CN117321237A - 带平坦化膜的不锈钢箔 - Google Patents

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河合翔平
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中塚淳
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Abstract

提供一种带平坦化膜的不锈钢箔，减少存在于不锈钢箔表面的凹坑的数量，没有在平坦化膜上产生的裂纹。带平坦化膜的不锈钢箔，具有包含不锈钢成分，剩余部分由Fe及杂质构成的组成，相对于粒径2.00μm以上的夹杂物的总计质量，Al2O3：30质量％以下、MgO：10质量％以下，所述粒径2.00μm以上的夹杂物之中，存在于表面的粒径大于5.00μm的夹杂物为20个/cm2以下，在板厚为5.0μm以上100.0μm以下的不锈钢箔、及所述不锈钢箔的至少一个面，具有膜厚为0.3μm以上5.0μm以下的平坦化膜。

Description

带平坦化膜的不锈钢箔
技术领域
本发明涉及能够应用在电子设备用柔性基板中的带平坦化膜的不锈钢箔。
背景技术
对于以柔性电子设备为代表的薄膜电子设备的基板用材料，要求平坦性、绝缘可靠性、耐热性、阻气性和高韧性。作为该基板用材料的候补，举出树脂薄膜或超薄玻璃，但树脂薄膜在耐热性、阻气性方面存在问题，超薄玻璃韧性低而在可靠性方面存在问题。另一方面，不锈钢箔的耐热性、阻气性、韧性优异，但在平坦性和绝缘性方面存在问题。因此，为了解决上述问题，关注到在不锈钢箔的至少一个面形成平坦化膜，赋予平坦性或绝缘性的带平坦膜的不锈钢箔。其中，以耐热性优异的二氧化硅系的无机有机复合材料覆盖的带平坦化膜的不锈钢箔成为值得期待的材料。
作为成膜有以二氧化硅系无机有机复合材料的不锈钢箔，专利文献1、2等中有所记载。
专利文献1中记载了以耐热性、加工性、平坦性、可挠性、绝缘性优异的无机有机复合膜覆盖的不锈钢箔。该不锈钢箔是通过将使用溶胶凝胶法制作的含有适量的有机基的无机有机复合膜覆盖在不锈钢箔的单面或双面，从而得到耐热性、加工性、平坦性、绝缘性等优异的不锈钢箔。
专利文献2中记载了能够通过辊到辊(Roll to Roll)工艺使金属箔卷材的表面与玻璃基板齐平平坦化的短时固化型的平坦化膜形成涂布液、兼具有耐热性和耐湿性的平坦化覆膜及由其平坦化的金属箔卷材。该金属箔卷材是通过涂布平坦化膜形成涂布液而得到的，该平坦化膜形成涂布液是通过相对于有机溶剂中苯基三烷氧基硅烷1摩尔，将醋酸0.1摩尔以上1摩尔以下、有机锡0.005摩尔以上0.05摩尔以下作为催化剂加入，以2摩尔以上4摩尔以下的水进行水解后，在160℃以上210℃以下的温度下将有机溶剂减压蒸馏除去所得的树脂溶解在芳香烃系溶剂中，得到能够短时固化的平坦化膜形成涂布液。
另一方面，即使设置上述那样的平坦化膜，还存在不锈钢箔表面的凹坑引起的、在平坦化膜上产生裂纹，平坦性、绝缘性低的技术问题。不锈钢箔表面的凹坑是不锈钢中的夹杂物在轧制时从不锈钢箔表面脱落而产生的。
研究了各种使作为制造不锈钢箔的母材的不锈钢中的夹杂物减少的方法。例如，专利文献3中公开了一种以HDD(硬盘驱动器)的部件、薄膜硅太阳能电池为代表的半导体层形成基板等、适用于精密器械部件的不锈钢板。分布在不锈钢板的表面的微小的小坑的存在会大幅影响该不锈钢板的清洁性，所述微小的小坑起因于夹杂物或碳化颗粒等在轧制工序中的脱落痕。专利文献3中公开了生成以Mn(O，S)－SiO2为主要成分的非金属夹杂物，同时通过将MgO、Al2O3、Cr2O3调整为规定的浓度以下，从而使非金属夹杂物无害化。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003－247078号公报
专利文献2：国际公开第2016/076399号
专利文献3：日本特开2011－202253号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明的目的在于提供一种减少作为平坦化膜产生裂纹的原因的不锈钢箔表面存在的凹坑的数量，平坦性、绝缘可靠性优异的带平坦化膜的不锈钢箔。
用于解决技术问题的技术手段
本发明的发明人们在不锈钢箔的表面形成由膜厚2.0μm以上4.0μm以下的苯基硅氧烷聚合物构成的平坦化膜，制作试验片。将浸渍了所述膜上的导电率为0.1S/m以上100S/m以下的液体的截面积为4mm2以上9mm2以下的电极作为上部电极，将所述不锈钢箔作为下部电极，用所述上部电极扫描所述试验片的表面，计测在所述上部电极和所述下部电极之间施加10V时的漏电流为1μA/mm2以上的位置的数量。其结果，找到多个对于测定面积100cm2，示出1μA/mm2以上的电流值的位置。观察该截面发现，在不锈钢箔的表面存在与轧制方向垂直的方向的宽为5μm以上的凹坑，这些凹坑成为裂纹产生的原因。此外，还发现这些在不锈钢箔表面的凹坑是由于在不锈钢箔的箔轧制工序中，处于不锈钢中的粒径5μm以上的粗大的夹杂物脱落而产生的。
进一步研究还发现，虽然不能追踪脱落的夹杂物，但在不锈钢箔表面残留的未脱落的粗大的夹杂物数量越多，夹杂物的脱落导致的凹坑的数量越多，成膜在不锈钢箔表面的平坦化膜产生的裂纹的数量越多。
因此，发现了通过抑制残留在箔轧制后的不锈钢箔中的粗大夹杂物，从而带平坦化膜的不锈钢箔的绝缘性和平坦性大幅改善。
发明的发明人们着眼于作为夹杂物的基本性成分的Al2O3、MgO、SiO2、CaO、Mn(O、S)、CrS。其中，在为由SiO2、CaO、Mn(O、S)、CrS的至少一种构成的夹杂物的情况下，这些夹杂物难以集群，并且为低熔点、软质，因此通过在热轧工序或冷轧工序中伸展、或破碎，能够减少粗大夹杂物。(有时将SiO2、CaO、Mn(O、S)、CrS称为软质系夹杂物。)
另一方面，氧化铝(Al2O3)或镁－铝尖晶石(MgO·Al2O3。以下，有时称为尖晶石。)等夹杂物的界面能量高，在凝固过程中，容易偏析并凝集，因此凝集后尺寸容易变大。并且，由于氧化铝或尖晶石的夹杂物是硬质的，所以在热轧或冷轧中，夹杂物难以破碎，作为结果，作为尺寸较大的夹杂物颗粒而残留。(有时将氧化铝或镁－铝尖晶石称为硬质系夹杂物。)
因此，发现了降低夹杂物所含有的氧化铝或尖晶石的比例，使不锈钢箔的制造条件，尤其是轧制条件好转，减少粗大的氧化铝或尖晶石夹杂物的个数，使软质的夹杂物细小地分散，从而能够得到减少粗大夹杂物的不锈钢箔。
根据本发明，提供下述内容。
(1)一种带平坦化膜的不锈钢箔，
具有不锈钢箔，并在所述不锈钢箔的至少一个面具有膜厚为0.3μm以上5.0μm以下的平坦化膜，
所述不锈钢箔中：
具有包含不锈钢成分且剩余部分由Fe及杂质构成的组成，
相对于粒径2.00μm以上的夹杂物的总计质量，Al2O3：30质量％以下，MgO：10质量％以下，
所述粒径2.00μm以上的夹杂物之中，存在于表面的粒径大于5.00μm的夹杂物为20个/cm2以下，
板厚为5.0μm以上100.0μm以下。
(2)如前述(1)所述的带平坦化膜的不锈钢箔，
所述不锈钢箔是奥氏体系不锈钢箔，具有以下的组成：以质量％计包含
C：0.150％以下、
Si：0.100～2.000％、
Mn：0.100～10.000％以下、
P：0.045％以下、
S：0.007％以下、
Ni：2.000～15.000％、
Cr：15.000～20.000％以下、
N：0.200％以下、
Al：0.030％以下、
Mg：0.0005％以下、
Ca：0.0005％以下，
剩余部分由Fe及杂质构成。
(3)如前述(1)所述的带平坦化膜的不锈钢箔，
所述不锈钢箔是铁素体系不锈钢箔，具有以下的组成：以质量％计包含
C：0.120％以下、
Si：2.000％以下、
Mn：0.100～1.250％以下、
P：0.040％以下、
S：0.030％以下、
Cr：16.000～20.000％以下、
N：0.025％以下、
Al：0.030％以下、
Mg：0.0005％以下、
Ca：0.0005％以下，
剩余部分由Fe及杂质构成的组成。
(4)如前述(1)～(3)的任一项所述的带平坦化膜的不锈钢箔，
所述平坦化膜为二氧化硅系的有机无机复合膜，构成所述有机无机复合膜的Si核仅包含T核及Q核。
(5)如前述(4)所述的带平坦化膜的不锈钢箔，
所述平坦化膜为二氧化硅系的有机无机复合膜，Q核相对于构成所述有机无机复合膜的Si核的比例为70％以下。
发明效果
能够提供一种带平坦化膜的不锈钢箔，其在粗大的夹杂物较少的不锈钢箔上形成平坦化膜，提高平坦性及绝缘可靠性。
具体实施方式
针对本发明的带平坦化膜的不锈钢箔进行说明。只要没有特别限定，与成分相关的“％”表示钢中的质量％。在没有特别规定下限的情况下，包括不包含的情况(0％)。
本发明的不锈钢箔并不特别限制。例如，可以是SUS304等的奥氏体系，也可以是SUS430等的铁素体系。
[不锈钢箔的组成]
本发明的不锈钢箔在为奥氏体系不锈钢箔的情况下，具有如下组成：不锈钢箔以质量％计，包含C：0.150％以下、Si：0.050～2.000％、Mn：0.100～10.000％、P：0.045％以下、S：0.007％以下、Ni：2.000～15.000％、Cr：15.000～20.000％、N：0.200％以下、Al：0.030％以下、Mg：0.0005％以下、Ca：0.0005％以下，剩余部分由Fe及杂质构成。
Ni具有改善耐腐蚀性或改善加工性的效果，并且是用于调整不锈钢的热膨胀系数的主要成分。从改善耐腐蚀性的观点出发，Ni含量为2.000％以上。然而，Ni为高价的元素，若含量过高，则在热轧后或热锻后，在钢中容易生成贝氏体组织。因此，Ni含量设为15.000％以下。
Cr是改善耐腐蚀性所需的合金成分，但是，若包含过剩量的Cr，则钢材硬质化，加工性变差，因此Cr含量为20.000％以下。Cr含量的下限并不特别限定，但以15.000％以上的含量添加Cr的效果显著，因此为15.000％以上。
C(碳)可以不特别含有。若过剩含有C，则热膨胀系数变大，同时析出到晶界的Cr系的夹杂物会增加，成为产生较大的夹杂物颗粒的原因。因此，C的含量为0.150％以下，优选为0.100％以下，较优选为0.050％以下。
Ca固溶于硫化物，使硫化物细微分散，使硫化物的形状球状化。另一方面，若大量含有Ca，则未固溶在硫化物中的Ca形成粗大的氧化物，可能会发生蚀刻不良。因此，并不特别需要含有，若含有，则Ca量为0.0005％以下，优选为0.0001％以下。
为了避免尖晶石的生成，代替Mg及Al，作为脱氧剂积极地使用Mn。但是，若Mn含量过高，则偏析至粒界，助长晶界破坏，耐氢脆化性反而降低。因此，Mn含量为10.000％以下，优选为5.000％以下、2.000％以下、1.500％以下、1.200％以下、1.000％以下，较优选为0.800％以下、0.600％以下、0.500％以下。Mn的下限并不特别限定。但是，若Mn含量过少，则难以将夹杂物调节为Mn(O，S)－SiO2系的组成。因此，Mn为0.100％以上。在此，所谓Mn(O，S)，是指MnO单体、MnS单体、以及MnO和MnS复合而成的夹杂物，O和S的比率并不是一定的，表示氧化物和硫化物复合的夹杂物。
为了避免生成尖晶石，代替由Mg、Al进行的脱氧，积极地进行由Mn、Si进行的脱氧。但是，Si使不锈钢的热膨胀系数增加。此外，脱氧生成物的MnO－SiO2为玻化的软质的夹杂物，在热轧中延伸及断裂，被细微化。因此，耐氢脆化特性升高。另一方面，Si含量若超过2.000％，则强度变得过高而硬质化，在冷加工中制造薄板时为了轧制到预定板厚需要较多道次次数，生产性大幅降低。因此，Si为2.000％以下，优选为1.000％以下、0.500％以下，较优选为0.300％以下。Si的下限并不特别限定，但若过少则脱氧不足，夹杂物中的Cr2O3浓度增加，容易生成诱发加工断裂的夹杂物。因此，Si的下限为0.050％，优选为0.100％。
Mg用在钢的脱氧中。但是，若Mg含量超过0.0005％，则可能会生成粗大的夹杂物。此外，为了避免生成尖晶石，Mg的含量越低越优选。因此，Mg含量为0.0005％以下，优选为0.0003％以下、0.0002％以下，更加优选为0.0001％以下。
Al也用在钢的脱氧中。但是，若Al含量超过0.030％，则可能会生成粗大的夹杂物，产生蚀刻不良。此外，为了避免生成尖晶石，Al的含量优选较低。因此，Al含量为0.030％以下，优选为0.020％以下、0.010％以下，更加优选为0.005％以下。
P、S是在铁系合金中与Mn等合金元素相结合生成夹杂物的元素，因此含量优选较少。因此，P含量为0.045％以下，优选为0.010％以下、0.007％以下，更加优选为0.005％以下。S含量为0.007％以下，更加优选为0.005％以下。
N与C同样地，也是固溶强化元素。若含有大量，则0.2％耐力上升，使钢材硬质化。相反，若大量含有，则制造性显著恶化，因此N含量的上限为0.200％。
上述钢成分的剩余部分为Fe及不可避免的杂质。在此所谓不可避免的杂质，是在工业上制造钢时，以矿石或废料等那样的原料为代表，在制造工序中因各种原因混入的成分，表示在不对本发明造成不良影响的范围内允许的物质。
本发明的不锈钢箔为铁素体系不锈钢箔的情况下，不锈钢箔具有如下组成：以质量％计，包含C：0.120％以下、Si：0.050～2.000％、Mn：0.100～1.250％、P：0.040％以下、S：0.030％以下、Cr：15.000～20.000％、N：0.025％以下、Al：0.030％以下、Mg：0.0005％以下、Ca：0.0005％以下，剩余部分由Fe及杂质构成。
Cr是改善耐腐蚀性所需的合金成分。但是，若含有过剩量的Cr，则钢材会硬质化，加工性变差，因此Cr含量为20.000％以下。Cr含量的下限并不特别限定，但以15.000％以上的含量添加Cr的效果显著，因此为15.000％以上。
C(碳)可以不特别含有。若过剩含有C，则热膨胀系数变大，同时析出到晶界的Cr系的夹杂物会增加，成为产生较大的夹杂物颗粒的原因。因此，C的含量为0.120％以下，优选为0.100％以下，更加优选为0.050％以下。
Ca固溶于硫化物，使硫化物细微分散，使硫化物的形状球状化。另一方面，若大量含有Ca，则未固溶于硫化物的Ca形成粗大的氧化物，可能会产生蚀刻不良。因此，也可以不特别含有，但若含有，则Ca量为0.0005％以下，优选为0.0001％以下。
为了避免生成尖晶石，代替Mg及Al，作为脱氧剂积极地使用Mn。但是，若Mn含量过高，则偏析至晶界，助长晶界破坏，耐氢脆化性反而会降低。因此，Mn含量为1.250％以下。优选为0.800％以下、0.600％以下，更加优选为0.500％以下。但是，若Mn含量过少，则难以将夹杂物调节为Mn(O，S)－SiO2系的组成。因此，Mn为0.100％以上。在此，所谓Mn(O，S)，是指MnO单体，MnS单体，以及MnO和MnS复合的夹杂物，O和S的比率并不是固定的，表示氧化物和硫化物复合的夹杂物。
Si是为了避免生成尖晶石，代替由Mg、Al进行的脱氧，积极地进行由Mn、Si进行的脱氧。但是，Si使不锈钢的热膨胀系数增加。此外，脱氧生成物的MnO－SiO2是玻化的软质的夹杂物，在热轧中延伸及断裂，被细微化。因此，耐氢脆化特性升高。另一方面，Si含量若高于2.000％，则强度升高，过度硬质化，在冷加工中制造薄板时为了轧制成预定板厚需要较多的道次次数，生产性大幅降低。因此，Si为2.000％以下，较优选为1.000％以下、0.500％以下，更加优选为0.300％以下。Si的下限并不特别限定，但若过少，则脱氧不足，夹杂物中的Cr2O3浓度增加，容易生成诱发加工断裂的夹杂物。因此，Si的下限为0.050％，优选为0.100％。
Mg用在钢的脱氧中。但是，若Mg含量高于0.0005％，则可能会生成粗大的夹杂物。此外，为了避免生成尖晶石，Mg的含量优选较低。因此，Mg含量为0.0005％以下，优选为0.0003％以下、0.0002％以下，更加优选为0.0001％以下。
Al也用在钢的脱氧中。但是，若Al含量高于0.030％，则可能会生成粗大的夹杂物，产生蚀刻不良。此外，为了避免生成尖晶石，Al的含量优选较低。因此，Al含量为0.030％以下，优选为0.020％以下、0.010％以下，较优选为0.005％以下。
P、S是在铁系合金中与Mn等合金元素结合，生成夹杂物的元素，因此含量优选较少。因此，P含量为0.040％以下，优选为0.010％以下、0.007％以下，较优选为0.005％以下。S含量为0.030％以下，较优选为0.010％以下、0.007％以下，更加优选为0.005％以下。
N与C同样地，也是固溶强化元素。若大量含有，则0.2％耐力上升，使钢件硬质化。相反，若大量含有，则制造性显著变差，因此N含量的上限为0.025％。
上述钢组分的剩余部分为Fe及杂质。在此，所谓杂质，是在工业上制造钢时，以矿石或废料等的原料为代表，在制造过程中因各种原因混入的成分，表示在对本发明不造成不良影响的范围中允许的物质。
[夹杂物]
夹杂物优选较少，理想的是完全不存在，但在制造过程中混入，或从钢组分中生成，因此并不容易做到完全没有。如前所述可知，在轧制中处于表面的粗大夹杂物会脱落，容易成为凹坑的原因。因此，极力减少粒径较大的以当量圆直径计为5μm以上的夹杂物很重要。
本发明的发明人们着眼于作为夹杂物的基本性成分，Al2O3、MgO、SiO2、CaO、Mn(O、S)、CrS。了解到，在为其中的SiO2、CaO、Mn(O、S)、CrS的软质系夹杂物的情况下，这些夹杂物难以集群化，低熔点软质，因此通过轧制而伸展或破碎，抑制粗大化。另一方面，氧化铝或镁－铝尖晶石等的硬质系夹杂物因为界面能量高，在凝固过程中偏析容易凝集，所以凝集后的尺寸容易变大。并且还了解到，氧化铝或尖晶石的夹杂物为硬质，因此在轧制中难以伸展或破碎，作为结果，作为尺寸较大的夹杂物颗粒而残留。
从这些见解出发，认为重要的是：抑制软质系夹杂物自身的生成自身，同时生成的软质系夹杂物通过调整轧制条件(例如轧制率)而细微化，另一方面，硬质系夹杂物难以通过轧制来细微化，因此不使硬质系夹杂物自身生成或也不混入，即使生成或混入也不使其凝集(不使其粗大化)。
首先，为了不管软质系、硬质系均不生成夹杂物，确保作为不锈钢箔的机械性强度等，而设为如前述的钢成分即可。
为了不混入夹杂物，而重新评估工艺很重要。例如，重新评估熔融金属处理时的耐火物，使用Al或Mg等较少的耐火物即可。
并且，夹杂物的凝集的原因之一例如从熔融金属进行凝固时偏析凝集。避免在凝固时偏析并不容易，但为了使得尽可能不凝集可以想到搅拌熔融金属等方法。并且，通过不使用从熔融金属起的凝固工艺的工艺、例如通过HIP(热静水压)等制造钢锭即可。关于制造工艺将在后文说明。
本发明的不锈钢箔所包含的夹杂物，出于测定方面的理由，以粒径(当量圆直径)2.00μm以上的夹杂物(下面，只要不特别说明，有时简写作“夹杂物”)为对象。粒径大于5.00μm的粗大夹杂物是有害的，优选极力减少，因此粒径2.00～5.00μm的夹杂物优选减少，但并不是直接就有害的。
此外，氧化铝或尖晶石那样的硬质夹杂物容易粗大，因此极力减少为好。因此，相对于粒径2.00μm以上的夹杂物的总计质量，Al2O3为30质量％以下，MgO为10质量％以下。这些硬质夹杂物优选较少，因此Al2O3的比例优选为25质量％以下、20质量％以下、15质量％以下、10质量％以下，较优选为5质量％以下、3质量％以下、1质量％以下。MgO的比率优选为8质量％以下、6质量％以下、5质量％以下，较优选为4质量％以下、3质量％以下、2质量％以下、1质量％以下。
进一步，本发明的不锈钢箔的特征在于，存在于不锈钢箔表面的圆当量粒径大于5.00μm的夹杂物的数量为20个/cm2以下。
根据本发明，需要将涂布有平坦化膜的不锈钢箔所包含的夹杂物的粒径大于5.00μm的夹杂物的个数比例，在不锈钢箔表面，限制在20个/cm2以下。不锈钢箔表面的凹坑是平坦化膜产生的裂纹的原因。这是因为，在板厚减薄至一定程度，夹杂物细微化一定程度后的轧制时，存在于不锈钢箔表面的粒径5.00μm以上的夹杂物从不锈钢箔表面脱落，从而产生该凹坑。
通过如下的方式测定夹杂物的粒径。使用扫描型电子显微镜(SEM)观察不锈钢箔表面的夹杂物。作为SEM，例如可以使用日本电子制造的JSM－IT500HR。示出SEM的设定的一个示例。
·检测器：反射电子检测器BED－C
·观察倍率：80倍
·加速电压：20.0kV
·工作距离(WD)：10.0mm
·照射电流：80％
此外，通过SEM取得的图像在夹杂物自动解析软件中检测夹杂物，在能量分散型X射线分光装置(下面，EDS装置)中实施夹杂物的组成分析。关于夹杂物自动解析的软件，例如可以使用Oxford公司制造的Aztec的粒子解析模式。EDS装置例如可以使用Oxford公司制造的ULTIM MAX 65。
在夹杂物自动解析软件进行的夹杂物的识别工序中，首先取得夹杂物自动解析软件中使用的SEM像。接着，在从SEM取得的图像中通过夹杂物自动解析软件检测到当量圆直径为2.00μm以上，且通过EDS检测到Al、Mg、Si、Ca、Mn、S的元素之中一种以上的情况下，识别为夹杂物。针对完成EDS分析的图像，在软件上结合，作为一个图像输出。此时，还获取通过夹杂物自动解析软件所识别的夹杂物的当量圆直径、元素组成。通过重复实施上述的夹杂物识别步骤，进行测定直到为设定的面积。例如，图像的测定面积将10cm2作为测定单位即1视野，实施10视野测定，将总计100cm2作为评价面积。此外，将具有与测定的夹杂物的面积相同面积的圆的直径作为圆相当直径(当量圆直径)，将其作为“粒径”。
如上所述，观察不锈钢箔表面，求得夹杂物的粒径，但明确的是，存在于不锈钢箔表面的夹杂物的粒径与存在于不锈钢箔中的夹杂物的粒径也没有特别变化。
夹杂物的组分是针对通过夹杂物自动解析软件识别的各夹杂物，以如下的方式计算。首先，将通过EDS分析得到的元素Al、Mg、Si、Ca、Mn、Cr、S的质量％分别用原子量除算，求得元素的表观物质量。接着，针对上述7种元素，设定成夹杂物的基本成分即氧化物或硫化物的状态。在夹杂物中，Al、Mg、Si、Ca主要作为氧化物存在。
Mn、Cr主要作为硫化物存在，Mn有时还作为氧化物MnO存在。S处前述的硫化物MnS以外，还有时作为铬的硫化物CrS存在。在相比于Mn的表观物质量，S的表观物质量更多的情况下，与Mn的表观物质量同量的MnS存在，此时，存在从S的表观物质量减去Mn的表观物质量的物质量的CrS。在相比于Mn的表观物质量，S的表观物质量更少的情况下，存在与S的表观物质量同量的MnS，此时，从Mn的表观物质量减去S的表观物质量的物质量的MnO存在。在Mn的表观物质量与S的表观物质量完全同量存在的情况下，与Mn及S的物质量同量的MnS存在。
由于设定成夹杂物的基本成分即氧化物或硫化物的状态，因此根据各个Al：O＝2：3、Mg：O＝1：1、Si：O＝1：2、Ca：O＝1：1、Mn：O＝1：1、Mn：S＝1：1、S：Cr＝1：1的计量比赋予与元素的表观物质量相应的元素O(氧)或S的物质量后，乘以各自的分子量，导出氧化物等换算质量。通过将求得的氧化物等换算质量各自用7个氧化物等换算质量的总和除算，从而求得Al2O3、MgO、SiO2、CaO、MnO、MnS、CrS(下面有时称为“氧化物等”。)的氧化物等换算质量％。对于通过夹杂物自动解析软件求得的夹杂物的面积，分别乘以7个氧化物等换算质量％，求得Al2O3、MgO、SiO2、CaO、MnO、MnS、CrS的夹杂物面积(μm2)。
接着，针对通过夹杂物自动解析软件识别的所有夹杂物分别求得夹杂物面积，对上述7个氧化物或硫化物的每个将夹杂物面积求和，得到Al2O3的面积总和、MgO的面积总和、SiO2的面积总和、CaO的面积总和、MnO的面积总和、MnS的面积总和、CrS的面积总和。将该7个面积总和的总和作为所有夹杂物的面积总和。通过将各氧化物等的面积总和用所有夹杂物的面积总和进行除算，从而计算夹杂物的组成比率(质量％)。
将粒径大于5.00μm的夹杂物的个数密度设为20个/cm2以下。因此，作为平坦化膜的裂纹成因的使不锈钢箔表面的产生凹坑的尺寸的夹杂物得到减少。粒径大于5.00μm的夹杂物优选较少，优选为15个/cm2以下、12个/cm2以下、10个/cm2以下，较优选为8个/cm2以下、6个/cm2以下、5个/cm2以下。
[板厚]
本发明中使用的不锈钢箔的板厚为5.0μm以上100.0μm以下。板厚比100.0μm更厚时，不能期待作为箔的柔性，还会失去作为箔的较大特征的轻量化的优势。板厚比5.0μm更薄的不锈钢箔在处理时非常容易发生所谓的弯折或折皱，难以适应工业工艺，同时作为基板的强度降低，使用时的可靠性也会产生问题。并且，这样薄的不锈钢箔从工业性的观点出发原本就不能不是价格高的材料。此外，本发明中使用的不锈钢箔的板厚能够使用接触式的所谓千分尺进行测定。本发明中使用的不锈钢箔的板厚为10.0μm以上80.0μm以下，在防止平坦化膜的裂纹产生的方面，更加优选。
针对本发明的带平坦化膜的不锈钢箔的制造方法进行说明。
本发明的不锈钢箔例如能够以如下的方式制造，但下面所示的方法为例示，目的并不在于限定于该方法。
例如，在10－1(Torr)以下的真空气氛中，将调整为规定的组分的原料进行真空熔融，得到作为目标的合金组分的熔融金属。此时，为了使熔融金属脱氧，以除渣后的熔融金属的Mn及Si的含量分别成为规定的含量的方式，添加Mn及Si。
接着，使用Ar或N2气体等惰性气体，通过气体喷散进行雾化(粉体化)。气体喷散时的熔融金属温度为了降低熔融金属的粘性，优选设为熔点+50℃～200℃的范围。此外，气体喷散时的气体流量(m3/分)/熔融金属流量(kg/分)之比设为0.3(m3/kg)以上即可。气体流量(m3/分)/熔融金属流量(kg/分)之比小于0.3(m3/kg)时，熔滴的冷却速度变慢，因此碰撞铸锭表面时的液滴的液相率过高，夹杂物粗大化。
因此，气体流量与熔融金属流量之比设为0.3(m3/kg)以上，优选为0.5以上、0.7以上、0.9以上、1.0以上、1.5以上，较优选为2.0以上。气体流量(m3/分)/熔融金属流量(kg/分)之比的上限并不特别限定，但为5.0(m3/kg)以上时，冷却能力饱和，因此上限可以设为5.0(m3/kg)。
将由所述雾化工序得到的合金粉末，通过热压法或HIP法烧结，制造钢锭。烧结方法并不特别限定。根据通常的热压法等，以适当条件设定即可。
合金粉末，其粒径越小，烧结越容易进行，但相比于粒径较大的合金粉末，生产性较低。另一方面，合金粉末的粒径越大，可能越容易混入来自炉材的杂质。因此，合金粉末的粒径为300μm以下，优选为250μm以下、200μm以下、150μm以下，更加优选为100μm以下。
通过上述的雾化(粉体化)法，能够抑制含有Al或Mg，并且如果是固相下处理的烧结法，则不会如凝固法(铸造法)那样混入来自耐火物的Al或Mg，因此抑制生成粗大(例如5μm以上)夹杂物。由于这些原因，最终减少Al2O3或尖晶石系的夹杂物自身，尤其能够显著抑制5μm以上的粗大夹杂物生成。
接着，将所制造的合金钢锭通过热锻或切削、或磨削加工，制造钢片，将所述钢片轧制为3.0mm～200mm厚度。所述轧制可以是热轧也可以是冷轧。3.0mm～200mm厚度的所述轧制板通过重复进行轧制工序，被形成为板厚100.0μm以下的不锈钢箔。板厚的下限为了得到本发明的效果为5.0μm。
也可以在对所述钢锭进行热轧、热锻或冷轧的前后进行退火工序。此外，所述退火工序、热锻工序及热轧工序中的温度是为了防止夹杂物的凝集，小于本发明的铁系合金的熔点的温度，优选设为本发明的铁系合金的熔点温度－500℃以上、且本发明的铁系合金的熔点温度－200℃以下的范围。
热轧或热锻后可以进行冷轧。也可以在冷轧的过程张红进行中间退火。通过轧制，将夹杂物，尤其是将软质系夹杂物延展、破碎，能够将夹杂物细微化。关于夹杂物的细微化，相比于热轧，冷轧更有效果，并且板厚越薄越有效果，因而以热轧后的板厚(冷轧前的板厚)为基准，可以将冷轧的总轧制率设为96.0％以上。优选地设为97.0％以上、98.0％以上、99.0％以上、99.5％以上即可。并且，轧制率高时能够期待夹杂物的细微化效果，因此除制造目标的板厚的道次、进行形状校正的道次之外，可以将各道次中的轧制率设为20.0％以上。通过以这样的轧制率进行冷轧，能够将软质的夹杂物进一步通过延展、破碎来细微化，并且进行分散。
另一方面，还可知在板厚减薄至一定程度，夹杂物细微化一定程度后的轧制(终轧)中，与夹杂物的细微化同时，会引起夹杂物的脱落导致的表面凹凸的生成、或贯通不锈钢箔的针孔的生成。因此，在从比最终板厚厚10～80μm的板厚到最终板厚为止的终轧(多级轧制)中，可以设定为将各道次的单位轧制荷重(kN/mm)控制在适当区域的温和的轧制。所谓单位轧制荷重，是将由轧制辊施加于被加工件的荷重用被加工件的板宽除算而得到的值。例如，单位轧制荷重设为0.4～1.3kN/mm，将累积轧制率设为50.0％以上即可。若单位轧制荷重小于0.4kN/mm，则伴随轧制的加工发热较少，作为被加工件的合金箔的柔软性降低，因此在夹杂物与合金箔的界面产生裂纹，夹杂物的脱落增多。此外，若高于1.3kN/mm，则加工发热增多，但合金箔的塑性变形量自身增大，从而在与夹杂物的界面产生裂纹，夹杂物的脱落增多。此外，若终轧的累积轧制率小于50.0％，则存在不能展现合金箔的强度的情况。终轧的累积轧制率的上限并不特别限定，但根据通常的箔轧制机的能力设为98.0％以下即可。
并且，为了抑制夹杂物的脱落导致的表面凹凸的生成，用于制成最终板厚的最终轧制的轧制率可以设为0.2～3.0％。在此，所谓轧制率，在将轧制前的板厚设为t1，将轧制后的板厚设为t2时，以下面的式子表示。
轧制率＝(t1－t2)/t1
例如，终轧的累积轧制率虽然为多级，但将终轧前的板厚设为t1，将终轧后的板厚设为t2即可。各道次的轧制率，将各轧制道次前的板厚设为t1，将该轧制道次后的板厚设为t2即可。
进一步，也可以在终轧(最终轧制)后为了去应力而进行退火。
[平坦化膜的组成]
本发明的带平坦化膜的不锈钢箔的制造中使用的平坦化膜为二氧化硅系无机有机复合膜。
[二氧化硅系无机有机复合膜]
二氧化硅系无机有机复合膜通常具有作为硅的基本单位，包含R2Si(OR’)2、RSi(OR’)3，或Si(OR’)4的结构，通过涂布在溶剂中水解、缩合后的涂布液，并热处理而得到。在此，R为任意的有机基，R’为烷基。R2Si(OR’)2、RSi(OR’)3、Si(OR’)4分别相当于Si的D核(二官能性)、T核(三官能性)、Q核(四官能性)。
构成平坦化膜的二氧化硅系无机有机复合膜在包含Si的D核作为构成要素的情况下，能够对膜赋予柔软性，在器件制作时的高温工艺中，通过D核形成3元环并分开，因此对器件的特性造成不良影响。因此，要求构成平坦化膜的Si核为仅由T核及Q核构成的二氧化硅系无机有机复合膜。Q核相对于所有Si核的比例为高于70％的情况下，构成膜的Si－O键的密度变得过高，此时，膜中容易形成裂纹，不适用。T核与Si直接结合的有机基为一个，因此能够对膜赋予柔软性。Q核的比例为70％以下为好。
构成本发明的二氧化硅系无机有机复合膜的直接结合于Si的有机基R并不特别限制。例如，从耐热性的观点出发，优选甲基、苯基。可以分别单独含有甲基和苯基，也可以同时含有二者。关于平坦化膜中的Si核，能够通过29Si－NMR测定来确定种类和量。直接结合于Si的有机基能够根据FTIR或13C－NMR与1H－NMR的组合等来调查。
[二氧化硅系无机有机复合膜形成用涂布液]
二氧化硅系无机有机复合膜能够通过各种方法制作。二氧化硅系无机有机复合膜在为苯基改性二氧化硅膜的情况下，例如由如下所示的涂布液制作。下面所示的方法为例示，目的并不在于限定于该方法。
该涂布液是在有机溶剂中对苯基三烷氧基硅烷1摩尔，加入醋酸0.1摩尔以上1摩尔以下、有机锡0.005摩尔以上0.050摩尔以下作为催化剂，以2.0摩尔以上4.0摩尔以下的水进行水解后，在160℃以上210℃以下的温度下，将苯基三烷氧基硅烷的水解时使用的有机溶剂、作为反应副产物的水及乙醇减压蒸馏所得的树脂，溶解于芳香烃系溶剂而成的涂布液。
作为此处使用的苯基三烷氧基硅烷，举出苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、苯基三丙氧基硅烷等。
作为将苯基三烷氧基硅烷水解时使用的有机溶剂，举出甲醇、乙醇、丙醇等。
减压蒸馏时馏去的有机溶剂，除将苯基三烷氧基硅烷水解时使用的有机溶剂之外，还包含通过苯基三烷氧基硅烷的水解而生成的乙醇。此外，有时还包含伴随水解后的苯基三烷氧基硅烷的缩合反应而生成的水。
作为芳香烃系溶剂，可举出甲苯、二甲苯等。芳香烃系溶剂中，在不影响特性的范围中，也可以混合其他有机溶剂。
有机锡是促进苯基三烷氧基硅烷及其水解缩合反应物、或含苯基梯形聚合物的缩聚反应的催化剂。作为有机锡，可举出二乙酸二丁基锡、双(乙酰氧基二丁基锡)氧化物、双乙酰丙酮二丁基锡、二丁基锡双马来酸单丁酯、二辛基锡双马来酸单丁酯、双(月桂二丁基锡)氧化物等。
二氧化硅系无机有机复合膜是通过将上述涂布液涂布在不锈钢箔的表面，在惰性气体气氛中以300℃以上450℃以下的热处理温度使其固化，优选以膜厚0.3μm以上5.0μm以下的方式形成。
二氧化硅系无机有机复合膜为甲基改性二氧化硅膜的情况下，例如由如下所示的涂布液制作。
将甲基三乙氧基硅烷0.6摩尔与四甲氧基硅烷0.4摩尔在12.0摩尔的乙醇中以2.0摩尔的水和0.1摩尔的醋酸进行水解、缩合反应后的涂布液以膜厚1.0μm涂布后，在氮气中以450℃进行10分钟的热处理而得到膜，该膜的甲基所键合的T核为60％、Q核为40％。作为Q核的原料，除四甲氧基硅烷之外，还能够使用四乙氧基硅烷、四丙氧基硅烷、胶体二氧化硅等。除甲基三乙氧基硅烷以外，还能够使用甲基三甲氧基硅烷。也可以将这些原料组合多个。
二氧化硅系无机有机复合膜有时因为涂布后的热处理温度及热处理中的气体氛围的原因，导致原料的有机烷氧基硅烷的有机基发生热分解，Si从T核转变成Q核。因此，将作为T核的原料、例如甲基三甲氧基硅烷1.0摩尔在8.0摩尔的甲醇中，使用3.0摩尔的水和0.01摩尔的硝酸，进行水解、缩合得到的涂布液以膜厚0.4μm涂布后，在包含0.1％的氧的氮气中，进行500℃、1分的热处理时，在平坦化膜中，甲基所键合的T核的Si为98％，甲基热分解后的Q核的Si存在2％。另一方面，将所述涂布液以膜厚0.4μm涂布于不锈钢箔后，在氮气中，进行500℃、1分的热处理时，甲基所键合的T核的Si成为100％。
不锈钢箔上所形成的二氧化硅系无机有机复合膜的膜厚为0.3μm以上5.0μm以下。在比0.3μm薄的情况下，不锈钢箔表面的覆盖不充分，不锈钢箔与器件短路，或二氧化硅系无机有机复合膜的表面并没有充分平坦，构成器件的电极层或半导体层发生分层，因而不适宜。在高于5.0μm的情况下，膜中容易产生裂纹。不仅是制膜时容易产生裂纹，在由平坦化膜覆盖的不锈钢箔作为柔性基板进行了弯曲时也容易产生裂纹。从覆盖不锈钢箔表面及防止裂纹的观点出发，更加优选膜厚为0.5μm以上3.5μm以下。
实施例
接着，根据实施例进一步说明本发明。无需说明的是，本发明并不限定于此处示出的实施例。
关于试样1、2，制备通过真空感应熔融炉调整为表1所示的组分的不锈合金组成的熔融金属，通过基于N2气体的气体喷散进行粉末化。气体喷散时的熔融金属温度为了降低熔融金属的粘性，设定为液相线温度+50℃～液相线温度+200℃的范围。此外，气体喷散时的气体流量(m3/分)/熔融金属流量(kg/分)之比调整为1.0～3.0(m3/kg)。
接着，将所得到的合金粉末封入金属容器中，通过公知的HIP处理方法制造试样1、2的钢锭。
关于试样3、4，制备通过真空感应熔融炉调整为表1所示的成分的不锈合金组成的熔融金属，但其后将熔融金属移至铸模中，在铸模中凝固，制造钢锭。其间，流入熔融金属的中间包或铸模内部的耐火物使用与通常操作中使用的耐火物同等的耐火物。
将试样1、2的一部分与试样3、4的各钢锭热锻，制造截面为80mm×80mm的钢片，将该钢片热轧至3.0mm厚，其后进行冷轧，得到板厚0.30mm的钢板。对所得的钢板冷轧，除制作为目标板厚的道次、或进行形状校正的道次之外，将各道次中的轧制率设为20.0％以上，得到比最终板厚厚50μm的板厚的钢箔。将从试样1、2得到的钢箔终轧，制造板厚5.0μm、10.0μm、25.0μm、50.0μm、100.0μm的不锈钢箔。对从试样3、4得到的钢箔终轧，制造板厚50.0μm的不锈钢箔。此时，单位轧制荷重设为0.4～1.3kN/mm，将最终的终轧的轧制率设为0.2～3.0％。此外，为了除去冷轧导致的应力，进行应力退火。
由试样1制造的不锈钢箔按照板厚5.0μm、10.0μm、25.0μm、50.0μm、100.0μm的顺序，设为试样1－1、1－2、1－3、1－4、1－5。由试样2制造的不锈钢箔也同样地设为试样2－1、2－2、2－3、2－4、2－5。由试样3制造的不锈钢箔作为试样3－1，由试样4制造的不锈钢箔作为试样4－1。
对试样1、2的一部分的各钢锭热锻，制造截面为80mm×80mm的钢坯，将该钢坯热轧至3.0mm厚度，其后进行冷轧，得到板厚0.30mm的钢板。冷轧所得到的钢板，除了制成目标的板厚的道次、进行形状校正的道次之外，将各道次中的轧制率设为小于20.0％，得到比最终板厚厚50.0μm的板厚的钢箔。将所得到的钢箔终轧，制造板厚50.0μm的不锈钢箔。此时，将最终的终轧的轧制率设为5.0％。此外，为了除去冷轧导致的应力，进行应力退火。由试样1制造的该不锈钢箔作为试样1－6，由试样2制造的该不锈钢箔作为试样2－6。
[表1]
准备用于形成含苯基的二氧化硅系无机有机复合膜的涂布液。首先，使用1L的烧瓶，以成为表2所示的配制比的方式进行配制，以总量为0.7L的方式调和原料。调和后，用磁力搅拌器将原料进行15分搅拌及混合，为了促进水解，以80℃、3小时、氮气气流下进行回流。其后，使用旋转蒸发器，将油浴器的设定温度设为80℃，对溶剂减压蒸馏，得到缩合反应物。其后，将甲苯与缩合反应物的重量等量地添加，溶解缩合反应物。将该1L烧瓶连接于带迪安斯塔克分水器的回流器，进行加热回流。在表2中示出加热回流时的油浴器的设定温度和回流时间。加热回流后，进一步添加甲苯，以固体成分浓度成为30质量％的方式进行稀释，设置孔径5μm的过滤器，实施减压过滤，制成含苯基的二氧化硅系无机有机复合膜形成用涂布液。
[表2]
在制造的各不锈钢箔的单面，使用缝模涂布机，以膜厚0.3、3.0、5.0μm形成含苯基的二氧化硅系无机有机复合膜。干燥炉炉长为3m，炉的温度设置为100℃，以速度5mpm传输，一边贴附于PAC3J－30H的微粘接性保护膜一边卷取。接着，一边剥离保护膜，一边以传输速度1mpm通过炉长6m、炉温400℃的氮气气氛的热风干燥炉，一边贴附PAC3J－30H的微粘接性保护膜一边卷取，得到带平坦化膜的不锈钢箔卷。通过29Si－NMR确认Si核全部为T核。通过FTIR确认有机基为苯基。
准备用于形成含甲基的二氧化硅系有机无机复合膜的涂布液。将甲基三乙氧基硅烷0.5摩尔和四甲氧基硅烷0.5摩尔在6.0摩尔的2－乙氧基乙醇中，以2.0摩尔的水和0.1摩尔的醋酸使其水解、缩合反应，在其后，通过追加6.0摩尔的MEK并混合从而进行合成。
在制造的各不锈钢箔的单面，使用缝模涂布机以膜厚1.0μm形成含甲基的二氧化硅系无机有机复合膜。干燥炉为炉长3m，炉的温度设置为150℃，以速度5mpm传输，一边贴附PAC3J－30H的微粘接性保护膜一边卷取。接着，一边剥离保护膜一边以传输速度1mpm通过炉长6m、炉温420℃的氮气气氛的热风干燥炉，一边贴附PAC3J－30H的微粘接性保护膜一边卷取，得到带平坦化膜的不锈钢箔卷。通过29Si－NMR确认Si核为T核与Q核各50％。通过FTIR确认有机基为甲基。
在表3、4、5、6、7、8中示出对于如上述制造的带平坦化膜的不锈钢箔的夹杂物评价、平坦性、绝缘可靠性进行评价的结果。在此，夹杂物的观察针对未形成平坦化膜的不锈钢箔的表面进行，平坦性或绝缘可靠性针对形成有平坦化膜的表面(相当于进行了夹杂物评价的不锈钢箔表面的背面侧的位置)进行评价。
使用SEM(日本电子制造的JSM－IT500HR)观察了未形成平坦化膜的不锈钢箔的表面的夹杂物。在未形成平坦化膜的不锈钢箔的表面观察到的夹杂物的个数与在形成了平坦化膜的面中测定的漏电流的测定点数观察到相关性。SEM的设定如下。
·检测器：反射电子检测器BED－C
·观察倍率：80倍
·加速电压：20.0kV
·工作距离(WD)：10.0mm
·照射电流：80％
此外，通过SEM获取的图像在夹杂物自动解析软件(Oxford公司制造的Aztec的粒子解析模式)中检测到夹杂物，在EDS装置(Oxford公司制造的ULTIM MAX 65)中实施夹杂物的组成分析。
在夹杂物自动解析软件进行的夹杂物的识别工序中，首先取得夹杂物自动解析软件中使用的SEM像。接着，在SEM获取的图像在夹杂物自动解析软件中检测到当量圆直径为2.00μm以上的夹杂物，且通过EDS检测到Al、Mg、Si、Ca、Mn、S元素的至少一种以上的情况下，识别为夹杂物。针对完成EDS分析的图像，在软件上结合，作为一个图像输出。此时，还获取由夹杂物自动解析软件识别的夹杂物的粒径、元素组分。评价面积设为100cm2，将当量圆直径作为夹杂物的粒径。
夹杂物的组分是针对通过所述夹杂物自动解析软件识别的夹杂物，计算Al2O3、MgO、的氧化物换算质量％。
[每100cm2的1μA/mm2以上的漏电流的测定点数]
在不锈钢箔的表面形成平坦化膜，制作试验片。将浸渍了在所述膜上的导电率0.1S/m以上100S/m以下的液体的截面积为1mm2以上25mm2以下的电极作为上部电极，将所述不锈钢箔称为下部电极，通过前述上部电极扫描所述试验片的表面，测定在前述上部电极与前述下部电极之间施加10V时的漏电流为1μA/mm2以上的位置的数量。
[平坦性]
在前述试验片的、测定到1μA/mm2以上的漏电流的位置，平坦化膜中产生了裂纹，并且由裂纹产生的平坦化膜表面的高度差导致平坦性降低。
在漏电流为1μA/mm2以上的点在每100cm2为小于10个的情况下，将平坦性判定为良好“〇”，10个以上的情况下，将平坦性判定为不适宜“×”。由于10个以上时器件缺陷显著增加，所以将小于10个设为良好。
[绝缘可靠性]
在测定到1μA/mm2以上的漏电流的位置为小于0～10点的情况下，将绝缘可靠性评价为良好“○”，在10点以上的情况，将绝缘可靠性评价为不适宜“×”。
[表3]
[表4]
[表5]
[表6]
[表7]
[表8]
试样1－1、1－2、1－3、1－4、1－5、2－1、2－2、2－3、2－4、2－5，Al2O3被较低地抑制在28.5质量％以下、MgO被较低地抑制在9.7质量％以下，通过轧制难以细微化的夹杂物即Al2O3与MgO较少，从而当量圆直径高于5μm的夹杂物的个数被较低地抑制在8.8个/cm2以下。因此，可知每100cm2的1μA/mm2以上的漏电流的测定点数少至9.5个以下，减少裂纹的发生。
此外，可知的是，板厚越薄，夹杂物越细微化，Al2O3的质量％、MgO的质量％、当量圆直径高于5μm的夹杂物的个数减少，每100cm2的1μA/mm2以上的漏电流的测定点数变少。
试样1－6、2－6的不锈钢箔，各道次的轧制率为小于20％，不能使夹杂物细微化，因此包含Al2O3较多，为43.1质量％以上，包含MgO较多，为19.4质量％以上，当量圆直径高于5μm的夹杂物的个数较多，为30.7个/cm2以上。因此，每100cm2的1μA/mm2以上的漏电流的测定点数多至32个以上，因此可知产生裂纹的数量较多。
此外，与试样1－6、2－6相比较可知，变更轧制条件而制造的试样1－1、1－2、1－3、1－4、1－5、2－1、2－2、2－3、2－4、2－5，各道次的轧制率为20％以上，夹杂物被细微化，Al2O3的质量％、MgO的质量％、当量圆直径高于5μm的夹杂物的个数减少，当量圆直径高于5μm的夹杂物的个数减少。
试样3－1、4－1的不锈钢箔，包含Al2O3多至35.1质量％以上，包含MgO多至11.3质量％以上。通过轧制难以细微化的夹杂物即Al2O3和MgO较多，从而当量圆直径高于5μm的夹杂物的个数多至23.4个/cm2以上。因此，每100cm2的1μA/mm2以上的漏电流的测定点数多至30.0个以上，因此可知产生裂纹的数量较多。
其结果可知，试样1、2能够抑制Al或Mg的含有，也不存在如试样3、4那样来自耐火物的Al或Mg的混入，因此Al2O3或MgO减少，当量圆直径高于5μm的夹杂物的个数减少。

Claims (5)

1.一种带平坦化膜的不锈钢箔，
具有不锈钢箔，并在所述不锈钢箔的至少一个面具有膜厚为0.3μm以上5.0μm以下的平坦化膜，
所述不锈钢箔中：
具有包含不锈钢成分且剩余部分由Fe及杂质构成的组成，
相对于粒径2.00μm以上的夹杂物的总计质量，Al2O3：30质量％以下，MgO：10质量％以下，
所述粒径2.00μm以上的夹杂物之中，存在于表面的粒径大于5.00μm的夹杂物为20个/cm2以下，
并且板厚为5.0μm以上100.0μm以下。
2.根据权利要求1所述的带平坦化膜的不锈钢箔，
所述不锈钢箔是奥氏体系不锈钢箔，并具有以下的组成：以质量％计包含
C：0.150％以下、
Si：0.050～2.000％、
Mn：0.100～10.000％、
P：0.045％以下、
S：0.007％以下、
Ni：2.000～15.000％、
Cr：15.000～20.000％、
N：0.200％以下、
Al：0.030％以下、
Mg：0.0005％以下、
Ca：0.0005％以下，
剩余部分由Fe及杂质构成。
3.根据权利要求1所述的带平坦化膜的不锈钢箔，
所述不锈钢箔是铁素体系不锈钢箔，并具有以下的组成：以质量％计包含
C：0.120％以下、
Si：0.050～2.000％、
Mn：0.100～1.250％、
P：0.040％以下、
S：0.030％以下、
Cr：15.000～20.000％、
N：0.025％以下、
Al：0.030％以下、
Mg：0.0005％以下、
Ca：0.0005％以下，
剩余部分由Fe及杂质构成。
4.根据权利要求1～3的任一项所述的带平坦化膜的不锈钢箔，
所述平坦化膜是二氧化硅系的有机无机复合膜，构成所述有机无机复合膜的Si核仅包含T核及Q核。
5.根据权利要求4所述的带平坦化膜的不锈钢箔，
所述平坦化膜为二氧化硅系的有机无机复合膜，Q核相对于构成所述有机无机复合膜的Si核的比例为70％以下。
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