CN118026037A - 一种集成式升降旋转机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种集成式升降旋转机构，属于机械制造技术领域，该机构包括基座，基座滑动连接有第一平台，第一平台滑动连接有第二平台，第一平台在两侧转动设置有丝杠，一侧的丝杠与基座配合连接，另一侧的丝杠与第二平台配合连接，第一平台顶部设有带动丝杠旋转的驱动机构，基座固定有第一螺母，第二平台固定有第二螺母，第一螺母与第二螺母分别与各自相邻的丝杠配合设置，第一平台和第二平台还设置有稳定件。本发明能实现高效、稳定的升降运动，且制造成本低，布局合理。

Description

一种集成式升降旋转机构

技术领域

本发明涉及机械制造技术领域，具体涉及一种集成式升降旋转机构。

背景技术

晶圆升降旋转机构在半导体设备中常用于对晶圆执行夹持、升降与旋转等运动，但也存在只旋转无升降的情况，这种情况主要应用于晶圆升降旋转机构外部设置的防溅罩在具有升降功能的前提下，通过防溅罩对晶圆升降旋转机构实现了相对升降。以单片式晶圆清洗机为例，在对晶圆进行清洗工艺处理时，传统的单片式晶圆清洗机中的升降旋转机构对晶圆实现夹持的方式有很多，比如通过负压吸附晶圆，通过磁性夹块夹持晶圆边缘，以及通过拨叉带动夹块旋转以对晶圆边缘实现夹持等。

然而，晶圆在切片打磨成型后，通常需要送入到后续的多个加工工位中，以执行蚀刻、抛光、清洗以及检验等步骤，其中晶圆的运转过程较为繁琐，其转移效率还具有较大的改进空间。且晶圆在夹持、转移过程中需要保持较高的稳定性，现有的用于晶圆转移的升降旋转机构，其运动时产生的震动干涉较大，不利于晶圆精准定位。

授权公告号为KR101281453B1的韩国发明专利公开了单臂盒式升降机器人，该机器人通过第一旋转轴和第二旋转轴的旋转来选择盒的位置，具有第一旋转轴的转动半径和盒式磁带手的距离，并通过第一滑块和第二滑块的高度进行盒式升降。该单臂式盒式升降机器人大大减少了外围设备的可用空间和工艺利用空间。在机械精密输送的技术领域，该发明在以下技术问题尚有改进空间：装置整体相对机架旋转时，经通过轴体实现连接，而装置整体的重量较大，在实现升降运动时容易发生晃动，产生在旋转连接处的干涉，不利于装置安全性能；旋转轴停止瞬间，装置由于惯性发生晃动，可能引起旋转轴相对丝杠螺母跳动，导致盒的高度定位不准确，同时损伤丝杠和丝杠螺母，增加了维护成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有运动稳定性的集成式升降旋转机构。

为解决上述技术问题，本发明具体提供下述技术方案：

一种集成式升降旋转机构，包括：基座，基座滑动连接有第一平台，第一平台滑动连接有第二平台，第一平台在两侧转动设置有丝杠，一侧的丝杠与基座配合连接，另一侧的丝杠与第二平台配合连接，第一平台顶部设有带动丝杠旋转的驱动机构。

优选地，基座固定有第一螺母，第二平台固定有第二螺母，第一螺母与第二螺母分别与各自相邻的丝杠配合设置。通过驱动机构实现动力向丝杠的传递，使得第一平台两侧的丝杠旋转，一侧的丝杠相对第一螺母旋转的同时，将该丝杠的旋转力转化为第一平台相对基座的直线升降运动，另一侧的丝杠相对第二螺母旋转的同时，将该侧丝杠的旋转力转化为第二平台相对第一平台的直线升降运动，使第一平台和第二平台的同时升降，从整体上提高了第二平台相对基座的升降速度，从而提高了运行效率，第一平台同时相对基座和第二平台运动的方式，既保证了第二平台的升降范围，也降低了基座自身的滑轨布设长度，降低了机构整体布局所需空间，也降低了制造成本，丝杠在第一平台的两侧布设，平衡了第一平台整体的重量分布，有利于第一平台升降的稳定性。

优选地，驱动机构包括配合设置的主动轮和从动轮，丝杠顶部设有带轮，一侧的带轮与主动轮传动连接，另一侧的带轮与从动轮传动连接，主动轮连接有电机。主动轮上设有主张紧轮，主张紧轮与一侧的带轮之间连接有皮带，从动轮上设有副张紧轮，副张紧轮与另一侧的带轮之间连接有皮带，启动电机后，电机的输出端带动主动轮旋转，主动轮带动从动轮同步旋转，主动轮上的主张紧轮通过皮带将旋转运动传递至该侧张紧轮，从而使得该侧的丝杠旋转，以实现第一平台相对基座的升降，同时，从动轮上的副张紧轮通过皮带将旋转运动传递至另一侧的张紧轮，从而使得另一侧的丝杠旋转，以实现第二平台相对第一平台的升降，即通过一个电机的设置同时实现两个平台的升降位移，减小了电机布设的成本，同时也降低了能耗，驱动机构整体集中在第一平台布设，降低了第二平台的整体重量，减少第二平台升降运动时对第一平台的偏载，有利于提高第二平台的运动稳定性，丝杠顶端的张紧轮通过皮带实现动力传递，整体结构简单，且皮带重量轻，成本低，便于更换维修。

优选地，第一平台和第二平台分别固定有稳定件，稳定件包括圆板，圆板设有能通过丝杠的轴孔，圆板一端环绕阵列设置有夹块，圆板外沿设有挡圈，夹块与挡圈之间连接有第一弹簧，夹块通过第一弹簧接触丝杠。丝杠旋转时，两个丝杠相对第一平台或第二平台升降，此时丝杠通过圆板中心的轴孔，夹块在第一弹簧的张紧作用下对旋转通过的丝杠形成持续接触，提高丝杠洁净度，有利于丝杠相对第一螺母或第二螺母的相对运动，提高丝杠旋转通过的稳定性和流畅程度，实现丝杠的清洁以防止卡死，当丝杠停转时，第一平台或第二平台形成定位，此时第一平台或第二平台在惯性作用下带动丝杠发生抖动，此时夹块在第一弹簧的作用下对丝杠横向夹紧，形成对丝杠外螺纹的卡紧，防止丝杠相对第一螺母或第二螺母发生轴向跳动，避免丝杠、第一螺母、第二螺母产生干涉后损伤，同时，丝杠旋转时所具有的震动能通过第一弹簧消耗，进一步提高丝杠旋转升降的稳定性。

优选地，夹块一端与圆板转动连接，夹块另一端具有弧面，弧面设有导槽，导槽与丝杠配合设置。丝杠旋转并不断通过圆板的轴孔时，弧面所开设的导槽能丝杠的外部螺纹凸起持续配合，一方面提高对丝杠的清洁效果，另一方面有助于对丝杠的纵向升降形成稳定导向，提高升降垂直度，从而提高平台的稳定性，丝杠停转后，导槽与丝杠外的螺纹配合卡接，进一步地降低了丝杠跳动、松动可能性，提高了平台定位准确度。

优选地，夹块中空设置且填充有润滑油，夹块开设有油孔，夹块内设有第二弹簧，第二弹簧末端设有滚珠，滚珠与油孔配合设置，滚珠能接触丝杠。滚珠在夹块内侧通过第二弹簧形成对油孔的封堵，在丝杠持续通过轴孔时，丝杠会接触到滚珠并挤压第二弹簧，此时滚珠与油孔直线形成缝隙，夹块内腔的润滑油能够从该缝隙向外流动，并附着在持续通过的丝杠上，形成对丝杠的均匀润滑，以提高第一平台和第二平台的移动流畅性，防止生锈引起升降卡顿导致晶圆受损，另外，滚珠接触丝杠时，也能对丝杠外部的螺纹凸起形成滚动接触并导向，提高了丝杠旋转稳定性，传递至丝杠的外部震动也能通过第二弹簧消耗，避免滚珠刚性接触丝杠造成磨损。

优选地，基座顶部设有挡板，挡板位于驱动机构上方，挡板上方转动连接有顶板，挡板与顶板之间存在间隔空间，顶板设置有圆形的导轨，导轨具有凹槽，挡板设有管体，管体连通挡板上下，管体上端与凹槽配合设置。顶板安装于机架，通过驱动设备带动顶板相对挡板旋转，实现机构整体的方位调整，顶板与挡板产生相对旋转时，管体保持在导轨内，形成顶板与挡板相对旋转的导向，降低基座抖动造成挡板与顶板在连接处的干涉，挡板能对其下方的驱动机构形成遮挡，避免外物意外接触导致动力传递故障。

优选地，导轨的凹槽内设置有至少两个壳体，壳体底部向中心下方聚拢。顶板相对挡板旋转时，导轨凹槽内的多个壳体经过管体，管体顶部对壳体底部的凸起挤压，通过壳体受压形变形成对震动干涉的消耗，提高了基座以及其相连接部件的旋转稳定性。

本发明与现有技术相比较具有如下有益效果：第一平台两侧均设有丝杠，实现重量均布，有利于升降稳定；通过一个驱动机构实现两个平台的同时同向滑移，有利于提高效率；两组平台的滑动连接减小了机构整体布设高度，扩大了操作空间，减小制造成本；电机通过轮组实现两侧丝杠的动力传递，减小了电机布设成本以及电机能耗；稳定件通过多个夹块接触丝杠，形成丝杠升降运动的多方位自清洁；丝杠停转时，夹块侧向加紧，降低丝杠跳动引起装配损伤；夹块通过第一弹簧形变能消耗基座向第一平台传递的震动干涉，保护丝杠结构强度；夹块的导槽对旋转通过的丝杠外螺纹引导，提高清洁效果，同时保证丝杠线性升降，提高升降稳定性；导槽的设置进一步防止丝杠轴向跳动的可能；润滑油能通过滚珠与油孔的缝隙均匀附着在丝杠外表面，形成自动润滑，有利于防止丝杠生锈卡死，提高其旋转升降流畅度；导轨与管体的配合设置，提高顶板与挡板相对旋转的平行度，提高基座旋转运动的稳定性。因此，本发明是一种具有运动稳定性的集成式升降旋转机构。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。

图1为一种集成式升降旋转机构整体示意图；

图2为一种集成式升降旋转机构正视示意图；

图3为一种集成式升降旋转机构移除挡板以及顶板后的俯视示意图；

图4为稳定件结构示意图；

图5为夹块剖视示意图；

图6为壳体与管体布设示意图；

图7为顶板与挡板剖视示意图；

图8为开口结构示意图；

图9为壳体剖视示意图。

附图标记：基座1；第一螺母10；第一平台2；第二平台3；第二螺母30；丝杠4；带轮40；驱动机构5；主动轮50；从动轮51；稳定件6；圆板60；轴孔61；夹块62；挡圈63；第一弹簧64；油孔65；第二弹簧66；滚珠67；挡板7；顶板8；导轨90；管体91；壳体92；单向硅胶阀93；顶柱94；开口95。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面首先结合附图对本申请所涉及的概念进行说明。在此需要指出的是，以下对各个概念的说明，仅为了使本申请的内容更加容易理解，并不表示对本申请保护范围的限定；同时，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

参见附图1-附图2，一种集成式升降旋转机构，包括：基座1，基座1滑动连接有第一平台2，第一平台2滑动连接有第二平台3，第一平台2在两侧转动设置有丝杠4，一侧的丝杠4与基座1配合连接，另一侧的丝杠4与第二平台3配合连接，第一平台2顶部设有带动丝杠4旋转的驱动机构5。

基座1在两侧的顶部设置有上支架，上支架在同侧的正下方设有下支架，丝杠4通过同侧的上支架和下支架形成相对第一平台2的旋转连接。

参见附图3，基座1固定有第一螺母10，第二平台3固定有第二螺母30，第一螺母10与第二螺母30分别与各自相邻的丝杠4配合设置。

需要说明的是，第一螺母10和第二螺母30采用能与丝杠4配合的丝杠螺母。

通过驱动机构5实现动力向丝杠4的传递，使得第一平台2两侧的丝杠4旋转，一侧的丝杠4相对第一螺母10旋转的同时，将该丝杠4的旋转力转化为第一平台2相对基座1的直线升降运动，另一侧的丝杠4相对第二螺母30旋转的同时，将该侧丝杠4的旋转力转化为第二平台3相对第一平台2的直线升降运动，使第一平台2和第二平台3的同时升降，从整体上提高了第二平台3相对基座1的升降速度，从而提高了运行效率，第一平台2同时相对基座1和第二平台3运动的方式，既保证了第二平台3的升降范围，也降低了基座1自身的滑轨布设长度，降低了机构整体布局所需空间，也降低了制造成本，丝杠4在第一平台2的两侧布设，平衡了第一平台2整体的重量分布，有利于第一平台2升降的稳定性。

驱动机构5包括配合设置的主动轮50和从动轮51，丝杠4顶部设有带轮40，一侧的带轮40与主动轮50传动连接，另一侧的带轮40与从动轮51传动连接，主动轮50连接有电机。

第一平台2具有向上连通的腔体，电机设于腔体内，电机的输出端向上布设，第一平台2的顶端设有安装板，主动轮50与从动轮51连接在安装板上端面。

主动轮50上端设有主张紧轮，主张紧轮与一侧的带轮40之间连接有皮带，从动轮51上设有副张紧轮，副张紧轮与另一侧的带轮40之间连接有皮带。

需要说明的是，皮带采用不带齿的传送带，传送带在传动过程中保持张紧状态。

启动电机后，电机的输出端带动主动轮50旋转，主动轮50带动从动轮51同步旋转，主动轮50上的主张紧轮通过皮带将旋转运动传递至该侧张紧轮，从而使得该侧的丝杠4旋转，以实现第一平台2相对基座1的升降，同时，从动轮51上的副张紧轮通过皮带将旋转运动传递至另一侧的张紧轮，从而使得另一侧的丝杠4旋转，以实现第二平台3相对第一平台2的升降，即通过一个电机的设置同时实现两个滑座的升降位移，减小了电机布设的成本，同时也降低了能耗，驱动机构5整体集中在第一平台2布设，降低了第二平台3的整体重量，减少第二平台3升降运动时对第一平台2的偏载，有利于提高第二平台3的运动稳定性，丝杠4顶端的张紧轮通过皮带实现动力传递，整体结构简单，且皮带重量轻，成本低，便于更换维修。

参见附图3，第一平台2和第二平台3分别固定有稳定件6。

参见附图4，稳定件6包括圆板60，圆板60设有能通过丝杠4的轴孔61，圆板60一端环绕阵列设置有夹块62，圆板60外沿设有挡圈63，夹块62与挡圈63之间连接有第一弹簧64，夹块62通过第一弹簧64接触丝杠4。

丝杠4旋转时，两个丝杠4相对第一平台2或第二平台3升降，此时丝杠4通过圆板60中心的轴孔61，夹块62在第一弹簧64的张紧作用下对旋转通过的丝杠4形成持续接触，提高丝杠4洁净度，有利于丝杠4相对第一螺母10或第二螺母30的相对运动，提高丝杠4旋转通过的稳定性和流畅程度，实现丝杠4的清洁以防止卡死，当丝杠4停转时，第一平台2或第二平台3形成定位，此时第一平台2或第二平台3在惯性作用下带动丝杠4发生抖动，此时夹块62在第一弹簧64的作用下对丝杠4横向夹紧，形成对丝杠4外螺纹的卡紧，防止丝杠4相对第一螺母10或第二螺母30发生轴向跳动，避免丝杠4、第一螺母10、第二螺母30产生干涉后损伤，同时，丝杠4旋转时所具有的震动能通过第一弹簧64消耗，进一步提高丝杠4旋转升降的稳定性。

参见附图5，夹块62一端与圆板60转动连接，夹块62另一端具有弧面，弧面设有导槽，导槽与丝杠4配合设置。

丝杠4旋转并不断通过圆板60的轴孔61时，弧面所开设的导槽能丝杠4的外部螺纹凸起持续配合，一方面提高对丝杠4的清洁效果，另一方面有助于对丝杠4的纵向升降形成稳定导向，提高升降垂直度，从而提高滑座的稳定性，丝杠4停转后，导槽与丝杠4外的螺纹配合卡接，进一步地降低了丝杠4跳动、松动可能性，提高了滑座定位准确度。

夹块62中空填充有润滑油，夹块62开设有油孔65，夹块62内设有第二弹簧66，第二弹簧66末端设有滚珠67，滚珠67与油孔65配合设置，滚珠67能接触丝杠4。

滚珠67位于夹块62内，滚珠67的部分伸出油孔65位于夹块62外侧。

滚珠67在夹块62内侧通过第二弹簧66形成对油孔65的封堵，在丝杠4持续通过轴孔61时，丝杠4会接触到滚珠67并挤压第二弹簧66，此时滚珠67与油孔65直线形成缝隙，夹块62内腔的润滑油能够从该缝隙向外流动，并附着在持续通过的丝杠4上，形成对丝杠4的均匀润滑，以提高第一平台2和第二平台3的移动流畅性，防止生锈引起升降卡顿导致晶圆受损，另外，滚珠67接触丝杠4时，也能对丝杠4外部的螺纹凸起形成滚动接触并导向，提高了丝杠4旋转稳定性，传递至丝杠4的外部震动也能通过第二弹簧66消耗，避免滚珠67刚性接触丝杠4造成磨损。

参见附图6，基座1顶部设有挡板7，挡板7位于驱动机构5上方，挡板7上方转动连接有顶板8，挡板7与顶板8之间存在间隔，顶板8设置有圆形的导轨90，挡板7设有管体91，管体91连通挡板7上下，管体91上端与导轨90的凹槽配合设置。

顶板8安装于机架，通过驱动设备带动顶板8相对挡板7旋转，实现机构整体的方位调整，顶板8与挡板7产生相对旋转时，管体91保持在导轨90内，形成顶板8与挡板7相对旋转的导向，降低基座1抖动造成挡板7与顶板8在连接处的干涉，挡板7能对其下方的驱动机构5形成遮挡，避免外物意外接触导致动力传递故障。

导轨90的凹槽内设置有至少两个壳体92，壳体92底部向中心下方聚拢，管体91能相对壳体92移动并挤压壳体92底部。

顶板8相对挡板7旋转时，导轨90凹槽内的多个壳体92经过管体91，管体91顶部对壳体92底部的凸起挤压，使得壳体92内的气体能够受压并从中心开孔处向下流动，向下流动的气体能部分通过管体91向下作用至驱动机构5，以便形成驱动机构5的散热，同时管体91挤压壳体92底部时，能通过壳体92受压形变形成对震动干涉的消耗，提高了基座1以及其相连接部件的旋转稳定性。

参见附图9，壳体92底部末端开设通孔，通孔内设有单向硅胶阀93，壳体92内侧顶部向下设有顶柱94，单向硅胶阀93能被顶柱94通过，管体91顶部设有允许顶柱94通过的开口95，单向硅胶阀93的流通方向由壳体92向外。

单向硅胶阀93包括但不限于十字硅胶单向阀。

当顶板8相对挡板7旋转时，管体91沿导轨90的凹槽相对移动，在经过壳体92时，管体91顶端首先挤压壳体92底部，壳体92底部受压向上形变并带动单向硅胶阀93上移，促使顶柱94的末端通过单向硅胶阀93的开口95，实现壳体92内外侧连通，壳体92内气体受压后气流能从管体91中部通道向下流动，并作用至挡板7下方的驱动机构5，实现对驱动机构5的散热，有助于延长驱动机构5各部件的寿命，从而降低维护成本，也降低了皮带过热断裂的问题，提高传动稳定性和安全性。在管体91经过壳体92下方过程中，管体91开设的开口95能使伸出的顶柱94通过，防止顶柱94与管体91撞击发生断裂。

壳体92受压后气体从单向硅胶阀93向下输送，一部分气流经过管体91中部通道至挡板7下方，以对驱动机构5散热，另一部分气流能从开口95向侧方流动，实现对挡板7与顶板8之间的间隔空间的气流吹扫，一方面对旋转连接处散热，另一方面清除挡板7上方以及顶板8下方的灰尘，实现清洁，避免了顶板8与挡板7高度间隔较小，清洁人员难以处理的问题。

顶板8的旋转携带壳体92离开管体91时，壳体92底部恢复形变，同时单向硅胶阀93下移，顶柱94相对单向硅胶阀93上移回退，单向硅胶阀93闭合，将气体储存在壳体92内，以待下一次与管体91接触实现持续散热。

需要说明的是，本申请所用术语仅为了描述特定实施例，而非限制本申请范围。如本申请说明书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。术语“包括”、“包含”或其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法或设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或是还包括为这种过程、方法或设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法或设备中还存在另外的相同要素。

还需说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本发明技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本发明技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本发明内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修改为其它等效的实施例，但仍应视为与本发明实质相同的技术或实施例。

本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以作出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均应视为本申请的保护范围。

Claims (8)

1.一种集成式升降旋转机构，包括：基座（1），所述基座（1）滑动连接有第一平台（2），所述第一平台（2）滑动连接有第二平台（3），

其特征是：所述第一平台（2）在两侧转动设置有丝杠（4），一侧的所述丝杠（4）与所述基座（1）配合连接，另一侧的所述丝杠（4）与所述第二平台（3）配合连接，所述第一平台（2）顶部设有带动所述丝杠（4）旋转的驱动机构（5）。

2.根据权利要求1所述的一种集成式升降旋转机构，其特征是：所述基座（1）固定有第一螺母（10），所述第二平台（3）固定有第二螺母（30），所述第一螺母（10）与所述第二螺母（30）分别与各自相邻的所述丝杠（4）配合设置。

3.根据权利要求1所述的一种集成式升降旋转机构，其特征是：所述驱动机构（5）包括配合设置的主动轮（50）和从动轮（51），所述丝杠（4）顶部设有带轮（40），一侧的所述带轮（40）与所述主动轮（50）传动连接，另一侧的所述带轮（40）与所述从动轮（51）传动连接，所述主动轮（50）连接有电机。

4.根据权利要求1所述的一种集成式升降旋转机构，其特征是：所述第一平台（2）和第二平台（3）分别固定有稳定件（6），所述稳定件（6）包括圆板（60），所述圆板（60）设有能通过所述丝杠（4）的轴孔（61），所述圆板（60）一端环绕阵列设置有夹块（62），所述圆板（60）外沿设有挡圈（63），所述夹块（62）与所述挡圈（63）之间连接有第一弹簧（64），所述夹块（62）通过所述第一弹簧（64）接触所述丝杠（4）。

5.根据权利要求4所述的一种集成式升降旋转机构，其特征是：所述夹块（62）一端与所述圆板（60）转动连接，所述夹块（62）另一端具有弧面，所述弧面开设有导槽，所述导槽与所述丝杠（4）配合设置。

6.根据权利要求4所述的一种集成式升降旋转机构，其特征是：所述夹块（62）中空设置且填充有润滑油，所述夹块（62）开设有油孔（65），所述夹块（62）内设有第二弹簧（66），所述第二弹簧（66）末端设有滚珠（67），所述滚珠（67）与所述油孔（65）配合设置，所述滚珠（67）能接触所述丝杠（4）。

7.根据权利要求1所述的一种集成式升降旋转机构，其特征是：所述基座（1）顶部设有挡板（7），所述挡板（7）位于所述驱动机构（5）上方，所述挡板（7）上方转动连接有顶板（8），所述挡板（7）与所述顶板（8）之间存在间隔空间，所述顶板（8）设置有圆形的导轨（90），所述导轨（90）具有凹槽，所述挡板（7）设有管体（91），所述管体（91）连通所述挡板（7）上下，所述管体（91）上端与所述凹槽配合设置。

8.根据权利要求7所述的一种集成式升降旋转机构，其特征是：所述导轨（90）的凹槽内设置有至少两个壳体（92），所述壳体（92）底部向中心下方收聚拢。