CN117926227A - 一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法及装置，所述方法包括：（1）提供一个板式PEALD沉积设备；（2）将经过切片的太阳能电池片置于载具中，并使得切片断面完全外露，预热；（3）通入TMA、水蒸汽和氮气，在切片断面表面沉积氧化铝薄膜；（4）氮气吹扫，通入TMA、氨气和氮气，在氧化铝薄膜表面沉积氮化铝薄膜；（5）退火处理，破真空出腔。本发明通过在经过切片的太阳能电池片的切片断面表面依次沉积氧化铝层和氮化铝层，钝化修复电池片激光半片切割处损伤，使得修复后的半片太阳能电池片的效率提升0.1~0.3%。
Description
技术领域
本发明涉及光伏电池技术领域，特别是涉及一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法及装置。
背景技术
目前，主流电池片生产采用182mm*182mm以及210mm*210mm等大尺寸硅片，为了提高组件的功率，行业普遍使用半片组件技术，将整片电池片通过激光等方式切割成半片电池片，如182mm*91mm、210mm*105mm，使得通过每根主栅的电流降低为原来的1/2，因此，半片组件内部功率耗损降低为整片组件的1/4。相比全片电池组件，半片组件功率可以提升5%-10%，几乎已经成为大尺寸电池片组件端的标配技术。
半片切割工艺包括前置切割（硅棒以及硅片清洗前）和后置切割（电池片成品后）两类方式，其中，前置切割会导致电池生产效率极大降低，除部分异质结电池（HJT）公司，由于工序少，采用前置切割，目前行业内基本为后置切割方式。
成品电池片半片切割采用激光切割法，不可避免的在切割处会存在结构性机械损伤，应力无法释放；据研究，在激光开槽边缘更容易发生碎裂，而全尺寸硅片电池片组件更容易在主栅位置处发生开裂；半片切割后电池片，在断面处为裸露的硅片以及其他工艺层，该处为强损伤复合中心，反应在电流损失之一的J02电流的增加上，最终使电池片的效率衰减0.2~0.3%，按照182mm电池片组件计算 72片常规版型组件计算，功率损失4~6W。
中国专利文献上公开了“一种晶体硅太阳电池及其边缘钝化方法”，其公告号为CN111430506A，该发明将经切片的太阳电池水平放置，堆垛整齐，使各太阳电池的切片断面处于同一平面，放入到片盒中，片盒连同太阳电池一起放入到氧化铝沉积设备中，在太阳电池的切片断面边缘，镀上一层氧化铝薄膜，之后放入电注入退火炉中退火。该发明专利采用的为市场上常规的ALD氧化铝钝化设备，需要人工进行上、下料，导致生产间断，工艺后的半片电池片呆滞时间长；同时，氧化铝存在吸水特性，在断面处沉积的单层氧化铝薄膜无法长时间保存，超过2~4小时后由于吸收水汽，存在组件功率和可靠性降低的风险，不具备连续批量生产能力。
中国专利文献上公开了“一种切割边缘包含钝化层的太阳能电池及其制备方法”，其公告号为CN117153897A，该发明在切割分片后的电池片上，采用PECVD法或者ALD法，沉积第一层氧化硅和/或氧化铝层，沉积第二层氮化硅层，再使用光注入设备进行光注入氢钝化，最后达成修复激光切割损伤，半片电池效率提升0.2%的效果。该方法在一定程度上降低电池激光切割面的载流子符合速率，对效率有提升。但是方法实施例中提到的，沉积第一层需要堆垛半片电池，放入第一种设备中，在暴露的切割边缘处沉积第一层薄膜；然后需要将电池片取出，放入第二种设备中，采用PECVD法沉积第二层氮化硅薄膜，随后再放入第三种设备光注入炉体中进行氢钝化。光伏行业现有的PECVD方法，全部采用的是单片镀膜方式，在沉积第二层氮化硅薄膜时，需要将堆垛电池片分成单片沉积氮化硅，而半片电池正背面均有银铝栅线，分片时会不可避免会增加银铝栅线的磨损，导致栅线高度降低，电池片FF和Isc下降，每多一次栅线磨损，效率降低0.02~0.05%；同时，该方法需要在现有电池产线上增加至少3道工序和设备，无法满足产业化要求的经济性、规模性、持续量产性。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复的方法及装置，用于解决现有太阳能电池片半片切割损伤钝化修复工艺存在的工序复杂，生产间断、无法连续批量生产及所得半片电池片效率低的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复的方法，包括以下步骤：
步骤（1）：提供一个板式PEALD沉积设备；
所述板式PEALD沉积设备沿生产线进行方向依次包括预热腔、反应腔和退火腔；所述板式PEALD沉积设备内设有电池片输送装置；所述电池片输送装置包括若干个用于装载太阳能电池片的载具和用于驱动所述载具沿生产线进行方向依次进入预热腔、反应腔和退火腔的输送机构；所述载具设有沉积开口，当切片的太阳能电池片置于载具中时，所述太阳能电池片的切片断面从沉积开口完全外露；
步骤（2）：将经过切片的太阳能电池片置于载具中，并使得切片断面完全外露，采用太阳能电池片输送装置将载具输送至预热腔内，抽真空，加热预热腔，预热太阳能电池片；
步骤（3）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至反应腔内，通入TMA、水蒸汽和氮气，在太阳能电池片的切片断面表面沉积氧化铝薄膜；
步骤（4）：采用氮气吹扫反应腔，通入TMA、氨气和氮气，在氧化铝薄膜表面沉积氮化铝薄膜；
步骤（5）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至退火腔内，退火处理，破真空出腔，完成太阳能电池片半片切割损伤钝化修复。
本发明通过采用板式PEALD沉积设备在经过切片的太阳能电池片的切片断面表面依次经过预热、依次沉积氧化铝层和氮化铝层、退火处理，先镀一层氧化铝薄膜，基于氧化铝薄膜的化学钝化和场钝化效果，可以极大减少半片电池片的切割效率损失，有效提高钝化效果，相比于现有未作处理的半片切割电池片，效率增加0.1%以上；再镀一层耐高温，耐酸碱，绝缘性好的氮化铝薄膜，可以降低半片电池的储存要求，提高组件的可靠性，保证2周内半片电池在常规储存条件下，效率衰减＜0.05%。
本申请经过修复后太阳能电池片的切片断面的膜层结构由内而外的依次为氧化铝薄膜和氮化铝薄膜，其中，氧化铝是主要钝化层，用来提升半片电池片效率，氮化铝为外部保护层，防止水汽、灰尘等污染电池片，提升电池片的储存能力以及电池片做成组件后的可靠性，尤其是在TOPCON电池，DH1000、DH2000湿热测试方面的可靠性，只能采用本申请的镀膜顺序，不能随意调换和更改镀膜顺序及种类。
采用本申请上述技术方案钝化修复电池片激光半片切割处损伤，使得修复后的半片太阳能电池片相比于未做修复处理的半片切割电池片的效率提升0.1~0.3%。此外，本申请所采用的PEALD沉积设备为板式PEALD时间型结构，预热腔、反应腔和退火腔一体式集成于板式PEALD沉积设备内，结合电池片输送装置即可完成上料进腔、氧化铝镀膜、氮化铝镀膜、退火、下料出腔的全部工艺流程，兼顾成膜速率高、钝化效果好、水汽灰尘隔绝效果好的特点，满足电池产线大批量、连续生产的需求。
优选地，所述经过切片的太阳能电池片为经过激光无损切割后的太阳能电池片。
优选地，步骤（3）中，沉积温度为150~300℃；沉积压力为0.1~1torr；所述TMA的流量为1000~15000sccm，所述水蒸汽的流量为1000~15000sccm，所述氮气的流量为1000~30000sccm。
优选地，步骤（4）中，沉积温度为150~300℃；沉积压力为0.1~1torr；所述TMA的流量为1000~15000sccm，所述氨气的流量为1000~15000sccm，所述氮气的流量为1000~30000sccm。
优选地，步骤（2）中，预热温度为150~300℃，预热时间为10~60min。
优选地，步骤（5）中，退火温度为250~500℃，退火时间为10~60min。
优选地，步骤（3）中，所述氧化铝薄膜的沉积厚度为4~20nm；步骤（4）中，所述氮化铝薄膜的沉积厚度为5~15nm。PEALD方式沉积氧化铝薄膜厚度大于8~10nm以后，继续提高薄膜厚度，钝化提升效果显著下降；氮化铝薄膜的厚度在上述范围内具有较好的防水、绝缘效果。采用上述薄膜的沉积厚度可以确保修复后的半片电池片的综合产能以及效率提升。
优选地，步骤（1）中，所述退火腔内设有红外加热装置。采用顶部安装红外加热装置的方式退火，可以直接将热量传导到太阳能电池片是断面处，热传导效率高，结构简单，契合板式PEALD沉积设备的腔体结构，方便设备的维护保养，节能降耗的同时，可以有效控制切面处温度＜500℃，避免工艺结束后分片黏连现象。更优选地，所述红外加热装置为红外灯管。
本发明还提供了一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复装置，包括板式PEALD沉积设备和设于板式PEALD沉积设备内的电池片输送装置，所述板式PEALD沉积设备沿生产线进行方向依次包括预热腔、反应腔和退火腔；所述电池片输送装置包括若干个用于装载太阳能电池片的载具和用于驱动所述载具沿生产线进行方向依次进入预热腔、反应腔和退火腔的输送机构。
优选地，所述载具设有沉积开口，当切片的太阳能电池片置于载具中时，所述太阳能电池片的切片断面从沉积开口完全外露。
更优选地，所述载具由底板和垂直设于所述底板周围的侧挡板构成，所述底板由侧挡板围挡后形成有沉积开口。
优选地，所述退火腔内设有红外加热装置。退火腔的加热装置采用顶板加装红外加热装置的方式，节能降耗的同时，可以有效控制切面处温度＜500℃，避免工艺结束后分片黏连现象。更优选地，所述红外加热装置为红外灯管。
如上所述，本发明具有以下有益效果：
（1）本申请通过在经过切片的太阳能电池片的切片断面表面依次沉积氧化铝层和氮化铝层，钝化修复电池片激光半片切割处损伤，使得修复后的半片太阳能电池片相比于未做修复处理的半片切割电池片的效率提升0.1~0.3%；
（2）经过修复后的太阳能电池片的切片断面的膜层结构由内而外的依次为氧化铝薄膜和氮化铝薄膜，兼顾了氧化铝的钝化提效作用以及氮化铝对水汽隔绝、电绝缘性能的要求，为业内首创膜层结构；
（3）本申请所采用的PEALD沉积设备为板式PEALD时间型结构，预热腔、反应腔和退火腔一体式集成于板式PEALD沉积设备内，结合电池片输送装置即可完成上料进腔、氧化铝镀膜、氮化铝镀膜、退火、下料出腔的全部工艺流程，兼顾成膜速率高、氧化铝钝化效果好的特点，满足电池生产线大批量、连续化生产的需求。
附图说明
图1显示为板式PEALD沉积设备的结构示意图。
图2显示为载具的结构示意图。
附图标号说明：1、预热腔；2、反应腔；3、退火腔；31、红外加热装置；4、载具；41、底板；42、侧挡板；43、沉积开口；5、输送机构；51、运输板；52、滚轮；6、太阳能电池片；61、氧化铝薄膜；62、氮化铝薄膜。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
须知，下列实施例中未具体注明的工艺设备或装置均采用本领域内的常规设备或装置。
此外应理解，本发明中提到的一个或多个方法步骤并不排斥在所述组合步骤前后还可以存在其他方法步骤或在这些明确提到的步骤之间还可以插入其他方法步骤，除非另有说明；还应理解，本发明中提到的一个或多个设备/装置之间的组合连接关系并不排斥在所述组合设备/装置前后还可以存在其他设备/装置或在这些明确提到的两个设备/装置之间还可以插入其他设备/装置，除非另有说明。而且，除非另有说明，各方法步骤的编号仅为鉴别各方法步骤的便利工具，而非为限制各方法步骤的排列次序或限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容的情况下，当亦视为本发明可实施的范畴。
实施例1
如图1所示，本申请实施例提供了一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复装置，包括板式PEALD沉积设备和设于板式PEALD沉积设备内的电池片输送装置，所述板式PEALD沉积设备沿生产线进行方向依次包括预热腔1、反应腔2和退火腔3；所述电池片输送装置包括若干个用于装载太阳能电池片的载具4和用于驱动所述载具沿生产线进行方向依次进入预热腔、反应腔和退火腔的输送机构5，所述退火腔内设有红外加热装置31。所述载具设有沉积开口43，当切片的太阳能电池片置于载具中时，所述太阳能电池片的切片断面从沉积开口完全外露。所述输送机构包括运输板51和设于运输板底部的滚轮52，所述载具置于运输板上，所述滚轮外绕设有输送带（图中未示出），所述输送带连接有电机（图中未示出），通过电机和输送带，带动滚轮转动从而驱动载具运动。
如图2所示，所述载具由底板41和垂直设于所述底板周围的侧挡板42构成，所述底板由侧挡板围挡后形成有沉积开口43，当切片的太阳能电池片置于载具中时，所述太阳能电池片的切片断面从沉积开口完全外露。
本申请实施例提供了一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法，包括以下步骤：
步骤（1）：提供一个板式PEALD沉积设备；
所述板式PEALD沉积设备沿生产线进行方向依次包括预热腔、反应腔和退火腔；所述板式PEALD沉积设备内设有电池片输送装置；所述电池片输送装置包括若干个用于装载太阳能电池片的载具和用于驱动所述载具沿生产线进行方向依次进入预热腔、反应腔和退火腔的输送机构；所述载具设有沉积开口，当切片的太阳能电池片置于载具中时，所述太阳能电池片的切片断面从沉积开口完全外露；
步骤（2）：将经过切片的太阳能电池片置于载具中，并使得切片断面完全外露，采用太阳能电池片输送装置将载具输送至预热腔内，抽真空，加热预热腔，预热太阳能电池片；预热温度为250℃，预热时间为40min；
步骤（3）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至反应腔内，通入TMA、水蒸汽和氮气，在太阳能电池片的切片断面表面沉积厚度为8nm的氧化铝薄膜61；沉积温度为250℃；沉积压力为0.4torr；所述TMA的流量为6000sccm，所述水蒸汽的流量为6000sccm，所述氮气的流量为15000sccm；
步骤（4）：采用氮气吹扫反应腔，通入TMA、氨气和氮气，在氧化铝薄膜表面沉积厚度为8nm氮化铝薄膜62；沉积温度为250℃；沉积压力为0.4torr；所述TMA的流量为6000sccm，所述氨气的流量为8000sccm，所述氮气的流量为15000sccm；
步骤（5）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至退火腔内，退火处理，退火温度为400℃，退火时间为40min，破真空出腔，完成太阳能电池片半片切割损伤钝化修复。
实施例2
本申请实施例提供了一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法，包括以下步骤：
步骤（1）：提供一个板式PEALD沉积设备；
所述板式PEALD沉积设备沿生产线进行方向依次包括预热腔、反应腔和退火腔；所述板式PEALD沉积设备内设有电池片输送装置；所述电池片输送装置包括若干个用于装载太阳能电池片的载具和用于驱动所述载具沿生产线进行方向依次进入预热腔、反应腔和退火腔的输送机构；所述载具设有沉积开口，当切片的太阳能电池片置于载具中时，所述太阳能电池片的切片断面从沉积开口完全外露；
步骤（2）：将经过切片的太阳能电池片置于载具中，并使得切片断面完全外露，采用太阳能电池片输送装置将载具输送至预热腔内，抽真空，加热预热腔，预热太阳能电池片；预热温度为300℃，预热时间为10min；
步骤（3）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至反应腔内，通入TMA、水蒸汽和氮气，在太阳能电池片的切片断面表面沉积厚度为20nm的氧化铝薄膜；沉积温度为300℃；沉积压力为1torr；所述TMA的流量为15000sccm，所述水蒸汽的流量为15000sccm，所述氮气的流量为30000sccm；
步骤（4）：采用氮气吹扫反应腔，通入TMA、氨气和氮气，在氧化铝薄膜表面沉积厚度为5nm氮化铝薄膜；沉积温度为300℃；沉积压力为1torr；所述TMA的流量为1000sccm，所述氨气的流量为1000sccm，所述氮气的流量为1000sccm；
步骤（5）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至退火腔内，退火处理，退火温度为500℃，退火时间为10min，破真空出腔，完成太阳能电池片半片切割损伤钝化修复。
实施例3
本申请实施例提供了一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法，包括以下步骤：
步骤（1）：提供一个板式PEALD沉积设备；
所述板式PEALD沉积设备沿生产线进行方向依次包括预热腔、反应腔和退火腔；所述板式PEALD沉积设备内设有电池片输送装置；所述电池片输送装置包括若干个用于装载太阳能电池片的载具和用于驱动所述载具沿生产线进行方向依次进入预热腔、反应腔和退火腔的输送机构；所述载具设有沉积开口，当切片的太阳能电池片置于载具中时，所述太阳能电池片的切片断面从沉积开口完全外露；
步骤（2）：将经过切片的太阳能电池片置于载具中，并使得切片断面完全外露，采用太阳能电池片输送装置将载具输送至预热腔内，抽真空，加热预热腔，预热太阳能电池片；预热温度为150℃，预热时间为60min；
步骤（3）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至反应腔内，通入TMA、水蒸汽和氮气，在太阳能电池片的切片断面表面沉积厚度为4nm的氧化铝薄膜；沉积温度为150℃；沉积压力为0.1torr；所述TMA的流量为1000sccm，所述水蒸汽的流量为1000sccm，所述氮气的流量为1000sccm；
步骤（4）：采用氮气吹扫反应腔，通入TMA、氨气和氮气，在氧化铝薄膜表面沉积厚度为15nm氮化铝薄膜；沉积温度为150℃；沉积压力为0.1torr；所述TMA的流量为15000sccm，所述氨气的流量为15000sccm，所述氮气的流量为30000sccm；
步骤（5）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至退火腔内，退火处理，退火温度为250℃，退火时间为60min，破真空出腔，完成太阳能电池片半片切割损伤钝化修复。
对比例1
对比例1直接采用激光无损切割后的太阳能电池片，未经过任何修复处理。
对比例2
对比例2与实施例1的区别在于，无步骤（4），仅仅在切片的太阳能电池片的切片断面处沉积氧化铝薄膜，其余工艺完全相同。
对比例3
对比例3与实施例1的区别在于，无步骤（3），仅仅在切片的太阳能电池片的切片断面处沉积氮化铝薄膜，其余工艺完全相同。
对比例4
对比例4与实施例1的区别在于，步骤（3）和步骤（4）的顺序相反，在切片的太阳能电池片的切片断面处沉积顺序为先氮化铝薄膜，后氧化铝薄膜，其余工艺完全相同。
对实施例1~3和对比例1~4的得到的太阳能电池片的性能做表征，测试方法如下：采用halm I-V测试仪，在25±2℃，光强1000±50W/m2的标准测试条件。
测试结果如表1所示，
表1. 实施例1~3和对比例1~4的得到的太阳能电池片的性能测试结果
| 性能指标 | Eff（%） | Voc（mV） | Isc（A） | Pmax（W) |
| 实施例1 | 24.30 | 0.718 | 6.845 | 4.011 |
| 实施例2 | 24.29 | 0.718 | 6.843 | 4.010 |
| 实施例3 | 24.29 | 0.718 | 6.842 | 4.010 |
| 对比例1 | 24.10 | 0.715 | 6.838 | 3.978 |
| 对比例2 | 24.25 | 0.717 | 6.840 | 3.998 |
| 对比例3 | 24.13 | 0.715 | 6.839 | 3.983 |
| 对比例4 | 24.14 | 0.715 | 6.835 | 3.985 |
表1中，Eff指的是电池转换效率，Voc为电池片开路电压，Isc为电池片短路电流，Pmax为电池片峰值功率。
由表1可以看出，通过比较实施例1与对比例1的实验数据可得，采用本申请技术方案修复后得到的切片的太阳能电池片的效率有所提升；通过比较实施例1与对比例2的实验数据可得，仅仅在切片的太阳能电池片的切片断面处沉积氧化铝薄膜，并不能达成最好的修复损伤的效果，这是因为氧化铝薄膜缺少了氮化铝薄膜的保护作用以及增加H钝化的作用，导致氧化铝薄膜存在吸水现象，导致钝化效果降低；通过比较实施例1与对比例3的实验数据可得，仅仅在切片的太阳能电池片的切片断面处沉积氮化铝薄膜并不能很好的修复损伤，这是因为氮化铝薄膜主要为水汽隔绝效果，膜层不具备钝化Si悬挂键的作用，无法提升效率；通过比较实施例1与对比例4的实验数据可得，切片断面处沉积氮化铝薄膜和氧化铝薄膜的顺序必须按照本申请的顺序，改变沉积顺序并不能很好的修复损伤，这是因为氮化铝膜层不具备钝化Si悬挂键的效果，同时，氮化铝层的电屏蔽特性，隔绝了硅基底与氧化铝膜层间的电子传输通道，使氧化铝膜层的化学和场钝化无效化。
综上所述，本发明经过修复后太阳能电池片的切片断面的膜层结构由内而外的依次为氧化铝薄膜和氮化铝薄膜，兼顾了氧化铝的钝化提效作用以及氮化铝对水汽隔绝、电绝缘性能的要求，为业内首创膜层结构；所采用的PEALD沉积设备为板式PEALD时间型结构，预热腔、反应腔和退火腔一体式集成于板式PEALD沉积设备内，结合电池片输送装置即可完成上料进腔、氧化铝镀膜、氮化铝镀膜、退火、下料出腔的全部工艺流程，兼顾成膜速率高、氧化铝钝化效果好的特点，满足电池生产线大批量、连续化生产的需求。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (10)
1.一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤（1）：提供一个板式PEALD沉积设备；
所述板式PEALD沉积设备沿生产线进行方向依次包括预热腔（1）、反应腔（2）和退火腔（3）；所述板式PEALD沉积设备内设有电池片输送装置；所述电池片输送装置包括若干个用于装载太阳能电池片的载具（4）和用于驱动所述载具沿生产线进行方向依次进入预热腔、反应腔和退火腔的输送机构（5）；所述载具设有沉积开口（43），当切片的太阳能电池片置于载具中时，所述太阳能电池片的切片断面从沉积开口完全外露；
步骤（2）：将经过切片的太阳能电池片置于载具中，并使得切片断面完全外露，采用太阳能电池片输送装置将载具输送至预热腔内，抽真空，加热预热腔，预热太阳能电池片；
步骤（3）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至反应腔内，通入TMA、水蒸汽和氮气，在太阳能电池片的切片断面表面沉积氧化铝薄膜；
步骤（4）：采用氮气吹扫反应腔，通入TMA、氨气和氮气，在氧化铝薄膜表面沉积氮化铝薄膜；
步骤（5）：采用太阳能电池片输送装置将载具输送至退火腔内，退火处理，破真空出腔，完成太阳能电池片半片切割损伤钝化修复。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（3）中，沉积温度为150~300℃；沉积压力为0.1~1torr；所述TMA的流量为1000~15000sccm，所述水蒸汽的流量为1000~15000sccm，所述氮气的流量为1000~30000sccm。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（4）中，沉积温度为150~300℃；沉积压力为0.1~1torr；所述TMA的流量为1000~15000sccm，所述氨气的流量为1000~15000sccm，所述氮气的流量为1000~30000sccm。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（2）中，预热温度为150~300℃，预热时间为10~60min。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：其特征在于：步骤（5）中，退火温度为250~500℃，退火时间为10~60min。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（3）中，所述氧化铝薄膜的沉积厚度为4~20nm；步骤（4）中，所述氮化铝薄膜的沉积厚度为5~15nm。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（1）中，所述退火腔内设有红外加热装置（31）。
8.一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复装置，其特征在于：采用了权利要求1~7中任意一项方法，包括板式PEALD沉积设备和设于板式PEALD沉积设备内的电池片输送装置，所述板式PEALD沉积设备沿生产线进行方向依次包括预热腔（1）、反应腔（2）和退火腔（3）；所述电池片输送装置包括若干个用于装载太阳能电池片的载具（4）和用于驱动所述载具沿生产线进行方向依次进入预热腔、反应腔和退火腔的输送机构（5）。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述载具由底板（41）和垂直设于所述底板周围的侧挡板（42）构成，所述底板由侧挡板围挡后形成有沉积开口（43），当切片的太阳能电池片置于载具中时，所述太阳能电池片的切片断面从沉积开口完全外露。
10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于：所述退火腔内设有红外加热装置（31）。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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