CN117941257A - 弹性波滤波器及多工器 - Google Patents

弹性波滤波器及多工器 Download PDF

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CN117941257A
CN117941257A CN202280060148.7A CN202280060148A CN117941257A CN 117941257 A CN117941257 A CN 117941257A CN 202280060148 A CN202280060148 A CN 202280060148A CN 117941257 A CN117941257 A CN 117941257A
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山路彻
松井秀纪
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

弹性波滤波器(1)具备设置于连结第一端子(T1)与第二端子(T2)的第一路径(r1)的第一滤波器电路(10)以及设置于与第一路径(r1)并联连接的第二路径(r2)的附加电路(20)。附加电路(20)的纵耦合弹性波谐振器(25)具有多个IDT电极(31~34)。将根据与第一端子(T1)侧连接的IDT电极(31、33)的电极指(36)的排列间距(p)计算的频率设为fix,将根据与第二端子(T2)侧连接的IDT电极(32、34)的电极指(36)的排列间距(p)计算的频率设为fox,将第一滤波器电路(10)的通带的最高的频率设为fH1,将第一滤波器电路(10)的衰减频带内的规定频率设为fH2,在该情况下,具有成为1.055×fH1<fix的关系,并且具有成为1.035×fH1<fox<fH2的关系。

Description

弹性波滤波器及多工器
技术领域
本发明涉及弹性波滤波器及具备该弹性波滤波器的多工器。
背景技术
以往,已知一种具备弹性波谐振子的弹性波滤波器。作为这种弹性波滤波器的一例,公开了一种弹性波滤波器,该弹性波滤波器具备将规定的频带作为通带的滤波器电路、以及为了改善通带外的衰减特性而具有与上述滤波器电路反相位且同振幅的抵消分量的消除电路(参照专利文献1及2)。通过弹性波滤波器具备消除电路,能够改善弹性波滤波器的衰减特性等。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2017-204743号公报
专利文献2:日本特开2018-74539号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是,专利文献1所记载的弹性波滤波器存在如下问题:消除电路的谐振频率从滤波器电路的通带大幅偏离,无法充分地确保滤波器电路的衰减频带中的衰减量。
另外,专利文献2所记载的弹性波滤波器存在如下问题:消除电路的谐振频率过于接近滤波器电路的通带,弹性波滤波器的消耗功率变大。当消耗功率变大时,弹性波滤波器的寿命有时变短。
本发明是为了解决上述问题而完成的,其目的在于,提供一种能够确保衰减频带中的衰减量且减小消耗功率的弹性波滤波器等。
用于解决课题的手段
为了实现上述目的,本发明的一方式的弹性波滤波器具备:第一端子及第二端子;第一滤波器电路,其设置于连结所述第一端子与所述第二端子的第一路径;以及附加电路,其设置于与所述第一路径的至少一部分并联连接的第二路径,所述附加电路具有纵耦合弹性波谐振器,所述纵耦合弹性波谐振器具有沿着弹性波传播方向配置的多个IDT电极,将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第一端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fix,将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第二端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fox,将所述第一滤波器电路的通带的最高的频率设为fH1,将位于比所述第一滤波器电路的通带靠高频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fH2,在该情况下,具有成为1.055×fH1<fix的关系,并且,具有成为1.035×fH1<fox<fH2的关系。
为了实现上述目的,本发明的一方式的弹性波滤波器具备:第一端子及第二端子;第一滤波器电路,其设置于连结所述第一端子与所述第二端子的第一路径;以及附加电路,其设置于与所述第一路径的至少一部分并联连接的第二路径,所述附加电路具有纵耦合弹性波谐振器,所述纵耦合弹性波谐振器具有沿着弹性波传播方向配置的多个IDT电极,所述第一滤波器电路由与所述纵耦合弹性波谐振器的所述多个IDT电极不同的其他的多个IDT电极构成,所述第一滤波器电路所包含的所述其他的多个IDT电极的至少一部分应用活塞模式,所述附加电路所包含的所述多个IDT电极未应用活塞模式。
为了实现上述目的,本发明的一方式的弹性波滤波器具备:第一端子及第二端子;第一滤波器电路,其设置于连结所述第一端子与所述第二端子的第一路径;以及附加电路,其设置于与所述第一路径的至少一部分并联连接的第二路径,所述附加电路具有纵耦合弹性波谐振器,所述纵耦合弹性波谐振器具有沿着弹性波传播方向配置的多个IDT电极,所述第一滤波器电路由与所述纵耦合弹性波谐振器的所述多个IDT电极不同的其他的多个IDT电极构成,所述第一滤波器电路所包含的所述其他的多个IDT电极及所述附加电路所包含的所述多个IDT电极分别具有一对第一梳齿状电极及第二梳齿状电极,所述第一梳齿状电极及第二梳齿状电极分别具有沿所述弹性波传播方向延伸的汇流条电极以及与所述汇流条电极连接且沿与所述弹性波传播方向正交的正交方向延伸的多个交叉电极指及多个偏置电极指,所述第一梳齿状电极的所述交叉电极指与所述第二梳齿状电极的所述偏置电极指在所述正交方向上相互对置,所述第二梳齿状电极的所述交叉电极指与所述第一梳齿状电极的所述偏置电极指在所述正交方向上相互对置,在所述附加电路中在所述正交方向上相互对置的所述交叉电极指与所述偏置电极指的间隔比在所述第一滤波器电路中在所述正交方向上相互对置的所述交叉电极指与所述偏置电极指的间隔宽。
为了实现上述目的,本发明的一方式的多工器具备:所述衰减频带内的规定频率是与所述第一滤波器电路不同的第二滤波器电路的通带的最高的频率的上述的弹性波滤波器;以及具有所述第二滤波器电路的其他滤波器。
为了实现上述目的,本发明的一方式的弹性波滤波器具备:第一端子及第二端子;第一滤波器电路,其设置于连结所述第一端子与所述第二端子的第一路径;以及附加电路,其设置于与所述第一路径的至少一部分并联连接的第二路径,所述附加电路具有纵耦合弹性波谐振器,所述纵耦合弹性波谐振器具有沿着弹性波传播方向配置的多个IDT电极,将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第一端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fiy,将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第二端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为foy,将所述第一滤波器电路的通带的最低的频率设为fL3,将位于比所述第一滤波器电路的通带靠低频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fL4,在该情况下,具有成为fiy<0.945×fL3的关系,并且,具有成为fL4<foy<0.965×fL3的关系。
为了实现上述目的,本发明的一方式的多工器具备:所述衰减频带内的规定频率是与所述第一滤波器电路不同的第二滤波器电路的通带的最低的频率的上述的弹性波滤波器;以及具有所述第二滤波器电路的其他滤波器。
发明效果
根据本发明的弹性波滤波器等,能够确保衰减频带中的衰减量,并且减小消耗功率。
附图说明
图1是具备实施方式1的弹性波滤波器的多工器的电路结构图。
图2是示出实施方式1的多工器具备的各元件的布局的图。
图3是示出实施方式1的弹性波滤波器的通带及衰减频带的图。
图4是示意性示出实施方式1的弹性波滤波器的各元件设置于压电性基板及封装基板的状态的图。
图5是示出实施方式1的弹性波滤波器的附加电路的图。
图6是示意性示出附加电路所包含的纵耦合弹性波谐振器的构造的俯视图及剖视图。
图7是示出实施方式1的弹性波滤波器的消耗功率的图。
图8是示出改变了纵耦合弹性波谐振器的输入侧的频率比时的弹性波滤波器的消耗功率的图。
图9是示出改变了纵耦合弹性波谐振器的输出侧的频率比时的弹性波滤波器的消耗功率的图。
图10是示出改变了纵耦合弹性波谐振器的输入侧及输出侧的频率比时的弹性波滤波器的消耗功率的图。
图11是示出改变了实施方式1的变形例1的弹性波滤波器的附加电路的反射器的根数时的消耗功率的图。
图12是实施方式1的变形例2的弹性波滤波器的第一滤波器电路所包含的IDT电极的俯视图及剖视图。
图13是实施方式1的变形例2的弹性波滤波器的附加电路所包含的IDT电极的俯视图及剖视图。
图14是示出第一滤波器电路所包含的IDT电极的另一例的图。
图15是示出第一滤波器电路所包含的IDT电极的另一例的图。
图16是示出第一滤波器电路所包含的IDT电极的另一例的图。
图17是示出实施方式1的变形例2的弹性波滤波器的承受功率的图。
图18是示出实施方式1的变形例3的弹性波滤波器的第一滤波器电路所包含的IDT电极的俯视图。
图19是示出实施方式1的变形例3的弹性波滤波器的附加电路所包含的IDT电极的俯视图。
图20是示出在实施方式1的变形例4的弹性波滤波器的第一滤波器电路及附加电路的IDT电极形成的电介质层的剖视图。
图21是具备实施方式1的变形例5的弹性波滤波器的多工器的电路结构图。
图22是具备实施方式2的弹性波滤波器的多工器的电路结构图。
图23是示出实施方式2的弹性波滤波器的通带及衰减频带的图。
具体实施方式
以下,使用实施方式及附图对本发明的实施方式详细进行说明。需要说明的是,以下说明的实施方式均表示包括性或具体的例子。以下的实施方式所示的数值、形状、材料、结构要素、结构要素的配置及连接方式等是一例,并不意在限定本发明。关于以下的实施方式中的结构要素中的未记载在独立权利要求中的结构要素,作为任意的结构要素来说明。另外,附图所示的结构要素的大小或大小的比未必是严格的。另外,在各图中,针对实质上相同的结构标注相同的标记,有时省略或简化重复的说明。另外,在以下的实施方式中,“连接”不仅包括直接连接的情况,也包括经由其他的元件等而电连接的情况。
(实施方式1)
[本发明的概要]
参照图1~图3来说明本发明的概要。
图1是具备实施方式1的弹性波滤波器1的多工器5的电路结构图。图2是示出多工器5具备的各元件的布局的图。
多工器5是具备多个滤波器的分波器或合波器。多工器5具备具有第一滤波器电路10及附加电路20的弹性波滤波器1、以及第二滤波器电路50。另外,多工器5具备与弹性波滤波器1连接的第一端子T1、与弹性波滤波器1及第二滤波器电路50双方连接的第二端子T2、以及与第二滤波器电路50连接的第三端子T3。
第一端子T1是弹性波滤波器1的信号输入侧的端子。例如,第一端子T1经由放大电路等(未图示)与RF信号处理电路(未图示)连接。
第二端子T2是弹性波滤波器1的信号输出侧的端子,并且是第二滤波器电路50的信号输入侧的端子。即,第二端子T2是弹性波滤波器1及第二滤波器电路50的共同端子。第二端子T2将弹性波滤波器1与第二端子T2之间的节点n0作为分支点,分支后的一条路径与弹性波滤波器1连接,分支后的另一条路径与第二滤波器电路50连接。例如,第二端子T2与天线元件(未图示)连接。
第三端子T3是第二滤波器电路50的信号输出侧的端子。例如,第三端子T3经由放大电路等(未图示)与RF信号处理电路(未图示)连接。
弹性波滤波器1配置在连结第一端子T1与第二端子T2的第一路径r1上。弹性波滤波器1具备第一滤波器电路10、以及与第一滤波器电路10附加连接的附加电路20。输入到第一端子T1的高频信号通过并联连接的第一路径r1及第二路径r2从第二端子T2输出。
第一滤波器电路10是由通信标准决定的将规定的频带作为通带的滤波器电路。包括第一滤波器电路10的弹性波滤波器1例如是将上行频带(发送频带)作为通带的发送滤波器,设定为通带比第二滤波器电路50低。
附加电路20是为了改善第一滤波器电路10的通带外的衰减特性而具有与第一滤波器电路10反相位且同振幅的抵消分量的消除电路。附加电路20设置于与第一路径r1的至少一部分并联连接的第二路径r2。附加电路20具有纵耦合弹性波谐振器25,纵耦合弹性波谐振器25具有沿着弹性波传播方向配置的多个IDT(InterDigital Transducer,叉指换能器)电极31、32、33及34。在第二路径r2中传输的高频信号被输入到IDT电极31及33,从IDT电极32及34输出。
第二滤波器电路50配置在连结第二端子T2与第三端子T3的第三路径r3上。第二滤波器电路50将与第一滤波器电路10的通带不同的频带作为通带。第二滤波器电路50例如是将下行频带(接收频带)作为通带的接收滤波器。第二滤波器电路50例如由串联臂谐振子S21、多个并联臂谐振子P21及P22、以及弹性波谐振器Q21构成。
对于多工器5,例如输入输出Band8(发送频带:880MHz-915MHz,接收频带:925MHz-960MHz)或Band3(发送频带:1710MHz-1785MHz,接收频带:1805MHz-1880MHz)的高频信号。
本实施方式的弹性波滤波器1为了确保衰减频带中的衰减量且减小消耗功率而具有以下所示的结构。
图3是示出弹性波滤波器1的通带及衰减频带的图。需要说明的是,在该图中还示出第二滤波器电路50的通带。
在图3中示出第一滤波器电路10的通带的最低的频率fL1及最高的频率fH1。另外,在图3中示出位于比第一滤波器电路10的通带靠高频侧的位置的衰减频带的规定频率fH2。规定频率fH2例如是第二滤波器电路50的通带的最高的频率。该图中的衰减频带内的频率fL2例如是第二滤波器电路50的通带的最低的频率。
这里,将与将纵耦合弹性波谐振器25的多个IDT电极31~34的电极指的排列间距的总平均设为1/2波长(λ/2)时的弹性波的波长对应的频率定义为fx。电极指的排列间距是指弹性波传播方向上的相邻的两个电极指的中心间距离。与波长对应的频率通过用声速除以波长来计算。关于与波长对应的频率,能够使测定探头与每个IDT电极接触来测定反射特性,还作为其谐振频率导出。
另外,将与将多个IDT电极31~34中的从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第一端子T1侧的第一路径r1连接的IDT电极31及33的电极指的排列间距的平均设为1/2波长(λ/2)时的波长对应的频率定义为fix。另外,将与将多个IDT电极31~34中的从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第二端子T2侧的第一路径r1连接的IDT电极32及34的电极指的排列间距的平均设为1/2波长(λ/2)时的波长对应的频率定义为fox。
在这些定义下,本实施方式的弹性波滤波器1具有如下关系:
(1)1.055×fH1<fix,并且,
(2)1.035×fH1<fox<fH2。
根据该结构,能够确保弹性波滤波器1的衰减频带中的衰减量,并且减小消耗功率。
例如,如(1)的1.055×fH1<fix及(2)的1.035×fH1<fox所示那样,将频率fix及频率fox设定得较高,使得不过于接近弹性波滤波器1的通带,由此,能够抑制消耗功率过于增大。另外,如(2)的fox<fH2所示那样,使频率fox比规定频率fH2低而进入衰减频带内,由此,能够确保衰减频带中的衰减量。需要说明的是,根据IDT电极31~34的电极指的排列间距的总平均而计算的频率fx期望为fx≤1.15×fH1,使得频率fix与频率fox不过于大幅偏离。以下,对弹性波滤波器1的具体结构进行说明。
[弹性波滤波器的结构]
如上所述,弹性波滤波器1具备第一滤波器电路10及附加电路20。首先,参照图1~图4对弹性波滤波器1的第一滤波器电路10进行说明。
如图1所示,第一滤波器电路10具备作为弹性波谐振子的串联臂谐振子S11、S12、S13、S14、S15及并联臂谐振子P11、P12、P13、P14。
串联臂谐振子S11~S15配置在连结第一端子T1与第二端子T2的第一路径r1上。串联臂谐振子S11~S15从第一端子T1朝向第二端子T2依次串联连接。
并联臂谐振子P11~P14配置在将在第一路径r1上排列的串联臂谐振子S11~S15之间的各节点n1、n2、n3、n4与接地(基准端子)连结的路径上。具体而言,并联臂谐振子P11~P14中的与串联臂谐振子S11最近的并联臂谐振子P11的一端连接到串联臂谐振子S11与串联臂谐振子S12之间的节点n1,另一端经由电感器L11与接地连接。需要说明的是,并联臂谐振子P11由相互并联连接的两个谐振子即被分割的两个谐振子构成。并联臂谐振子P12的一端连接到串联臂谐振子S12与串联臂谐振子S13之间的节点n2,另一端经由电感器L11与接地连接。并联臂谐振子P13的一端连接到串联臂谐振子S13与串联臂谐振子S14之间的节点n3,另一端经由电感器L12与接地连接。并联臂谐振子P14的一端连接到串联臂谐振子S14与串联臂谐振子S15之间的节点n4,另一端经由电感器L12与接地连接。
需要说明的是,并联臂谐振子P11、P12各自的另一端通过接线被共同化而与电感器L11连接,并联臂谐振子P13、P14各自的另一端通过接线被共同化而与电感器L12连接。这些弹性波滤波器1的各元件设置于压电性基板320及封装基板330。
图4是示出弹性波滤波器1的各元件设置于压电性基板320及封装基板330的状态的图。需要说明的是,在图4中还示出包括弹性波滤波器1及第二滤波器电路50的多工器5。
压电性基板320是设置有多工器5的主要部分的基板。在压电性基板320设置有上述的串联臂谐振子S11~S15、并联臂谐振子P11~P14、附加电路20、第二滤波器电路50。另外,在压电性基板320设置有蜿蜒状的电阻元件R13(参照图2)。该电阻元件R13设置在连结并联臂谐振子P14与第二滤波器电路50的并联臂谐振子P21的路径上。
封装基板330是安装压电性基板320的基板。在封装基板330设置有上述的电感器U1及L12。
如图1及图4所示,第一滤波器电路10具有由配置在第一路径r1上的五个串联臂谐振子S11~S15及配置在连结第一路径r1与接地的路径上的四个并联臂谐振子P11~P14构成的π型的梯形滤波器构造。需要说明的是,构成第一滤波器电路10的串联臂谐振子及并联臂谐振子的数量不限于五个或四个,串联臂谐振子为一个以上且并联臂谐振子为一个以上即可。另外,也可以在并联臂谐振子与接地之间设置电感器。
接着,参照图1及图5对弹性波滤波器1的附加电路20进行说明。附加电路20是通过对第一滤波器电路10的通带外的无用波施加反相位而抑制从弹性波滤波器1输出无用波的电路。
如图1所示,附加电路20设置于与第一路径r1的至少一部分并联连接的第二路径r2。例如,附加电路20与第一路径r1上的多个节点连接。
图5是示出弹性波滤波器1的附加电路20的图。
图5所示的附加电路20的纵耦合弹性波谐振器25具有多个IDT电极31、32、33及34。多个IDT电极31、32、33、34沿着弹性波传播方向d1依次配置。
另外,附加电路20具有多个反射器41、42。多个反射器41、42在弹性波传播方向d1上位于IDT电极31~34的两个外侧,使得夹住多个IDT电极31~34。
多个IDT电极31~34中的IDT电极31、33在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第一端子T1侧的第一路径r1连接。IDT电极32、34在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第二端子T2侧的第一路径r1连接。换言之,IDT电极31、33在从与纵耦合弹性波谐振器25并联连接的串联臂谐振子S14及S15观察时与第一端子T1侧的第一路径r1连接,IDT电极32、34在从串联臂谐振子S14及S15观察时与第二端子T2侧的第一路径r1连接。
第二路径r2具有在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第一端子T1侧连接的两个部分路径r21及r23。部分路径r21是连结接地与节点n3的路径,部分路径r23是连结接地与节点n2的路径。在连结部分路径r21与部分路径r23的路径上设置有电容元件C10。在部分路径r21上配置有IDT电极31,在部分路径r23上配置有IDT电极33。
另外,第二路径r2具有在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第二端子T2侧连接的两个部分路径r22及r24。部分路径r22是连结接地与节点n5的路径,部分路径r24是连结接地与节点n5的路径。在部分路径r22上配置有IDT电极32及电容元件C2,在部分路径r24上配置有IDT电极34及电容元件C4。
需要说明的是,节点n5是位于连结节点n0与串联臂谐振子S15的路径上的节点。节点n5也可以与节点n0相同。部分路径r22及r24可以通过接线而与节点n5连接,也可以不接线而分别与节点n5连接。
在上述中,示出了部分路径r21与节点n3连接、部分路径r23与节点n2连接、部分路径r22及r24与节点n5连接的例子,但不限于此。部分路径r21、r23及部分路径r22、r24分别与配置于第一路径r1的一个以上的串联臂谐振子的两个外侧的节点连接即可。例如,部分路径r21、r23也可以与节点n1连接,也可以连接到连结第一端子T1与串联臂谐振子S11的第一路径r1上的节点。例如,部分路径r22、r24也可以与节点n4连接。
[附加电路所包含的纵耦合弹性波谐振器的构造]
参照图5及图6对附加电路20所包含的纵耦合弹性波谐振器25的构造进行说明。纵耦合弹性波谐振器25例如由多个声表面波(SAW:Surface Acoustic Wave)谐振子构成。
图6是示意性示出附加电路20所包含的纵耦合弹性波谐振器25的构造的俯视图及剖视图。需要说明的是,图6所示的纵耦合弹性波谐振器25用于说明谐振子的典型构造,IDT电极及反射器所包含的电极指的根数、长度等不限于此。
纵耦合弹性波谐振器25由具有压电性的压电性基板320和形成在压电性基板320上的多个IDT电极31~34构成。在弹性波传播方向d1上的纵耦合弹性波谐振器25的两个外侧设置有多个反射器41、42。
如图6的剖视图所示,纵耦合弹性波谐振器25及多个反射器41、42的电极由压电性基板320、构成IDT电极31~34及反射器41、42的电极的电极层325、以及在压电性基板320上设置为覆盖IDT电极31~34及反射器41、42的电介质层326形成。
压电性基板320例如是切割角127.5°的LiNbO3基板(铌酸锂基板)。在作为在压电性基板320内传播的弹性波而使用瑞利(Rayleigh)波的情况下,压电性基板320的切割角期望为120°±20°或者300°±20°。
电极层325具有层叠了多个金属层的构造。电极层325例如通过从上依次层叠Ti层、Al层、Ti层、Pt层、NiCr层而形成。
电介质层326例如是以二氧化硅(SiO2)为主成分的膜。设置电介质层326的目的在于,调整纵耦合弹性波谐振器25的频率温度特性、保护电极层325不受外部环境影响、或者提高耐湿性等。例如,电介质层326的厚度也可以形成为,串联臂谐振子S11~S15比并联臂谐振子P11~P14厚。另外,电介质层326也可以通过串联臂谐振子S11~S15中的反谐振频率最高的串联臂谐振子和纵耦合弹性波谐振器25的各IDT电极31~34形成为厚度相同。
如图6的俯视图所示,各IDT电极31~34具有梳齿状的形状。IDT电极31具有成为一对的第一梳齿状电极31a及第二梳齿状电极31b。IDT电极32具有成为一对的第一梳齿状电极32a及第二梳齿状电极32b。IDT电极33具有成为一对的第一梳齿状电极33a及第二梳齿状电极33b。IDT电极34具有成为一对的第一梳齿状电极34a及第二梳齿状电极34b。
第一梳齿状电极31a经由部分路径r21与节点n3连接,第一梳齿状电极33a经由部分路径r23与节点n2连接。第一梳齿状电极32a经由部分路径r22与节点n5连接,第一梳齿状电极34a经由部分路径r24与节点n5连接。第二梳齿状电极31b、32b、33b、34b分别与接地连接。
第一梳齿状电极31a~34a分别具有沿弹性波传播方向d1延伸的汇流条电极37a、以及与汇流条电极37a连接且沿与弹性波传播方向d1正交的正交方向d2延伸的多个电极指36a。第二梳齿状电极31b~34b分别具有沿弹性波传播方向d1延伸的汇流条电极37b、以及与汇流条电极37b连接且沿正交方向d2延伸的多个电极指36b。多个电极指36a及36b在正交方向d2上相互交错对插,并且在弹性波传播方向d1上对置。以下,有时将电极指36a及36b双方称为电极指36。
各IDT电极31~34的谐振频率例如能够通过改变在弹性波传播方向d1上相邻的电极指36的中心间距离即排列间距p而进行调整。例如IDT电极31的电极指36的排列间距p通过用位于IDT电极31的最外端的两个电极指的中心间距离除以(IDT电极31的电极指36的数量-1)来计算。在本实施方式中,通过将电极指36的排列间距p设定为规定条件,来抑制弹性波滤波器1的消耗功率变大。
[弹性波滤波器的消耗功率]
参照图7~图10对弹性波滤波器1的消耗功率进行说明。以下,以输入输出Band8的高频信号的多工器5的弹性波滤波器1举例来进行说明。
图7是示出弹性波滤波器1的消耗功率的图。需要说明的是,该图及以下的图所示的消耗功率是每单位面积的消耗功率。作为消耗功率的单位的“mW/□”的□是指对数×交叉宽度。
在图7的(a)中,示出向弹性波滤波器1输入了29dBm的功率时的弹性波滤波器1的消耗功率。该图中的虚线的波形是比较例1的弹性波滤波器1的消耗功率,实线的波形是实施例1的弹性波滤波器1的消耗功率。在该图中还示出弹性波滤波器1的通带的最低的频率fL1及最高的频率fH1。
在图7的(b)中示出比较例1的弹性波滤波器1的附加电路20的IDT电极的电极参数,在图7的(c)中示出实施例1的弹性波滤波器1的附加电路20的IDT电极的电极参数。
在图7的(b)及(c)中,作为电极参数,示出IDT电极31~34的对数、波长λ及电极指36的排列间距p等。需要说明的是,IDT电极31~34的波长λ相当于电极指36的排列间距p的2倍。IDT电极31~34的占空比是0.5,交叉宽度是17.5λ。
另外,在该图中,示出与各IDT电极31~34对应的各个频率比。各频率比是将通带的最高的频率fH1(在该例中为915MHz)作为分母、将与将各IDT电极31~34的电极指36的排列间距p设为1/2波长时的波长对应的频率作为分子时的值。与波长对应的频率通过用声速(在该例中为3506m/s)除以波长来计算。
在该图中,示出输入高频信号的IDT电极31及33的频率比即输入侧的频率比(fix/fH1)。另外,在该图中,还示出输出高频信号的IDT电极32及34的频率比即输出侧的频率比(fox/fH1)。需要说明的是,频率fix是与将IDT电极31及33的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率,频率fox是与将IDT电极32及34的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率。
在使用图7的(b)及(c)所示的值的情况下,输入侧的频率比也通过(IDT电极31的频率比×IDT电极31的对数/IDT电极31、33的对数的合计)+(IDT电极33的频率比×IDT电极33的对数/IDT电极31、33的对数的合计)这样的式子求出。输出侧的频率比也通过(IDT电极32的频率比×IDT电极32的对数/IDT电极32、34的对数的合计)+(IDT电极34的频率比×IDT电极34的对数/IDT电极32、34的对数的合计)这样的式子求出。
如图7的(a)所示,在实施例1中,具有IDT电极31~34的纵耦合弹性波谐振器25的激励响应,位于比弹性波滤波器1的通带靠高频侧的位置,即,位于比功率投入点靠高频侧的位置。由此,在实施例1的弹性波滤波器1中,能够减小功率投入点的消耗功率。
另外,在实施例1的弹性波滤波器1中,在作为通带的一部分的900MHz~915MHz中,与比较例1的弹性波滤波器1相比,消耗功率变小。于是,针对IDT电极31~34的电极参数的差异所引起的消耗功率的差异进一步进行说明。
图8是示出改变了纵耦合弹性波谐振器25的输入侧的频率比时的弹性波滤波器1的消耗功率的图。该图及以下的图所示的消耗功率是通带的最高的频率fH1中的消耗功率。
在该图中,示出将纵耦合弹性波谐振器25的输出侧的频率比(fox/fH1)固定为1.036并改变了输入侧的频率比(fix/fH1)的情况下的消耗功率。IDT电极31~34的对数、占空比及交叉宽度与图7的(c)相同。需要说明的是,在以下的评价中,如果消耗功率约为5.00E-3dBm,则认为是不发生断线等故障的程度的较小的消耗功率。
如图8所示,在弹性波滤波器1中,在纵耦合弹性波谐振器25的输入侧的频率比为1.044时,消耗功率较大,在纵耦合弹性波谐振器25的输入侧的频率比为1.055及1.066时,消耗功率变小。即,在弹性波滤波器1中,通过将根据输入侧的IDT电极31、33的电极指36的排列间距p计算的频率fix设定为成为1.055×fH1<fix的关系,能够减小消耗功率。
图9是示出改变了纵耦合弹性波谐振器25的输出侧的频率比时的弹性波滤波器1的消耗功率的图。
在该图中,示出将纵耦合弹性波谐振器25的输入侧的频率比(fix/fH1)固定为1.055并改变了输出侧的频率比(fix/fH1)的情况下的消耗功率。IDT电极31~34的对数、占空比及交叉宽度与图7的(c)相同。
如图9所示,在弹性波滤波器1中,在纵耦合弹性波谐振器25的输出侧的频率比为1.033时,消耗功率较大,在纵耦合弹性波谐振器25的输出侧的频率比为1.036及1.04时,消耗功率变小。即,在弹性波滤波器1中,通过将根据输出侧的IDT电极32、34的电极指36的排列间距p计算的频率fox设定为成为1.036×fH1<fox的关系,能够减小消耗功率。
图10是示出改变了纵耦合弹性波谐振器25的输入侧及输出侧的频率比时的弹性波滤波器1的消耗功率的图。
在该图中,示出将纵耦合弹性波谐振器25的输入侧的频率比及输出侧的频率比的合计值设为2.09(=1.055+1.035)并改变了输入侧及输出侧的频率比的值的情况下的消耗功率。需要说明的是,图10的横轴示出输入侧的频率比。IDT电极31~34的占空比及交叉宽度与图7的(c)相同。IDT电极31~34的对数为8.5,分别为相同值。根据IDT电极31~34的电极指的排列间距p的总平均计算的频率fx比频率fH1的1.15倍小(fx<1.15×fH1)。
如图10所示,在弹性波滤波器1中,在“输入侧的频率比=1.035(输出侧的频率比=1.056)”时和在“输入侧的频率比=1.044(输出侧的频率比=1.047)”时,消耗功率几乎不变。与此相对,当相比于输出侧增大输入侧的频率比、且设为“输入侧的频率比=1.055(输出侧的频率比=1.036)”时,弹性波滤波器1的消耗功率变小。即,在弹性波滤波器1中,通过将频率fix及频率fox设定为成为fox<fix的关系,能够减小消耗功率。
[实施方式1的变形例1]
对实施方式1的变形例1的弹性波滤波器1A进行说明。在变形例1中,对改变了附加电路20的反射器41、42的电极指的根数的情况进行说明。
图11是示出改变了变形例1的弹性波滤波器1A的附加电路20的反射器41、42的电极指的根数时的消耗功率的图。
在该图中,示出将纵耦合弹性波谐振器25的输出侧的频率比(fox/fH1)固定为1.036、将输入侧的频率比(fix/fH1)固定为1.055并改变了反射器41、42的电极指的根数的情况下的消耗功率。以下,示出改变了一个反射器41的电极指的根数的情况,但另一个反射器42的电极指的根数也同样地改变。IDT电极31~34的对数、占空比及交叉宽度与图7的(c)相同。
如图11所示,在弹性波滤波器1A中,在反射器41的电极指的根数为6根及10根时,消耗功率较小,在反射器41的电极指的根数为15根以上时,消耗功率变大。即,在弹性波滤波器1A中,通过减少多个反射器41、42各自的电极指的根数,具体而言减少到10根以下,从而能够降低反射器41及42的多重反射,减弱IDT电极31~34的激励。由此,能够减小弹性波滤波器1A的消耗功率。
[实施方式1的变形例2]
参照图12~图16对实施方式1的变形例2的弹性波滤波器1B进行说明。在变形例2中,针对在第一滤波器电路10的IDT电极61应用活塞模式且在附加电路20的IDT电极31~34未应用活塞模式的例子进行说明。
图12是变形例2的弹性波滤波器1B的第一滤波器电路10所包含的IDT电极的俯视图及剖视图。示出构成第一滤波器电路10的弹性波谐振子的IDT电极61。
如图12所示,第一滤波器电路10所包含的IDT电极61具有成为一对的第一梳齿状电极61a及第二梳齿状电极61b。第一梳齿状电极61a具有沿弹性波传播方向d1延伸的汇流条电极67a、以及与汇流条电极67a连接且沿正交方向d2延伸的多个电极指66a。第二梳齿状电极61b具有沿弹性波传播方向d1延伸的汇流条电极67b、以及与汇流条电极67b连接且沿正交方向d2延伸的多个电极指66b。多个电极指66a及66b在正交方向d2上相互交错对插,并且在弹性波传播方向d1上对置。
在变形例2中,在该IDT电极61应用了活塞模式。在图12所示的例子中,通过在电极指66a及66b分别形成负荷膜62,从而在IDT电极61应用活塞模式。负荷膜62是成为电极指66a、66b的重量的电极,设置在电极指66a、66b的顶端及中央。例如,电极指66a的中央是在电极指66a延伸的方向上除了电极指66a的两端(根部及顶端)的部分。
图13是弹性波滤波器1B的附加电路20所包含的IDT电极的俯视图及剖视图。在图13中示出构成附加电路20的纵耦合弹性波谐振器25的IDT电极31~34。
在附加电路20所包含的IDT电极31~34未应用活塞模式。具体而言,如图13所示,在IDT电极31~34的电极指36未形成负荷膜62,电极指36沿着正交方向d2成为相同的厚度。
在变形例2中,第一滤波器电路10所包含的IDT电极61的至少一部分应用活塞模式,但在附加电路20所包含的多个IDT电极31~34未应用活塞模式。根据该结构,能够抑制在IDT电极31~34过度地封闭能量,降低施加到IDT电极31~34的功率。由此,能够抑制弹性波滤波器1B的寿命变短。
图14是示出第一滤波器电路10所包含的IDT电极的另一例的图。在图14中也示出构成第一滤波器电路10的弹性波谐振子的IDT电极61。
在图14所示的例子中,通过在电极指66a及66b分别形成幅宽部63,从而在IDT电极61应用活塞模式。幅宽部63是成为电极指66a、66b的重量的部分,设置在电极指66a、66b的顶端及中央。
幅宽部63具有宽度比电极指66a宽的形状。图14所示的幅宽部63是长方形状,但不限于此,也可以是T字形状、加号(+)字形状或凸形状。
在图14所示的例子中,第一滤波器电路10所包含的IDT电极61的至少一部分也应用活塞模式,但在附加电路20所包含的多个IDT电极31~34未应用活塞模式。根据该结构,能够抑制在IDT电极31~34过度地封闭能量,降低施加到IDT电极31~34的功率。由此,能够抑制弹性波滤波器1B的寿命变短。
图15是示出第一滤波器电路10所包含的IDT电极的另一例的图。在图15中也示出构成第一滤波器电路10的弹性波谐振子的IDT电极61。
在图15所示的例子中,电极指66a及66b分别通过连结杆64连结,由此在IDT电极61应用活塞模式。
连结杆64是细长的棒状的电极,例如,在电极指66a的中央部沿正交方向d2延伸,将多个电极指66a连结。连结杆64的宽度为电极指66a的宽度以下。
在图15所示的例子中,第一滤波器电路10所包含的IDT电极61的至少一部分也应用活塞模式,但在附加电路20所包含的多个IDT电极31~34未应用活塞模式。根据该结构,能够抑制在IDT电极31~34过度地封闭能量,降低施加到IDT电极31~34的功率。由此,能够抑制弹性波滤波器1B的寿命变短。
图16是示出第一滤波器电路10所包含的IDT电极的另一例的图。在图16中,也示出构成第一滤波器电路10的弹性波谐振子的IDT电极61。
在图16所示的例子中,电极指66a及66b分别具有幅宽部63,并且通过连结杆64而连结,由此,在IDT电极61应用活塞模式。
在图16所示的例子中,第一滤波器电路10所包含的IDT电极61的至少一部分也应用活塞模式,但在附加电路20所包含的多个IDT电极31~34未应用活塞模式。根据该结构,能够抑制在IDT电极31~34过度地封闭能量,降低施加到IDT电极31~34的功率。由此,能够抑制弹性波滤波器1B的寿命变短。
图17是示出实施方式1的变形例2的弹性波滤波器1B的承受功率的图。在图17的(a)中示出弹性波滤波器1B的示意图。在图17的(b)中,用圆圈标记示出变形例2的弹性波滤波器1B的承受功率,用三角标记示出比较例的弹性波滤波器的承受功率。需要说明的是,变形例2是在附加电路20未应用活塞模式的例子,比较例是在附加电路20应用了活塞模式的例子。如图17的(b)所示,未应用活塞模式的变形例2与应用了活塞模式的比较例相比,承受功率提高。
[实施方式1的变形例3]
参照图18及图19对实施方式1的变形例3的弹性波滤波器1C进行说明。在变形例3中,针对附加电路20的交叉电极指与偏置电极指的间隔(间隙)g比第一滤波器电路10大的例子进行说明。
图18是示出变形例3的弹性波滤波器1C的第一滤波器电路10所包含的IDT电极61的俯视图。
如图18所示,第一滤波器电路10的IDT电极61具有成为一对的第一梳齿状电极61a及第二梳齿状电极61b。第一梳齿状电极61a具有沿弹性波传播方向d1延伸的汇流条电极67a、以及与汇流条电极67a连接且沿正交方向d2(正侧)延伸的交叉电极指68a及偏置电极指69a。第二梳齿状电极61b具有沿弹性波传播方向d1延伸的汇流条电极67b、以及与汇流条电极67b连接且沿正交方向d2(负侧)延伸的交叉电极指68b及偏置电极指69b。
交叉电极指68a、68b在从弹性波传播方向d1观察时相互交叉。偏置电极指69a的长度比交叉电极指68a短,偏置电极指69b的长度比交叉电极指68b短。第一梳齿状电极61a的交叉电极指68a与第二梳齿状电极61b的偏置电极指69b在正交方向d2上相互对置,第二梳齿状电极61b的交叉电极指68b与第一梳齿状电极61a的偏置电极指69a在正交方向d2上相互对置。
图19是示出变形例3的弹性波滤波器1C的附加电路20所包含的IDT电极31的俯视图。以下,以IDT电极31~34中的IDT电极31举例进行说明。
如图19所示,附加电路20的IDT电极31由第一梳齿状电极31a及第二梳齿状电极31b构成。第一梳齿状电极31a具有沿弹性波传播方向d1延伸的汇流条电极37a、以及与汇流条电极37a连接且沿正交方向d2(正侧)延伸的交叉电极指38a及偏置电极指39a。第二梳齿状电极31b具有沿弹性波传播方向d1延伸的汇流条电极37b、以及与汇流条电极37b连接且沿正交方向d2(负侧)延伸的交叉电极指38b及偏置电极指39b。
交叉电极指38a、38b在从弹性波传播方向d1观察时相互交叉。偏置电极指39a的长度比交叉电极指38a短,偏置电极指39b的长度比交叉电极指38b短。第一梳齿状电极31a的交叉电极指38a与第二梳齿状电极31b的偏置电极指39b在正交方向d2上相互对置,第二梳齿状电极31b的交叉电极指38b与第一梳齿状电极31a的偏置电极指39a在正交方向d2上相互对置。
在变形例3中,在附加电路20的IDT电极31中在正交方向d2上相互对置的交叉电极指38a与偏置电极指39b的间隔g比在第一滤波器电路10的IDT电极61中在正交方向d2上相互对置的交叉电极指68a与偏置电极指69b的间隔g宽。另外,在附加电路20的IDT电极31中在正交方向d2上相互对置的交叉电极指38b与偏置电极指39a的间隔g比在第一滤波器电路10的IDT电极61中在正交方向d2上相互对置的交叉电极指68b与偏置电极指69a的间隔g宽。根据该结构,能够抑制在IDT电极31~34过度地封闭能量,降低施加到IDT电极31~34的功率。由此,能够抑制弹性波滤波器1C的寿命变短。
[实施方式1的变形例4]
参照图20对实施方式1的变形例4的弹性波滤波器1D进行说明。在变形例4中,针对在IDT电极形成的电介质层326的膜厚不同的例子进行说明。
图20是示出在变形例4的弹性波滤波器1D的第一滤波器电路10及附加电路20形成的电介质层326的剖视图。
电介质层326例如是以二氧化硅(SiO2)为主成分的膜。设置电介质层326的目的在于,调整弹性波谐振子及纵耦合弹性波谐振器25的频率温度特性、保护电极层325不受外部环境影响、或者提高耐湿性等。在图20中,电介质层326的厚度形成为,形成于串联臂谐振子S11~S15的IDT电极比形成于并联臂谐振子P11~P14的IDT电极厚。另外,电介质层326形成为,在串联臂谐振子S11~S15中的反谐振频率最高的串联臂谐振子和纵耦合弹性波谐振器25的各IDT电极31~34中,厚度相同。根据该结构,在梯形型滤波器中,能够使串联臂谐振子的反谐振频率最高的串联臂谐振子与附加电路20的温度特性匹配。
[实施方式1的变形例5]
参照图21对实施方式1的变形例5的弹性波滤波器1进行说明。
图21是具备实施方式1的变形例5的弹性波滤波器1的多工器5的电路结构图。
在图21所示的弹性波滤波器1中,在第二路径r2设置有电容元件C1及C3。具体而言,在部分路径r21上配置有IDT电极31及电容元件C1,在部分路径r23上配置有IDT电极33及电容元件C3。在变形例5的弹性波滤波器1中,也能够确保衰减频带中的衰减量,并且减小消耗功率。
(实施方式2)
参照图22及图23对实施方式2进行说明。在实施方式2中,针对弹性波滤波器1E的通带被设定为比第二滤波器电路50的通带高的例子进行说明。
图22是具备实施方式2的弹性波滤波器1E的多工器5E的电路结构图。
多工器5E是具备多个滤波器的分波器或合波器。多工器5E具备具有第一滤波器电路10及附加电路20的弹性波滤波器1E、以及第二滤波器电路50。另外,多工器5E具备与弹性波滤波器1E连接的第一端子T1、与弹性波滤波器1E及第二滤波器电路50双方连接的第二端子T2、以及与第二滤波器电路50连接的第三端子T3。弹性波滤波器1E、第二滤波器电路50、第一端子T1、第二端子T2及第三端子T3的基本结构与实施方式1相同。
对于多工器5E,例如输入输出Band13(发送频带:777MHz-787MHz,接收频带:746MHz-756MHz)或者Band20(发送频带:832MHz-862MHz,接收频带:791MHz-821MHz)的高频信号。
实施方式2的弹性波滤波器1E为了确保衰减频带中的衰减量并且减小消耗功率而具有以下所示的结构。
图23是示出弹性波滤波器1E的通带及衰减频带的图。需要说明的是,在该图中还示出第二滤波器电路50的通带。
在图23中,示出第一滤波器电路10的通带的最低的频率fL3及最高的频率fH3。另外,在图23中,示出位于比第一滤波器电路10的通带靠低频侧的位置的衰减频带的规定频率fL4。规定频率fL4例如是第二滤波器电路50的通带的最低的频率。该图中的衰减频带内的频率fH4例如是第二滤波器电路50的通带的最高的频率。
这里,将与将纵耦合弹性波谐振器25的多个IDT电极31~34的电极指36的排列间距p的总平均设为1/2波长(λ/2)时的波长对应的频率定义为fy。
另外,将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第一端子T1侧的第一路径r1连接的IDT电极31及33的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长(λ/2)时的波长对应的频率定义为fiy。另外,将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第二端子T2侧的第一路径r1连接的IDT电极32及34的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长(λ/2)时的波长对应的频率定义为foy。
在这些定义下,本实施方式的弹性波滤波器1E具有如下关系:
(3)fly<0.945×fL3,并且,
(4)fL4<foy<0.965×fL3。
根据该结构,能够确保弹性波滤波器1E的衰减频带中的衰减量,并且减小消耗功率。
例如,如(3)的fiy<0.945×fL3及(4)的foy<0.965×fL3所示,将频率fiy及频率foy设定得较低,使得不过于接近弹性波滤波器1E的通带,由此,能够抑制消耗功率过于增大。另外,如(4)的fL4<foy所示,使频率foy比规定频率fL4高而进入衰减频带内,由此,能够确保衰减频带中的衰减量。需要说明的是,根据IDT电极31~34的电极指36的排列间距p的总平均计算的频率fy期望为0.85×fL3≤fy,使得频率fiy与频率foy不过于大幅偏离。另外,在弹性波滤波器1E中,通过将频率fiy及频率foy设定为成为fiy<foy的关系,能够减小消耗功率。
(总结)
如以上说明的那样,本实施方式的弹性波滤波器1具备第一端子T1及第二端子T2、设置于连结第一端子T1与第二端子T2的第一路径r1的第一滤波器电路10、以及设置于与第一路径r1的至少一部分并联连接的第二路径r2的附加电路20。附加电路20具有纵耦合弹性波谐振器25。纵耦合弹性波谐振器25具有沿着弹性波传播方向d1配置的多个IDT电极31~34。将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第一端子T1侧的第一路径r1连接的IDT电极31、33的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fix,将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第二端子T2侧的第一路径r1连接的IDT电极32、34的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fox,将第一滤波器电路10的通带的最高的频率设为fH1,将位于比第一滤波器电路10的通带靠高频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fH2,在该情况下,弹性波滤波器1具有成为(1)1.055×fH1<fix的关系,并且具有
成为(2)1.035×fH1<fox<fH2的关系。
例如,如(1)的1.055×fH1<fix及(2)的1.035×fH1<fox所示,将频率fix及频率fox设定得较高,使得不过于接近弹性波滤波器1的通带,由此,能够抑制消耗功率过于增大。另外,如(2)的fox<fH2所示,使频率fox比规定频率fH2低而进入衰减频带内,由此,能够确保衰减频带中的衰减量。由此,能够确保弹性波滤波器1的衰减频带中的衰减量,并且减小消耗功率。
另外,弹性波滤波器1也可以还具有成为fox<fix的关系。
根据该结构,例如,能够提高输入高频信号的IDT电极31、33侧的频率fix。由此,能够使上述的频率fix从通带离开,能够进一步减小弹性波滤波器1的消耗功率。
另外,衰减频带内的规定频率也可以是与第一滤波器电路10不同的第二滤波器电路50的通带的最高的频率。
根据该结构,能够确保第二滤波器电路50的通带中的衰减量。由此,能够抑制第二滤波器电路50的通过特性下降。
另外,也可以是,第一滤波器电路10是规定频段中的发送滤波器的电路,第二滤波器电路50是规定频段中的接收滤波器的电路。
根据该结构,能够确保接收滤波器的通带中的衰减量。由此,能够抑制接收滤波器的通过特性下降。
另外,也可以是,附加电路20具有在弹性波传播方向d1上位于纵耦合弹性波谐振器25的两个外侧的多个反射器41、42,多个反射器41、42各自的电极指的根数是10根以下。
根据该结构,能够降低反射器41及42的多重反射,减弱IDT电极31~34的激励。由此,能够减小弹性波滤波器1A的消耗功率。
另外,附加电路20也可以还具有设置在第二路径r2上的电容元件(电容元件C1、C2、C3及C4中的至少一个)。
根据该结构,能够降低进入IDT电极31~34的瞬时功率。由此,能够抑制弹性波滤波器1的寿命变短。
本实施方式的弹性波滤波器1B具备第一端子T1及第二端子T2、设置于连结第一端子T1与第二端子T2的第一路径r1的第一滤波器电路10、以及设置于与第一路径r1的至少一部分并联连接的第二路径r2的附加电路20。附加电路20具有纵耦合弹性波谐振器25。纵耦合弹性波谐振器25具有沿着弹性波传播方向d1配置的多个IDT电极31~34。第一滤波器电路10由于纵耦合弹性波谐振器25的多个IDT电极31~34不同的其他的多个IDT电极61构成,第一滤波器电路10所包含的其他的多个IDT电极61的至少一部分应用活塞模式,附加电路20所包含的多个IDT电极31~34未应用活塞模式。
根据该结构,能够降低附加电路20所包含的IDT电极31~34内的激励能量。由此,能够抑制弹性波滤波器1B的寿命变短。
本实施方式的弹性波滤波器1C具备第一端子T1及第二端子T2、设置于连结第一端子T1与第二端子T2的第一路径r1的第一滤波器电路10、以及设置于与第一路径r1的至少一部分并联连接的第二路径r2的附加电路20。附加电路20具有纵耦合弹性波谐振器25。纵耦合弹性波谐振器25具有沿着弹性波传播方向d1配置的多个IDT电极31~34。第一滤波器电路10由与纵耦合弹性波谐振器25的多个IDT电极31~34不同的其他的多个IDT电极61构成,第一滤波器电路10所包含的其他的多个IDT电极61及附加电路20所包含的多个IDT电极31~34分别具有一对第一梳齿状电极61a、31a~34a及第二梳齿状电极61b、31b~34b。第一梳齿状电极61a、31a~34a及第二梳齿状电极61b、31b~34b分别具有沿弹性波传播方向d1延伸的汇流条电极、以及与汇流条电极连接且沿与弹性波传播方向d1正交的正交方向d2延伸的多个交叉电极指及多个偏置电极指。第一梳齿状电极的交叉电极指与第二梳齿状电极的偏置电极指在正交方向d2上相互对置,第二梳齿状电极的交叉电极指与第一梳齿状电极的偏置电极指在正交方向d2上相互对置。在附加电路20中在正交方向d2上相互对置的交叉电极指38a(或38b)与偏置电极指39b(或39b)的间隔g比在第一滤波器电路10中在正交方向d2上相互对置的交叉电极指68a(或68b)与偏置电极指69b(或69a)的间隔g宽。
根据该结构,能够降低附加电路20所包含的IDT电极31~34内的激励能量。由此,能够抑制弹性波滤波器1C的寿命变短。
另外,将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第一端子T1侧的第一路径r1连接的IDT电极31、33的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fix,将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第二端子T2侧的第一路径r1连接的IDT电极32、34的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fox,将第一滤波器电路10的通带的最高的频率设为fH1,将位于比第一滤波器电路10的通带靠高频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fH2,在该情况下,弹性波滤波器1B或1C也可以具有
成为(1)1.055×fH1<fix的关系,并且具有
成为(2)1.035×fH1<fox<fH2的关系。
例如,如(1)的1.055×fH1<fix及(2)的1.035×fH1<fox所示,将频率fix及频率fox设定得较高,使得不过于接近弹性波滤波器1B或1C的通带,由此,能够抑制消耗功率过于增大。另外,如(2)的fox<fH2所示,使频率fox比规定频率fH2低而进入衰减频带内,由此能够确保衰减频带中的衰减量。由此,能够确保弹性波滤波器1B或1C的衰减频带中的衰减量,并且减小消耗功率。
另外,弹性波滤波器1B或1C也可以还具有成为fox<fix的关系。
根据该结构,例如,能够提高输入高频信号的IDT电极31、33侧的频率fix。由此,能够使上述的频率fix与通带分离,能够进一步减小弹性波滤波器1B或1C的消耗功率。
另外,衰减频带内的规定频率也可以是与第一滤波器电路10不同的第二滤波器电路50的通带的最高的频率。
根据该结构,能够确保第二滤波器电路50的通带中的衰减量。由此,能够抑制第二滤波器电路50的通过特性下降。
另外,也可以是,第一滤波器电路10是规定频段中的发送滤波器的电路,第二滤波器电路50是规定频段中的接收滤波器的电路。
根据该结构,能够确保接收滤波器的通带中的衰减量。由此,能够抑制接收滤波器的通过特性下降。
另外,也可以是,附加电路20具有在弹性波传播方向d1上位于纵耦合弹性波谐振器25的两个外侧的多个反射器41、42,多个反射器41、42各自的电极指的根数是10根以下。
根据该结构,能够降低反射器41及42的多重反射,减弱IDT电极31~34的激励。由此,能够减小弹性波滤波器1B或1C的消耗功率。
另外,附加电路20也可以还具有设置在第二路径r2上的电容元件(电容元件C1、C2、C3及C4中的至少一个)。
根据该结构,能够降低进入IDT电极31~34的瞬时功率。由此,能够抑制弹性波滤波器1的寿命变短。
另外,将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第一端子T1侧的第一路径r1连接的IDT电极31、33的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fiy,将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第二端子T2侧的第一路径r1连接的IDT电极32、34的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为foy,将第一滤波器电路10的通带的最低的频率设为fL3,将位于比第一滤波器电路10的通带靠低频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fL4,在该情况下,弹性波滤波器1B或1C具有
成为(3)fiy<0.945×fL3的关系,并且具有
成为(4)fL4<foy<0.965×fL3的关系。
例如,如(3)的fly<0.945×fL3及(4)的foy<0.965×fL3所示,将频率fiy及频率foy设定得较低,使得不过于接近弹性波滤波器1B或1C的通带,由此,能够抑制消耗功率过于增大。另外,如(4)的fL4<foy所示,使频率foy比规定频率fL4高而进入衰减频带内,由此,能够确保衰减频带中的衰减量。由此,能够确保弹性波滤波器1B或1C的衰减频带中的衰减量,并且减小消耗功率。
本实施方式的弹性波滤波器1E具备第一端子T1及第二端子T2、设置于连结第一端子T1与第二端子T2的第一路径r1的第一滤波器电路10、以及设置于与第一路径r1的至少一部分并联连接的第二路径r2的附加电路20。附加电路20具有纵耦合弹性波谐振器25。纵耦合弹性波谐振器25具有沿着弹性波传播方向d1配置的多个IDT电极31~34。将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第一端子T1侧的第一路径r1连接的IDT电极31、33的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fiy,将与将多个IDT电极31~34中的在从纵耦合弹性波谐振器25观察时与第二端子T2侧的第一路径r1连接的IDT电极32、34的电极指36的排列间距p的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为foy,将第一滤波器电路10的通带的最低的频率设为fL3,将位于比第一滤波器电路10的通带靠低频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fL4,在该情况下,弹性波滤波器1E具有
成为(3)fiy<0.945×fL3的关系,并且具有
成为(4)fL4<foy<0.965×fL3的关系。
例如,如(3)的fiy<0.945×fL3及(4)的foy<0.965×fL3所示,将频率fiy及频率foy设定得较低,使得不过于接近弹性波滤波器1E的通带,由此,能够抑制消耗功率过于增大。另外,如(4)的fL4<foy所示,使频率foy比规定频率fL4高而进入衰减频带内,由此,能够确保衰减频带中的衰减量。由此,能够确保弹性波滤波器1E的衰减频带中的衰减量,并且减小消耗功率。
另外,衰减频带内的规定频率也可以是与第一滤波器电路10不同的第二滤波器电路50的通带的最低的频率。
根据该结构,能够确保第二滤波器电路50的通带中的衰减量。由此,能够抑制第二滤波器电路50的通过特性下降。
另外,也可以是,第一滤波器电路10是规定频段中的发送滤波器的电路,第二滤波器电路50是规定频段中的接收滤波器的电路。
根据该结构,能够确保接收滤波器的通带中的衰减量。由此,能够抑制接收滤波器的通过特性下降。
本实施方式的多工器5具备上述的弹性波滤波器1、以及具有第二滤波器电路50的其他滤波器。
由此,能够提供确保了第二滤波器电路50的通带中的衰减量并抑制了弹性波滤波器1的消耗功率的多工器5。
本实施方式的多工器5E具备上述的弹性波滤波器1E、以及具有第二滤波器电路50的其他滤波器。
由此,能够提供确保了第二滤波器电路50的通带中的衰减量并抑制了弹性波滤波器1E的消耗功率的多工器5E。
(其他实施方式)
以上,举出实施方式对本发明的实施方式的弹性波滤波器等进行了说明,但对于本发明,将上述实施方式中的任意的结构要素组合而实现的其他的实施方式、在不脱离本发明的主旨的范围内对上述实施方式实施本领域技术人员想到的各种变形而得到的变形例、包括本发明的弹性波滤波器或多工器的高频前端电路及通信装置也包含在本发明中。
在上述中,示出了纵耦合弹性波谐振器25具备四个IDT电极的例子,但不限于此,IDT电极的数量也可以为两个以上。
在上述中,示出了弹性波滤波器1是发送滤波器的例子,但不限于此,弹性波滤波器1也可以是接收滤波器。另外,多工器5不限于具备发送滤波器及接收滤波器双方的结构,也可以是具备多个发送滤波器或者多个接收滤波器的结构。
另外,在上述中,以包括两个滤波器的多工器为例进行了说明,但本发明例如也能够应用于三个滤波器的天线端子被共同化的三工器、六个滤波器的天线端子被共同化的六工器。即,多工器具备两个以上的滤波器即可。
另外,第二滤波器电路50不限于上述的滤波器的结构,能够根据所要求的滤波器特性等适当设计。具体而言,第二滤波器电路50也可以是纵耦合型的滤波器构造,也可以是梯形型的滤波器构造。另外,构成第二滤波器电路50的各谐振子不限于SAW谐振子,例如也可以是BAW(Bulk Acoustic Wave,体声波)谐振子。并且,第二滤波器电路50也可以构成为不使用谐振子,例如也可以是LC谐振滤波器或电介质滤波器。
另外,构成IDT电极31~34及反射器41、42的电极层325及电介质层326的材料不限于上述的材料。另外,IDT电极31~34也可以不是上述层叠构造。IDT电极31~34例如也可以由Ti、Al、Cu、Pt、Au、Ag、Pd等金属或合金构成,另外,也可以通过由上述的金属或合金构成的多个层叠体而构成。
另外,在实施方式1中,作为压电性基板320而示出了具有压电性的基板,但该压电性基板也可以是包括压电体层的单层的压电基板。该情况下的压电性基板例如由LiTaO3的压电单晶或者LiNbO3等其他的压电单晶构成。另外,形成IDT电极31~34的压电性基板320只要具有压电性即可,除了整体包括压电体层的构造之外,还可以使用在支承基板上层叠有压电体层的构造。另外,上述实施方式的压电性基板320的切割角不受限定。即,也可以根据弹性波滤波器的要求通过特性等,适当变更层叠构造、材料及厚度,即便是使用了具有上述实施方式所示的切割角以外的切割角的LiTaO3压电性基板或LiNbO3压电性基板等的声表面波滤波器,也能够起到同样的效果。
产业上的可利用性
本发明作为具有弹性波滤波器的多工器、前端电路及通信装置,能够广泛用于便携电话等通信设备。
附图标记说明
1、1A、1B、1C、1D、1E 弹性波滤波器;
5、5E 多工器;
10第一滤波器电路;
20附加电路;
25纵耦合弹性波谐振器;
31、32、33、34IDT电极;
31a、32a、33a、34a第一梳齿状电极;
31b、32b、33b、34b第二梳齿状电极;
36、36a、36b电极指;
37a、37b汇流条电极;
38a、38b交叉电极指;
39a、39b偏置电极指;
41、42反射器;
50第二滤波器电路;
61IDT电极;
61a第一梳齿状电极;
61b第二梳齿状电极;
62负荷膜;
63幅宽部;
64连结杆;
66a、66b电极指;
67a、67b汇流条电极;
68a、68b交叉电极指;
69a、69b偏置电极指;
320压电性基板;
325电极层;
326电介质层;
330封装基板;
C1、C2、C3、C4、C10电容元件;
d1弹性波传播方向;
d2正交方向;
fix、fox、fly、foy频率;
fL1、fL2、fL3、fL4 通带的最低的频率;
fH1、fH2、fH3、fH4 通带的最高的频率;
g 间隔;
L11、L12 电感器;
n0、n1、n2、n3、n4、n5 节点;
P11、P12、P13、P14、P21、P22 并联臂谐振子;
p 排列间距;
Q21 弹性波谐振器;
R13 电阻元件;
r1 第一路径;
r2 第二路径;
r21、r22、r23、r24 部分路径;
r3 第三路径;
S11、S12、S13、S14、S15、S21 串联臂谐振子;
T1 第一端子;
T2 第二端子;
T3 第三端子。

Claims (20)

1.一种弹性波滤波器,具备:
第一端子及第二端子;
第一滤波器电路,其设置于连结所述第一端子与所述第二端子的第一路径;以及
附加电路,其设置于与所述第一路径的至少一部分并联连接的第二路径,
所述附加电路具有纵耦合弹性波谐振器,
所述纵耦合弹性波谐振器具有沿着弹性波传播方向配置的多个IDT电极,
将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第一端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fix,
将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第二端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fox,
将所述第一滤波器电路的通带的最高的频率设为fH1,
将位于比所述第一滤波器电路的通带靠高频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fH2,在该情况下,
具有成为1.055×fH1<fix的关系,并且,
具有成为1.035×fH1<fox<fH2的关系。
2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器,其中,
所述弹性波滤波器还具有成为fox<fix的关系。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器,其中,
所述衰减频带内的规定频率是与所述第一滤波器电路不同的第二滤波器电路的通带的最高的频率。
4.根据权利要求3所述的弹性波滤波器,其中,
所述第一滤波器电路是规定频段中的发送滤波器的电路,
所述第二滤波器电路是所述规定频段中的接收滤波器的电路。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波滤波器,其中,
所述附加电路具有在所述弹性波传播方向上位于所述纵耦合弹性波谐振器的两个外侧的多个反射器,
所述多个反射器各自的电极指的根数是10根以下。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波滤波器,其中,
所述附加电路还具有设置在所述第二路径上的电容元件。
7.一种弹性波滤波器,具备:
第一端子及第二端子;
第一滤波器电路,其设置于连结所述第一端子与所述第二端子的第一路径;以及
附加电路,其设置于与所述第一路径的至少一部分并联连接的第二路径,
所述附加电路具有纵耦合弹性波谐振器,
所述纵耦合弹性波谐振器具有沿着弹性波传播方向配置的多个IDT电极,
所述第一滤波器电路由与所述纵耦合弹性波谐振器的所述多个IDT电极不同的其他的多个IDT电极构成,
所述第一滤波器电路所包含的所述其他的多个IDT电极的至少一部分应用活塞模式,
所述附加电路所包含的所述多个IDT电极未应用活塞模式。
8.一种弹性波滤波器,具备:
第一端子及第二端子;
第一滤波器电路,其设置于连结所述第一端子与所述第二端子的第一路径;以及
附加电路,其设置于与所述第一路径的至少一部分并联连接的第二路径,
所述附加电路具有纵耦合弹性波谐振器,
所述纵耦合弹性波谐振器具有沿着弹性波传播方向配置的多个IDT电极,
所述第一滤波器电路由与所述纵耦合弹性波谐振器的所述多个IDT电极不同的其他的多个IDT电极构成,
所述第一滤波器电路所包含的所述其他的多个IDT电极及所述附加电路所包含的所述多个IDT电极分别具有一对第一梳齿状电极及第二梳齿状电极,
所述第一梳齿状电极及第二梳齿状电极分别具有沿所述弹性波传播方向延伸的汇流条电极以及与所述汇流条电极连接且沿与所述弹性波传播方向正交的正交方向延伸的多个交叉电极指及多个偏置电极指,
所述第一梳齿状电极的所述交叉电极指与所述第二梳齿状电极的所述偏置电极指在所述正交方向上相互对置,
所述第二梳齿状电极的所述交叉电极指与所述第一梳齿状电极的所述偏置电极指在所述正交方向上相互对置,
在所述附加电路中在所述正交方向上相互对置的所述交叉电极指与所述偏置电极指的间隔,比在所述第一滤波器电路中在所述正交方向上相互对置的所述交叉电极指与所述偏置电极指的间隔宽。
9.根据权利要求7或8所述的弹性波滤波器,其中,
将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第一端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fix,
将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第二端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fox,
将所述第一滤波器电路的通带的最高的频率设为fH1,
将位于比所述第一滤波器电路的通带靠高频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fH2,在该情况下,
具有成为1.055×fH1<fix的关系,并且,
具有成为1.035×fH1<fox<fH2的关系。
10.根据权利要求9所述的弹性波滤波器,其中,
所述弹性波滤波器还具有成为fox<fix的关系。
11.根据权利要求9或10所述的弹性波滤波器,其中,
所述衰减频带内的规定频率是与所述第一滤波器电路不同的第二滤波器电路的通带的最高的频率。
12.根据权利要求11所述的弹性波滤波器,其中,
所述第一滤波器电路是规定频段中的发送滤波器的电路,
所述第二滤波器电路是所述规定频段中的接收滤波器的电路。
13.根据权利要求7至12中任一项所述的弹性波滤波器,其中,
所述附加电路具有在所述弹性波传播方向上位于所述纵耦合弹性波谐振器的两个外侧的多个反射器,
所述多个反射器各自的电极指的根数是10根以下。
14.根据权利要求7至13中任一项所述的弹性波滤波器,其中,
所述附加电路还具有设置在所述第二路径上的电容元件。
15.根据权利要求7或8所述的弹性波滤波器,其中,
将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第一端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fiy,
将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第二端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为foy,
将所述第一滤波器电路的通带的最低的频率设为fL3,
将位于比所述第一滤波器电路的通带靠低频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fL4,在该情况下,
具有成为fiy<0.945×fL3的关系,并且,
具有成为fL4<foy<0.965×fL3的关系。
16.一种弹性波滤波器,具备:
第一端子及第二端子;
第一滤波器电路,其设置于连结所述第一端子与所述第二端子的第一路径;以及
附加电路,其设置于与所述第一路径的至少一部分并联连接的第二路径,
所述附加电路具有纵耦合弹性波谐振器,
所述纵耦合弹性波谐振器具有沿着弹性波传播方向配置的多个IDT电极,
将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第一端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为fiy,
将与将所述多个IDT电极中的在从所述纵耦合弹性波谐振器观察时与所述第二端子侧的所述第一路径连接的IDT电极的电极指的排列间距的平均设为1/2波长时的波长对应的频率设为foy,
将所述第一滤波器电路的通带的最低的频率设为fL3,
将位于比所述第一滤波器电路的通带靠低频侧的位置的衰减频带内的规定频率设为fL4,在该情况下,
具有成为fiy<0.945×fL3的关系,并且,
具有成为fL4<foy<0.965×fL3的关系。
17.根据权利要求16所述的弹性波滤波器,其中,
所述衰减频带内的规定频率是与所述第一滤波器电路不同的第二滤波器电路的通带的最低的频率。
18.根据权利要求17所述的弹性波滤波器,其中,
所述第一滤波器电路是规定频段中的发送滤波器的电路,
所述第二滤波器电路是所述规定频段中的接收滤波器的电路。
19.一种多工器,具备:
权利要求3或4所述的弹性波滤波器;以及
具有所述第二滤波器电路的其他滤波器。
20.一种多工器,具备:
权利要求17或18所述的弹性波滤波器;以及
具有所述第二滤波器电路的其他滤波器。
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