CN117484044A - 一种金属掩膜板焊接设备的张紧机构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其提供一种金属掩膜板焊接设备的张紧机构。该金属掩膜板焊接设备的张紧机构包括焊接桁架、多个张紧组件及多个夹爪组件，其中每个夹爪组件包括夹爪安装元件、从动元件及夹爪元件。本发明的装配简单、机构简单，过程更好把控，组装精度更好保证，且能够确保夹紧装置在夹设薄板时能够提供足够的紧密度和稳定性，通过夹爪安装元件、从动元件及夹爪元件的协同作用，能够提供夹紧装置在夹设薄板时所需的紧密度、稳定性和减震能力，确保焊接过程的平稳进行。

Description

一种金属掩膜板焊接设备的张紧机构

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其提供一种金属掩膜板焊接设备的张紧机构。

背景技术

在半导体器件制造过程中，金属掩膜板作为重要的制程工具，被广泛使用于氧化、光刻、蚀刻等制程中。金属掩膜板由框架与薄片组成，在使用前需要将框架与薄片焊接在一起，而在现有技术中，对薄板的张紧机构采用的是弹簧张紧的形式，这种形式在实际应用中拉张力控制不精准，运行一段时间后弹簧力下降，使得薄板不能有效张紧，影响焊接质量。

发明内容

基于此，有必要提供一种金属掩膜板焊接设备的张紧机构，以解决背景技术中的至少一个技术问题。

一种金属掩膜板焊接设备的张紧机构，包括焊接桁架、多个张紧组件及多个夹爪组件，焊接桁架顶面贯穿凹设有张紧工作槽，多个张紧组件等距阵列设置于焊接桁架顶面周缘，多个夹爪组件固定安装于多个张紧组件中，每个张紧组件包括张紧电机模组、电机连接板、气缸连接座及夹紧气缸，张紧电机模组包括驱动电机及滑轨，滑轨安装于焊接桁架顶面周缘，滑轨长度方向与焊接桁架长度方向或宽度方向平行设置，且张紧电机模组内配备限位开关，限位开关带保护功能，用以防止行程超限，电机连接板底部滑动地安装于滑轨顶部，电机连接板顶面邻近张紧工作槽一端形成有粗糙面，用以增加夹爪组件在保持张紧时对金属掩膜板的摩擦力，气缸连接座底面固定安装于电机连接板顶面中部，夹紧气缸固定安装于气缸连接座顶部，夹紧气缸设置有两个同步输出轴，两个同步输出轴分别设置于夹紧气缸两侧侧壁邻近张紧工作槽一端，用于驱动夹爪组件旋转以夹紧金属掩膜板，夹紧气缸邻近张紧工作槽一端中部还凸设有气缸伸缩杆。

作为本发明的进一步改进，每个夹爪组件包括夹爪安装元件、从动元件及夹爪元件，夹爪安装元件一端固定安装于夹紧气缸的同步输出轴中，从动元件安装于夹爪安装元件中部，夹爪元件安装于夹爪安装元件邻近张紧工作槽一端。

作为本发明的进一步改进，夹爪安装元件包括两个夹爪安装板及压缩滑移轴，两个夹爪安装板一端分别固定安装于夹紧气缸的两个同步输出轴中，两个夹爪安装板侧壁中部均贯穿凹设有压缩滑槽，压缩滑槽长度方向与夹爪安装板长度方向相同，且压缩滑槽内部宽度由夹紧气缸向张紧工作槽一端逐渐减少，压缩滑移轴两端分别滑动地安装于两个夹爪安装板上的压缩滑槽中，且压缩滑移轴外壁抵持于气缸伸缩杆端壁。

作为本发明的进一步改进，压缩滑移轴包括限位部、两个过渡部及两个滑移部，两个过渡部内侧侧壁分别固定安装于限位部两侧，两个过渡部半径由内向外逐渐减少，两个滑移部内侧侧壁分别固定安装于两个过渡部外侧侧壁，两个滑移部分别滑动地安装于两个夹爪安装板上的压缩滑槽中，且限位部外壁抵持于气缸伸缩杆端壁，每个滑移部外侧侧壁邻近张紧工作槽一端均凹设有压缩槽。

作为本发明的进一步改进，从动元件包括两个从动竖杆、从动转动轴、两个定位竖杆及定位块，两个从动竖杆底端分别转动地安装于限位部两端，两个从动竖杆侧壁顶端分别贯穿凹设有第一转动孔，从动转动轴中部两端分别安装于两个第一转动孔中，两个定位竖杆内侧侧壁中部分别转动地安装于从动转动轴两端，定位块顶面两侧分别与两个定位竖杆顶面固定连接。

作为本发明的进一步改进，夹爪元件包括夹爪轴、两个夹爪及夹爪插销，夹爪轴两端分别转动地安装于两个夹爪安装板内侧侧壁邻近张紧工作槽一端，两个夹爪顶部分别转动地安装于夹爪轴中部两端，两个夹爪外侧侧壁远离张紧工作槽一端分别与两个定位竖杆内侧侧壁底端转动连接，两个夹爪侧壁中部均凹设有插销槽，夹爪插销两端插设于两个插销槽中。

作为本发明的进一步改进，每个夹爪包括夹爪竖板、弧形板及夹爪横板，夹爪竖板远离张紧工作槽一端端壁顶部角部处凹设有弧形板安装槽，夹爪竖板顶面另一端向外侧倾斜地凸设有扩展条，扩展条顶面凸设有安装竖板，安装竖板侧壁凹设有第二转动孔，第二转动孔转动地安装于夹爪轴中部一端，插销槽形成于夹爪竖板侧壁邻近张紧工作槽一端中部，弧形板安装于弧形板安装槽中，夹爪横板一侧固定安装于夹爪竖板底面外侧。

作为本发明的进一步改进，每个弧形板包括弧形扩展板及滑移安装板，弧形扩展板一端固定安装于弧形板安装槽中，滑移安装板固定安装于弧形扩展板另一端，且弧形扩展板向外侧倾斜设置，滑移安装板侧壁贯穿凹设有滑移孔，两个弧形板的滑移孔之间转动地设置有转动柱，转动柱两端转动地安装于两个定位竖杆内侧侧壁底部。

作为本发明的进一步改进，夹爪横板一侧侧壁凸设有弧形对接部，弧形对接部固定安装于夹爪竖板底面外侧，夹爪横板远离张紧工作槽一端向上凸设有弧形压缩部。

作为本发明的进一步改进，夹爪插销半径由中间向两端逐渐增大，以使得两个夹爪竖板内侧侧壁相互抵持设置。

本发明的有益效果如下：

1.本发明更加方便调节、省时提效，调节张紧力更加精准，误差范围在±5N，传统弹簧机构只能通过目视标尺上刻度和弹簧常数计算得出张紧力，误差范围在±50N，这对于高精度产品来说是不可忍受的，而采用本发明对薄板的夹持紧密、不起皱，可以有效控制薄板张紧后的整体平面度＜0.05mm，保证了后续焊接的可靠性和稳定性。

2.本发明的装配简单、机构简单，过程更好把控，组装精度更好保证，且能够确保夹紧装置在夹设薄板时能够提供足够的紧密度和稳定性，通过夹爪安装元件、从动元件及夹爪元件的协同作用，能够提供夹紧装置在夹设薄板时所需的紧密度、稳定性和减震能力，确保焊接过程的平稳进行。

3.本发明通过调节夹紧气缸而直接调节张紧力，省时提效，传统弹簧机构操作人员调试工时为150min左右，而使用本机构操作人员所用工时在30min以内。

附图说明

图1为本发明一实施例的立体示意图。

图2为本发明一实施例中张紧组件及夹爪组件的立体示意图。

图3为本发明一实施例中张紧组件的立体示意图。

图4为本发明一实施例中夹爪组件的的立体示意图。

图5为本发明另一实施例中夹爪组件的的立体示意图。

图6为本发明再一实施例中夹爪组件的的立体示意图。

图中：10、焊接桁架；11、张紧工作槽；20、张紧组件；21、张紧电机模组；22、电机连接板；23、气缸连接座；24、夹紧气缸；25、粗糙面；26、气缸伸缩杆；27、同步输出轴；30、夹爪组件；31、夹爪安装元件；311、夹爪安装板；312、压缩滑移轴；313、压缩滑槽；314、限位部；315、滑移部；316、过渡部；317、压缩槽；32、从动元件；321、从动竖杆；322、从动转动轴；323、定位竖杆；324、定位块；325、第一转动孔；33、夹爪元件；331、夹爪；332、夹爪轴；333、夹爪插销；334、插销槽；34、夹爪竖板；341、弧形板安装槽；342、扩展条；343、安装竖板；344、第二转动孔；35、夹爪横板；351、弧形对接部；352、弧形压缩部；36、弧形板；361、弧形扩展板；362、滑移安装板；363、滑移孔；364、转动柱。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图6，一种金属掩膜板焊接设备的张紧机构，包括焊接桁架10、多个张紧组件20及多个夹爪组件30，焊接桁架10顶面贯穿凹设有张紧工作槽11，多个张紧组件20等距阵列设置于焊接桁架10顶面周缘，多个夹爪组件30固定安装于多个张紧组件20中，每个张紧组件20包括张紧电机模组21、电机连接板22、气缸连接座23及夹紧气缸24，张紧电机模组21包括驱动电机及滑轨，滑轨安装于焊接桁架10顶面周缘，滑轨长度方向与焊接桁架10长度方向或宽度方向平行设置，且张紧电机模组21内配备限位开关，限位开关带保护功能，用以防止行程超限，电机连接板22底部滑动地安装于滑轨顶部，电机连接板22顶面邻近张紧工作槽11一端形成有粗糙面25，用以增加夹爪组件30在保持张紧时对金属掩膜板的摩擦力，气缸连接座23底面固定安装于电机连接板22顶面中部，夹紧气缸24固定安装于气缸连接座23顶部，夹紧气缸24设置有两个同步输出轴27，两个同步输出轴27分别设置于夹紧气缸24两侧侧壁邻近张紧工作槽11一端，用于驱动夹爪组件30旋转以夹紧金属掩膜板，夹紧气缸24邻近张紧工作槽11一端中部还凸设有气缸伸缩杆26。

每个夹爪组件30包括夹爪安装元件31、从动元件32及夹爪元件33，夹爪安装元件31一端固定安装于夹紧气缸24的同步输出轴27中，从动元件32安装于夹爪安装元件31中部，夹爪元件33安装于夹爪安装元件31邻近张紧工作槽11一端。

夹爪安装元件31包括两个夹爪安装板311及压缩滑移轴312，两个夹爪安装板311一端分别固定安装于夹紧气缸24的两个同步输出轴27中，两个夹爪安装板311侧壁中部均贯穿凹设有压缩滑槽313，压缩滑槽313长度方向与夹爪安装板311长度方向相同，且压缩滑槽313内部宽度由夹紧气缸24向张紧工作槽11一端逐渐减少，压缩滑移轴312两端分别滑动地安装于两个夹爪安装板311上的压缩滑槽313中，且压缩滑移轴312外壁抵持于气缸伸缩杆26端壁。

压缩滑移轴312包括限位部314、两个过渡部316及两个滑移部315，两个过渡部316内侧侧壁分别固定安装于限位部314两侧，两个过渡部316半径由内向外逐渐减少，两个滑移部315内侧侧壁分别固定安装于两个过渡部316外侧侧壁，两个滑移部315分别滑动地安装于两个夹爪安装板311上的压缩滑槽313中，且限位部314外壁抵持于气缸伸缩杆26端壁，每个滑移部315外侧侧壁邻近张紧工作槽11一端均凹设有压缩槽317。

从动元件32包括两个从动竖杆321、从动转动轴322、两个定位竖杆323及定位块324，两个从动竖杆321底端分别转动地安装于限位部314两端，两个从动竖杆321侧壁顶端分别贯穿凹设有第一转动孔325，从动转动轴322中部两端分别安装于两个第一转动孔325中，两个定位竖杆323内侧侧壁中部分别转动地安装于从动转动轴322两端，定位块324顶面两侧分别与两个定位竖杆323顶面固定连接。

夹爪元件33包括夹爪轴332、两个夹爪331及夹爪插销333，夹爪轴332两端分别转动地安装于两个夹爪安装板311内侧侧壁邻近张紧工作槽11一端，两个夹爪331顶部分别转动地安装于夹爪轴332中部两端，两个夹爪331外侧侧壁远离张紧工作槽11一端分别与两个定位竖杆323内侧侧壁底端转动连接，两个夹爪331侧壁中部均凹设有插销槽334，夹爪插销333两端插设于两个插销槽334中。

每个夹爪331包括夹爪竖板34、弧形板36及夹爪横板35，夹爪竖板34远离张紧工作槽11一端端壁顶部角部处凹设有弧形板安装槽341，夹爪竖板34顶面另一端向外侧倾斜地凸设有扩展条342，扩展条342顶面凸设有安装竖板343，安装竖板343侧壁凹设有第二转动孔344，第二转动孔344转动地安装于夹爪轴332中部一端，插销槽334形成于夹爪竖板34侧壁邻近张紧工作槽11一端中部，弧形板36安装于弧形板安装槽341中，夹爪横板35一侧固定安装于夹爪竖板34底面外侧。

个弧形板36包括弧形扩展板361及滑移安装板362，弧形扩展板361一端固定安装于弧形板安装槽341中，滑移安装板362固定安装于弧形扩展板361另一端，且弧形扩展板361向外侧倾斜设置，滑移安装板362侧壁贯穿凹设有滑移孔363，两个弧形板36的滑移孔363之间转动地设置有转动柱364，转动柱364两端转动地安装于两个定位竖杆323内侧侧壁底部。

夹爪横板35一侧侧壁凸设有弧形对接部351，弧形对接部351固定安装于夹爪竖板34底面外侧，夹爪横板35远离张紧工作槽11一端向上凸设有弧形压缩部352。

夹爪插销333半径由中间向两端逐渐增大，以使得两个夹爪竖板34内侧侧壁相互抵持设置。

例如，在一实施例中：将金属掩膜板中的薄板移动至张紧工作槽11正上方，并将薄板底面放置于多个电机连接板22上随后将启动多个张紧电机模组21，使得电机连接板22沿多个张紧电机模组21进行滑动调节位置，使得薄板底面周缘抵持于多个电机连接板22中的粗糙面25上，并保证多个电机连接板22之间的高度落差＜0.05mm。

随后将压缩空气同步通入多个夹紧气缸24中，使得两个同步输出轴27旋转，驱动多个夹爪组件30同步闭合对薄板周缘进行夹紧固定，并检查薄板夹持的位置是否平整，不得有起皱和松脱。其中起皱是由于上述步骤中电机连接板22所处位置高度落差过大导致需重新调整多个电机连接板22之间所处位置高度；松脱是由于电机连接板22、夹爪组件30与薄板之间摩擦力不够导致，需重新检查粗糙面25中的粗糙度并进行二次处理。

随后需要检查薄板的平整度，使用手持式水平仪初步检查薄板是否水平，水平度粗调在0.2mm/1000mm以内，粗调完毕后用专用治具上的杠杆表进行精调，控制最终水平度在0.05/1000mm以内。

同时，需要检查薄板垂量，薄板厚度较薄，现以厚度为0.1mm，材质为低膨胀合金，尺寸为1500mm*1200mm的薄板为例，首先需要在焊接桁架10顶面周缘上安装数显测距仪，测量出薄板底面周缘与焊接桁架10顶面周缘之间的高度为H1，薄板中间的高度H2，将H1-H2求出△H，要求△H＜0.1mm。

将框架与薄板通过激光焊机焊接，并检查焊接质量，检查框架与薄板焊点路径上所有焊点是否有虚焊、焊穿、污损等焊接不良现象。随后松开薄板，取下框架，并将夹紧气缸24松开。

随后撤开薄板，通过通入压缩空气的实时数据调整夹紧气缸24中张紧力的大小，且每个夹紧气缸24的张紧力都需要单独调节，确保后续批量生产框架与薄板的尺寸精度。

例如，在一实施例中：当夹紧气缸24驱动夹爪组件30夹紧时，将使得两个同步输出轴27同步旋转，进而使得两个夹爪安装板311跟随旋转移动，直至使得夹爪横板35底面远离同步输出轴27一端先行抵持于薄板顶面，随后气缸伸缩杆26将启动延伸，并利用气缸伸缩杆26端部递推压缩滑移轴312沿压缩滑槽313向远离同步输出轴27一端移动，进而使得两个从动竖杆321围绕从动转动轴322跟随旋转移动，进而使得两个定位竖杆323跟随旋转向下移动，进而使得转动柱364跟随向下移动，进而使得夹爪横板35邻近同步输出轴27一端跟随移动下压，使得夹爪横板35底面将抵持于薄板顶面，随后将继续推动压缩滑移轴312移动，由于压缩滑槽313内部宽度由夹紧气缸24向张紧工作槽11一端逐渐减少，将使得同时，由于压缩滑移轴312两端的两个过渡部316半径由内向外逐渐减少，将使得压缩滑移轴312向张紧工作槽11一端移动时，两个夹爪安装板311将驱动力不断分离打开，直至使得两个夹爪安装板311外侧侧壁抵持于两个定位竖杆323内侧侧壁，亦或是达到夹紧气缸24中张紧力的大小限制为止，此时两个夹爪安装板311将被固定，同时，将使得压缩滑移轴312再度的移动将使得两个定位竖杆323跟随再度向下移动，进而使得夹爪横板35上的弧形对接部351受力压缩形变向下，使得夹爪横板35与薄板顶面之间的接触面积变大，使得对薄板的夹设更为紧密，以保证在后续焊接过程中不会出现松脱现象，

当焊接发生震动时，其震动力量将使得沿薄板传递至夹爪横板35上，并传递至弧形扩展板361中，进而将使得弧形扩展板361再度向外进行扩展打开，使得滑移安装板362沿转动柱364向两端移动，以对震动力量进行缓冲，同时，由于每个滑移部315外侧侧壁邻近张紧工作槽11一端均凹设有压缩槽317，当震动沿滑移安装板362传递至定位竖杆323中，且此时夹爪安装板311外侧侧壁抵持于定位竖杆323内侧侧壁，震动将沿定位竖杆323传递至夹爪安装板311上，并使得压缩槽317进行压缩缓冲，且此时由于夹爪安装板311被向外扩展打开，将使得扩展条342外壁不再抵持于夹爪安装板311内壁，当震动时，能够为扩展条342提供缓冲减震空间，使得扩展条342能够在震动力作用下跟随向外扩展拉伸，缓冲焊接时的震动，保证焊接过程的平稳进行。

安装过程：将多个张紧组件20等距阵列设置于焊接桁架10顶面周缘，多个夹爪组件30固定安装于多个张紧组件20中，滑轨安装于焊接桁架10顶面周缘，滑轨长度方向与焊接桁架10长度方向或宽度方向平行设置，电机连接板22底部滑动地安装于滑轨顶部，气缸连接座23底面固定安装于电机连接板22顶面中部，夹紧气缸24固定安装于气缸连接座23顶部，两个夹爪安装板311一端分别固定安装于夹紧气缸24的两个同步输出轴27中，压缩滑移轴312两端分别滑动地安装于两个夹爪安装板311上的压缩滑槽313中，两个过渡部316内侧侧壁分别固定安装于限位部314两侧，两个过渡部316半径由内向外逐渐减少，两个滑移部315内侧侧壁分别固定安装于两个过渡部316外侧侧壁，两个滑移部315分别滑动地安装于两个夹爪安装板311上的压缩滑槽313中，且限位部314外壁抵持于气缸伸缩杆26端壁，将两个从动竖杆321底端分别转动地安装于限位部314两端，从动转动轴322中部两端分别安装于两个第一转动孔325中，两个定位竖杆323内侧侧壁中部分别转动地安装于从动转动轴322两端，定位块324顶面两侧分别与两个定位竖杆323顶面固定连接，将夹爪轴332两端分别转动地安装于两个夹爪安装板311内侧侧壁邻近张紧工作槽11一端，两个夹爪331顶部分别转动地安装于夹爪轴332中部两端，两个夹爪331外侧侧壁远离张紧工作槽11一端分别与两个定位竖杆323内侧侧壁底端转动连接，弧形板36安装于弧形板安装槽341中，夹爪横板35一侧固定安装于夹爪竖板34底面外侧，弧形扩展板361一端固定安装于弧形板安装槽341中，滑移安装板362固定安装于弧形扩展板361另一端，且弧形扩展板361向外侧倾斜设置，转动柱364两端转动地安装于两个定位竖杆323内侧侧壁底部，弧形对接部351固定安装于夹爪竖板34底面外侧。

本发明能够实现：

1.本发明更加方便调节、省时提效，调节张紧力更加精准，误差范围在±5N，传统弹簧机构只能通过目视标尺上刻度和弹簧常数计算得出张紧力，误差范围在±50N，这对于高精度产品来说是不可忍受的，而采用本发明对薄板的夹持紧密、不起皱，可以有效控制薄板张紧后的整体平面度＜0.05mm，保证了后续焊接的可靠性和稳定性。

2.本发明的装配简单、机构简单，过程更好把控，组装精度更好保证，且能够确保夹紧装置在夹设薄板时能够提供足够的紧密度和稳定性，通过夹爪安装元件31、从动元件32及夹爪元件33的协同作用，能够提供夹紧装置在夹设薄板时所需的紧密度、稳定性和减震能力，确保焊接过程的平稳进行。

3.本发明通过调节夹紧气缸24而直接调节张紧力，省时提效，传统弹簧机构操作人员调试工时为150min左右，而使用本机构操作人员所用工时在30min以内。

以上所述实施方式仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：包括焊接桁架（10）、多个张紧组件（20）及多个夹爪组件（30），焊接桁架（10）顶面贯穿凹设有张紧工作槽（11），多个张紧组件（20）等距阵列设置于焊接桁架（10）顶面周缘，多个夹爪组件（30）固定安装于多个张紧组件（20）中，每个张紧组件（20）包括张紧电机模组（21）、电机连接板（22）、气缸连接座（23）及夹紧气缸（24），张紧电机模组（21）包括驱动电机及滑轨，滑轨安装于焊接桁架（10）顶面周缘，滑轨长度方向与焊接桁架（10）长度方向或宽度方向平行设置，且张紧电机模组（21）内配备限位开关，限位开关带保护功能，用以防止行程超限，电机连接板（22）底部滑动地安装于滑轨顶部，电机连接板（22）顶面邻近张紧工作槽（11）一端形成有粗糙面（25），用以增加夹爪组件（30）在保持张紧时对金属掩膜板的摩擦力，气缸连接座（23）底面固定安装于电机连接板（22）顶面中部，夹紧气缸（24）固定安装于气缸连接座（23）顶部，夹紧气缸（24）设置有两个同步输出轴（27），两个同步输出轴（27）分别设置于夹紧气缸（24）两侧侧壁邻近张紧工作槽（11）一端，用于驱动夹爪组件（30）旋转以夹紧金属掩膜板，夹紧气缸（24）邻近张紧工作槽（11）一端中部还凸设有气缸伸缩杆（26）。

2.根据权利要求1所述的金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：每个夹爪组件（30）包括夹爪安装元件（31）、从动元件（32）及夹爪元件（33），夹爪安装元件（31）一端固定安装于夹紧气缸（24）的同步输出轴（27）中，从动元件（32）安装于夹爪安装元件（31）中部，夹爪元件（33）安装于夹爪安装元件（31）邻近张紧工作槽（11）一端。

3.根据权利要求2所述的金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：夹爪安装元件（31）包括两个夹爪安装板（311）及压缩滑移轴（312），两个夹爪安装板（311）一端分别固定安装于夹紧气缸（24）的两个同步输出轴（27）中，两个夹爪安装板（311）侧壁中部均贯穿凹设有压缩滑槽（313），压缩滑槽（313）长度方向与夹爪安装板（311）长度方向相同，且压缩滑槽（313）内部宽度由夹紧气缸（24）向张紧工作槽（11）一端逐渐减少，压缩滑移轴（312）两端分别滑动地安装于两个夹爪安装板（311）上的压缩滑槽（313）中，且压缩滑移轴（312）外壁抵持于气缸伸缩杆（26）端壁。

4.根据权利要求3所述的金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：压缩滑移轴（312）包括限位部（314）、两个过渡部（316）及两个滑移部（315），两个过渡部（316）内侧侧壁分别固定安装于限位部（314）两侧，两个过渡部（316）半径由内向外逐渐减少，两个滑移部（315）内侧侧壁分别固定安装于两个过渡部（316）外侧侧壁，两个滑移部（315）分别滑动地安装于两个夹爪安装板（311）上的压缩滑槽（313）中，且限位部（314）外壁抵持于气缸伸缩杆（26）端壁，每个滑移部（315）外侧侧壁邻近张紧工作槽（11）一端均凹设有压缩槽（317）。

5.根据权利要求4所述的金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：从动元件（32）包括两个从动竖杆（321）、从动转动轴（322）、两个定位竖杆（323）及定位块（324），两个从动竖杆（321）底端分别转动地安装于限位部（314）两端，两个从动竖杆（321）侧壁顶端分别贯穿凹设有第一转动孔（325），从动转动轴（322）中部两端分别安装于两个第一转动孔（325）中，两个定位竖杆（323）内侧侧壁中部分别转动地安装于从动转动轴（322）两端，定位块（324）顶面两侧分别与两个定位竖杆（323）顶面固定连接。

6.根据权利要求5所述的金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：夹爪元件（33）包括夹爪轴（332）、两个夹爪（331）及夹爪插销（333），夹爪轴（332）两端分别转动地安装于两个夹爪安装板（311）内侧侧壁邻近张紧工作槽（11）一端，两个夹爪（331）顶部分别转动地安装于夹爪轴（332）中部两端，两个夹爪（331）外侧侧壁远离张紧工作槽（11）一端分别与两个定位竖杆（323）内侧侧壁底端转动连接，两个夹爪（331）侧壁中部均凹设有插销槽（334），夹爪插销（333）两端插设于两个插销槽（334）中。

7.根据权利要求6所述的金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：每个夹爪（331）包括夹爪竖板（34）、弧形板（36）及夹爪横板（35），夹爪竖板（34）远离张紧工作槽（11）一端端壁顶部角部处凹设有弧形板安装槽（341），夹爪竖板（34）顶面另一端向外侧倾斜地凸设有扩展条（342），扩展条（342）顶面凸设有安装竖板（343），安装竖板（343）侧壁凹设有第二转动孔（344），第二转动孔（344）转动地安装于夹爪轴（332）中部一端，插销槽（334）形成于夹爪竖板（34）侧壁邻近张紧工作槽（11）一端中部，弧形板（36）安装于弧形板安装槽（341）中，夹爪横板（35）一侧固定安装于夹爪竖板（34）底面外侧。

8.根据权利要求7所述的金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：每个弧形板（36）包括弧形扩展板（361）及滑移安装板（362），弧形扩展板（361）一端固定安装于弧形板安装槽（341）中，滑移安装板（362）固定安装于弧形扩展板（361）另一端，且弧形扩展板（361）向外侧倾斜设置，滑移安装板（362）侧壁贯穿凹设有滑移孔（363），两个弧形板（36）的滑移孔（363）之间转动地设置有转动柱（364），转动柱（364）两端转动地安装于两个定位竖杆（323）内侧侧壁底部。

9.根据权利要求8所述的金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：夹爪横板（35）一侧侧壁凸设有弧形对接部（351），弧形对接部（351）固定安装于夹爪竖板（34）底面外侧，夹爪横板（35）远离张紧工作槽（11）一端向上凸设有弧形压缩部（352）。

10.根据权利要求9所述的金属掩膜板焊接设备的张紧机构，其特征在于：夹爪插销（333）半径由中间向两端逐渐增大，以使得两个夹爪竖板（34）内侧侧壁相互抵持设置。