CN220065656U - 一种晶圆上下移送装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆上下移送装置，包括驱动机构，所述驱动机构的输出端连接有第一连接轴，所述第一连接轴转动连接有上摆臂和下摆臂，所述上摆臂位于下摆臂的上方，上摆臂的上方转动连接有固定块，所述固定块的上方连接有第二连接块，所述第二连接块上安装有晶圆；所述下摆臂的下方转动连接有固定底座，所述驱动机构的下方连接有轴承座，所述轴承座转动连接有第一轴支座。本实用新型通过伺服电机带动第一连接轴做直线往复运动，能够精确控制第一连接轴的运动速度和停止位置，继而能够精确控制安装有晶圆的第二连接块的运动速度和停止位置，提高了晶圆运动的精度和运动的可控性，能够减少震动，保证晶圆运送的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种移送装置，具体为一种晶圆上下移送装置。
背景技术
随着半导体技术的飞速发展，晶圆检测设备得到了越来越广泛的应用。在晶圆生产过程中，晶圆检测设备需要将晶圆进行上下移送以实现对晶圆的检测。
现有的晶圆上下移送装置通常采用气缸作为动力，其无法调节加减速，无法控制运动速度及力的大小，运动精度较低；当晶圆被移送至目标停止位置时，移送装置会产生较大震动，无法保证晶圆运送的稳定性。并且，当气缸出现断气故障时，无法实现自锁以保持其处于当前位置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆上下移送装置，该装置可以精确控制其运动速度和停止位置，提高了晶圆运动的精度和运动的可控性，能够减少震动，保证晶圆运送的稳定性。
本实用新型通过以下技术方案实现：
一种晶圆上下移送装置，包括驱动机构，所述驱动机构的输出端连接有第一连接轴，所述第一连接轴转动连接有上摆臂和下摆臂，所述上摆臂位于下摆臂的上方，上摆臂的上方转动连接有固定块，所述固定块的上方连接有第二连接块，所述第二连接块上安装有晶圆；所述下摆臂的下方转动连接有固定底座，所述驱动机构的下方连接有轴承座，所述轴承座转动连接有第一轴支座。
在本实用新型的一种实施方式中，所述驱动机构包括电机以及与所述电机连接的电缸模组，所述电缸模组的输出端与第一连接轴连接。
在本实用新型的一种实施方式中，所述电缸模组的输出端连接有第一连接块，所述第一连接块与所述第一连接轴固定连接。
在本实用新型的一种实施方式中，所述电机为伺服电机。
在本实用新型的一种实施方式中，所述第一连接轴穿设于所述上摆臂以及下摆臂内，第一连接轴与上摆臂以及下摆臂之间均设置有轴承。
在本实用新型的一种实施方式中，所述上摆臂的上端穿设有第二连接轴，所述第二连接轴与上摆臂之间设置有轴承，所述第二连接轴与固定块连接，所述固定块的侧面连接有第一轴端盖，所述第一轴端盖位于第二连接轴的端面。
在本实用新型的一种实施方式中，所述下摆臂的下端穿设有第三连接轴，所述第三连接轴与下摆臂之间设置有轴承，所述第三连接轴与固定底座连接，所述固定底座的侧面连接有第二轴端盖，所述第二轴端盖位于第三连接轴的端面。
在本实用新型的一种实施方式中，所述固定底座的下方连接有第五连接轴，所述第五连接轴的两端连接有第二轴支座。
在本实用新型的一种实施方式中，所述固定底座还连接有调节螺栓。
在本实用新型的一种实施方式中，所述轴承座内穿设有第四连接轴，所述第四连接轴的两端与第一轴支座连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型的电机将其旋转运动转化成电缸模组的直线往复运动，电缸模组的输出端通过第一连接块带动第一连接轴做直线往复运动。由于上摆臂与下摆臂与第一连接轴转动连接，当电缸模组的输出端向前伸长推动第一连接轴向前移动时，使得上摆臂与下摆臂旋转并逐渐伸直，从而使得固定块、第二连接块缓缓升高，从而实现第二连接块上的晶圆上移，此时电缸模组的输出端不再受到反向轴向力，形成自锁，保持晶圆处于当前位置，在等待过程中电机不会过载。当电缸模组的输出端向后缩短拉动第一连接轴向后移动时，使得上摆臂与下摆臂旋转并逐渐向后移动，从而使得固定块、第二连接块缓缓下降，从而实现第二连接块上的晶圆下移，以此往复运动来实现晶圆的上下移动。本实用新型通过伺服电机带动第一连接轴做直线往复运动，能够精确控制第一连接轴的运动速度和停止位置，继而能够精确控制安装有晶圆的第二连接块的运动速度和停止位置，提高了晶圆运动的精度和运动的可控性，能够减少震动，保证晶圆运送的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型晶圆上下移送装置的立体图；
图2为本实用新型晶圆上下移送装置去掉驱动机构、轴承座、第三连接轴、第一轴支座的立体图；
图3为本实用新型晶圆上下移送装置的运动过程图。
图中：1、驱动机构；2、固定底座；3、上摆臂；4、下摆臂；5、第一连接轴；6、第一连接块；7、固定块；8、第二连接块；9、第二连接轴；10、第一轴端盖；11、电机；12、电缸模组；13、第三连接轴；14、轴承座；15、第四连接轴；16、第一轴支座；17、第二轴支座；18、第五连接轴；19、调节螺栓；20、第二轴端盖。
具体实施方式
为使得本实用新型实现上述目的、特征和优点且能够更加明显易懂，下面结合具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
如图1和2所示，一种晶圆上下移送装置，包括驱动机构1，所述驱动机构1的输出端连接有第一连接轴5，所述第一连接轴5转动连接有上摆臂3和下摆臂4，所述上摆臂3位于下摆臂4的上方，上摆臂3的上方转动连接有固定块7，所述固定块7的上方连接有第二连接块8，所述第二连接块8上安装有晶圆；所述下摆臂4的下方转动连接有固定底座2，所述驱动机构1的下方连接有轴承座14，所述轴承座14转动连接有第一轴支座16。
可选地，所述驱动机构1包括电机11以及与所述电机11连接的电缸模组12，所述电缸模组12的输出端与第一连接轴5连接。
可选地，所述电缸模组12的输出端连接有第一连接块6，所述第一连接块6与所述第一连接轴5固定连接。电机11将其旋转运动转化成电缸模组12的直线往复运动，电缸模组12的输出端通过第一连接块6带动第一连接轴5做直线往复运动。
可选地，所述电机11为伺服电机，通过伺服电机带动第一连接轴5做直线往复运动，能够精确控制第一连接轴5的运动速度和停止位置，继而能够精确控制安装有晶圆的第二连接块8的运动速度和停止位置，提高了晶圆运动的精度和运动的可控性，能够减少震动，保证晶圆运送的稳定性。
可选地，所述第一连接轴5穿设于所述上摆臂3以及下摆臂4内，第一连接轴5与上摆臂3以及下摆臂4之间均设置有轴承，使得上摆臂3以及下摆臂4能够绕第一连接轴5旋转。上摆臂3相比于下摆臂4更靠近第一连接轴5的中部位置，上摆臂3位于下摆臂4的内侧。
可选地，所述上摆臂3的上端穿设有第二连接轴9，所述第二连接轴9与上摆臂3之间设置有轴承，所述第二连接轴9与固定块7连接，所述固定块7的侧面连接有第一轴端盖10，所述第一轴端盖10位于第二连接轴9的端面。通过此种结构设计，使得上摆臂3与固定块7转动连接。
可选地，所述下摆臂4的下端穿设有第三连接轴13，所述第三连接轴13与下摆臂4之间设置有轴承，所述第三连接轴13与固定底座2连接，所述固定底座2的侧面连接有第二轴端盖20，所述第二轴端盖20位于第三连接轴13的端面。通过此种结构设计，使得下摆臂4与固定底座2转动连接。
可选地，所述固定底座2的下方连接有第五连接轴18，所述第五连接轴18的两端连接有第二轴支座17。
可选地，所述固定底座2还连接有调节螺栓19，所述调节螺栓19用于微调固定底座2的安装位置。
可选地，所述轴承座14内穿设有第四连接轴15，所述第四连接轴15的两端与第一轴支座16连接。通过此种结构设计，使得轴承座14与第一轴支座16转动连接。
本实用新型的工作原理：如图3所示，图3中的①、②、③分别代表装置不同的运动位置。将第一轴支座16、第二轴支座17以及固定底座2分别固定在工作平台上。电机11将其旋转运动转化成电缸模组12的直线往复运动，电缸模组12的输出端通过第一连接块6带动第一连接轴5做直线往复运动。由于上摆臂3与下摆臂4与第一连接轴5转动连接，如图3中①位置到②位置的过程，当电缸模组12的输出端向前伸长推动第一连接轴5向前移动时，使得上摆臂3与下摆臂4旋转并逐渐伸直，从而使得固定块7、第二连接块8缓缓升高，直至图3中的③位置，从而实现第二连接块8上的晶圆上移，此时电缸模组12的输出端不再受到反向轴向力，形成自锁，保持晶圆处于当前位置，在等待过程中电机11不会过载。当电缸模组12的输出端向后缩短拉动第一连接轴5向后移动时，使得上摆臂3与下摆臂4旋转并逐渐向后移动，从而使得固定块7、第二连接块8缓缓下降，从而实现第二连接块8上的晶圆下移，以此往复运动来实现晶圆的上下移动。本实用新型通过伺服电机带动第一连接轴5做直线往复运动，能够精确控制第一连接轴5的运动速度和停止位置，继而能够精确控制安装有晶圆的第二连接块8的运动速度和停止位置，提高了晶圆运动的精度和运动的可控性，能够减少震动，保证晶圆运送的稳定性。
本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡是在本实用新型构思的精神和原则之内，本领域的专业人员能够做出的任何修改、等同替换和改进等均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种晶圆上下移送装置，其特征在于，包括驱动机构，所述驱动机构的输出端连接有第一连接轴，所述第一连接轴转动连接有上摆臂和下摆臂，所述上摆臂位于下摆臂的上方，上摆臂的上方转动连接有固定块，所述固定块的上方连接有第二连接块，所述第二连接块上安装有晶圆；所述下摆臂的下方转动连接有固定底座，所述驱动机构的下方连接有轴承座，所述轴承座转动连接有第一轴支座。
2.根据权利要求1所述的晶圆上下移送装置，其特征在于，所述驱动机构包括电机以及与所述电机连接的电缸模组，所述电缸模组的输出端与第一连接轴连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆上下移送装置，其特征在于，所述电缸模组的输出端连接有第一连接块，所述第一连接块与所述第一连接轴固定连接。
4.根据权利要求2所述的晶圆上下移送装置，其特征在于，所述电机为伺服电机。
5.根据权利要求1所述的晶圆上下移送装置，其特征在于，所述第一连接轴穿设于所述上摆臂以及下摆臂内，第一连接轴与上摆臂以及下摆臂之间均设置有轴承。
6.根据权利要求5所述的晶圆上下移送装置，其特征在于，所述上摆臂的上端穿设有第二连接轴，所述第二连接轴与上摆臂之间设置有轴承，所述第二连接轴与固定块连接，所述固定块的侧面连接有第一轴端盖，所述第一轴端盖位于第二连接轴的端面。
7.根据权利要求5所述的晶圆上下移送装置，其特征在于，所述下摆臂的下端穿设有第三连接轴，所述第三连接轴与下摆臂之间设置有轴承，所述第三连接轴与固定底座连接，所述固定底座的侧面连接有第二轴端盖，所述第二轴端盖位于第三连接轴的端面。
8.根据权利要求7所述的晶圆上下移送装置，其特征在于，所述固定底座的下方连接有第五连接轴，所述第五连接轴的两端连接有第二轴支座。
9.根据权利要求1所述的晶圆上下移送装置，其特征在于，所述固定底座还连接有调节螺栓。
10.根据权利要求1所述的晶圆上下移送装置，其特征在于，所述轴承座内穿设有第四连接轴，所述第四连接轴的两端与第一轴支座连接。
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