CN117836612A - 透光性层叠体的检查方法及检查装置 - Google Patents
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Abstract
提供一种能够检测与以往相比格外微小的异物的透光性层叠体的检查方法。本发明的实施方式的透光性层叠体的检查方法包含：在把持单片的透光性层叠体的四边而固定于半空中的状态下进行透射检查，以检测透光性层叠体中的缺陷。在一个实施方式中，检查方法还包含对透光性层叠体赋予张力。在一个实施方式中，检查方法是检测透光性层叠体中的8μm～50μm尺寸的缺陷。在一个实施方式中，透光性层叠体的厚度为300μm以下。
Description
技术领域
本发明涉及一种透光性层叠体的检查方法及检查装置。
背景技术
适用于图像显示装置的透光性层叠体(例如光学部件、光学层叠体、光学膜、透光性粘贴片)，为了防止图像显示缺陷等，需要排除该层叠体内部的异物。因此，这样的透光性层叠体代表性的是进行异物检查。异物检查代表性的是透射检查，所述透射检查是一边输送透光性层叠体的长条状的带材(web)一边进行检查，在该透射检查中，异物和/或缺陷能够被辨识为暗点。近年来，对图像显示装置要求的显示性能变得格外高，其结果，对透光性层叠体的异物检查的精度，也要求格外高的精度。具体而言，以往允许只检测50μm左右的异物和/或缺陷，但现在产生了检测10μm左右的异物和/或缺陷的需求。但是，在如上所述的一边输送长条状的带材一边进行检查的异物检查中，要检测出这么小的异物和/或缺陷是极为困难的。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：(日本)特开2005-062165号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明是为了解决上述问题而完成，其主要目的在于提供一种能够检测与以往相比格外微小的异物和/或缺陷的透光性层叠体的检查方法。
用于解决技术问题的技术方案
本发明的实施方式的透光性层叠体的检查方法包含：在把持单片的透光性层叠体的四边而固定于半空中的状态下进行透射检查，以检测该透光性层叠体中的缺陷。
在一个实施方式中，上述检查方法包含：将第一表面保护膜及第二表面保护膜分别暂时粘贴于上述透光性层叠体的两面；通过吸引板吸引该透光性层叠体的该第一表面保护膜侧，将该透光性层叠体固定于该吸引板；在该透光性层叠体已固定于该吸引板的状态下，剥离该第二表面保护膜；在该透光性层叠体已固定于该吸引板的状态下，由该吸引板与把持部件的下夹件夹持该透光性层叠体；夹入之后，停止该吸引板的吸引，并且开始该下夹件的吸引，将该透光性层叠体固定于该下夹件；在该透光性层叠体已固定于该下夹件的状态下，使该吸引板离开；在该透光性层叠体已固定于该下夹件的状态下，剥离该第二表面保护膜；在该透光性层叠体的与该下夹件相反侧的面的对应于该下夹件的位置上配置有上夹件，通过该上夹件与该下夹件把持该透光性层叠体；及停止该下夹件的吸引。
在一个实施方式中，上述吸引板的长边端部及短边端部设置有作为凸部的定位部。
在一个实施方式中，上述吸引板的长边端部的定位部与短边端部的定位部各自的一端相接，而形成直角的角部，上述透光性层叠体的一个角隅部抵接于该角部来进行定位。
在一个实施方式中，上述下夹件由下夹件支承部支承，并且通过该下夹件支承部与该下夹件规定出上述透光性层叠体的定位用的台阶，该透光性层叠体的外缘抵接于该台阶来进行定位。
在一个实施方式中，上述台阶规定于：当以上述吸引板与上述下夹件夹入上述透光性层叠体时，对应于该吸引板的上述定位部的位置。
在一个实施方式中，上述把持部件在俯视下为框状，上述透光性层叠体的外缘定位成对应于该把持部件的外缘。
在一个实施方式中，上述检查方法包含：检测上述缺陷后，将上述已剥离的第一表面保护膜或第二表面保护膜、或者该第一表面保护膜或与该第一表面保护膜不同的表面保护膜，以能够剥离的方式暂时粘贴于上述透光性层叠体的至少一表面。
在一个实施方式中，上述检查方法还包含对上述透光性层叠体赋予张力。
在一个实施方式中，上述检查方法检测上述透光性层叠体中的8μm～50μm尺寸的缺陷。
在一个实施方式中，上述缺陷的检测包含：使预定倍率的光学系统的焦点对焦于上述透光性层叠体的第一主面的表面，并由该光学系统扫描该透光性层叠体，制作缺陷的XY坐标图；使该光学系统的焦点从该透光性层叠体的第一主面的表面，朝厚度方向内侧错开预定距离，并由该光学系统扫描该透光性层叠体，制作其它的缺陷的XY坐标图；及将该制作好的缺陷的XY坐标图加以整合。
在一个实施方式中，上述缺陷的检测包含：重复进行预定次数的使上述光学系统的焦点朝上述透光性层叠体的厚度方向内侧进一步错开上述预定距离，并由该光学系统扫描该透光性层叠体的步骤，制作预定数量的缺陷的XY坐标图。
在一个实施方式中，上述缺陷的检测包含：仅在上述已整合的缺陷的XY坐标图的缺陷发生坐标上，使用比上述预定倍率更高倍率的光学系统测定该缺陷的厚度方向的位置。
在一个实施方式中，上述透光性层叠体是从光学膜、粘贴剂片、及这些的组合当中选择。在一个实施方式中，上述光学膜是从偏光板、相位差板、及包含这些的层叠体当中选择。在一个实施方式中，上述透光性层叠体的厚度为300μm以下。
根据本发明的其它层面，提供一种透光性层叠体的检查装置。该检查装置具有：底座；把持部件，其设置于该底座，并把持透光性层叠体的四边而将该透光性层叠体固定于半空中；吸引板，其经由旋转轴能够转动地安装于设置在该底座的一端的板支承部，构成为能够通过以该旋转轴为中心的旋转而配置于与该把持部件相对置的位置；拍摄元件，其获得该透光性层叠体的图像；及光源，其发出照射该透光性层叠体的照射光。该把持部件是由具有第一上夹件与第一下夹件的第一把持部件、具有第二上夹件与第二下夹件的第二把持部件、具有第三上夹件与第三下夹件的第三把持部件、及具有第四上夹件与第四下夹件的第四把持部件所构成，该第一把持部件、该第二把持部件、该第三把持部件及该第四把持部件把持该透光性层叠体的四边的各边。
发明效果
根据本发明的实施方式的透光性层叠体的检查方法，能够通过在把持单片的透光性层叠体的四边而固定于半空中的状态下进行透射检查，来检测与以往相比格外微小的(例如8μm尺寸左右的)异物和/或缺陷。
附图说明
图1(a)是说明本发明的一个实施方式中的透射检查的一例的概略立体图；(b)是图1(a)的B-B线的概略剖视图。
图2是示出在本发明的实施方式中将透光性层叠体固定于半空中的装置的一例的概略立体图。
图3(a)～(d)是说明使用图2的装置来将透光性层叠体固定于半空中的顺序的概略剖视图。
图4是说明能够用于图2的装置的吸引板的概略俯视图。
图5(a)～(c)是对能够用于图2的装置的把持部件、以及由把持部件把持透光性层叠体的把持顺序的详细加以说明的主要部分概略剖视图。
图6是说明在本发明的实施方式中对固定于半空中的透光性层叠体赋予张力(拉力)的组件的概略俯视图。
图7是说明透射检查的缺陷的检测中的拍摄元件的对焦的概略图。
图8是说明透射检查的缺陷的检测中的利用拍摄元件来进行透光性层叠体的XY平面的扫描的概略立体图。
图9是说明透射检查的缺陷的检测中的缺陷的XY坐标图的一例的概念图。
图10是说明透射检查的缺陷的检测中的预定数量的缺陷的XY坐标图的整合的一例的概念图。
具体实施方式
以下，参考附图来说明本发明的实施方式，但是本发明不限定于这些实施方式。另外，为了容易观看，附图皆为概念地及示意地表现，并非正确地描绘实际的状态。
A.透光性层叠体的检查方法的概略
本发明的实施方式的透光性层叠体的检查方法包含：在把持单片的透光性层叠体的四边而固定于半空中的状态下进行透射检查，以检测该透光性层叠体中的缺陷。图1(a)是说明透射检查的一例的概略立体图；图1(b)是图1(a)的B-B线的概略剖视图。透射检查例如包含：使用光学系统，来获得由框状的把持部件20把持四边的透光性层叠体10的图像。把持部件20具有上夹件22与下夹件24。上夹件22代表性的是由对应于四边的各边的第一上夹件22a、第二上夹件22b、第三上夹件22c及第四上夹件22d所构成。下夹件24代表性的是由对应于第一上夹件22a～第四上夹件22d的各夹件的第一下夹件24a、第二下夹件24b、第三下夹件24c及第四下夹件24d所构成。因此，例如，有时会将具有第一上夹件22a与第一下夹件24a的把持部件称为第一把持部件20a。光学系统例如包含：拍摄元件30，其配置于透光性层叠体10的一侧(在图示例中是上方)，并获得透光性层叠体的图像；及光源40，其配置于透光性层叠体10的另一侧(在图示例中是下方)，发出照射透光性层叠体10的照射光。另外，也可以是，拍摄元件30配置于透光性层叠体10的下方，光源40配置于透光性层叠体10的上方。拍摄元件30拍摄透射光(检查光)影像，在该已拍摄的图像中，异物和/或缺陷(以下，有时会依据上下文单纯地称为异物或缺陷)能够被辨识为暗点。固定于半空中及透射检查的更具体的实施方式在后面进行叙述。通过在把持单片的透光性层叠体的四边而固定于半空中的状态下进行透射检查，在透光性层叠体中，能够检测例如8μm～50μm尺寸，优选的是8μm～30μm尺寸，更优选的是8μm～20μm尺寸，进一步优选的是8μm～15μm尺寸，特别优选的是约10μm尺寸的缺陷。以往，光学膜这样的透光性层叠体的异物检查是一边输送长条状的带材一边进行。根据这样的异物检查，要检测到小的(代表性的是50μm以下尺寸的)异物实质上是不可能的。另外，因为以往允许只检测50μm尺寸左右的异物，所以利用输送带材来进行的异物检查并不会特别产生问题，然而伴随着图像显示装置的高精度化，新产生了检测10μm尺寸左右的异物的需求。本发明者针对这样的问题专注地进行研讨，结果发现有可能是因为输送时的带材的晃动和/或输送装置的振动，而使拍摄元件无法获得正确的图像。而且，反复试验的结果，通过将透光性层叠体裁剪成片状，并且在将该片状的透光性层叠体固定于半空中的状态下(也即在不载置的状态下)进行透射检查，不仅能够排除输送时的带材的晃动和/或输送装置的振动所造成的不良影响，还排除了载置面的异物等不良影响。其结果，能够实现极为高精度的异物检查，而检测10μm尺寸左右的异物和/或缺陷。这样地，本发明是以往未见的、解决新问题的发明。进一步地，若是本发明的实施方式这样的结构，相比于在仅支承或把持透光性层叠体的相对置的两边而固定于半空中的状态下进行透射检查的情况，因为能够显著地抑制挠曲，所以能够进行更精密的检查。另外，在图示例中说明的虽然是把持部件具有第一把持部件20a～第四把持部件20d的4个副部件的结构，但把持部件也可以具有2个副部件(例如2个L字型副部件、一个直线状副部件与一个コ字型副部件)，也可以具有3个副部件(例如一个L字型副部件与2个直线状副部件)。另外，透射检查可以是检查透光性层叠体的边缘(edge)的边缘透射检查，也可以是正交检查，所述正交检查是在透光性层叠体的两侧，以正交偏光(cross-nicol)的方式配置检查用偏光板；或者在透光性层叠体包含偏光件的情况下，在透光性层叠体的一侧以正交偏光的方式配置检查用偏光板。
B.透光性层叠体
透光性层叠体能够列举需要进行异物检查的任意的、适当的透光性的层叠体。具体例能够列举光学膜、粘贴剂片、及这些的组合(例如附粘贴剂层的光学膜)。光学膜能够列举例如：偏光板、相位差板、触控面板用导电性膜、表面处理膜、及根据目的而将这些适当地层叠的层叠体(例如抗反射用圆偏光板、触控面板用附导电层偏光板)。代表性地，粘贴剂片包含粘贴剂及暂时粘贴于其至少一侧的离型膜。在一个实施方式中，透光性层叠体也可以具有低反射层/低反射层用基材/相位差层/偏光件/保护层/硬化涂层(hard coat)的结构。透光性层叠体的厚度优选的是300μm以下，更优选的是280μm以下，进一步优选的是250μm以下。根据本发明的实施方式，在这样的薄型的透光性层叠体中，也可以良好地检测微小的异物。透光性层叠体的厚度的下限例如可以是30μm。
透光性层叠体10例如能够通过利用所谓的卷对卷(roll to roll)，将构成透光性层叠体的各层进行层叠来制成。已制成的长条状的透光性层叠体被裁剪成预定尺寸并进行异物检查。该尺寸代表性的可以是能得到多片最终制品的尺寸。检查结束后，透光性层叠体代表性的是可以被裁剪成最终制品尺寸然后出货。
透光性层叠体10具有第一主面10a与第二主面10b。在一个实施方式中，在透光性层叠体供往异物检查时，也可以在至少一表面(代表性的是两表面)以能够剥离的方式暂时粘贴表面保护膜。通过暂时粘贴表面保护膜，能够防止透光性层叠体的瑕疵的产生、异物对透光性层叠体的附着等，因此能够更高精度地进行异物检查。进一步地，通过暂时粘贴表面保护膜，能够确保透光性层叠体供往检查时的刚性(韧性)。表面保护膜代表性的是在检查时被剥离去除。检查结束后，也可以将检查时已剥离的表面保护膜再一次暂时粘贴于透光性层叠体的表面，也可以将其它的表面保护膜以能够剥离的方式暂时粘贴。
在一个实施方式中，也可以在透光性层叠体10的例如第一主面10a以能够剥离的方式暂时粘贴反射性保护膜。有时因透光性层叠体的种类/构成不同(例如在透光性层叠体包含低反射层(AR层)的情况下)，拍摄元件的自动对焦(autofocus)会无法对透光性层叠体的第一主面发挥功能，但通过暂时粘贴反射性保护膜，即使在那样的情况下，拍摄元件的自动对焦也能够良好地对透光性层叠体的第一主面发挥功能。反射性保护膜代表性的是具有以下功能：使预定倍率的光学系统的焦点对焦于透光性层叠体的第一主面的表面时的照射光反射，并且使检查光透射。在暂时粘贴表面保护膜的情况下，反射性保护膜代表性的是能够暂时粘贴于表面保护膜的内侧。
在一个实施方式中，反射性保护膜满足以下的关系：
y≧0.0181x－11.142
这里，x是在650nm～800nm的波长范围的检测波长的绝对值，y是反射率的绝对值。若是这样的结构，能够使拍摄元件的自动对焦更良好地发挥功能。反射性保护膜只要具有上述功能即可，能够采用任意的、适当的结构。具体而言，反射性保护膜例如可以由(日本)特开2019-099751号公报的[0031]所记载的环状烯烃系树脂所构成。环状烯烃系树脂例如能够列举聚降冰片烯(polynorbornene)。环状烯烃系树脂也可以使用市售品。市售品的具体例能够列举日本ZEON制的及/>JSR制的ARTON、三井化学制的APEL、TOPAS ADVANCED POLYMERS制的/>等。环状烯烃系树脂膜优选为含有环状烯烃系树脂50重量％以上的材料。在一个实施方式中，反射性保护膜的表面也可以形成有硬化涂层。通过形成硬化涂层，因为能够防止反射性保护膜的瑕疵的产生、异物对反射性保护膜的附着等，所以能够更高精度地进行异物检查，能够正确地检测微小的异物和/或缺陷。
反射性保护膜也可以根据预定的检查次数而暂时粘贴多片。例如在异物检查预定进行2次的情况下，通过贴附2片反射性保护膜，只要在第二次的异物检查之前剥离1片外侧的反射性保护膜，即可防止内侧的反射性保护膜的瑕疵的产生、异物对内侧的反射性保护膜的附着等，因此能够更高精度地进行多次的异物检查。另外，也可以即便在预定进行多次检查的情况下，均只暂时粘贴1片反射性保护膜。
表面保护膜及反射性保护膜也可以通过卷对卷(也即在裁剪前)暂时粘贴于透光性层叠体，也可以在裁剪后暂时粘贴。
以下，更具体地说明透射检查中的缺陷的检测。
C.透光性层叠体在半空中的固定
在缺陷的检测中，如上述，单片的透光性层叠体10是在被把持部件20把持四边的状态下固定于半空中。图2是示出将透光性层叠体固定于半空中的装置的一例的概略立体图；图3(a)～图3(d)是说明使用那样的装置来将透光性层叠体固定于半空中的顺序的概略剖视图。另外，图3(a)～图3(d)是从把持部件20b侧(图1(b)的左侧)观看的剖视图。图示例的装置100具有作为基底的底座50、设置于底座50的把持部件20及吸引板60。以下，说明将透光性层叠体固定于半空中的顺序。
首先如图3(a)所示，通过吸引板60吸引固定透光性层叠体10。在图示例中，表面保护膜71、72暂时粘贴于透光性层叠体10的两面，表面保护膜71配置在吸引板60侧。通过在已对透光性层叠体的两面暂时粘贴表面保护膜的状态下吸引固定透光性层叠体，能够在保持透光性层叠体的刚性(韧性)的状态下进行固定，而变得容易处理，并且能够良好地防止皱褶、挠曲及变形。其结果，能够高精度地实施异物检查，能够正确地检测微小的异物和/或缺陷。
吸引板60如图4所示在俯视下为矩形，具有固定透光性层叠体的固定面与背面，并具有将固定面侧与背面侧连通的多个吸引孔62。吸引板60经由旋转轴66能够转动地安装于设置在底座50的一端的板支承部64。在一个实施方式中，吸引板60也可以如图4所示地在长边端部及短边端部设置有定位部68、68。定位部68、68例如是凸部，代表性的是凸条。长边的定位部与短边的定位部各自的一端相接，而形成直角的角部，通过使透光性层叠体的一个角隅部抵接于该角部来吸引固定，能够进行透光性层叠体的正确的定位。其结果，能够进行更加精密的检查。另外，在图示例中定位部68设置于一个长边与一个短边的两边，但也可以设置于四边(也即设置成框状)。在此状态下，从透光性层叠体10剥离去除表面保护膜72。
其次，如图3(b)所示，在已吸引固定透光性层叠体10的状态下，使吸引板60向底座50方向(在图示例中是向顺时针)旋转，而配置在与把持部件20(实质上是下夹件24)向对置的位置，并且通过使升降机构80上升来使支承把持部件20的夹具90上升，而利用吸引板60与把持部件20的下夹件24夹入透光性层叠体10。另外，在附图中，仅描绘第一下夹件24a(第一把持部件20a)及第三下夹件24c(第三把持部件20c)。以下，在图3(b)～图3(d)的说明中也是一样的。这里，透光性层叠体10是通过例如上述的定位部68、68，定位成其外缘对应于框状的下夹件24(第一下夹件24a～第一下夹件24d)的外缘。下夹件24具有固定透光性层叠体的固定面与底座侧的背面，且具有连通固定面侧与背面侧的多个吸引孔(未图示)。图示例的升降机构80在下夹件24侧的预定的位置设置有定位销82，升降机构80上升时，定位销82会插入夹具90的设置于升降机构侧的定位孔92，而在正确地对位的状态下进行夹入。进一步地，通过调整升降机构80的升降程度，能够微调夹入。利用吸引板60与把持部件20的下夹件24夹入透光性层叠体10后，停止吸引板60的吸引，并且开始下夹件24的吸引，将透光性层叠体10吸引固定于下夹件24。
接着，如图3(c)所示，在以下夹件24吸引固定透光性层叠体10的状态下，使吸引板60向从底座50离开的方向(在图示例中是向逆时针)旋转，使暂时粘贴于透光性层叠体10的表面保护膜71露出。其后，如图3(c)所示，从透光性层叠体10剥离去除表面保护膜71。
最后，如图3(d)所示，在透光性层叠体10的与下夹件24相反侧的面上的对应于下夹件24的位置，配置有上夹件22，通过上夹件22与下夹件24来把持透光性层叠体10。由此，透光性层叠体10的四边被把持而成为固定于半空中的状态。在此状态下，透光性层叠体10供往透射检查(异物检查)。通过在由把持部件把持单片透光性层叠体的四边的状态下进行异物检查，因为能够排除输送所造成的晃动和/或输送装置的振动的影响，所以即使是剥离表面保护膜后，仍能够高精度地实施异物检查，能够正确地检测微小的异物和/或缺陷。再加上通过剥离表面保护膜，而不会检测到表面保护膜的异物，因此通过与上述效果的相乘效果，能够更高精度地实施异物检查。另外，透光性层叠体被把持的部分，代表性的是在最终制品完成的情况下的非制品区域(在透光性层叠体为光学膜的情况下，例如是对应于图像非显示部的部分)。
参考图5(a)～图5(c)，说明把持部件20、以及由把持部件20来把持透光性层叠体10的把持顺序的详细。图5(a)～图5(c)是针对第一把持部件20a说明那样的顺序的主要部分概略剖视图。把持的机制对于第二把持部件20b、第三把持部件20c及第四把持部件20d来说都是一样的。如图5(a)所示，在把持部件20a中，下夹件24a设置于下夹件支承部25之上。下夹件支承部25设置于基部28。下夹件支承部25具有凸部25a，通过凸部25a与下夹件24a规定出透光性层叠体10的定位用的台阶25b。台阶25b代表性的是规定于：当由吸引板60与下夹件24a夹入透光性层叠体10时，对应于吸引板的定位部68(如果有的话)的位置。在基部28的下夹件支承部25的外侧，经由旋转轴27能够转动地安装有上夹件支承部26。在上夹件支承部26的相对于旋转轴27的远位部设置有上夹件22a。另外，在图示例中，下夹件支承部25及上夹件支承部26设置于基部，但这些也可以设置于夹具90。
接着，通过如上述地使吸引板60旋转，而成为透光性层叠体10被吸引板60与把持部件20a的下夹件24a夹入的状态。这里，如图5(b)所示，透光性层叠体10被定位成其外缘抵接于定位用的台阶25b。其结果，透光性层叠体10的外缘对应于框状的下夹件24a的外缘。接着，如上述，停止吸引板60的吸引并且开始下夹件24a的吸引，将透光性层叠体10吸引固定于下夹件24a。进一步地，如上述，使吸引板60离开后，从透光性层叠体10剥离去除表面保护膜71。
接着，在已将透光性层叠体10吸引固定于下夹件24a的状态下，如图5(c)所示地使上夹件支承部26向透光性层叠体10方向(在图示例中是向顺时针)旋转，通过上夹件22a与下夹件24a来把持透光性层叠体10。把持后停止下夹件24a的吸引。进一步地，如图5(c)所示地通过由固定组件29来固定旋转轴27，使透光性层叠体10成为固定于半空中的状态。固定组件29能够采用任意的适当的结构。在图示例中固定组件29是螺丝，通过拧紧螺丝使其推抵于旋转轴27，便能够固定旋转轴27。
在一个实施方式中，固定于半空中的透光性层叠体10也可以被赋予张力(拉力)。在此情况下，第一把持部件20a与第三把持部件20c、以及第二把持部件20b与第四把持部件20d分别构成为能够相对地接近或离开。例如如图6所示，能够固定住第一把持部件20a，并对第二把持部件20b、第三把持部件20c及第四把持部件20d赋予张力。第二把持部件20b、第三把持部件20c及第四把持部件20d也可以构成为能够滑动，也可以在适当地赋予张力的范围内留有能够稍作移动的余地。张力代表性的是通过弹性部件(例如弹簧)23，对相对置的把持部件赋予向相对地离开的方向的势能。若是这样的结构，能够显著地抑制透光性层叠体10的长边方向及短边方向的任一方向的皱褶、挠曲及变形。其结果，能够更高精度地进行异物检查，能够正确地检测微小的异物和/或缺陷。张力能够通过调整弹簧本身的强度、弹簧的固定螺丝的拧紧度来加以控制。
D.缺陷的检测
如上述，缺陷的检测代表性的是使用如图1所示的光学系统(包含拍摄元件30及光源40)来进行。以下具体地说明一例。首先，如图7的左侧所示，将预定倍率(以下有时称为低倍率)的光学系统(实质上是拍摄元件30)的焦点，对焦于透光性层叠体10的第一主面10a的表面。在此状态下，如图8所示地由拍摄元件30来扫描透光性层叠体10的平面(XY平面)整体，制作缺陷的XY坐标图(第一XY坐标图)。如上述A项所记载，因为缺陷会被辨识为暗点，所以在第一XY坐标图中，透光性层叠体10的第一主面10a附近(从第一主面到厚度方向内侧的预定的距离)的缺陷，会被辨识为例如如图9所示的图像上的暗点。另外，只凭借第一XY坐标图，有时无法检测到厚度方向较深的位置(靠近第二主面的位置)的微小缺陷。对此，根据本发明的实施方式，如后述，通过从第一主面的表面朝厚度方向内侧错开预定距离P来进行缺陷的检测，能够涵盖透光性层叠体的厚度方向整体而正确地检测微小缺陷。
接着，如图7的中央部所示，使拍摄元件30的焦点，从透光性层叠体10的第一主面10a的表面，朝厚度方向(Z方向)内侧错开预定距离P，而使焦点对焦于透光性层叠体10的厚度方向内侧的预定的位置。在此状态下，和上述一样，如图8所示地由拍摄元件30来扫描透光性层叠体10的XY平面整体，制作缺陷的XY坐标图(第二XY坐标图)。在第二XY坐标图中，透光性层叠体10的厚度方向内侧的预定位置附近(从该预定位置到预定的距离)的缺陷，会被辨识为例如与图9实质上位于不同位置的图像上的暗点。另外，在本说明书中，预定距离P有时称为拍摄间距(pitch)。拍摄元件的对焦能够使用任意的适当的组件来实现。例如，也可以使拍摄元件本身向Z方向移动，也可以通过透镜等变更拍摄元件的焦点距离，也可以组合这些。图示例是示出通过透镜等变更拍摄元件的焦点距离的方式。
根据需要而如图7的右侧所示，使拍摄元件30的焦点进一步朝厚度方向(Z方向)错开预定距离P，而使焦点对焦于透光性层叠体10的厚度方向内侧的下一个预定的位置。在此状态下，和上述一样，如图8所示地由拍摄元件30来扫描透光性层叠体10的XY平面整体，制作缺陷的XY坐标图(第三XY坐标图)。根据需要重复该操作预定次数，来制作预定数量的缺陷的XY坐标图。拍摄间距及制作的缺陷的XY坐标图的数量，能够根据透光性层叠体的整体厚度、构成透光性层叠体的层数、各层的厚度等而适当地设定。拍摄间距P例如是10μm～100μm，优选的是20μm～80μm，更优选的是40μm～60μm。根据这样的结构，能够在不用拍摄元件扫描厚度方向整体的情况下，检测存在于厚度方向上的实质上的全部的缺陷(因此也就是透光性层叠体中的实质上的全部的缺陷)及其大致的位置。在图7示出制作3个缺陷的XY坐标图的方式，但制作的缺陷的XY坐标图的数量不限于此，优选的是2～10个，更优选的是3～8个，再更优选的是4～6个。
接着，整合如上所述制作的预定数量的缺陷的XY坐标图。例如图10示出了整合5个缺陷的XY坐标图来制作缺陷的XY坐标图(整合XY坐标图)的一例。如图10，通过整合各图像数据，能够在共通的XY坐标上表示存在于各个XY坐标图的缺陷。能够像这样制作整合XY坐标图。在整合XY坐标图中，透光性层叠体中的实质上的全部的缺陷表示成XY坐标(二维坐标)。
如上述的整合XY坐标图的制作上的拍摄元件的预定倍率(低倍率)，优选的是小于10倍，更优选的是5倍以下。该倍率的下限可以是例如1.5倍。该倍率若是这样的范围，能够有效率地拍摄透光性层叠体的大范围，其结果，能够有效率地制作整合XY坐标图。
其次，测定缺陷的深度(在透光性层叠体的厚度方向上的位置)。这里，涵盖透光性层叠体的平面全面且厚度方向整体来检测缺陷是困难的，即使能够实现，考虑到成本、时间及效率性也不实用。因此在本实施方式中，仅在整合XY坐标图中的缺陷发生坐标上测定缺陷的厚度方向的位置。如上述，在整合XY坐标图中，因为透光性层叠体中的实质上的全部的缺陷会表示成二维坐标，所以通过仅在缺陷发生坐标上测定缺陷的厚度方向的位置，能够检测透光性层叠体中的实质上的全部的缺陷的厚度方向的位置。
缺陷的深度的测定包含：使拍摄元件的焦点对焦于透光性层叠体的第一主面的表面、及使该焦点朝透光性层叠体的厚度方向内侧移动以测定从第一主面的表面到缺陷的距离。具体而言，能够使拍摄元件的焦点朝厚度方向移动，将对比度高的位置认定为对焦位置，并将从第一主面表面到该对焦位置的距离当作缺陷在厚度方向上的位置。通过检测缺陷在厚度方向上的正确的位置，能够格外地提升制品的检查效率及出货效率。
如上述的缺陷的深度测定中的拍摄元件的倍率(高倍率)，优选的是10倍以上，更优选的是20倍以上。该倍率的上限可以是例如50倍。该倍率若是这样的范围，能够可靠地检测微小缺陷在厚度方向上的位置。
缺陷的深度测定记载于例如(日本)特开2001-124660号公报、(日本)特开2004-077261号公报、(日本)特开2009-250893号公报。这些公报的记载作为参考援引于本说明书。
在一个实施方式中，上述缺陷的检测可以在以下的区域进行：在上述缺陷的XY坐标图中，由拍摄元件所进行的每扫描距离1000μm的透光性层叠体的第一主面的厚度方向(Z方向)的变动量优选为±10μm以内，更优选为±8μm以内的区域。在其它实施方式中，上述缺陷的检测可以在以下的区域进行：透光性层叠体的挠曲角度相对于水平方向优选为±0.57°以内，更优选为±0.50°以内的区域。即，无论在哪个实施方式中，都可以在透光性层叠体的挠曲非常小的区域中进行缺陷的检测。若是这样的结构，能够极为正确地进行拍摄元件对透光性层叠体的第一主面的对焦(就结果而言是极为正确地进行对以后的厚度方向内侧的预定的位置的对焦)。其结果，能够正确地检测微小缺陷在厚度方向上的位置。这样的透光性层叠体的挠曲非常小的区域，能够通过上述C项所记载的透光性层叠体的固定方法来实现。
如上所述，即可进行透射检查(缺陷的检测)。检查结束后，透光性层叠体如上述，代表性的是可以裁剪成最终制品尺寸并出货。此处也如上述，检查结束后能够根据需要，将已剥离的表面保护膜，以能够再次剥离的方式暂时粘贴于透光性层叠体。
产业上的可利用性
本发明的实施方式的透光性层叠体的检查方法，能够在图像显示装置的制造过程中，适合地用于光学膜、粘贴剂片等的异物的检测。
附图标记说明
10：透光性层叠体；20：把持部件；30：拍摄元件；40：光源；50：底座；60：吸引板；71：表面保护膜；72：表面保护膜；80：升降机构；100：透光性层叠体的检查装置
Claims (17)
1.一种透光性层叠体的检查方法，其中，包含：
在把持单片的透光性层叠体的四边而固定于半空中的状态下进行透射检查，以检测该透光性层叠体中的缺陷。
2.根据权利要求1所述的透光性层叠体的检查方法，其中，包含：
将第一表面保护膜及第二表面保护膜分别暂时粘贴于所述透光性层叠体的两面；
通过吸引板吸引该透光性层叠体的该第一表面保护膜侧，将该透光性层叠体固定于该吸引板；
在该透光性层叠体已固定于该吸引板的状态下，剥离该第二表面保护膜；
在该透光性层叠体已固定于该吸引板的状态下，由该吸引板与把持部件的下夹件夹持该透光性层叠体；
夹入之后，停止该吸引板的吸引，并且开始该下夹件的吸引，将该透光性层叠体固定于该下夹件；
在该透光性层叠体已固定于该下夹件的状态下，使该吸引板离开；
在该透光性层叠体已固定于该下夹件的状态下，剥离该第二表面保护膜；
在该透光性层叠体的与该下夹件相反侧的面的对应于该下夹件的位置配置有上夹件，通过该上夹件与该下夹件把持该透光性层叠体；及
停止该下夹件的吸引。
3.根据权利要求2所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述吸引板的长边端部及短边端部设置有作为凸部的定位部。
4.根据权利要求3所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述吸引板的长边端部的定位部与短边端部的定位部各自的一端相接，而形成直角的角部，所述透光性层叠体的一个角隅部抵接于该角部来进行定位。
5.根据权利要求4所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述下夹件由下夹件支承部支承，并且通过该下夹件支承部与该下夹件来规定出所述透光性层叠体的定位用的台阶，该透光性层叠体的外缘抵接于该台阶来进行定位。
6.根据权利要求5所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述台阶规定于：当由所述吸引板与所述下夹件夹入所述透光性层叠体时，对应于该吸引板的所述定位部的位置。
7.根据权利要求2～6中任一项所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述把持部件在俯视下为框状，所述透光性层叠体的外缘定位成对应于该把持部件的外缘。
8.根据权利要求2～7中任一项所述的透光性层叠体的检查方法，其中，包含：
检测所述缺陷后，将所述已剥离的第一表面保护膜或第二表面保护膜、或者该第一表面保护膜或与该第一表面保护膜不同的表面保护膜，以能够剥离的方式暂时粘贴于所述透光性层叠体的至少一表面。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
还包含对所述透光性层叠体赋予张力。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
检测所述透光性层叠体中的8μm～50μm尺寸的缺陷。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述缺陷的检测包含：
使预定倍率的光学系统的焦点对焦于所述透光性层叠体的第一主面的表面，并由该光学系统扫描该透光性层叠体，制作缺陷的XY坐标图；
使该光学系统的焦点从该透光性层叠体的第一主面的表面，朝厚度方向内侧错开预定距离，并由该光学系统扫描该透光性层叠体，制作其它的缺陷的XY坐标图；及
将该制作好的缺陷的XY坐标图加以整合。
12.根据权利要求11所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述缺陷的检测包含：重复进行预定次数的使所述光学系统的焦点朝所述透光性层叠体的厚度方向内侧进一步错开所述预定距离，并由该光学系统扫描该透光性层叠体的步骤，制作预定数量的缺陷的XY坐标图。
13.根据权利要求11或12所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述缺陷的检测包含：仅在所述已整合的缺陷的XY坐标图的缺陷发生坐标上，使用比所述预定倍率更高倍率的光学系统测定该缺陷的厚度方向的位置。
14.根据权利要求1～13中任一项所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述透光性层叠体是从光学膜、粘贴剂片、及这些的组合当中选择。
15.根据权利要求14所述的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述光学膜是从偏光板、相位差板、及包含这些的层叠体当中选择。
16.根据权利要求1～15中任一项的透光性层叠体的检查方法，其中，
所述透光性层叠体的厚度为300μm以下。
17.一种透光性层叠体的检查装置，具有：
底座；
把持部件，其设置于该底座，并把持透光性层叠体的四边而将该透光性层叠体固定于半空中；
吸引板，其经由旋转轴能够转动地安装于设置在该底座的一端的板支承部，构成为能够通过以该旋转轴为中心的旋转而配置于与该把持部件相对置的位置；
拍摄元件，其获得该透光性层叠体的图像；及
光源，其发出照射该透光性层叠体的照射光；
该把持部件是由具有第一上夹件与第一下夹件的第一把持部件、具有第二上夹件与第二下夹件的第二把持部件、具有第三上夹件与第三下夹件的第三把持部件、及具有第四上夹件与第四下夹件的第四把持部件所构成，
该第一把持部件、该第二把持部件、该第三把持部件及该第四把持部件把持该透光性层叠体的四边的各边。
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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