CN117630046A - 检查装置 - Google Patents

Abstract

提供一种检查装置，在用于玻璃板的夹装材料中包含异物中，能够高精度地推定使玻璃板的正面产生污染、损伤等缺陷的异物。具备：第一检查部，取得由夹装材料的正面、或正背面的表面状态的信息构成的第一信息；按压部，使取得了第一信息的夹装材料的正面与玻璃板抵接；第二检查部，取得由与夹装材料的正面抵接后的玻璃板的主面的表面状态的信息构成的第二信息；判定部，推定存在于夹装材料的异物中使玻璃板的主面产生缺陷的异物，判定部从所述第一信息提取存在于夹装材料的异物的位置信息即第一位置信息，从所述第二信息提取存在于玻璃板的主面的缺陷的位置信息即第二位置信息，基于第一位置信息及第二位置信息来推定使玻璃板的主面产生缺陷的异物。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及能够推定在夹装材料中包含的异物中的、在玻璃板的正面产生伤痕、污染的异物的检查装置。

背景技术

例如，用于LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)、OLED(Organic Light-Emitting Diode：有机发光二极管)等平板显示器(FPD：Flat Panel Display)用的玻璃板以提高输送效率为目的，在重叠多张的状态下被输送。此时，在玻璃板彼此之间夹设玻璃板用夹纸(以下也称为“夹纸”)、树脂片材或树脂缓冲件那样的夹装材料，防止在输送中对玻璃板的正面造成损伤等。

但是，玻璃板在其正面压接于夹装材料的状态下层叠，因此有可能存在于夹装材料的粘着性的异物附着于玻璃板的正面、或玻璃板的正面因异物而损伤。因此，要求异物难以附着于玻璃板的正面、能够抑制在玻璃板的主面产生的损伤的夹装材料。

特别是FPD用的玻璃板(玻璃基板)在正面形成有微细的电气布线、电极、电路、隔壁等元件，因此即使在正面存在微小的伤痕或污染，也成为断线等不良的原因。因此，对于用于这些用途的玻璃板，要求正面的高清洁性。

作为在介于这样的玻璃板彼此之间的用途中使用的夹装材料，提出了若干抑制玻璃板的破裂或对玻璃板的正面的损伤或污染的夹纸。例如，在专利文献1中公开了存在于正面的莫氏硬度为4以上的异物小于规定个数的玻璃夹纸。另外，在专利文献2中公开了一种满足粘合间距异物的含有密度为0.07个/m²以下的条件的夹纸。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第6127319号公报

专利文献2：日本专利第4924982号公报

发明所要解决的课题

但是，在夹装材料中，例如莫氏硬度为4以上的异物不会全部成为对玻璃板产生损伤的问题，即使是莫氏硬度为4以上的异物，也存在不成为问题的异物。即，实际情况是无法阐明玻璃板因什么样的异物而产生损伤或玻璃板被污染。因此，将存在于夹装材料的异物的个数、夹装材料的平滑性这样的夹装材料的性状与使用夹装材料的情况下的玻璃板的损伤、污染信息进行对比后，预想优选的夹装材料的性状，开发了夹装材料。

因此，实际情况是无法完全防止玻璃板的正面的损伤或污染，根据情况有时会因某些原因而在玻璃板的正面产生损伤或污染。因此，高精度地推定使玻璃板的正面产生伤痕、污染的夹装材料的异物成为较大的课题。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种能够高精度地推定在使用于玻璃板的夹装材料所包含的异物中，使玻璃板的正面产生污染、损伤等缺陷的异物的检查装置。

用于解决课题的技术方案

本发明由如下构成所组成。

一种检查装置，对介于层叠的玻璃板彼此之间的夹装材料进行检查，其中，

所述检查装置具备：

第一检查部，取得由所述夹装材料的正面、或正面及背面的表面状态的信息构成的第一信息；

按压部，使取得了所述第一信息的所述夹装材料的正面与所述玻璃板抵接；

第二检查部，取得由与所述夹装材料的正面抵接后的所述玻璃板的主面的表面状态的信息构成的第二信息；及

判定部，推定存在于所述夹装材料的异物中的使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物，

所述判定部从所述第一信息提取作为存在于所述夹装材料的异物的位置信息的第一位置信息，所述判定部从所述第二信息提取作为存在于所述玻璃板的主面的缺陷的位置信息的第二位置信息，所述判定部基于所述第一位置信息及所述第二位置信息来推定使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

发明效果

根据本发明，能够高精度地推定在使用于玻璃板的夹装材料所包含的异物中，使玻璃板的正面产生污染、损伤等缺陷的异物。

附图说明

图1是第一实施方式所涉及的检查装置的概略结构图。

图2是说明第一实施方式所涉及的检查装置进行的异物的推定步骤的流程图。

图3是对玻璃板上的缺陷的位置信息的提取的方法进行说明的说明图。

图4是第二实施方式所涉及的检查装置的概略结构图。

图5是说明第二实施方式所涉及的检查装置进行的异物的推定步骤的流程图。

图6是说明具备第四检查部的变形例的概略结构图。

标号说明

1 夹装材料

1L 长夹装材料(夹装材料)

1R 夹装材料卷(夹装材料)

1S 短夹装材料(夹装材料)

3 玻璃板

11 第一检查部

13 按压部

17 清洗部

19 第二检查部

23 判定部

61 第三检查部

71 第四检查部

100、200 检查装置

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式详细地进行说明。

(第一实施方式)

首先，对第一实施方式所涉及的检查装置进行说明。

图1是第一实施方式所涉及的检查装置100的概略结构图。

如图1所示，第一实施方式所涉及的检查装置100是推定在夹装材料1中所包含的异物的检查装置。夹装材料1例如是在运输、保管时将多张玻璃板3重叠时介于玻璃板3彼此之间的片状的夹设物。作为该夹装材料1，例如有夹纸、树脂片材或树脂缓冲件等。在本例中，例示了夹纸。

作为成为夹装材料1的夹纸，例如选择平滑度为20秒以下(JIS P8119，1998)、密度为0.8g/cm³、树脂成分为0.05质量％以下(JIS P8224，2002)且缓冲性优异、树脂成分的转印少的性状的夹纸。另外，夹纸的树脂成分优选为0.05质量％以下(JIS P 8224，2002)，通过与上述的纸面粗糙度的复合效果，选择不会对玻璃板3自身的品质造成恶劣影响的纸质。

夹装材料1是卷绕成卷状而形成为夹装材料卷1R的长夹装材料1L，从该夹装材料卷1R被拉出，通过检查装置100连续而有效地进行检查。在本例中，检查夹装材料1的下表面(正面的面)。

夹有夹装材料1的玻璃板3例如由使用于LCD(Liquid Crystal Display)、OLED(Organic Light-Emitting Diode)等平板显示器(FPD：Flat Panel Display)用的无碱玻璃系材料构成。此外，玻璃板3的形成有布线、元件等的主面为使用面，在检查装置100中，使夹装材料1与作为使用面的玻璃板3的主面抵接来进行检查。另外，使夹装材料1抵接的主面也可以是与玻璃板3的使用面相反的主面。即，使夹装材料1抵接的主面也可以是玻璃板3的与形成布线、元件的主面相反的主面。

检查装置100具备第一检查部11、按压部13、采样部15、清洗部17以及第二检查部19。另外，检查装置100具备控制部21，该控制部21具有判定部23和学习模型制作部25。

第一检查部11、按压部13以及采样部15在水平方向上并排设置。由卷绕成卷状而形成为夹装材料卷1R的长夹装材料1L构成的夹装材料1被设置于按压部13与采样部15之间的放出辊31等的输送机构放出。由此，由长夹装材料1L构成的夹装材料1从夹装材料卷1R送出，被引导辊33引导，并依次向第一检查部11、按压部13以及采样部15输送。

第一检查部11对夹装材料1的下表面进行拍摄，取得其图像数据作为夹装材料1的表面状态的信息即第一信息。该第一检查部11例如具备反射型传感器41及透射型传感器42。反射型传感器41具有向夹装材料1照射光的投光部41a和接受由夹装材料1反射的投光部41a的光并取得夹装材料1的图像的受光部41b。透射型传感器42具有向夹装材料1照射光的投光部42a和接受透过夹装材料1的投光部42a的光而取得夹装材料1的图像的受光部42b。反射型传感器41和透射型传感器42分别设置有多个，在夹装材料1的宽度方向上并列设置。此外，作为第一检查部11，只要具备反射型传感器41以及透射型传感器42中的至少一方即可。根据异物的种类、形状、存在形态，从检测灵敏度、识别性能的观点出发，适合于第一检查部11的传感器不同。例如，由于露出的异物的光散射性较高，因此优选反射型传感器41。另一方面，大部分埋设在夹装材料中的异物的光散射性低，但透光性低，因此优选透射型传感器42。这样，第一检查部11只要针对应检测的异物成为适当的结构、配置即可。另外，为了检测多种异物、未知的异物，出于上述理由，更优选第一检查部11具备透射型传感器42以及反射型传感器41。而且，由于存在夹装材料1的上表面(背面的面)的异物经由夹装材料1对玻璃板3的主面(与夹装材料1的下表面接触的面)造成损伤的情况，因此更优选除了夹装材料1的下表面以外，还具备检查上表面的传感器。

此外，作为投光部41a、42a的光源，除了可见光以外，也可以使用红外光、紫外光、放射线，受光部41b、42b只要成为能够感知这些的传感器即可。通过使用红外光或紫外光，有时它们的吸收或散射性比成为背景的夹装材料1自身强，能够对比度良好地检测异物或判断为不是目标异物。通过使用放射线，能够判别异物是否包含金属以及异物是否存在于正面和内部中的任一者。受光部41b、42b既可以是单色也可以是彩色。在彩色的情况下，得到的信息变多，能够有助于异物的判别精度的提高。也可以具备激光诱导击穿光谱法那样的能够在常压下确定成分元素的检测器。由此，能够高精度地判断夹装材料1的异物是否为对玻璃板3赋予缺陷的种类的异物。

按压部13相对于第一检查部11配置于夹装材料1的输送方向的下游侧。该按压部13使玻璃板3抵接于由第一检查部11取得了第一信息的夹装材料1的上下表面。按压部13具备配置于夹装材料1的正面背面侧的一对按压板45，在这些按压板45保持玻璃板3。这些按压板45能够相互接近以及向分离方向移动，通过按压板45相互接近，保持于各个按压板45的玻璃板3与夹装材料1抵接。在按压部13中，保持于下方侧的按压板45的玻璃板3是评价用的玻璃板，作为与夹装材料1的下表面抵接的玻璃板3的使用面的主面是评价面。

按压部13以预先设定的抵接力使玻璃板3与夹装材料1抵接。作为此时的抵接力，例如设为在形成为夹有夹装材料1而层叠了多张玻璃板3的捆包状态时施加于夹装材料1及玻璃板3的抵接力。该抵接力例如设定为相当于在将200张以上的玻璃板3平放装载时施加于装载体底部附近的压力的3kPa以上。

由长夹装材料1L构成的夹装材料1被间歇地输送，在按压部13中，玻璃板3相对于夹装材料1间歇地抵接。即，在按压部13中，若玻璃板3与夹装材料1抵接，则包含该抵接的区域的范围被向采样部15侧送出。而且，夹装材料1的未抵接部位被送入按压部13，进行与玻璃板3的抵接。由此，由长夹装材料1L构成的夹装材料1在由按压部13与玻璃板3抵接的每个区域向采样部15送出。

采样部15相对于按压部13配置在夹装材料1的输送方向的下游侧。采样部15具有标记器47、切割器48和托盘49。通过输送机构向采样部15送入通过按压部13抵接有玻璃板3的夹装材料1。在该采样部15中，对于被送入的夹装材料1，按照与玻璃板3抵接的每个区域用标记器47标注标记，并且用切割器48切断，形成为矩形状的短夹装材料1S的状态(夹装材料样品)而重叠收纳在托盘49上。

清洗部17对通过按压部13与夹装材料1抵接的玻璃板3的主面进行清洗。该清洗部17具备辊刷51、盘刷52以及清洗水喷射部53。从清洗液喷嘴51a、52a分别向辊刷51及盘刷52供给清洗液。辊刷51以沿着玻璃板3的主面的轴线为中心转动，对玻璃板3的主面进行清洗。盘刷52以与玻璃板3的主面正交的轴线为中心转动，清洗玻璃板3的主面。清洗水喷射部53向玻璃板3的主面喷吹清洗水来冲刷玻璃板3的主面。另外，作为清洗部17，可以设置辊刷51和盘刷52中的任意一方，另外，也可以不设置这些辊刷51和盘刷52而仅设置清洗水喷射部53。清洗部17例如去除附着于玻璃板3的主面的异物中的、不会成为大问题的、能够通过通常的清洗去除的程度的异物。例如，将玻璃板3作为基板，去除在主面形成电路之前的清洗工序中能够去除的程度的异物。

第二检查部19对通过按压部13与夹装材料1抵接的玻璃板3的主面进行拍摄，取得其图像数据作为玻璃板3的主面中的表面状态的信息即第二信息。该第二检查部19例如具备反射型传感器55及透射型传感器56。反射型传感器55具有向玻璃板3的主面照射光的投光部55a和接收由玻璃板3的主面反射的投光部55a的光并取得玻璃板3的主面的图像的受光部55b。透射型传感器56具有向玻璃板3照射光的投光部56a和接收透过玻璃板3的投光部56a的光而取得玻璃板3的图像的受光部56b。反射型传感器55和透射型传感器56分别设置有多个，在玻璃板3的宽度方向上并排设置。此外，作为第二检查部19，只要具备反射型传感器55以及透射型传感器56中的至少一方即可。另外，与第一检查部11同样地，第二检查部19只要针对应检测的异物成为适当的结构、配置即可。

控制部21控制第一检查部11、按压部13、采样部15、清洗部17、第二检查部19、放出辊31等输送机构。另外，向控制部21发送由第一检查部11取得的第一信息以及由第二检查部19取得的第二信息。

设置于控制部21的判定部23从由第一检查部11取得的第一信息提取作为存在于夹装材料1的异物的位置信息的第一位置信息。另外，判定部23从由第二检查部19取得的第二信息提取作为存在于玻璃板3的主面的缺陷的位置信息的第二位置信息。然后，判定部23基于第一位置信息和第二位置信息，推定存在于夹装材料1的异物中的使玻璃板3的主面产生缺陷的异物。

设置于控制部21的学习模型制作部25制作学习模型，所述学习模型通过以由第一检查部11取得的第一信息与由判定部23求出的玻璃板3的主面是否产生缺陷的推定结果的组合作为教师数据进行机器学习而得到。

接着，对上述结构的检查装置100进行的异物的推定步骤进行说明。

图2是说明第一实施方式所涉及的检查装置100进行的异物的推定步骤的流程图。

通过控制部21使放出辊31等输送机构工作，开始夹装材料1的供给以及输送(步骤S11)。由此，从夹装材料卷1R放出长夹装材料1L。

在第一检查部11中，对夹装材料1的下表面进行拍摄，取得其图像数据作为夹装材料1的表面状态的信息即第一信息(步骤S12)。然后，该第一信息被向判定部23发送。

当夹装材料1中的取得了第一信息的检查区域被输送到按压部13时，在按压部13中，按压板45向相互接近的方向移动。由此，玻璃板3从正面背面与夹装材料1的检查区域抵接(步骤S13)。

当夹装材料1中的利用按压部13抵接玻璃板3的检查区域被输送到采样部15时，在夹装材料1上对于每个检查区域通过标记器47标注标记，并且被切割器48切断，形成为具有检查区域的矩形状的短夹装材料1S的状态(夹装材料样品)并收纳于托盘49(步骤S14)。

若玻璃板3向夹装材料1的抵接的次数成为预先设定的抵接次数(例如10次以上)，则玻璃板3被从按压部13取出，由清洗部17进行清洗(步骤S15)。由此，例如，除去附着于玻璃板3的主面的异物中不会成为大问题的、能够通过通常的清洗除去的程度的异物。

在第二检查部19中，拍摄玻璃板3的作为评价面的主面，取得其图像数据作为玻璃板3的主面的表面状态的信息即第二信息(步骤S16)。然后，该第二信息被向判定部23发送。

判定部23将由第一检查部11取得的第一信息与由第二检查部19取得的第二信息进行比较(步骤S17)。具体而言，判定部23从第一信息提取作为存在于夹装材料1的异物的位置信息的第一位置信息，从第二信息提取作为存在于玻璃板3的主面的缺陷的位置信息的第二位置信息。此时，判定部23针对夹装材料1，基于第一信息中的异物的大小以及形状来确定存在于夹装材料1的异物，并提取该异物的位置信息作为第一位置信息。同样地，判定部23针对玻璃板3，基于第二信息中的缺陷的大小以及形状来确定存在于玻璃板3的缺陷，并提取该缺陷的位置信息作为第二位置信息。此外，第一信息以及第二信息中的缺陷的位置信息例如能够通过将8位灰度图像以规定的阈值进行二值化，将亮度超过阈值的像素中的接近的像素的集合体视作缺陷，得到其位置、各种特征量来进行提取。另外，作为第一位置信息以及第二位置信息，例如能够使用缺陷的外接矩形的中心点、亮度的重心来提取。在此，缺陷的大小是表现缺陷的大小的参数，例如是缺陷的费雷特直径、马丁直径、缺陷自身的长短径、面积、周长、相当粒径、缺陷内的亮度值的分布、亮度的累计值、最大亮度值。另外，所谓缺陷的形状，是表现缺陷的圆度、棱角、轮廓的凹凸等的参数，例如是纵横比、圆度、伸长率、包络度、主轴角、亮度重心。此外，也可以使用根据这些缺陷的特征量进行运算而得到的、例如平均亮度值、亮度的标准偏差等信息。

判定部23基于作为存在于夹装材料1的异物的位置信息的第一位置信息和作为存在于玻璃板3的主面的缺陷的位置信息的第二位置信息，判定在夹装材料1的异物中是否存在与玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的异物(步骤S18)。另外，位置信息的一致视为与存在于距同一坐标一定的范围内的情况一致。例如，能够形成为从同一点在面内为上下左右±1mm内区域的缺陷等。如果范围窄，则判定的精度提高，另一方面，在夹装材料1、玻璃板3的输送精度、位置精度差的情况下，缺陷的一致率可能降低。若范围较广，则缺陷的检测率上升，但有可能在同一区域内存在多个点等而导致检查负荷增大。区域根据夹装材料1的异物个数等适当决定即可，优选能够使用±0.1mm～±2mm，更优选使用±0.25～±1mm等范围。另外，在与玻璃板3的缺陷对应的夹装材料1的某个区域内存在多个点的缺陷的情况下，优选取得多个各缺陷信息，与各个缺陷信息进行比较。

判定部23在判定为在夹装材料1的异物存在与玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的异物的情况下(步骤S18：是)，推定为该异物是使玻璃板3产生了缺陷的异物。另外，判定部23在判定为在夹装材料1的异物中不存在与玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的异物的情况下(步骤S18：否)，推定为在夹装材料1中不存在使玻璃板3产生缺陷的异物。

作为基于判定部23的推定方法，例如有如下方法：基于作为玻璃板3的主面中的缺陷的位置信息的第二位置信息，计算可能存在使玻璃板3的主面产生缺陷的异物的缺陷原因异物的位置信息，将作为夹装材料1的异物的位置信息的第一位置信息中的与缺陷原因异物的位置信息一致的异物推定为使玻璃板3的主面产生缺陷的异物。

另外，作为基于判定部23的推定方法，例如也可以是如下方法：根据作为夹装材料1的异物的位置信息的第一位置信息来计算夹装材料1的异物与玻璃板3接触的异物接触位置信息，在该异物接触位置信息与作为玻璃板3的缺陷的位置信息的第二位置信息一致的情况下，推定为该异物是使缺陷产生的异物，在不一致的情况下，推定为该异物是未使缺陷产生的异物。

在通过判定部23推定为在夹装材料1中有使玻璃板3产生缺陷的异物的情况下(步骤S18：是)，参照由标记器47标注的标记取出由收容于采样部15的托盘49的短夹装材料1S构成的夹装材料样品，调查附着于该夹装材料样品的异物(步骤S19)。

另外，判定部23将由第一检查部11取得的第一信息与在玻璃板3的主面是否产生缺陷的推定结果的组合向学习模型制作部25发送。学习模型制作部25制作以第一信息与推定结果的组合作为教师数据进行机器学习而得到的学习模型。由此，能够基于第一信息，制作能够高精度地判定夹装材料1的异物使玻璃板3的主面产生缺陷的可能性是否高的学习模型。该学习模型制作部25能够使用前述的步骤S17、S18中记载的方法。

此外，学习模型制作部25也可以制作以第一信息与存在于夹装材料1的异物的种类的信息的组合作为教师数据进行机器学习而得到的学习模型。由此，能够基于第一信息制作可高精度地推定夹装材料1的异物的种类的学习模型。所述教师数据中的异物的种类例如由检查员进行判断。异物的种类可列举铁系、砂等硬质无机异物、滑石等软质无机异物、有机系的异物等。进而，也可以在所述教师数据中包含在玻璃板3的主面是否产生了缺陷的推定结果。即，也可以制作以第一信息、存在于夹装材料1的异物的种类的信息、以及在玻璃板3的主面是否产生了缺陷的推定结果的组合作为教师数据进行机器学习而得到的学习模型。由此，也能够根据夹装材料1的异物的种类来推定使玻璃板3产生缺陷的影响度。即，也能够根据第一信息推定夹装材料1的异物的种类以及对玻璃板3的影响度。

另外，判定部23也可以将由第二检查部19取得的第二信息发送至学习模型制作部25。学习模型制作部25也可以制作以第二信息与存在于玻璃板3的主面的缺陷的种类的信息的组合作为教师数据进行机器学习而得到的学习模型。由此，能够基于第二信息制作可高精度地判定在玻璃板3的主面产生的缺陷的类别的学习模型。另外，教师数据中包含的上述缺陷的种类例如由检查员判断。

上述的学习模型制作部25例如能够使用线性/非线性多元回归式、神经网络、支持向量机、决策树、随机森林、梯度提升树、多层感知器等机器学习模型、或者将这些机器学习模型组合而成的集成模型。

这样，根据上述第一实施方式所涉及的检查装置100，对于层叠玻璃板3时夹设的夹装材料1，能够高精度地推定使玻璃板3的主面产生缺陷的异物。由此，能够特别适合用于在正面的微小的损伤、污染等缺陷成为不良的原因的FPD用的玻璃板3中使用的夹装材料1的检查。

另外，在检查装置100中，第二检查部19对玻璃板3的第二信息的取得处理(步骤S16)在以预先设定的抵接次数(例如10次以上)使夹装材料1抵接之后进行，但也可以在每次与夹装材料1抵接时进行针对玻璃板3的第二信息的取得处理。在该情况下，能够将夹装材料1的检查区域与玻璃板3以一对一的方式对比，能够高精度地推定使玻璃板3产生缺陷的夹装材料1的异物。与此相对，在以预先设定的抵接次数使夹装材料1抵接之后进行针对玻璃板3的第二信息的取得处理(步骤S16)的情况下，能够有效地进行检查作业。此外，第二信息的取得处理(步骤S16)的执行时刻也可以包含按照夹装材料1的1个检查区域的抵接进行的情况和以预先设定的抵接次数使夹装材料1抵接之后进行的情况这双方。

在此，对在以预先设定的抵接次数使夹装材料1抵接之后进行针对玻璃板3的第二信息的取得处理的情况下的缺陷的位置信息的提取进行说明。

图3是说明玻璃板3中的缺陷的位置信息的提取方法的说明图。

如图3所示，长夹装材料1L的多个检查区域A1、A2、A3、A4…沿着长度方向被划分，这些检查区域A1、A2、A3、A4…在按压部13中依次与玻璃板3的主面抵接。因此，在玻璃板3的主面，由于长夹装材料1L的各检查区域A1、A2、A3、A4…的异物G1、G2、G3、G4…而产生缺陷D1、D2、D3、D4…。在此，由于在检查区域A2没有异物G2，因此在玻璃板3不产生使检查区域A2抵接时产生的缺陷D2。

在这样的情况下，检查装置100的判定部23在玻璃板3设定原点O3，在各检查区域A1、A2、A3、A4…中，将在使玻璃板3抵接时与玻璃板3的原点O3一致的位置设为原点O1。另外，判定部23将长夹装材料1L的输送方向设为X方向，将长夹装材料1L的宽度方向设为Y方向。

判定部23基于第一信息，在各检查区域A1、A2、A3、A4…中，在以原点O1为基准的X-Y坐标下求出异物G1、G2、G3、G4…的位置，提取这些X-Y坐标作为第一位置信息。另外，判定部23基于第二信息，在玻璃板3中，在以原点O3为基准的X-Y坐标下求出缺陷D1、D2、D3、D4…的位置，提取该X-Y坐标作为第二位置信息。

然后，判定部23通过对第一位置信息中的异物G1、G2、G3、G4…的X-Y坐标与第二位置信息中的缺陷D1、D2、D3、D4…的X-Y坐标进行比较，来推断玻璃板3的缺陷D1、D2、D3、D4…是否与检查区域A1、A2、A3、A4…的异物G1、G2、G3、G4…中的任一个对应。

(第二实施方式)

接着，对第二实施方式所涉及的检查装置进行说明。

此外，对与上述第一实施方式相同的结构部分标注相同的附图标记并省略说明。

图4是第二实施方式所涉及的检查装置200的概略结构图。

如图4所示，第二实施方式所涉及的检查装置200具备第三检查部61。第三检查部61对通过按压部13与夹装材料1抵接前的玻璃板3的主面进行拍摄，取得其图像数据作为玻璃板3的主面中的表面状态的信息即第三信息。该第三检查部61也由控制部21控制，另外，由该第三检查部61取得的第三信息也向控制部21发送。

该第三检查部61例如具备反射型传感器62及透射型传感器63。反射型传感器62具有向玻璃板3的主面照射光的投光部62a和接收由玻璃板3的主面反射的投光部62a的光并取得玻璃板3的主面的图像的受光部62b。透射型传感器63具有向玻璃板3照射光的投光部63a和接收透过玻璃板3的投光部63a的光并取得玻璃板3的图像的受光部63b。反射型传感器62和透射型传感器63分别设置有多个，在玻璃板3的宽度方向上并排设置。此外，作为第三检查部61，只要具备反射型传感器62以及透射型传感器63中的至少一方即可。

接着，对上述结构的检查装置200进行的夹装材料1中的异物的推定步骤进行说明。

图5是说明第二实施方式所涉及的检查装置200进行的异物的推定步骤的流程图。

在检查装置200中，首先，在第三检查部61中，拍摄向按压部13设置之前的玻璃板3的主面，取得其图像数据作为玻璃板3的主面的表面状态的信息即第三信息(步骤S21)。然后，该第三信息被向判定部23发送。此外，由第三检查部61取得了第三信息的玻璃板3设置于按压部13。

通过控制部21使放出辊31等输送机构工作，开始夹装材料1的供给以及输送(步骤S22)。由此，从夹装材料卷1R放出长夹装材料1L。

在第一检查部11中，对夹装材料1的下表面进行拍摄，取得其图像数据作为夹装材料1的表面状态的信息即第一信息(步骤S23)，并向判定部23发送。

将夹装材料1中的取得了第一信息的检查区域输送到按压部13，玻璃板3从正面背面与该夹装材料1的检查区域抵接(步骤S24)。

将夹装材料1中的通过按压部13而抵接玻璃板3的检查区域输送至采样部15，通过标记器47标注标记，并且由切割器48切断，以具有检查区域的矩形状的短夹装材料1S的状态(夹装材料样品)收纳于托盘49(步骤S25)。

从按压部13取出的玻璃板3被清洗部17清洗(步骤S26)，例如，除去附着于玻璃板3的主面的异物中不会成为大问题的能够通过通常的清洗除去的程度的异物。

在第二检查部19中，拍摄玻璃板3的作为评价面的主面，取得其图像数据作为玻璃板3的主面的表面状态的信息即第二信息(步骤S27)，并向判定部23发送。

判定部23将由第二检查部19取得的第二信息与由第三检查部61取得的第三信息进行比较(步骤S28)。具体而言，判定部23从作为与夹装材料1抵接后的表面信息的第二信息提取作为存在于玻璃板3的主面的缺陷的位置信息的第二位置信息，从作为与夹装材料1抵接前的表面信息的第三信息提取作为存在于玻璃板3的主面的缺陷的位置信息的第三位置信息。

判定部23基于作为与夹装材料1抵接后的缺陷的位置信息的第二位置信息和作为与夹装材料1抵接前的缺陷的位置信息的第三位置信息，判定是否存在与和夹装材料1抵接前后的玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的位置信息(步骤S29)。

判定部23在判定为在第二位置信息与第三位置信息之间存在与和夹装材料1抵接前后的玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的位置信息的情况下(步骤S29：是)，比较第二信息和第三信息，算出并生成第五信息(步骤S30)。在第五信息中包含从第二位置信息去除了与第三位置信息一致的位置信息的第五位置信息。

判定部23将由第一检查部11取得的第一信息与制作的第五信息进行比较(步骤S31)。

判定部23从第一信息提取作为存在于夹装材料1的异物的位置信息的第一位置信息。然后，判定部23基于作为存在于夹装材料1的异物的位置信息的第一位置信息和作为存在于玻璃板3的主面的缺陷的位置信息的第五位置信息，判定在夹装材料1的异物中是否存在与玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的异物(步骤S33)。

判定部23在判定为在夹装材料1的异物中存在与玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的异物的情况下(步骤S33：是)，推定为该异物是使玻璃板3产生了缺陷的异物。另外，判定部23在判定为在夹装材料1的异物中不存在与玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的异物的情况下(步骤S33：否)，推定为在夹装材料1中不存在使玻璃板3产生缺陷的异物。

在第二位置信息与第三位置信息的比较处理(步骤S29)中，在判定为在第二位置信息与第三位置信息之间不存在与和夹装材料1抵接前后的玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的位置信息的情况下(步骤S29：否)，判定部23对由第一检查部11取得的第一信息与由第二检查部19取得的第二信息进行比较(步骤S32)。

判定部23从第一信息提取作为存在于夹装材料1的异物的位置信息的第一位置信息，从第二信息提取作为存在于玻璃板3的主面的缺陷的位置信息的第二位置信息。然后，判定部23基于作为存在于夹装材料1的异物的位置信息的第一位置信息和作为存在于玻璃板3的主面的缺陷的位置信息的第二位置信息，判定在夹装材料1的异物中是否存在与玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的异物(步骤S33)。

判定部23在判定为在夹装材料1的异物存在与玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的异物的情况下(步骤S33：是)，推定为该异物是使玻璃板3产生了缺陷的异物。另外，判定部23在判定为在夹装材料1的异物中不存在与玻璃板3的主面的缺陷的位置一致的位置的异物的情况下(步骤S33：否)，推定为在夹装材料1中不存在使玻璃板3产生缺陷的异物。

在通过判定部23推定为在夹装材料1中有使玻璃板3产生缺陷的异物的情况下(步骤S33：是)，取出由收容于采样部15的托盘49的短夹装材料1S构成的夹装材料样品，调查附着于该夹装材料样品的异物(步骤S34)。

另外，判定部23将由第一检查部11取得的第一信息与在玻璃板3的主面是否产生缺陷的推定结果的组合向学习模型制作部25发送。学习模型制作部25制作以第一信息与推定结果的组合作为教师数据进行机器学习而得到的学习模型。由此，能够基于第一信息，制作能够高精度地判定夹装材料1的异物在玻璃板3的主面产生缺陷的可能性是否高的学习模型。

进而，判定部23也可以将由第二检查部19取得的第二信息发送到学习模型制作部25。学习模型制作部25也可以制作以第二信息与存在于玻璃板3的主面的缺陷的种类的信息的组合作为教师数据进行机器学习而得到的学习模型。由此，能够基于第二信息制作可高精度地判定在玻璃板3的主面产生的缺陷的类别的学习模型。

另外，在第二实施方式中，进而，判定部23也可以将玻璃板3的第三信息向学习模型制作部25发送。学习模型制作部25也可以制作以第三信息与存在于玻璃板3的主面的缺陷的种类的信息的组合作为教师数据进行机器学习而得到的学习模型。由此，能够基于第三信息制作可高精度地推定存在于玻璃板3的主面的缺陷的种类的学习模型。

这样，在上述第二实施方式所涉及的检查装置200的情况下，对于层叠玻璃板3时夹设的夹装材料1，也能够高精度地推定使玻璃板3的主面产生缺陷的异物。由此，能够特别适合用于在正面的微小的损伤、污染等缺陷成为不良的原因的FPD用的玻璃板3中使用的夹装材料1的检查。

特别是，在第二实施方式所涉及的检查装置200中，通过事先去除与夹装材料1抵接前存在的玻璃板3的主面的缺陷的位置信息，能够提高夹装材料1的使玻璃板3的主面产生缺陷的异物的确定精度。

此外，在上述第一、第二实施方式所涉及的检查装置100、200中，例示了在通过第二检查部19取得第二信息之前具备清洗玻璃板3的主面的清洗部17的情况，但也可以不必设置该清洗部17。

另外，在上述第一、第二实施方式所涉及的检查装置100、200中，取得夹装材料1的下表面的表面状态和与该夹装材料1的下表面抵接的下方侧的评价用的玻璃板3的主面的表面状态，根据它们的表面状态进行了夹装材料1的异物的推定检查，但作为用于进行推定检查的信息，不限于夹装材料1的下表面及下方侧的玻璃板3的主面的表面状态。例如，也可以取得夹装材料1的下表面和上表面的两面的表面状态和下方侧的评价用的玻璃板3的主面的表面状态，根据它们的表面状态进行夹装材料1的异物的推定检查。这样，通过除了夹装材料1的下表面以外还取得上表面的表面状态的信息，能够更高精度地进行推定。另外，也可以取得夹装材料1的下表面与上表面的两面的表面状态和与该夹装材料1的上表面抵接的上方侧的玻璃板3的主面的表面状态，根据它们的表面状态进行夹装材料1的异物的推定检查，还可以取得夹装材料1的下表面与上表面的两面的表面状态和下方侧与上方侧的玻璃板3的主面各自的表面状态，根据它们的表面状态进行夹装材料1的异物的推定检查。

进而，在上述第一、第二实施方式所涉及的检查装置100、200中，使用长夹装材料1L，在采样部15中，将长夹装材料1L针对每个检查区域用切割器48切断而形成为短夹装材料1S，但也可以使用预先形成为矩形状的短夹装材料1S。在该情况下，利用按压部13使多个短夹装材料1S逐张地与玻璃板3抵接，并收纳于采样部15的托盘49。

另外，在第一、第二实施方式所涉及的检查装置100、200中，为了对由第一检查部11取得第一信息后的夹装材料1进行其他检查，例如也可以设置涂布部，该涂布部通过包含颜色材料的水溶性的液体对夹装材料1进行染色。

另外，在第一、第二实施方式所涉及的检查装置100、200中，也可以具备第四检查部，该第四检查部取得通过按压部13与玻璃板3抵接后的夹装材料1的下表面的表面状态的信息。

图6是说明具备第四检查部71的变形例的概略结构图。

在图6所示的结构例中，在按压部13与采样部15之间具备第四检查部71，该第四检查部71对夹装材料1的下表面进行拍摄，并取得其图像数据作为夹装材料1的表面状态的信息即第四信息。该第四检查部71也由控制部21控制，另外，由该第四检查部71取得的第四信息也向控制部21发送。

该第四检查部71例如具备反射型传感器73及透射型传感器72。反射型传感器73具有向夹装材料1的下表面照射光的投光部73a和接受由夹装材料1的下表面反射的投光部73a的光并取得夹装材料1的图像的受光部73b。透射型传感器72具有向夹装材料1照射光的投光部72a和接受透过夹装材料1的投光部72a的光并取得夹装材料1的图像的受光部72b。反射型传感器73和透射型传感器72分别设置有多个，在夹装材料1的宽度方向上并列设置。此外，作为第四检查部71，只要具备反射型传感器73以及透射型传感器72中的至少一方即可。

在具备该第四检查部71的结构例中，在判定部23中，能够基于第一位置信息和第四位置信息来推定附着于玻璃板3的主面的异物，该第一位置信息是在与玻璃板3抵接前取得的第一信息中的存在于夹装材料1的异物的位置信息，该第四位置信息是在与玻璃板3抵接后取得的第四信息中的存在于夹装材料1的异物的位置信息。

在此，通过对比根据第一信息求出的第一位置信息和根据第四信息求出的第四位置信息，能够推定以下的情况。1)第一位置信息与第四位置信息一致的异物是未附着于玻璃板3的异物的可能性高。2)由第一检查部11检测出但未由第四检查部71检测出的异物附着于玻璃板3的可能性高。3)未由第一检查部11检测出而由第四检查部71检测出的异物为从周边环境(包括玻璃板3)混入的干扰的可能性高。

特别是，由于能够将未由第一检查部11检测出且由第四检查部71检测出的异物推定为从周边环境混入的干扰，因此能够将因对玻璃板3的影响小的干扰而附着的异物排除而进行推定。

这样，本发明不限于上述实施方式，将实施方式的各构成相互组合、本领域的技术人员根据说明书的记载以及公知技术进行变更、应用，也是本发明的预期，并包含在要求保护的范围内。

如上所述，本说明书中公开了如下事项。

(1)一种检查装置，对介于层叠的玻璃板彼此之间的夹装材料进行检查，其中，

所述检查装置具备：

第一检查部，取得由所述夹装材料的正面、或正面及背面的表面状态的信息构成的第一信息；

按压部，使取得了所述第一信息的所述夹装材料的正面与所述玻璃板抵接；

第二检查部，取得由与所述夹装材料的正面抵接后的所述玻璃板的主面的表面状态的信息构成的第二信息；及

判定部，推定存在于所述夹装材料的异物中的使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物，

所述判定部从所述第一信息提取作为存在于所述夹装材料的异物的位置信息的第一位置信息，所述判定部从所述第二信息提取作为存在于所述玻璃板的主面的缺陷的位置信息的第二位置信息，所述判定部基于所述第一位置信息及所述第二位置信息来推定使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

根据该结构的检查装置，例如，对于层叠玻璃板时夹设的夹纸等的夹装材料，能够高精度地推定使玻璃板的主面产生缺陷的异物。由此，能够特别适合用于在正面的微小的损伤、污染等缺陷成为不良的原因的FPD用的玻璃板中使用的夹装材料的检查。

(2)在(1)中记载的检查装置中，所述判定部还基于所述第一信息中的异物的大小与所述第二信息中的缺陷的大小、及所述第一信息中的异物的形状与所述第二信息中的异物的形状中的至少一方来推定使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

根据该结构的检查装置，能够考虑大小及形状中的至少一方来推定使玻璃板的主面产生缺陷的夹装材料的异物，提高推定精度。

(3)在(1)或(2)中记载的检查装置中，所述判定部基于所述第二位置信息来计算可能存在使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物的缺陷原因异物的位置信息，所述判定部将所述第一位置信息中的与所述缺陷原因异物的位置信息一致的异物推定为使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

根据该结构的检查装置，将夹装材料的第一位置信息中的与缺陷原因异物的位置信息一致的异物推定为使玻璃板的主面产生缺陷的异物，因此能够更高精度地推定夹装材料中的使玻璃板的主面产生缺陷的异物。

(4)在(1)～(3)中的任一项记载的检查装置中，所述检查装置还具备第三检查部，所述第三检查部在通过所述按压部使所述夹装材料与所述玻璃板抵接之前，取得由所述玻璃板的主面的表面状态的信息构成的第三信息，

所述判定部从所述第三信息提取作为存在于所述玻璃板的主面的缺陷的位置信息的第三位置信息，所述判定部比较所述第二信息和所述第三信息，算出并生成第五信息，在该第五信息中包含从所述第二位置信息去除了与所述第三位置信息一致的位置信息的第五位置信息，所述判定部基于所述第一位置信息及所述第五位置信息来推定存在于所述夹装材料的异物中的使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

根据该结构的检查装置，通过事先去除与夹装材料抵接前存在的玻璃板的主面的缺陷的位置信息，提高夹装材料中的使玻璃板的主面产生缺陷的异物的确定精度。

(5)在(4)中记载的检查装置中，所述判定部基于所述第五位置信息来计算可能存在使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物的缺陷原因异物的位置信息，所述判定部将所述第一位置信息中的与所述缺陷原因异物的位置信息一致的异物推定为使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

根据该结构的检查装置，将夹装材料的第一位置信息中的与缺陷原因异物的位置信息一致的异物推定为使玻璃板的主面产生缺陷的异物，因此能够更高精度地推定夹装材料中的使玻璃板的主面产生缺陷的异物。

(6)在(1)～(5)中的任一项记载的检查装置中，所述夹装材料是从卷绕成卷状的夹装材料卷送出的长夹装材料。

根据该结构的检查装置，能够连续地有效地检查从夹装材料卷送出的长夹装材料中的异物。

(7)在(1)～(6)中的任一项记载的检查装置中，所述检查装置还具备清洗部，该清洗部对与所述夹装材料抵接的所述玻璃板的主面在由所述第二检查部进行检查之前进行清洗。

根据该结构的检查装置，通过去除附着于玻璃板的主面的异物中的、不会成为大问题的、能够通过通常的清洗去除的程度的异物，能够高精度地推定实际上产生成为问题的缺陷的夹装材料的异物。

(8)在(1)～(7)中的任一项记载的检查装置中，所述检查装置还具备第四检查部，该第四检查部取得由与所述玻璃板抵接后的所述夹装材料的表面状态的信息构成的第四信息，

所述判定部从所述第四信息提取作为存在于所述夹装材料的异物的位置信息的第四位置信息，所述判定部基于所述第一位置信息及所述第四位置信息来推定附着于所述玻璃板的主面的异物。

根据该结构的检查装置，考虑作为由与玻璃板抵接后的夹装材料的表面状态的信息构成的第四信息中的异物的位置信息的第四位置信息，来推定附着于玻璃板的主面的异物。因此，能够排除例如由于从周边环境混入的干扰而附着于夹装材料的对玻璃板的影响小的异物来进行推定。

本申请基于2022年8月31日提交的日本专利申请(申请号2022-138116)，其内容在此作为参照并入。

Claims (8)

1.一种检查装置，对介于层叠的玻璃板彼此之间的夹装材料进行检查，其中，

所述检查装置具备：

第一检查部，取得由所述夹装材料的正面、或正面及背面的表面状态的信息构成的第一信息；

按压部，使取得了所述第一信息的所述夹装材料的正面与所述玻璃板抵接；

第二检查部，取得由与所述夹装材料的正面抵接后的所述玻璃板的主面的表面状态的信息构成的第二信息；及

判定部，推定存在于所述夹装材料的异物中的使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物，

所述判定部从所述第一信息提取作为存在于所述夹装材料的异物的位置信息的第一位置信息，

所述判定部从所述第二信息提取作为存在于所述玻璃板的主面的缺陷的位置信息的第二位置信息，

所述判定部基于所述第一位置信息及所述第二位置信息来推定使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述判定部还基于所述第一信息中的异物的大小与所述第二信息中的缺陷的大小、及所述第一信息中的异物的形状与所述第二信息中的异物的形状中的至少一方来推定使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述判定部基于所述第二位置信息来计算可能存在使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物的缺陷原因异物的位置信息，

所述判定部将所述第一位置信息中的与所述缺陷原因异物的位置信息一致的异物推定为使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其中，

所述检查装置还具备第三检查部，所述第三检查部在通过所述按压部使所述夹装材料与所述玻璃板抵接之前，取得由所述玻璃板的主面的表面状态的信息构成的第三信息，

所述判定部从所述第三信息提取作为存在于所述玻璃板的主面的缺陷的位置信息的第三位置信息，

所述判定部比较所述第二信息和所述第三信息，算出并生成第五信息，在该第五信息中包含从所述第二位置信息去除了与所述第三位置信息一致的位置信息的第五位置信息，

所述判定部基于所述第一位置信息及所述第五位置信息来推定存在于所述夹装材料的异物中的使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

5.根据权利要求4所述的检查装置，其中，

所述判定部基于所述第五位置信息来计算可能存在使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物的缺陷原因异物的位置信息，

所述判定部将所述第一位置信息中的与所述缺陷原因异物的位置信息一致的异物推定为使所述玻璃板的主面产生缺陷的异物。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的检查装置，其中，

所述夹装材料是从卷绕成卷状的夹装材料卷送出的长夹装材料。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的检查装置，其中，

所述检查装置还具备清洗部，该清洗部对与所述夹装材料抵接的所述玻璃板的主面在由所述第二检查部进行检查之前进行清洗。

8.根据权利要求1～5中任一项所述的检查装置，其中，

所述检查装置还具备第四检查部，该第四检查部取得由与所述玻璃板抵接后的所述夹装材料的表面状态的信息构成的第四信息，

所述判定部从所述第四信息提取作为存在于所述夹装材料的异物的位置信息的第四位置信息，

所述判定部基于所述第一位置信息及所述第四位置信息来推定附着于所述玻璃板的主面的异物。