CN117465147A - 干燥设备及干燥方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种干燥设备及干燥方法，其中，所述干燥设备包括：壳体，包括干燥腔；支撑组件，位于所述干燥腔内，并具有空腔，所述空腔包括中部和围绕所述中部的边缘部；以及降压组件，包括连通所述空腔的抽气管道；其中，所述干燥设备还包括调压组件，所述调压组件包括连通所述边缘部的导气管，所述导气管用于在所述降压组件对所述空腔内的气体进行抽气时对所述空腔的所述边缘部进行供气。本发明中，通过在干燥设备中设置降压组件和调压组件，在对所述空腔内的气体进行抽出时，可同步对所述空腔的所述边缘部进行供气，从而使得所述边缘部和所述中部的气体的抽速均等，避免了因干燥速度不一导致基板的显示效果不佳。
Description
技术领域
本发明涉及真空干燥技术领域，具体涉及一种干燥设备及干燥方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)器件具有自发光、视角广、对比度高、响应速度快、轻薄、可弯折等特点，已成为显示技术的主要趋势。与真空热蒸镀技术相比，喷墨打印技术具有材料利用率高(＞98％)、无需使用精细金属掩模版(FMM)，以及可以用于制作大尺寸OLED显示装置等优点，从而成为大尺寸OLED器件及显示装置的主流制造方案。
喷墨打印OLED器件的制作流程主要为：打印→真空干燥→烘烤，其中，打印是将墨水打印到对应的像素中，真空干燥(Vacuum Dehydration，VCD)是在真空的条件下将打印墨水(简称为墨水)中的溶剂挥发，形成固体薄膜，烘烤是在高温的环境下使打印材料相互交联，并去除薄膜中的残余溶剂，真空干燥(VCD)是决定成膜的关键环节，会直接影响到成膜均一性，是影响器件发光效率和器件寿命的关键因素之一。
然而，在真空干燥过程中，因真空干燥设备的真空腔室的边缘部分气体最先被抽走，使得OLED基板上边缘部位的打印膜层的溶剂的挥发速度的比中间部位的打印膜层的溶剂的挥发速度快，导致OLED基板上边缘部位的打印膜层的干燥形貌与中间部位的打印膜层的干燥形貌存在差异，从而造成OLED基板进行画面显示时容易出现不同区域的亮度不均匀(mura)的现象。
发明内容
本发明的实施例提供一种干燥设备及干燥方法，以改善现有的真空干燥工序易导致显示基板显示效果不佳的问题。
第一方面，本发明的实施例提供一种干燥设备，包括：
壳体，包括干燥腔；
支撑组件，位于所述干燥腔内，并具有空腔，所述空腔包括中部和围绕所述中部的边缘部；以及
降压组件，包括连通所述空腔的抽气管道；
其中，所述干燥设备还包括调压组件，所述调压组件包括连通所述边缘部的导气管，所述导气管用于在所述降压组件对所述空腔内的气体进行抽气时对所述空腔的所述边缘部进行供气。
在本发明的一些实施例中，所述导气管所提供的气体为惰性气体，当对所述空腔内的气体进行抽气时，所述边缘部的惰性气体的浓度高于所述中部的惰性气体的浓度。
在本发明的一些实施例中，所述支撑组件包括载台、位于所述载台下方的温控板以及位于所述载台上方的冷凝板，其中，所述温控板和所述冷凝板形相对设置形成所述空腔。
在本发明的一些实施例中，所述温控板的面积大于所述载台的面积，所述温控板与所述载台的未重叠区域内围绕所述载台设置有多个第一固定孔，所述导气管的出口端固定于所述第一固定孔内。
在本发明的一些实施例中，所述冷凝板上设置有多个第二固定孔，所述导气管的出口端固定于所述第二固定孔内。
在本发明的一些实施例中，所述导气管的出口端固定于所述干燥腔的内壁，且所述出口端的开口连通所述边缘部。
在本发明的一些实施例中，所述支撑组件还包括设置于所述干燥腔底面上的对所述温控板进行升降的第一支撑件，设置于所述温控板上的对所述载台进行升降的第二支撑件，以及设置于所述干燥腔顶部的对所述冷凝板进行固定的第一固定件。
在本发明的一些实施例中，还包括监测组件，用于对所述空腔的所述中部的压强和所述边缘部的压强进行监测。
第二方面，本发明的实施例提供了一种使用所述干燥设备的干燥方法，包括步骤：
将待干燥的基板支撑于所述支撑组件，所述基板的中部位于所述空腔的所述中部内，所述基板的边缘部位于所述空腔的所述边缘部内；
对所述空腔内的气体进行抽气；
通过所述导气管向所述空腔的所述边缘部通入惰性气体。
在本发明的一些实施例中，所述惰性气体为氮气、氩气或氦气中的一种，且所述惰性气体的流量为0-1000sccm。
在本发明的实施例提供的干燥设备中，通过在干燥设备中设置降压组件和调压组件，在与所述空腔连通的所述抽气管道对所述空腔内的气体进行抽出时，可同步通过所述导气管对所述空腔的所述边缘部进行供气，从而使得所述边缘部和所述中部的气体的抽速均等，进而使得放置于所述空腔内进行干燥的基板的中部和边缘部的干燥速度相当，避免了因干燥速度不一导致基板的显示效果不佳的技术问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明提供的现有技术中的真空干燥的示意图；
图2是本发明的实施例提供的干燥装置的结构示意图；
图3是本发明的实施例提供的干燥装置的另一结构示意图；
图4是本发明的实施例提供的干燥装置的另一结构示意图；
图5时本发明的实施例提供的支撑组件的结构示意图；
图6是本发明的实施例提供的干燥方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。
在现有技术中，如图1所示，采用真空干燥的工序将将墨水中的溶剂抽走留下溶质，从而形成OLED功能层，然而，在真空干燥的过程中，因基板边缘部分的气体最先抽走，而基板中间部分的气体后抽走，导致边缘部分的墨水干燥的较快，中间部分的墨水干燥的较慢，由于干燥速度存在的差异，使得位于中间部分的墨水干燥后的形貌也与边缘部分的墨水干燥后的形貌存在偏差，进而造成基板中间区域和边缘区域的显示存在差异，通常成为Corner Mura。
为了缩小干燥后基板不同区域的墨水的形貌差异，本发明的实施例提供了一种干燥设备，如图2所示，所述干燥设备包括：壳体10、支撑组件、降压组件和调压组件，其中，所述壳体10包括干燥腔100，所述支撑组件位于所述干燥腔100内，并具有空腔200，所述空腔200包括中部210和围绕所述中部210的边缘部220，所述降压组件包括连通所述空腔200的抽气管道300，所述调压组件包括连通所述边缘部220的导气管400，所述导气管400用于在所述降压组件对所述空腔200内的气体进行抽气时对所述空腔200的所述边缘部220进行供气。
本实施例中，通过在干燥设备中设置降压组件和调压组件，在与所述空腔200连通的所述抽气管道300对所述空腔200内的气体进行抽出时，可同步通过所述导气管400对所述空腔200的所述边缘部220进行供气，从而使得所述边缘部220和所述中部210的气体的抽速均等，进而使得放置于所述空腔200内进行干燥的基板的中部和边缘部的干燥速度相当，避免了因干燥速度不一导致基板的显示效果不佳的技术问题。
进一步地，所述导气管400所提供的气体为惰性气体，当对所述空腔200内的气体进行抽气时，所述边缘部220的惰性气体的浓度高于所述中部210的惰性气体的浓度。
其中，通过向所述边缘部220充入所述惰性气体，所述边缘部220的惰性气体的浓度高于所述中部210的惰性气体的浓度，虽然所述边缘部220的气体要比所述中部210的气体优先被抽走，但在本实施例中，通过在所述边缘部220充入有所述惰性气体，充入的所述惰性气体可填补所述边缘部220相较于所述中部210优先抽走的部分气体，同时，通过对充入的所述惰性气体的流量进行控制，即可实现所述边缘部220和所述中部210的气体的抽速均等。
其中，所述降压组件还包括与所述抽气管道300相连通的抽气单元，例如，抽气泵，所述抽气单元位于所述壳体10外侧，以用于抽出所述干燥腔100内的气体，所述调压组件还包括与所述导气管400相连通的供气单元，所述供气单元位于所述壳体10外侧，以用于对所述空腔200的所述边缘部220进行供气，提供的气体为所述惰性气体，优选地，所述惰性气体为氮气、氦气或氩气中的一种，通常为了节约成本，选用氮气作为所述惰性。
具体地，所述支撑组件包括载台230、位于所述载台230下方的温控板240以及位于所述载台230上方的冷凝板250，其中，所述温控板240和所述冷凝板250形相对设置形成所述空腔200。
在本实施例中，所述空腔200为相对设置的所述温控板240和所述冷凝板250形成空间，其中，所述温控板240与所述载台230相接触，通过所述温控板240可实现对所述载台230的温度调控，进而可实现对放置于所述载台230上的基板的干燥温度的调控。
可理解地，通常所述温控板240的设定温度大于所述冷凝板250的设定温度，一方面，所述温控板240的温度较高，与所述温控板240相接触的所述载台230的温度也较高，从而有利于放置于所述载台230上的基板内的油墨的溶剂挥发，另一方面，挥发的溶剂在所述冷凝板250表面遇冷，可降低所述空腔200内的溶剂的气体浓度，也有利于基板内的油墨的溶剂挥发形成功能层。
在一具体实施例中，如图2所示，所述温控板240的面积大于所述载台230的面积，所述温控板240与所述载台230的未重叠区域内围绕所述载台230设置有多个第一固定孔，所述导气管400的出口端固定于所述第一固定孔内。
在本实施例中，在所述温控板240上围绕所述载台230均匀地设置有多个第一固定孔，所述导气管400的数量与所述第一固定孔的数量相同，所述导气管400的出口端固定于所述第一固定孔内，使得所述导气管400能够稳定的从所述温控板240一侧向所述空腔200的所述边缘部220进行供气。
在另一具体实施例中，如图3所示，在所述冷凝板250上设置有多个第二固定孔，所述导气管400的出口端固定于所述第二固定孔内。
在本实施例中，对所述冷凝板250的面积不做具体限定，所述冷凝板250的面积可大于、小于或等于所述载台230的面积，其中，所述导气管400的数量与所述第二固定孔的数量相同，所述导气管400的出口端固定于所述第二固定孔内，使得所述导气管400能够稳定的从所述冷凝板250一侧向所述空腔200的所述边缘部220进行供气。
在另一具体实施例中，如图4所示，所述导气管400的出口端固定于所述干燥腔100的内壁，且所述出口端的开口连通所述边缘部220。
在本实施例中，所述导气管400的出口端可通过一固定件固定设置于所述干燥腔100的内壁，其中，所述出口端的开口连通所述边缘部220，以便于向所述边缘部220进行供气，优选地，所述出口端的水平高度介于所述温控板240的水平高度与所述冷凝板250的水平高度之间。
需说明的是，图2至图4中所述的气体即为充入的惰性气体。
进一步地，在本实施例中，如图5所示，所述支撑组件还包括设置于所述干燥腔100底面上的对所述温控板240进行升降的第一支撑件260，设置于所述温控板240上的对所述载台230进行升降的第二支撑件270，以及设置于所述干燥腔100顶部的对所述冷凝板250进行固定的第一固定件280。
可理解地，为了方便基板在所述载台230上的放置与取出，本实施例中，将所述温控板240和所述载台230均设置为高度可调节，其中，所述温控板240通过设置于所述干燥腔100底面上的所述第一支撑件260实现升降，所述载台230通过设置于所述温控板240上的所述第二支撑件270进行升降，当需要将基板取出或进行放置时，可通过所述第一支撑件260降低所述温控板240的高度，其后，通过所述第二支撑件270降低所述载台230的高度，从而为基板的取出或放置预留足够的空间，此处所提及的高度均以所述干燥腔100的底面为基准，即调节的是相对所述干燥腔100的底面的高度。优选地，所述第一支撑件260和所述第二支撑件270为顶针(Lift Pin)。
同时，在本实施例中，通过将所述温控板240设置为高度可调节，还可以实现对所述温控板240和所述冷凝板250所形成所述空腔200的调节，通过对所述空腔200以及对所述导气管400的气流量的不同调控有利于实现所述空腔200的所述边缘部220和所述中部210的气体的抽速均等。
更进一步地，所述干燥设备还包括监测组件，用于对所述空腔200的所述中部210的压强和所述边缘部220的压强进行监测。
在本实施例中，为了更精准地实现所述空腔200的所述中部210和所述边缘部220的抽速的均等，通过设置于所述干燥腔100内的所述监测组件对所述空腔200的所述210的压强和所述边缘部220的压强进行监测，可理解地，在未抽气前，所述空腔200内的所述中部210和所述边缘部220的压强相同，而在进行抽气后，所述空腔200的所述边缘部220的气体较所述中部210的气体优先被抽走，从而使得所述中部210的气体要多于所述边缘部220的气体，即所述中部210的压强要高于所述边缘部220的压强，通过向所述边缘部220充入气体，可以有效增加所述边缘部220的压强，因此，通过设置监测组件，通过所述监测组件对所述空腔200内的不同位置的压强进行监测，有利于实时对所述导气管400内的气流进行调控。
具体地，若监测到所述边缘部220的压强小于所述中部210的压强，则增大所述导气管400内的气流，若监测到所述边缘部220的压强大于所述中部210的压强，则减小所述导气管400内的气流。
另一方面，本发明的实施例还提供有一种使用所述干燥箱的干燥方法，如图6所示，包括步骤：
S10、将待干燥的基板支撑于所述支撑组件，所述基板的中部位于所述空腔的所述中部内，所述基板的边缘部位于所述空腔的所述边缘部内；
S20、对所述空腔内的气体进行抽气；
S30、通过所述导气管向所述基板的空腔的所述边缘部通入惰性气体。
本实施例中，在开始对所述空腔内的气体进行抽气后，随即通过所述导气管对所述空腔的所述边缘部通入惰性气体，通过对所述边缘部的气体进行补充，可有效地维持所述边缘部和所述中部的压强的一致性，从而使得所述基板上的溶剂的挥发速率一致，避免了因溶剂的挥发速率存在差异，导致所制备的显示基板的显示效果不佳。
具体地，所述惰性气体为氮气、氩气或氦气中的一种，且所述惰性气体的流量为0-1000sccm。
可理解地，在本实施例中，所述惰性气体仅用于平衡所述空腔200内的气压，避免所述边缘部220因抽走的气体较所述中部210的较多，从而导致所述边缘部220的气压低于所述中部210的气压，优选地，所述惰性气体未氮气、氩气或氦气等常用的惰性气体。
本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (10)
1.一种干燥设备，其特征在于，包括：
壳体，包括干燥腔；
支撑组件，位于所述干燥腔内，并具有空腔，所述空腔包括中部和围绕所述中部的边缘部；以及
降压组件，包括连通所述空腔的抽气管道；
其中，所述干燥设备还包括调压组件，所述调压组件包括连通所述边缘部的导气管，所述导气管用于在所述降压组件对所述空腔内的气体进行抽气时对所述空腔的所述边缘部进行供气。
2.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述导气管所提供的气体为惰性气体，当对所述空腔内的气体进行抽气时，所述边缘部的惰性气体的浓度高于所述中部的惰性气体的浓度。
3.根据权利要求2所述的干燥设备，其特征在于，所述支撑组件包括载台、位于所述载台下方的温控板以及位于所述载台上方的冷凝板，其中，所述温控板和所述冷凝板形相对设置形成所述空腔。
4.根据权利要求3所述的干燥设备，其特征在于，所述温控板的面积大于所述载台的面积，所述温控板与所述载台的未重叠区域内围绕所述载台设置有多个第一固定孔，所述导气管的出口端固定于所述第一固定孔内。
5.根据权利要求3所述的干燥设备，其特征在于，所述冷凝板上设置有多个第二固定孔，所述导气管的出口端固定于所述第二固定孔内。
6.根据权利要求3所述的干燥设备，其特征在于，所述导气管的出口端固定于所述干燥腔的内壁，且所述出口端的开口连通所述边缘部。
7.根据权利要求3-6中任一所述的干燥设备，其特征在于，所述支撑组件还包括设置于所述干燥腔底面上的对所述温控板进行升降的第一支撑件，设置于所述温控板上的对所述载台进行升降的第二支撑件，以及设置于所述干燥腔顶部的对所述冷凝板进行固定的第一固定件。
8.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，还包括监测组件，用于对所述空腔的所述中部的压强和所述边缘部的压强进行监测。
9.一种使用如权利要求1-8中任一项所述干燥设备的干燥方法，其特征在于，包括步骤：
将待干燥的基板支撑于所述支撑组件，所述基板的中部位于所述空腔的所述中部内，所述基板的边缘部位于所述空腔的所述边缘部内；
对所述空腔内的气体进行抽气；
通过所述导气管向所述空腔的所述边缘部通入惰性气体。
10.根据权利要求9所述的干燥方法，其特征在于，所述惰性气体为氮气、氩气或氦气中的一种，且所述惰性气体的流量为0-1000sccm。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |