CN117405090A - 标记、标记的制造方法以及检测对象物 - Google Patents

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Abstract

本发明提供标记、标记的制造方法以及检测对象物。标记(1)具备：基材层(10)；第1层(20)，其层叠于基材层(10)的一个面上，被观察为第1颜色；以及第2层(30)，其部分地层叠于第1层(20)上，被观察为与第1颜色不同的第2颜色，并且局部遮蔽第1层(20)，第1层(20)能够在未层叠第2层(30)的区域内被观察到，第2层(30)由抗蚀剂材料构成。

Description

标记、标记的制造方法以及检测对象物
本申请是分案申请，其原申请的申请号为202180012380.9，申请日为2021年1月29日，发明名称为“标记、标记的制造方法以及检测对象物”。
技术领域
本发明涉及标记、标记的制造方法以及检测对象物。
背景技术
各种自动控制设备为了识别对象物而将标记安装于对象物，以实现高精度的自动控制。这样的标记例如被用于生产现场的机器人的控制或者被用于航天任务。
以往，作为该标记，出于能够简单地制作的理由，广泛使用在纸上印刷有印记的标记。但是，在这样的简易的标记中，印记的边界线不清楚，或者由于纸的伸缩而使得印记的大小或多个印记的间隔发生变化，在需要高精度的控制的情况下，无法确保充分的精度。
因此，作为实现高精度的标记的技术，在专利文献1中公开了通过切削加工在金属板上开孔并埋入树脂来制成标记的技术。但是，在专利文献1的技术中，由于需要使机械加工的精度为高精度，因此标记的制作花费很多工夫，另外，在提高精度方面也存在极限。另外，在专利文献1的技术中，根据观察环境的不同，有时太阳光或照明光等在金属板的表面或树脂的表面上被表面反射，从而无法正确地识别出标记。
另外，各种自动控制设备为了识别对象物而将标记安装于对象物以实现高精度的自动控制。这样的标记例如被用于生产现场的机器人的控制，或者被用于航天任务。
作为运动跟踪系统用的目标，在专利文献2中记载了如下技术：在透明的基板的正反面上分别形成图案，由此显示出莫尔条纹。
但是，在专利文献2所公开的技术中，莫尔条纹虽然显示，但被图案自身遮光，所显示的莫尔条纹看起来非常暗，因此实用性很低。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平5-312521号公报
专利文献2：美国专利第8625107号说明书
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的课题在于提供一种制造容易且高精度的标记。
本发明的另一课题在于提供一种能够明亮地显示莫尔条纹的标记。
本发明的另一课题在于提供一种即使在太阳光或照明光等照射到标记物上这样的环境下也容易进行识别的标记物。
用于解决课题的手段
本发明通过以下这样的解决手段来解决上述课题。此外，为了容易理解，标注与本发明的实施方式对应的标号来进行说明，但并不限定于此。
第1发明为一种标记(1、1B、1C)，其具备：基材层(10)；第1层(20、20C)，其层叠于所述基材层(10)的观察侧，被观察为第1颜色；以及第2层(30、30C)，其部分地层叠于所述第1层(20、20C)的观察侧，被观察为与所述第1颜色不同的第2颜色，并且部分地遮蔽所述第1层(20、20C)，所述第1层(20、20C)能够在未层叠所述第2层(30、30C)的区域中被观察到，所述第2层(30、30C)由抗蚀剂材料构成。
第2发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第1发明所述的标记(1、1B、1C)中，所述第1层(20、20C)由抗蚀剂材料构成。
第3发明是一种标记(1C)，其特征在于，在第1发明或第2发明所述的标记(1C)中，所述第2层(30C)的遮蔽基底的遮蔽能力比所述第1层(20C)高。
第4发明是一种标记(1C)，其特征在于，在第1发明至第3发明中的任意一项所述的标记中，所述第2层(30C)的层厚为5μm以下。
第5发明是一种标记(1C)，其特征在于，在第1发明至第4发明中的任意一项所述的标记(1C)中，具备掩埋所述第1层与所述第2层在层叠方向上的阶梯差的平坦化层(91)。
第6发明是一种标记(1C)，其特征在于，在第5发明所述的标记(1C)中，所述第2层(30C)与所述平坦化层(91)在层叠方向上的阶梯差为5μm以下。
第7发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第1发明至第6发明中的任意一项所述的标记(1、1B、1C)中，进一步层叠有保护所述第1层(20、20C)和所述第2层(30、30C)的保护层(70、70C)。
第8发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第7发明所述的标记(1、1B、1C)中，所述保护层(70、70C)具备防反射功能。
第9发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第1发明至第8发明中的任意一项所述的标记(1、1B、1C)中，所述基材层(10)的线膨胀系数为10×10-6/℃以下。
第10发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第1发明至第9发明中的任意一项所述的标记(1、1B、1C)中，所述基材层(10)由玻璃构成。
第11发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第1发明至第10发明中的任意一项所述的标记(1、1B、1C)中，所观察到的所述第1颜色与所述第2颜色的对比度值为0.26以上，且所观察到的所述第1颜色与所述第2颜色的模糊值为1.0以上。
第12发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第1发明至第11发明中的任一项所述的标记(1、1B、1C)中，所述第1颜色和所述第2颜色中的一方为白色，另一方为黑色。
第13发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第11发明所述的标记(1、1B、1C)中，在使用特定波长区域的光进行观察的情况下，所述第1颜色与所述第2颜色的对比度值为0.26以上，在可见光下，所述第1颜色与所述第2颜色的对比度值为1.0以下。
第14发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第13发明所述的标记(1、1B、1C)中，所述特定波长区域为780nm以上的近红外线波长区域。
第15发明是一种标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第1发明至第14发明中的任意一项所述的标记(1、1B、1C)中，所述第1层(20)和所述第2层(30)的一方能够作为独立的形状的印记来观察，所述印记隔开间隔地配置有3个以上。
第16发明是一种多标记附带体(100)，其附带有多个第15发明所述的标记(1、1B、1C)，其特征在于，1个多标记附带体内的所述印记(2)的外形形状、以及各个所述标记(1、1B、1C)中的所述印记(2)的排列间距的尺寸偏差均为±10μm以下。
第17发明是一种标记(1、1B、1C)的制造方法，其具备：第1层形成工序，在由玻璃构成的基材层(10)的一个面上层叠被观察为第1颜色的由抗蚀剂材料构成的第1层(20、20C)；第1曝光工序，对所述第1层(20、20C)进行曝光；第1显影工序，对所述第1层(20、20C)进行显影；第1烘烤工序，对所述第1层(20、20C)进行烘烤；第2层形成工序，在稳定后的所述第1层(20、20C)上层叠被观察为第2颜色的由抗蚀剂材料构成的第2层(30、30C)；第2曝光工序，在所述第2层(30、30C)上曝光出印记图案；第2显影工序，对所述第2层(30、30C)进行显影；以及第2烘烤工序，对所述第2层(30、30C)进行烘烤。
第18发明是一种用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记(1、1B、1C)，其特征在于，具备：基材层(10)；第1层(20、20C)，其层叠于所述基材层(10)的观察侧，且层叠于所述基材层(10)的整个面，并且被观察为第1颜色；以及第2层(30、30C)，其部分地层叠于所述第1层(20、20C)的观察侧，被观察为与所述第1颜色不同的第2颜色，并且部分地遮蔽所述第1层(20、20C)，所述第1层(20、20C)能够在未层叠所述第2层(30、30C)的区域中被观察到，所述基材层(10)的线膨胀系数为10×10-6/℃以下。
第19发明是一种用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第18发明所述的标记(1、1B、1C)中，所述基材层(10)由玻璃构成。
第20发明是一种用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第18发明或第19发明所述的标记(1、1B、1C)中，所述第1层(20、20C)和所述第2层(30、30C)的一方能够作为独立的形状的印记(2)进行观察，所述印记(2)隔开间隔地配置有3个以上。
第21发明是一种用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第20发明所述的标记(1、1B、1C)中，所述印记(2)在板状的标记(1、1B、1C)的周边部隔开间隔地配置有3个以上。
第22发明是一种用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记(1、1B、1C)，其特征在于，在第21发明所述的标记(1、1B、1C)中，所述用于识别的图形是2维条形码、3维条形码、QR码以及ArUco中的任一个。
第23发明是一种标记(1)，其特征在于，在第1发明至第22发明、或者第18发明至第22发明中的任一项所述的标记中，具备：第1图案(23)，其设置于所述基材层(10)的一个面上的至少一部分区域，在该第1图案(23)中，多个第1显示线(21)在一定的排列方向上等间隔地排列；和第2图案(43)，其在所述基材层(10)的厚度方向上与所述第1图案(23)隔开间隔地设置，在该第2图案(43)中，多个第2显示线(41)在所述一定的排列方向上等间隔地排列，所述标记具有通过所述第1图案(23)与所述第2图案(43)的组合来显示莫尔条纹的莫尔条纹显示区域(3、4)，在将相邻的所述第1显示线(21)之间的未设置所述第1显示线(21)的部位作为第1非显示区域(22)、并将相邻的所述第2显示线(41)之间的未设置所述第2显示线(41)的部位作为第2非显示区域(42)时，所述第1非显示区域(22)的宽度与所述第2非显示区域(42)的宽度不同。
第24发明是一种标记(1)，其特征在于，在第23发明所述的标记(1)中，所述第1非显示区域(22)的宽度比所述第2非显示区域(42)的宽度宽，设置有所述第1图案(23)的一侧为观察侧。
第25发明是一种标记(1)，其特征在于，在第24发明所述的标记(1)中，在与所述观察侧相反的一侧即背面侧，以至少掩埋所述第2非显示区域(42)的方式层叠有反射层(50)。
第26发明是一种标记(1)，其特征在于，在第25发明所述的标记(1)中，所述反射层(50)覆盖所述第2图案(43)的整体而层叠。
第27发明是一种标记(1)，其特征在于，在第23发明至第26发明中的任一项所述的标记(1)中，所述第1显示线(21)的宽度与所述第2显示线(41)的宽度不同。
第28发明是一种标记(1)，其特征在于，在第27发明所述的标记(1)中，所述第1显示线(21)的宽度比所述第2显示线(41)的宽度细。
第29发明是一种标记(1)，其特征在于，在第23发明至第28发明中的任一项所述的标记(1)中，排列所述第1显示线(21)的间距即第1间距与排列所述第2显示线(41)的间距即第2间距不同。
第30发明是一种标记(1)，其特征在于，在第29发明所述的标记(1)中，所述第1间距比所述第2间距宽。
第31发明是一种标记(1)，其特征在于，在第23发明至第30发明中的任意一项所述的标记(1)中，所述莫尔条纹显示区域(3、4)以所述一定的排列方向成为多个不同的方向的方式设置于多个区域。
第32发明是一种标记(1)，其特征在于，在第23发明至第31发明中的任一项所述的标记(1)中，能够作为独立的形状观察到的印记(2)隔开间隔地配置于至少3个部位。
第33发明是一种标记(1)，其特征在于，在第23发明至第32发明中的任意一项所述的标记(1)中，该标记(1)用于检测观察位置与该标记(1)的相对倾斜的角度。
第34发明是一种标记(1)，其特征在于，在第1发明至第15发明、第18发明至第33发明中的任一项所述的标记中，所述标记用于检测相对于观察位置的距离和相对于观察位置的相对倾斜的角度中的至少一方，所述标记在最正面设置有光扩散层(80)。
第35发明是一种标记(1)，其特征在于，在第34发明所述的标记(1)中，所述光扩散层(80)在表面具备微细凹凸形状。
第36发明是一种标记(1)，其特征在于，在第34发明或第35发明所述的标记(1)中，所述光扩散层(80)在内部包含光扩散颗粒。
第37发明是一种标记(1)，其特征在于，在第34发明至第36发明中的任一项所述的标记(1)中，能够作为独立的形状观察到的印记(2)隔开间隔地配置于至少3个部位。
第38发明是一种标记(1)，其特征在于，在第37发明所述的标记(1)中，所述光扩散层(80)覆盖所述印记(2)，且在比所述印记(2)大的范围内设置成岛状。
第39发明是一种标记(1)，其特征在于，在第37发明所述的标记(1)中，所述独立的形状的印记(2)与其周边部的颜色的反射率不同，且所述光扩散层(80)跨着所述印记(2)与其周边部的边界而设置。
第40发明是一种标记(1)，其特征在于，在第34发明至第39发明中的任一项所述的标记(1)中，具备：透明的基材层(10)；第1图案(23)，其设置于所述基材层(10)的一个面上的至少一部分区域，在该第1图案(23)中，多个第1显示线(21)在一定的排列方向上等间隔地排列；以及第2图案(43)，其在所述基材层(10)的厚度方向上与所述第1图案(23)隔开间隔地设置，在该第2图案(43)中，多个第2显示线(41)在所述一定的排列方向上等间隔地排列，所述标记(1)具有通过所述第1图案(23)与所述第2图案(43)的组合来显示莫尔条纹的莫尔条纹显示区域(3、4)。
第41发明是一种标记(1)，其特征在于，在第40发明所记载的标记(1)中，
所述光扩散层(80)覆盖所述莫尔条纹显示区域(3、4)，且在大于所述莫尔条纹显示区域(3、4)的范围内设置成岛状。
第42发明是一种标记(1)，其特征在于，在第40发明所述的标记(1)中，所述光扩散层(80)跨着所述莫尔条纹显示区域(3、4)与其周边部的边界而设置。
第43发明是一种标记(1)，其特征在于，在第1发明至第15发明、第18发明至第42发明中的任一项所述的标记(1)中，该标记(1)被安装于检测对象物来使用。
第44发明是安装有第43发明所述的标记(1)的检测对象物(P)。
发明的效果
根据本发明，能够提供制造容易且高精度的标记。
另外，根据本发明，能够提供一种能够明亮地显示莫尔条纹的标记。
另外，根据本发明，能够提供一种即使在太阳光或照明光等照射到标记上这样的环境下也容易进行识别的标记。
附图说明
图1是示出第1实施方式的标记1的图。
图2是在图1中的箭头A-A的位置将标记切断的剖视图。
图3是示出标记1的制造工序的图。
图4是将拍摄本实施方式和比较例的印记2的结果局部放大后示出的图。
图5是示出相对于第1层20的黑与第2层30的白的边界处的位置变化的、光强度变化的图。
图6是示出第2实施方式的标记1B的图。
图7是示出第3实施方式的标记1C的图。
图8是在图7中的箭头B-B的位置处将标记切断的剖视图。
图9是示出标记1C的制造工序的图。另外，图9与图8相反地示出正反(上下)面。
图10是示出多标记附带体100的图。
图11是示出设置有电极层95的方式的图。
图12是示出在第1实施方式中将第1层20设为白色、将第2层30设为黑色的变形方式的图。
图13是示出在第1实施方式中将第1层20设为白色、将第2层30设为黑色的变形方式的图。
图14是示出在第3实施方式中将第1层20C设为黑色、将第2层30C设为白色的变形方式的图。
图15是示出在第3实施方式中将第1层20C设为黑色、将第2层30C设为白色的变形方式的图。
图16是示出在第1实施方式的第2层30的开口部30a设置有平坦化层91的变形方式的剖视图。
图17是示出本发明的标记的第4实施方式的图。
图18是在图17中的箭头A-A的位置将标记切断的剖视图。
图19是为了说明产生不需要的莫尔条纹的原因而将第2图案43附近放大的图。
图20是说明第1图案23和第2图案43的详细情况的图。
图21是示出从斜方向观察标记1的状态的图。
图22是示出本发明的标记的第5实施方式的图。
图23是在图22中的箭头A-A的位置将标记切断的剖视图。
图24是示出光扩散层80的效果的曲线图。
图25是示出从斜方向观察标记1的状态的图。
图26是示出调换了第1层20和第2层30的颜色的变形方式的图。
图27是示出本发明的标记的第5实施方式的图。
图28是示出安装有第5实施方式的标记1的托盘P的图。
标号说明
1、1B、1C：标记；
2：印记；
3、4：莫尔条纹显示区域；
10：基材层；
20、20C：第1层；
21：第1显示线；
22：第1非显示区域；
23：第1图案；
30、30C：第2层；
30a：开口部；
31：开口部；
32：开口部；
40：第3层；
41：第2显示线；
42：第2非显示区域；
43：第2图案；
50：反射层；
60：粘接层；
70：保护层；
71：树脂基材层；
72：正面层；
80：光扩散层；
81：树脂基材层；
82：正面层；
91：平坦化层；
92：中间层；
100：多标记附带体。
具体实施方式
以下，参照附图等对用于实施本发明的最佳方式进行说明。
(第1实施方式)
图1是示出第1实施方式的标记1的图。
图2是在图1中的箭头A-A的位置将标记切断的剖视图。
另外，包括图1和图2在内，以下所示的各图是示意性地示出的图，为了容易理解，适当夸张或省略地示出各部分的大小、形状。
另外，在以下的说明中，示出具体的数值、形状、材料等来进行说明，但能够将它们适当变更。
在本说明书中，使用了板、片、膜等用语，但对于它们来说，作为一般的使用方法，按照厚度从厚到薄的顺序，以板、片、膜的顺序来使用，在本说明书中也按照这一规则使用。但是，在这样的区分使用中，由于没有技术上的意义，因此能够适当地替换这些语句。
另外，在本发明中，透明是指至少使所利用的波长的光透过。例如，即使是不透过可见光的材料，但只要是透过红外线的材料，在用于红外线用途的情况下，也视为透明。
此外，在本说明书以及权利要求书中规定的具体的数值应作为包含一般的误差范围的数值来处理。即，±10％左右的差异实质上没有差异，对于在稍微超过本发明的数值范围的范围内设定数值的情况，实质上应该解释为处于本发明的范围内。
关于标记1，如图1所示，在从设置有后述的保护层70的正面的法线方向观察时，标记1构成为大致正方形形状的板状，并且，在标记1上配置有多个印记2。在本实施方式中，从正面侧观察的形状形成为60mm×60mm的大致正方形形状(在各角部具有倒角形状)，圆形状的印记2在标记1的4角附近各配置1个，合计4个印记隔开间隔地配置。印记2优选配置有至少3个。这是因为，如果根据印记2的观察结果例如计算3处印记2的重心位置，则能够准确地检测出观察位置(照相机等)与标记1的相对位置、倾斜度、姿势。另外，如果印记2的数量多于3个，则例如在一部分印记2因某种故障而被不清晰地观察到的情况下，能够根据剩余的印记2的观察结果来进行位置检测。另外，通过利用多个印记2，还能够提高位置检测的精度。
标记1例如能够粘贴于载置货物的托盘等测量对象物的侧面等，并在具备照相机的自动驾驶叉车等的自动驾驶控制中被利用。即，根据照相机的拍摄结果，能够准确地掌握叉车与托盘的相对位置关系，从而能够基于该相对位置关系来控制叉车的运转。对于这样的用途，标记1的从正面侧观察的尺寸优选为100mm×100mm以下的大小，但根据本实施方式的标记1，即使是这样小的尺寸，也能够进行非常高精度的位置检测。
此外，标记1的外形不限于上述例子，例如能够适当变更为10mm×10mm、20mm×20mm、40mm×40mm、44mm×44mm、80mm×80mm等。
另外，在本实施方式中，印记2构成为圆形状，但不限于圆形状，也可以是三角形、四边形等多边形形状，还可以是其他形状。标记1被用于根据如何观察该印记2来检测拍摄位置与标记1的相对位置关系(以下，也简称为位置检测)。
标记1从背面侧依次层叠有基材层10、第1层20、第2层30、粘接层60和保护层70而构成为薄的板状。并且，在本说明书及权利要求书的记载中，“层叠”不限于直接重合配置的情况，也包括在它们之间设置其他层而重合配置的情况。另外，图2中的上侧(设置有保护层70的一侧)为观察侧(正面侧)。
基材层10由玻璃板构成。通过由玻璃板构成基材层10，能够抑制标记1因温度变化或吸湿而伸缩。玻璃板的线膨胀系数例如为31.7×10-7/℃左右，由温度变化引起的尺寸变化非常小。另外，陶瓷的线膨胀系数例如为28×10-7/℃左右，与玻璃相同，由温度变化引起的尺寸变化非常小。因此，也可以将陶瓷用于基材层。为了抑制由温度变化引起的尺寸变化，基材层10的线膨胀系数优选为10×10-6/℃以下。
基材层10的层厚优选为0.3mm以上且2.3mm以下。这是因为，若基材层10的层厚小于0.3，则可能会在切断加工时发生破裂，因此不能追加加工，若基材层10的层厚在2.3以上，则在形成后述的拼版基板的情况下，重量过大而不能输送。
第1层20由着色为黑色(第1颜色)的抗蚀剂材料形成，其层叠于基材层10上的整个面。另外，在图2中，阴影线表示黑色，在以下的其他剖视图中也是同样的。
在本说明书和权利要求书的记载中，“抗蚀剂材料”是指包含颜料或染料的具有感光性的树脂组合材料。构成本实施方式的第1层20的抗蚀剂材料是对在光刻工序中使用的具备感光性的抗蚀剂材料进行显影处理的结果为失去感光性后的状态的抗蚀剂材料。作为用于第1层20(黑色的情况)的抗蚀剂材料，例如可例示出PMMA、ETA、HETA、HEMA、或者它们与环氧树脂的混合物。作为着色为黑色的材料，可以例示出碳、黑化钛、氧化镍等。
在本实施方式中，由于由抗蚀剂材料形成第1层20，因此能够非常平滑地形成第1层20的表面，其作为形成后述的第2层30的基底是优选的。另外，能够在第1层20的外周部形成形成第2层时的对准标记(未图示)，因此能够提高尺寸精度。
第1层20(黑色的情况)的层厚优选设为1μm以上且5μm以下。这是因为，在第1层20的层厚为1μm以下时，无法均匀形成，在第1层20的层厚为5μm以上时，基于紫外线的树脂固化反应性不足。
第2层30由着色为白色(第2颜色)的抗蚀剂材料形成，第2层30在第1层20上部分地开口并层叠。构成本实施方式的第2层30的抗蚀剂材料是对在光刻工序中使用的具有感光性的抗蚀剂材料进行显影处理的结果为失去感光性后的状态的抗蚀剂材料。作为用于第2层30(白色的情况)的抗蚀剂材料，例如可例示出PMMA、ETA、HETA、HEMA、或者它们与环氧树脂的混合物等。作为着色为白色的材料，可以例示出氧化钛、氧化锆、钛酸钡等。
在第2层30上设置有4处开口部30a，其中，该开口部30a是通过后述的光刻处理而局部地开口从而使第1层20可视化的开口部。即，第2层30部分地遮蔽第1层20，未被遮蔽的区域(未层叠有第2层30的区域)为开口部30a。通过该开口部30a而可视化的第1层20的区域构成为：能够作为独立的形状的印记2来进行观察。另外，所谓独立的形状的印记是指：多个印记不相连，分别成为能够单独识别的形态。
第2层30(在白色的情况下)的层厚优选为3μm以上且100μm以下。这是因为，如果第2层30的层厚比3μm薄，则基底的第1层20会被透视观察到，从而对比度降低，印记2的视觉辨认性(基于自动识别的检测容易度)降低。另外，若第2层30的层厚比100μm厚，则在从斜方向观察印记2的情况下，在开口部30a的周缘部成为第2层30的阴影而导致看不到第1层20的区域增大，观察到的印记2的形状的变形增大。
关于印记2，第1层20的颜色与第2层30的颜色的对比度值较高，这对于精度更高的检测而言是优选的。在白色光(可见光)下使用的本实施方式的结构中，优选的是，第1层20的颜色(第1颜色)与第2层30的颜色(第2颜色)的对比度值为0.26以上，并且观察到的第1层20的颜色(第1颜色)与第2层30的颜色(第2颜色)的模糊值为0.17以上。关于对比度值和模糊值，在后面使用图5进行叙述。
粘接层60是用于将保护层70粘贴在第2层30上的粘接剂的层。粘接层60由透明的粘接剂构成，以便能够观察第1层20和第2层30。粘接层60例如可以使用PMMA、聚氨酯、硅酮等构成。
粘接层60的层厚优选为0.5μm以上且50μm以下。这是因为，若粘接层60的层厚小于0.5μm，则难以进行均匀的加工，而且无法吸收基底的凹凸。另外，这是因为，若粘接层60的层厚比50μm厚，则在厚涂加工时的溶剂去除方面会花费很多时间，从而导致成本升高。并且，这里所说的粘接层60的层厚是指厚度最薄的位置处的层厚。
保护层70是保护第1层20和第2层30的层，其隔着粘接层60粘贴在第2层30上。保护层70具有树脂基材层71和正面层72。树脂基材层71例如可以使用氯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、环烯烃聚合物、三乙酰纤维素等来构成。正面层72例如可以使用混合有微粒而具有使光扩散的性质的丙烯酸系树脂、溶胶凝胶、硅氧烷、聚硅氮烷等来构成，但在对树脂基材层71的表面进行压花加工等而使表面形状成为凹凸形状从而赋予使光扩散的性质的情况下，能够省略正面层72。此外，通过对保护层70如上述那样追加光扩散作用，也能够具有作为光扩散层的功能。
树脂基材层71在一个面上层叠有粘接层60，在另一个面上层叠有正面层72。树脂基材层71由透明的树脂构成，以便能够观察第1层20和第2层30。
在本实施方式中，设想在可见光下利用标记1，粘接层60和树脂基材层71构成为对白色光透明。具体而言，优选的是，粘接层60和树脂基材层71各自在光的波长为400nm～700nm的区域中的总透光率为50％以上。更优选的是，在一并测量粘接层60和树脂基材层71的状态下，光的波长为400nm～700nm的区域中的总透光率为50％以上。
树脂基材层71的层厚优选为7μm以上且250μm以下。这是因为，若树脂基材层71的层厚小于7μm，则难以进行层压加工。另外，若树脂基材层71的层厚比250μm厚，则体积、重量变得过大，而且成本升高。
另外，树脂基材层71的折射率优选为1.45以上且1.55以下。
正面层72也可以是兼具防反射功能和硬涂层功能的层。关于正面层72，对于波长为535nm的光的正反射率优选为1.5％以下，以防止印记2的视觉辨认性因标记1的正面的反射而降低。例如，在为了观察标记1而使用以包围照相机的透镜周围的方式配置的环状照明等的情况下，存在照明自身在标记1的正面反射而被观察到的情况。在这样的情况下，通过正面层72的防反射功能来防止或抑制表面反射，由此能够更明确地识别印记2的轮廓，从而能够进行高精度的检测。另外，作为正面层72的硬涂层功能，优选铅笔硬度为1H以上。
正面层72例如可以使用溶胶凝胶、硅氧烷、聚硅氮烷等构成。
并且，作为防反射功能的具体方式，可以列举出防反射(AR)和防眩光方式(AG)，但在太阳光等强力光线不发生正反射的条件下，为了识别印记2，优选AR方式。在存在太阳光等强力光线发生正反射的可能性的条件下，为了识别印记2，优选AG方式。AR方式可以通过多层薄膜干涉、蛾眼方式等公知的方法来制作，AG方式可以通过使膜的表面凹凸、将使光扩散的颗粒混入膜中、涂布于膜的表面等公知的方法来制作。
另外，作为粘接层60与保护层70的合计特性，总透光率优选为85％以上。这是因为，若该总透光率小于85％，则无法确保充分的光量。
另外，作为粘接层60与保护层70的合计特性，雾度值优选为30％以上，更优选为40％以上，进一步优选为70％以上。其原因在于，若该雾度值低于70％，则防反射的效果开始降低，若为40％以下，则进一步降低，若为30％以下，则显著降低。另一方面，雾度值优选为95％以下。这是因为，若该雾度值高于95％，则观察到的印记的像模糊。
接着，对本实施方式的标记1的制造方法进行说明。
图3是示出标记1的制造工序的图。另外，图3与图2相反地示出正反(上下)。
首先，准备玻璃板，将其作为基材层10(图3的(a))。
接着，在基材层10的一个面上涂布作为第1层20的原材料的着色为黑色的抗蚀剂材料(第1层形成工序)，进行预烘烤，使其固化，然后，利用光源LS对其进行曝光(第1显影工序)，进而进行显影和后烘烤(第1烘烤工序)，使第1层20稳定化(图3的(b))。
接着，在第1层20上涂布作为第2层30的原材料的着色为白色的抗蚀剂材料(第2层形成工序)，进行预烘烤，使其固化(图3的(c))。
接着，使掩模M紧贴在固化后的第2层30上，在第2层30上曝光出印记图案(第2曝光工序)(图3的(d))。在掩模M上预先形成有掩模图案，该掩模图案的与印记2对应的部分以外的部分使光透过，与印记2对应的部分将光遮蔽。
接着，通过对曝光完毕的第2层30进行显影来去除与印记2对应的位置处的抗蚀剂材料，形成开口部30a(第2显影工序)(图3的(e))。另外，在显影后，对第2层30进行后烘烤(第2烘烤工序)。
最后，通过粘接层60将另外准备的膜状或片状的保护层70粘贴在第2层30上，完成标记1(图3的(f))。
由于本实施方式的标记1使用抗蚀剂材料，因此印记2的轮廓形状被非常高精度地制作，能够通过所观察到的印记2的形状进行更高精度的控制。为了容易理解地表示该事实，实际制作本实施方式的标记1的轮廓形状和比较例，比较后的结果如下所示。
在比较例中，使用激光打印机在纸上印刷了印记2的形状。
图4是将拍摄本实施方式和比较例的印记2的结果局部放大后示出的图。图4的(a)表示本实施方式，图4的(b)表示比较例。另外，在图4中，示出了将黑色和白色的中间值作为阈值进行2值化的情况。
在印记2的拍摄中，使用了基恩士株式会社制的数字显微镜VHX-5500(1/1.8型CMOS图像传感器，有效像素为1600(H)×1200(V))。拍摄时的印记2与透镜前端的距离为15mm。
如图4所示，关于本实施方式的标记1，印记2的周缘部的轮廓形状由非常平滑的曲线(圆弧)表现。与此相对，在比较例中，即使从远处看起来是圆，但若放大观察，则轮廓形状也会从圆弧较大程度地走样。
另外，在图4中，虽然没有表现为2值化，但在实际的拍摄结果中，关于比较例，不是黑和白的2灰度，中间灰度的存在很显著。因此，特别是在比较例中，可以认为，根据拍摄条件(观察条件)、或者黑与白的边界的判别方法(阈值)，作为印记2的外形形状而掌握的形状会发生变化，这是不优选的。为了易于将其与本实施方式的情况进行比较，基于拍摄数据对光强度相对于黑与白的边界处的位置变化的变化进行了图表化。
图5是示出光强度相对于第1层20的黑与第2层30的白的边界处的位置变化的变化的图。在图5中，纵轴的强度低的一方在黑色侧可见，强度高的一方在白色侧可见。另外，横轴与拍摄数据的像素对应，但以2个折线数据不重合的方式使基准位置错开来表示，因此绝对值本身没有意义。该横轴的像素数值的变化对应于位置变化，100像素相当于1mm。另外，图5中的实施方式和比较例分别与图4所示的实施方式和比较例相同。
如上所述，第1层20的颜色(第1颜色)与第2层30的颜色(第2颜色)的对比度值优选为0.26以上。
对比度值优选为0.26以上的理由在于，可以想到，如果对比度值小于0.26，则使用了照相机的印记2的自动检测变得困难。
在此，关于对比度值，在将光强度的最大值设为Imax、将最小值设为Imin时，对比度值＝(Imax-Imin)/(Imax+Imin)。
在图5所示的例子中，本实施方式的对比度值为0.98，比较例的对比度值为0.98，在两者间未能确认到较大的差异。
另外，如上所述，所观察的第1层20的颜色(第1颜色)与第2层30的颜色(第2颜色)的模糊值优选为1.0以上。
特别是在用于高精度的控制的情况下，不希望印记的边界变得模糊，因此希望黑色侧与白色侧的边界部分处的强度变化为矩形波状、或者变化陡峭。
根据图5的数据，将黑色侧与白色侧的边界部分处的强度变化数值化并进行比较。具体而言，对于在图5中的折线中表示为LA、LB的范围的数据，以其斜率进行数值化。在此，关于该范围LA、LB的确定方法，设为能够充分地进行直线近似的范围。即，对强度变化大的范围求出近似直线，测量数据不背离的范围为上述范围LA、LB。在上述范围LA、LB中，作为强度变化的斜率值(模糊值)，求出(强度变化量)/(像素变化量)。其结果是，在本实施方式中，强度变化的斜率值(模糊值)为1.29。另一方面，在比较例中，强度变化的斜率值(模糊值)为0.87。这样，在两者之间确认到明显的差异，本实施方式的结构是更接近理想的优选方式。
如以上说明的那样，根据本实施方式，由于利用了光刻，因此不需要高精度的机械加工，能够简单地制造，并且能够成为高精度的标记。
另外，在本实施方式的标记1中，能够使第2层30的厚度非常薄，即使在从斜方向观察的情况下，也能够抑制印记2的形状被变形地观察到的情况，从而能够进行精度更高的位置检测。
(第2实施方式)
图6是示出第2实施方式的标记1B的图。
第2实施方式的标记1B除了更多地配置有印记2这一点以外，采用与第1实施方式的标记1相同的方式。因此，对起到与上述的第1实施方式相同的功能的部分标注相同的标号，并适当省略重复的说明。
在第2实施方式的标记1B中，与第1实施方式相比配置了更多的印记2。具体而言，印记2在标记1B上呈格子状隔开间隔地配置有9个。
如之前说明的那样，印记2优选配置有至少3个。这是因为，如果根据印记2的观察结果例如计算3处印记2的重心位置，则能够准确地检测出观察位置(照相机等)与标记1的相对位置、倾斜度。另外，如果印记2的数量多于3个，则例如在一部分印记2因某种故障而被不清晰地观察到的情况下，能够根据剩余的印记2的观察结果来进行位置检测。另外，通过利用多个印记2，还能够提高位置检测的精度。
在第2实施方式中，印记2的数量为9个，与第1实施方式相比大幅增加。由此，除了上述效果以外，还能够期待以下的效果。
例如，即使在由于标记1B的一半以上的区域无法被适当地拍摄(观察)而使得未被适当地拍摄(观察)的印记2较多的情况下，也能够通过剩余的印记2的拍摄(观察)来提高能够适当地进行位置检测的可能性。作为标记1B的一半以上的区域无法被适当地拍摄(观察)的状况，例如有如下状况：太阳光直接照射到标记1B的一半以上的区域，或者太阳光未照射到剩余的区域。在这样的情况下，若在一方使曝光(增益)适当，则另一方成为曝光过度或者曝光不足。另外，也能够例示出如下的情况：其他物体与拍摄光轴中的一部分物理地重合，从而无法拍摄(观察)到标记1B的一半以上的区域。
关于印记2的数量，若假定图6所示那样的大致正方形的标记，则在印记2的数量为9个以上时，容易均等地配置印记2，因此优选。另外，印记2的数量可以更多，不限于均等的配置，也可以是随意配置、即所谓的随机配置。另外，即使在设为随机配置的情况下，只要预先得到标记1B中的印记2的配置数据，也能够容易地进行位置检测。另外，通过设为随机配置，即使在标记1B与拍摄位置(观察位置)的关系旋转180度那样的情况下，也能够准确地掌握两者的相对位置关系。
如以上说明的那样，根据第2实施方式，标记1B具备9个以上的印记2。因此，即使在更严峻的拍摄条件下(观察条件下)，也能够适当地进行位置检测。
(第3实施方式)
图7是示出第3实施方式的标记1C的图。
图8是在图7中的箭头B-B的位置将标记切断的剖视图。
第3实施方式的标记1C除了如下方面外形成为与第1实施方式的标记1相同的形态：将印记的观察形态设为与第1实施方式相同，并且将第1层20C设为白色，将观察侧的第2层30C设为黑色而构成；设置有平坦化层91以及中间层92；以及，保护层70C的形态不同。因此，对起到与上述的第1实施方式相同的功能的部分标注相同的标号，并适当省略重复的说明。
第3实施方式的标记1C从背面侧依次层叠有基材层10、第1层20C、中间层92、第2层30C、粘接层60和保护层70C而构成为薄的板状。另外，在未设置第2层30C的周围的区域设置有平坦化层91。
第1层20C由着色为白色(第1颜色)的抗蚀剂材料形成，其层叠于基材层10上的整个面。并且，在本实施方式中，基材层10使用厚度为700μm的无碱玻璃。
在本实施方式中，由于通过抗蚀剂材料形成第1层20C，因此能够非常平滑地形成第1层20C的表面，其作为形成后述的第2层30C的基底是优选的。另外，能够在第1层的外周部形成形成第2层时的对准标记(未图示)，因此能够提高尺寸精度。
第1层20C(在白色的情况下)的层厚优选为3μm以上且100μm以下。这是因为，如果第1层20C的层厚比3μm薄，则漫反射率不足，对比度降低，从而印记2的视觉辨认性(基于自动识别的检测容易度)降低。另外，如果第1层20C的层厚比100μm厚，则难以使膜厚均匀。
在本实施方式中，第1层20C的层厚为15μm。
第2层30C由着色为黑色(第2颜色)的抗蚀剂材料形成。
关于第2层30C，设置有4处通过后述的光刻处理而局部成膜从而将第1层20C遮蔽的部位。第2层30C的区域构成为能够作为独立形状的印记2进行观察。
第2层30C的层厚优选设为1μm以上且5μm以下。这是因为，如果第2层30C的层厚为1μm以下，则无法均匀地形成，如果为5μm以上，则基于紫外线的树脂固化反应性不足。
在第3实施方式中，将第2层30C设为黑色，因此基底的遮蔽能力高。因此，能够在不加厚第2层30C的情况下充分地遮蔽第1层20C的白色，因此能够设为上述那样的较薄的层厚。而且，通过较薄地形成第2层30C，也能够抑制因观察到第2层30C的端面所引起的测量精度的降低，从而能够提高测量精度。
在本实施方式中，第2层30C的层厚为1μm。
在本实施方式的标记1C中，在第1层20C与第2层30C之间层叠有中间层92。中间层92是为了消除不能充分得到第1层20C与第2层30C的接合力的情况而设置的。在第1层20C上直接层叠第2层30C的情况下，存在第2层30C被第1层20C排斥的情况，在这样的情况下，通过设置难以排斥的中间层92，能够适当地层叠第2层30C。因此，对于中间层92，只要根据需要设置即可，也可以如第1实施方式那样省略。
中间层92例如可以使用丙烯酸树脂等形成，层厚为1μm～2μm左右即可，在本实施方式中，以2μm形成丙烯酸树脂。
由于在基材层10上层叠第1层20或20C、进而在其上层叠第2层30或30C的关系，在构图后的第2层30或30C中产生阶梯差。在第1实施方式的第2层30的情况下，与印记2相当的部分的截面形状成为凹状，在第3实施方式的第2层30C的情况下，与印记2相当的部分的截面形状成为凸状。
因此，在贴合后述的保护层70的情况下，虽然上述的阶梯差在某种程度上被粘接层60掩埋，但若上述的阶梯差较大，则无法被粘接层掩埋，空气层(空隙)有可能进入阶梯差附近。空气层的折射率为1，与基材等的折射率1.4～1.6位相比明显较低，因此在物质的界面处产生光的反射，这成为用照相机检测印记2时的干扰光，检测精度显著降低。因此，为了抑制空气层的派生，第2层30、30C的膜厚优选为5μm以下，更优选为3μm以下，进一步优选为2μm以下。
但是，如之前说明的第1实施方式那样，在使第2层30为白色的情况下，基底的遮蔽能力比是黑色时差，因此有时不希望变薄，从而有可能导致上述阶梯差变大。
因此，在无法使上述的阶梯差为5μm以下的情况下，能够在第2层30、30C的周围的区域且未设置第2层30、30C的区域内设置平坦化层91，从而使空气层无法进入。平坦化层91优选由能够识别出印记2的透明材料形成，能够使用丙烯酸系材料、环氧系材料等已知的材料。
在第3实施方式中，例示了设置平坦化层91来减小上述阶梯差的方式。通过设置平坦化层91，能够进一步减小第2层30C与平坦化层91的阶梯差。另外，在第3实施方式中，第2层30C为黑色，遮蔽能力较高，能够形成得较薄，因此也可以省略平坦化层91。
保护层70C是保护第1层20C和第2层30C的层，其隔着粘接层60粘贴在第2层30C和平坦化层91上。在第3实施方式中，例示了保护层70C以单层形成的例子，具体而言，使用了由氯乙烯树脂形成为70μm的、雾度值为75的消光膜。
接着，对本实施方式的标记1C的制造方法进行说明。
图9是示出标记1C的制造工序的图。另外，图9与图8相反地示出正反(上下)。
首先，准备玻璃板，将其作为基材层10(图9的(a))。
接着，在基材层10的一个面上涂布成为第1层20的原材料的着色为白色的抗蚀剂材料(第1层形成工序)，进行预烘烤，使其干燥，然后，利用光源LS对其进行曝光(第1显影工序)，进而进行显影和后烘烤(第1烘烤工序)，使第1层20C稳定化(图9的(b))。
接着，在第1层20C上形成中间层92，进而在其上涂布成为第2层30C的原材料的着色为黑色的抗蚀剂材料(第2层形成工序)，进行预烘烤，使其干燥(图9的(c))。
接着，使掩模M紧贴于干燥后的第2层30C上而在第2层30C上曝光出印记图案(第2曝光工序)(图9的(d))。在掩模M上预先形成有掩模图案，该掩模图案在与印记2对应的位置使光透过，在其他部位对光进行遮光。
接着，通过对曝光完毕的第2层30C进行显影，由此除去与印记2对应的部分以外(印记2周边)的抗蚀剂材料，形成开口部30a(第2显影工序)(图9的(e))。另外，在显影后，对第2层30C进行后烘烤(第2烘烤工序)。另外，在未形成第2层30C的区域(除去了抗蚀剂材料的区域)设置平坦化层91。
最后，通过粘接层60将另外准备的膜状或片状的保护层70粘贴在第2层30C及平坦化层91上，完成标记1C(图9的(f))。
图10是示出多标记附带体100的图。
在上述图9中说明的标记1C的制造是作为如下这样的多标记附带体100来制造的：将多个标记1C排列配置，即，附带有多个标记1C。然后，从该多标记附带体100切出各个标记1C而实现单片化，由此得到标记1C。
在上述制造工序中，由于使用抗蚀剂材料并利用曝光工序，因此能够实现精度非常高的制造。即，1个多标记附带体100内的印记2的外形形状、以及各个标记1C中的印记2的排列间距的尺寸偏差均可以设为±10μm以下。更具体而言，在本实施方式中，1个多标记附带体100内的印记2的外形形状、以及各个标记1C中的印记2的排列间距的尺寸偏差均为±1μm以下。此外，在本实施方式中，印记2的外形形状是印记2的直径，各个标记1C中的印记2的排列间距是图10所示的Px、Py。
如以上说明的那样，根据第3实施方式，将设置于观察侧的第2层30C设为黑色，将第1层20C设为白色。由此，第2层30C的针对基底的遮蔽能力变高，因此能够使第2层30C的层厚比第1实施方式薄。因此，能够极力减少在观察由第2层30C构成的印记2时由于观察到第2层30C的侧端面所引起的、针对测量精度的影响，从而能够实现精度更高的测量。
另外，根据第3实施方式，通过设置平坦化层91，能够抑制因层叠粘接层60所引起的空隙的产生，从而能够抑制测量精度的降低。
在上述的第1实施方式至第3实施方式的标记1、1B、1C中，保护层70、70C隔着粘接层60层叠配置。通过该结构，标记1、1B、1C具有非常高的可靠性。例如，在使用中某些物体与标记1、1B、1C发生碰撞等的情况下，由于基材层10为玻璃板，因此可以想到基材层10会产生裂纹。但是，由于保护层70、70C隔着粘接层60层叠，因此保护层70、70C作为飞散防止层发挥功能，防止基材层10的碎片飞散。另外，即使在基材层10产生裂纹的情况下，第1层20、20C和第2层30、30C也不会受到损伤，能够维持作为印记的功能。
推测这是由于：第1层20、20C和第2层30、30C的相对于基材层10的接合力比相对于粘接层60的接合力弱，因此第1层20、20C和第2层30、30C追随粘接层60，由此避免了损伤。因此，第1层20、20C和第2层30、30C的相对于基材层10的接合力优选比第1层20、20C和第2层30、30C的相对于粘接层60的接合力弱。并且，即使基材层10产生裂纹，第1层20、20C和第2层30、30C也不会损伤，这一点通过基于实物的落下试验得到了验证。
另外，如上所述，即使基材层10产生裂纹，从观察侧观察也无法确认到基材层10的裂纹。因此，也可以在基材层10的背侧设置损伤检测用的传感器。
图11是示出设置有电极层95的形态的图。
电极层95能够构成于基材层10的背侧的大致整个面上，能够作为损伤检测用的传感器发挥功能。作为电极层95，例如可以是ITO，也可以是铜箔、铝箔等，但需要在基材层10损伤时与基材层10一起损伤。如果电极层95损伤、电阻值发生变化，则通过在电学上对其进行监视，能够检测出基材层10的损伤。
另外，通过由光反射性高的金属等材料构成电极层95，能够使外部光、检测光在电极层95上反射而提高暗处的印记2的视觉辨认性。
此外，在设置电极层95的情况下，也可以省略保护层70C。
(第4实施方式)
图17是示出本发明的标记的第4实施方式的图。
此外，包括图17在内，以下所示的各图是示意性地示出的图，为了容易理解，适当夸张或省略地示出各部分的大小、形状。
另外，在以下的说明中，示出具体的数值、形状、材料等来进行说明，但它们能够适当变更。
在本说明书中，使用了板、片、膜等用语，但对于它们来说，作为一般的使用方法，按照厚度从厚到薄的顺序，以板、片、膜的顺序使用，在本说明书中也按照该顺序使用。但是，在这样的区分使用中，由于没有技术上的意义，所以能够适当地替换这些语句。
另外，在本发明中，透明是指至少使所利用的波长的光透过。例如，即使是不透过可见光的材料，只要是透过红外线的材料，在用于红外线用途的情况下，也视为透明。
此外，在本说明书以及权利要求书中规定的具体的数值应作为包含一般的误差范围的数值来处理。即，±10％左右的差异实质上没有差异，对于在稍微超过本发明的数值范围的范围内设定数值的情况，实质上应该解释为处于本发明的范围内。
关于标记1，如图17所示，在从设置有后述的保护层70的正面的法线方向观察时，其构成为大致正方形形状的板状，且具备印记2和莫尔条纹显示区域3、4。在本实施方式中，从正面侧观察的形状形成为60mm×60mm的正方形形状。标记1根据如何观察印记2来检测拍摄位置与标记1的相对位置关系(以下，也简称为位置检测)，进而，根据如何观察莫尔条纹显示区域3、4所显示的莫尔条纹，能够实现精度更高的位置检测。并且，标记1的在图17中所示的面为被观察的正面侧(正面)，其相反侧为背面侧(背面)，在后述的图18中，设置有保护层70的一侧为被观察的正面侧(正面)。
关于印记2，在图17中的上侧的2个角附近配置有2处，在下侧的左右中央附近配置有1处，合计3个印记隔开间隔地配置。印记2构成为能够作为独立的形状的印记进行观察。另外，所谓独立的形状的印记是指：多个印记不相连，且分别成为能够单独识别的形态。
印记2优选配置有至少3个。这是因为，如果根据印记2的观察结果例如计算3处印记2的重心位置，则能够准确地检测出观察位置(照相机等)与标记1的相对位置、倾斜度。另外，如果印记2的数量多于3个，则例如在一部分印记2因某种故障而被不清晰地观察到的情况下，能够根据剩余的印记2的观察结果来进行位置检测。另外，通过利用多个印记2，还能够提高位置检测的精度。
另外，在本实施方式中，印记2构成为圆形状，但不限于圆形状，也可以是三角形、四边形等多边形形状，还可以是其他形状。
莫尔条纹显示区域3、4显示莫尔条纹M。在图17中，莫尔条纹显示区域3、4两者均显示出莫尔条纹M显示于莫尔条纹显示区域3、4的中央的状态。若标记1与观察位置的相对位置(角度)变化，则显示该莫尔条纹M的位置移动。在本实施方式中，莫尔条纹显示区域3、4的长边方向的长度均为30mm，莫尔条纹M所显示的位置沿着所述长边方向移动。莫尔条纹显示区域3与莫尔条纹显示区域4是以其长度方向正交的方式配置的。显示区域3、4除了配置方向不同以外具有相同的结构，因此，在以下的说明中，对显示区域3进行说明。
图18是在图17中的箭头A-A的位置将标记切断的剖视图。
标记1具备基材层10、第1层20、第2层30、第3层40、反射层50、粘接层60和保护层70，且构成为薄的板状。这些层层叠的顺序为从背面侧起依次为反射层50、第3层40、基材层10、第1层20、第2层30、粘接层60、保护层70。
基材层10由玻璃板构成。通过由玻璃板构成基材层10，能够抑制标记1因温度变化或吸湿而伸缩。玻璃板的线膨胀系数例如为31.7×10-7/℃左右，由温度变化引起的尺寸变化非常小。另外，陶瓷的线膨胀系数例如为28×10-7/℃左右，与玻璃相同，由温度变化引起的尺寸变化非常小。因此，也可以将陶瓷用于基材层。为了抑制由温度变化引起的尺寸变化，基材层10的线膨胀系数优选为35×10-6/℃以下。
基材层10的层厚优选为0.3mm以上且2.3mm以下。这是因为，如果基材层10的层厚小于0.3mm，则在切断加工时会发生破裂，因此无法追加加工，如果比2.3mm厚，则重量过大而无法输送。本实施方式的基材层10的层厚为0.7mm。
第1层20由着色为黑色(第1颜色)的抗蚀剂材料形成。构成本实施方式的第1层20的抗蚀剂材料是对在光刻工序中使用的具备感光性的抗蚀剂材料进行显影处理的结果为失去感光性后的状态的抗蚀剂材料。作为用于第1层20(黑色的情况)的抗蚀剂材料，例如可列举出PMMA、ETA、HETA、HEMA或者它们与环氧树脂的混合物。此外，作为着色为黑色的材料，能够例示出碳、黑化钛、氧化镍等。
在本实施方式中，由于由抗蚀剂材料形成第1层20，因此能够非常平滑地形成第1层20的正面，作为形成后述的第2层30的基底是优选的。另外，由于通过抗蚀剂材料形成第1层20，因此能够高精度且简单地制作以下说明的第1图案23。
第1层20(黑色的情况)的层厚优选设为1μm以上且5μm以下。这是因为，当第1层20的层厚为1μm以下时，无法均匀形成，如果比5μm厚，则树脂的基于紫外线的固化反应性不足。
第1层20构成印记2的看起来为黑色的部分。另外，第1层20构成用于在莫尔条纹显示区域3显示莫尔条纹的第1图案23。第1图案23配置于基材层10的一个面上(正面上)的成为莫尔条纹显示区域3的区域。
在第1图案23中，在莫尔条纹显示区域3的长边方向上，第1显示线21在一定的排列方向上以等间隔排列。相邻的第1显示线21之间的未设置第1显示线21的部位是第1非显示区域22，从而形成为第1显示线21和第1非显示区域22交替地排列的结构。第1图案23通过光刻处理而形成。
第2层30由着色为白色(第2颜色)的抗蚀剂材料形成。构成本实施方式的第2层30的抗蚀剂材料是对在光刻工序中使用的具有感光性的抗蚀剂材料进行显影处理的结果为失去感光性后的状态的抗蚀剂材料。作为用于第2层30(白色的情况)的抗蚀剂材料，例如可例示出PMMA、ETA、HETA、HEMA、或它们与环氧树脂的混合物等。此外，作为着色为白色的材料，能够例示出氧化钛、氧化锆、钛酸钡等。
在第2层30中，在3个部位设置有将成为印记2的位置开口而使第1层20可视化的开口部31，另外，在2个部位设置有将成为莫尔条纹显示区域3、4的位置开口而使第1层20及第3层40可视化的开口部32。这些开口部31和开口部32通过光刻处理而形成。
第2层30的层厚优选为3μm以上且100μm以下。这是因为，如果第2层30的层厚比3μm薄，则基底的第1层20会被透视观察到，从而对比度降低，印记2的视觉辨认性(基于自动识别的检测容易度)降低。另外，若第2层30的层厚比100μm厚，则在从斜方向观察印记2的情况下，在开口部31的周缘部成为第2层30的阴影而导致看不到第1层20的区域增大，从而，所观察到的印记2的形状的变形增大。
第3层40由着色为黑色(第1颜色)的抗蚀剂材料形成。本实施方式的第3层40由与第1层20相同的材料构成，优选的膜厚也与第1层20相同。由于利用抗蚀剂材料形成了第3层40，因此能够高精度且简单地制作以下说明的第2图案43。
在第3层40设置有用于在莫尔条纹显示区域3显示莫尔条纹的第2图案43。第2图案43与第1图案23对置地配置在基材层10的背面上的成为莫尔条纹显示区域3的区域。并且，在本实施方式中，在基材层10的一个面设置有第1图案23，在另一个面设置有第2图案43，但也可以是在将它们分别设置于其他基材等之后再进行贴合而制作成的结构。
在第2图案43中，在莫尔条纹显示区域3的长边方向上，第2显示线41在一定的排列方向上以等间隔排列。相邻的第2显示线41之间的未设置第2显示线41的部位是第2非显示区域42，从而形成为第2显示线41和第2非显示区域42交替地排列的结构。第2图案43通过光刻处理而形成。
反射层50是将从标记1的正面侧(观察侧)通过开口部32到达的光向正面侧反射的层。反射层50例如可以使用PMMA、ETA、HETA、HEMA或它们与环氧树脂的混合物等来构成，为了提高与第1显示线21及第2显示线41的对比度，优选为白色。此外，作为着色为白色的材料，能够例示出氧化钛、氧化锆、钛酸钡等。
在此，作为反射层50，除了如本实施方式那样以与标记1成为一体的方式紧贴层叠的结构之外，也可以是在标记1的背面侧配置其他部件的反射部件等的结构。但是，在能够格外容易观察到莫尔条纹M这一点上，以与标记1成为一体的方式紧贴地层叠配置反射层50的本实施方式的结构是更优选的。以下对其理由进行说明。
原本想要观察的莫尔条纹M是通过第1显示线21与第2显示线41的干涉而被观察到的莫尔条纹。但是，即使仅有第1显示线21、以及仅有第2显示线41，根据条件也会产生不需要的莫尔条纹(多余的噪声像)。
图19是为了说明不需要的莫尔条纹产生的原因而将第2图案43附近放大的图。图19的(a)示出了反射层50掩埋第2非显示区域42而层叠的结构。图19的(b)示出了反射层50不掩埋第2非显示区域42而层叠的结构。图19的(c)示出了隔着粘接层等接合层51层叠配置反射层50的结构。如图19的(b)、(c)的方式那样，在第2非显示区域42未被反射层50掩埋的情况下，从观察侧入射的光L1产生被第2显示线41的端部等反射而返回到观察侧的无用光L3、L4。可以想到，由于这样的无用光L3、L4也会周期性地产生，因此会产生无用的莫尔条纹。另一方面，在如图19的(a)那样反射层50掩埋第2非显示区域42而层叠的结构中，光无法到达第2显示线41的端部等，因此正常的反射光L2返回观察侧，能够抑制不需要的莫尔条纹的产生，能够观察到鲜明的莫尔条纹。
这样，当由于在第2显示线41的侧面部(即第2显示线41的存在于第2非显示区域42侧的端面部)发生散射并返回观察者侧的光而产生第2显示线41的不需要的莫尔条纹时，可以想到，其与本来想要观察的莫尔条纹M发生干涉而成为观察莫尔条纹M的障碍。因此，通过以掩埋第2非显示区域42的方式设置反射层50，能够避免上述现象，从而能够更鲜明地观察莫尔条纹M。
根据上述理由，反射层50只要至少设置于第2非显示区域42即可，但如图18所示，优选以覆盖第2显示线41的背面侧的方式设置。其理由在于：来自第2显示线41的背面侧的边缘部分的光的反射能够被抑制，具有周期性的反射光的主要成分被消除。
粘接层60是用于将保护层70粘贴在第2层30上的粘接剂的层。粘接层60由透明的粘接剂构成，以便能够观察第1层20和第2层30。粘接层60例如可以使用PMMA、聚氨酯、硅酮等构成。
粘接层60的层厚优选为0.5μm以上且50μm以下。这是因为，若粘接层60的层厚小于0.5μm，则难以进行均匀加工，而且无法吸收基底的凹凸。另外，这是因为，若粘接层60的层厚比50μm厚，则厚涂加工时的溶剂去除会花费很多时间，从而成本升高。
保护层70是保护第1层20和第2层30的层，其隔着粘接层60粘贴在第2层30上。保护层70具有树脂基材层71和正面层72。
树脂基材层71在一个面上层叠有粘接层60，在另一个面上层叠有正面层72。树脂基材层71由透明的树脂构成，以便能够观察第1层20和第2层30。
在本实施方式中，设想在可见光下利用标记1，粘接层60和树脂基材层71构成为对白色光透明。具体而言，优选的是，粘接层60和树脂基材层71各自在光的波长为400nm～700nm的区域中的总透光率为50％以上。更优选的是，在一并测量粘接层60和树脂基材层71的状态下，光的波长为400nm～700nm的区域中的总透光率为50％以上。
树脂基材层71的层厚优选为7μm以上且250μm以下。这是因为，若树脂基材层71的层厚小于7μm，则难以进行层压加工。另外，若树脂基材层71的层厚比250μm厚，则体积、重量变得过大，而且成本升高。
另外，树脂基材层71的折射率优选为1.45以上且1.55以下。
正面层72是兼具防反射功能和硬涂层功能的层。正面层72的相对于波长为535nm的光的反射率为1.5％以下，这是为了防止印记2及莫尔条纹显示区域3、4的视觉辨认性因标记1的正面上的反射而降低的情况，是优选的。另外，作为正面层72的硬涂层功能，优选铅笔硬度为1H以上。
正面层72例如可以使用溶胶凝胶、硅氧烷、聚硅氮烷等来构成。
并且，作为防反射功能的具体方式，可以列举出防反射(AR)和防眩光方式(AG)，但在太阳光等强力光线不进行正反射的条件下，为了识别印记2，优选AR方式。在存在太阳光等强力的光线发生正反射的可能性的条件下，为了识别印记2，优选AG方式。AR方式可以通过多层薄膜干涉、蛾眼方式等公知的方法来制作，AG方式可以通过使膜的表面凹凸、将使光扩散的颗粒混入膜中或涂布于膜的表面等公知的方法来制作。
在之前说明的第1非显示区域22中，粘接层60被填充而存在，但粘接层60和保护层70是透明的，另外，基材层10也是玻璃制且是透明的，因此能够透过第1非显示区域22看到第3层40的第2图案43。因此，若从正面侧观察标记1，则成为重合观察第1图案23与第2图案43的状态，能够观察到莫尔条纹M。
另外，作为粘接层60与保护层70的合计特性，优选总透光率为85％以上。这是因为，若该总透光率小于85％，则无法确保充分的光量。
另外，作为粘接层60与光扩散层70的合计特性，优选雾度值为30％以上，更优选为40％以上，进一步优选为70％以上。其原因在于，若该雾度值低于70％，则本发明的效果开始降低，若为40％以下，则进一步降低，若为30％以下，则显著降低。另一方面，雾度值优选为95％以下。这是因为，若该雾度值高于95％，则观察到的印记的像变得模糊。
以往，如专利文献1(美国专利第8625107号说明书)所记载的那样，在重合多个图案而产生莫尔条纹的情况下，光被配置于观察侧的图案遮挡，导致整体看起来较暗。即使在整体较暗的过程中产生莫尔条纹，莫尔条纹也不清晰，有时难以用照相机拍摄莫尔条纹来确定莫尔条纹的位置。因此，在本实施方式中，通过改良第1图案23与第2图案43，能够更鲜明地观察到莫尔条纹。
图20是说明第1图案23和第2图案43的详细情况的图。并且，图20示出为与图18同样的截面，但仅图示了基材层10、第1层20、第3层40这3层。
在本实施方式中，第1非显示区域22的宽度与第2非显示区域42的宽度不同。具体而言，在本实施方式中，将第1非显示区域22的宽度设为0.64mm，将第2非显示区域42的宽度设为0.1mm。第1非显示区域22配置在观察侧(正面侧)，第1非显示区域22的宽度比第2非显示区域42的宽度宽，因此，光通过第1图案23后较多地到达第2图案43，进而，反射并返回到观察侧的光的大部分能够通过第1图案23到达观察位置。因此，能够更明亮地观察到莫尔条纹M。
另外，第1显示线21的宽度与第2显示线41的宽度不同。由此，与两者的宽度相同的情况相比，能够更鲜明地观察到莫尔条纹M。具体而言，将第1显示线21的宽度设为0.1mm，将第2显示线的宽度设为0.4mm。通过像这样使第1显示线21的宽度比第2显示线的宽度细，由此，通过第1图案23的光增多，能够更明亮地观察到莫尔条纹M。
另外，将排列第1显示线21的间距即第1间距设为0.74mm，将排列第2显示线41的间距即第2间距设为0.5mm，两者不同。由此，能够更明亮地观察到莫尔条纹M。另外，由于使第1间距比第2间距宽，因此，结果是，第1非显示区域22的宽度比第2非显示区域42的宽度宽，能够更明亮地观察到莫尔条纹M。
接着，对本实施方式的标记1的使用方法的一例进行说明。
图21是示出从斜方向观察标记1的状态的图。图21例示了从在图18中以箭头B表示的斜方向观察标记1、但在图17中的上下方向上不倾斜地观察的状态。
若从相对于标记1的法线方向倾斜的斜方向观察标记1，则例如如图21所示，莫尔条纹显示区域3的莫尔条纹M在莫尔条纹显示区域3的长边方向上移动而被观察到。另外，若从相对于标记1的法线方向而向莫尔条纹显示区域4的长边方向倾斜的上下斜方向观察标记1，则莫尔条纹显示区域4的莫尔条纹M在莫尔条纹显示区域4的长边方向上移动而被观察到。因此，通过观察莫尔条纹显示区域3的莫尔条纹M与莫尔条纹显示区域4的莫尔条纹M这两者，能够准确地检测出标记1与观察位置的相对位置(倾斜的角度)。即，标记1通过与拍摄部和运算部组合起来使用，能够构成角度传感器的一部分。
此处，关于莫尔条纹M，若观察位置移动至从标记1的法线方向大幅偏移的位置，则会观察到其他莫尔条纹，莫尔条纹被依序观察到。因此，在观察位置位于从标记1的法线方向大幅偏离的位置的情况下，有时无法进行正确的位置检测。
但是，本实施方式的标记1具备印记2。在基于印记2的位置检测中，即使观察位置处于从标记1的法线方向大幅偏离的位置，也能够进行位置检测。另一方面，使用了莫尔条纹显示区域3、4的位置检测能够以比基于印记2的位置检测更高的精度进行位置检测。因此，通过并用使用了印记2的位置检测与使用了莫尔条纹显示区域3、4的位置检测，由此，与仅使用莫尔条纹显示区域3、4的情况相比，能够扩大适用范围。即，即使观察位置位于从标记1的法线方向大幅偏离的位置，也能够通过印记2进行位置检测，并根据其检测结果自动地移动观察位置，在最终的需要高精度的位置控制的阶段，进行使用了莫尔条纹显示区域3、4的位置检测。
如以上说明的那样，根据本实施方式的标记1，由于第1非显示区域22的宽度比第2非显示区域42的宽度宽，因此能够将更多的光引入到莫尔条纹显示区域3、4，并且能够使更多的光返回到观察侧，因此能够更明亮地显示莫尔条纹M。因此，即便利用照相机等对莫尔条纹显示区域3、4中所显示的莫尔条纹M进行拍摄，也能够更准确地获取其位置，从而能够实现高精度的位置检测。
(第5实施方式)
图22是示出本发明的标记的第5实施方式的图。
此外，包括图22在内，以下所示的各图是示意性地示出的图，为了容易理解，适当夸张或省略地示出各部分的大小、形状。
另外，在以下的说明中，示出具体的数值、形状、材料等来进行说明，但它们能够适当变更。
在本说明书中，使用了板、片、膜等用语，但对于它们来说，作为一般的使用方法，按照厚度从厚到薄的顺序，以板、片、膜的顺序使用，在本说明书中也按照该顺序使用。但是，在这样的区分使用中，由于没有技术上的意义，所以能够适当地替换这些语句。
另外，在本发明中，透明是指至少使所利用的波长的光透过。例如，即使是不透过可见光的材料，只要是透过红外线的材料，在用于红外线用途的情况下，也视为透明。
此外，在本说明书以及权利要求书中规定的具体的数值应作为包含一般的误差范围的数值来处理。即，±10％左右的差异实质上没有差异，对于在稍微超过本发明的数值范围的范围内设定数值的情况，实质上应该解释为处于本发明的范围内。
关于标记1，如图22所示，在从设置有后述的光扩散层80的正面的法线方向观察时，其构成为大致正方形形状的板状，且具备印记2和莫尔条纹显示区域3、4。在本实施方式中，从正面侧观察的形状形成为60mm×60mm的正方形形状。标记1根据如何观察印记2来检测拍摄位置与标记1的相对位置关系(以下，也简称为位置检测)，进而，根据如何观察莫尔条纹显示区域3、4所显示的莫尔条纹，能够实现精度更高的位置检测。并且，标记1的在图22中所示的面为被观察的正面侧(正面)，其相反侧为背面侧(背面)，在后述的图23中，设置有光扩散层80的一侧为被观察的正面侧(正面)。
关于印记2，在图22中的上侧的2个角附近配置有2处，在下侧的左右中央附近配置有1处，合计3个印记隔开间隔地配置。印记2构成为能够作为独立的形状的印记进行观察。另外，所谓独立的形状的印记是指：多个印记不相连，且分别成为能够单独识别的形态。
印记2优选配置有至少3个。这是因为，如果根据印记2的观察结果例如计算3处印记2的重心位置，则能够准确地检测出观察位置(照相机等)与标记1的相对位置、倾斜度。另外，如果印记2的数量多于3个，则例如在一部分印记2因某种故障而被不清晰地观察到的情况下，能够根据剩余的印记2的观察结果来进行位置检测。另外，通过利用多个印记2，还能够提高位置检测的精度。
另外，在本实施方式中，印记2构成为圆形状，但不限于圆形状，也可以是三角形、四边形等多边形形状，还可以是其他形状。
莫尔条纹显示区域3、4显示莫尔条纹M。在图22中，莫尔条纹显示区域3、4两者均显示出莫尔条纹M显示于莫尔条纹显示区域3、4的中央的状态。若标记1与观察位置的相对位置(角度)变化，则显示该莫尔条纹M的位置移动。在本实施方式中，莫尔条纹显示区域3、4的长边方向的长度均为30mm，莫尔条纹M所显示的位置沿着所述长边方向移动。莫尔条纹显示区域3与莫尔条纹显示区域4是以其长度方向正交的方式配置的。莫尔条纹显示区域3、4除了配置方向不同以外具有相同的结构，因此，在以下的说明中，对莫尔条纹显示区域3进行说明。
图23是在图22中的箭头A-A的位置将标记切断的剖视图。
标记1具备基材层10、第1层20、第2层30、第3层40、反射层50、粘接层60和光扩散层80，且构成为薄的板状。这些层层叠的顺序为从背面侧起依次为反射层50、第3层40、基材层10、第1层20、第2层30、粘接层60、光扩散层80。
基材层10由玻璃板构成。通过由玻璃板构成基材层10，能够抑制标记1因温度变化或吸湿而伸缩。玻璃板的线膨胀系数例如为31.7×10-7/℃左右，由温度变化引起的尺寸变化非常小。另外，陶瓷的线膨胀系数例如为28×10-7/℃左右，与玻璃相同，由温度变化引起的尺寸变化非常小。因此，也可以将陶瓷用于基材层。为了抑制由温度变化引起的尺寸变化，基材层10的线膨胀系数优选为35×10-6/℃以下。
基材层10的层厚优选为0.3mm以上且2.3mm以下。这是因为，如果基材层10的层厚小于0.3mm，则在切断加工时会发生破裂，因此无法追加加工，如果比2.3mm厚，则重量过大而无法输送。本实施方式的基材层10的层厚为0.7mm。
第1层20由着色为黑色(第1颜色)的抗蚀剂材料形成。构成本实施方式的第1层20的抗蚀剂材料是对在光刻工序中使用的具备感光性的抗蚀剂材料进行显影处理的结果为失去感光性后的状态的抗蚀剂材料。作为用于第1层20(黑色的情况)的抗蚀剂材料，例如可列举出PMMA、ETA、HETA、HEMA或者它们与环氧树脂的混合物。此外，作为着色为黑色的材料，能够例示出碳、黑化钛、氧化镍等。
在本实施方式中，由于由抗蚀剂材料形成第1层20，因此能够非常平滑地形成第1层20的表面，作为形成后述的第2层30的基底是优选的。另外，由于通过抗蚀剂材料形成第1层20，因此能够高精度且简单地制作以下说明的第1图案23。
第1层20(黑色的情况)的层厚优选设为1μm以上且5μm以下。这是因为，当第1层20的层厚为1μm以下时，无法均匀地形成第1层20，如果比5μm厚，则树脂的基于紫外线的固化反应性不足。
第1层20构成印记2的看起来为黑色的部分。另外，第1层20构成用于在莫尔条纹显示区域3显示莫尔条纹的第1图案23。第1图案23配置于基材层10的一个面上(正面上)的成为莫尔条纹显示区域3的区域。
在第1图案23中，在莫尔条纹显示区域3的长边方向上，第1显示线21在一定的排列方向上以等间隔排列。相邻的第1显示线21之间的未设置第1显示线21的部位是第1非显示区域22，从而形成为第1显示线21和第1非显示区域22交替地排列的结构。第1图案23通过光刻处理而形成。
第2层30由着色为白色(第2颜色)的抗蚀剂材料形成。构成本实施方式的第2层30的抗蚀剂材料是对在光刻工序中使用的具有感光性的抗蚀剂材料进行显影处理的结果为失去感光性后的状态的抗蚀剂材料。作为用于第2层30(白色的情况)的抗蚀剂材料，例如可例示出PMMA、ETA、HETA、HEMA、或它们与环氧树脂的混合物等。此外，作为着色为白色的材料，能够例示出氧化钛、氧化锆、钛酸钡等。
在第2层30中，在3个部位设置有将成为印记2的位置开口而使第1层20可视化的开口部31，另外，在2个部位设置有将成为莫尔条纹显示区域3、4的位置开口而使第1层20及第3层40可视化的开口部32。这些开口部31和开口部32通过光刻处理而被形成。
第2层30的层厚优选为3μm以上且100μm以下。这是因为，如果第2层30的层厚比3μm薄，则基底的第1层20会被透视观察到，从而对比度降低，印记2的视觉辨认性(基于自动识别的检测容易度)降低。另外，若第2层30的层厚比100μm厚，则在从斜方向观察印记2的情况下，在开口部31的周缘部成为第2层30的阴影而导致看不到第1层20的区域增大，观察到的印记2的形状的变形增大。
第3层40由着色为黑色(第1颜色)的抗蚀剂材料形成。本实施方式的第3层40由与第1层20相同的材料构成，优选的膜厚也与第1层20相同。由于利用抗蚀剂材料形成了第3层40，因此能够高精度且简单地制作以下说明的第2图案43。
在第3层40设置有用于在莫尔条纹显示区域3显示莫尔条纹的第2图案43。第2图案43与第1图案23对置地配置在基材层10的背面上的成为莫尔条纹显示区域3的区域。并且，在本实施方式中，在基材层10的一个面上设置有第1图案23，在另一个面设置有第2图案43，但也可以是在将它们分别设置于其他基材等之后再进行贴合而制作成的结构。
在第2图案43中，在莫尔条纹显示区域3的长边方向上，第2显示线41在一定的排列方向上以等间隔排列。相邻的第2显示线41之间的未设置第2显示线41的部位是第2非显示区域42，从而形成为第2显示线41和第2非显示区域42交替地排列的结构。第2图案43通过光刻处理而形成。
反射层50是将从标记1的正面侧(观察侧)通过开口部32到达的光向正面侧反射的层。反射层50例如可以使用PMMA、ETA、HETA、HEMA或它们与环氧树脂的混合物等来构成，为了提高与第1显示线21及第2显示线41的对比度，反射层50优选为白色。此外，作为着色为白色的材料，能够例示出氧化钛、氧化锆、钛酸钡等。
在此，作为反射层50，除了如本实施方式那样以与标记1成为一体的方式紧贴层叠的结构之外，也可以是在标记1的背面侧配置其他部件的反射部件等的结构。但是，在能够格外容易地观察到莫尔条纹M这一点上，与标记1以成为一体的方式紧贴地层叠配置反射层50的本实施方式的结构是更优选的结构。以下对其理由进行说明。
原本想要观察的莫尔条纹M是通过第1显示线21与第2显示线41的干涉而被观察到的莫尔条纹。但是，即使仅有第1显示线21以及仅有第2显示线41，根据条件也会产生不需要的莫尔条纹(多余的噪声像)。若由于在第2显示线41的侧面部(即第2显示线41的存在于第2非显示区域42侧的端面部)发生散射并返回观察者侧的光而产生第2显示线41的不需要的莫尔条纹，则可以想到，其与本来想要观察的莫尔条纹M发生干涉而成为观察莫尔条纹M的障碍。因此，通过以掩埋第2非显示区域42的方式设置反射层50，能够避免上述现象，从而能够更鲜明地观察到莫尔条纹M。
根据上述理由，反射层50只要至少设置于第2非显示区域42即可，但如图23所示，优选以覆盖第2显示线41的背面侧的方式设置。其理由是，来自第2显示线41的背面侧的边缘部分的光的反射能够被抑制，从而具有周期性的反射光的主要成分被消除。
粘接层60是用于将光扩散层80粘贴在第2层30上的粘合剂的层。粘接层60例如可以使用PMMA、聚氨酯、硅酮等构成。
粘接层60的层厚优选为0.5μm以上且50μm以下。这是因为，若粘接层60的层厚小于0.5μm，则难以进行均匀的加工，而且无法吸收基底的凹凸。另外，这是因为，若粘接层60的层厚比50μm厚，则厚涂加工时的溶剂去除会花费很多时间，从而导致成本升高。
另外，粘接层60仅设置在与设置有光扩散层80的范围相同的范围内。
光扩散层80经由粘着层60而在印记2与莫尔条纹显示区域3、4上覆盖它们，且在比它们稍大的范围内设置成岛状。具体而言，光扩散层80呈岛状设置于在单侧(半径)比印记2大2～3mm的范围。同样地，光扩散层80呈岛状设置于在单侧(单侧的扩大宽度)比莫尔条纹显示区域3、4大2～3mm的范围。
通过将光扩散层80设置成岛状、并在其他部位不设置光扩散层80，能够根据需要在之后容易地设置光扩散层。另外，在太阳光线等强光仅入射到1个岛状的光扩散层80时，若光扩散层80(包含树脂基材层81)相连，则能够预先防止如下情况：树脂基材层81成为导光板而将强光传播到其他岛状的光扩散层80从而对其他岛也造成影响。
光扩散层80具有树脂基材层81和正面层82。
树脂基材层81在一个面上层叠有粘接层60，在另一个面上层叠有正面层82。树脂基材层81由透明的树脂构成，以便能够观察第1层20和第2层30。
在本实施方式中，设想在可见光下利用标记1，粘接层60和树脂基材层81构成为对白色光透明。具体而言，优选的是，粘接层60和树脂基材层81各自在光的波长为400nm～700nm的区域中的总透光率为50％以上。更优选的是，在一并测量粘接层60和树脂基材层81的状态下，光的波长为400nm～700nm的区域中的总透光率为50％以上。
树脂基材层81的层厚优选为7μm以上且250μm以下。这是因为，若树脂基材层81的层厚小于7μm，则难以进行层压加工。另外，若树脂基材层81的层厚比250μm厚，则体积、重量变得过大，而且成本升高。
另外，树脂基材层81的折射率优选为1.45以上且1.55以下。
正面层82是发挥光扩散作用的层。本实施方式的正面层82在正面具有微细凹凸形状，构成所谓的无光面(粗糙面)。正面层82通过该微细凹凸形状使表面反射光扩散。
在此，具备这样的微细凹凸形状的正面层82可以应用被应用于防眩膜的各种防反射层。例如，正面层82可以通过压花加工制作，也可以通过混入透光性的微粒而将表面制作为粗糙面，还可以用药剂溶解表面而将表面制作为粗糙面(所谓的化学粗糙面)，还可以通过使用了赋型树脂层的赋型处理来制作。
另外，正面层82具备硬涂层功能。作为正面层82的硬涂层功能，优选铅笔硬度为1H以上。通过使正面层82具备硬涂层功能，光扩散层80也能够具有作为保护层的功能。
另外，正面层82的相对于波长为535nm的光的正反射率为1.5％以下，这是为了防止印记2及莫尔条纹显示区域3、4的视觉辨认性因标记1的表面上的反射而降低，因此是优选的。
另外，作为粘接层60与光扩散层80的合计特性，优选总透光率为85％以上。这是因为，若该总透光率小于85％，则无法确保充分的光量。
另外，作为粘接层60与光扩散层80的合计特性，优选雾度值为30％以上，更优选为40％以上，进一步优选为70％以上。其原因在于，若该雾度值低于70％，则本发明的效果开始降低，若为40％以下，则进一步降低，若为30％以下，则显著降低。另一方面，雾度值优选为95％以下。这是因为，若该雾度值高于95％，则观察到的印记的像会变得模糊。
图24是示出光扩散层80的效果的曲线图。
为了确认设置光扩散层80所带来的效果，实际上根据光扩散层80的有无制作了2种标记。然后，对2种标记的印记2的位置以反射光较强地返回到照相机的方式照明并对它们进行拍摄，将印记2的黑白反转的部位附近的光强度的基于位置的变化数值化，并在图24中示出。
如图24所示，在没有光扩散层80的情况下，照明光的反射直接表现为波形，未观察到与印记2的形状对应的波形。另外，没有光扩散层80的情况下的光强度过强，超过了计测极限(2.50E+02)。
与此相对，在设置有光扩散层80的情况下，得到了能够与印记2的位置相对应地适当地分开识别白色部分的光强度和黑色部分的光强度的数据。并且，利用依据JIS K 7136的村上色彩研究所制的雾度计“HM-150”，对光扩散层80进行了测量，结果是，总透光率为90.3％，雾度值为75.1％。
观察图24可知，如果将光扩散层配置成跨越印记及其周边部，则能够用照相机鲜明地捕捉到印记的形状(轮廓)。
并且，在将光扩散层以与印记相同的形状及大小仅配置在印记上的情况下，光扩散层的树脂基材层的部分会起到导光板的作用，因此，从树脂基材层的端部放出光，从而产生印记的形状(轮廓)变得不清晰的不良情况。
接着，对本实施方式的标记1的使用方法的一例进行说明。
图25是示出从斜方向观察标记1的状态的图。图25例示了从在图23中以箭头B表示的斜方向观察标记1、但在图22中的上下方向上不倾斜地观察的状态。
若从相对于标记1的法线方向倾斜的斜方向观察标记1，则例如如图25所示，莫尔条纹显示区域3的莫尔条纹M在莫尔条纹显示区域3的长边方向上移动而被观察到。另外，若从相对于标记1的法线方向而向莫尔条纹显示区域4的长边方向倾斜的上下斜方向观察标记1，则莫尔条纹显示区域4的莫尔条纹M在莫尔条纹显示区域4的长边方向上移动而被观察到。因此，通过观察莫尔条纹显示区域3的莫尔条纹M与莫尔条纹显示区域4的莫尔条纹M这两者，能够准确地检测标记1与观察位置的相对位置(倾斜的角度)。即，标记1通过与拍摄部和运算部组合起来使用，能够构成角度传感器的一部分。
此处，关于莫尔条纹M，若观察位置移动至从标记1的法线方向大幅偏移的位置，则会观察到其他莫尔条纹，莫尔条纹被依序观察到。因此，在观察位置位于从标记1的法线方向大幅偏离的位置的情况下，有时无法进行正确的位置检测。
但是，本实施方式的标记1具备印记2。在基于印记2的位置检测中，即使观察位置处于从标记1的法线方向大幅偏离的位置，也能够进行位置检测。另一方面，在使用了莫尔条纹显示区域3、4的位置检测中，能够以比基于印记2的位置检测更高的精度来进行位置检测。因此，通过并用使用了印记2的位置检测与使用了莫尔条纹显示区域3、4的位置检测，与仅使用莫尔条纹显示区域3、4的情况相比，能够扩大适用范围。即，即使观察位置位于从标记1的法线方向大幅偏离的位置，也能够通过印记2进行位置检测，并根据其检测结果自动地移动观察位置，在最终的需要高精度的位置控制的阶段，进行使用了莫尔条纹显示区域3、4的位置检测。
并且，如上所述，设想观察位置与标记1的相对位置成为各种位置关系。因此，也存在成为照明光或太阳光等朝向观察位置正反射那样的位置关系的情况。即使在这样的情况下，由于本实施方式的标记1具有光扩散层80，因此也能够使反射光适当地扩散，从而能够增加能够观察到标记的印记2和莫尔条纹显示区域3、4的状况。
如以上说明的那样，根据本实施方式的标记1，能够提供如下这样的标记：其能够改善因照明光、太阳光而导致难以识别标记1所示的指标等的状况，即使在太阳光、照明光等照射到标记上的环境下，也能够容易地识别。
(第6实施方式)
图27是示出本发明的标记的第5实施方式的图。
第5实施方式的标记1具备印记2、莫尔条纹显示区域3、4、以及识别印记5。第5实施方式的标记1除了如下方面外与先前所说明的其他实施方式相同：印记2及莫尔条纹显示区域3、4的配置不同；以及，设置有识别印记5。因此，对起到与上述的各实施方式相同的功能的部分标注相同的标号，并适当省略重复的说明。
在本实施方式中，将印记2分别设置在4个角附近。另外，莫尔条纹显示区域3分别设置在图27中的上下端部附近。进而，莫尔条纹显示区域4分别设置在图27中的左右端部附近。在标记1的中央设置有识别印记5。
识别印记5是这样的图案图形(用于识别的图形)：其根据印记的图案，将特定的意思建立关联并通过图案显示固有的信息。例如，识别印记5按每个不同的图案关联固有的编号或字母等。此外，识别印记5能够利用2维条形码、3维条形码、QR码(注册商标)、ArUco等。另外，识别印记5如上述那样能够利用各种公知的识别码等，但通过设为减少图案数而形成为大图案的本实施方式那样的识别印记5，能够容易地进行基于照相机的检测。
图28是示出安装有第5实施方式的标记1的托盘P的图。
本实施方式的标记1例如安装于物流所使用的托盘P，能够用于将托盘P识别为检测对象物的情况。因此，例如，能够根据自动驾驶叉车的基于照相机的拍摄结果准确地掌握叉车与托盘的相对位置关系，从而能够基于该相对位置关系来控制叉车的驾驶，进而，能够个别地识别托盘P。
此外，关于将标记1安装于检测对象物的方法，例如可以使用粘合剂、粘接剂，也可以在托盘P设置用于安装标记1的安装形状，并将标记1装卸自如地安装于此。
根据本实施方式的标记1，由于具备识别印记5，因此不仅能够在上述的其他实施方式那样的位置检测中利用，还能够进行安装有标记1的对象物的识别。
另外，在图27、图28中例示了具有莫尔条纹显示区域3、4的标记1，但莫尔条纹显示区域的目的在于高精度地测量标记的倾斜，因此，在仅通过基于印记2的测量精度也足以达到目标精度的情况下，能够省略莫尔条纹显示区域。
另外，在将标记1安装于物流所使用的托盘P的情况下，优选的是，保护层70、70C隔着粘接层60层叠。即使在例如叉车的爪碰到标记1的情况下，保护层70、70C也会作为飞散防止层发挥功能，因此能够防止基材层10的碎片飞散。另外，即使在基材层10产生裂纹的情况下，第1层20、20C和第2层30、30C也不会受到损伤，能够维持作为标记的功能。
(变形方式)
本发明并不限定于以上说明的实施方式，能够进行各种变形、变更，它们也在本发明的范围内。
(1)在第1实施方式至第3实施方式中，列举将印记2设为黑色、将其周边设为白色而构成的例子进行了说明。不限于此，例如，也可以将印记2设为白色并将其周边设为黑色。
更具体而言，例如，在第1实施方式中，也可以将第1层20设为白色、并将观察侧的第2层30设为黑色。
图12和图13是示出在第1实施方式中将第1层20设为白色、将第2层30设为黑色的变形方式的图。
如图13所示，通过将第1实施方式的第1层20设为白色、将观察侧的第2层30设为黑色，由此，如图12所示的标记1那样，印记2成为白色，其周边成为黑色。
另外，例如，在第3实施方式中，也可以将第1层20C设为黑色、将观察侧的第2层30C设为白色。
图14和图15是示出在第3实施方式中将第1层20C设为黑色、将第2层30C设为白色的变形方式的图。
如图15所示，通过将第3实施方式的第1层20C设为黑色、将观察侧的第2层30设为白色，由此，如图14所示的标记1C那样，印记2成为白色，其周边成为黑色。
(2)在第1实施方式至第3实施方式中，列举使用黑和白这2种颜色来显示印记2的例子进行了说明。不限于此，例如，也可以组合蓝色和黄色等其他颜色来构成。进而，也可以构成为：追加被观察为第3色的第3层等，从而层叠以3种以上的颜色观察的更多的层。另外，本发明中的颜色的差异不限于通过RGB的组合所表现出的色彩的差异，也能够包含单色的基于多灰度表现的差异。
(3)在第1实施方式至第3实施方式中，列举能够在可见光下观察印记2的例子进行了说明。不限于此，例如，也可以构成为使用红外光区域(780nm以上的近红外线波长区域)等特定波长区域的光来检测印记2。更具体地，例如可以构成为，印记2可以在近红外光区域中被观察到，并且印记2在白光(可见光)区域中无法被观察到、或者不明显。如果用近红外线吸收材料形成印记2，则仅在照射近红外线时，能够用近红外线受光元件识别印记2，人眼却无法识别。对于近红外线吸收材料，可以使用ITO、ATO、花青化合物、酞菁化合物、二硫醇金属络合物、萘醌化合物、二亚铵化合物、偶氮化合物等已知的材料。由此，也能够用于不想使标记1(1B)显眼的用途。
在这样的情况下，在使用特定波长区域的光进行观察的情况下，优选的是，第1层20的第1颜色与第2层30的第2颜色的对比度值为0.26以上，在可见光下，所述第1颜色与所述第2颜色的对比度值为1.0以下。由此，在可见光下不显眼，并且，在特定波长区域的光中，能够实现高精度的位置检测。
(4)在第1实施方式至第3实施方式中，例示了利用粘接层60粘贴保护层70的结构。不限于此，例如，也可以是保护层直接层叠在第2层30上的结构，根据利用环境，也可以省略保护层。
(5)在第1实施方式至第3实施方式中，列举了这样的例子进行说明：在第2层30上曝光出印记图案的第2曝光工序中，使用掩模M。不限于此，例如，也可以通过使用激光的直接描绘方式来进行印记图案的曝光。
(6)在第1实施方式至第3实施方式中，列举第1层20能够作为独立的形状的印记来进行观察的例子进行了说明。不限于此，例如，也可以构成为第2层30能够作为独立的形状的印记来进行观察。另外，与此相关，形成第2层30的抗蚀剂材料可以是正型，也可以是负型。
(7)在第1实施方式至第3实施方式中，也可以在各层间或最表面等适当地插入用于提高紧密贴合性的层、用于提高表面性的层、或者使光扩散而成为防眩光的层等。
(8)在第3实施方式中，列举设置有平坦化层91的例子进行了说明。这样的平坦化层也可以在第1实施方式中设置。
图16是示出在第1实施方式的第2层30的开口部30a设置有平坦化层91的变形方式的剖视图。
如图16所示，通过在第2层30的开口部30a设置平坦化层91，能够防止产生空隙。
另外，在上述的图16的方式以及第3实施方式中，示出了平坦化层91的高度比第2层30、30C低的例子，但平坦化层91也可以比第2层30、30C稍高，更优选为与第2层30、30C相同的高度。
(9)在第4实施方式中，列举将第1层20设为黑色、将第2层30设为白色而构成的例子进行了说明。不限于此，例如，也可以将第1层20设为白色、将第2层30设为黑色，不限于黑色和白色的组合，也可以组合蓝色和黄色等其他颜色而构成。
(10)在第4实施方式中，列举利用第1层20形成印记2的黑色部分和第1图案23的例子进行了说明。不限于此，例如，印记2和第1图案23也可以设置于不同的层。
(11)在第4实施方式中，例示了利用粘接层60粘贴保护层70的结构。不限于此，例如，也可以是保护层直接层叠在第2层30上的结构，根据利用环境，也可以省略保护层。
(12)在第4实施方式中，列举莫尔条纹显示区域3与莫尔条纹显示区域4的长边方向正交地配置的例子进行了说明。不限于此，例如，也可以进一步追加莫尔条纹显示区域。在此情况下，也可以在与莫尔条纹显示区域3和莫尔条纹显示区域4以45度的角度等交叉的方向上配置追加的莫尔条纹显示区域的长边方向。通过设为这样的结构，能够进一步提高位置检测的精度。
(13)在第5实施方式中，列举光扩散层粘贴片状部件的例子进行了说明。并不限定于此，例如，也可以通过涂布形成光扩散层的树脂等而构成。
(14)在第5实施方式中，列举光扩散层在正面具备微细凹凸的例子进行了说明。不限于此，例如，光扩散层也可以是在内部具有光扩散颗粒的构成，也可以是具备正面的微细凹凸和内部的光扩散颗粒这两者的构成。
(15)在第5实施方式中，列举光扩散层局部地设置为岛状的例子进行了说明。并不限定于此，例如，光扩散层也可以设置于标记的整个面。
(16)在第5实施方式中，列举将第1层20设为黑色、将第2层30设为白色而构成的例子进行了说明。不限于此，例如，如图26所示，也可以将第1层20设为白色、将第2层30设为黑色，不限于黑色和白色的组合，也可以组合蓝色和黄色等其他颜色而构成。进而，也可以构成为：追加观察为第3色的第3层等，从而层叠以3种以上的颜色观察的更多的层。另外，本发明中的颜色的差异不限于通过RGB的组合所表现出的色彩的差异，也能够包含单色的基于多灰度表现的差异。
(17)在各实施方式中，列举第1层20和第2层30均使用抗蚀剂材料来构成的例子进行了说明。不限于此，例如，也可以使用通过喷墨法将热固化性的树脂层叠于必要的部分的方法等来构成第1层20和第2层30。即使在这样的情况下，通过使基材层10的线膨胀系数为10×10-6/℃以下，根据用途也能够确保充分的精度。
此外，对于各实施方式和各变形方式，也能够将它们适当组合起来使用，但省略详细的说明。另外，本发明并不限定于以上说明的各实施方式。

Claims (46)

1.一种标记，其特征在于，
所述标记具备：
实质上为正方形形状的基材层；
第1层，其层叠于所述基材层的观察侧，被观察为第1颜色；以及
第2层，其部分地层叠于所述第1层的观察侧，被观察为与所述第1颜色不同的第2颜色，并且部分地遮蔽所述第1层，
所述第1层能够在未层叠所述第2层的区域中被观察到，
所述第2层由抗蚀剂材料构成，
所述第1层的所述第1颜色为白色，所述第2层的所述第2颜色为黑色，圆形状的所述第2层在所述标记的至少4角附近各配置1个，配置于合计4～9处部位。
2.根据权利要求1所述的标记，其特征在于，
所述第1层由抗蚀剂材料构成。
3.根据权利要求1或2所述的标记，其特征在于，
所述第2层的遮蔽基底的遮蔽力比所述第1层高。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述第2层的层厚为5μm以下。
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述标记具备将所述第1层与所述第2层在层叠方向上的阶梯差掩埋的平坦化层。
6.根据权利要求5所述的标记，其特征在于，
所述第2层与所述平坦化层在层叠方向上的阶梯差为5μm以下。
7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的标记，其特征在于，
在所述标记中还层叠有保护所述第1层和所述第2层的保护层。
8.根据权利要求7所述的标记，其特征在于，
所述保护层具备防反射功能。
9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述基材层的线膨胀系数为10×10-6/℃以下。
10.根据权利要求1至9中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述基材层由玻璃构成。
11.根据权利要求1至10中的任意一项所述的标记，其特征在于，
能够利用780nm以上的近红外线波长区域的光来观察所述标记。
12.根据权利要求1至11中的任意一项所述的标记，其特征在于，
观察到的所述第1颜色与所述第2颜色的对比度值为0.26以上，并且，
观察到的所述第1颜色与所述第2颜色的模糊值为1.0以上。
13.根据权利要求1至12中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述第1颜色和所述第2颜色中的一方为白色，另一方代替黑色而为其他除白色以外的颜色。
14.根据权利要求12所述的标记，其特征在于，
在使用特定波长区域的光进行观察的情况下，所述第1颜色与所述第2颜色的对比度值为0.26以上，在可见光下，所述第1颜色与所述第2颜色的对比度值为1.0以下。
15.根据权利要求14所述的标记，其特征在于，
所述特定波长区域为780nm以上的近红外线波长区域。
16.根据权利要求1至15中的任意一项所述的标记，其特征在于，
能够将所述第1层和所述第2层中的一方作为独立的形状的印记来观察，
所述印记隔开间隔地配置有4～9个。
17.一种多标记附带体，其附带有多个权利要求16所述的标记，其特征在于，
1个多标记附带体内的所述印记的外形形状以及各个所述标记中的所述印记的排列间距的尺寸偏差均为±10μm以下。
18.一种标记的制造方法，其特征在于，
所述标记的制造方法具备：
第1层形成工序，在由玻璃构成的实质上为正方形形状的基材层的一个面上层叠被观察为第1颜色的由抗蚀剂材料构成的第1层；
第1曝光工序，对所述第1层进行曝光；
第1显影工序，对所述第1层进行显影；
第1烘烤工序，对所述第1层进行烘烤；
第2层形成工序，在稳定后的所述第1层上层叠被观察为第2颜色的由抗蚀剂材料构成的第2层；
第2曝光工序，在所述第2层上曝光出印记图案；
第2显影工序，对所述第2层进行显影；以及
第2烘烤工序，对所述第2层进行烘烤，
所述第1层的所述第1颜色为白色，所述第2层的所述第2颜色为黑色，圆形状的所述第2层在所述标记的至少4角附近各配置1个，配置于合计4～9处部位。
19.一种用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记，其特征在于，
所述标记具备：
实质上为正方形形状的基材层；
第1层，其层叠于所述基材层的观察侧，且层叠于所述基材层的整个面，并且被观察为第1颜色；以及
第2层，其部分地层叠于所述第1层的观察侧，被观察为与所述第1颜色不同的第2颜色，并且部分地遮蔽所述第1层，
所述第1层能够在未层叠所述第2层的区域中被观察到，
所述基材层的线膨胀系数为10×10-6/℃以下，
所述第1层的所述第1颜色为白色，所述第2层的所述第2颜色为黑色，圆形状的所述第2层在所述标记的至少4角附近各配置1个，配置于合计4～9处部位。
20.根据权利要求19所述的用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记，其特征在于，
所述基材层由玻璃构成。
21.根据权利要求19或20所述的用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记，其特征在于，
能够将所述第1层和所述第2层中的一方作为独立的形状的印记来观察，
所述印记隔开间隔地配置有4～9个。
22.根据权利要求21所述的用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记，其特征在于，
所述印记在板状的标记的周边部隔开间隔地配置有4～9个，
在板状的标记的中央部分配置有用于识别的图形。
23.根据权利要求19至22中的任意一项所述的用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记，其特征在于，
能够利用780nm以上的近红外线波长区域的光来观察所述标记。
24.根据权利要求22或23所述的用于测量相对于照相机的位置和/或姿势的板状的标记，其特征在于，
所述用于识别的图形是2维条形码、3维条形码、QR码以及ArUco中的任意方。
25.根据权利要求1至16、19至23中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述标记具备：
第1图案，其设置于所述基材层的一个面上的至少一部分区域，在所述第1图案中，在一定的排列方向上以等间隔排列有多条第1显示线；和
第2图案，其在所述基材层的厚度方向上与所述第1图案隔开间隔地设置，在所述第2图案中，在所述一定的排列方向上以等间隔排列有多条第2显示线，
所述标记具有通过所述第1图案与所述第2图案的组合来显示莫尔条纹的莫尔条纹显示区域，其中，
在将相邻的所述第1显示线之间的未设置所述第1显示线的部位作为第1非显示区域，并将相邻的所述第2显示线之间的未设置所述第2显示线的部位作为第2非显示区域时，
所述第1非显示区域的宽度与所述第2非显示区域的宽度不同。
26.根据权利要求25所述的标记，其特征在于，
所述第1非显示区域的宽度比所述第2非显示区域的宽度宽，
设置有所述第1图案的一侧为观察侧。
27.根据权利要求26所述的标记，其特征在于，
在作为与所述观察侧相反一侧的背面侧，以至少掩埋所述第2非显示区域的方式层叠有反射层。
28.根据权利要求27所述的标记，其特征在于，
所述反射层覆盖所述第2图案的整体而层叠。
29.根据权利要求25至28中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述第1显示线的宽度与所述第2显示线的宽度不同。
30.根据权利要求29所述的标记，其特征在于，
所述第1显示线的宽度比所述第2显示线的宽度细。
31.根据权利要求25至30中的任意一项所述的标记，其特征在于，
作为排列所述第1显示线的间距的第1间距与作为排列所述第2显示线的间距的第2间距不同。
32.根据权利要求31所述的标记，其特征在于，
所述第1间距比所述第2间距宽。
33.根据权利要求25至32中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述莫尔条纹显示区域以所述一定的排列方向成为多个不同的方向的方式设置于多个区域。
34.根据权利要求27至33中的任意一项所述的标记，其特征在于，
能够作为独立的形状观察的印记隔开间隔地配置于4～9处部位。
35.根据权利要求25至34中的任意一项所述的标记，其特征在于，
该标记用于检测观察位置与该标记的相对倾斜的角度。
36.根据权利要求1至16、19至35中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述标记用于检测相对于观察位置的距离和相对于观察位置的相对倾斜角度中的至少一方，其中，
在所述标记的最正面设置有光扩散层。
37.根据权利要求36所述的标记，其特征在于，
所述光扩散层在表面具备微细凹凸形状。
38.根据权利要求36或37所述的标记，其特征在于，
所述光扩散层在内部包含光扩散颗粒。
39.根据权利要求36至38中的任意一项所述的标记，其特征在于，
能够作为独立的形状观察的印记隔开间隔地配置于4～9处部位。
40.根据权利要求39所述的标记，其特征在于，
所述光扩散层覆盖所述印记，且在比所述印记大的范围内设置成岛状。
41.根据权利要求39所述的标记，其特征在于，
所述独立的形状的印记与其周边部的颜色的反射率不同，并且，
所述光扩散层跨着所述印记与其周边部的边界而设置。
42.根据权利要求36至41中的任意一项所述的标记，其特征在于，
所述标记具备：
透明的基材层；
第1图案，其设置于所述基材层的一个面上的至少一部分区域，在所述第1图案中，在一定的排列方向上以等间隔排列有多条第1显示线；和
第2图案，其在所述基材层的厚度方向上与所述第1图案隔开间隔地设置，在所述第2图案中，在所述一定的排列方向上以等间隔排列有多条第2显示线，
所述标记具有通过所述第1图案与所述第2图案的组合来显示莫尔条纹的莫尔条纹显示区域。
43.根据权利要求42所述的标记，其特征在于，
所述光扩散层覆盖所述莫尔条纹显示区域，且在比所述莫尔条纹显示区域大的范围内设置成岛状。
44.根据权利要求42所述的标记，其特征在于，
所述光扩散层跨着所述莫尔条纹显示区域与其周边部的边界而设置。
45.根据权利要求1至16、19至44中的任意一项所述的标记，其特征在于，
该标记是安装于检测对象物来使用的标记。
46.一种检测对象物，其特征在于，
所述检测对象物安装有权利要求45所述的标记。
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