CN117553017A - 一种分子泵 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种分子泵，应用于具有狭小安装空间的工业领域设备，分子泵包括L型板、泵体和控制器，L型板包括水平板和竖直板，水平板平行于水平方向布置，竖直板平行于高度方向布置，且连接于水平板沿高度方向的相对下端；泵体沿高度方向的相对下端用于安装在工业领域设备上，水平板绕高度方向转动连接于泵体沿高度方向的相对上端，且通过锁紧组件锁紧；控制器设置于竖直板沿水平方向背离水平板的侧壁，且通过线缆与泵体通讯连接。本发明可以根据狭小安装空间内障碍物的位置，将控制器和L型板相对泵体绕高度方向转动调节至所需的角度位置，确保在将本分子泵安装在工业领域设备狭小安装空间时控制器能够避开安装空间内的障碍物。

Description

一种分子泵

技术领域

本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种控制器与泵体可相对旋转的分子泵。

背景技术

分子泵是一种常用的真空获得设备，分子泵内部安装有高转速电机，工作时高速旋转的转子将腔室内的气体分子压缩，并使之获得定向速度至排气口(又称为前级口)排出，近年来分子泵被广泛应用于工业领域设备中。

分子泵连接在工业领域设备时，需要将分子泵的泵体的前级口与工业领域设备的前级泵入口连接；目前工业领域设备集成度较高，留给分子泵安装的空间也较为狭小，传统的分子泵为了在工业领域设备的狭小空间内安装，通常是将泵体和控制器一体安装，目前传统的分子泵的泵体与控制器的相对位置通常是固定的，在将分子泵安装在工业领域设备的狭小空间时不易将控制器避开狭小空间内的障碍物，安装不便。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵安装于工业领域设备狭小空间时不易将控制器避开狭小空间内的障碍物，导致安装不便的缺陷，从而提供一种分子泵。

根据本发明提供的一种分子泵，应用于具有狭小安装空间的工业领域设备，所述分子泵包括：

L型板，包括水平板和竖直板，所述水平板平行于水平方向布置，所述竖直板平行于高度方向布置，且连接于所述水平板沿高度方向的相对下端；

泵体，沿高度方向的相对下端用于安装在工业领域设备上，所述水平板绕高度方向转动连接于所述泵体沿高度方向的相对上端，且通过锁紧组件锁紧；

控制器，设置于所述竖直板沿水平方向背离所述水平板的侧壁，且通过线缆与所述泵体通讯连接。

根据本发明的一种分子泵，至少具有如下技术效果：

通过将控制器安装在L型板上，且L型板的水平板可绕高度方向转动连接于泵体的上端，并能通过锁紧组件进行锁紧，在将本分子泵安装于工业领域设备的狭小安装空间内时，可以根据狭小安装空间内障碍物的位置，解除锁紧组件对水平板的锁紧力，将控制器和L型板相对泵体绕高度方向转动调节至所需的角度位置，再通过锁紧组件将水平板锁紧，从而确保在将本分子泵安装在工业领域设备狭小安装空间时控制器能够避开安装空间内的障碍物，不会与工业领域设备产生干涉，提高本分子泵安装在工业领域设备的狭小安装空间的便利性；同时通过将泵体和控制器分别安装在水平板和竖直板上，使得泵体和控制器集成在L型板上形成一体，一方面可以提高本分子泵的集成度，缩短将泵体和控制器通讯连接的线缆的长度，更便于将本分子泵安装于工业领域设备的狭小安装空间内；另一方面可以降低本分子泵沿高度方向的总高度，更便于将本分子泵安装于工业领域设备的高度较矮的狭小安装空间内。

优选地，所述泵体沿高度方向的相对上端设置有转接板，所述转接板上沿周向间隔布置有多个第一螺纹孔，所述水平板上对应每个所述第一螺纹孔的位置均设置有一个圆弧形通孔，所述圆弧形通孔沿高度方向贯穿所述水平板，所述圆弧形通孔的圆心与所述泵体的中心重合设置；所述锁紧组件包括与所述第一螺纹孔相匹配的螺杆，所述螺杆沿高度方向的相对上端设置有螺头；所述螺头的直径大于所述圆弧形通孔的窄边尺寸，且所述螺杆的直径小于所述圆弧形通孔的窄边尺寸。

优选地，所述圆弧形通孔设置有四个。

优选地，所述水平板和所述竖直板一体折弯成型。

优选地，所述控制器可拆卸连接在所述竖直板上。

优选地，所述控制器朝向所述竖直板的一端沿所述控制器的轮廓依次设置有多个第二螺纹孔，每个所述第二螺纹孔均平行于水平方向布置，所述竖直板上对应每个所述第二螺纹孔的位置均沿水平方向贯穿形成有一个第一通孔；装配时，紧固螺钉穿过所述第一通孔旋紧在对应的所述第二螺纹孔内。

优选地，所述第二螺纹孔设置有六个。

优选地，所述泵体沿高度方向的相对上端设置有第一连接线接口，所述第一连接线接口用于供所述线缆的一端通讯插接，所述水平板上对应所述第一连接线接口的位置沿高度方向贯穿形成有第一过线孔，所述第一过线孔用于供所述线缆穿过；

所述控制器朝向所述竖直板的端面设置有第二连接线接口，所述第二连接线接口用于供所述线缆背离所述第一连接线接口的另一端通讯插接；所述竖直板上对应所述第二连接线接口的位置沿水平方向贯穿形成有第二过线孔，所述第二过线孔用于供所述线缆穿过。

优选地，所述水平板上沿高度方向贯穿形成有第三过线孔，所述第三过线孔用于供所述线缆穿过。

优选地，所述泵体沿高度方向的相对下端侧壁凸设有圆台，所述圆台上沿周向间隔布置有多个第二通孔，所述第二通孔沿高度方向贯穿所述圆台，且用于与工业领域设备的安装螺纹孔相匹配；安装时，安装螺栓穿过所述第二通孔旋紧在对应的安装螺纹孔内。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实施例的一种分子泵的结构示意图；

图2为本实施例的一种分子泵的分解结构示意图；

图3为本实施例的一种分子泵中的泵体的结构示意图。

附图标记说明：

1-L型板、11-水平板、111-圆弧形通孔、112-第一过线孔、113-第三过线孔、12-竖直板、121-第一通孔、122-第二过线孔；

2-泵体、21-转接板、211-第一螺纹孔、22-第一连接线接口、23-圆台、231-第二通孔；

3-控制器、31-第二螺纹孔、32-接插孔、33-第二连接线接口；

41-螺杆、42-螺头。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“垂直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1至图3所示为本实施例提供的一种分子泵，应用于具有狭小安装空间的工业领域设备，所述分子泵包括L型板1、泵体2和控制器3，所述L型板1包括水平板11和竖直板12，所述水平板11平行于水平方向布置，所述竖直板12平行于高度方向布置，且连接于所述水平板11沿高度方向的相对下端；所述泵体2沿高度方向的相对下端用于安装在工业领域设备上，所述水平板11绕高度方向转动连接于所述泵体2沿高度方向的相对上端，且通过锁紧组件锁紧；所述控制器3设置于所述竖直板12沿水平方向背离所述水平板11的侧壁，且通过线缆与所述泵体2通讯连接。可以理解的是，本实施例的高度方向和水平方向是指图1中的高度方向和水平方向。

本实施例的分子泵通过将控制器3安装在L型板1上，且L型板1的水平板11可绕高度方向转动连接于泵体2的上端，并能通过锁紧组件进行锁紧，在将本实施例的分子泵安装于工业领域设备的狭小安装空间内时，可以根据狭小安装空间内障碍物的位置，解除锁紧组件对水平板11的锁紧力，将控制器3和L型板1相对泵体2绕高度方向转动调节至所需的角度位置，再通过锁紧组件将水平板11锁紧，从而确保在将本实施例的分子泵安装在工业领域设备狭小安装空间时控制器3能够避开安装空间内的障碍物，不会与工业领域设备产生干涉，提高本实施例的分子泵安装在工业领域设备的狭小安装空间的便利性；同时通过将泵体2和控制器3分别安装在水平板11和竖直板12上，使得泵体2和控制器3集成在L型板1上形成一体，一方面可以提高本实施例的分子泵的集成度，缩短将泵体2和控制器3通讯连接的线缆的长度，更便于将本实施例的分子泵安装于工业领域设备的狭小安装空间内；另一方面可以降低本实施例的分子泵沿高度方向的总高度，更便于将本实施例的分子泵安装于工业领域设备的高度较矮的狭小安装空间内。

具体地，所述控制器3沿高度方向的相对上端设置有接插孔32，所述接插孔32用于供面板接插件插接。通过将泵体2和控制器3分别安装在水平板11和竖直板12上，使得泵体2和控制器3在水平方向上相互错开，使得控制器3沿高度方向的相对上端的上方有较大的安装空间，以便将面板接插件连接在控制器3的接插孔32内。

具体地，所述控制器3沿高度方向的相对上端设置有第一水冷接口，所述第一水冷接口用于供第一水冷管连接。通过将泵体2和控制器3分别安装在水平板11和竖直板12上，使得泵体2和控制器3在水平方向上相互错开，使得控制器3沿高度方向的相对上端的上方有较大的安装空间，以便将第一水冷管与控制器3的第一水冷接口连接。可以理解的是，所述泵体2上设置有第二水冷接口，所述第二水冷接口用于供第二水冷管连接；通过将泵体2和控制器3在水平方向上相互错开，且控制器3可随L型板1一起相对泵体2绕高度方向转动调节，从而灵活的调节控制器3和泵体2的相对位置，实现在将控制器3避开工业领域设备的狭小安装空间内的障碍物的基础上调整第一水冷接口和第二水冷接口的相对位置，从而调整第一水冷管和第二水冷管的相对安装位置，有效的避免第一水冷管和第二水冷管相互干涉或与工业领域设备产生干涉，提高第一水冷管和第二水冷管安装连接的便利性。

如图1和图2所示，在本发明的一些实施例中，所述泵体2沿高度方向的相对上端设置有转接板21，所述转接板21上沿周向间隔布置有多个第一螺纹孔211，所述水平板11上对应每个所述第一螺纹孔211的位置均设置有一个圆弧形通孔111，所述圆弧形通孔111沿高度方向贯穿所述水平板11，所述圆弧形通孔111的圆心与所述泵体2的中心重合设置；所述锁紧组件包括与所述第一螺纹孔211相匹配的螺杆41，所述螺杆41沿高度方向的相对上端设置有螺头42；所述螺头42的直径大于所述圆弧形通孔111的窄边尺寸，且所述螺杆41的直径小于所述圆弧形通孔111的窄边尺寸。在将本实施例的分子泵安装于工业领域设备的狭小安装空间内时，可以根据狭小安装空间内的障碍物位置，首先反向转动螺杆41，使得螺头42与水平板11的上端面脱离，此时因为圆弧形通孔111的窄边尺寸大于螺杆41的直径且小于螺头42的直径，圆弧形通孔111不会沿高度方向从螺头42处脱离出，所以可以在螺杆41和圆弧形通孔111的相互配合下，将水平板11以泵体2的中心为轴心绕高度方向相对泵体2转动调节，实现灵活的调节控制器3和泵体2的相对位置，直至控制器3相对泵体2绕高度方向转动调节至所需的角度位置；随后再正向转动螺杆41，使得螺头42重新与水平板11的上端面抵接，从而实现在将泵体2绕高度方向转动调节至所需的角度位置进行锁紧固定，且整个调节过程操作简单，进而确保在将本实施例的分子泵安装在工业领域设备狭小安装空间时控制器3能够避开安装空间内的障碍物，提高本实施例的分子泵安装在工业领域设备的狭小安装空间的便利性。同时通过将螺杆41螺纹连接在第一螺纹孔211内，一方面当需要将本实施例的分子泵进行转运或存储时，可以将泵体2和控制器3相互分离，以便进行转运或进行存储；另一方面当泵体2和控制器3其中之一发生损坏无法正常使用时，可以将出现损坏的部分拆下进行更换，降低维修的成本。

为了提高带动控制器3以泵体2的中心为轴心绕高度方向相对泵体2转动调节的顺畅性和平稳性，如图2所示，具体地，所述圆弧形通孔111设置有四个。

具体应用中，所述圆弧形通孔111的数量根据转接板21垂直于高度方向的截面大小或控制器3相对泵体2以泵体2的中心为轴心绕高度方向转动的角度范围要求进行合理的增加或减少，例如在其它实施例中，所述圆弧形通孔111可以设置为两个、三个、四个等其它数量。

为了减少本实施例的分子泵的装配工序，提高本实施例的分子泵的装配精度和结构强度，具体地，所述水平板11和所述竖直板12一体折弯成型。

在本发明的一些实施例中，所述控制器3可拆卸连接在所述竖直板12上。这样设置，当控制器3出现损坏进行检修维修或进行更换时，可以便于将控制器3从竖直板12上拆下，以便进行检修维修或更换新的控制器3。

本实施例对所述控制器3与所述竖直板12之间的可拆卸连接结构不做限制，为了在确保两者连接紧固性的基础上提高将两者拆装的便利性，如图2所示，优选地，所述控制器3朝向所述竖直板12的一端沿所述控制器3的轮廓依次优选有六个第二螺纹孔31，每个所述第二螺纹孔31均平行于水平方向布置，所述竖直板12上对应每个所述第二螺纹孔31的位置均沿水平方向贯穿形成有一个第一通孔121；所述控制器3连接装配在所述竖直板12上时，将六个紧固螺钉分别穿过六个所述第一通孔121旋紧在对应的所述第二螺纹孔31内。当然，在其它实施例中，所述竖直板12朝向所述控制器3的端面沿所述控制器3的轮廓依次设置有多个卡接槽，所述控制器3朝向所述竖直板12的端面对应所述卡接槽的位置均凸设有一个卡块，所述控制器3连接装配在所述竖直板12上时，所述卡块过渡配合嵌装在所述卡接槽内。上述结构也能起到将所述控制器3与所述竖直板12可拆卸连接的效果。

具体应用中，所述第二螺纹孔31的数量可以根据所述控制器3垂直于水平方向的截面尺寸进行合理的增加或减少，例如在其它实施例中，所述第二螺纹孔31可以设置为两个、三个、四个、五个等数量。

如图1至图3所示，在本发明的一些实施例中，所述泵体2沿高度方向的相对上端设置有第一连接线接口22，所述第一连接线接口22用于供所述线缆的一端通讯插接，所述水平板11上对应所述第一连接线接口22的位置沿高度方向贯穿形成有第一过线孔112，所述第一过线孔112用于供所述线缆穿过；所述控制器3朝向所述竖直板12的端面设置有第二连接线接口33，所述第二连接线接口33用于供所述线缆背离所述第一连接线接口22的另一端通讯插接；所述竖直板12上对应所述第二连接线接口33的位置沿水平方向贯穿形成有第二过线孔122，所述第二过线孔122用于供所述线缆穿过。通过将泵体2和控制器3在L型板1上沿水平方向相互错开布置，使得泵体2沿高度方向的相对上端的上方有较大的安装空间，以便将控制器3的第一连接线接口22与线缆进行安装连接；同时通过在控制器3朝向竖直板12的端面设置有第二连接线接口33，使得两端分别通讯连接第一连接线接口22和第二连接线接口33的线缆的部分隐藏设置在水平板11和竖直板12围成的空间内，提高本实施例的分子泵安装在工业领域设备的狭小安装空间的便利性。

在本发明的一些实施例中，所述水平板11上沿高度方向贯穿形成有第三过线孔113，所述第三过线孔113用于供所述线缆穿过。通过第三过线孔113在水平板11上为通讯连接控制器3和泵体2的线缆提供沿水平方向的连通空间，以便线缆直接依次穿过第一过线孔112、第三过线孔113和第二过线孔122将控制器3和泵体2进行通讯连接，而无需绕开整个水平板11，进一步缩短线缆的长度。

在本发明的一些实施例中，所述泵体2沿高度方向的相对下端侧壁凸设有圆台23，所述圆台23上沿周向间隔布置有多个第二通孔231，此处优选有十二个第二通孔231，所述第二通孔231沿高度方向贯穿所述圆台23，且用于与工业领域设备的安装螺纹孔相匹配；安装时，安装螺栓穿过所述第二通孔231旋紧在对应的安装螺纹孔内。本实施例采用安装螺栓与安装螺纹孔螺纹连接的方式将泵体2连接在工业领域设备的狭小安装空间内，在进行安装或拆卸时，仅需要内六角扳手平行高度方向布置并带动安装螺栓正转或反转即可，一方面既可以减小安装操作所需的空间，更便于安装操作；另一方面当泵体2出现损坏时，可以便于将泵体2拆下从狭小安装空间内取出进行维修，降低维修和检修的难度。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种分子泵，应用于具有狭小安装空间的工业领域设备，其特征在于，所述分子泵包括：

L型板(1)，包括水平板(11)和竖直板(12)，所述水平板(11)平行于水平方向布置，所述竖直板(12)平行于高度方向布置，且连接于所述水平板(11)沿高度方向的相对下端；

泵体(2)，沿高度方向的相对下端用于安装在工业领域设备上，所述水平板(11)绕高度方向转动连接于所述泵体(2)沿高度方向的相对上端，且通过锁紧组件锁紧；

控制器(3)，设置于所述竖直板(12)沿水平方向背离所述水平板(11)的侧壁，且通过线缆与所述泵体(2)通讯连接。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于，所述泵体(2)沿高度方向的相对上端设置有转接板(21)，所述转接板(21)上沿周向间隔布置有多个第一螺纹孔(211)，所述水平板(11)上对应每个所述第一螺纹孔(211)的位置均设置有一个圆弧形通孔(111)，所述圆弧形通孔(111)沿高度方向贯穿所述水平板(11)，所述圆弧形通孔(111)的圆心与所述泵体(2)的中心重合设置；所述锁紧组件包括与所述第一螺纹孔(211)相匹配的螺杆(41)，所述螺杆(41)沿高度方向的相对上端设置有螺头(42)；所述螺头(42)的直径大于所述圆弧形通孔(111)的窄边尺寸，且所述螺杆(41)的直径小于所述圆弧形通孔(111)的窄边尺寸。

3.根据权利要求2所述的一种分子泵，其特征在于，所述圆弧形通孔(111)设置有四个。

4.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于，所述水平板(11)和所述竖直板(12)一体折弯成型。

5.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于，所述控制器(3)可拆卸连接在所述竖直板(12)上。

6.根据权利要求5所述的一种分子泵，其特征在于，所述控制器(3)朝向所述竖直板(12)的一端沿所述控制器(3)的轮廓依次设置有多个第二螺纹孔(31)，每个所述第二螺纹孔(31)均平行于水平方向布置，所述竖直板(12)上对应每个所述第二螺纹孔(31)的位置均沿水平方向贯穿形成有一个第一通孔(121)；装配时，紧固螺钉穿过所述第一通孔(121)旋紧在对应的所述第二螺纹孔(31)内。

7.根据权利要求6所述的一种分子泵，其特征在于，所述第二螺纹孔(31)设置有六个。

8.根据权利要求1或2所述的一种分子泵，其特征在于，所述泵体(2)沿高度方向的相对上端设置有第一连接线接口(22)，所述第一连接线接口(22)用于供所述线缆的一端通讯插接，所述水平板(11)上对应所述第一连接线接口(22)的位置沿高度方向贯穿形成有第一过线孔(112)，所述第一过线孔(112)用于供所述线缆穿过；

所述控制器(3)朝向所述竖直板(12)的端面设置有第二连接线接口(33)，所述第二连接线接口(33)用于供所述线缆背离所述第一连接线接口(22)的另一端通讯插接；所述竖直板(12)上对应所述第二连接线接口(33)的位置沿水平方向贯穿形成有第二过线孔(122)，所述第二过线孔(122)用于供所述线缆穿过。

9.根据权利要求8所述的一种分子泵，其特征在于，所述水平板(11)上沿高度方向贯穿形成有第三过线孔(113)，所述第三过线孔(113)用于供所述线缆穿过。

10.根据权利要求1或2所述的一种分子泵，其特征在于，所述泵体(2)沿高度方向的相对下端侧壁凸设有圆台(23)，所述圆台(23)上沿周向间隔布置有多个第二通孔(231)，所述第二通孔(231)沿高度方向贯穿所述圆台(23)，且用于与工业领域设备的安装螺纹孔相匹配；安装时，安装螺栓穿过所述第二通孔(231)旋紧在对应的安装螺纹孔内。