CN117504540A - 一种cvd尾气处理设备 - Google Patents
一种cvd尾气处理设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117504540A CN117504540A CN202311474440.6A CN202311474440A CN117504540A CN 117504540 A CN117504540 A CN 117504540A CN 202311474440 A CN202311474440 A CN 202311474440A CN 117504540 A CN117504540 A CN 117504540A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- strip
- tail gas
- oil
- bearing box
- shaped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000005336 cracking Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 40
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims description 33
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 27
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 19
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 18
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 15
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 13
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 13
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 10
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims description 9
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 8
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 7
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 7
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 claims description 3
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 92
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 15
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 abstract description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 9
- 239000003595 mist Substances 0.000 abstract description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 27
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 150000002605 large molecules Chemical class 0.000 description 3
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- -1 tar in tail gas Chemical class 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000010913 used oil Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/14—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by absorption
- B01D53/18—Absorbing units; Liquid distributors therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
- B01D53/228—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion characterised by specific membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/26—Drying gases or vapours
- B01D53/266—Drying gases or vapours by filtration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
- B01D65/02—Membrane cleaning or sterilisation ; Membrane regeneration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2258/00—Sources of waste gases
- B01D2258/02—Other waste gases
- B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本申请公开了一种CVD尾气处理设备，涉及废气处理技术领域，包括降温过滤设备、等温裂解炉和后期综合处理设备；降温过滤设备包括降温模块、油过滤装置和干燥过滤器；所述油过滤装置顶部与降温模块连通，底部与沉积管组件连通；通过对现有技术进行优化改进，将尾气分流使其间歇性的进入不同的承载箱进而减缓尾气在处理过程中的流速；利用密布小孔的弹性膜与承载箱配合向承载箱内部喷入油雾进而对尾气中的焦油等大分子进行降温和吸附；使用时定期控制弹性膜移位实现弹性膜的自动更换；实现了CVD尾气处理设备能够对吸附用油重复利用、耗油量少、对尾气中的焦油等大分子祛除效果相对较好且不易污染干燥过滤器的技术效果。
Description
技术领域
本发明涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种CVD尾气处理设备。
背景技术
CVD(ChemicalVaporDeposition)尾气处理设备是一种主要用于降低尾气中有害气体的浓度，确保环境的安全和保护操作人员的健康的设备。
专利号为CN110550618B的中国发明专利公开了一种CVI/CVD工艺尾气的回收装置，该装置包括降温过滤设备、真空泵、等温裂解炉和后期综合处理设备，所述降温过滤设备包括循环液体降温模块，油过滤器和干燥过滤器；所述真空泵设置于降温过滤设备和等温裂解炉之间；所述等温裂解炉内底部安置预热区模块，所述预热区模块上方设置等温区模块；所述预热区模块为多层迷宫式石墨板；所述等温区模块下部为延时缓冲区，所述等温区模块上部为等温区上腔体，所述等温区上腔体设置多层石墨板结构，石墨板上设置活性炭生长结构，活性炭生长结构表面载有炭黑催化剂；所述等温裂解炉顶部为气体出口，所述气体出口通过管道与后期综合处理设备连接；所述后期综合处理设备包括变压分离器和固体过滤器。
该方案使用时能够减少高温尾气对真空泵的损害、延长烃类气体的停留时间进而促成其充分裂解沉积且安全可靠、操作简便；但降温过滤设备实际运行过程中依靠喷出的油形成油雾进而对尾气进行降温和吸附，耗油量大且浪费严重；若单纯使用过滤器对使用后的油进行过滤进而重复利用油液进而降低使用成本，容易导致得不偿失(若使用滤孔较细的过滤器容易导致滤芯需要经常更换，过程繁琐且成本高昂；若使用滤孔较粗的过滤器则容易堵塞喷油孔，给尾气的连续处理带来不便且疏通过程繁琐耗时耗力)；
且因受限于自身结构，油雾所处位置受气流影响较大，对尾气中的油的沉淀效果相对较差进而容易导致尾气中的焦油等大分子祛除不彻底的问题；在气流影响下，喷出的油雾容易被气流裹挟着带入干燥过滤器006中进而容易加速干燥过滤器006耗材的损耗，同时还会在干燥过滤器006内积累油污，为后续的维护工作带来较大的负担。
发明内容
本申请实施例通过提供一种CVD尾气处理设备，解决了现有技术中CVD尾气处理设备在祛除尾气中的焦油等大分子时耗油量大且浪费严重、祛除效果相对较差以及容易污染干燥过滤器的技术问题；实现了CVD尾气处理设备能够对吸附用油重复利用、耗油量少、对尾气中的焦油等大分子祛除效果相对较好且不易污染干燥过滤器的技术效果。
本申请实施例提供了一种CVD尾气处理设备，包括降温过滤设备、等温裂解炉和后期综合处理设备；降温过滤设备包括降温模块、油过滤装置和干燥过滤器；所述油过滤装置顶部与降温模块连通，底部与沉积管组件连通；
所述油过滤装置包括承载箱、条形囊体、耗材存储箱、弹性膜组件和泵送组件；
所述承载箱被隔板体分隔成多个处理空间，顶部设有气体入口，底部设有气体出口；承载箱端面上设有穿入通槽，侧壁上设有多个注入管；
所述承载箱的两侧均设有一个内置卷筒组件的耗材存储箱；
隔板体的贴近承载箱的内侧壁的面上、上盖板上和下盖板上均固定有内置磁粉或铁粉的条形囊体；承载箱外侧壁设有吸附条；
所述弹性膜组件整体为卷轴形，数量为两个，定位在卷筒组件上，分别紧贴承载箱的两个内侧壁设置，包括密布喷油孔的带状薄膜；吸附条通电时，条形囊体在挤压带状薄膜形成多个矩形的袋形空间；
油过滤装置的下方定位有承载桶组件；泵送组件将承载桶组件内的油液泵入袋形空间。
优选的，所述沉积管组件包括导气弯管；
所述导气弯管为S形或W形弯管，纵向设置，顶部与排出管体连通，底部与承载桶组件的内部的储油空间连通；导出管体横向设置，与导气弯管连通且位于导气弯管的一侧。
优选的，所述弹性膜组件包括新料卷、带状薄膜和废料卷；
所述带状薄膜为弹性橡胶材质的薄膜，两端分别缠绕定位新料卷和废料卷上，新料卷和废料卷分别固定在两个耗材存储箱内的卷筒组件上；
所述带状薄膜从其中一个穿入通槽穿入承载箱并从另外一个穿入通槽穿出，带状薄膜始终位于条形囊体和承载箱的内侧壁之间；
在吸附条通电后，会通过磁力带动条形囊体挤压带状薄膜进而使得带状薄膜紧贴在承载箱的内侧壁上，使得带状薄膜与承载箱的内侧壁共同组成袋形空间。
优选的，所述承载箱整体为矩形箱体，包括承载方管、上盖板和下盖板；
所述承载方管为竖向设置的硬质管体，横截面为矩形；
所述上盖板和下盖板分别定位在承载方管的顶部与底部，与承载方管一同组成了一个箱体；
所述上盖板和下盖板上均设有通行孔，通行孔用于气体流通，通行孔的存在形成了承载箱的气体入口及气体出口；
通行孔上定位有转动盖板；
所述隔板体固定在上盖板的下方，数量为多个，为矩形硬质板体，其中两个分别紧贴承载箱的内部空间的端面设置，其他的隔板体将承载箱内部空间分隔开来；
所述承载箱的侧面上固定有多个与承载箱的内部空间连通的注入管，注入管的数量为承载箱内用于处理尾气的空间的双数倍，且每两个注入管对应一个处理空间，这两个注入管分别位于承载箱的两侧且对称设置。
优选的，所述泵送组件主体为液泵，还包括供油管和分配阀；泵送组件通过供油管与承载桶组件内的储油空间连通，泵来的油液经分配阀输送至每个袋形空间中。
优选的，所述导出管体上设有泵气组件，泵气组件位于沉积管组件与干燥过滤器之间，泵气组件为气泵与气阀的组合，与导出管体连通；在设备进行尾气处理时，泵气组件向导出管体内间歇性的通入清洁干燥气体缓冲沉积管组件内的气体的流动，延长沉降时间的同时避免油随气流进入干燥过滤器。
优选的，所述油过滤装置还包括塑形组件；
所述塑形组件包括弹力绳和串珠；
所述弹力绳竖向设置，一端固定在上盖板上，另一端固定在下盖板上，位于承载箱内靠近承载箱的内侧壁的位置且呈两排设置；所述串珠串在弹力绳上，为球形或圆柱形，每根弹力绳上串珠的数量均大于5个；所述串珠始终紧贴在带状薄膜上且能够被磁铁吸引；所述承载箱的外侧壁上竖向设置有多根纵向磁铁，纵向磁铁与弹力绳一一对应，为电磁铁，在控制单元的控制下进行通断电；纵向磁铁通电时，会吸引串珠；进行尾气处理时，控制纵向磁铁进行差异性的通断电能够使得带状薄膜发生不规则形变进而改变喷油孔的朝向。
优选的，所述串珠内置填充块；
所述填充块为永磁体，且填充块的几何中心与串珠的几何中心不重合；
串珠在移动过程中也会影响到相邻的串珠且会通过磁力影响到其他弹力绳上的串珠。
优选的，还包括横向磁铁：
所述带状薄膜上每隔10至20米便设有一根软刮板，软刮板为塑料条状板，长边固定在带状薄膜上且与带状薄膜的宽度等长；
需要清洁时，控制尾气停止处理，控制吸引板及吸附条均断电，软刮板进入承载箱后对承载箱的内侧壁上积累的油污进行刮除；
所述泵送组件还包括取水管，取水管与清洁液仓及清水仓连通；需要清洁时，泵送组件会将清洁液及清水依次泵入袋形空间；
所述横向磁铁为横向设置的电磁铁，靠近承载箱的中部设置，在纵向磁铁不通电但横向磁铁和吸附条通电时，泵入袋形空间的清洁液会将带状薄膜撑成纵截面呈“3”字形的带体，喷出清洁液对上盖板和下盖板进行清洁；
泵气组件上设有气阀，气阀上设有气体加热组件，气阀通过输气管与袋形空间连通；
进行清洁时，袋形空间依次向外喷射清洁液、水和热气，依次对油过滤装置进行清洁、漂洗和烘干。
优选的，所述导气弯管为软管，弯折位置固定有铁质或磁铁材质的磁吸块，承载桶组件的侧壁上设有磁铁矩阵，磁铁矩阵为多块电磁铁的组合。
本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
通过对现有技术中的CVI/CVD工艺尾气的回收装置的降温过滤设备的结构进行优化改进，将尾气分流使其间歇性的进入不同的承载箱进而减缓尾气在处理过程中的流速；利用密布小孔的弹性膜与承载箱配合向承载箱内部喷入油雾进而对尾气中的焦油等大分子进行降温和吸附；使用时定期控制弹性膜移位实现弹性膜的自动更换；有效解决了现有技术中CVD尾气处理设备在祛除尾气中的焦油等大分子时耗油量大且浪费严重、祛除效果相对较差以及容易污染干燥过滤器的技术问题；进而实现了CVD尾气处理设备能够对吸附用油重复利用、耗油量少、对尾气中的焦油等大分子祛除效果相对较好且不易污染干燥过滤器的技术效果。
附图说明
图1为本发明CVD尾气处理设备的结构简图；
图2为本发明CVD尾气处理设备的油过滤装置的外观结构示意图；
图3为本发明CVD尾气处理设备的上盖板的结构示意图；
图4为本发明CVD尾气处理设备的油过滤装置的内部结构示意图；
图5为本发明CVD尾气处理设备的条形囊体的布局关系示意图；
图6为本发明CVD尾气处理设备的带状薄膜的位置关系示意图；
图7为本发明CVD尾气处理设备的吸附条的布局关系示意图；
图8为本发明CVD尾气处理设备的塑形组件的结构示意图；
图9为本发明CVD尾气处理设备的塑形组件的结构简图；
图10为本发明CVD尾气处理设备的串珠内的填充块的布局关系示意图；
图11为本发明CVD尾气处理设备的弹性膜组件的结构简图。
图中：
降温模块001、输送管体002、排出口003、排出管体004、导出管体005、干燥过滤器006、真空泵007、承载箱110、承载方管111、上盖板112、下盖板113、通行孔114、转动盖板115、隔板体116、穿入通槽117、注入管118、条形囊体120、吸附条121、吸引板131、吸附囊132、耗材存储箱140、卷筒组件141、弹性膜组件150、新料卷151、带状薄膜152、废料卷154、软刮板155、弹力绳161、串珠162、填充块163、纵向磁铁164、横向磁铁165、泵送组件170、供油管171、分配阀172、取水管173、导气弯管210、磁吸块220、磁铁矩阵230、承载桶组件300、排出通道口310、泵气组件400、输气管410。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述；附图中给出了本发明的较佳实施方式，但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式；相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。
需要说明的是，本文所使用的术语“垂直”、“水平”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明；本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
实施例一
如图1所示，本申请CVD尾气处理设备包括降温过滤设备、真空泵007、等温裂解炉、后期综合处理设备、动力组件和控制单元；所述降温过滤设备包括降温模块001、油过滤装置和干燥过滤器006；所述真空泵007、等温裂解炉、后期综合处理设备以及降温模块001与干燥过滤器006均为现有技术，在此不进行赘述；所述动力组件用于为本申请CVD尾气处理设备各部件的运行提供动力，所述控制单元起到控制CVD尾气处理设备各部件协调运行的作用，均为现有技术，在此不进行赘述；所述控制单元优选为可编程逻辑控制器与控制按键的组合。
所述油过滤装置顶部通过输送管体002与降温模块001连通，底部通过排出管体004与沉积管组件连通，沉积管组件通过导出管体005与等温裂解炉连通；干燥过滤器006和真空泵007均定位在导出管体005上；尾气经降温模块001后进入输送管体002，而后被输送管体002分散成多份输入油过滤装置，尾气经油过滤装置后汇集进入排出管体004，而后经沉积管组件后排入导出管体005，通过干燥过滤器006后被真空泵007泵入等温裂解炉。
如图2至图7所示，所述油过滤装置包括承载箱110、条形囊体120、耗材存储箱140、弹性膜组件150和泵送组件170。
所述承载箱110为箱体结构，内部中空且被隔板体116分隔成多个用于处理尾气的空间，顶部设有气体入口，底部设有气体出口，气体入口及气体出口与承载箱110内用于处理尾气的空间一一对应，气体入口与输送管体002连通，气体出口与排出管体004连通。
进一步的，所述承载箱110整体为矩形箱体，包括承载方管111、上盖板112和下盖板113；
所述承载方管111为竖向设置的硬质管体，横截面为矩形；
所述上盖板112和下盖板113分别定位在承载方管111的顶部与底部，与承载方管111一同组成了一个箱体；
所述上盖板112和下盖板113上均设有通行孔114，通行孔114用于气体流通，通行孔114的存在形成了承载箱110的气体入口及气体出口；
通行孔114上定位有转动盖板115，转动盖板115优选为在磁力作用下能够封闭通行孔114的盖板(即为通行孔114的封闭阀)；
所述上盖板112的下方固定有隔板体116；所述隔板体116的数量为多个，优选为三个，为矩形硬质板体，其中两个分别紧贴承载箱110的内部空间的端面设置，其他的隔板体116将承载箱110内部空间分隔开来；
所述承载箱110的端面上靠近两侧边缘的位置设有穿入通槽117，穿入通槽117起到便于带状薄膜152穿入承载箱110的作用；
所述承载箱110的侧面上固定有多个与承载箱110的内部空间连通的注入管118，注入管118的数量为承载箱110内用于处理尾气的空间的双数倍，且每两个注入管118对应一个处理空间，这两个注入管118分别位于承载箱110的两侧且对称设置。
所述隔板体116的贴近承载箱110的内侧壁的面上均固定有一根条形囊体120；所述上盖板112的底面及下盖板113的顶面上靠近承载箱110的内侧壁的位置也固定有条形囊体120；所述条形囊体120为内置磁粉或铁粉的杆状软囊；若承载箱110内的隔板体116的数量为三个，承载箱110内的条形囊体120的组合呈两个贴近承载箱110内侧壁的“日”字形；所述承载箱110外侧壁设有多根吸附条121，吸附条121为条状的电磁铁，在控制单元的控制下进行通断电，与条形囊体120平行设置且一一对应。
所述穿入通槽117的两侧分别设有吸引板131和吸附囊132，二者的长度均大于穿入通槽117的长度，吸引板131为电磁铁板体，在控制单元的控制下进行通断电；所述吸附囊132为内置铁粉的橡胶软囊；使用时，吸引板131通电后吸引吸附囊132使其形变进而压迫带状薄膜152使其紧贴在吸引板131上，将穿入通槽117封堵。
所述承载箱110的两侧均设有一个耗材存储箱140，耗材存储箱140为箱体结构，起到容器的作用；所述耗材存储箱140的内底上设有在控制单元控制下进行转动的卷筒组件141，卷筒组件141内置微型电机，一个耗材存储箱140内设有两个卷筒组件141。
所述弹性膜组件150整体为卷轴形，数量为两个，分别紧贴承载箱110的两个内侧壁设置，包括新料卷151、带状薄膜152和废料卷154；所述带状薄膜152为弹性橡胶材质的薄膜，其上密布有用于喷射出油液的喷油孔，两端分别缠绕定位新料卷151和废料卷154上，新料卷151和废料卷154分别固定在两个耗材存储箱140内的卷筒组件141上；所述带状薄膜152从其中一个穿入通槽117穿入承载箱110并从另外一个穿入通槽117穿出，带状薄膜152始终位于条形囊体120和承载箱110的内侧壁之间；在吸附条121通电后，会通过磁力带动条形囊体120挤压带状薄膜152进而使得带状薄膜152紧贴在承载箱110的内侧壁上，使得带状薄膜152与承载箱110的内侧壁共同组成一个矩形袋体状的空间；为了叙述的方便，在此将该空间定义为袋形空间；每一个注入管118均与一个袋形空间连通。
所述泵送组件170用于将承载桶组件300内的油液泵送进入袋形空间并重新喷出，主体为液泵，还包括供油管171和分配阀172；泵送组件170通过供油管171与承载桶组件300内的储油空间连通，泵来的油液经分配阀172输送至每个袋形空间中。
所述沉积管组件用于沉积尾气中的油液，包括导气弯管210；所述导气弯管210为S形或W形弯管，纵向设置，顶部与排出管体004连通，底部与承载桶组件300的内部的储油空间连通；所述导出管体005横向设置，与导气弯管210连通且位于导气弯管210的一侧。
所述承载桶组件300为桶状，作为容器使用，位于油过滤装置的下方，用于存储油液，底部设有排出通道口310，排出通道口310上设有排出阀。
降温过滤设备实际使用时：
1.尾气经输送管体002分流后，上盖板112上的转动盖板115依次打开并依次封闭，使得尾气进入不同的处理空间(不同时段的尾气进入的处理空间不同)，始终保持至少一个转动盖板115处于开启状态进而保障尾气处理的连续进行；
2.尾气进入处理空间后，泵送组件170会将承载桶组件300中的油液经注入管118泵入与该处理空间对应的袋形空间中，而后经喷油孔喷出成雾状对该处理空间中的尾气进行处理，此后控制下盖板113上与该处理空间对应的转动盖板115打开，将气体排入沉积管组件；油液沉积至承载桶组件300中，气体输送至导出管体005中进行下一工序；
3.在尾气处理设备运行24至48小时后，控制自身暂停运行并控制吸附条121和吸引板131断电，而后控制卷筒组件141运行使得新料卷151和废料卷154发生转动进而替换原位于承载箱110内的部分带状薄膜152；避免喷油孔堵塞对处理效果造成影响；此后控制吸附条121和吸引板131通电进而重新形成袋形空间。
优选的，喷油孔喷出的为油柱，喷射出的油互相冲击，溅射成小液滴(雾)。
优选的，为了减少腐蚀，所示条形囊体120的材质为软质塑料。
优选的，所述承载桶组件300的靠近底部的位置密布有多个散热翅片，散热翅片用于辅助承载桶组件300内的油液散热。
优选的，如图1所示，所述导出管体005上设有泵气组件400，泵气组件400位于沉积管组件与干燥过滤器006之间，泵气组件400为气泵与气阀的组合，与导出管体005连通；在设备进行尾气处理时，泵气组件400向导出管体005内间歇性的通入清洁干燥气体缓冲沉积管组件内的气体的流动，延长沉降时间的同时避免油随气流进入干燥过滤器006。
优选的，如图8所示，为了使得喷油孔喷出的油液的方向更加的不规律进而加速承载箱110内正在处理的尾气中的油的沉淀，并减少承载箱110内油污的积累(不规则的喷射出的油会对承载箱110的内壁的造成冲击进而减少油在承载箱110的内壁上的积累)，所述油过滤装置还包括塑形组件；所述塑形组件包括弹力绳161和串珠162；所述弹力绳161竖向设置，一端固定在上盖板112上，另一端固定在下盖板113上，位于承载箱110内靠近承载箱110的内侧壁的位置且呈两排设置；所述串珠162串在弹力绳161上，为球形或圆柱形，每根弹力绳161上串珠162的数量均大于5个；所述串珠162始终紧贴在带状薄膜152上且能够被磁铁吸引；所述承载箱110的外侧壁上竖向设置有多根纵向磁铁164，纵向磁铁164与弹力绳161一一对应，为电磁铁，在控制单元的控制下进行通断电；纵向磁铁164通电时，会吸引串珠162；进行尾气处理时，控制纵向磁铁164进行差异性的通断电能够使得带状薄膜152发生不规则形变进而改变喷油孔的朝向。
优选的，所述串珠162为铁质材料制成。
优选的，如图10所示，所述串珠162为非铁质材料制成，内置铁质的填充块163。
优选的，为了进一步的增加油液喷射的随机性，进而进一步的加快尾气中油的沉降速度，所述填充块163为永磁体，且填充块163的几何中心与串珠162的几何中心不重合；串珠162在移动过程中也会影响到相邻的串珠162且会通过磁力影响到其他弹力绳161上的串珠162。
优选的，所述弹力绳161为橡胶材质弹性绳。
优选的，如图9所示，为了减少弹力绳161的腐蚀老化，所述弹力绳161为钢丝绳与拉簧的组合。
上述本申请实施例中的技术方案，至少具有如下的技术效果或优点：
解决了现有技术中CVD尾气处理设备在祛除尾气中的焦油等大分子时耗油量大且浪费严重、祛除效果相对较差以及容易污染干燥过滤器的技术问题；实现了CVD尾气处理设备能够对吸附用油重复利用、耗油量少、对尾气中的焦油等大分子祛除效果相对较好且不易污染干燥过滤器的技术效果。
实施例二
为了进一步的提高本申请的实用性，减少拆卸维护频率，使其具备无需拆卸便能够自清洁的功能，本申请实施例在上述实施例的基础上对带状薄膜152和泵送组件170的结构进行了优化改进，并在承载箱110的外侧壁上增设了横向磁铁165，具体为：
如图11所示，所述带状薄膜152上每隔10至20米便设有一根软刮板155，软刮板155为塑料条状板，长边固定在带状薄膜152上且与带状薄膜152的宽度等长；需要清洁时，控制尾气停止处理，控制吸引板131及吸附条121均断电，软刮板155进入承载箱110后对承载箱110的内侧壁上积累的油污进行刮除；
如图1所示，所述泵送组件170还包括取水管173，取水管173与清洁液仓及清水仓连通；需要清洁时，泵送组件170会将清洁液及清水依次泵入袋形空间；
如图8所示，所述横向磁铁165为横向设置的电磁铁，靠近承载箱110的中部设置，在纵向磁铁164不通电但横向磁铁165和吸附条121通电时，泵入袋形空间的清洁液会将带状薄膜152撑成纵截面呈“3”字形的带体，喷出清洁液对上盖板112和下盖板113进行清洁；
所述泵气组件400上设有气阀，气阀上设有气体加热组件，气阀通过输气管410与袋形空间连通；所述输送管体002上设有排出口003，排出口003上设有盖板；
进行清洁时，袋形空间依次向外喷射清洁液、水和热气，依次对油过滤装置进行清洁、漂洗和烘干，进行烘干时，开启排出口003上的盖板将热气排出。
优选的，进行清洁时，始终保持泵气组件400向导出管体005中泵气，避免水汽进入干燥过滤器006。
优选的，所述导气弯管210为软管，弯折位置固定有铁质或磁铁材质的磁吸块220，承载桶组件300的侧壁上设有磁铁矩阵230，磁铁矩阵230为多块电磁铁的组合；清洁时，可通过磁力控制导气弯管210弯折及转动对导气弯管210的内部空间进行涮洗。
以上所述仅为本发明的优选实施方式，并不用于限制本发明，对于本领域技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明精神和原则内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种CVD尾气处理设备，包括降温过滤设备、等温裂解炉和后期综合处理设备；降温过滤设备包括降温模块(001)、油过滤装置和干燥过滤器(006)；其特征在于：所述油过滤装置顶部与降温模块(001)连通，底部与沉积管组件连通；
所述油过滤装置包括承载箱(110)、条形囊体(120)、耗材存储箱(140)、弹性膜组件(150)和泵送组件(170)；
所述承载箱(110)被隔板体(116)分隔成多个处理空间，顶部设有气体入口，底部设有气体出口；承载箱(110)端面上设有穿入通槽(117)，侧壁上设有多个注入管(118)；
所述承载箱(110)的两侧均设有一个内置卷筒组件(141)的耗材存储箱(140)；
隔板体(116)的贴近承载箱(110)的内侧壁的面上、上盖板(112)上和下盖板(113)上均固定有内置磁粉或铁粉的条形囊体(120)；承载箱(110)外侧壁设有吸附条(121)；
所述弹性膜组件(150)整体为卷轴形，数量为两个，定位在卷筒组件(141)上，分别紧贴承载箱(110)的两个内侧壁设置，包括密布喷油孔的带状薄膜(152)；吸附条(121)通电时，条形囊体(120)在挤压带状薄膜(152)形成多个矩形的袋形空间；
油过滤装置的下方定位有承载桶组件(300)；泵送组件(170)将承载桶组件(300)内的油液泵入袋形空间。
2.如权利要求1所述的CVD尾气处理设备，其特征在于：所述沉积管组件包括导气弯管(210)；所述导气弯管(210)为S形或W形弯管，纵向设置，顶部与排出管体(004)连通，底部与承载桶组件(300)的内部的储油空间连通；导出管体(005)横向设置，与导气弯管(210)连通且位于导气弯管(210)的一侧。
3.如权利要求1所述的CVD尾气处理设备，其特征在于：所述弹性膜组件(150)包括新料卷(151)、带状薄膜(152)和废料卷(154)；
所述带状薄膜(152)为弹性橡胶材质的薄膜，两端分别缠绕定位新料卷(151)和废料卷(154)上，新料卷(151)和废料卷(154)分别固定在两个耗材存储箱(140)内的卷筒组件(141)上；
所述带状薄膜(152)从其中一个穿入通槽(117)穿入承载箱(110)并从另外一个穿入通槽(117)穿出，带状薄膜(152)始终位于条形囊体(120)和承载箱(110)的内侧壁之间；
在吸附条(121)通电后，会通过磁力带动条形囊体(120)挤压带状薄膜(152)进而使得带状薄膜(152)紧贴在承载箱(110)的内侧壁上，使得带状薄膜(152)与承载箱(110)的内侧壁共同组成袋形空间。
4.如权利要求3所述的CVD尾气处理设备，其特征在于：所述承载箱(110)整体为矩形箱体，包括承载方管(111)、上盖板(112)和下盖板(113)；
所述承载方管(111)为竖向设置的硬质管体，横截面为矩形；
所述上盖板(112)和下盖板(113)分别定位在承载方管(111)的顶部与底部，与承载方管(111)一同组成了一个箱体；
所述上盖板(112)和下盖板(113)上均设有通行孔(114)，通行孔(114)用于气体流通，通行孔(114)的存在形成了承载箱(110)的气体入口及气体出口；
通行孔(114)上定位有转动盖板(115)；
所述隔板体(116)固定在上盖板(112)的下方，数量为多个，为矩形硬质板体，其中两个分别紧贴承载箱(110)的内部空间的端面设置，其他的隔板体(116)将承载箱(110)内部空间分隔开来；
所述承载箱(110)的侧面上固定有多个与承载箱(110)的内部空间连通的注入管(118)，注入管(118)的数量为承载箱(110)内用于处理尾气的空间的双数倍，且每两个注入管(118)对应一个处理空间，这两个注入管(118)分别位于承载箱(110)的两侧且对称设置。
5.如权利要求1所述的CVD尾气处理设备，其特征在于：所述泵送组件(170)主体为液泵，还包括供油管(171)和分配阀(172)；泵送组件(170)通过供油管(171)与承载桶组件(300)内的储油空间连通，泵来的油液经分配阀(172)输送至每个袋形空间中。
6.如权利要求1所述的CVD尾气处理设备，其特征在于：所述导出管体(005)上设有泵气组件(400)，泵气组件(400)位于沉积管组件与干燥过滤器(006)之间，泵气组件(400)为气泵与气阀的组合，与导出管体(005)连通；在设备进行尾气处理时，泵气组件(400)向导出管体(005)内间歇性的通入清洁干燥气体缓冲沉积管组件内的气体的流动，延长沉降时间的同时避免油随气流进入干燥过滤器(006)。
7.如权利要求3所述的CVD尾气处理设备，其特征在于：所述油过滤装置还包括塑形组件；所述塑形组件包括弹力绳(161)和串珠(162)；
所述弹力绳(161)竖向设置，一端固定在上盖板(112)上，另一端固定在下盖板(113)上，位于承载箱(110)内靠近承载箱(110)的内侧壁的位置且呈两排设置；所述串珠(162)串在弹力绳(161)上，为球形或圆柱形，每根弹力绳(161)上串珠(162)的数量均大于5个；所述串珠(162)始终紧贴在带状薄膜(152)上且能够被磁铁吸引；所述承载箱(110)的外侧壁上竖向设置有多根纵向磁铁(164)，纵向磁铁(164)与弹力绳(161)一一对应，为电磁铁，在控制单元的控制下进行通断电；纵向磁铁(164)通电时，会吸引串珠(162)；进行尾气处理时，控制纵向磁铁(164)进行差异性的通断电能够使得带状薄膜(152)发生不规则形变进而改变喷油孔的朝向。
8.如权利要求7所述的CVD尾气处理设备，其特征在于：所述串珠(162)内置填充块(163)；所述填充块(163)为永磁体，且填充块(163)的几何中心与串珠(162)的几何中心不重合；
串珠(162)在移动过程中也会影响到相邻的串珠(162)且会通过磁力影响到其他弹力绳(161)上的串珠(162)。
9.如权利要求7所述的CVD尾气处理设备，其特征在于：还包括横向磁铁(165)：
所述带状薄膜(152)上每隔10至20米便设有一根软刮板(155)，软刮板(155)为塑料条状板，长边固定在带状薄膜(152)上且与带状薄膜(152)的宽度等长；
需要清洁时，控制尾气停止处理，控制吸引板(131)及吸附条(121)均断电，软刮板(155)进入承载箱(110)后对承载箱(110)的内侧壁上积累的油污进行刮除；
所述泵送组件(170)还包括取水管(173)，取水管(173)与清洁液仓及清水仓连通；需要清洁时，泵送组件(170)会将清洁液及清水依次泵入袋形空间；
所述横向磁铁(165)为横向设置的电磁铁，靠近承载箱(110)的中部设置，在纵向磁铁(164)不通电但横向磁铁(165)和吸附条(121)通电时，泵入袋形空间的清洁液会将带状薄膜(152)撑成纵截面呈“3”字形的带体，喷出清洁液对上盖板(112)和下盖板(113)进行清洁；
泵气组件(400)上设有气阀，气阀上设有气体加热组件，气阀通过输气管(410)与袋形空间连通；
进行清洁时，袋形空间依次向外喷射清洁液、水和热气，依次对油过滤装置进行清洁、漂洗和烘干。
10.如权利要求2所述的CVD尾气处理设备，其特征在于：所述导气弯管(210)为软管，弯折位置固定有铁质或磁铁材质的磁吸块(220)，承载桶组件(300)的侧壁上设有磁铁矩阵(230)，磁铁矩阵(230)为多块电磁铁的组合。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311474440.6A CN117504540B (zh) | 2023-11-08 | 2023-11-08 | 一种cvd尾气处理设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311474440.6A CN117504540B (zh) | 2023-11-08 | 2023-11-08 | 一种cvd尾气处理设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117504540A true CN117504540A (zh) | 2024-02-06 |
| CN117504540B CN117504540B (zh) | 2024-05-07 |
Family
ID=89765640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311474440.6A Active CN117504540B (zh) | 2023-11-08 | 2023-11-08 | 一种cvd尾气处理设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117504540B (zh) |
Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2816810A1 (de) * | 1978-04-18 | 1979-10-31 | Grumman Aerospace Corp | Strahlmembran-gastrenneinrichtung und verfahren |
| JPH07328490A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-19 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | ロータリーアトマイザの噴霧盤 |
| DE19654977A1 (de) * | 1996-11-21 | 1998-06-10 | Daimler Benz Ag | Verfahren zur Reduktion von Stickoxiden und Schwarzrauch in Abgasen von Dieselmotoren sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US6365413B1 (en) * | 1998-02-27 | 2002-04-02 | Savant, Inc. | Thin film thermal oxidative oil deposit testing device and method |
| JP3087757U (ja) * | 2002-02-05 | 2002-08-16 | 昭和電機株式会社 | オイルミスト除去装置 |
| US20040228781A1 (en) * | 2003-05-16 | 2004-11-18 | Tonkovich Anna Lee | Microchannel with internal fin support for catalyst or sorption medium |
| JP2011072958A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 水素分離膜の検査方法および検査装置、並びに水素分離膜モジュールの製造方法および製造装置 |
| CN103721559A (zh) * | 2013-05-28 | 2014-04-16 | 太仓派欧技术咨询服务有限公司 | 一种cvd/cvi炉尾气处理装置 |
| CN104775091A (zh) * | 2015-04-10 | 2015-07-15 | 安徽铜峰电子股份有限公司 | 用于形成金属化薄膜屏带的喷涂装置挡板 |
| CN204723948U (zh) * | 2015-05-19 | 2015-10-28 | 西安鑫垚陶瓷复合材料有限公司 | 一种用于cvd/cvi工艺的尾气处理设备 |
| US20170170035A1 (en) * | 2015-12-10 | 2017-06-15 | Yu Teng | Cleaning device for atomizing and spraying liquid in two-phase flow |
| DE102017123043A1 (de) * | 2017-10-05 | 2019-04-11 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Schmiermittelversorgung |
| CN110550618A (zh) * | 2018-05-31 | 2019-12-10 | 上海康碳复合材料科技有限公司 | 一种cvi/cvd工艺尾气的回收装置和方法 |
| CN212915174U (zh) * | 2020-06-28 | 2021-04-09 | 山东国晶新材料有限公司 | 一种cvd设备尾气处理装置 |
| CN217287603U (zh) * | 2022-04-07 | 2022-08-26 | 四川巴顿博越智能装备有限公司 | 一种气相沉积炉的尾气回收装置 |
| CN115677030A (zh) * | 2022-09-19 | 2023-02-03 | 曾凡浩 | 一种生活污水接触氧化法生化处理设备 |
| CN116255414A (zh) * | 2023-02-02 | 2023-06-13 | 中国航发湖南动力机械研究所 | 一种油膜阻尼器 |
-
2023
- 2023-11-08 CN CN202311474440.6A patent/CN117504540B/zh active Active
Patent Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2816810A1 (de) * | 1978-04-18 | 1979-10-31 | Grumman Aerospace Corp | Strahlmembran-gastrenneinrichtung und verfahren |
| JPH07328490A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-19 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | ロータリーアトマイザの噴霧盤 |
| DE19654977A1 (de) * | 1996-11-21 | 1998-06-10 | Daimler Benz Ag | Verfahren zur Reduktion von Stickoxiden und Schwarzrauch in Abgasen von Dieselmotoren sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US6365413B1 (en) * | 1998-02-27 | 2002-04-02 | Savant, Inc. | Thin film thermal oxidative oil deposit testing device and method |
| JP3087757U (ja) * | 2002-02-05 | 2002-08-16 | 昭和電機株式会社 | オイルミスト除去装置 |
| US20040228781A1 (en) * | 2003-05-16 | 2004-11-18 | Tonkovich Anna Lee | Microchannel with internal fin support for catalyst or sorption medium |
| JP2011072958A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 水素分離膜の検査方法および検査装置、並びに水素分離膜モジュールの製造方法および製造装置 |
| CN103721559A (zh) * | 2013-05-28 | 2014-04-16 | 太仓派欧技术咨询服务有限公司 | 一种cvd/cvi炉尾气处理装置 |
| CN104775091A (zh) * | 2015-04-10 | 2015-07-15 | 安徽铜峰电子股份有限公司 | 用于形成金属化薄膜屏带的喷涂装置挡板 |
| CN204723948U (zh) * | 2015-05-19 | 2015-10-28 | 西安鑫垚陶瓷复合材料有限公司 | 一种用于cvd/cvi工艺的尾气处理设备 |
| US20170170035A1 (en) * | 2015-12-10 | 2017-06-15 | Yu Teng | Cleaning device for atomizing and spraying liquid in two-phase flow |
| DE102017123043A1 (de) * | 2017-10-05 | 2019-04-11 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Schmiermittelversorgung |
| CN110550618A (zh) * | 2018-05-31 | 2019-12-10 | 上海康碳复合材料科技有限公司 | 一种cvi/cvd工艺尾气的回收装置和方法 |
| CN212915174U (zh) * | 2020-06-28 | 2021-04-09 | 山东国晶新材料有限公司 | 一种cvd设备尾气处理装置 |
| CN217287603U (zh) * | 2022-04-07 | 2022-08-26 | 四川巴顿博越智能装备有限公司 | 一种气相沉积炉的尾气回收装置 |
| CN115677030A (zh) * | 2022-09-19 | 2023-02-03 | 曾凡浩 | 一种生活污水接触氧化法生化处理设备 |
| CN116255414A (zh) * | 2023-02-02 | 2023-06-13 | 中国航发湖南动力机械研究所 | 一种油膜阻尼器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN117504540B (zh) | 2024-05-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101835788B1 (ko) | 초미세먼지 제거용 공기 정화 무동력 열차 | |
| CN102665932B (zh) | 用于通过吸附剂静电分离过量喷涂物的方法和装置 | |
| CN109648039B (zh) | 起重链条多工位连续抛丸设备 | |
| KR101928671B1 (ko) | 후방으로 누설되는 미세먼지를 제거하는 공기 정화 무동력 열차 | |
| CN117504540B (zh) | 一种cvd尾气处理设备 | |
| CN102091488B (zh) | 一种转轮漆雾净化装置 | |
| CN206891239U (zh) | 固定管板式换热器 | |
| CN201702683U (zh) | 全自动辊道通过式抛丸清理机 | |
| EP2594673A1 (en) | Shock wave rapid dyeing machine of impulse type | |
| CN107126818A (zh) | 一种纳米粉尘吸收处理装置及方法 | |
| CN109382768B (zh) | 中小口径无缝管内表面高压水射流冷态的除鳞设备 | |
| CN215030442U (zh) | 一种通过式防锈油自动喷涂机 | |
| CN116174149A (zh) | 类立环式超导高梯度磁选机及其使用方法 | |
| CN215597288U (zh) | 一种高效传输的节能型三床蓄热氧化炉 | |
| CN206229125U (zh) | 一种烟尘洗涤吸附净化系统 | |
| CN214437956U (zh) | 一种废气处理用三相多介质催化氧化设备 | |
| CN212050569U (zh) | 一种片碱停车蒸汽自动吹扫系统 | |
| CN113441276A (zh) | 浆料除铁设备及浆料除铁方法 | |
| CN212469212U (zh) | 一种移动式园林用土壤修复装置 | |
| CN111889277B (zh) | 环保自动化管道外壁喷涂系统及其喷涂作用方法 | |
| CN220884616U (zh) | 一种报废汽车的预处理生产线 | |
| CN112808453A (zh) | 磁选方法及应用其的磁选装置 | |
| CN206867903U (zh) | 一种便于清洗气体填料的冷却塔 | |
| CN105040085B (zh) | 一种垂直电镀方法以及垂直电镀生产线 | |
| RU72157U1 (ru) | Устройство для очистки подшипников качения |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant |