CN117690858A - 机械手组件及探针台 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种机械手组件及探针台。机械手组件包括：第一机械手，第一机械手用于承载晶圆，第一机械手包括相对设置的第一手臂及第一底板，第一手臂承载于第一底板；第二机械手，第二机械手用于承载晶圆，第二机械手包括相对设置的第二手臂及第二底板，第二底板与第一底板相对设置，且第二底板固定连接于第一底板，第二手臂承载于第二底板邻近第一底板的一侧；及第一传动件，第一传动件设置于第二底板背离第一底板的一侧，第二底板及第一底板能够在第一传动件的带动下以第一机械手的中心轴为旋转中心且沿第一方向及第一方向的反方向旋转，中心轴沿第一底板及第二底板的排布方向延伸，使得机械手组件在探针台中能够保持平稳的运输状态。

Description

机械手组件及探针台

技术领域

本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其涉及一种机械手组件及探针台。

背景技术

探针台是一种用于对半导体器件进行电性能测试的重要设备，其由精密的机械结构、高性能的探针针头和电性能测试仪器等组成。在探针台中，通常利用机械手来进行上下料，也就是取出或放置晶圆。

然而，传统的机械手为了适应小尺寸晶圆的运输会制备为整体较薄的手臂结构，当探针台需要运输大尺寸晶圆时，传统的机械手容易出现运输不稳定的现象，并影响晶圆运输效率和精度。

发明内容

鉴于此，本申请提供一种机械手组件及探针台，使得机械手组件在探针台中能够保持平稳的运输状态。

第一方面，本申请提供一种机械手组件，所述机械手组件包括：

第一机械手，所述第一机械手用于承载晶圆，所述第一机械手包括相对设置的第一手臂及第一底板，所述第一手臂承载于所述第一底板；

第二机械手，所述第二机械手用于承载晶圆，所述第二机械手包括相对设置的第二手臂及第二底板，所述第二底板与所述第一底板相对设置，且所述第二底板固定连接于所述第一底板，所述第二手臂承载于所述第二底板邻近所述第一底板的一侧；及

第一传动件，所述第一传动件设置于所述第二底板背离所述第一底板的一侧，所述第二底板及所述第一底板能够在所述第一传动件的带动下以所述第一机械手的中心轴为旋转中心且沿第一方向及第一方向的反方向旋转，所述第一方向垂直于所述第一底板及所述第二底板的排布方向，所述中心轴沿所述第一底板及所述第二底板的排布方向延伸。

其中，所述机械手组件还包括第一侧板及第二侧板，所述第一侧板及所述第二侧板相对设置于所述第一底板的两侧，所述第一侧板的一端弯折连接于所述第一底板，所述第一侧板的另一端弯折连接于所述第二底板，且所述第一底板及所述第二底板设置于所述第一侧板的同侧；所述第二侧板的一端弯折连接于所述第一底板，所述第二侧板的另一端弯折连接于所述第二底板，且所述第一底板及所述第二底板设置于所述第二侧板的同侧。

其中，所述第一机械手还包括第二传动件，所述第二传动件固定于所述第一底板，所述第一手臂连接于所述第二传动件，且所述第一手臂能够在所述第二传动件的带动下沿第二方向往复移动，所述第二方向垂直于所述第一底板及所述第二底板的排布方向；和/或，

所述第二机械手还包括第三传动件，所述第三传动件固定于所述第二底板，所述第二手臂连接于所述第三传动件，且所述第二手臂能够在所述第三传动件的带动下沿所述第二方向往复移动。

其中，所述第一机械手还包括第一导轨，所述第一导轨沿所述第二方向延伸，所述第一导轨的一侧固定于所述第一底板，所述第一导轨的另一侧承载所述第一手臂，且所述第一手臂能够沿所述第一导轨滑动；和/或，

所述第二机械手还包括第二导轨，所述第二导轨沿所述第二方向延伸，所述第二导轨的一侧固定于所述第二底板邻近所述第一底板的一侧，所述第二导轨的另一侧承载所述第二手臂，且所述第二手臂能够沿所述第二导轨滑动。

其中，所述第一导轨包括间隔设置的第一子导轨及第二子导轨，所述第一子导轨及所述第二子导轨对称设置于所述第一手臂的两侧，所述第一手臂能够同时沿所述第一子导轨及所述第二子导轨滑动；和/或，

所述第二导轨包括间隔设置的第三子导轨及第四子导轨，所述第三子导轨及所述第四子导轨对称设置于所述第二手臂的两侧，所述第二手臂能够同时沿所述第三子导轨及所述第四子导轨滑动。

其中，所述第一机械手还包括第一限位件及第二限位件，所述第一限位件设置于所述第一手臂邻近所述第一底板的一侧，所述第二限位件设置于所述第一底板邻近所述第一手臂的一侧，所述第二限位件邻近于所述第一底板的端侧设置，并阻挡所述第一限位件经过所述第一底板的端侧；和/或，

所述第二机械手还包括第三限位件及第四限位件，所述第三限位件设置于所述第二手臂邻近所述第二底板的一侧，所述第四限位件设置于所述第二底板邻近所述第二手臂的一侧，所述第四限位件邻近于所述第二底板的端侧设置，并阻挡所述第三限位件经过所述第二底板的端侧。

其中，所述机械手组件还包括第四传动件及连接组件，所述连接组件包括弯折相连的第一连接板及第二连接板，所述第一连接板设置于所述第一传动件背离所述第二底板的一侧，所述第二连接板的一端连接于所述第一连接板，所述第二连接板的另一端连接于所述第四传动件，所述第四传动件沿第三方向延伸，所述第三方向垂直于所述第一方向及所述第二方向，且所述第四传动件能够带动所述第一机械手及所述第二机械手沿所述第三方向往复运动。

其中，所述第二传动件包括第一驱动件、第一传动轴及第一传动带，所述第一驱动件连接于所述第一传动轴，并用于驱动所述第一传动轴旋转，所述第一传动轴连接于所述第一传动带，并用于带动所述第一传动带沿第二方向往复移动，所述第一传动带连接于所述第一手臂，并带动所述第一手臂沿第二方向往复移动，且所述第一驱动件设置于所述第一传动轴邻近所述第一传动带的一侧；和/或，

所述第三传动件包括第二驱动件、第二传动轴及第二传动带，所述第二驱动件连接于所述第二传动轴，并用于驱动所述第二传动轴旋转，所述第二传动轴连接于所述第二传动带，并用于带动所述第二传动带沿第二方向往复移动，所述第二传动带连接于所述第二手臂，并带动所述第二手臂沿第二方向往复移动，且所述第二驱动件设置于所述第二传动轴邻近所述第二传动带的一侧。

其中，所述第一机械手还包括第一连接件，所述第一连接件包括弯折相连的第一连接部及第二连接部，所述第一连接部连接于所述第一传动带，所述第二连接部连接于所述第一手臂，且所述第一手臂在邻近所述第一传动轴的一侧具有第一收容槽，所述第二连接部收容于所述第一收容槽内；和/或，

所述第二机械手还包括第二连接件，所述第二连接件包括弯折相连的第三连接部及第四连接部，所述第三连接部连接于所述第二传动带，所述第四连接部连接于所述第二手臂，且所述第二手臂在邻近所述第二传动轴的一侧具有第二收容槽，所述第四连接部收容于所述第二收容槽内。

第二方面，本申请还提供一种探针台，所述探针台包括卡盘及所述机械手组件，所述卡盘用于承载晶圆进行测试，所述机械手组件能够运输晶圆至所述卡盘。

综上所述，本实施方式提供的机械手组件第一机械手、第二机械手及第一传动件，所述机械手组件通过所述第一底板、所述第二底板的设置对所述第一手臂及所述第二手臂起到良好地承载和加固作用，使得所述机械手组件在运输大尺寸晶圆时，能够保持平稳的运输状态，避免机械手组件发生晃动导致晶圆偏移或掉落，并保障使得所述机械手组件在移动过程中的位置精准性。且所述第二底板及所述第一底板能够在所述第一传动件的带动下能够以所述第一机械手的中心轴为旋转中心进行旋转，当所述机械手组件需要运输大尺寸晶圆时，能够避免机械手组件在运输晶圆并进行旋转时的占用空间过大，且使得所述机械手组件在旋转过程中能够更加平稳，从而使得所述机械手组件在探针台中能够保持可靠的运转状态。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例一的机械手组件的结构示意图；

图2是本申请实施例的机械手组件的立体分解结构示意图；

图3是本申请实施例的机械手组件部分结构的立体分解示意图；

图4是本申请实施例的机械手组件的旋转范围示意图；

图5是本申请实施例二的机械手组件的结构示意图；

图6是本申请实施例三的机械手组件的结构示意图；

图7是本申请实施例的第一底板的结构示意图；

图8是本申请实施例的第二底板的结构示意图；

图9是本申请实施例四的机械手组件的结构示意图；

图10是本申请实施例五的机械手组件的结构示意图；

图11是本申请实施例六的机械手组件的结构示意图；

图12是本申请实施例七的机械手组件的结构示意图；

图13是本申请实施例的探针台的结构示意图。

附图标记说明：

1-探针台，10-机械手组件，20-卡盘，30-晶圆，11-第一机械手，12-第二机械手，13-第一传动件，14-第一侧板，15-第二侧板，16-第四传动件，17-连接组件，111-第一手臂，112-第一底板，113-中心轴，115-第一连接加强块，116-第二传动件，117-第一导轨，118-第一限位件，119-第二限位件，121-第二手臂，122-第二底板，124-第二连接加强块，125-第三传动件，126-第二导轨，127-第三限位件，128-第四限位件，171-第一连接板，172-第二连接板，181-第一连接件，182-第二连接件，1111-第一承载面，1112-第一收容槽，1113-第一臂座，1121-第一承载部，1122-第二承载部，1123-第三承载部，1161-第一驱动件，1162-第一传动轴，1163-第一传动带，1171-第一子导轨，1172-第二子导轨，1211-第二承载面，1212-第二收容槽，1213-第二臂座，1221-第四承载部，1222-第五承载部，1223-第六承载部，1251-第二驱动件，1252-第二传动轴，1253-第二传动带，1261-第三子导轨，1262-第四子导轨，1811-第一连接部，1812-第二连接部，1821-第三连接部，1822-第四连接部，111a-第一固定部，121a-第二固定部。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本文中提及“实施例”或“实施方式”意味着，结合实施例或实施方式描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

在介绍本申请的技术方案之前，再详细介绍下相关技术中的技术问题。

晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求，一般是要求高效准确，能够捕捉有效缺陷，实现实时检测。

探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在晶圆上，从而可以与测试仪器及半导体测试系统配合来检测晶圆表面缺陷。在探针台中，通常利用机械手（叉臂）来进行上下料，也就是取出或放置晶圆。

然而，传统的机械手（叉臂）为了适应小尺寸晶圆的运输会制备为整体较薄的手臂结构，其在制备过程中会不易控制尺寸精度，导致机械手制备成本增加且易产生尺寸误差。且当探针台需要运输大尺寸晶圆时，传统的机械手容易出现运输不稳定的现象，造成晶圆在晃动过程中出现位置偏移，导致机械手对晶圆吸附不佳。以及，当机械手在运输过程中不稳定时，探针台会难以保证晶圆运输和检测的精准性。

鉴于此，为解决上述问题，本申请提供了一种探针台1。所述探针台1包括但不仅限于集成有电学、光波、微波等测试功能。且所述探针台1可以为但不仅限于为半自动探针台或全自动探针台。

可选地，所述探针台1包括控制/测试软件、载物台（Chuck）控制系统、探针测试系统、视/光学组件、屏蔽组件及隔震系统等部分。可选地，所述探针台1可对晶圆（Wafer）或其他元器件进行I-V、C-V、光信号、RF、1/F噪声等特性分析。

具体地，所述探针台1在工作过程中，可以通过探针或探针卡点测晶圆样品的引脚（pad），通过连接测试仪器加载和测量电学信号，并在软件端对电学信号进行控制、判断与存储，并将判断信息反馈至喷墨系统，对晶圆上的次品晶粒（die）进行打点标记。在一个次品晶粒（die）测试完成后，通过软件控制系统将载物台（Chuck）机械平台移动至下一个待测晶粒（die），依次进行循环测试。

所述探针台1可以为但不仅限于为对尺寸规格为12寸、或8寸、或6寸、或其他尺寸的晶圆进行检测。可选地，所述探针台1还可以为硅（Si）、氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）等各类材质构成的芯片进行性能测试。

所述探针台1可以为但不仅限于为适用于晶圆、或微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）、或生物结构、或光电器件、或发光二极管（Light EmittingDiode，LED）、或液晶显示屏幕（Liquid Crystal Display，LCD）、或太阳能电池的探测。

可选地，所述探针台1的工作温度为-60℃~300℃。进一步可选地，所述探针台1还可以加载温控系统，来满足于高低温环境下的性能测试要求。

请参阅图1、图2、图3及图4。本实施方式提供一种机械手组件10，所述机械手组件10包括第一机械手11、第二机械手12及第一传动件13。所述第一机械手11用于承载晶圆30，所述第一机械手11包括相对设置的第一手臂111及第一底板112，所述第一手臂111承载于所述第一底板112。所述第二机械手12用于承载晶圆30，所述第二机械手12包括相对设置的第二手臂121及第二底板122，所述第二底板122与所述第一底板112相对设置，且所述第二底板122固定连接于所述第一底板112，所述第二手臂121承载于所述第二底板122邻近所述第一底板112的一侧。所述第一传动件13设置于所述第二底板122背离所述第一底板112的一侧，所述第二底板122及所述第一底板112能够在所述第一传动件13的带动下以所述第一机械手11的中心轴113为旋转中心且沿第一方向D1及第一方向D1的反方向旋转，所述第一方向D1垂直于所述第一底板112及所述第二底板122的排布方向，所述中心轴113沿所述第一底板112及所述第二底板122的排布方向延伸。

可选地，所述机械手组件10应用于探针台1中，并用于运输晶圆30。所述探针台1还包括物料盒、卡盘20及其他零部件等，可以理解地，所述探针台1的其他零部件不应当成为对本实施方式提供的机械手组件10的限定。

可选地，所述机械手组件10包括第一机械手11及第二机械手12，所述第一机械手11用于承载晶圆30，且所述第二机械手12也能够用于承载晶圆30。

可选地，当所述机械手组件10向所述探针台1的物料盒进行取出晶圆30时，所述第一机械手11及所述第二机械手12中的任意一者能够移动至所述物料盒内取出晶圆30，与此同时，所述第一机械手11及所述第二机械手12中的另一者还能够移动至所述物料盒并放置晶圆30。

同样可选地，当所述机械手组件10向所述探针台1的卡盘20放置待测试的晶圆30时，所述第一机械手11及所述第二机械手12中的任意一者能够移动至所述卡盘20所在的位置取走测试完毕的晶圆30，与此同时，所述第一机械手11及所述第二机械手12中的另一者还能够移动至所述卡盘20所在的位置并放置待测试的晶圆30。在本实施方式中，所述机械手组件10通过双机械手的设置，可以实现更高效率的晶圆30运输工作。

可选地，所述第一机械手11通过在机械手表面形成真空或负压等形式来吸附固定晶圆30，所述第二机械手12通过在机械手表面形成真空或负压等形式来吸附固定晶圆30。

可选地，所述第一手臂111及所述第一底板112为相对设置，可以理解为，所述第一手臂111间隔设置于所述第一底板112的一侧。需要说明的是，所述第一手臂111具有收缩状态及伸出状态。当所述第一机械手11不需要自卡盘20等部件取出或放置晶圆30时，所述第一手臂111处于收缩状态，并且沿着所述第一机械手11与所述第二机械手12的排布方向上，所述第一手臂111在所述第一底板112的正投影落入所述第一底板112的范围内。当所述第一机械手11需要自卡盘20等部件取出或放置晶圆30时，所述第一手臂111处于伸出状态，并且所述第一手臂111在所述第一底板112的正投影部分落入或未落入所述第一底板112的范围内。

换言之，所述第一手臂111具有第一承载面1111，当所述第一手臂111处于收缩状态时，所述第一承载面1111正对所述第一底板112设置。

可选地，所述第二手臂121及所述第二底板122为相对设置，可以理解为，所述第二手臂121间隔设置于所述第二底板122的二侧。需要说明的是，所述第二手臂121具有收缩状态及伸出状态。当所述第二机械手12不需要自卡盘20等部件取出或放置晶圆30时，所述第二手臂121处于收缩状态，并且沿着所述第一机械手11与所述第二机械手12的排布方向上，所述第二手臂121在所述第二底板122的正投影落入所述第二底板122的范围内。当所述第二机械手12需要自卡盘20等部件取出或放置晶圆30时，所述第二手臂121处于伸出状态，并且所述第二手臂121在所述第二底板122的正投影部分落入或未落入所述第二底板122的范围内。

换言之，所述第二手臂121具有第二承载面1211，当所述第二手臂121处于收缩状态时，所述第二承载面1211正对所述第二底板122设置。

可选地，所述第一手臂111为间接承载于所述第一底板112，并能够相对所述第一底板112进行移动来进行取放晶圆30的操作。具体地，所述第一机械手11还包括第一臂座1113，所述第一臂座1113的一侧用于固定所述第一手臂111，所述第一臂座1113的另一侧通过第一导轨117承载并固定于所述第一底板112邻近所述第一手臂111的表面。

可选地，所述第二手臂121为间接承载于所述第二底板122，并能够相对所述第二底板122进行移动来进行取放晶圆30的操作。具体地，所述第二机械手12还包括第二臂座1213，所述第二臂座1213的一侧用于固定所述第二手臂121，所述第二臂座1213的另一侧通过第二导轨126承载并固定于所述第二底板122邻近所述第二手臂121的表面。

可选地，所述第一机械手11能够承载的晶圆30规格包括但不仅限于4英寸、或6英寸、或8英寸、或12英寸、或其他尺寸等。所述第一机械手11还能够承载圆形晶圆、或方形晶圆、或其他类型的晶圆30等。在本实施方式的示意图中，以所述第一机械手11用于承载大尺寸方形晶圆为例进行示意。

可选地，所述第二机械手12能够承载的晶圆30规格包括但不仅限于4英寸、或6英寸、或8英寸、或12英寸、或其他尺寸等。所述第二机械手12还能够承载圆形晶圆、或方形晶圆、或其他类型的晶圆30等。在本实施方式的示意图中，以所述第二机械手12用于承载大尺寸方形晶圆为例进行示意。

需要说明的是，当所述机械手组件10需要运输大尺寸晶圆时，相较于运输小尺寸晶圆的机械手臂而言，所述第一手臂111需要设置为相对较大的尺寸，所述第二手臂121也需要设置为相对较大的尺寸。在传统实施方式的机械手组件10中，当未设置第一底板112来承载第一手臂111及未设置第二底板122来承载第二手臂121、或未设置大于第一手臂111的第一底板112来承载第一手臂111及未设置大于第二手臂121的第二底板122来承载第二手臂121时，第一手臂111和第二手臂121很容易在运输晶圆30的移动过程中出现位置不稳固的情形，导致机械手组件10出现晃动或位移，及进一步出现晶圆30在机械手的晃动或位移过程中出现吸附不牢固、甚至是从机械手滑落等问题，并且机械手组件10发生不稳时，也会进一步造成探针台1对机械手组件10运动精度控制的误差增大，导致机械手无法精准取放晶圆30。

在本实施方式中，所述第一手臂111承载于所述第一底板112，所述第一手臂111相对设置于所述第一底板112，即所述第一手臂111在收缩状态下正对所述第一底板112。所述第二手臂121承载于所述第二底板122，所述第二手臂121相对设置于所述第二底板122，即所述第二手臂121在收缩状态下正对所述第二底板122。所述第一底板112能够对所述第一手臂111起到良好地承载和加固作用，所述第二底板122能够对所述第二手臂121起到良好地承载和加固作用，使得所述机械手组件10在运输大尺寸晶圆时，也可以保持平稳地移动效果，并进而使得所述机械手组件10能够对大尺寸晶圆进行有效地吸附和固定，且使得所述机械手组件10的位置精度得到有效地提升。

优选地，所述第二底板122还固定连接于所述第一底板112，从而相对于第一机械手11和第二机械手12为彼此分体结构的设置关系而言，所述机械手组件10能够具有更加稳固的位置关系。使得所述第一底板112和所述第二底板122不仅能够支撑第一手臂111和第二手臂121，第一底板112及第二底板122还能进行相互固定支撑，所述机械手组件10的结构得到进一步地稳固，使得所述第一手臂111及所述第二手臂121在运输大尺寸晶圆的过程中可以保持稳定，且能够进一步避免第一手臂111及第二手臂121之间产生位置偏差的情形，从而进一步提升所述机械手组件10的操作精准度，避免因第一手臂111及第二手臂121之间产生位置偏差而造成任一手臂无法精准承接晶圆30的情形。

其中，所述第二底板122与所述第一底板112相对设置，可以理解为，所述第二底板122正对并间隔设置于所述第一底板112。优选地，所述第一底板112的尺寸规格等同于或近似等同于所述第二底板122的尺寸规格。所述第一底板112在所述第二底板122的正投影与所述第二底板122的范围重合或大致重合，从而使得所述机械手组件10的整体重力分布更加均匀。

所述机械手组件10还包括第一传动件13，所述第一传动件13可以为但不仅限于为能够带动第一机械手11及第二机械手12升降及旋转。具体地，所述第一传动件13设置于所述第二底板122背离所述第一底板112的一侧，换言之，所述第一传动件13与所述第二手臂121设置于所述第二底板122相背的两侧。沿着所述第一底板112及所述第二底板122的排布方向上，所述第一传动件13通过带动所述第二底板122升降，还能够带动所述第二底板122旋转，并通过所述第二底板122带动所述第一手臂111及所述第二手臂121实现同步地升降或同步地旋转，从而提升所述机械手组件10的工作效率及空间利用效率。

优选地，所述第一传动件13正对于所述第二底板122的中心点设置，并能够带动所述第二底板122及第一底板112以第一机械手11的中心轴113为旋转中心进行旋转。其中，所述第一机械手11的中心轴113穿设于所述第一机械手11沿长度方向的中心点，并穿设于所述第一机械手11沿宽度方向的中心点，且所述中心轴113沿第一底板112及第二底板122的排布方向延伸。

可选地，所述第一传动件13具有旋转轴，所述旋转轴穿设于所述第一底板112的中心点，并穿设于所述第二底板122的中心点。在本实施方式中，通过将所述第一转动件的旋转轴设置于所述第一底板112的中心点及所述第二底板122的中心点，使得所述机械手组件10的旋转轴能够在中心轴113的位置，从而相较于将旋转轴设置于机械手组件10的端侧而言，所述机械手组件10在旋转过程中能够占用更小的空间范围。尤其是当所述机械手组件10需要运输大尺寸晶圆时，能够避免机械手组件10在运输晶圆30并进行旋转时，在探针台1中占用过大的空间，从而有效地减小所述机械手组件10的占用空间。

需要说明的是，所述第一传动件13可以为但不仅限于为在所述第一机械手11处于收缩状态下时，以所述第一机械手11的中心轴113为旋转中心进行旋转。可参阅本申请附图4，附图4中的虚线表示为第一机械手11在收缩状态下的旋转范围。

其中，所述第一传动件13可以为但不仅限于为由第一电机、第一轴承及其他零部件等构成，所述第一电机能够通过同步带、或丝杆或其他零部件等来驱动第一轴承转动，所述第一轴承固定连接于所述第二底板122，并带动所述第二底板122转动。

其中，所述第一传动件13能够带动所述第一机械手11、所述第二机械手12沿第一方向D1及第一方向D1的反方向旋转。所述第一方向D1可以为但不仅限于为顺时针方向或逆时针方向，且所述第一方向D1垂直于所述第一底板112及所述第二底板122的排布方向。

综上所述，本实施方式提供的机械手组件10第一机械手11、第二机械手12及第一传动件13，所述机械手组件10通过所述第一底板112、所述第二底板122的设置对所述第一手臂111及所述第二手臂121起到良好地承载和加固作用，使得所述机械手组件10在运输大尺寸晶圆时，能够保持平稳的运输状态，避免机械手组件10发生晃动导致晶圆30偏移或掉落，并保障使得所述机械手组件10在移动过程中的位置精准性。且所述第二底板122及所述第一底板112能够在所述第一传动件13的带动下能够以所述第一机械手11的中心轴113为旋转中心进行旋转，当所述机械手组件10需要运输大尺寸晶圆时，能够避免机械手组件10在运输晶圆30并进行旋转时的占用空间过大，且使得所述机械手组件10在旋转过程中能够更加平稳，从而使得所述机械手组件10在探针台1中能够保持可靠的运转状态。

请参阅图3及图5。所述机械手组件10还包括第一侧板14及第二侧板15，所述第一侧板14及所述第二侧板15相对设置于所述第一底板112的两侧，所述第一侧板14的一端弯折连接于所述第一底板112，所述第一侧板14的另一端弯折连接于所述第二底板122，且所述第一底板112及所述第二底板122设置于所述第一侧板14的同侧。所述第二侧板15的一端弯折连接于所述第一底板112，所述第二侧板15的另一端弯折连接于所述第二底板122，且所述第一底板112及所述第二底板122设置于所述第二侧板15的同侧。

其中，所述第一侧板14及所述第二侧板15设置于所述第一底板112的相背两侧，且所述第一侧板14及所述第二侧板15的排布方向垂直于所述第一底板112及所述第二底板122的排布方向。

可选地，所述第一侧板14固定连接于所述第一底板112，且所述第一侧板14与所述第一底板112的弯折角度可以为但不仅限于为90°或近似于90°。所述第一侧板14还固定连接于所述第二底板122，且所述第一侧板14与所述第二底板122的弯折角度可以为但不仅限于为90°或近似于90°。

可选地，所述第一侧板14夹设于所述第一底板112及所述第二底板122之间，且所述第一侧板14的一端抵接于所述第一底板112，所述第一侧板14的另一端抵接于所述第二底板122，从而使得所述第一侧板14能够支撑和固定所述第一底板112及所述第二底板122。

可选地，所述第二侧板15固定连接于所述第一底板112，且所述第二侧板15与所述第一底板112的弯折角度可以为但不仅限于为90°或近似于90°。所述第二侧板15还固定连接于所述第二底板122，且所述第二侧板15与所述第二底板122的弯折角度可以为但不仅限于为90°或近似于90°。

可选地，所述第二侧板15夹设于所述第一底板112及所述第二底板122之间，且所述第二侧板15的一端抵接于所述第一底板112，所述第二侧板15的另一端抵接于所述第二底板122，从而使得所述第二侧板15能够支撑和固定所述第一底板112及所述第二底板122。

可选地，所述第一侧板14的数量可以为但不仅限于为一个、或两个、或三个、或四个、或其他数量等。在本实施方式的示意图中，以所述第一侧板14的数量为两个为例进行示意，且两个第一侧板14间隔并对称分布于所述第一底板112的边侧，从而提升所述第一底板112与所述第二底板122的结构强度及连接稳定性。

可选地，所述第二侧板15的数量可以为但不仅限于为一个、或两个、或三个、或四个、或其他数量等，在本实施方式的示意图中，以所述第二侧板15的数量为两个为例进行示意，且两个第二侧板15间隔并对称分布于所述第一底板112的边侧，从而提升所述第一底板112与所述第二底板122的结构强度及连接稳定性。

在本实施方式中，通过在所述第一底板112及所述第二底板122的边侧设置第一侧板14及第二侧板15，即在所述第一底板112及所述第二底板122的双边侧均设置有加强的侧板，从而对所述第一机械手11与所述第二机械手12进行进一步加固，来避免所述第一底板112与所述第二底板122之间产生晃动，能使所述第一底板112及所述第二底板122均得到更强的支撑能力，提升所述机械手组件10的结构强度。且相较于传统的机械手组件10而言，所述第一机械手11及所述第二机械手12均由传统的单侧支撑变为双侧支撑，当所述第一机械手11及所述第二机械手12运输大尺寸晶圆时，能使所述第一机械手11及所述第二机械手12均受力更加均匀，避免第一机械手11或所述第二机械手12发生位置偏移的现象，且能够防止第一机械手11或第二机械手12因受力不均而发生变形或断裂，从而使所述机械手组件10在运转过程中能够保持更加平稳的运输状态，且能够增加所述机械手组件10的耐用性。

可选地，所述第一机械手11还包括第一连接加强块115，所述第一连接加强块115的一端贴合并连接于所述第一侧板14，所述第一侧板14的另一端贴合并连接于所述第二底板122，从而能够增强所述第一侧板14与所述第二底板122连接处的结构强度。由于所述第一侧板14需要承载部分所述第一机械手11的重量，因此所述第一连接加强块115的设置能够有效地增强所述第一侧板14的承载能力。

所述第二机械手12还包括第二连接加强块124，所述第二连接加强块124的一端贴合并连接于所述第二侧板15，所述第二侧板15的另一端贴合并连接于所述第二底板122，从而能够增强所述第二侧板15与所述第二底板122连接处的结构强度。由于所述第二侧板15需要承载部分所述第一机械手11的重量，因此所述第二连接加强块124的设置能够有效地增强所述第二侧板15的承载能力。

请参阅图6。所述第一机械手11还包括第二传动件116，所述第二传动件116固定于所述第一底板112，所述第一手臂111连接于所述第二传动件116，且所述第一手臂111能够在所述第二传动件116的带动下沿第二方向D2往复移动，所述第二方向D2垂直于所述第一底板112及所述第二底板122的排布方向。和/或，所述第二机械手12还包括第三传动件125，所述第三传动件125固定于所述第二底板122，所述第二手臂121连接于所述第三传动件125，且所述第二手臂121能够在所述第三传动件125的带动下沿所述第二方向D2往复移动。

可选地，所述第二方向D2为所述第一手臂111的延伸方向，并垂直于所述第一底板112及所述第二底板122的排布方向。

可选地，所述第二传动件116包括但不仅限于由第二电机、第一皮带、第二轴承及第一同步带等零部件构成，所述第二电机用于驱动第一皮带转动，所述第一皮带用于带动所述第二轴承转动，且所述第二轴承能够带动所述第一同步带沿所述第二方向D2转动。所述第一手臂111连接于所述第一同步带，并能够在所述第一同步带的带动下沿所述第二方向D2往复移动。

可选地，所述第三传动件125包括但不仅限于由第三电机、第二皮带、第三轴承及第二同步带等零部件构成，所述第三电机用于驱动第二皮带转动，所述第二皮带用于带动所述第三轴承带动，且所述第三轴承能够带动所述第二同步带沿所述第二方向D2转动。所述第二手臂121连接于所述第二同步带，并能够在所述第二同步带的带动下沿第二方向D2往复移动。

在本实施方式中，所述第一手臂111沿所述第二方向D2的运动与所述第二手臂121沿第二方向D2的运动为相互独立，即所述第一手臂111沿第二方向D2移动的位置能与所述第二手臂121沿第二方向D2移动的位置不同，从而使得所述第一手臂111与所述第二手臂121能够进行不同的操作，例如所述第一手臂111与所述第二手臂121能分别进行晶圆30的取出或放置，从而在提升所述机械手组件10稳定性的前提下，还能够依旧保持所述机械手组件10的运作效率。

以及在本实施方式中，所述第二传动件116固定于所述第一底板112，所述第三传动件125固定于所述第二底板122，在所述第一底板112及所述第二底板122能够保持稳定的位置关系时，还能够保障所述第二传动件116与所述第三传动件125均能保持稳定的位置设置，进而保障所述第一手臂111及所述第二手臂121沿第二方向D2的移动精度。且由于所述第一底板112相对所述第二底板122的位置相对稳定，还能使所述第二传动件116相对所述第三传动件125的位置也相对稳定，从而避免在所述机械手组件10运输大尺寸晶圆时，所述第二传动件116及所述第三传动件125产生位置偏移，进而保障所述第一手臂111及所述第二手臂121的操作精度。

请参阅图3、图7及图8。所述第一机械手11还包括第一导轨117，所述第一导轨117沿所述第二方向D2延伸，所述第一导轨117的一侧固定于所述第一底板112，所述第一导轨117的另一侧承载所述第一手臂111，且所述第一手臂111能够沿所述第一导轨117滑动。和/或，所述第二机械手12还包括第二导轨126，所述第二导轨126沿所述第二方向D2延伸，所述第二导轨126的一侧固定于所述第二底板122邻近所述第一底板112的一侧，所述第二导轨126的另一侧承载所述第二手臂121，且所述第二手臂121能够沿所述第二导轨126滑动。

可选地，所述第一手臂111还包括第一臂座1113，所述第一臂座1113设置于所述第一手臂111邻近所述第二传动件116的一侧，且所述第一手臂111通过所述第一臂座1113连接于所述第一导轨117。所述第一臂座1113能够沿所述第一导轨117的延伸方向滑动，并使所述第一手臂111能够沿所述第一导轨117的延伸方向滑动。

可选地，所述第二手臂121还包括第二臂座1213，所述第二臂座1213设置于所述第二手臂121邻近所述第三传动件125的一侧，且所述第二手臂121通过所述第二臂座1213连接于所述第二导轨126。所述第二臂座1213能够沿所述第二导轨126的延伸方向滑动，并使所述第二手臂121能够沿所述第二导轨126的延伸方向滑动。

在本实施方式中，所述第一导轨117及所述第二导轨126的设置能够在所述第一手臂111及所述第二手臂121的移动过程中对其进行导向及限位，从而保障所述第一手臂111及所述第二手臂121的移动精度。

以及在本实施方式中，所述第一导轨117固定并承载于所述第一底板112，所述第二导轨126固定并承载于所述第二底板122，在所述第一底板112及所述第二底板122能够保持稳定的位置关系时，还能够保障所述第一导轨117与所述第二导轨126均能保持稳定的位置设置，进而保障所述第一手臂111及所述第二手臂121沿第二方向D2的移动精度。且由于所述第一底板112相对所述第二底板122的位置相对稳定，还能使所述第一导轨117相对所述第二导轨126的位置也相对稳定，从而避免在所述机械手组件10运输大尺寸晶圆时，所述第一导轨117及所述第二导轨126产生位置偏移，进而保障所述第一手臂111及所述第二手臂121的操作精度。

在本申请一种可选的实施方式中，所述第一底板112包括依次相连的第一承载部1121、第二承载部1122及第三承载部1123，所述第一承载部1121及所述第三承载部1123沿垂直于所述第二方向D2的方向上设置于所述第二承载部1122的相背两侧，且所述第一承载部1121固定连接于所述第一侧板14，所述第三承载部1123固定连接于所述第二侧板15。其中，所述第二承载部1122能够用于承载并固定所述第一导轨117，所述第二承载部1122及所述第三承载部1123的设置能够加强所述机械手组件10的结构稳定性，且能够具有空间承载晶圆30。

进一步地可选地，所述第二底板122包括依次相连的第四承载部1221、第五承载部1222及第六承载部1223，所述第四承载部1221及所述第六承载部1223沿垂直于所述第二方向D2的方向上设置于所述第五承载部1222的相背两侧，且所述第四承载部1221固定连接于所述第一侧板14，所述第六承载部1223固定连接于所述第二侧板15。其中，所述第五承载部1222能够用于承载并固定所述第二导轨126，所述第四承载部1221及所述第六承载部1223的设置能够加强所述机械手组件10的结构稳定性，且能够具有空间承载及收容晶圆30。

优选地，沿所述第二方向D2，所述第二承载部1122的长度大于所述第一承载部1121的长度，且所述第二承载部1122的长度大于所述第三承载部1123的长度。且沿所述第二方向D2，所述第五承载部1222的长度大于所述第四承载部1221的长度，且所述第五承载部1222的长度大于所述第六承载部1223的长度。在本实施方式中，所述第一底板112、所述第二底板122在承载固定第一导轨117、第二导轨126的同时，所述第一底板112及所述第二底板122之间形成的空间足够收容大尺寸晶圆，且所述第一承载部1121的长度及所述第三承载部1123的长度均小于第二承载部1122的长度，所述第四承载部1221的长度及所述第六承载部1223的长度均小于所述第五承载部1222的长度，使得所述机械手组件10的整体重量能够适当减轻，且所述机械手组件10能够将重力集中分布于旋转中心轴113，便于所述第一传动件13对所述第一机械手11及所述第二机械手12的稳定支撑，以及便于机械手组件10进行旋转，从而有效地保障所述机械手组件10的结构稳定性及旋转精度。

请再次参阅图3、图7及图8。所述第一导轨117包括间隔设置的第一子导轨1171及第二子导轨1172，所述第一子导轨1171及所述第二子导轨1172对称设置于所述第一手臂111的两侧，所述第一手臂111能够同时沿所述第一子导轨1171及所述第二子导轨1172滑动。和/或，所述第二导轨126包括间隔设置的第三子导轨1261及第四子导轨1262，所述第三子导轨1261及所述第四子导轨1262对称设置于所述第二手臂121的两侧，所述第二手臂121能够同时沿所述第三子导轨1261及所述第四子导轨1262滑动。

可选地，所述第一子导轨1171及所述第二子导轨1172均沿所述第二方向D2延伸。所述第三子导轨1261及所述第四子导轨1262均沿所述第二方向D2延伸。

可选地，所述第一底板112具有沿所述第二方向D2延伸的中心轴，所述第一子导轨1171及所述第二子导轨1172关于所述中心轴113对称设置。所述第二底板122具有沿所述第二方向D2延伸的中心轴，所述第三子导轨1261及所述第四子导轨1262关于所述第二底板122的中心轴对称设置。

可选地，所述第一机械手11的第一臂座1113的一端承载于所述第一子导轨1171，并能够沿所述第一子导轨1171滑动，所述第一臂座1113的另一端承载于所述第二子导轨1172，并能够沿所述第二子导轨1172滑动，从而使得所述第一手臂111能够同时沿所述第一子导轨1171及所述第二子导轨1172滑动。

可选地，所述第二机械手12的第二臂座1213的一端承载于所述第三子导轨1261，并能够沿所述第三子导轨1261滑动，所述第二臂座1213的另一端承载于所述第四子导轨1262，并能够沿所述第四子导轨1262滑动，从而使得所述第二手臂121能够同时沿所述第三子导轨1261及所述第四子导轨1262滑动。

在本实施方式中，所述第一机械手11通过双导轨的设置，即设置第一子导轨1171及第二子导轨1172来同时辅助所述第一手臂111沿第二方向D2的移动，使得所述第一手臂111运输大尺寸晶圆时，沿所述第一侧板14与所述第二侧板15的排布方向上，所述第一手臂111的两个端侧能够保持水平的状态，从而相较于第一手臂111仅承载于单条导轨的对比实施方式而言，本实施方式能够避免第一手臂111在运输大尺寸晶圆时产生晃动不稳的情形，且所述第一手臂111的移动速度也可以得到有效地提升，从而使得所述第一机械手11能够实现对大尺寸晶圆的平稳快速运输。

且在本实施方式中，所述第二机械手12同样通过双导轨的设置，即设置第三子导轨1261及第四子导轨1262来同时辅助所述第二手臂121沿第二方向D2的移动，使得所述第二手臂121运输大尺寸晶圆时，沿所述第一侧板14与所述第二侧板15的排布方向上，所述第二手臂121的两个端侧能够保持水平的状态，从而相较于第二手臂121仅承载于单条导轨的对比实施方式而言，本实施方式能够避免第二手臂121在运输大尺寸晶圆时产生晃动不稳的情形，且所述第二手臂121的移动速度也可以得到有效地提升，从而使得所述第二机械手12能够实现对大尺寸晶圆的平稳快速运输。

请参阅图7、图8及图9。所述第一机械手11还包括第一限位件118及第二限位件119，所述第一限位件118设置于所述第一手臂111邻近所述第一底板112的一侧，所述第二限位件119设置于所述第一底板112邻近所述第一手臂111的一侧，所述第二限位件119邻近于所述第一底板112的端侧设置，并阻挡所述第一限位件118经过所述第一底板112的端侧。和/或，所述第二机械手12还包括第三限位件127及第四限位件128，所述第三限位件127设置于所述第二手臂121邻近所述第二底板122的一侧，所述第四限位件128设置于所述第二底板122邻近所述第二手臂121的一侧，所述第四限位件128邻近于所述第二底板122的端侧，并阻挡所述第三限位件127经过所述第二底板122的端侧。

可选地，所述第一限位件118固定连接于所述第一臂座1113，所述第二限位件119固定连接于所述第一底板112。且所述第一限位件118至少部分正对所述第二限位件119，从而在所述第一臂座1113移动至邻近所述第一底板112的端侧时，所述第二限位件119能够抵持住所述第一限位件118，并阻挡所述第一限位件118经过所述第一底板112的端侧，来防止所述第一手臂111及所述第一臂座1113的移动距离超出预设范围，并进而避免第一手臂111及所述第一臂座1113自所述第一底板112的端侧滑落，从而提升所述机械手组件10的可靠性。

进一步可选地，所述第三限位件127固定连接于所述第三臂座，所述第四限位件128固定连接于所述第二底板122。且所述第三限位件127至少部分正对所述第四限位件128，从而在所述第二臂座1213移动至邻近所述第二底板122的端侧时，所述第四限位件128能够抵持住所述第三限位件127，并阻挡所述第三限位件127经过所述第二底板122的端侧，来防止所述第二手臂121及所述第二臂座1213的移动距离超出预设范围，并进而避免第二手臂121及所述第二臂座1213自所述第二底板122的端侧滑落，从而提升所述机械手组件10的可靠性。

请参阅图10。所述机械手组件10还包括第四传动件16及连接组件17，所述连接组件17包括弯折相连的第一连接板171及第二连接板172，所述第一连接板171设置于所述第一传动件13背离所述第二底板122的一侧，所述第二连接板172的一端连接于所述第一连接板171，所述第二连接板172的另一端连接于所述第四传动件16，所述第四传动件16沿第三方向D3延伸，所述第三方向D3垂直于所述第一方向D1及所述第二方向D2，且所述第四传动件16能够带动所述第一机械手11及所述第二机械手12沿所述第三方向D3往复运动。

可选地，所述第四传动件16包括第四电机、丝杆及第四轴承等零部件。所述第四电机能够驱动所述丝杆转动，所述丝杆在转动过程中能够带动所述第四轴承沿所述第三方向D3往复移动。且所述第四轴承连接于所述第二连接板172，并通过所述连接组件17带动所述第一机械手11及所述第二机械手12沿第三方向D3往复移动。

可选地，所述第一连接板171与所述第二连接板172的弯折角度为90°或近似于90°。且所述第一连接板171平行于或大致平行于所述第二底板122。

在本实施方式中，所述第一连接板171能用于承载所述第一传动件13，且所述第一传动件13通过所述第一连接板171及所述第二连接板172连接固定于所述第四传动件16，使得所述第一传动件13在跟随所述第四传动件16进行移动的过程中能够保持平稳，并使得所述第一机械手11及所述第二机械手12在沿所述第三方向D3往复移动时能够保持平稳的状态。

请参阅图11。所述第二传动件116包括第一驱动件1161、第一传动轴1162及第一传动带1163，所述第一驱动件1161连接于所述第一传动轴1162，并用于驱动所述第一传动轴1162旋转，所述第一传动轴1162连接于所述第一传动带1163，并用于带动所述第一传动带1163沿第二方向D2往复移动，所述第一传动带1163连接于所述第一手臂111，并带动所述第一手臂111沿第二方向D2往复移动，且所述第一驱动件1161设置于所述第一传动轴1162邻近所述第一传动带1163的一侧。和/或，所述第三传动件125包括第二驱动件1251、第二传动轴1252及第二传动带1253，所述第二驱动件1251连接于所述第二传动轴1252，并用于驱动所述第二传动轴1252旋转，所述第二传动轴1252连接于所述第二传动带1253，并用于带动所述第二传动带1253沿第二方向D2往复移动，所述第二传动带1253连接于所述第二手臂121，并带动所述第二手臂121沿第二方向D2往复移动，且所述第二驱动件1251设置于所述第二传动轴1252邻近所述第二传动带1253的一侧。

可选地，所述第一驱动件1161为所述第二电机，所述第一传动轴1162为所述第二轴承，所述第一传动带1163为所述第一同步带。所述第一驱动件1161还包括第一皮带，所述第二电机用于驱动第一皮带转动，所述第一皮带用于带动所述第二轴承转动，且所述第二轴承能够带动所述第一同步带沿所述第二方向D2转动。所述第一手臂111连接于所述第一同步带，并能够在所述第一同步带的带动下沿所述第二方向D2往复移动。

可选地，所述第二驱动件1251为所述第三电机，所述第二传动轴1252为所述第三轴承，所述第二传动带1253为所述第二同步带。所述第二驱动件1251还包括第二皮带，所述第三电机用于驱动第二皮带转动，所述第二皮带用于带动所述第三轴承带动，且所述第三轴承能够带动所述第二同步带沿所述第二方向D2转动。所述第二手臂121连接于所述第二同步带，并能够在所述第二同步带的带动下沿第二方向D2往复移动。

可选地，所述第一驱动件1161设置于所述第一传动轴1162邻近所述第一传动带1163的一侧，可以理解为，所述第一传动轴1162沿所述第二方向D2设置于所述第一传动带1163的一端，所述第一驱动件1161相对于所述第一传动轴1162向着邻近所述第一传动带1163的方向倾斜。

可选地，所述第二驱动件1251设置于所述第二传动轴1252邻近所述第二传动带1253的一侧，可以理解为，所述第二传动轴1252沿所述第二方向D2设置于所述第二传动带1253的一端，所述第二驱动件1251相对于所述第二传动轴1252向着邻近所述第二传动带1253的方向倾斜。

可以理解地，所述第一驱动件1161及所述第二驱动件1251通常需要的占用空间较大。在本实施方式中，所述第一驱动件1161设置于所述第一传动轴1162邻近所述第一传动带1163的一侧，且所述第二驱动件1251设置于所述第二传动轴1252邻近所述第二传动带1253的一侧，从而当所述机械手组件10应用于探针台1时，还能够节省所述机械手组件10在探针台1中的占用空间，并进而提升所述机械手组件10的空间利用效率。

请参阅图8、图11及图12。所述第一机械手11还包括第一连接件181，所述第一连接件181包括弯折相连的第一连接部1811及第二连接部1812，所述第一连接部1811连接于所述第一传动带1163，所述第二连接部1812连接于所述第一手臂111，且所述第一手臂111在邻近所述第一传动轴1162的一侧具有第一收容槽1112，所述第二连接部1812收容于所述第一收容槽1112内。和/或，所述第二机械手12还包括第二连接件182，所述第二连接件182包括弯折相连的第三连接部1821及第四连接部1822，所述第三连接部1821连接于所述第二传动带1253，所述第四连接部1822连接于所述第二手臂121，且所述第二手臂121在邻近所述第二传动轴1252的一侧具有第二收容槽1212，所述第四连接部1822收容于所述第二收容槽1212内。

可选地，所述第一连接部1811与所述第二连接部1812为一体成型。且所述第一连接部1811与所述第二连接部1812之间的连接角度为90°或近似于90°。

可选地，所述第三连接部1821与所述第四连接部1822为一体成型。且所述第三连接部1821与所述第四连接部1822之间的连接角度为90°或近似于90°。

可选地，所述第一收容槽1112沿所述第三方向D3贯穿于所述第一臂座1113，并用于收容所述第一连接件181。所述第一臂座1113还具有第一固定部111a，所述第一固定部111a收容于所述第一收容槽1112内，且所述第一固定部111a连接于所述第二连接部1812。

可选地，所述第二收容槽1212沿所述第三方向D3贯穿于所述第二臂座1213，并用于收容所述第二连接件182。所述第二臂座1213还具有第二固定部121a，所述第二固定部121a收容于所述第二收容槽1212内，且所述第二固定部121a连接于所述第四连接部1822。

在本实施方式中，所述第一机械手11通过将所述第一连接件181的第二连接部1812收容于所述第一收容槽1112内，可以在与所述第一连接件181进行良好固定的同时，还能够避免所述第一连接件181的设置对所述第一机械手11占用空间的增加。所述第二机械手12通过将所述第二连接件182的第四连接部1822收容于所述第二收容槽1212内，可以在与所述第二连接件182进行良好固定的同时，还能够避免所述第二连接件182的设置对所述第二机械手12占用空间的增加，进而避免所述机械手组件10沿第三方向D3的尺寸增加，并进一步减小所述机械手组件10的占用空间，有效地提升所述机械手组件10的空间利用效率。

请参阅图13。本申请实施方式还提供一种探针台1，所述探针台1包括卡盘20及所述机械手组件10，所述卡盘20用于承载晶圆30进行测试，所述机械手组件10能够运输晶圆30至所述卡盘20。

可选地，所述探针台1能够对晶圆30进行测试，所述探针台1包括卡盘20、机械手组件10，且所述探针台1还可以包括其他零部件，例如探针、或物料盒、或盖板或其他零部件等，可以理解地，所述探针台1的其他零部件不应该成为对本实施方式提供的探针台1的限定。

本实施方式提供的机械手组件10第一机械手11、第二机械手12及第一传动件13，所述机械手组件10通过所述第一底板112、所述第二底板122的设置对所述第一手臂111及所述第二手臂121起到良好地承载和加固作用，使得所述机械手组件10在运输大尺寸晶圆时，能够保持平稳的运输状态，避免机械手组件10发生晃动导致晶圆30偏移或掉落，并保障使得所述机械手组件10在移动过程中的位置精准性。且所述第二底板122及所述第一底板112能够在所述第一传动件13的带动下能够以所述第一机械手11的中心轴113为旋转中心进行旋转，当所述机械手组件10需要运输大尺寸晶圆时，能够避免机械手组件10在运输晶圆30并进行旋转时的占用空间过大，且使得所述机械手组件10在旋转过程中能够更加平稳，从而使得所述机械手组件10在探针台1中能够保持可靠的运转状态，进而有效地提升所述探针台1的可靠性。

在本申请中提及“实施例”“实施方式”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现所述短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。此外，还应该理解的是，本申请各实施例所描述的特征、结构或特性，在相互之间不存在矛盾的情况下，可以任意组合，形成又一未脱离本申请技术方案的精神和范围的实施例。

最后应说明的是，以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本申请进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本申请的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本申请技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种机械手组件，其特征在于，所述机械手组件包括：

第一机械手，所述第一机械手用于承载晶圆，所述第一机械手包括相对设置的第一手臂及第一底板，所述第一手臂承载于所述第一底板；

第二机械手，所述第二机械手用于承载晶圆，所述第二机械手包括相对设置的第二手臂及第二底板，所述第二底板与所述第一底板相对设置，且所述第二底板固定连接于所述第一底板，所述第二手臂承载于所述第二底板邻近所述第一底板的一侧；及

第一传动件，所述第一传动件设置于所述第二底板背离所述第一底板的一侧，所述第二底板及所述第一底板能够在所述第一传动件的带动下以所述第一机械手的中心轴为旋转中心且沿第一方向及第一方向的反方向旋转，所述第一方向垂直于所述第一底板及所述第二底板的排布方向，所述中心轴沿所述第一底板及所述第二底板的排布方向延伸。

2.如权利要求1所述的机械手组件，其特征在于，所述机械手组件还包括第一侧板及第二侧板，所述第一侧板及所述第二侧板相对设置于所述第一底板的两侧，所述第一侧板的一端弯折连接于所述第一底板，所述第一侧板的另一端弯折连接于所述第二底板，且所述第一底板及所述第二底板设置于所述第一侧板的同侧；所述第二侧板的一端弯折连接于所述第一底板，所述第二侧板的另一端弯折连接于所述第二底板，且所述第一底板及所述第二底板设置于所述第二侧板的同侧。

3.如权利要求1所述的机械手组件，其特征在于，所述第一机械手还包括第二传动件，所述第二传动件固定于所述第一底板，所述第一手臂连接于所述第二传动件，且所述第一手臂能够在所述第二传动件的带动下沿第二方向往复移动，所述第二方向垂直于所述第一底板及所述第二底板的排布方向；和/或，

所述第二机械手还包括第三传动件，所述第三传动件固定于所述第二底板，所述第二手臂连接于所述第三传动件，且所述第二手臂能够在所述第三传动件的带动下沿所述第二方向往复移动。

4.如权利要求3所述的机械手组件，其特征在于，所述第一机械手还包括第一导轨，所述第一导轨沿所述第二方向延伸，所述第一导轨的一侧固定于所述第一底板，所述第一导轨的另一侧承载所述第一手臂，且所述第一手臂能够沿所述第一导轨滑动；和/或，

所述第二机械手还包括第二导轨，所述第二导轨沿所述第二方向延伸，所述第二导轨的一侧固定于所述第二底板邻近所述第一底板的一侧，所述第二导轨的另一侧承载所述第二手臂，且所述第二手臂能够沿所述第二导轨滑动。

5.如权利要求4所述的机械手组件，其特征在于，所述第一导轨包括间隔设置的第一子导轨及第二子导轨，所述第一子导轨及所述第二子导轨对称设置于所述第一手臂的两侧，所述第一手臂能够同时沿所述第一子导轨及所述第二子导轨滑动；和/或，

所述第二导轨包括间隔设置的第三子导轨及第四子导轨，所述第三子导轨及所述第四子导轨对称设置于所述第二手臂的两侧，所述第二手臂能够同时沿所述第三子导轨及所述第四子导轨滑动。

6.如权利要求4所述的机械手组件，其特征在于，所述第一机械手还包括第一限位件及第二限位件，所述第一限位件设置于所述第一手臂邻近所述第一底板的一侧，所述第二限位件设置于所述第一底板邻近所述第一手臂的一侧，所述第二限位件邻近于所述第一底板的端侧设置，并阻挡所述第一限位件经过所述第一底板的端侧；和/或，

所述第二机械手还包括第三限位件及第四限位件，所述第三限位件设置于所述第二手臂邻近所述第二底板的一侧，所述第四限位件设置于所述第二底板邻近所述第二手臂的一侧，所述第四限位件邻近于所述第二底板的端侧设置，并阻挡所述第三限位件经过所述第二底板的端侧。

7.如权利要求3所述的机械手组件，其特征在于，所述机械手组件还包括第四传动件及连接组件，所述连接组件包括弯折相连的第一连接板及第二连接板，所述第一连接板设置于所述第一传动件背离所述第二底板的一侧，所述第二连接板的一端连接于所述第一连接板，所述第二连接板的另一端连接于所述第四传动件，所述第四传动件沿第三方向延伸，所述第三方向垂直于所述第一方向及所述第二方向，且所述第四传动件能够带动所述第一机械手及所述第二机械手沿所述第三方向往复运动。

8.如权利要求3所述的机械手组件，其特征在于，所述第二传动件包括第一驱动件、第一传动轴及第一传动带，所述第一驱动件连接于所述第一传动轴，并用于驱动所述第一传动轴旋转，所述第一传动轴连接于所述第一传动带，并用于带动所述第一传动带沿第二方向往复移动，所述第一传动带连接于所述第一手臂，并带动所述第一手臂沿第二方向往复移动，且所述第一驱动件设置于所述第一传动轴邻近所述第一传动带的一侧；和/或，

所述第三传动件包括第二驱动件、第二传动轴及第二传动带，所述第二驱动件连接于所述第二传动轴，并用于驱动所述第二传动轴旋转，所述第二传动轴连接于所述第二传动带，并用于带动所述第二传动带沿第二方向往复移动，所述第二传动带连接于所述第二手臂，并带动所述第二手臂沿第二方向往复移动，且所述第二驱动件设置于所述第二传动轴邻近所述第二传动带的一侧。

9.如权利要求8所述的机械手组件，其特征在于，所述第一机械手还包括第一连接件，所述第一连接件包括弯折相连的第一连接部及第二连接部，所述第一连接部连接于所述第一传动带，所述第二连接部连接于所述第一手臂，且所述第一手臂在邻近所述第一传动轴的一侧具有第一收容槽，所述第二连接部收容于所述第一收容槽内；和/或，

所述第二机械手还包括第二连接件，所述第二连接件包括弯折相连的第三连接部及第四连接部，所述第三连接部连接于所述第二传动带，所述第四连接部连接于所述第二手臂，且所述第二手臂在邻近所述第二传动轴的一侧具有第二收容槽，所述第四连接部收容于所述第二收容槽内。

10.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括卡盘及如权利要求1~9任意一项所述的机械手组件，所述卡盘用于承载晶圆进行测试，所述机械手组件能够运输晶圆至所述卡盘。