CN117967988A - 四氯化钛管路输送系统及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及管路输送技术领域，尤其是涉及四氯化钛管路输送系统及其控制方法，具体应用于新材料生产中的催化剂输送，四氯化钛管路输送系统，包括原瓶、缓冲瓶、第一液位传感器、第二液位传感器和管路输送组件；第一液位传感器竖向设置于原瓶内，第二液位传感器竖向设置于缓冲瓶内；管路输送组件包括第一入气件、第二入气件、第一出液件和第二出液件；第一入气件的一端用于与氦气输送设备连接，另一端与原瓶连接；第二入气件的一端与第一入气件连接，另一端和缓冲瓶连接；第一出液件的一端和原瓶连接，另一端和缓冲瓶连接；第二出液件的一端和缓冲瓶连接，另一端用于与下一级设备连接，能够提升对四氯化钛输送的稳定性。

Description

四氯化钛管路输送系统及其控制方法

技术领域

本申请涉及管路输送技术领域，尤其是涉及四氯化钛管路输送系统及其控制方法，具体应用于新材料生产中的催化剂输送。

背景技术

四氯化钛，又名氯化钛，是一种无色或微黄色液体的无机化合物，化学式为TiCl₄。四氯化钛用于制取海绵钛和钛白粉，也可用于新材料中的金属表面防蚀处理，是工业生产中常用的催化剂。四氯化钛遇潮气易分解出有毒气体氯化氢（化学式为HCl），TiCl₄+4H₂O=Ti（OH）₄+4H₂O，属于危险化学品，具有腐蚀性且不能接触水。

在相关技术中，四氯化钛采用瓶体进行储存，并采用四氯化钛浆液泵进行输送，四氯化钛浆液泵采用离心泵的原理，通过旋转叶轮产生的离心力将四氯化钛从低压区域的瓶体内抽吸并输送至高压区域的管道内。

在输送的过程中，由于瓶体呈密封状态且瓶体内的四氯化钛会快速减少，会导致瓶体内产生负压，从而会导致输送的稳定性下降。

发明内容

为了提升对四氯化钛输送的稳定性，本申请提供了四氯化钛管路输送系统及其控制方法。

第一方面，本申请提供的一种四氯化钛管路输送系统，采用如下的技术方案：

一种四氯化钛管路输送系统，包括原瓶、缓冲瓶、第一液位传感器、第二液位传感器和管路输送组件；

所述第一液位传感器竖向设置于所述原瓶内，所述第二液位传感器竖向设置于所述缓冲瓶内；

所述管路输送组件包括第一入气件、第二入气件、第一出液件和第二出液件；所述第一入气件的一端用于与氦气输送设备连接，另一端与所述原瓶连接；所述第二入气件的一端与所述第一入气件连接，另一端和所述缓冲瓶连接；所述第一出液件的一端和所述原瓶连接，另一端和所述缓冲瓶连接；所述第二出液件的一端和所述缓冲瓶连接，另一端用于与下一级设备连接。

通过采用上述技术方案，输送四氯化钛时，首先将氦气输送设备中的氦气通过第一入气件输送至原瓶中，原瓶中的四氯化钛会受到氦气的气体压，原瓶中的四氯化钛经过第一出液件输送至缓冲瓶中。之后氦气输送设备中的氦气通过第二入气件输送至缓冲瓶中，缓冲瓶中的四氯化钛会受到氦气的气体压，缓冲瓶中的四氯化钛经过第二出液件输送至下一级的设备。

在上述过程中，第一液位传感器能够对原瓶中的四氯化钛进行监测，第二液位传感器能够对缓冲瓶中的四氯化钛进行监测，工作人员能够根据监测结果，通过控制进入第一入气件和第二入气件的氦气实现对原瓶和缓冲瓶液位的控制。并且在输送四氯化钛的过程中，无论是缓冲瓶还是原瓶，由于有氦气填充于瓶内，因此在瓶内产生负压的可能性大大降低，从而能够有效提升对四氯化钛输送的稳定性。

可选的，四氯化钛管路输送系统还包括：第一称重秤和第二称重秤，所述原瓶设置于所述第一称重秤上，所述缓冲瓶设置于所述第二称重秤上。

通过采用上述技术方案，第一称重秤能够对原瓶的重量进行称重，从而实现对原瓶中四氯化钛的监测，第二称重秤能够对缓冲瓶的重量进行称重，从而实现对缓冲瓶中四氯化钛的监测，从而通过称重秤和液位传感器的相互配合实现对瓶内四氯化钛量的确定，能够进一步提升对四氯化钛输送的稳定性。

可选的，所述第一入气件包括第一入气管、依次连接于所述第一入气管上的第一手动隔离阀、第一调压阀、第一单向阀、第一气动隔离阀和第二手动隔离阀；所述第一入气管靠近所述第一手动隔离阀的一端用于与氦气输送设备连接，另一端与所述原瓶连接。

通过采用上述技术方案，氦气由第一入气管输入，第一手动隔离阀、第一气动隔离阀和第二手动隔离阀打开，第二入气件关闭。氦气能够依次经过第一手动隔离阀、第一调压阀、第一单向阀、第一气动隔离阀和第二手动隔离阀，之后氦气即可进入至原瓶内，之后氦气的气体压即可将原瓶内的四氯化钛压入至第一出液件中。

可选的，所述第二入气件包括第二入气管、依次连接于所述第二入气管上的第二调压阀、第二单向阀、第二气动隔离阀和第三手动隔离阀；所述第二入气管靠近所述第三手动隔离阀的一端与所述缓冲瓶连接，另一端连接于所述第一手动隔离阀和所述第一调压阀之间的所述第一入气管。

通过采用上述技术方案，当打开第一手动隔离阀并关闭第一气动隔离阀、第二气动隔离阀和第三手动隔离阀时，第一入气管中的氦气进入第二入气管，之后依次通过第二调压阀、第二单向阀、第二气动隔离阀和第三手动隔离阀，之后即可进入至缓冲瓶内，之后氦气的气体压即可将缓冲瓶内的四氯化钛压入至第二出液件中。

可选的，所述第一出液件包括第一出液管、依次连接于所述第一出液管上的第四手动隔离阀和第三气动隔离阀；所述第一出液管靠近所述第四手动隔离阀的一端与所述原瓶连接，另一端与所述第二气动隔离阀和所述第三手动隔离阀之间的所述第二入气管连接。

通过采用上述技术方案，当氦气的气体压将四氯化钛压入至第一出液管时，四氯化钛由原瓶底部出液，四氯化钛之后会依次经过第四手动隔离阀和第三气动隔离阀后，从而进入至缓冲瓶中。

可选的，所述第二出液件包括第二出液管和连接于所述第二出液管上的至少一个阀门；所述第二出液管的一端和所述缓冲瓶连接，另一端用于和下一级设备连接。

通过采用上述技术方案，当氦气的气体压将四氯化钛压入至第二出液管时，四氯化钛由缓冲罐的底部出液，四氯化钛经过阀门以后即可输送至下一级的设备中。

可选的，四氯化钛管路输送系统还包括吹扫组件；

所述吹扫组件包括第一吹扫管、依次连接于所述第一吹扫管上的第六气动隔离阀、第三单向阀、第三调压阀、第七气动隔离阀和第八气动隔离阀，还包括第三吹扫管、依次连接于所述第三吹扫管上的第十气动隔离阀和第四单向阀；

所述第一吹扫管靠近所述第六气动隔离阀的一端用于与氩气输送设备连接，另一端连接于所述第四手动隔离阀和所述第三气动隔离阀之间的第一出液管上；

所述第三吹扫管靠近所述第十气动隔离阀的一端用于与氮气输送设备连接，另一端连接于所述第三单向阀和所述第三调压阀之间的第一吹扫管上。

通过采用上述技术方案，对原瓶进行换瓶时，打开第六气动隔离阀、第七气动隔离阀、第八气动隔离阀和第四手动隔离阀，以实现第一吹扫管呈通路状态。之后氩气输送设备向第一吹扫管输入氩气，氩气依次经过第六气动隔离阀、第三单向阀、第二终端过滤器、第三调压阀、第七气动隔离阀、第八气动隔离阀和第四手动隔离阀，从而将第四手动隔离阀吹扫干净，从而在拆除第四手动隔离阀时不会出现漏液的情况，以实现原瓶的更换。

可选的，四氯化钛管路输送系统还包括抽真空组件；

所述抽真空组件包括抽真空管、依次连接于所述抽真空管上的第六手动隔离阀和第十一气动隔离阀；所述抽真空管靠近所述第六手动隔离阀的一端用于与真空泵连接，另一端连接于所述第七气动隔离阀和所述第八气动隔离阀之间的所述第一吹扫管上。

通过采用上述技术方案，当换原瓶时对原瓶吹扫完成后，通过真空泵能够使原瓶内的气体通过第一出液管，然后再由第一出液管通过第一吹扫管以及第一吹扫管上的第八气动隔离阀，之后再通过第二吹扫管，最后再通过抽真空管，从而实现将四氯化钛抽取干净，以减小对应管道内残存四氯化钛的可能性。

可选的，四氯化钛管路输送系统还包括补液排气组件；

所述补液排气组件包括第一补液排气管、以及依次连接于第一补液排气管上的第五单向阀、第十二气动隔离阀和第十三气动隔离阀；还包括第二补液排气管、以及依次连接于第二补液排气管上的第六单向阀和第十四气动隔离阀；

所述第一补液排气管靠近所述第五单向阀的一端用于排气，另一端连接于所述第四手动隔离阀和所述第三气动隔离之间的所述第一出液管上；

所述第二补液靠近所述第六单向阀的一端连接于所述第五单向阀远离所述第十二气动隔离阀的所述第一补液排气管上，另一端连接于所述缓冲瓶上。

通过采用上述技术方案，将四氯化钛添加至原瓶以后，四氯化钛会占用气体的空间，会使得原瓶内的气体压会增大，从而出现憋气的情况。多余的气体能够依次通过第一补液排气管上的第十三气动隔离阀、第十二气动隔离阀、第五单向阀，从而实现将多余的气体排出，进而保证原瓶内不出现憋气。同样地，将四氯化钛添加至缓冲瓶时，多余的气体能够依次通过第二补液排气管上的第十四气动隔离阀和第六单向阀，从而实现将多余的气体排出，进而保证缓冲瓶内不出现憋气。

第二方面，本申请提供的一种四氯化钛管路输送方法，采用如下的技术方案：

一种四氯化钛管路输送方法，包括：

当对四氯化钛进行输送时，第一液位传感器实时监测原瓶内四氯化钛的液位，第二液位传感器实时监测缓冲瓶内四氯化钛的液位，之后通过第一入气件将氦气输送至原瓶中，之后原瓶中的氦气通过气体压将四氯化钛压入至第一出液件，之后第一出液件中的四氯化钛进入至缓冲瓶，之后通过第二入气件将氦气输送至缓冲瓶中，之后缓冲瓶中的氦气通过气体压将四氯化钛压入至第二出液件，第二出液件中的四氯化钛则输送至下一级设备中。

通过采用上述技术方案，输送四氯化钛时，第一液位传感器能够对原瓶中的四氯化钛进行监测，第二液位传感器能够对缓冲瓶中的四氯化钛进行监测，工作人员能够根据监测结果，通过控制进入第一入气件和第二入气件的氦气实现对原瓶和缓冲瓶液位的控制。输送时，首先将氦气输送设备中的氦气通过第一入气件输送至原瓶中，原瓶中的四氯化钛会受到氦气的气体压，原瓶中的四氯化钛经过第一出液件输送至缓冲瓶中。之后氦气输送设备中的氦气通过第二入气件输送至缓冲瓶中，缓冲瓶中的四氯化钛会受到氦气的气体压，缓冲瓶中的四氯化钛经过第二出液件输送至下一级的设备。由于缓冲瓶和原瓶均有氦气填充于瓶内，因此在瓶内产生负压的可能性大大降低，从而能够有效提升对四氯化钛输送的稳定性。

综上所述，本申请包括的有益技术效果：在输送四氯化钛时，通过气体压动态控制缓冲瓶和原瓶内四氯化钛的液位，能够有效降低瓶内产生负压的可能性，从而能够有效提升对四氯化钛输送的稳定性。

附图说明

图1是本申请实施例中四氯化钛管路输送系统的管路示意图。

图2是本申请实施例四氯化钛管路输送系统中管路输送组件的管路示意图。

图3是本申请实施例四氯化钛管路输送系统中吹扫组件的管路示意图。

图4是本申请实施例四氯化钛管路输送系统中抽真空组件的管路示意图。

图5是本申请实施例四氯化钛管路输送系统中补液排气组件的管路示意图。

附图标记：

1、原瓶；

2、缓冲瓶；

3、气液监测组件；31、第一称重秤；32、第二称重秤；33、第一液位传感器；34、第二液位传感器；

4、管路输送组件；41、第一入气件；411、第一入气管；412、第一手动隔离阀；413、第一终端过滤器；414、第一调压阀；415、第一单向阀；416、第一气动隔离阀；417、第二手动隔离阀；42、第二入气件；421、第二入气管；422、第二调压阀；423、第二单向阀；424、第二气动隔离阀；425、第三手动隔离阀；43、第一出液件；431、第一出液管；432、第四手动隔离阀；433、第三气动隔离阀；44、第二出液件；441、第二出液管；442、第四气动隔离阀；443、第五气动隔离阀；444、第五手动隔离阀；

5、吹扫组件；511、第一吹扫管；512、第二吹扫管；513、第六气动隔离阀；514、第三单向阀；515、第二终端过滤器；516、第三调压阀；517、第七气动隔离阀；518、第八气动隔离阀；519、第九气动隔离阀；521、第三吹扫管；522、第十气动隔离阀；523、第四单向阀；

6、抽真空组件；61、抽真空管；62、第六手动隔离阀；63、第十一气动隔离阀；

7、补液排气组件；71、第一补液排气件；711、第一补液排气管；712、第五单向阀；713、第十二气动隔离阀；714、第十三气动隔离阀；72、第二补液排气件；721、第二补液排气管；722、第六单向阀；723、第十四气动隔离阀。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图1-5及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

本申请实施例公开一种四氯化钛管路输送系统。

参考图1，四氯化钛管路输送系统，包括原瓶1、缓冲瓶2、气液监测组件3、管路输送组件4、吹扫组件5、抽真空组件6和补液排气组件7。原瓶1和缓冲瓶2均能够用于储存四氯化钛。

气液监测组件3用于实现监测原瓶1和缓冲瓶2内四氯化钛的量，以便于通过管路输送组件4对应调整原瓶1和/或缓冲瓶2中四氯化钛的量。管路输送组件4用于通过气体实现四氯化钛的输送。吹扫组件5用于实现管路输送组件4中残留四氯化钛的吹扫，以便于更换原瓶1和/或缓冲瓶2。补液排气组件7用于在管路输送组件4调整原瓶1和/或缓冲瓶2内四氯化钛的量时，将对应瓶内多余的气体排出，以避免原瓶1和/或缓冲瓶2憋气。

参考图1，气液监测组件3包括第一称重秤31、第二称重秤32、第一液位传感器33和第二液位传感器34。原瓶1放置于第一称重秤31上，缓冲瓶2放置于第二称重秤32上，第一液位传感器33竖向固定连接于原瓶1内，第二液位传感器34竖向固定连接于缓冲瓶2内。第一称重秤31可根据原瓶1的重量确定原瓶1内四氯化钛的量，第二称重秤32可根据缓冲瓶2的重量确定缓冲瓶2内四氯化钛的量。第一液位传感器33可根据原瓶1内的液位确定原瓶1内四氯化钛的量，第二液位传感器34可根据缓冲瓶2内的液位确定缓冲瓶2内四氯化钛的量。

参考图1，管路输送组件4包括第一入气件41、第二入气件42、第一出液件43和第二出液件44。第一入气件41的一端与氦气输送设备连接，另一端与原瓶1连接。第二入气件42的一端与第一入气件41连接，另一端和缓冲瓶2连接。第一出液件43的一端和原瓶1连接，另一端和缓冲瓶2连接。第二出液件44的一端和缓冲瓶2连接，另一端用于将四氯化钛输送至下一级设备。

在对四氯化钛进行输送的过程中，首先将氦气输送设备中的氦气通过第一入气件41输送至原瓶1中，原瓶1中的四氯化钛会受到氦气的气体压，原瓶1中的四氯化钛经过第一出液件43输送至缓冲瓶2中。之后氦气输送设备中的氦气通过第二入气件42输送至缓冲瓶2中，缓冲瓶2中的四氯化钛会受到氦气的气体压，缓冲瓶2中的四氯化钛经过第二出液件44输送至下一级的设备。

在对四氯化钛进行输送的过程中，由于原瓶1中的四氯化钛受到第一称重秤31和第一液位传感器33的监测，缓冲瓶2中的四氯化钛受到第二称重秤32和第二液位传感器34的监测，根据上述的两个监测结果，工作人员能够通过控制进入第一入气件41和第二入气件42的氦气实现对原瓶1和缓冲瓶2液位的控制。并且在输送四氯化钛的过程中，无论是缓冲瓶2还是原瓶1，由于有氦气填充于瓶内，因此不会在瓶内产生负压，从而能够有效提升对四氯化钛输送的稳定性。

参考图1和图2，第一入气件41包括第一入气管411、以及依次安装于第一入气管411上的第一手动隔离阀412、第一终端过滤器413、第一调压阀414、第一单向阀415、第一气动隔离阀416和第二手动隔离阀417。第一入气管411靠近第一手动隔离阀412的一端用于与氦气输送设备连接，靠近第二手动隔离阀417的一端与原瓶1连接。第一单向阀415的输送方向为朝向原瓶1，以避免氦气回流。

同时，第一调压阀414和第一单向阀415之间的第一入气管411上安装有压力表，以实现对第一入气管411的管道压力进行监测。第一入气管411上还安装有加热器，以实现第一入气管411管道伴热。

当氦气由第一入气管411输入时，第一手动隔离阀412、第一气动隔离阀416和第二手动隔离阀417打开，第二入气件42关闭。氦气能够依次经过第一手动隔离阀412、第一终端过滤器413、第一调压阀414、第一单向阀415、第一气动隔离阀416和第二手动隔离阀417，之后氦气即可进入至原瓶1内，之后氦气的气体压即可将原瓶1内的四氯化钛压入至第一出液件43中。

其中，第一手动隔离阀412作为第一入气管411和第二入气件42的通断总控。第一终端过滤器413用于对进入第一入气管411内的氦气进行过滤，以减小原瓶1和/或缓冲瓶2中的四氯化钛受到污染的可能性。第一气动隔离阀416则作为第一入气管411的通断控制设备。第二手动隔离阀417则用于在更换原瓶1时关闭第一入气管411，以避免漏液，一般为常开状态。第一调压阀414则用于稳定第一入气管411的管道压力。

参照图1和图2，第二入气件42包括第二入气管421、以及依次安装于第二入气管421上的第二调压阀422、第二单向阀423、第二气动隔离阀424和第三手动隔离阀425。第二入气管421靠近第二调压阀422的一端连接于第一终端过滤器413和第一调压阀414之间的第一入气管411上，第二入气管421靠近第三手动隔离阀425的一端与缓冲瓶2连接。同时，第二调压阀422和第二单向阀423之间的第二入气管421上安装有压力表，以实现对第二入气管421的管道压力进行监测。

当打开第一手动隔离阀412，关闭第一气动隔离阀416、第二气动隔离阀424和第三手动隔离阀425时，第一入气管411中的氦气进入第二入气管421，之后依次通过第二调压阀422、第二单向阀423、第二气动隔离阀424和第三手动隔离阀425，之后即可进入至缓冲瓶2内，之后氦气的气体压即可将缓冲瓶2内的四氯化钛压入至第二出液件44中。

其中，第二气动隔离阀424作为第二入气管421的通断控制设备，第三手动隔离阀425则用于在更换缓冲瓶2时关闭第二入气管421，，以避免漏液，一般为常开状态。第二调压阀422用于，第二单向阀423用于控制第二入气管421的输送方向。第二调压阀422用于稳定第二入气管421的管道压力。

参照图1和图2，第一出液件43包括第一出液管431、以及依次安装于第一出液管431上的第四手动隔离阀432和第三气动隔离阀433。第一出液管431靠近第四手动隔离阀432的一端与原瓶1连接，第一出液管431靠近第三气动隔离阀433的一端与第二气动隔离阀424和第三手动隔离阀425之间的第二入气管421连接。同时，第一出液管431上安装有压力表，以实现对第一出液管431的管道压力进行监测。并且第一出液管431上还安装有加热器，以实现第一出液管431管道伴热。

当四氯化钛被氦气的气体压压入至第一出液管431时，四氯化钛由原瓶1的底部出液，四氯化钛依次经过第四手动隔离阀432和第三气动隔离阀433后，即可进入至缓冲瓶2内。其中，第三气动隔离阀433用作关闭第一出液管431的通断控制设备，第四手动隔离阀432则用于在更换原瓶1时关闭第一出液管431，以避免漏液，一般为常开状态。

参照图1和图2，第二出液件44包括第二出液管441、以及依次安装于第二出液管441上的第四气动隔离阀442、第五气动隔离阀443和第五手动隔离阀444。第二出液管441靠近第四气动隔离阀442的一端和缓冲瓶2连接，第二出液管441靠近第五手动隔离阀444的一端用于和下一级设备连接。同时，第二出液管441上还安装有加热器，以实现第二出液管441管道伴热。

当四氯化钛被氦气的气体压压入至第二出液管441时，四氯化钛由缓冲罐的底部出液，四氯化钛依次经过第四气动隔离阀442、第五气动隔离阀443和第五手动隔离阀444以后，即可输送至下一级的设备中。其中，第四气动隔离阀442、第五气动隔离阀443和第五手动隔离阀444位于第二出液管441的不同位置，且均能够实现将第二出液管441断开，以满足送气、吹扫、抽真空以及补液排气的各种情况所需的要求。

在对四氯化钛进行管路输送的过程中，若缓冲瓶2内的液位过低，则能够采用氦气将原瓶1中的四氯化钛压入至缓冲瓶2内，从而保证缓冲瓶2内的四氯化钛一直在一个合理范围内，进而保证四氯化钛输送的稳定性。

参照图1、图2和图3，吹扫组件5包括第一吹扫件和第二吹扫件。第一吹扫件包括第一吹扫管511、第二吹扫管512、第六气动隔离阀513、第三单向阀514、第二终端过滤器515、第三调压阀516、第七气动隔离阀517、第八气动隔离阀518和第九气动隔离阀519。

参照图2和图3，第六气动隔离阀513、第三单向阀514、第二终端过滤器515、第三调压阀516、第七气动隔离阀517和第八气动隔离阀518依次安装于第一吹扫管511上，第三单向阀514的输送方向朝向第二终端过滤器515。第一吹扫管511靠近第六气动隔离阀513的一端用于与氩气输送设备连接，第一吹扫管511靠近第八气动隔离阀518的一端连接于第四手动隔离阀432和第三气动隔离阀433之间的第一出液管431上。第八气动隔离阀518安装于第二吹扫管512上，第二吹赛管的一端连接于第七气动隔离阀517和第八气动隔离阀518之间的第一吹扫管511上，另一端连接于缓冲瓶2。

当需要对原瓶1进行换瓶时，需要打开第六气动隔离阀513、第七气动隔离阀517、第八气动隔离阀518和第四手动隔离阀432，并关闭第九气动隔离阀519，从而实现第一吹扫管511呈通路状态，第二吹扫管512呈闭合状态。之后氩气输送设备向第一吹扫管511输入氩气，氩气依次经过第六气动隔离阀513、第三单向阀514、第二终端过滤器515、第三调压阀516、第七气动隔离阀517、第八气动隔离阀518和第四手动隔离阀432，从而将第四手动隔离阀432吹扫干净，从而在拆除第四手动隔离阀432时不会出现漏液的情况，以达到更换原瓶1的目的。

由于安装第四手动隔离阀432的第一出液管431和安装第三手动隔离阀425的第二入气管421连接，因此在对原瓶1进行换瓶时，只需要将第四手动隔离阀432关闭，即可实现将第三手动隔离阀425吹扫干净。

同样地，当需要对缓冲瓶2进行换瓶时，需要打开第六气动隔离阀513、第七气动隔离阀517、第九气动隔离阀519和第四气动隔离阀442，并关闭第八气动隔离阀518。从而实现第一吹扫管511呈闭合状态，第二吹扫管512呈通路状态。之后氩气输送设备向第一吹扫管511输入氩气，氩气依次经过第六气动隔离阀513、第三单向阀514、第二终端过滤器515、第三调压阀516、第七气动隔离阀517、第九气动隔离阀519和第四气动隔离阀442，从而将第四气动隔离阀442吹扫干净。由于第三手动隔离阀425也已经吹扫干净，因此在拆除第四手动隔离阀432和第四气动隔离阀442时不会出现漏液的情况，以达到更换缓冲瓶2的目的。在实际情况中，原瓶1常会进行换瓶，而缓冲瓶2进行换瓶的情况则较少。

参照图2和图3，第二吹扫件包括第三吹扫管521、以及依次安装于第三吹扫管521上的第十气动隔离阀522和第四单向阀523。第三吹扫管521靠近第十气动隔离阀522的一端用于与氮气输送设备连接，第三吹扫管521靠近第四单向阀523的一端连接于第三单向阀514和第二终端过滤器515之间的第一吹扫管511上，第四单向阀523的输送方向朝向第二终端过滤器515。

同时，第三调压阀516和第七气动隔离阀517之间的第一吹扫管511上安装有压力表，第二吹扫管512上安装有压力传感器，以分别实现对第一吹扫管511和第二吹扫管512的管道压力进行监测。

第二吹扫件的吹扫原理与第一吹扫件的原理相同，不同的是第二吹扫件采用的是氦气输送设备输送氦气至第三吹扫管521内进行吹扫。为保证实施例的简洁性，在此不再进行赘述。

参照图2、图3和图4，抽真空组件6包括抽真空管61、以及依次安装于抽真空管61上的第六手动隔离阀62和第十一气动隔离阀63。抽真空管61靠近第六手动隔离阀62的一端用于与真空泵进行连接，抽真空管61靠近第十一气动隔离阀63的一端与第九气动隔离阀519靠近第七气动隔离阀517一端的第二吹扫管512连接。同时，抽真空管61上安装有加热器，以实现抽真空管61管道伴热。

当换原瓶1时对原瓶1吹扫完成后，真空泵工作，气体能够由原瓶1通过第一出液管431，然后再由第一出液管431通过第一吹扫管511以及第一吹扫管511上的第八气动隔离阀518，之后再通过第二吹扫管512，之后再通过抽真空管61，从而实现将四氯化钛抽取干净，以减小对应管道内残存四氯化钛的可能性。在输送四氯化钛时，第六手动隔离阀62和第十一气动隔离阀63为常闭状态。同样地，当换缓冲瓶2时对缓冲瓶2吹扫完成后，真空泵工作能够实现对缓冲瓶2及相应管路进行抽真空，在此不再进行赘述。

参照图1和图5，补液排气组件7包括第一补液排气件71和第二补液排气件72。第一补液排气件71用于在对原瓶1进行补液时将原瓶1内多余的气体进行排出，以减小原瓶1内出现憋气的可能性。第二补液排气件72用于在对缓冲瓶2进行补液时将缓冲瓶2内多余的气体进行排出，以减小缓冲瓶2内出现憋气的可能性。

参照图1和图5，第一补液排气件71包括第一补液排气管711、以及依次安装于第一补液排气管711上的第五单向阀712、第十二气动隔离阀713和第十三气动隔离阀714。第五单向阀712的输送方向为远离第十二气动隔离阀713的一端，第一补液排气管711靠近第五单向阀712的一端用于进行排气，第一补液排气管711靠近第十三气动隔离阀714的一端连接于第四手动隔离阀432和第三气动隔离阀433之间的第一出液管431上。且第十二气动隔离阀713和第十三气动隔离阀714之间的第一补液排气管711和第一入气管411连接，连接处位于第一气动隔离阀416和第二手动隔离阀417之间。

同时，第十二气动隔离阀713和第十三气动隔离阀714之间的第一补液排气管711上安装有压力传感器，以实现对第一补液排气管711的管道压力进行监测。第一补液排气管711上还安装有加热器，以实现第一补液排气管711管道伴热。

将四氯化钛添加至原瓶1时，原瓶1内气体所占的空间变小，原瓶1内的气体压会增大，从而出现憋气的情况。多余的气体能够依次通过第一补液排气管711上的第十三气动隔离阀714、第十二气动隔离阀713、第五单向阀712，从而实现将多余的气体排出，以保证原瓶1内不出现憋气。

参照图1和图5，第二补液排气件72包括第二补液排气管721、以及依次安装于第二补液排气管721上的第六单向阀722和第十四气动隔离阀723。第二补液排气管721靠近第六单向阀722的一端连接于第五单向阀712远离第十二气动隔离阀713的第一补液排气管711上，另一端连接于缓冲瓶2上。第二补液排气管721上安装有加热器，以实现第二补液排气管721管道伴热。

将四氯化钛添加至缓冲瓶2时，缓冲瓶2内气体所占的空间变小，缓冲瓶2内的气体压会增大，从而出现憋气的情况。多余的气体能够依次通过第二补液排气管721上的第十四气动隔离阀723和第六单向阀722，从而实现将多余的气体排出，以保证缓冲瓶2内不出现憋气。

基于同一设计构思，本申请实施例还公开一种四氯化钛管路输送控制方法。

四氯化钛管路输送控制方法包括以下步骤：

步骤1：当对四氯化钛进行输送时，第一液位传感器33实时监测原瓶1内四氯化钛的液位，第二液位传感器33实时监测缓冲瓶2内四氯化钛的液位；之后通过第一入气件41将氦气输送至原瓶1中，之后原瓶1中的氦气通过气体压将四氯化钛压入至第一出液件43，之后第一出液件43中的四氯化钛进入至缓冲瓶2。之后通过第二入气件42将氦气输送至缓冲瓶2中，之后缓冲瓶2中的氦气通过气体压将四氯化钛压入至第二出液件44，第二出液件44中的四氯化钛则输送至下一级设备中。

步骤2：当对原瓶1进行吹扫时，首先通过第一吹扫管511输送氩气至原瓶1进行吹扫，之后通过第三吹扫管521输送氮气至原瓶1进行吹扫。应当理解的是，二者之间的先后顺序可以不进行限定，同时只采用单一的氩气或氮气对原瓶1进行吹扫也可。

步骤3：当对原瓶1进行抽真空时，采用真空泵连接抽真空管61进行抽吸，原瓶1中的气体能够由原瓶1通过第一出液管431，然后再由第一出液管431通过第一吹扫管511以及第一吹扫管511上的第八气动隔离阀518，之后再通过第二吹扫管512，之后再通过抽真空管61。

步骤4：当原瓶1补液时，采用补液排气组件7对原瓶1进行补液排气。原瓶1内多余的气体依次通过第一补液排气管711上的第十三气动隔离阀714、第十二气动隔离阀713、第五单向阀712进行排气。

以上所述，以上实施例仅用以对本申请的技术方案进行了详细介绍，但以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想，不应理解为对本申请的限制。本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种四氯化钛管路输送系统，其特征在于，包括原瓶（1）、缓冲瓶（2）、第一液位传感器（33）、第二液位传感器（34）和管路输送组件（4）；

所述第一液位传感器（33）竖向设置于所述原瓶（1）内，所述第二液位传感器（34）竖向设置于所述缓冲瓶（2）内；

所述管路输送组件（4）包括第一入气件（41）、第二入气件（42）、第一出液件（43）和第二出液件（44）；所述第一入气件（41）的一端用于与氦气输送设备连接，另一端与所述原瓶（1）连接；所述第二入气件（42）的一端与所述第一入气件（41）连接，另一端和所述缓冲瓶（2）连接；所述第一出液件（43）的一端和所述原瓶（1）连接，另一端和所述缓冲瓶（2）连接；所述第二出液件（44）的一端和所述缓冲瓶（2）连接，另一端用于与下一级设备连接。

2.根据权利要求1所述的四氯化钛管路输送系统，其特征在于，还包括：第一称重秤（31）和第二称重秤（32），所述原瓶（1）设置于所述第一称重秤（31）上，所述缓冲瓶（2）设置于所述第二称重秤（32）上。

3.根据权利要求1所述的四氯化钛管路输送系统，其特征在于，所述第一入气件（41）包括第一入气管（411）、依次连接于所述第一入气管（411）上的第一手动隔离阀（412）、第一调压阀（414）、第一单向阀（415）、第一气动隔离阀（416）和第二手动隔离阀（417）；所述第一入气管（411）靠近所述第一手动隔离阀（412）的一端用于与氦气输送设备连接，另一端与所述原瓶（1）连接。

4.根据权利要求3所述的四氯化钛管路输送系统，其特征在于，所述第二入气件（42）包括第二入气管（421）、依次连接于所述第二入气管（421）上的第二调压阀（422）、第二单向阀（423）、第二气动隔离阀（424）和第三手动隔离阀（425）；所述第二入气管（421）靠近所述第三手动隔离阀（425）的一端与所述缓冲瓶（2）连接，另一端连接于所述第一手动隔离阀（412）和所述第一调压阀（414）之间的所述第一入气管（411）。

5.根据权利要求4所述的四氯化钛管路输送系统，其特征在于，所述第一出液件（43）包括第一出液管（431）、依次连接于所述第一出液管（431）上的第四手动隔离阀（432）和第三气动隔离阀（433）；所述第一出液管（431）靠近所述第四手动隔离阀（432）的一端与所述原瓶（1）连接，另一端与所述第二气动隔离阀（424）和所述第三手动隔离阀（425）之间的所述第二入气管（421）连接。

6.根据权利要求5所述的四氯化钛管路输送系统，其特征在于，所述第二出液件（44）包括第二出液管（441）和连接于所述第二出液管（441）上的至少一个阀门；所述第二出液管（441）的一端和所述缓冲瓶（2）连接，另一端用于和下一级设备连接。

7.根据权利要求5所述的四氯化钛管路输送系统，其特征在于，还包括吹扫组件（5）；

所述吹扫组件（5）包括第一吹扫管（511）、依次连接于所述第一吹扫管（511）上的第六气动隔离阀（513）、第三单向阀（514）、第三调压阀（516）、第七气动隔离阀（517）和第八气动隔离阀（518），还包括第三吹扫管（521）、依次连接于所述第三吹扫管（521）上的第十气动隔离阀（522）和第四单向阀（523）；

所述第一吹扫管（511）靠近所述第六气动隔离阀（513）的一端用于与氩气输送设备连接，另一端连接于所述第四手动隔离阀（432）和所述第三气动隔离阀（433）之间的第一出液管（431）上；

所述第三吹扫管（521）靠近所述第十气动隔离阀（522）的一端用于与氮气输送设备连接，另一端连接于所述第三单向阀（514）和所述第三调压阀（516）之间的第一吹扫管（511）上。

8.根据权利要求7所述的四氯化钛管路输送系统，其特征在于，还包括抽真空组件（6）；

所述抽真空组件（6）包括抽真空管（61）、依次连接于所述抽真空管（61）上的第六手动隔离阀（62）和第十一气动隔离阀（63）；所述抽真空管（61）靠近所述第六手动隔离阀（62）的一端用于与真空泵连接，另一端连接于所述第七气动隔离阀（517）和所述第八气动隔离阀（518）之间的所述第一吹扫管（511）上。

9.根据权利要求5所述的四氯化钛管路输送系统，其特征在于，还包括补液排气组件（7）；

所述补液排气组件（7）包括第一补液排气管（711）、以及依次连接于第一补液排气管（711）上的第五单向阀（712）、第十二气动隔离阀（713）和第十三气动隔离阀（714）；还包括第二补液排气管（721）、以及依次连接于第二补液排气管（721）上的第六单向阀（722）和第十四气动隔离阀（723）；

所述第一补液排气管（711）靠近所述第五单向阀（712）的一端用于排气，另一端连接于所述第四手动隔离阀（432）和所述第三气动隔离之间的所述第一出液管（431）上；

所述第二补液靠近所述第六单向阀（722）的一端连接于所述第五单向阀（712）远离所述第十二气动隔离阀（713）的所述第一补液排气管（711）上，另一端连接于所述缓冲瓶（2）上。

10.一种四氯化钛管路输送方法，其特征在于，包括：

当对四氯化钛进行输送时，第一液位传感器（33）实时监测原瓶（1）内四氯化钛的液位，第二液位传感器（34）实时监测缓冲瓶（2）内四氯化钛的液位，之后通过第一入气件（41）将氦气输送至原瓶（1）中，之后原瓶（1）中的氦气通过气体压将四氯化钛压入至第一出液件（43），之后第一出液件（43）中的四氯化钛进入至缓冲瓶（2），之后通过第二入气件（42）将氦气输送至缓冲瓶（2）中，之后缓冲瓶（2）中的氦气通过气体压将四氯化钛压入至第二出液件（44），第二出液件（44）中的四氯化钛则输送至下一级设备中。