CN118064963B - 加料装置和单晶炉 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种加料装置和单晶炉。加料装置适用于在单晶炉内进行自动加料,包括:主体件,包括壳体和固定于壳体内部的定位盘和限位盘,壳体包括侧壁和顶板,主体件具有贯穿的第一通孔;旋转卡盘,位于壳体内,旋转卡盘适于在定位盘和限位盘之间沿第一方向移动且在与第一方向垂直的第一平面内旋转,旋转卡盘具有与第一通孔对应的第二通孔;轴杆,轴杆通过第一通孔、第二通孔并与旋转卡盘在第一方向上固定,轴杆适于带动限位卡盘沿第一方向移动;以及夹头组件,位于壳体内限位盘远离顶板的一侧,夹头组件包括至少两个挂钩,至少两个挂钩适于在轴杆的推动下放松或锁紧。
Description
技术领域
本发明主要涉及拉晶技术领域,尤其涉及一种加料装置和单晶炉。
背景技术
随着太阳能电池的种类不断增多、应用范围日益广阔、市场规模也逐步扩大,其中硅基电池因其转化效率稳定占主要市场。而单晶硅片作为制造硅基电池的重要材料,其成本的高低影响着整个行业的利润率,因此降低单晶硅片的制造成本越来越重要。
现有技术中主流单晶拉制技术为RCZ技术,即连续多棒的拉制,在拉制过程中,第一根晶棒拉制完成后,需要手动通过石英加料器往单晶炉内进行加料,直至达坩埚使用寿命。现有技术中,加料桶通过挂臂和重锤直接连接在一起,通过重锤的升降带动加料桶的升降,从而完成加料动作。需要进行手动加料时,则需要工作人员手动将加料桶取下并清理,每次加料用时较长且容易出现操作失误。并且随着钨丝绳直径的增大,重锤的直径及长度均同步增加,配合重锤使用的加料桶挂臂的直径及长度也相应的变大,从而导致挂臂的采购单价快速上升,使得生产成本升高。在目前手动加料的过程中,会存在因钨丝绳下降过多或者加料幅度过大导致钨丝绳从挂臂上脱落导致挂臂掉入坩埚,从而导致坩埚中的硅料被金属污染,无法继续使用。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种便于操作、自动化程度高且可靠性强的加料装置和单晶炉。
为解决上述技术问题,本发明提供了一种加料装置,适用于在单晶炉内进行自动加料,包括:主体件,包括壳体和固定于壳体内部的定位盘和限位盘,壳体包括侧壁和顶板,主体件具有贯穿的第一通孔;旋转卡盘,位于壳体内,旋转卡盘适于在定位盘和限位盘之间沿第一方向移动且在与第一方向垂直的第一平面内旋转,旋转卡盘具有与第一通孔对应的第二通孔;轴杆,轴杆通过第一通孔、第二通孔并与旋转卡盘在第一方向上固定,轴杆适于带动限位卡盘沿第一方向移动;以及夹头组件,位于壳体内限位盘远离顶板的一侧,夹头组件包括至少两个挂钩,至少两个挂钩适于在轴杆的推动下放松或锁紧。
在本发明的一实施例中,轴杆包括杆体,其中:杆体的直径小于第一通孔、第二通孔的直径;杆体邻近旋转卡盘的位置具有连接部,连接部适于与第二通孔贴合;杆体临近连接部的位置具有轴承,轴承适于连接轴杆和旋转卡盘。
在本发明的一实施例中,轴杆还包括位于杆体远离夹头组件一端的通道部,通道部远离杆体的一端具有开口,并且通道部的内表面具有螺纹。
在本发明的一实施例中,轴杆还包括位于杆体靠近夹头组件一端的压板,压板适于对夹头组件施加压力使至少两个挂钩放松或锁紧。
在本发明的一实施例中,定位盘靠近旋转卡盘的一面设置有至少一组第一定位凸起组,每组第一定位凸起组包括三个第一定位凸起,每个第一定位凸起包括第一斜面。
在本发明的一实施例中,旋转卡盘靠近定位盘的一面设置有至少一组第二定位凸起组,每组第二定位凸起组包括三个第二定位凸起,每个第二定位凸起包括第二斜面。
在本发明的一实施例中,当旋转卡盘向靠近定位盘的方向移动时:第二斜面和对应的第一斜面贴合滑动;旋转卡盘逆时针/顺时针旋转。
在本发明的一实施例中,限位盘靠近旋转卡盘的一面设置有至少一组限位凹槽组,每组限位凹槽组包括依次排布的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽;其中,第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽均包括第三斜面;第一凹槽和第三凹槽的深度大于第二凹槽的深度。
在本发明的一实施例中,旋转卡盘靠近限位盘的一面设置有至少一个卡齿,每个卡齿包括第四斜面。
在本发明的一实施例中,当卡齿与第一凹槽、第三凹槽的槽底配合时,至少两个挂钩锁紧;当卡齿与第二凹槽的槽底配合时,至少两个挂钩放松。
在本发明的一实施例中,当旋转卡盘向靠近限位盘的方向移动时:第四斜面和对应的第三斜面贴合滑动;旋转卡盘逆时针/顺时针旋转。
本发明还提供了一种单晶炉,包括:炉体,炉体内底部放置有坩埚;如前任一实施例的加料装置;重锤,通过拉绳悬挂于炉体内,重锤下端适于和加料装置连接;以及加料桶,加料桶的外侧具有凸环,加料桶的底部内侧连接有连杆,连杆远离加料桶的底部的一端具有锥头,加料装置适于放松或锁紧锥头,并且加料桶的底部可拆卸。
与现有技术相比,本发明具有以下优点:加料装置通过定位盘、旋转卡盘和限位盘的配合,使得旋转卡盘在轴杆上下移动的同时可以在垂直于轴杆的平面内转动,再通过第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽的深度设置控制轴杆的下降幅度,从而控制夹头组件中的挂钩放松或锁紧,实现抓取加料桶、加料、放开加料桶的自动化过程。
附图说明
包括附图是为提供对本申请进一步的理解,它们被收录并构成本申请的一部分,附图示出了本申请的实施例,并与本说明书一起起到解释本发明原理的作用。附图中:
图1是本发明的一种加料装置的剖视图。
图2是本发明的一种加料装置的分解示意图。
图3是本发明的一种加料装置的定位盘的立体示意图。
图4是本发明的一种加料装置的限位盘的立体示意图。
图5是本发明的一种加料装置的旋转卡盘的立体示意图。
图6-10是本发明的一种加料装置的工作过程示意图。
图11是本发明的一种单晶炉的局部示意图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本申请的实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些示例或实施例,对于本领域的普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图将本申请应用于其他类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明,图中相同标号代表相同结构或操作。
如本申请和权利要求书中所示,除非上下文明确提示例外情形,“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数,也可包括复数。一般说来,术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素,而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列,方法或者设备也可能包含其他的步骤或元素。
除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本申请的范围。同时,应当明白,为了便于描述,附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
在本申请的描述中,需要理解的是,方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,在未作相反说明的情况下,这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请保护范围的限制;方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
为了便于描述,在这里可以使用空间相对术语,如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等,用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是,空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如,如果附图中的器件被倒置,则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而,示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位),并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
此外,需要说明的是,使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件,仅仅是为了便于对相应零部件进行区别,如没有另行声明,上述词语并没有特殊含义,因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外,尽管本申请中所使用的术语是从公知公用的术语中选择的,但是本申请说明书中所提及的一些术语可能是申请人按他或她的判断来选择的,其详细含义在本文的描述的相关部分中说明。此外,要求不仅仅通过所使用的实际术语,而是还要通过每个术语所蕴含的意义来理解本申请。
应当理解,当一个部件被称为“在另一个部件上”、“连接到另一个部件”、“耦合于另一个部件”或“接触另一个部件”时,它可以直接在该另一个部件之上、连接于或耦合于、或接触该另一个部件,或者可以存在插入部件。相比之下,当一个部件被称为“直接在另一个部件上”、“直接连接于”、“直接耦合于”或“直接接触”另一个部件时,不存在插入部件。
图1是本发明的一种加料装置的剖视图,图2是本发明的一种加料装置的分解示意图。结合参考图1-2所示,本发明提供了一种适用于在单晶炉内进行自动加料的加料装置10,包括主体件100、旋转卡盘200、轴杆300和夹头组件400。具体的,主体件100包括壳体110和固定于壳体110内部的定位盘120和限位盘130,并且定位盘120和限位盘130分别固定于壳体110如图1所示沿第一方向AA’的顶部和底部。
该实施例中,壳体110包括侧壁111和顶板112,并且底部是不封闭的,主体件100具有贯穿的第一通孔101,第一通孔101沿第一方向AA’从上到下依次贯穿壳体110的顶板112、定位盘120和限位盘130。并且参考图1-2所示,该实施例中第一通孔101在顶板112处的直径小于其在定位盘120和限位盘130处的直径。
旋转卡盘200位于主体部100的壳体110内,具体位于定位盘120和限位盘130之间,并且旋转卡盘200适于在定位盘120和限位盘130之间沿第一方向AA’上下移动,并且在上下移动的同时还适于在与第一方向AA’垂直的第一平面内旋转。需要注意的是,随着旋转卡盘200的上下移动,第一平面并非唯一固定的平面,而是当前旋转卡盘200所在的与第一方向AA’垂直的平面。旋转卡盘200上还具有与第一通孔101对应的第二通孔201。
该实施例中,轴杆300通过第一通孔101、第二通孔201并与旋转卡盘200在第一方向AA’上固定,轴杆300适于带动限位卡盘200沿第一方向AA’移动。在如图1-2所示优选实施例中,轴杆300包括杆体310,杆体310的直径小于第一通孔102、第二通孔201的直径,为了使轴杆300能够和限位卡盘200连接从而带动其移动,轴杆300的杆体310在邻近旋转卡盘200的位置具有凸出的连接部311,杆体310在连接部311处的直径大于其他位置,且连接部311适于和旋转卡盘200的第二通孔201贴合。
进一步的,该实施例中杆体310临近连接部311的位置还具有轴承312,轴承312适于连接轴杆300和旋转卡盘200。可以理解的是,轴杆300和旋转卡盘200之间并不是完全固定连接的,而是可以通过轴承312进行相对旋转,在实际使用过程中,轴杆300适于和重锤21(参考图11)连接,仅在第一方向AA’上移动,而旋转卡盘200则可以在跟随轴杆300沿第一方向AA’移动的同时在垂直于第一方向AA’的第一平面内旋转。
更进一步的,该实施例中轴杆300还包括位于杆体310远离夹头组件400一端的通道部320,通道部320远离杆体310的一端(如图1-2所示上端)具有开口,并且通道部320的内表面具有螺纹。在本发明的一些实施例中,重锤上设置有对应的螺纹从而通过通道部320和轴杆300连接。
夹头组件400位于壳体110内限位盘130远离顶板112的一侧(如图1-2所示下侧),夹头组件400包括至少两个挂钩410,并且至少两个挂钩410适于在轴杆300的推动下放松或锁紧。在如图1-2所示优选实施例中,夹头组件具有三个挂钩410,抓取的稳定性更强。并且夹头组件400还包括位于三个挂钩410之间的承力台420,挂钩410包括钩部411和连接杆412,钩部411靠近限位盘130的一端通过螺栓401固定,连接杆如图1所示上端固定在承力台420上,下端则固定在钩部411中段位置。
可以理解的是,该实施例中当轴杆300沿第一方向AA’靠近夹头组件400并压住承力台420时,承力台420带动连接杆412的上端沿第一方向AA’向下移动,由于连接杆412是刚性的,其下端会带动钩部411向外打开,此时钩部411的上端仍和螺栓401固定但是会产生旋转,也就是钩部411以和螺栓401固定的位置为圆心旋转,其下端就会张开,即夹头组件400放松。同样的,当轴杆300沿第一方向AA’远离夹头组件400时,承力台420不再受力,夹头组件400抓紧。
在如图1-2所示优选实施例中,轴杆300还包括位于杆体310靠近夹头组件400一端的压板330,压板330适于对夹头组件400的承力台420施加压力使至少两个挂钩410放松或锁紧。
图3是本发明的一种加料装置的定位盘的立体示意图,图4是本发明的一种加料装置的限位盘的立体示意图,图5是本发明的一种加料装置的旋转卡盘的立体示意图。结合参考图3-5所示对定位盘120、限位盘130和旋转卡盘200详细说明如下:
定位盘120靠近旋转卡盘200的一面(如图3所示下表面)设置有至少一组第一定位凸起组,每组第一定位凸起组包括三个第一定位凸起121,每个第一定位凸起121包括第一斜面122。在如图1-3所示实施例中,定位盘120靠近旋转卡盘200的一面设置有两组共六个第一定位凸起121,六个第一定位凸起121均匀分布且完全一致,各自的第一斜面122相对于第一通孔101的圆心的倾斜角度也相同,也就是说定位盘120的下表面是中心对称的。
相对应的,旋转卡盘200靠近定位盘120的一面(如图5所示上表面)设置有至少一组第二定位凸起组,每组第二定位凸起组包括三个第二定位凸起210,每个第二定位凸起210包括第二斜面211。在如图1-2、5所示实施例中,旋转卡盘200靠近定位盘120的一面设置有两组共六个第二定位凸起210,六个第二定位凸起210均匀分布且完全一致,各自的第二斜面211相对于第二通孔201的圆心的倾斜角度也相同,也就是说旋转卡盘200的上表面是中心对称的。
在本发明提供的加料装置10中,当旋转卡盘200向靠近定位盘120的方向移动时,第二斜面211和对应的第一斜面122贴合滑动,旋转卡盘200逆时针旋转。可以理解的是,在本发明的其他一些实施例中,改变第一斜面122和第二斜面211的倾斜方向可以使得旋转卡盘200顺时针旋转。
参考图4所示,限位盘130靠近旋转卡盘200的一面(如图4所示上表面)设置有至少一组限位凹槽组,每组限位凹槽组包括依次排布的第一凹槽131、第二凹槽132和第三凹槽133,其中,第一凹槽131、第二凹槽132和第三凹槽133均包括第三斜面134。在如图1-2、4所示实施例中,限位盘130靠近旋转卡盘200的一面设置有两组均匀分布的限位凹槽组,依次分别命名为第一凹槽131a、第二凹槽132a、第三凹槽133a、第一凹槽131b、第二凹槽132b和第三凹槽133b。具体的,六个凹槽各自的第三斜面134相对于第一通孔101的圆心的倾斜角度相同但深度不同,第一凹槽131a、131b和第三凹槽133a、133b的深度相同,第二凹槽132a、132b的深度相同且小于第一凹槽131a、131b和第三凹槽133a、133b的深度。换句话说,限位盘130靠近旋转卡盘200的一面均匀分布有深槽、浅槽、深槽、深槽、浅槽、深槽。
相对应的,图5所示实施例中旋转卡盘200靠近限位盘130的一面设置有两个卡齿220(其他一些实施例中可以仅设置一个),每个卡齿220均包括第四斜面221。当旋转卡盘200向靠近限位盘130的方向移动时,第四斜面221和对应的第三斜面134贴合滑动,旋转卡盘200逆时针旋转。可以理解的是,在本发明的其他一些实施例中,改变第三斜面134和第四斜面221的倾斜方向可以使得旋转卡盘200顺时针旋转。
在本发明如图1-5所示实施例中,当旋转卡盘200的卡齿220与第一凹槽131a(131b)、第三凹槽133a(133b)的槽底配合时,挂钩410锁紧;当卡齿220与第二凹槽132a(132b)的槽底配合时,挂钩410放松。图6-10是本发明的一种加料装置10的工作过程示意图,下文结合图1-10对旋转卡盘200和定位盘120、限位盘130的配合方式以及旋转情况做具体说明。
参考图1、6所示,加料装置10(为方便观察未示出壳体110)处于初始状态,旋转卡盘200的两个卡齿220分别与第一凹槽131a、131b的槽底配合,此时压板330压住承力台420,挂钩410放松,并且加料装置10在重锤(未示出,位于加料装置10上方)作用下持续下降至锥头26(下方悬挂有加料桶22,参考图11所示)处。
参考图1、7所示,轴杆300带动旋转卡盘200上升,此时第二定位凸起210远离旋转卡盘200的一端倾斜对准定位盘120相邻两个第一定位凸起121之间的位置,随着旋转卡盘200上升,第一斜面122和第二斜面211相互贴合,产生相对滑动的同时引导第二定位凸起210卡入相邻两个第一定位凸起121之间的位置,旋转卡盘200会产生逆时针运动从而达到如图8所示的状态。
参考图1、9所示,旋转卡盘200经过逆时针旋转后两个卡齿220同样产生了角度的偏移,此时轴杆300带动旋转卡盘200下降,第三斜面134和第四斜面221相互贴合,产生相对滑动的同时引导卡齿220分别卡入第二凹槽132a、132b的槽底,在此过程中旋转卡盘200会产生逆时针运动,最终达到如图10所示的状态。可以理解的是,由于第二凹槽132a、132b的深度较浅,压板330不会接触承力台420,因此夹头组件400保持锁紧,加料装置10在重锤作用下持续下降直至加料桶底部脱离,完成加料。
进一步的,在接下来的过程中轴杆300会重复带动旋转卡盘200上升、下降的过程,旋转卡盘200会持续逆时针转动从而使卡齿220依次与第一凹槽131a、131b、第二凹槽132a、132b和第三凹槽133a、133b配合,三次转动为一个循环,在此过程中执行“抓取锥头-加料-放松锥头”的操作,并且在如图1-10所示的优选实施例中,旋转卡盘200每转动一周可以完成两个上述循环的操作,实现了加料的自动化。
可以理解的是,在本发明的其他一些实施例中,第一定位凸起组、第二定位凸起组、限位凹槽组和卡齿220的组数对应即可,具体数量本申请不做限制。
本发明还提供了一种单晶炉,图11是本发明的一种单晶炉的局部示意图,单晶炉包括:底部放置有坩埚的炉体(未示出)、如前任一实施例的加料装置10、通过拉绳悬挂于炉体内的重锤21以及加料桶22。具体的,重锤21的下端适于和加料装置10连接,加料桶22的外侧具有凸环23,加料桶22的底部24内侧连接有连杆25,连杆25远离加料桶22的底部24的一端具有锥头26,加料装置10的夹头组件400适于放松或锁紧锥头26,并且加料桶22的底部24是可拆卸的,当加料桶22的凸环23被限位时,加料桶22无法继续下降,此时重锤21带动加料装置10推动连杆25下降,可以将底部24顶开从而完成加料。
上文已对基本概念做了描述,显然,对于本领域技术人员来说,上述发明披露仅仅作为示例,而并不构成对本申请的限定。虽然此处并没有明确说明,本领域技术人员可能会对本申请进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本申请中被建议,所以该类修改、改进、修正仍属于本申请示范实施例的精神和范围。
同时,本申请使用了特定词语来描述本申请的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本申请至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此,应强调并注意的是,本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外,本申请的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。
同理,应当注意的是,为了简化本申请披露的表述,从而帮助对一个或多个发明实施例的理解,前文对本申请实施例的描述中,有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是,这种披露方法并不意味着本申请对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上,实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。
一些实施例中使用了描述成分、属性数量的数字,应当理解的是,此类用于实施例描述的数字,在一些示例中使用了修饰词“大约”、“近似”或“大体上”来修饰。除非另外说明,“大约”、“近似”或“大体上”表明所述数字允许有±20%的变化。相应地,在一些实施例中,说明书和权利要求中使用的数值参数均为近似值,该近似值根据个别实施例所需特点可以发生改变。在一些实施例中,数值参数应考虑规定的有效数位并采用一般位数保留的方法。尽管本申请一些实施例中用于确认其范围广度的数值域和参数为近似值,在具体实施例中,此类数值的设定在可行范围内尽可能精确。
虽然本申请已参照当前的具体实施例来描述,但是本技术领域中的普通技术人员应当认识到,以上的实施例仅是用来说明本申请,在没有脱离本申请精神的情况下还可作出各种等效的变化或替换,因此,只要在本申请的实质精神范围内对上述实施例的变化、变型都将落在本申请的权利要求书的范围内。
Claims (11)
1.一种加料装置,适用于在单晶炉内进行自动加料,其特征在于,包括:
主体件,包括壳体和固定于所述壳体内部的定位盘和限位盘,所述壳体包括侧壁和顶板,所述主体件具有贯穿的第一通孔;
旋转卡盘,位于所述壳体内,所述旋转卡盘适于在所述定位盘和所述限位盘之间沿第一方向移动且在与所述第一方向垂直的第一平面内旋转,所述旋转卡盘具有与所述第一通孔对应的第二通孔;
轴杆,所述轴杆通过所述第一通孔、第二通孔并与所述旋转卡盘在所述第一方向上固定,所述轴杆适于带动所述旋转卡盘沿所述第一方向移动;以及
夹头组件,位于所述壳体内所述限位盘远离所述顶板的一侧,所述夹头组件包括至少两个挂钩,所述至少两个挂钩适于在所述轴杆的推动下放松或锁紧;其中,
当所述旋转卡盘向靠近所述定位盘的方向移动时,所述旋转卡盘逆时针/顺时针旋转,当所述旋转卡盘向靠近所述限位盘的方向移动时,所述旋转卡盘逆时针/顺时针旋转;
所述限位盘靠近所述旋转卡盘的一面设置有至少一组限位凹槽组,每组限位凹槽组包括依次排布的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽,并且所述第一凹槽和所述第三凹槽的深度大于所述第二凹槽的深度,所述旋转卡盘靠近所述限位盘的一面设置有至少一个卡齿,当所述卡齿与所述第一凹槽、第三凹槽的槽底配合时,所述至少两个挂钩放松,当所述卡齿与所述第二凹槽的槽底配合时,所述至少两个挂钩锁紧。
2.如权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述轴杆包括杆体,其中:
所述杆体的直径小于所述第一通孔、第二通孔的直径;
所述杆体邻近所述旋转卡盘的位置具有连接部,所述连接部适于与所述第二通孔贴合;
所述杆体临近所述连接部的位置具有轴承,所述轴承适于连接所述轴杆和所述旋转卡盘。
3.如权利要求2所述的加料装置,其特征在于,所述轴杆还包括位于所述杆体远离所述夹头组件一端的通道部,所述通道部远离所述杆体的一端具有开口,并且所述通道部的内表面具有螺纹。
4.如权利要求2所述的加料装置,其特征在于,所述轴杆还包括位于所述杆体靠近所述夹头组件一端的压板,所述压板适于对所述夹头组件施加压力使所述至少两个挂钩放松或锁紧。
5.如权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述定位盘靠近所述旋转卡盘的一面设置有至少一组第一定位凸起组,每组第一定位凸起组包括三个第一定位凸起,每个所述第一定位凸起包括第一斜面。
6.如权利要求5所述的加料装置,其特征在于,所述旋转卡盘靠近所述定位盘的一面设置有至少一组第二定位凸起组,每组第二定位凸起组包括三个第二定位凸起,每个所述第二定位凸起包括第二斜面。
7.如权利要求6所述的加料装置,其特征在于,当所述旋转卡盘向靠近所述定位盘的方向移动时,所述第二斜面和对应的所述第一斜面贴合滑动。
8.如权利要求1所述的加料装置,其特征在于,
所述第一凹槽、第二凹槽和所述第三凹槽均包括第三斜面。
9.如权利要求8所述的加料装置,其特征在于,每个所述卡齿包括第四斜面。
10.如权利要求9所述的加料装置,其特征在于,当所述旋转卡盘向靠近所述限位盘的方向移动时,所述第四斜面和对应的所述第三斜面贴合滑动。
11.一种单晶炉,其特征在于,包括:
炉体,所述炉体内底部放置有坩埚;
如权利要求1-10任一项所述的加料装置;
重锤,通过拉绳悬挂于所述炉体内,所述重锤下端适于和所述加料装置连接;以及
加料桶,所述加料桶的外侧具有凸环,所述加料桶的底部内侧连接有连杆,所述连杆远离所述加料桶的底部的一端具有锥头,所述加料装置适于放松或锁紧所述锥头,并且所述加料桶的底部可拆卸。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN203522889U (zh) * | 2013-09-18 | 2014-04-02 | 陕西天宏硅材料有限责任公司 | 一种ccd相机调整装置 |
CN209010631U (zh) * | 2018-11-01 | 2019-06-21 | 四川晶蓝宝石科技发展有限公司 | 焰熔法晶体生长夹持机构 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1133810A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 種結晶加工装置 |
CN216192865U (zh) * | 2021-09-02 | 2022-04-05 | 保山隆基硅材料有限公司 | 一种单晶炉加料辅助装置及单晶炉加料组件 |
CN216688412U (zh) * | 2022-01-29 | 2022-06-07 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 导流筒提升组件和单晶炉 |
CN220279683U (zh) * | 2023-06-12 | 2024-01-02 | 天合光能股份有限公司 | 热场拾取装置和半导体工艺设备 |
-
2024
- 2024-04-25 CN CN202410504068.7A patent/CN118064963B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN203522889U (zh) * | 2013-09-18 | 2014-04-02 | 陕西天宏硅材料有限责任公司 | 一种ccd相机调整装置 |
CN209010631U (zh) * | 2018-11-01 | 2019-06-21 | 四川晶蓝宝石科技发展有限公司 | 焰熔法晶体生长夹持机构 |
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