置在荧光剂层和阴极之间。典型的显示面板也能包含一或更多在阳极和纤维阴极之间的栅电极。栅电极一般地包括被安排到基本垂直于阳极晶格膜的传导通道的一种晶格结构。每一条传导通道是有选择地,可操作地与电源连接。
平面显示之所以这样叫是因为它们仅仅几英寸厚。它们一般是平面的,但是能弯曲或者按特殊用途而有其它构造。这样,作为在这里的应用,术语“显示面板”或者“平面显示面板”包括平面,曲面以及其它可能的几何学面。
阳极是在支撑板上的导电膜。典型地支撑板必须是一种透光材料诸如玻璃,同时导电膜必须是铟-锡氧化物。导电膜放置在面对阴极的阳设支撑板的侧面。导电膜可以是晶格,在这样的实施例中,晶格传导膜最好是由成行的传导材料组成的。虽然,尽管表面可以被构成以能更完善地执行场致发射性能的表面,但典型的阴极与阳极是平面结构。阳极的平面基本上与阴极的平面平行。典型地阴极与阳极靠一个机械定位器相互保持一定空间。荧光剂层通过纤维阴极发射的电子轰击发射所要求波长的光线。这样的荧光剂的例子包括氧化锌,硫化锌,硫化锌镀层及等等此类物质。优选地,荧光剂层很邻近阳极;同时,为制造方便,可被直接沉积在导电膜上。
当应用时,栅电极典型地包括一种晶格的导电材料,它与包含荧光剂层的纤维阴极和阳极绝缘。通过把晶格的导电材料沉积在位于阴极和荧光剂层之间或在阴极后面的绝缘材料上面,从而使阴极配置在栅电极和阳极之间,这很容易完成。当这基底有合适的成型表面时(例如可以是平的或者是起伏表面)时,栅电极能形成在支持纤维阴极的基底上。适合于栅电极的材料包括一般用作为膜导体的诸如铜,黄金,铝,铟-锡氧化物,钨,钼,铬及同类的任何金属导体。晶格材料能按行或者带的形式形成。
在阴极和荧光剂层之间,或者如果阳极在阴极和荧光剂层之间时则在阴极和阳极之间的区域应提供一种合适的真空。所有用于形成显示面板的接触或暴露于真空的材料必需适合于这样一种真空。
用于本发明的纤维阴极中的场致发射器或者场致发射材料是场致发射源。各种各样的纤维或者纤维样的几何形材料可用于形成包括至少一种这样的纤维的纤维阴极。“纤维”意味着一个尺寸绝对地比其它的两种尺寸更大。“纤维样”意味着任何类似纤维的结构,甚至那种结构不会活动,并且不能够支持它自己的重量。例如,某种“纤维样”结构,典型地其直径不到10微米,能被直接在基底上产生。如果不是制造手段对纤维截面的限制(例如,拉丝模或喷丝头的设计),可使用任何形状的纤维。另外,喷丝头形状的变体可以产生理想的纤维本身内部分子微型结构。纤维可以以若干细丝的方式被捆扎在一起。
这些纤维可由场发射器单独制造,或者是配备有一个薄层的非场发射器核心并涂上一薄层围绕核心的场发射器的一种合成纤维。优选地,核心材料应是导体或者半导体。在另一个实施例中,纤维可以是由一种更复杂的结构组成的,例如,被围绕的一个非导体核心涂上一薄层导体或者半导体材料,涂层上再围绕涂上一层场致发射材料。
本发明可以使用,例如,金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳作为场致发射材料。纤维阴极可包括金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳的合成纤维,此合成纤维包括在非金刚石核心纤维上的金刚石,金刚石类型碳,以及玻璃类型碳。核心材料可以是,例如,一块导体碳诸如石墨或者金属诸如钨,铜,钛或者钼,也可是半导体,例如,硅或者硅碳化物。在另一实施例中,核心可是一种用金属处理的绝缘体诸如在钨上涂一层非导体聚酯,尼龙或者KevLar纤维(KevLar是E.1.du PontNemours and company,Wilmington,DE的一个登记的商标)。在其它实施例中,将一层金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳的先质涂于非金刚石核心上,同时金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳通过对先质的适当处理形成。
金刚石纤维和纤维金刚石合成物,诸如金刚石涂上一层石墨或者金刚石-涂上一层碳,最好包括金刚石亚微米规模结晶状结构,即,金刚石的结晶尺寸至少在一个结晶维向有一种晶体尺寸小于1微米。在亚微米尺寸的金刚石晶体中,这样的金刚石晶体包括至少一些暴露111-定向晶面,一些暴露于100-定向晶面,或者两者都有。适合亚微米尺寸的另一个金刚石形式一般被称作花椰菜金刚石,这种金刚石有相对于锥体结构的细晶粒球。
包括配有一个适当的近程秩序的金刚石类型碳,即,合适的sp2和sp3的结合的纤维,可以提供具有高电流密度的场发射材料。“近程秩序”一般意味着在任何尺寸上原子的有序排列小于10纳米(nm)。也可能是利用纤维,例如,碳纤维,经由Davanloo等在J.Mater.Res.,Vol.5,Nov.1990.上描述的激光烧蚀涂上一层无定形金刚石。
包含玻璃类型碳,一种显示喇曼凸脊在大约1380厘米和1598厘米的无定形的材料的用作为场发射器材料的纤维也有用。“金刚石类型碳”用来在这里指定在文中的金刚石类型碳和玻璃类型碳,和包含玻璃类型碳微掺杂物的碳,所有这些材料在作为纤维场致发射材料时性能都是金刚石类型碳。
一般地,合成纤维的总的直径范围从大约1微米到100微米,优选为从大约3微米至大约15微米。合成纤维中的发射材料层或者涂层一般从大约50埃(5纳米)到大约50,000埃(5微米),优选为从大约1000埃(0.1微米)到20,000埃(2微米),最好从1,000埃(0.1微米)到大约5,000埃(0.5微米)。
典型地,金刚石有若干低的或者负电子亲和势的低指数的小面,例如,具有一种低电子亲和势的100-小面金刚石,而111-小面金刚石有一种负电子亲和势。金刚石类型碳或者玻璃类型碳最好为带有n-型掺杂物,例如,氮或者磷,以提供更多电子,并且减少材料的工作功能。
这样一种金刚石或者金刚石类型碳层最好是有粗的锯齿状边缘,使得一系列凸脊与凹槽被提供给金刚石或者金刚石类型碳层。在金刚石涂层中,这种表面形态是由金刚石材料的微晶结构产生。微量石墨被配置在所说的金刚石涂层内的金刚石晶体的至少一部分之间可获得更好的结果。由于晶体增长之间的轻微的对准误差,优选地也可以经由化学汽相沉积(CVD)以柱状的方式生长金刚石。这种对准误差也可以促进金刚石形态的锯齿状边缘的发展。
提供金刚石合成纤维的一种方式是经由等离子体CVD过程对流入包括少量含碳气体诸如甲烷,乙烯,一氧化碳等和大量氢气的气体混合物,用微波激发,无线电频激发或者热丝激发在纤维形基底上涂一层金刚石。当石墨是金刚石合成核心的核心时,金刚石CVD涂层过程被略微修改的,因为众所周知石墨是一种很困难经由CVD涂上一层金刚石的材料,这是由于在等离子体中的氢原子消蚀掉石墨基底。因此,最好是预处理石墨,以便为石墨纤维表面的金刚石增加核位置密度。石墨纤维可以与金刚石粉或者沙砾混合在液体介质中,最好是有机溶剂如甲醇中进行搅拌,进而融蚀表面,并且在石墨中嵌入金刚石粉微粒。
在图1(a)中显示用于本发明的实施例的基底10,在其中基底包含两组平行的凸脊行和凹槽行。第一组平行的凸脊11和凹槽12(第一组)提供这些凹槽,沿这些凹槽纤维阴极(必须包含至少一个包含场致发射材料的纤维)排列成一行。第二组平行的凸脊13和凹槽14(第二组)显示与第一组垂直,这是优选的配置。两组凸脊行和凹槽行显示伴随有凸脊行和凹槽行之间的垂直墙壁,但是倾斜或者弯曲段也能用。凸脊行和凹槽行的平行的行之间显示有规律地隔开,即,两个相邻凸脊的中心之间的距离或者在两个相邻的凹槽的中心之间的距离在每一组中都是相同的。另外,当若干荧光剂被利用时(例如,三种荧光剂能用来提供彩色显示)在第一组中的尺寸能变化以便对不同的荧光剂的效率的差别进行补偿。在那种情况下,每一种三素组,即,每三对凸脊行和凹槽行为一组,将有规律地隔开。
在图(1)中显示,典型地,第二组的凹槽比第一组的凹槽更狭窄和较浅。一般地,第一组凹槽深约为25微米到约250微米深,优选为从约100微米到约150微米深,约10微米到约350微米宽,优选为从大约150微米至250微米宽,以及第一组凸脊从约25微米到约250微米宽,优选为从大约50微米至约150微米宽。一般地,第二组的凹槽约10微米到约150微米深,优选为从大约20微米到大约50微米深,约50微米到约125微米宽,第二组的凸脊大约600微米到700微米宽。基底可由绝缘体诸如小苏打石灰玻璃,耐热玻璃,以及玻璃陶瓷制造。
虽然前述尺寸典型地用于高密度电视,那些精通本专业的人士将明白,尺寸将根据其它更低或者更高的象素尺寸或不同形状的显示面板的类型而变化。
在这些基底材料上形成这样两组平行的凸脊行和凹槽行的典型方法包括蚀刻,利用陶瓷的GREENTAPETM(可由E.I.du Pont de Nemousand Company,Wilmington,DE购买),喷沙,厚膜顺序沉积,激光烧蚀以及锻造,然而本发明也不排除其它可能的方法。
第二组的凹槽提供了用于悬挂纤维阴极的装置。纤维阴极能沿着第一组的每一个凹槽的长度放置,并且当第二组凹槽比第一组凹槽浅时,能靠近第二组凹槽的表面悬挂。优选的,悬挂元件沿着第二组的每一凹槽的长度被放置以便支撑纤维阴极。悬挂元件可是一种连续结构,例如,一个非发射纤维沿每一个凹槽的长度排成一行,纤维阴极搁置其上。沿着每一个凹槽的长度延伸的膜也可用。图1(b)和1(c)中显示了一个使用沿每个凹槽长度方向排列的,用作悬挂元件的非发射纤维的实施例,图1(b)和1(c)为图1(a)中所示基底的两幅相互垂直的视图。在纤维阴极配置在基底上面之前,最好使基底涂上一层导电材料,以提供一个用于施加一电压,并产生发射所需电场的装置。在图1(b)和(c)中显示了这样的导电材料15。基底涂上一层导电材料,除第二组凹槽和凹槽的侧面外,从而为基底涂上一连续导电材料带的平行阵列。该平行阵列的每一带用作为栅电极。纤维阴极16显示为被搁置在通过第二组的每一个凹槽的非发射纤维17上。也显示了第二非发射纤维18沿第二组每一个凹槽的长度方向排成一行,并位于所说的纤维阴极的顶端将纤维阴极固定在原地。当悬挂不是通过非发射纤维实现的时,也可使用沿第二组每一个凹槽的长度排成一行,并位于所说的纤维阴极的顶端将纤维阴极固定在原地的非发射纤维。
另外,悬挂元件可以是一种不连续的结构,包括位于第二组的每一个凹槽与第一组的一个凹槽的每一相交处一系列基座或膜。当第二组的凹槽与第一组的凹槽一样或比它更深时,需要使用悬挂元件。
一个或更多附加的栅电极能进一步更好地控制电子的发射。
在本发明的另一个实施例中,显示面板在基底上有规律地起伏的表面,而基底包含平行的凹槽行和基本平的凸脊行。在这实施例中,纤维阴极是基本上由纤维的规律空间平行阵列组成,在其中纤维支撑在基底的基本上低平的凸脊上,并且悬挂在基底的凹槽上。例如,能通过蚀刻平滑的基底而形成起伏的表面,使得基本平的凸脊对应于基底的轻度蚀刻的区域,同时凹槽对应于基底的深度蚀刻的区域。这种类型结构的基底也能用在上面的第一实施例所提供的方法形成,包括激光烧蚀。优选地,纤维阴极的纤维与平行的凹槽行和凸脊行基本上垂直。更优选地,是使基底涂上一层连续的导电材料带于平行的凹槽行和凹槽的侧面和基本平的凸脊上(即,使基底的每一平行的凹槽行而非基本低平的凸脊行上涂上一层连续的导电材料带。进而,这样给基底提供一层连续不断的导电材料带,每一这样的带沿着每一凹槽行。这种平行的阵列提供许多栅电极(即,每一所说的带作为一个栅电极),它沿着纤维阴极的纤维的方向横向穿过这些凹槽。
这一实施例的变型,能提供更好的电子发射控制,是这些凹槽和基本上低平的凸脊成一行但是不连续,即,这一基底的区域是连续性的凹槽和基本上低平的凸脊构成的起伏表面,在这个区域的侧面是基本上低平表面的区域,在这两个低平的区域的另一面是其它连续的凹槽和基本低平的凸脊形成的起伏的表面。这样,根据这一变型实施例,这里仍然有平行的凹槽和基本上低平的凸脊行;然而,它们不是连续的行,但是,(1)凹槽行中,凹槽沿着每一行有规则的间隔被配置;并且(2)基本上低平的凸脊沿着每一行有规则的间隔被配置。这样的实施例在图2中被显示。图2(a)显示在基底的表面上一种可能的蚀刻图案。这种图案能用来形成凹槽和基本上低平的凸脊。图2(b)显示基底的将被蚀刻的区域,和图2(c)显示沿图2(b)的21-22线路的轮廓深度。纤维阴极的纤维将沿图2(b)和图2(c)的21-22线路排成一行。
在本发明的实施例中应该注意,组成纤维阴极的每一纤维的轴心基本上位于阴极平面上。这样,从这些纤维的电子发射是沿所用的纤维长度方向发射,而不是从纤维尖端或者末端发射。
如上所要注意的,基底可由绝缘体诸如小苏打石灰玻璃,耐热玻璃(硼硅酸盐玻璃)和玻璃陶瓷制造。凹槽和基本上低平的凸脊能用众所周知的蚀刻技术形成。在一个例子中,玻璃基底用去污剂予以清洗(可由渔业科学所提供的Sparkleen),并且用去离子水冲洗好。用异丙基乙醇蒸发器移去水分。将被蚀刻和制作图案的玻璃的侧面用电子束涂料器涂上一层50nm厚的铬,再涂上一层200nm的黄金层。正光致抗蚀剂(可由Hoechst Celanese购买的EPA 914E2-30)密布在黄金表面,并在100度被烘烤30分钟。光致抗蚀剂的暴露用Colight真空接触打印机完成,同时图象用Ultramac MF 96显影机显影。暴露的黄金图象由I2/KI溶液蚀刻,由这种蚀刻方法暴露的铬中接着再在KTI Chrome Etch中被蚀刻。所暴露的玻璃在HF溶液中被蚀刻,以便获得在玻璃中的适当的蚀刻深度。
虽然在前面的描述中已经描述了本发明的具体实施例,熟悉本专业的人士将明白不背离本发明的精神或重要属性的许多的修正,置换和重新安排是允许的。可参考在后附加的权利要求,而非前述说明书,作为本发明的范围。

Claims (34)

1.包括至少一种由包括场致发射材料的纤维所形成的纤维阴极的显示面板,导电膜作为阳极和纤维阴极之间有一间隙,以及能够在由纤维场致发射材料发射的电子的轰击时发光的荧光剂层,并且被配置与阳极邻近,在其中纤维阴极由基底支撑,所说的纤维阴极部分被编址,从中产生电子发射,并且被悬挂而与基底不直接物理接触,这里的显示面板还包括:
a.在所说的基底上有规律的起伏表面,其上有第一组平行的凸脊行和凹槽行及第二组平行的凸脊行和凹槽行,其中第一组的凸脊行和凹槽行与第二组的凸脊行和凹槽行不平行;
b.由至少一种包括场致发射材料的纤维形成的纤维阴极沿第一组平行的凸脊行和凹槽行的每一凹槽的长度方向排成一行;并且
c.悬挂元件沿着第二组平行的凸脊行和凹槽行的每一凹槽的长度方向放置,并支持所说的纤维阴极。
2.权利要求1的显示面板,其中所说的基底除了在凹槽中和在第二组平行的凸脊行和凹槽行中的凹槽的侧面外,都被涂上一层导电材料,因而提供给基底一层连续不断的导电材料带,每一所说的带都用作为栅电极。
3.权利要求2的显示面板,其中所说的纤维阴极包括至少一种金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳合成纤维,合成纤维基本上由在非金刚石核心上的金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳组成。
4.权利要求1的显示面板,其中所说的悬挂元件包含沿所说的第二组平行的凸脊行和凹槽行中的每一凹槽的长度方向排成一行的非发射纤维。
5.权利要求4的显示面板,其中沿所说的第二组平行的凸脊行和凹槽行中的每一凹槽的长度方向排成一行的第二非发射纤维在所说的纤维阴极的顶端,因而固定所说的纤维阴极在原地。
6.权利要求2-5的任何一个的显示面板进一步包括至少一附加的栅电极。
7.权利要求2-5的任何一个的显示面板,其中所说的第一组平行的凸脊行和凹槽行垂直于第二组平行的凸脊行和凹槽行。
8.权利要求7的显示面板进一步包括至少一附加的栅电极。
9.权利要求7的显示面板,其中所说的第一组凹槽深约为25微米到250微米深,约10微米到350微米宽,所说的第一组的凸脊约25微米到250微米宽,所说的第二组的凹槽约10微米到150微米深,约50微米到125微米宽,所说的第二组的凸脊大约600微米到700微米宽。
10.权利要求9的显示面板,其中所说的第一组凹槽深约为100微米到150微米深,约150微米到250微米宽,所说的第一组的凸脊大约50微米到150微米宽,所说的第二组的凹槽约20微米到50微米深。
11.权利要求1的显示面板,进一步包括至少一个栅电极,其中所说的第一组平行的凸脊行和凹槽行垂直于第二组平行的凸脊行和凹槽行。
12.权利要求11的显示面板,其中所说的第一组凹槽深约为25微米到250微米深,约10微米到350微米宽,所说的第一组的凸脊大约25微米到250微米宽,所说的第二组的凹槽约10微米到150微米深,约50微米到125微米宽,所说的第二组的凸脊大约600微米到700微米宽。
13.权利要求12的显示面板,其中所说的第一组凹槽深约为100微米到150微米深,约150微米到250微米宽,所说的第一组的凸脊大约50微米到150微米宽,所说的第二组的凹槽约20微米到50微米深。
14.权利要求1或11-13的任一个的显示面板,其中所说的纤维阴极包含至少一种金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳合成纤维,合成纤维基本上由在非金刚石核心上的金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳组成。
15.包括至少一种由包括场致发射材料的纤维形成的纤维阴极的显示面板,导电膜作为阳极和纤维阴极之间有一间隙,以及能够在由纤维场致发射材料发射的电子的轰击时发光的荧光剂层,并且被配置与阳极邻近,其中纤维阴极由基底支撑,所说的纤维阴极部分被编址,从中产生电子发射,并且被悬挂而与基底不直接物理接触,这里的显示面板还包括:
a.所说的基底上的有规律的起伏表面,其上有第一组平行的凸脊行和凹槽行及第二组平行的凸脊行和凹槽行,其中第一组的凸脊行和凹槽行与第二组的凸脊行和凹槽行不平行,且第二组的凹槽不如第一组凹槽深。
b.基本包含至少一个纤维的纤维阴极沿第一组平行的凸脊行和凹槽行的每一凹槽的长度方向排成一行,并且被悬挂在第二组平行的凸脊行和凹槽行的凹槽的表面。
16.权利要求15的显示面板,其中所说的基底除了第二组平行的凸脊行和凹槽行的凹槽中和凹槽的侧面外,都被涂上一层导电材料,因而提供给基底一层连续导电带的平行阵列,每一个所说的带都作为一个栅电极。
17.权利要求16的显示面板,其中所说的纤维阴极包含至少一种金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳合成纤维,合成纤维基本上由非金刚石核心的金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳构成。
18.权利要求17的显示面板,其中非发射纤维在所说的纤维阴极的顶端沿所说的第二组平行的凸脊行和凹槽行中的每一凹槽的长度排成一行,因而固定所说的纤维阴极。
19.权利要求16-18中任何一个的显示面板,进一步包括至少一个附加的栅电极。
20.权利要求16-18中任何一个的显示面板,其中所说的第一组平行的凸脊行和凹槽行垂直于第二组平行的凸脊行和凹槽行。
21.权利要求20的显示面板,其中,所说的第一组凹槽深约为25微米到250微米深,约10微米到350微米宽,所说的第一组的凸脊大约25微米到250微米宽,所说的第二组的凹槽约10微米到150微米深,约50微米到125微米宽,所说的第二组的凸脊大约600微米到700微米宽。
22.权利要求21的显示面板,其中,所说的第一组凹槽深约为100微米到150微米深,约150微米到250微米宽,所说的第一组的凸脊大约50微米到150微米宽,所说的第二组的凹槽约20微米到50微米深。
23.权利要求15的显示面板,进一步包括至少一附加的栅电极,且其中所说的第一组平行的凸脊行和凹槽行垂直于第二组平行的凸脊行和凹槽行。
24.权利要求23的显示面板,其中,所说的第一组凹槽深约为25微米到250微米深,约10微米到350微米宽,所说的第一组的凸脊大约25微米到250微米宽,所说的第二组的凹槽约10微米到150微米深,约50微米到125微米宽,所说的第二组的凸脊大约600微米到700微米宽。
25.权利要求24的显示面板,其中,所说的第一组凹槽深约为100微米到150微米深,约150微米到250微米宽,所说的第一组的凸脊大约50微米到150微米宽,所说的第二组的凹槽约20微米到50微米深。
26.权利要求15或23-25中任何一个的显示面板,其中所说的纤维阴极包含至少一种金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳合成纤维,合成纤维基本上由非金刚石核心的金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳构成。
27.包含由至少一种包括场致发射材料的纤维所形成的纤维阴极的显示面板,导电膜作为阳极并和纤维阴极之间有一间隙,以及能够在被纤维场致发射材料发射的电子的轰击时发光的荧光剂层,并且被配置与阳极邻近,其中纤维阴极由基底支撑,所说的纤维阴极部分被编址,从中产生电子发射,并被悬挂而与基底不直接物理接触,这里的显示面板还包括:
a.所说的基底上的有规律的起伏表面,其上包含平行的凹槽行和基本上低平的凸脊行。
b.所说的纤维阴极基本上由规律间隔平行排列的纤维组成,其中所说的纤维由基底的基本上低平的凸脊行支撑,且被悬挂在基底的凹槽的上面。
28.权利要求27的显示面板,其中所说的基底除了一组平行的凹槽行和基本上低平的凸脊行的凹槽中和凹槽的侧面外,都被涂上一层导电材料,因而提供给基底一层连续导电带的平行阵列,一个带沿着一条凹槽行,每一所说的带作为一个栅电极。
29.权利要求28的显示面板,其中所说的纤维阴极包含至少一种金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳合成纤维,合成纤维基本上由非金刚石核心的金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳构成。
30.权利要求29的显示面板,其中所说的起伏的表面能通过蚀刻平滑的基底而形成,这样基本上低平的凸脊对应于基底的轻度蚀刻的区域,同时凹槽对应于基底的深度蚀刻的区域。
31.权利要求27的显示面板,其中所说的纤维阴极包含至少一种金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳合成纤维,合成纤维基本上由非金刚石核心的金刚石,金刚石类型碳或者玻璃类型碳组成。
32.权利要求27-31中任何一个的显示面板,其中所说的纤维阴极的纤维基本上垂直于所说的平行的凹槽行和基本上低平的凸脊行。
33.权利要求28-31中任何一个的显示面板,进一步包括至少一附加的栅电极。
34.权利要求33的显示面板,其中所说的纤维阴极的纤维基本上垂直于所说的平行的凹槽行和基本上低平的凸脊行。
CN96197589A 1995-08-14 1996-08-06 利用纤维场致发射器的显示面板 Pending CN1199500A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US227895P 1995-08-14 1995-08-14
US60/002278 1995-08-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1199500A true CN1199500A (zh) 1998-11-18

Family

ID=21700041

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN96197589A Pending CN1199500A (zh) 1995-08-14 1996-08-06 利用纤维场致发射器的显示面板

Country Status (10)

Country Link
US (1) US6097140A (zh)
EP (1) EP0845150B1 (zh)
JP (1) JPH11510949A (zh)
KR (1) KR100397714B1 (zh)
CN (1) CN1199500A (zh)
AU (1) AU6719396A (zh)
CA (1) CA2227510A1 (zh)
DE (1) DE69608284T2 (zh)
TW (1) TW333635B (zh)
WO (1) WO1997007524A1 (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0932909B1 (en) * 1996-10-17 2004-09-22 E.I. Du Pont De Nemours And Company Connection method for fiber field emitters and field emitter cathodes made therefrom
AU6575098A (en) 1997-03-25 1998-10-20 E.I. Du Pont De Nemours And Company Field emitter cathode backplate structures for display panels
US6514112B1 (en) 1997-12-15 2003-02-04 E. I. Du Pont De Nemours And Company Coated-wire ion bombarded graphite electron emitters
JP3877024B2 (ja) * 1998-04-13 2007-02-07 株式会社日立プラズマパテントライセンシング プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成方法と装置並びにそれらに用いるフィラメント状成形体とその成形体の製造方法
US6717254B2 (en) 2001-02-22 2004-04-06 Tru-Si Technologies, Inc. Devices having substrates with opening passing through the substrates and conductors in the openings, and methods of manufacture
US6787916B2 (en) 2001-09-13 2004-09-07 Tru-Si Technologies, Inc. Structures having a substrate with a cavity and having an integrated circuit bonded to a contact pad located in the cavity
CN100446166C (zh) * 2005-05-24 2008-12-24 中原工学院 带有平栅结构的场致发射显示器及其制作工艺
JP2009266405A (ja) * 2008-04-22 2009-11-12 Panasonic Corp プラズマディスプレイパネル

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1394055A (en) * 1971-07-09 1975-05-14 Nat Res Dev Electron emitters
US4341980A (en) * 1979-09-05 1982-07-27 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Flat display device
JPS581956A (ja) * 1981-06-29 1983-01-07 Toshiba Corp 電子線加速型平板状ディスプレイ装置
US4857799A (en) * 1986-07-30 1989-08-15 Sri International Matrix-addressed flat panel display
US5015912A (en) * 1986-07-30 1991-05-14 Sri International Matrix-addressed flat panel display
EP0366055B1 (en) * 1988-10-26 1993-12-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Video display device
US5449970A (en) * 1992-03-16 1995-09-12 Microelectronics And Computer Technology Corporation Diode structure flat panel display
AU5897494A (en) * 1992-12-23 1994-07-19 Microelectronics And Computer Technology Corporation Triode structure flat panel display employing flat field emission cathodes
US5578901A (en) * 1994-02-14 1996-11-26 E. I. Du Pont De Nemours And Company Diamond fiber field emitters

Also Published As

Publication number Publication date
DE69608284D1 (de) 2000-06-15
EP0845150A1 (en) 1998-06-03
JPH11510949A (ja) 1999-09-21
CA2227510A1 (en) 1997-02-27
TW333635B (en) 1998-06-11
KR100397714B1 (ko) 2003-10-17
US6097140A (en) 2000-08-01
AU6719396A (en) 1997-03-12
DE69608284T2 (de) 2000-12-21
EP0845150B1 (en) 2000-05-10
WO1997007524A1 (en) 1997-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100307042B1 (ko) 비정질다이아몬드막플랫필드방출캐소드
US5578901A (en) Diamond fiber field emitters
US6545396B1 (en) Image forming device using field emission electron source arrays
US5811916A (en) Field emission devices employing enhanced diamond field emitters
KR100504971B1 (ko) 전자방출막및방법
US6891320B2 (en) Field emission cold cathode device of lateral type
KR100366191B1 (ko) 플랫패널디스플레이시스템및구성소자의제조방법
JP2001503912A (ja) 炭素コーン及び炭素ホイスカーの電界エミッター
JPH02270247A (ja) 冷陰極電界放出装置の製造方法
CN1199500A (zh) 利用纤维场致发射器的显示面板
US6825607B2 (en) Field emission display device
CN1287413C (zh) 一种场发射显示器
KR100550485B1 (ko) 이온-충격된 흑연 전자 방출체
EP0687018B1 (en) Device for emitting electrons
US20100072879A1 (en) Field emission device with anode coating
US6838814B2 (en) Field emission display device
US7638935B2 (en) Field emission cathode and light source apparatus using same
US6310431B1 (en) Annealed carbon soot field emitters and field emitter cathodes made therefrom
JP3782464B2 (ja) 金属−酸素−炭素電界エミッタ
Sun et al. Fabrication of carbon nanotube film arrays for field emission flat panel display application
KR20010033106A (ko) 이온 충격된 흑연 전자 방출체
KR100550486B1 (ko) 코팅된 와이어 형태의 이온 충격된 흑연 전자 방출체
CN1234134A (zh) 纤维场致发射体的连接方法和用该方法制造的场致发射体阴极
CN1532869A (zh) 一种场发射显示器的制备方法
KR100493696B1 (ko) 탄소 나노 튜브를 이용한 전계 방출 표시 소자의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication