CN117616287A - 具有压电读出的紧凑型振动传感器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种振动传感器，该振动传感器包括包含第一表面和第二表面的载体基板；悬置构件和固定到该悬置构件的可移动块，其中悬置构件的至少一部分和/或可移动块适于在振动传感器受到外部振动时振动；用于检测悬置构件的至少一部分和/或可移动块的振动的读出装置；以及用于至少处理来自读出装置的电信号的信号处理器，其中该读出装置包括一个或多个压电层、以及布置在相应压电层上的一个或多个电极。该悬置构件形成悬臂梁，该悬臂梁包括静态端、可移动端、以及布置于该静态端和可移动端之间的虚拟铰链线，其中，可移动块的至少一部分在虚拟铰链线和可移动端之间固定到悬臂梁，并且其中一个或多个压电层以一个或多个压电层与虚拟铰链线相交的方式固定到悬臂梁。本发明还涉及包括振动传感器的听觉设备以及振动传感器在听觉设备中用于语音识别的用途。

Description

具有压电读出的紧凑型振动传感器
技术领域
本发明涉及一种振动传感器，该振动传感器包括包含第一表面和第二表面的载体基板；悬置构件和固定到该悬置构件的可移动块，其中悬置构件的至少一部分和/或可移动块适于在振动传感器受到外部振动时振动；用于检测悬置构件的至少一部分和/或可移动块的振动的读出装置；以及用于至少处理来自读出装置的电信号的信号处理器，其中该读出装置包括一个或多个压电层、以及布置在相应压电层上的一个或多个电极。根据本发明，可移动块的形状和尺寸以及压电读出装置的布局相互优化，以便不增加振动传感器的总尺寸。
背景技术
现代听觉设备中使用的振动传感器需要非常紧凑，因为现代听觉设备中的可用空间非常有限。因此，振动传感器的设计者经常面临关于这种振动传感器的尺寸和性能的苛刻挑战。现有技术传感器的例子可以例如在US2008/072677 A1中找到，其公开了一种加速度计，该加速度计包括具有自由部分的悬臂梁形式的压电信号晶体。金属垫片被固定到压电信号晶体上。悬臂梁适于在受到外部加速度时弯曲。US 2008/072677A1中建议的加速度计是不利的，因为它不涉及可移动块——而被省略的可移动块降低了US2008/072677 A1中建议的加速度计的灵敏度。此外，US2008/072677 A1中提出的加速度计依赖于形成为悬臂梁的压电信号晶体——从制造的角度来看，这种方法是不利的。
可以将在不增加振动传感器的整体尺寸的情况下优化可移动块的形状和尺寸视为本发明实施例的一个目的。
可以将在不增加振动传感器的整体尺寸的情况下优化压电读出装置的布局视为本发明实施例的另一个目的。
发明内容
上述目的通过在第一方面提供一种振动传感器来实现，该振动传感器包括
a)包含第一表面和第二表面的载体基板，
b)悬置构件和固定到该悬置构件的可移动块，其中悬置构件的至少一部分和/或可移动块适于在振动传感器受到外部振动时振动，
c)用于检测悬置构件的至少一部分和/或可移动块的振动的读出装置，以及
d)用于至少处理来自读出装置的电信号的信号处理器，
其中该读出装置包括一个或多个压电层、以及布置在相应压电层上的一个或多个电极，并且其中该悬置构件形成悬臂梁，该悬臂梁包括静态端、可移动端、以及布置于该静态端和可移动端之间的虚拟铰链线，其中，可移动块的至少一部分在虚拟铰链线和可移动端之间固定到悬臂梁，并且其中一个或多个压电层以一个或多个压电层与虚拟铰链线相交的方式固定到悬臂梁。
本发明的振动传感器在可移动块和一个或多个压电层的相互布置方面是有利的，因为1)可移动块的至少一部分在虚拟铰链线和可移动端之间固定到悬臂梁，以及2)一个或多个压电层以一个或多个压电层与虚拟铰链线相交的方式固定到悬臂梁。因此，可移动块优选地在如下区域中固定到悬臂梁(在虚拟铰链线和可移动端之间)，在该区域，当振动传感器受到外部振动时悬臂梁将不会弯曲。类似地，一个或多个压电层优选地至少在如下区域中固定到悬臂梁，在该区域，当振动传感器受到外部振动时悬臂梁将会弯曲。
此外，本发明的振动传感器的优点在于，优化了可移动块的形状和尺寸以及压电读出装置的布局，以便不增加振动传感器的整体尺寸。最后，本发明的振动传感器的优点在于它仅结合了低成本技术。
在本上下文中，并且如将在下面进一步详细讨论的，术语“虚拟铰链线”定义了悬臂梁的静态端和可移动端之间的线，在该线处，当可移动块由于外部振动而移位时，悬臂梁有效地弯曲。
本发明的振动传感器的优点在于它提供了低噪声水平并且具有相对较小的整体大小。由于结合了大的可移动块(>1mg)，所以提供了低噪声水平。
本发明的振动传感器应用压电检测原理来检测当振动传感器受到外部振动时可移动块的位移。如下面将进一步详细讨论的，其上布置有一个或多个电极的一个或多个压电层布置在悬置构件上。可移动块的位移使悬置构件弯曲，由此一个或多个压电层在横向方向上被拉伸或压缩。一个或多个压电层是被拉伸还是被压缩取决于当悬置构件弯曲时可移动块的位移方向。
一个或多个压电层的横向应变的变化将导致一个或多个压电层中的每一个上的，即该一个或多个压电层的厚度上的，电场强度的变化。一个或多个压电层上的电场强度的变化将导致布置在一个或多个压电层中的每一个的相反侧的两个电极之间产生的电压发生变化。
优选地，一个或多个压电层的厚度和宽度适合于悬置构件的厚度和宽度，从而当一个或多个压电层被拉伸或压缩时，在该一个或多个压电层中诱发的应变一致具有相同符号。
优选地，选择悬置构件的材料，以使得一个或多个压电弹性层可以直接布置在悬置构件上。此外，悬置构件的材料优选是导电的，使得悬置构件可以用作夹置一个或多个压电层的电极之一。
优选地，布置在相应压电层上的一个或多个电极的尺寸被设计成使得它们不影响悬置构件的刚度。
关于悬置构件的几何构造，该几何构造被选择为使得利用所需的可移动块获得所需的谐振频率，并且使得即使振动传感器受到极端机械冲击，例如当掉落时，不会发生塑性变形。关于谐振频率，悬置构件的长度优选地被调节到悬置构件的厚度和宽度，以便满足所需的刚度。对于塑性变形，悬置构件的厚度和宽度应该尽可能小，例如厚度在10-50μm的范围内，宽度在200-500μm的范围内。
本发明的振动传感器优选地适于结合到听觉设备中，例如助听器、可听器、耳机、耳塞、个人音频和个人通信设备或类似设备。振动传感器的作用可以是多种多样的，例如检测颅骨中经由骨传导的语音诱发振动。这种颅骨中语音诱发振动的检测优选地用于语音识别，其中用户自己的语音在另外声学噪声环境中被分离或识别。
在振动传感器的一个实施例中，可移动块的至少一部分优选地从悬臂梁的可移动端延伸到虚拟铰链线。可移动块包括优选地与悬臂梁的可移动端基本对齐的第一部分，以及优选地与悬臂梁的虚拟铰链线基本对齐的第二部分。因此，可移动块从悬臂梁的可移动端延伸到悬臂梁的虚拟铰链线。可选地，可移动块可以延伸超过悬臂梁的可移动端，或者由于其他原因，可移动块可以不完全从悬臂梁的可移动端延伸到悬臂梁的虚拟铰链线。
如已经提到的，可移动块的质量需要相对较高，例如高于1mg。由于可移动块典型地具有100-200μm范围内的厚度，可移动块的表面积可以达到2.5mm2。就制造而言，可移动块可以由包括钢、钽或钨在内的多种材料制成。
优选地，可移动块的第二部分的宽度小于可移动块的第一部分的宽度。有利的是，可移动块的第二部分的较小宽度有利于一个或多个压电层可以紧邻可移动块的第二部分布置。优选地，可移动块的第二部分的至少一部分以如下方式布置在固定到悬臂梁的两个压电层之间，即该两个压电层与虚拟铰链线相交。布置该两个压电层使得它们与虚拟铰链线相交是有利的，因为悬臂梁在虚拟铰链线处有效地弯曲，所以振动传感器的读出装置的灵敏度变高。此外，由于该两个压电层和可移动块的第二部分在空间上重叠，因此振动传感器的整体大小可以保持最小，从而提供紧凑型振动传感器。
在另一个实施例中，可移动块的第一部分优选地固定到悬臂梁，而可移动块的第二部分在悬臂梁上方形成突出部(overhang)，从而在可移动块的第二部分和悬臂梁之间形成气隙。可移动块的第一部分优选地在悬臂梁的可移动端和虚拟铰链线之间固定到悬臂梁。因此，可移动块在该处固定到悬臂梁的区域不与虚拟铰链线相交。在该实施例中，一个或多个压电层优选地以如下这样的方式固定到悬臂梁：一个或多个压电层延伸到可移动块的第二部分和悬臂梁之间的气隙中，并且与虚拟铰链线相交。将压电层布置成与虚拟铰链线相交是有利的，因为悬臂梁在虚拟铰链线处有效地弯曲，所以振动传感器的读出布置的灵敏度变高。此外，由于压电层和可移动块的第二部分在空间上重叠，振动传感器的整体大小可以保持最小，从而提供了紧凑型振动传感器。
可移动块和信号处理器优选地布置在载体基板的相反侧。在本上下文中，术语“相反”指的是可移动块被布置在载体基板的一侧，而信号处理器被布置在载体基板的另一侧。利用这种布置，载体基板被布置在可移动块和信号处理器之间。这样的有利之处在于它减小了振动传感器的整体大小，因为可移动块和信号处理器的投影在由载体基板限定的平面中空间重叠。
由载体限定的平面可以与载体基板的第一表面或第二表面重合，或者它可以是与载体基板的第一表面或第二表面平行的虚拟平面。在本上下文中，当在由载体基板限定的平面中可移动块的投影区域与信号处理器的投影区域重叠时，发生可移动块和信号处理器的空间重叠。
优选地，载体基板包括第一印刷电路板(PCB),其包括相反的第一和第二表面。因此，载体基板优选地被实现为包括第一和第二表面的PCB，第一和第二表面可以分别被认为是上表面和下表面。将载体基板实现为PCB是有利的，因为电子器件，例如电极、信号处理器等，可以直接连接到PCB。在这方面，信号处理器优选地固定到第一PCB的第二表面。
优选地，振动传感器还包括固定到第一PCB的第二表面的间隔件，其中间隔件包括电连接到第一PCB的第二表面的一个或多个通孔。优选地，振动传感器还包括第二PCB，该第二PCB包括相反的第一和第二表面，其中间隔件的一个或多个通孔电连接到第二PCB的第一表面，并且其中在第二PCB的第二表面上提供一个或多个接触焊盘，用于将振动传感器连接到外部电子设备。因此，间隔件、一个或多个通孔、以及第二PCB的结合是有利的，因为这些元件有助于可以容易地实现振动传感器的内部电连接。在本上下文中，外部电子设备可以包括电源和附加的信号处理器，例如放大器、滤波器等。
在第二方面，本发明涉及包括根据第一方面的振动传感器的听觉设备，其中听觉设备包括助听器、可听器、耳机、耳塞或类似设备。
在第三方面，本发明涉及根据第一方面的振动传感器的用途，其中振动传感器用于检测听觉设备用户颅骨中的语音诱发振动，并且其中检测到的语音诱发振动用于用户自己的语音的语音识别。
通常，本发明的各个方面可以在本发明的范围内以任何可能的方式组合和耦合。参考下文描述的实施例，本发明的这些和其他方面、特征和/或优点将变得显而易见。
附图说明
现在将参照附图描述本发明，其中
图1示出了本发明第一实施例的截面图，
图2示出了虚拟铰链线的示意图，
图3示出了本发明第一实施例的俯视图，
图4示出了本发明第二实施例的截面图，以及
图5示出了本发明第二实施例的俯视图。
具体实施方式
总的来说，本发明涉及一种适于结合到听觉设备中的振动传感器。该振动传感器的有利之处在于其可移动块与用于检测在振动传感器受到外部振动时可移动块的位移的读出装置的一个或多个压电层的相互布置。此外，本发明的振动传感器的优点在于优化了可移动块的形状和尺寸以及压电读出装置的布局，以便振动传感器的整体尺寸不增加。
为了检测经由骨传导的语音诱发振动信号，振动传感器的带宽通常大于6kHz。除此之外，振动传感器的谐振频率通常接近带宽的上限，例如高于4kHz，并且与1kHz处的灵敏度相比，谐振峰值通常小于10dB。采用这种方法，Q通常会小于3。此外，振动传感器的噪声参考信号或等同输入噪声应该低，即在谐振频率下1/3倍频程带中<-98dB re.1g。为了满足这些要求，可移动块的质量需要相对较高，例如高于1mg。由于可移动块典型地具有100-200μm范围内的厚度，因此可移动块的大的表面积可以达到2.5mm2。就制造而言，可移动块可以由包括钢、钽或钨的各种材料制成。
现在参考图1，描绘了本发明实施例的横截面图。如图1所示，可移动块包括两个部分12、13——第一部分12和第二部分13，其中仅可移动块的第一部分12固定到悬置构件11。悬置构件11具有悬臂梁的形式，该悬臂梁具有1)固定到间隔件10的静态端，以及2)与可移动块12基本对齐的可移动端。可移动块12、13和至少悬置构件11的可移动端适于在振动传感器受到外部振动时位移。外壳18保护悬臂梁11和固定在其上的可移动块12、13。
如已经提到的，振动传感器应用压电检测原理来检测当振动传感器受到外部振动时可移动块12、13的位移。在图1所示的实施例中，还参见图3中的俯视图，其上布置有相应电极15、15’的两个压电层14、14’布置在悬臂梁11上，使得它们与虚拟铰链线19相交。可移动块12、13的位移(向上或向下)使悬臂梁11在虚拟铰链线19处弯曲，由此两个压电层14、14’在横向方向上被拉伸或压缩。两个压电层14、14’的横向应变的变化将引起压电层14、14’中每一者上的、即跨两个压电层14、14’的厚度的电场强度的变化。跨压电层14、14’的电场强度的变化将提供布置在两个压电层14、14’中的每一者的相反侧上的两个电极之间产生的电压的变化。在图1所示的实施例中，两个压电层14、14’的下部电极(接地)由悬臂梁11形成，而在两个压电层14、14’中的每一者上形成单独的电极15、15’。这些单独的电极15、15’通过引线键合16、16’、第一PCB 1上的电极17、穿过第一PCB 1的通孔9和到信号处理器6的倒装键合8电连接到信号处理器6。因此，所检测到的两个压电层14、14’上的电压变化由信号处理器6处理，信号处理器6可以在模拟或数字域中操作，应用任何数字编解码方案。
图1所示的振动传感器还包括第二PCB 2，该第二PCB 2包括相反的第一和第二表面，其中一个或多个接触焊盘5设置在第二PCB 2的第二表面上。一个或多个接触焊盘5有助于振动传感器与外部电子设备(例如外部信号处理器、滤波器、放大器等)的简单连接，例如在听觉设备中。此外，间隔件3设置在第一PCB 1和第二PCB 2之间，使得由第一PCB 1和第二PCB 2以及间隔件3形成空腔7。间隔物3包括一个或多个通孔4，用于使第一PCB 1和第二PCB2电互连。
现在转到图2a，描绘了其上固定有可移动块12、13的直的、即未弯曲的悬臂梁11。应指出，参见图2，只有可移动块的右手侧12被固定到悬臂梁11。因此，在可移动块的左手侧13和悬臂梁11之间没有提供粘合剂。悬臂梁11被固定到间隔件10上。当振动传感器受到外部振动时，可移动块12、13发生位移，结果悬臂梁11弯曲，参见图2b，其中虚线表示悬臂梁11的未弯曲状态，而虚线21表示悬臂梁11的弯曲状态。如图2b所示，悬臂梁11在虚拟铰链线19处弯曲。悬臂梁11的功能可以被认为是具有旋转刚度的虚拟铰链。虚拟铰链位于水平线20和21的交点处。这个位置用虚拟铰链线19表示。因此，为了响应外部振动提供最大的有效性，整个可移动块12、13优选地布置在虚拟铰链线19的右侧。
现在再次参考图3，描绘了图1所示实施例的俯视图。如图3所示，可移动块12、13包括第一部分12和第二部分13，其中可移动块的第二部分13的宽度小于可移动块的第一部分12的宽度。图3还示出了可移动块的第一部分12与悬臂梁11的可移动端基本对齐，并且可移动块的第二部分13与悬臂梁11的虚拟铰链线19基本对齐。图3还示出了可移动块的第二部分13如何布置在固定到悬臂梁11的两个压电层14、14’之间以使得两个压电层14、14’与虚拟铰链线19相交以获得最大响应。如关于图1所讨论的，在两个压电层14、14’上布置相应的电极15、15’。电极15、15’通过引线键合16、16’连接到第一PCB 1上的电极17。经由通孔9提供到信号处理器(未示出)的电连接。气隙22包围悬臂梁11的至少一部分，使得至少其可移动端被允许移动。此外，第一PCB 1也是可见的。
现在转到图4，描述了振动传感器的另一个实施例。类似于图1所示的实施例，图4所示的实施例包括可移动块，该可移动块包括两个部分12、13。仅有可移动块的第一部分12固定到悬置构件11，而可移动块的第二部分13突出于悬置构件11、压电层14和固定到其上的电极15之上。悬置构件11具有悬臂梁的形式，该悬臂梁具有1)固定到间隔件10的静态端，以及2)与可移动块12基本对齐的可移动端。可移动块12、13和至少悬臂梁11的可移动端适于在振动传感器受到外部振动时位移。同样，外壳18保护悬臂梁11和固定到其上的可移动块12、13。
如图4所示，可移动块的第二部分13突出于压电层14和固定到该压电层的电极15之上，从而在可移动块的第二部分13下方形成气隙23。可移动块(第二部分13)和压电层14以及电极15的这种空间重叠是有利的，因为它节省了空间。
如上所述，振动传感器应用压电检测原理，用于检测在振动传感器受到外部振动时可移动块12、13的位移。在图4所示的实施例中，也参见图5的俯视图，其上布置有电极15的单个压电层14布置在悬臂梁11上，从而它们与虚拟铰链线19相交。如已经提到的，可移动块12、13的位移(向上或向下)使悬臂梁11在虚拟铰链线19处弯曲，由此压电层14在横向方向上被拉伸或压缩。压电层14的横向应变的变化将引起压电层14上的、即跨压电层14的厚度的电场强度的变化。压电层14上的电场强度的变化将在布置在两个压电层14相反侧的两个电极之间产生的电压中提供变化。在图1所示的实施例中，压电层14的下部电极(接地)由悬臂梁11形成，而在压电层14上形成单独的电极15。单独的电极15通过引线键合16、第一PCB 1上的电极17、穿过第一PCB 1的通孔9和到信号处理器6的引线键合8电连接到信号处理器6。因此，检测到的压电层14上的电压变化由信号处理器6处理，该信号处理器6可以在模拟或数字域中操作，应用任何数字编解码方案。
类似于图1所示的实施例，图4所示的振动传感器还包括第二PCB 2，该第二PCB 2包括相反的第一和第二表面，其中一个或多个接触焊盘5设置在第二PCB 2的第二表面上。一个或多个接触焊盘5有助于振动传感器与外部电子设备(例如外部信号处理器、滤波器、放大器等)的简单连接，例如在听觉设备中。此外，间隔件3设置在第一PCB 1和第二PCB 2之间，使得空腔7由第一PCB 1和第二PCB 2以及间隔件3形成。间隔物3包括一个或多个通孔4，用于电连接第一PCB 1和第二PCB 2。
现在参考图5，描述了图4所示实施例的俯视图。如图5所示，可移动块12、13包括具有相同宽度的第一部分12和第二部分13。然而，如已经提及的，可移动块的第二部分13没有固定到悬臂梁11。相反，可移动块的第二部分13突出于压电层14和固定于其上的电极15之上，参见图5中的虚线。图5还示出了可移动块的第一部分12与悬臂梁11的可移动端基本对齐，并且可移动块的第二部分13尽管突出于压电层14和电极15之上，但是与悬臂梁11的虚拟铰链线19基本对齐。图5还描绘了压电层14如何与虚拟铰链线19相交以获得最大响应。如关于图4所讨论的，电极15布置在压电层14上。电极15通过引线键合16电连接到第一PCB 1上的电极17。经由通孔9提供到信号处理器(未示出)的电连接。类似于图3中描绘的俯视图，气隙22围绕悬臂梁11的至少一部分，使得至少其可移动端被允许移动。此外，第一PCB 1也是可见的。
尽管前面已经参照本发明的示例性实施例讨论了本发明，但是本发明不限于这些特定的实施例，这些实施例可以在不脱离本发明的情况下以多种方式变化。因此，所讨论的示例性实施例不应被用来严格按照其来解释所附权利要求。相反，实施例仅旨在解释所附权利要求的措辞，而非旨在将权利要求限制于这些示例性实施例。因此，本发明的保护范围应当仅根据所附权利要求来解释，其中权利要求的措辞中可能的模糊性应当使用这些示例性实施例来解决。

Claims (14)

1.一种振动传感器，包括
a)包含第一表面和第二表面的载体基板(1)，
b)悬置构件(11)和固定到该悬置构件(11)的可移动块(12,13)，其中悬置构件(11)的至少一部分和/或可移动块(12,13)适于在振动传感器受到外部振动时振动，
c)用于检测悬置构件(11)的至少一部分和/或可移动块(12,13)的振动的读出装置，以及
d)用于至少处理来自读出装置的电信号的信号处理器(6)，
其中读出装置包括一个或多个压电层(14，14’)、以及布置在相应压电层(14，14’)上的一个或多个电极(15,15’)，
其特征在于，
该悬置构件(11)形成悬臂梁，该悬臂梁包括静态端、可移动端、以及布置于该静态端和可移动端之间的虚拟铰链线(19)，并且其中，可移动块(12)的至少一部分在虚拟铰链线(19)和可移动端之间固定到悬臂梁(11)，并且其中一个或多个压电层(14,14’)以一个或多个压电层(14,14’)与虚拟铰链线(19)相交的方式固定到悬臂梁(11)。
2.根据权利要求1所述的振动传感器，其特征在于，可移动块(12)的至少一部分从悬臂梁(11)的可移动端延伸到虚拟铰链线(19)。
3.根据权利要求1或2所述的振动传感器，其特征在于，可移动块(12，13)包括与悬臂梁(11)的可移动端基本对齐的第一部分(12)，以及与悬臂梁(11)的虚拟铰链线(19)基本对齐的第二部分(13)。
4.根据权利要求3所述的振动传感器，其特征在于，可移动块的第二部分(13)的宽度小于可移动块的第一部分(12)的宽度。
5.根据权利要求4所述的振动传感器，其特征在于，可移动块的第二部分(13)的至少一部分以使得固定到悬臂梁(11)的两个压电层(14，14’)与虚拟铰链线(19)相交的方式设置在该两个压电层(14，14’)之间。
6.根据权利要求3所述的振动传感器，其特征在于，可移动块的第一部分(12)固定到悬臂梁(11)，并且可移动块的第二部分(13)形成悬臂梁(11)上方的突出部分，从而在可移动块的第二部分(13)和悬臂梁(11)之间形成气隙(23)。
7.根据权利要求6所述的振动传感器，其特征在于，一个或多个压电层(14，14’)以如下方式固定到悬臂梁(11)：一个或多个压电层(14，14’)延伸到可移动块的第二部分(13)和悬臂梁(11)之间的气隙(23)中，并且与虚拟铰链线(19)相交。
8.根据前述权利要求中任一项所述的振动传感器，其特征在于，可移动块(12,13)和信号处理器(6)被布置在载体基板(1)的相反侧。
9.根据前述权利要求中任一项所述的振动传感器，其特征在于，载体基板(1)包括第一PCB(1)，该第一PCB(1)包括相反的第一表面和第二表面。
10.根据权利要求9所述的振动传感器，其特征在于，信号处理器(6)固定到第一PCB(1)的第二表面。
11.根据权利要求9或10所述的振动传感器，其特征在于，振动传感器还包括固定到第一PCB(1)的第二表面的间隔件(3)，并且间隔件(3)包括电连接到第一PCB(1)的第二表面的一个或多个通孔(4)。
12.根据权利要求11所述的振动传感器，其特征在于，所述振动传感器还包括包含相反的第一表面和第二表面的第二PCB(2)，并且所述间隔件(3)的一个或多个通孔(4)电连接到所述第二PCB(1)的第一表面，并且在所述第二PCB(2)的第二表面上提供一个或多个接触焊盘(5)，用于将所述振动传感器连接到外部电子设备。
13.一种听觉设备，包括根据前述权利要求中任一项所述的振动传感器，其中所述听觉设备包括助听器、可听器、耳机、耳塞或类似设备。
14.根据权利要求1-12中任一项所述的振动传感器在听觉设备中的用途，其特征在于，所述振动传感器用于检测听觉设备用户颅骨中的语音诱发振动，并且所检测到的语音诱发振动用于用户自身语音的语音识别。
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