CN117845319A - 一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘和机架上的四根导向柱，四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承，四根导向柱中间设置有基板，基板通过直线轴承沿着导向柱上下运动，导向柱位于基板的四个角部；基板的左前侧、右后侧分别安装有第一主电极和第二主电极，基板的右前侧和左后侧分别安装有第一辅支撑和第二辅支撑，第一主电极、第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑的外部均安装有焊接波纹管，焊接波纹管的顶端均和炉底盘进行连接，焊接波纹管的底端均和基板进行连接。使得热场的加热器可以跟随坩埚的位置改变而改变，使热场受热温度更均匀，有利于晶体生长，提高产品质量。
Description
技术领域
本发明涉及碳化硅炉设备领域，具体涉及一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构。
背景技术
在单晶硅生长炉的生产过程中，原有电极是固定在炉底盘上无法升降，而坩埚位置会随着生产的过程逐渐上升，导致热场过内部受热不均匀，从而影响产品质量，带来一定的经济损失。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本发明提供一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，以解决上述至少一种技术问题。
本发明的技术方案是：一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，其特征在于，所述升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘和机架上的四根导向柱，所述四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承，所述四根导向柱中间设置有基板，所述基板通过所述直线轴承沿着导向柱上下运动，所述导向柱位于所述基板的四个角部；
所述基板的左前侧、右后侧分别安装有第一主电极和第二主电极，所述基板的右前侧和左后侧分别安装有第一辅支撑和第二辅支撑，所述第一主电极、第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑的外部均安装有焊接波纹管，所述焊接波纹管的顶端均和所述炉底盘进行连接，所述焊接波纹管的底端均和所述基板进行连接。
本发明通过在炉底盘下增加可上下运动的基板，通过基板带动电机升级，并且对于整体结构并未做出较大改动就可以实现电极的升级，结构简单易于安装，也可以根据不同的使用环境进行拆卸更换。本发明通过升级机构使得热场的加热器可以跟随坩埚的位置改变而改变，使热场受热温度更均匀，有利于晶体生长，提高产品质量。
进一步优选，所述四根导向柱底部设置有安装架，安装架两端底部分别设有两根横梁。可以起到支撑效果。
进一步优选，所述安装架的左前方安装有换向器，所述换向器向前依次连接离合减速器、转角减速器以及伺服马达，所述换向器将伺服马达的动力一侧传动至第一传动轴、第一升降机，所述换向器将伺服马达的动力另一侧传动至第二传动轴、转角换向器、第三传动轴及第二升降机。
本发明通过换向器将动力传输至两侧从而节省了整体成本。
进一步优选，所述换向器、转角换向器、两个升降机、离合减速器均安装固定在所述安装架上，所述横梁安装在所述机架的两侧。
进一步优选，所述第一升降机位于所述基板的左侧，所述第一传动轴两端分别连接换向器和第一升降机，所述第二升降机位于基板右侧，所述第三传动轴两端分别连接转角换向器和第二升降机，所述转角换向器位于安装架的右前侧，所述第二传动轴两端分别连接换向器和转角换向器。
优化了电机的升降效果。
进一步优选，所述伺服马达驱动所述基板升降，且所述第一主电极、所述第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑也随基板同步升降。使电极升降机构的成本大幅降低。
附图说明
图1是本发明升降机构的整体结构示意图；
图2是本发明整体结构剖视图。
图中：1为炉底盘，2为机架，21为第一升降机，22为第二升降机，3为第一主电极，4为第二主电极，5为第一辅支撑，6为第二辅支撑，7为伺服马达，8为转角减速器，9为离合减速器，10为换向器，11为第一传动轴，12为第二传动轴，13为转角换向器，14为第三传动轴，15为导向柱，16为直线轴承，17为焊接波纹管，18为基板，19为安装架，20为横梁。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的说明。
参照图1和图2所示，一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘1和机架2上的四根导向柱15，四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承16，四根导向柱中间设置有基板18，基板通过直线轴承沿着导向柱上下运动，导向柱位于基板的四个角部；基板的左前侧、右后侧分别安装有第一主电极3和第二主电极4，基板的右前侧和左后侧分别安装有第一辅支撑5和第二辅支撑6，第一主电极、第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑的外部均安装有焊接波纹管17，焊接波纹管的顶端均和炉底盘进行连接，焊接波纹管的底端均和基板进行连接。
本发明通过在炉底盘下增加可上下运动的基板，通过基板带动电机升级，并且对于整体结构并未做出较大改动就可以实现电极的升级，结构简单易于安装，也可以根据不同的使用环境进行拆卸更换。本发明通过升级机构使得热场的加热器可以跟随坩埚的位置改变而改变，使热场受热温度更均匀，有利于晶体生长，提高产品质量。
进一步优选，四根导向柱底部设置有安装架19，安装架两端底部分别设有两根横梁20。可以起到支撑效果。
进一步优选，安装架的左前方安装有换向器10，换向器向前依次连接离合减速器9、转角减速器8以及伺服马达7，换向器将伺服马达的动力一侧传动至第一传动轴11、第一升降机21，换向器将伺服马达的动力另一侧传动至第二传动轴12、转角换向器13、第三传动轴14及第二升降机22。本发明通过换向器将动力传输至两侧从而节省了整体成本。
进一步优选，换向器、转角换向器、两个升降机、离合减速器均安装固定在安装架上，横梁安装在机架的两侧。
进一步优选，第一升降机位于基板的左侧，第一传动轴两端分别连接换向器和第一升降机，第二升降机位于基板右侧，第三传动轴两端分别连接转角换向器和第二升降机，转角换向器位于安装架的右前侧，第二传动轴两端分别连接换向器和转角换向器。优化了电机的升降效果。
进一步优选，伺服马达驱动基板升降，且第一主电极、第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑也随基板同步升降。使电极升降机构的成本大幅降低。
以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，其特征在于，所述升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘和机架上的四根导向柱，所述四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承，所述四根导向柱中间设置有基板，所述基板通过所述直线轴承沿着导向柱上下运动，所述导向柱位于所述基板的四个角部；
所述基板的左前侧、右后侧分别安装有第一主电极和第二主电极，所述基板的右前侧和左后侧分别安装有第一辅支撑和第二辅支撑，所述第一主电极、第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑的外部均安装有焊接波纹管，所述焊接波纹管的顶端均和所述炉底盘进行连接，所述焊接波纹管的底端均和所述基板进行连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，其特征在于，所述四根导向柱底部设置有安装架，安装架两端底部分别设有两根横梁。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，其特征在于，所述安装架的左前方安装有换向器，所述换向器向前依次连接离合减速器、转角减速器以及伺服马达，所述换向器将伺服马达的动力一侧传动至第一传动轴、第一升降机，所述换向器将伺服马达的动力另一侧传动至第二传动轴、转角换向器、第三传动轴及第二升降机。
4.根据权利要求3所述的一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，其特征在于，所述换向器、转角换向器、两个升降机、离合减速器均安装固定在所述安装架上，所述横梁安装在所述机架的两侧。
5.根据权利要求3所述的一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，其特征在于，所述第一升降机位于所述基板的左侧，所述第一传动轴两端分别连接换向器和第一升降机，所述第二升降机位于基板右侧，所述第三传动轴两端分别连接转角换向器和第二升降机，所述转角换向器位于安装架的右前侧，所述第二传动轴两端分别连接换向器和转角换向器。
6.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，其特征在于，所述伺服马达驱动所述基板升降，且所述第一主电极、所述第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑也随基板同步升降。
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