CN117663990A - 掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质，属于掩膜版技术领域。本发明通过将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度，通过这种检测信号覆盖贴合面的所有边和角的方式检测Pellcile薄膜与掩膜版之间的贴合度，从而提高了检测的准确度和效率。

Description

掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质

技术领域

本发明涉及掩膜版技术领域，尤其涉及一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质。

背景技术

掩膜版，是一种由表面记载着图形、文字等信息的金属层薄膜或光阻层薄膜和材质为高纯度融石英或其他材质的玻璃载板组合而成的广泛用于IC、FPD、MEMS、光学器件等行业的模具，Pellcile膜是一种满足某些波长光束下透过率极高的特种材料，通过Pellcile膜与金属框架结合并贴合在掩膜版上，从而起到避免灰尘颗粒直接掉落在掩膜版上造成污染甚至报废的作用。

而对于掩膜版和Pellcile膜的贴合效果或贴合度的检测，目前在该方面并没有成熟的检测设备或方法，一般采用人工方式进行检查，因此现有技术对于此问题的解决方式并不完善。

上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质，旨在提供一种更高效更准确的检测掩膜版与Pellcile膜之间贴合度的方法与装置，提高掩膜版与Pellcile薄膜贴合度的检测效率与准确度。

为实现上述目的，本发明提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法，包括：

此外，为实现上述目的，本发明还提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测装置，所述掩膜版与薄膜贴合度检测装置包括：

将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；

根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；

基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。

可选地，所述根据预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测掩膜版与薄膜贴合度的步骤之前还包括：

将所述定位转台固定在第一预设角度并接收所述信号发射器发射的检测信号得到所述信号遮挡区的信号分布数据。

可选地，所述信号遮挡区数据包括信号遮挡宽度、信号遮挡高度、信号遮挡面积以及信号强度中的至少一种。

可选地，所述贴合度模板基于所述薄膜的型号构建。

可选地，所述掩膜版与薄膜的贴合度包括边角贴合度，所述贴合度模板包括旋转角—遮挡度模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤包括：

基于所述信号遮挡区数据构建旋转角—遮挡度对应关系曲线；

判断所述旋转角—遮挡度对应关系曲线与所述旋转角—遮挡度模板之间的误差是否满足第一预设条件；

若满足第一预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜边角贴合度达标；

若不满足第一预设条件，则获取并返回边角贴合不佳点数据。

可选地，所述掩膜版与薄膜的贴合度还包括侧边贴合度，所述贴合度模板还包括旋转角信号强度标准模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤还包括：

基于所述信号分布数据构建所述第一预设角度下的信号强度分布曲线；

判断所述第一预设角度下的信号强度分布曲线与所述旋转角信号强度标准模板之间的误差是否满足第二预设条件；

若满足第二预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜侧边贴合度达标；

若不满足第二预设条件，则获取并返回侧边贴合不佳点数据。

可选地，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤之后还包括：

基于所述旋转角—遮挡度对应关系曲线、旋转角—遮挡度模板、信号强度分布曲线以及旋转角信号强度标准模板创建可视化数据图表；

基于所述边角贴合不佳点数据和侧边贴合不佳点数据在所述可视化数据图表中标注贴合瑕疵点。

此外，为实现上述目的，本发明还提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测装置，包括信号发射器和信号接收器以及定位转台：

所述定位转台用于固定贴合后的薄膜与掩膜版，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；

所述信号发射器用于发射检测信号，以使所述信号接收器得到根据预设方向和速度转动所述定位转台时产生的信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；

所述装置还包括检测模块：用于基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。

此外，为实现上述目的，本发明还提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测设备，所述设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测程序配置为实现如上所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法的步骤。

此外，为实现上述目的，本发明还提供一种存储介质，所述存储介质上存储有掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时实现如上所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法的步骤。

本发明提出的掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质，通过将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度，通过这种检测信号覆盖贴合面的所有边和角的方式检测Pellcile薄膜与掩膜版之间的贴合度，从而提高了检测的准确度和效率。

附图说明

图1是本发明实施例方案涉及的硬件运行环境的掩膜版与薄膜贴合度检测设备的结构示意图；

图2为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测方法第一实施例的流程示意图；

图3为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测装置的结构示意图；

图4为本发明掩膜版与Pellicle膜的贴合截面示意图；

图5为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测装置的信号检测模块示意图；

图6为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测装置的信号检测模块的俯视示意图；

图7为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测方法第二实施例的流程示意图；

图8为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测方法标准模板曲线与实测模板曲线的膜框遮挡信号宽度图；

图9为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测方法第三实施例的流程示意图；

图10为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测方法标准模板曲线与实测模板曲线的信号强度分布图。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图作进一步说明。

具体实施方式

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

本申请实施例的主要解决方案是：将Pellicle膜和掩模版贴附后固定在定位转台上，并对定位转台进行旋转，通过信号发射器发射检测信号，使得信号接收器能够获取到定位转台在各个旋转角度下，信号发射器对贴附截面进行扫描所发射的检测信号，并通过对信号被Pellicle膜本身以及粘合剂所遮挡的信号形成的信号遮挡区的相关数据以及检测信号强度分布，进行分析比对来判断粘合效果是否合格。

本申请实施例考虑到，目前的Pellicle膜贴附分为机器贴膜与人工贴膜，机器贴膜相较于人工贴膜受力均匀性更佳，贴附时不易导致膜框产生形变后再粘合在一起，避免因形变应力导致贴附后再翘起脱落等，但仍然不能排除因原材料原因导致的粘合脱落现象；而人工贴膜由于夹具会预留出一定的正向偏差方便取放膜框，手部下压时压力不均可能导致贴附瞬间膜框扭曲变形，此时即使胶水已经充分黏附在掩模版上，在放置一段时间后也可能会由于内应力导致膜框翘起，此现象难以用肉眼及时观察到。

基于此，本申请实施例提出一种解决方案，通过将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度，通过这种检测信号覆盖贴合面的所有边和角的方式检测Pellcile薄膜与掩膜版之间的贴合度，从而提高了检测的准确度和效率。

具体的，参照图1，图1为本申请掩膜版与薄膜贴合度检测装置所属终端设备的功能模块示意图。该掩膜版与薄膜贴合度检测装置可以为独立于终端设备的、能够进行数据处理的装置，其可以通过硬件或软件的形式承载于终端设备上。该终端设备可以为手机、平板电脑等具有触摸屏的智能移动终端，还可以为具有触摸屏的固定终端。

在本实施例中，该掩膜版与薄膜贴合度检测装置所属终端设备至少包括输出模块110、处理器120、存储器130以及通信模块140。

存储器130中存储有操作系统以及掩膜版与薄膜贴合度检测程序；输出模块110可为显示屏、扬声器等。通信模块140可以包括WIFI模块、移动通信模块以及蓝牙模块等，通过通信模块140与外部设备或服务器进行通信。

其中，存储器130中的掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时实现以下步骤：

将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；

根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；

基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。

进一步地，存储器130中的掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时还实现以下步骤：

将所述定位转台固定在第一预设角度并接收所述信号发射器发射的检测信号得到所述信号遮挡区的信号分布数据。

进一步地，存储器130中的掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时还实现以下步骤：

基于所述信号遮挡区数据构建旋转角—遮挡度对应关系曲线；

判断所述旋转角—遮挡度对应关系曲线与所述旋转角—遮挡度模板之间的误差是否满足第一预设条件；

若满足第一预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜边角贴合度达标；

若不满足第一预设条件，则获取并返回边角贴合不佳点数据。

进一步地，存储器130中的掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时还实现以下步骤：

基于所述信号分布数据构建所述第一预设角度下的信号强度分布曲线；

判断所述第一预设角度下的信号强度分布曲线与所述旋转角信号强度标准模板之间的误差是否满足第二预设条件；

若满足第二预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜侧边贴合度达标；

若不满足第二预设条件，则获取并返回侧边贴合不佳点数据。

进一步地，存储器130中的掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时还实现以下步骤：

基于所述旋转角—遮挡度对应关系曲线、旋转角—遮挡度模板、信号强度分布曲线以及旋转角信号强度标准模板创建可视化数据图表；

基于所述边角贴合不佳点数据和侧边贴合不佳点数据在所述可视化数据图表中标注贴合瑕疵点。

本实施例通过上述方案，具体通过将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度，通过这种检测信号覆盖贴合面的所有边和角的方式检测Pellcile薄膜与掩膜版之间的贴合度，从而提高了检测的准确度和效率。

基于上述终端设备架构但不限于上述架构，提出本申请方法实施例。

参照图2，图2为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测方法第一实施例的流程示意图，本实施例中，所述掩膜版与薄膜贴合度检测方法包括：

步骤S1000：将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；

具体地，本实施例中，参照图3，本发明掩膜版与薄膜贴合度检测方法各实施例依赖于图3所示的检测装置实施，其中，图3所示的检测装置中1为信号接收器，2为掩膜版固定转台也即定位转台，3为掩膜版，4为Pellicle膜框，5为信号发射器，其中，Pellicle膜框4由Pellcile膜和金属框架贴合在掩膜版上得到，将Pellicle膜框4固定放置在定位转台2上，并使二者的几何中心垂直（竖直）对齐，从而使得圆形的定位转台2旋转时，Pellicle膜框4同样围绕自身几何中心旋转，以保证检测的精度和准确度，膜框粘合剂以及定位转台的结构关系如图4所示，图4中定位转台3上放置有Pellicle膜框1，Pellicle膜框1和定位转台直接通过图4中的粘合剂2连接。

步骤S2000：根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；

具体地，本实施例中，参照图3，将Pellicle薄膜以及金属框架与掩膜版贴合形成Pellicle膜框，将膜框固定于定位转台2，并且使掩膜版与所述定位转台几何中心对齐后通过信号传感器（分为信号接收器1和信号发射器5）检测掩膜版与Pellicle膜之间的贴合度，其中，信号传感器由一组信号发射器及信号接收器组合而成，发射器可以发射一组检测信号如红外线光束，而接收器会包括许多的光感测器用来接收检测信号。

具体地，参照图5，图5中的信号发射器1发射检测信号，检测信号平行于定位转台（基板）上表面，平行于Pellicle膜框与定位转台的贴合面，并穿过Pellicle膜框2的截面最后被信号接收区的信号接收器接收，由于检测信号会被Pellicle膜以及膜框或粘合剂遮挡，并且检测信号有一定的覆盖宽度和高度，覆盖宽度和高度保证完全穿过整个Pellicle膜框（包括Pellicle膜、粘合剂、金属框架）与掩膜版以及掩膜版与定位转台（即图5中的基板3）之间的截面，所以最终在信号接收区中形成信号透过区4和信号遮挡区5，通过获取并检测信号遮挡区的数据，可以进行进一步的处理与分析最终确定掩膜版与Pellicle膜之间的贴合度，其中，信号遮挡区数据可以包括信号遮挡宽度、信号遮挡高度、信号遮挡面积以及信号强度中的至少一种。

更具体地，参照图6，本实施例通过掩模版定位转台2，将掩模版3旋转到某一固定角度后，经信号发射器5发出条状且有一定高度的信号（足以覆盖Pellicle膜黏附界面宽度与高度），此时信号接收器1对信号进行采集后形成此角度下的信号状态图，继续旋转到其他角度重复此步骤，由于Pellicle膜一般为方形的某个角翘起，因此只需要检测某些特殊角度后得到信号遮挡区的最大宽度6，如果未翘起则此角度下的信号遮挡宽度应与预设的标准模板一致，如翘起则信号遮挡区的宽度会小于模板宽度；但这种方式仍然不能保证Pellicle膜某个侧边的中间某位置由于加工问题或粘合剂粘合不佳导致的翘起，以及对圆形Pellicle膜的检测，因此，本方法实施例还提供一种检测信号强度阈值的贴合度检测方案，由于粘合剂为透明状，并不会完全遮挡检测信号，因此在标准贴合情况以及在某一固定角度下，信号接收器的信号遮挡区内接收到的检测信号存在一个最大值，该信号最大值为粘合最低接受程度，信号最大值可以通过测量标准贴合的Pellicle膜与掩膜版，并根据具体的需求来确定，然后据此建立标准模板，一旦进行检测时信号接收器的信号遮挡区内的检测信号超过该阈值，则表示有翘起或黏附不佳的位置，导致更多的检测信号穿过了贴合面。

步骤S3000：基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。

具体地，本实施例中，通过上述步骤S2000获取到信号遮挡区的信号遮挡区数据后，基于这些数据可以进一步处理后与预先建立的标准贴合模板（即贴合度模板，包括遮挡宽度模板，遮挡高度模板，遮挡面积模板以及信号强度模板等）进行比对，根据对比结果是否满足预设的条件来检测出Pellicle膜与掩膜版之间的贴合度是否达到标准。

其中，信号遮挡区数据如上所述包括信号遮挡宽度、信号遮挡高度、信号遮挡面积以及信号强度中的至少一种，对应地，信号遮挡宽度数据可以用于与标准贴合的遮挡宽度模板进行比对，信号遮挡高度数据可以用于与标准贴合的遮挡高度模板进行比对，信号遮挡面积可以用于与标准贴合的遮挡面积模板进行比对，信号强度数据可以用于与标准贴合的信号强度分布模板进行比对，此外，贴合度模板基于不同型号的Pellicle薄膜构建，具体通过不同型号的Pellicle膜与掩膜版标准贴合后，通过对Pellicle膜进行测量得到其规格参数，并采集标准贴合状态下Pellicle膜与掩膜版之间的贴合面在检测信号穿过后形成的信号遮挡区的标准数据，基于规格参数和标准数据建立对应Pellicle膜型号的各类模板。

进一步地，本实施例中的步骤S3000：基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度之前还包括：

步骤2100：将所述定位转台固定在第一预设角度并接收所述信号发射器发射的检测信号得到所述信号遮挡区的信号分布数据。

具体地，本实施例中，考虑到Pellicle膜与掩膜版之间的贴合虽然大多数情况下贴附不佳的位置在边角，但Pellicle膜的侧边位置依然可能由于加工问题或粘合剂粘合不佳导致翘起或贴合不佳，这种情况下通过信号遮挡区宽度数据检测贴合度并不能得到很好的准确度，遮挡区高度数据的误差与实际值之间的尺度过于接近，也难以准确反映Pellicle膜与掩膜版之间的贴合度。

经过反复实验与论证，得出本发明方法实施例解决上述问题的一较佳实施方式，提供一种检测信号强度阈值的贴合度检测方案，由于粘合剂为透明状，并不会完全遮挡检测信号，因此在标准贴合情况以及在某一固定角度下，信号接收器的信号遮挡区内接收到的检测信号存在一个最大值，该信号最大值为粘合最低接受程度，信号最大值可以通过测量检测信号穿过标准贴合的Pellicle膜与掩膜版贴合面之后在信号遮挡区的信号强度，并根据具体的需求来确定，然后据此建立标准模板，后续进行检测时，若信号接收器的信号遮挡区内的检测信号超过了该阈值，则表示有翘起或黏附不佳的位置，导致更多的检测信号穿过了贴合面。

更具体地，进行薄膜与掩膜版的贴合度检测时，将图3所示的定位转台2固定在一个使信号遮挡区宽度达到最大值的角度（即第一预设角度，如正方形Pellicle膜，则这个角度为45°）并接收信号发射器5所发射的检测信号后得到信号遮挡区的信号分布数据，即信号遮挡区内的信号强度分布数据，应当理解的是，此处的信号强度分布数据与上述信号强度数据实质上为同一类数据，信号强度分布数据是以信号强度数据进一步与信号遮挡区的宽度数据建立关联后得到的，例如以正方形Pellicle膜两个对角定点的连线的距离值建立坐标横轴，以信号遮挡区各位置下的检测信号强度值建立坐标纵轴，坐标轴中的点即可视为信号强度分布数据，以某一顶点作为起点到另一个顶点的连线，由于各个位置对应的粘合剂的量不同，这条连线上的某点最终在信号遮挡区内对应位置形成的信号强度也有大小之分。

在本实施例中，通过将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度，通过这种检测信号覆盖贴合面的所有边和角的方式检测Pellcile薄膜与掩膜版之间的贴合度，从而提高了检测的准确度和效率。

进一步地，参照图7，图7为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测方法第二实施例的流程示意图，基于上述图2所示的实施例，所述掩膜版与薄膜的贴合度包括边角贴合度，所述贴合度模板包括旋转角—遮挡度模板，所述步骤S3000：基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度可以包括：

步骤S3100：基于所述信号遮挡区数据构建旋转角—遮挡度对应关系曲线；

步骤S3200：判断所述旋转角—遮挡度对应关系曲线与所述旋转角—遮挡度模板之间的误差是否满足第一预设条件；

步骤S3300：若满足第一预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜边角贴合度达标；

步骤S3400：若不满足第一预设条件，则获取并返回边角贴合不佳点数据。

具体地，本实施例中，考虑到Pellcile薄膜与掩膜版贴合后，可能产生翘起或贴合不佳的位置不仅仅是薄膜的边角，也有可能是薄膜的侧边，但大部分情况下，贴合后Pellcile膜的边角容易翘起，本实施例中，为了提升贴合度检测的准确度，采用上述第一实施例中信号遮挡区数据，通过信号遮挡区数据与预先根据各个型号的Pellcile膜规格参数以及标准贴合状态下的标准数据创建的贴合度模板来对照检测掩膜版与薄膜的贴合度。

更具体地，在获取到信号遮挡区数据（信号遮挡宽度、信号遮挡高度、信号遮挡面积以及信号强度）之后，根据信号遮挡区数据构建旋转角—遮挡度对应关系曲线，参照图6，图中的信号遮挡区6是由信号发射器5发射检测信号后穿过定位转台2、掩膜版3以及Pellcile膜4所在的截面，最后在信号接收器1上形成的区域，该区域的信号强度明显不同于未经图6中结构2、3、4所遮挡的检测信号所形成的区域，通过获取信号遮挡区的宽度高度面积以及信号强度数据，并基于这些数据建立转角—遮挡度对应关系曲线然后与标准贴合状态下得到的模板进行比对，从而检测出贴合不佳点。

例如，参照图6，通过一对固定且完全平行的信号发射器5与信号接收器1进行信号收发，转台2初始状态为零度，旋转至某一固定角度后（一般为45度左右，此时能够形成最大的信号遮挡区）对信号遮挡区的检测信号进行分析，信号发射器发射的检测信号的覆盖长度能对贴附界面进行覆盖且宽度大于0.4mm（Pellicle膜完成贴附后胶厚一般为0.1-0.3mm），此时就可以清楚的得到此角度下该膜的贴附状态，在定位转台2旋转过程中，信号遮挡区6两边信号会出现信号陡降的情况，通过两个陡降位置即可得出信号遮挡区的最大宽度，如果出现边角翘起则该最大宽度会明显小于标准贴合状态下的信号遮挡宽度模板，例如，参照图8，使用90mm方形Pellicle膜贴附模板进行比对得出检测结果，设置允许误差值为±2mm（即第一预设条件，同一旋转角下实测曲线与模板曲线之间的误差值不超过2mm），即此数值内的宽度差可容忍为正常，图8所示的掩膜版与Pellicle膜贴合状态下，信号遮挡区的最小宽度为90mm±2mm，最大宽度为127mm±2mm，且实测的旋转角—遮挡度对应关系曲线与标准贴合状态下的模板曲线之间同一旋转角下的差值都在2mm范围内，所以判定所述掩膜版与所述薄膜边角贴合度达标，例外情况下，若实测曲线与标准模板曲线之间在最高点或最低点的误差值超过了2mm，则可以判定是由于Pellicle膜贴合不佳或翘起导致最大信号遮挡宽度值下降，此时获取并返回该点的（旋转角，遮挡度）坐标数据（即边角贴合不佳点数据）以指示贴合不佳的边角。

在本实施例中，通过基于所述信号遮挡区数据构建旋转角—遮挡度对应关系曲线；判断所述旋转角—遮挡度对应关系曲线与所述旋转角—遮挡度模板之间的误差是否满足第一预设条件；若满足第一预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜边角贴合度达标；若不满足第一预设条件，则获取并返回边角贴合不佳点数据，通过这种方式，检测掩膜版与Pellicle薄膜之间的贴合度情况，通过设置信号发射器与信号接收器对掩膜版Pellicle薄膜之间的贴合面进行检测，并基于检测信号产生检测数据进行贴合度检测，提高了准确度和效率。

进一步地，参照图9，图9为本发明掩膜版与薄膜贴合度检测方法第三实施例的流程示意图，基于上述图2所示的实施例，所述掩膜版与薄膜的贴合度包括边角贴合度，所述贴合度模板包括旋转角—遮挡度模板，所述步骤S3000：基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度还可以包括：

步骤S3500：基于所述信号分布数据构建所述第一预设角度下的信号强度分布曲线；

步骤S3600：判断所述第一预设角度下的信号强度分布曲线与所述旋转角信号强度标准模板之间的误差是否满足第二预设条件；

步骤S3700：若满足第二预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜侧边贴合度达标；

步骤S3800：若不满足第二预设条件，则获取并返回侧边贴合不佳点数据。

具体地，本实施例中，考虑到通过信号遮挡区长度数据建立旋转角—遮挡度对应关系曲线与标准贴合状态下模板曲线进行对比的方式，仍然不能检测出Pellicle膜某个侧边的中间某位置由于加工问题或粘合剂粘合不佳导致的翘起，因此，本方法实施例还提供一种检测信号强度阈值的贴合度检测方案，由于粘合剂为透明状，并不会完全遮挡检测信号，因此在标准贴合情况以及在某一固定角度下，信号接收器的信号遮挡区内接收到的检测信号存在一个最大值，该信号最大值为粘合最低接受程度，信号最大值可以通过测量标准贴合的Pellicle膜与掩膜版，并根据具体的需求来确定，然后据此建立标准模板，一旦进行检测时信号接收器的信号遮挡区内的检测信号超过该阈值，则表示有翘起或黏附不佳的位置，导致更多的检测信号穿过了贴合面。

更具体地，进行薄膜与掩膜版的贴合度检测时，将图3所示的定位转台2固定在一个使信号遮挡区宽度达到最大值的角度（即第一预设角度，如正方形Pellicle膜，则这个角度为45°）并接收信号发射器5所发射的检测信号后得到信号遮挡区的信号分布数据，即信号遮挡区内的信号强度分布数据，应当理解的是，此处的信号强度分布数据与上述信号强度数据实质上为同一类数据，信号强度分布数据是以信号强度数据进一步与信号遮挡区的宽度数据建立关联后得到的，例如以正方形Pellicle膜两个对角定点的连线的距离值建立坐标横轴，以信号遮挡区各位置下的检测信号强度值建立坐标纵轴，坐标轴中的点即可视为信号强度分布数据，以某一顶点作为起点到另一个顶点的连线，由于各个位置对应的粘合剂的量不同，这条连线上的某点最终在信号遮挡区内对应位置形成的信号强度也有大小之分。

根据得到的信号强度分布数据构建信号强度分布曲线，然后与标准贴合状态下的模板曲线进行比对，即与旋转角信号强度标准模板进行比对，这里的旋转角信号强度标准模板，是指定位转台在某一固定旋转角度下，掩膜版与Pellicle膜标准贴合时，检测信号穿过贴合面并在信号遮挡区上形成的检测信号强度分布模板。

例如，参照图10，方形Pellicle膜转至45度（此时方形Pellicle膜的两个对边角顶点之间的连线与检测信号垂直）后检测信号穿过贴合面后在信号接收器上的信号强度分布状态如图10中的模板曲线所示，在接近1mm和127mm的位置上，信号接收器接收的信号强度最高，是因为这两个位置上对检测信号起阻碍作用的粘合剂的量最少，同理在Pellicle膜两个对边角顶点连线中点所在位置，对检测信号起阻碍作用的粘合剂的量最多，也即图10中大约61mm—64mm的位置上，信号接收器接收到的检测信号强度最低，图10中的实测曲线即第一预设角度下的信号强度分布曲线，判断该第一预设角度下的信号强度分布曲线与旋转角信号强度标准模板（即图10中的模板曲线）之间的误差是否小于预设的误差允许值（也即第二预设条件，一般在1mm—4mm之间，可以取2mm、3mm等），若标准模板曲线与实测曲线之间的误差均不超过预设的误差允许值，则可判定掩膜版与薄膜侧边的贴合度达标，若两者之间存在差值大于预设的误差允许值时，则获取并返回该点的坐标数据（即侧边贴合不佳点数据）以指示贴合不佳的侧边点位。

进一步地，本实施例中的步骤S3000：基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度之后还包括：

步骤S4100：基于所述旋转角—遮挡度对应关系曲线、旋转角—遮挡度模板、信号强度分布曲线以及旋转角信号强度标准模板创建可视化数据图表；

步骤S4200：基于所述边角贴合不佳点数据和侧边贴合不佳点数据在所述可视化数据图表中标注贴合瑕疵点。

具体地，本实施例中，参照图8和图10，检测装置在获取到旋转角—遮挡度对应关系曲线、旋转角—遮挡度模板、信号强度分布曲线以及旋转角信号强度标准模板等数据之后，可以根据这些数据建立如图8、图10所示的可视化图表以供直观地观察掩膜版与Pellicle膜之间的贴合情况，并且能基于上述步骤中获取的边角贴合不佳点数据和侧边贴合不佳点数据在可视化数据图表中标注贴合瑕疵点。

在本实施例中，通过基于所述信号分布数据构建所述第一预设角度下的信号强度分布曲线；判断所述第一预设角度下的信号强度分布曲线与所述旋转角信号强度标准模板之间的误差是否满足第二预设条件；若满足第二预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜侧边贴合度达标；若不满足第二预设条件，则获取并返回侧边贴合不佳点数据，通过这种方式，检测掩膜版与Pellicle薄膜之间的贴合度情况，通过设置信号发射器与信号接收器对掩膜版Pellicle薄膜之间的贴合面进行检测，并基于检测信号产生检测数据进行贴合度检测，提高了准确度和效率。

此外，本发明实施例还提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测装置，包括信号发射器和信号接收器以及定位转台：

所述定位转台用于固定贴合后的薄膜与掩膜版，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；

所述信号发射器用于发射检测信号，以使所述信号接收器得到根据预设方向和速度转动所述定位转台时产生的信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；

所述装置还包括检测模块：用于基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。

此外，本发明实施例还提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测设备，所述设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测处理程序配置为实现如上所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法各实施例的步骤。

此外，本发明还提供一种计算机可读存储介质，所述存储介质上存储有掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时实现如上所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法各实施例的步骤。

在本发明装置、终端设备和计算机可读存储介质的实施例中，包含了上述掩膜版与薄膜贴合度检测方法各实施例的全部技术特征，说明书拓展和解释内容与上述掩膜版与薄膜贴合度检测方法各实施例基本相同，在此不作赘述。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者系统中还存在另外的相同要素。

上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术作出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在如上所述的一个存储介质（如ROM/RAM、磁碟、光盘）中，包括若干指令用以使得一台终端设备（可以是手机，计算机，服务器，或者网络设备等）执行本发明各个实施例所述的方法。

以上仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述方法应用于掩膜版与薄膜贴合度检测装置，所述装置包括信号发射器和信号接收器以及定位转台，所述方法包括以下步骤：

将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；

根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；

基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。

2.如权利要求1所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述根据预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测掩膜版与薄膜贴合度的步骤之前还包括：

将所述定位转台固定在第一预设角度并接收所述信号发射器发射的检测信号得到所述信号遮挡区的信号分布数据。

3.如权利要求2所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述信号遮挡区数据包括信号遮挡宽度、信号遮挡高度、信号遮挡面积以及信号强度中的至少一种。

4.如权利要求1所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述贴合度模板基于所述薄膜的型号构建。

5.如权利要求3所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述掩膜版与薄膜的贴合度包括边角贴合度，所述贴合度模板包括旋转角—遮挡度模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤包括：

基于所述信号遮挡区数据构建旋转角—遮挡度对应关系曲线；

判断所述旋转角—遮挡度对应关系曲线与所述旋转角—遮挡度模板之间的误差是否满足第一预设条件；

若满足第一预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜边角贴合度达标；

若不满足第一预设条件，则获取并返回边角贴合不佳点数据。

6.如权利要求5所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述掩膜版与薄膜的贴合度还包括侧边贴合度，所述贴合度模板还包括旋转角信号强度标准模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤还包括：

基于所述信号分布数据构建所述第一预设角度下的信号强度分布曲线；

判断所述第一预设角度下的信号强度分布曲线与所述旋转角信号强度标准模板之间的误差是否满足第二预设条件；

若满足第二预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜侧边贴合度达标；

若不满足第二预设条件，则获取并返回侧边贴合不佳点数据。

7.如权利要求5所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤之后还包括：

基于所述旋转角—遮挡度对应关系曲线、旋转角—遮挡度模板、信号强度分布曲线以及旋转角信号强度标准模板创建可视化数据图表；

基于所述边角贴合不佳点数据和侧边贴合不佳点数据在所述可视化数据图表中标注贴合瑕疵点。

8.一种掩膜版与薄膜贴合度检测装置，其特征在于，包括信号发射器和信号接收器以及定位转台；

所述定位转台用于固定贴合后的薄膜与掩膜版，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；

所述信号发射器用于发射检测信号，以使所述信号接收器得到根据预设方向和速度转动所述定位转台时产生的信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；

所述装置还包括检测模块：用于基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。

9.一种掩膜版与薄膜贴合度检测设备，其特征在于，所述设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测程序配置为实现如权利要求1至7中任一项所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法的步骤。

10.一种存储介质，其特征在于，所述存储介质上存储有掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法的步骤。