WO2022244744A1 - 平坦化膜付きステンレス鋼箔 - Google Patents

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翔平 河合
裕人 海野
淳 中塚
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日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社
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    • C22C33/0285—Making ferrous alloys by powder metallurgy characterised by the range of the alloying elements with at least one alloying element having a minimum content above 5% with Cr, Co, or Ni having a minimum content higher than 5%

Definitions

  • the present invention relates to a stainless steel foil with a planarizing film that can be applied to flexible substrates for electronic devices.
  • a stainless steel foil with a flattening film is attracting attention, which is obtained by forming a flattening film on at least one side of a stainless steel foil to impart flatness and insulation.
  • a stainless steel foil with a flattening film coated with a silica-based inorganic-organic hybrid material with excellent heat resistance is a promising material.
  • Patent Documents 1 and 2 and the like describe stainless steel foils on which a silica-based inorganic-organic hybrid material is deposited.
  • Patent Document 1 describes a stainless steel foil coated with an inorganic-organic hybrid film that is excellent in heat resistance, workability, flatness, flexibility and insulation. This stainless steel foil is obtained by coating one or both sides of the stainless steel foil with an inorganic-organic hybrid film containing an appropriate amount of organic groups, which is produced using a sol-gel method. A stainless steel foil excellent in such as is obtained.
  • Patent Document 2 describes a coating liquid for forming a flattening film that can be cured in a short time to make the surface of a metal foil coil as flat as a glass substrate by a roll-to-roll process, a flattening film that has both heat resistance and moisture resistance, and A metal foil coil thereby flattened is described.
  • This metal foil coil is prepared by adding 0.1 to 1 mol of acetic acid and 0.005 to 0.05 mol of organic tin as a catalyst to 1 mol of phenyltrialkoxysilane in an organic solvent, and adding 2 to 4 mol of organic tin. After hydrolysis with water of a molar amount or less, the resin obtained by distilling off the organic solvent under reduced pressure at a temperature of 160° C. or higher and 210° C. or lower is dissolved in an aromatic hydrocarbon solvent to form a flattening film that can be cured in a short time. It is obtained by applying a liquid.
  • Patent Document 3 discloses a stainless steel plate suitable for precision equipment members such as HDD (hard disk drive) members and semiconductor layer forming substrates including thin film silicon solar cell substrates.
  • HDD hard disk drive
  • the presence of minute pits distributed on the surface of the stainless steel sheet greatly affects the washability of the stainless steel sheet, and the minute pits are caused by traces of inclusions, carbonized particles, etc. falling off during the rolling process.
  • non-metallic inclusions containing Mn(O,S)--SiO 2 as a main component are generated, and MgO, Al 2 O 3 , and Cr 2 O 3 are adjusted to a predetermined concentration or less. , are disclosed to render non-metallic inclusions harmless.
  • An object of the present invention is to provide a stainless steel foil with a flattening film having excellent flatness and insulation reliability by reducing the number of dents present on the surface of the stainless steel foil that cause cracks in the flattening film. aim.
  • the inventors prepared a test piece by forming a flattening film made of a phenylsiloxane polymer with a film thickness of 2.0 ⁇ m or more and 4.0 ⁇ m or less on the surface of a stainless steel foil.
  • An electrode having a cross-sectional area of 4 mm 2 or more and 9 mm 2 or less immersed in a liquid having a conductivity of 0.1 S / m or more and 100 S / m or less on the film is used as an upper electrode, and the stainless steel foil is used as a lower electrode.
  • the surface was scanned with the upper electrode, and the number of locations where the leakage current was 1 ⁇ A/mm 2 or more when 10 V was applied between the upper electrode and the lower electrode was counted.
  • the inventors focused on Al 2 O 3 , MgO, SiO 2 , CaO, Mn(O, S), and CrS as basic components of inclusions.
  • inclusions made of at least one of SiO 2 , CaO, Mn(O, S), and CrS are difficult to cluster and have a low melting point and are soft. It was found that by stretching or crushing in the stretching process, coarse inclusions can be reduced. (SiO 2 , CaO, Mn(O, S), and CrS are sometimes called soft inclusions.)
  • inclusions such as alumina (Al 2 O 3 ) and magnesium-aluminum spinel (MgO.Al 2 O 3 , hereinafter sometimes referred to as spinel) have high interfacial energy and tend to segregate and aggregate during the solidification process. Therefore, the size after agglomeration tends to be large. Furthermore, since the inclusions of alumina and spinel are hard, they are difficult to crush during hot rolling or cold rolling, and as a result, they remain as large size inclusion particles. (Alumina and magnesium-aluminum spinel are sometimes called hard inclusions.)
  • the present invention provides: (1) having a composition containing a stainless steel component with the balance being Fe and impurities; Al 2 O 3 is 30% by mass or less and MgO is 10% by mass or less with respect to the total mass of inclusions having a particle size of 2.00 ⁇ m or more, Among the inclusions with a particle size of 2.00 ⁇ m or more, the number of inclusions with a particle size of more than 5.00 ⁇ m existing on the surface is 20/cm 2 or less, A stainless steel foil having a plate thickness of 5.0 ⁇ m or more and 100.0 ⁇ m or less, and a stainless steel with a flattening film having a flattening film having a thickness of 0.3 ⁇ m or more and 5.0
  • the stainless steel foil in % by mass, C: 0.150% or less, Si: 0.100 to 2.000%, Mn: 0.100 to 10.000% or less, P: 0.045% or less, S: 0.007% or less, Ni: 2.000 to 15.000%, Cr: 15.000 to 20.000% or less, N: 0.200% or less, Al: 0.030% or less, Mg: 0.0005% or less,
  • the stainless steel foil with a planarizing film according to (1) above which is an austenitic stainless steel foil having a composition containing Ca: 0.0005% or less and the balance being Fe and impurities.
  • the stainless steel foil in % by mass, C: 0.120% or less, Si: 2.000% or less, Mn: 0.100 to 1.250% or less, P: 0.040% or less, S: 0.030% or less, Cr: 16.000 to 20.000% or less, N: 0.025% or less, Al: 0.030% or less, Mg: 0.0005% or less,
  • planarizing film is a silica-based organic-inorganic hybrid film
  • Si nuclei constituting the organic-inorganic hybrid film include only T nuclei and Q nuclei.
  • the planarizing film according to (4) wherein the planarizing film is a silica-based organic-inorganic hybrid film, and the ratio of Q nuclei to Si nuclei constituting the organic-inorganic hybrid film is 70% or less. stainless steel foil.
  • the stainless steel foil according to the present invention is not particularly limited.
  • it may be an austenite type such as SUS304, or a ferrite type such as SUS430.
  • the stainless steel foil according to the present invention is an austenitic stainless steel foil
  • the stainless steel foil contains, in mass %, C: 0.150% or less, Si: 0.050 to 2.000%, Mn: 0.100-10.000%, P: 0.045% or less, S: 0.007% or less, Ni: 2.000-15.000%, Cr: 15.000-20.000%, N: 0 .200% or less, Al: 0.030% or less, Mg: 0.0005% or less, Ca: 0.0005% or less, and the balance being Fe and impurities.
  • Ni has the effect of improving corrosion resistance and workability, and is a main component for adjusting the thermal expansion coefficient of stainless steel. From the viewpoint of improving corrosion resistance, the Ni content is 2.000% or more. However, Ni is an expensive element, and if the Ni content is too high, a bainite structure tends to form in the steel after hot rolling or hot forging. Therefore, the Ni content should be 15.000% or less.
  • Cr is an alloying component necessary for improving corrosion resistance. However, if an excessive amount of Cr is included, the steel material hardens and workability deteriorates, so the Cr content is 20.000% or less. Although the lower limit of the Cr content is not particularly limited, it is 15.000% or more because the effect of adding Cr becomes remarkable at a content of 15.000% or more.
  • C carbon
  • the C content is 0.150% or less, preferably 0.100% or less, and more preferably 0.050% or less.
  • Ca forms a solid solution in sulfides, finely disperses the sulfides, and spheroidizes the sulfides.
  • Ca that does not form a solid solution in the sulfide may form coarse oxides, resulting in poor etching. Therefore, it is not necessary to contain Ca, but if it is contained, the amount of Ca is 0.0005% or less, preferably 0.0001% or less.
  • Mn is actively used as a deoxidizer instead of Mg and Al to avoid spinel formation.
  • the Mn content is 10.000% or less, preferably 5.000% or less, 2.000% or less, 1.500% or less, 1.200% or less, 1.000% or less, and more preferably is 0.800% or less, 0.600% or less, or 0.500% or less.
  • the lower limit of Mn is not particularly limited. However, if the Mn content is too low, it becomes difficult to adjust the composition of the inclusions to the Mn(O,S)—SiO 2 system. Therefore, Mn is 0.100% or more.
  • Mn(O, S) refers to MnO simple substance, MnS simple substance, and inclusions in which MnO and MnS are combined. Means complex inclusions.
  • Si increases the thermal expansion coefficient of stainless steel.
  • the deoxidation product MnO--SiO 2 is a vitrified soft inclusion, which is elongated and split during hot rolling to be refined. Therefore, the hydrogen embrittlement resistance is enhanced.
  • Si content exceeds 2.000%, the strength becomes too high and hardens, and when manufacturing a thin plate by cold working, a large number of passes are required to roll to a predetermined plate thickness, resulting in poor productivity. decreases significantly. Therefore, Si is 2.000% or less, preferably 1.000% or less, 0.500% or less, and more preferably 0.300% or less.
  • the lower limit of Si is not particularly limited, but if it is too small, deoxidation will be insufficient, and the concentration of Cr 2 O 3 in inclusions will increase, making it easier to form inclusions that induce work cracks. Therefore, the lower limit of Si is 0.050%, preferably 0.100%.
  • Mg is used for deoxidizing steel. However, if the Mg content exceeds 0.0005%, coarse inclusions may form. Also, the lower the Mg content, the better, in order to avoid the formation of spinels. Therefore, the Mg content is 0.0005% or less, preferably 0.0003% or less, 0.0002% or less, and more preferably 0.0001% or less.
  • Al is also used for deoxidizing steel. However, if the Al content exceeds 0.030%, coarse inclusions may form, resulting in poor etching. Also, the Al content is preferably as low as possible in order to avoid spinel formation. Therefore, the Al content is 0.030% or less, preferably 0.020% or less, 0.010% or less, and more preferably 0.005% or less.
  • P and S are elements that combine with alloying elements such as Mn in iron-based alloys to form inclusions, so the smaller the content, the better. Therefore, the P content is 0.045% or less, preferably 0.010% or less, 0.007% or less, and more preferably 0.005% or less.
  • the S content is 0.007% or less, more preferably 0.005% or less.
  • N like C
  • the upper limit of the N content is 0.200% because the manufacturability is significantly deteriorated if the N content is too large.
  • the balance of the above steel components is Fe and unavoidable impurities.
  • the unavoidable impurities are components that are mixed due to various factors in the manufacturing process, including raw materials such as ores and scraps, when steel is manufactured industrially, and have an adverse effect on the present invention. It means what is permissible within the scope of
  • the stainless steel foil according to the present invention is a ferritic stainless steel foil
  • the stainless steel foil contains, by mass %, C: 0.120% or less, Si: 0.050 to 2.000%, Mn: 0.100-1.250%, P: 0.040% or less, S: 0.030% or less, Cr: 15.000-20.000%, N: 0.025% or less, Al: 0.030% Below, it has a composition containing Mg: 0.0005% or less, Ca: 0.0005% or less, and the balance being Fe and impurities.
  • the Cr content is an alloy component necessary for improving corrosion resistance.
  • the Cr content is 20.000% or less because the excessive Cr content hardens the steel material and deteriorates workability.
  • the lower limit of the Cr content is not particularly limited, it is 15.000% or more because the effect of adding Cr becomes remarkable at a content of 15.000% or more.
  • C carbon
  • the C content is 0.120% or less, preferably 0.100% or less, and more preferably 0.050% or less.
  • Ca forms a solid solution in sulfides, finely disperses the sulfides, and spheroidizes the sulfides.
  • Ca that does not form a solid solution in the sulfide may form coarse oxides, resulting in poor etching. Therefore, it is not necessary to contain Ca, but if it is contained, the amount of Ca is 0.0005% or less, preferably 0.0001% or less.
  • Mn is actively used as a deoxidizer instead of Mg and Al to avoid spinel formation.
  • the Mn content is 1.250% or less. It is preferably 0.800% or less, 0.600% or less, and more preferably 0.500% or less.
  • Mn(O, S) refers to MnO simple substance, MnS simple substance, and inclusions in which MnO and MnS are combined. Means complex inclusions.
  • Si is positively deoxidized by Mn and Si instead of by Mg and Al.
  • Si increases the thermal expansion coefficient of stainless steel.
  • the deoxidation product MnO--SiO 2 is a vitrified soft inclusion, which is elongated and split during hot rolling to be refined. Therefore, the hydrogen embrittlement resistance is enhanced.
  • Si content exceeds 2.000%, the strength becomes too high and hardens, and when manufacturing a thin plate by cold working, a large number of passes are required to roll to a predetermined plate thickness, resulting in poor productivity. decreases significantly. Therefore, Si is 2.000% or less, more preferably 1.000% or less, 0.500% or less, and still more preferably 0.300% or less.
  • the lower limit of Si is not particularly limited, but if it is too small, deoxidation will be insufficient, and the concentration of Cr 2 O 3 in inclusions will increase, making it easier to form inclusions that induce work cracks. Therefore, the lower limit of Si is 0.050%, preferably 0.100%.
  • Mg is used for deoxidizing steel. However, if the Mg content exceeds 0.0005%, coarse inclusions may form. Also, the lower the Mg content, the better, in order to avoid the formation of spinels. Therefore, the Mg content is 0.0005% or less, preferably 0.0003% or less, 0.0002% or less, and more preferably 0.0001% or less.
  • Al is also used for deoxidizing steel. However, if the Al content exceeds 0.030%, coarse inclusions may form, resulting in poor etching. Also, the Al content is preferably as low as possible in order to avoid spinel formation. Therefore, the Al content is 0.030% or less, preferably 0.020% or less, 0.010% or less, and more preferably 0.005% or less.
  • the P and S are elements that combine with alloying elements such as Mn in iron-based alloys to form inclusions, so the smaller the content, the better. Therefore, the P content is 0.040% or less, preferably 0.010% or less, 0.007% or less, and more preferably 0.005% or less.
  • the S content is 0.030% or less, preferably 0.010% or less, 0.007% or less, and more preferably 0.005% or less.
  • N like C
  • the upper limit of the N content is 0.025%.
  • impurities refers to components that are mixed due to various factors in the manufacturing process, including raw materials such as ores and scraps, when steel is manufactured industrially, and are within a range that does not adversely affect the present invention. permissible in
  • the inventors focused on Al 2 O 3 , MgO, SiO 2 , CaO, Mn(O, S), and CrS as basic components of inclusions.
  • soft inclusions such as SiO 2 , CaO, Mn(O, S), and CrS are difficult to cluster and have a low melting point and are soft. It was found that quenching was suppressed.
  • hard inclusions such as alumina and magnesium-aluminum spinel have high interfacial energy and tend to segregate and agglomerate during the solidification process.
  • inclusions of alumina and spinel are hard, so that they are difficult to be stretched or crushed during rolling, and as a result, they remain as inclusion particles with a large size.
  • the formed soft inclusions are made finer by adjusting the rolling conditions (for example, the rolling reduction). Since it is difficult to make finer by rolling, it is important not to generate hard inclusions themselves, not to mix them, and not to agglomerate (coarse) even if they are generated or mixed.
  • the steel components in order to ensure mechanical strength as a stainless steel foil without forming inclusions in both the soft and hard systems, it is preferable to use the steel components as described above.
  • one of the causes of the aggregation of inclusions is, for example, segregation and aggregation during solidification from molten metal. It is not easy to avoid segregation during solidification.
  • the ingot may be produced by a process that does not use a solidification process from molten metal, such as HIP (Hot Isostatic Pressing). The manufacturing process will be explained later.
  • Inclusions contained in the stainless steel foil of the present invention are inclusions having a particle diameter (equivalent circle diameter) of 2.00 ⁇ m or more (hereinafter, sometimes simply referred to as “inclusions” unless otherwise specified) for measurement reasons. ). Coarse inclusions with a grain size of more than 5.00 ⁇ m are harmful and should be reduced as much as possible. is not.
  • Al 2 O 3 is 30% by mass or less and MgO is 10% by mass or less with respect to the total mass of inclusions having a particle size of 2.00 ⁇ m or more. Since these hard inclusions are preferably less, the ratio of Al 2 O 3 is preferably 25% by mass or less, 20% by mass or less, 15% by mass or less, 10% by mass or less, and more preferably 5% by mass. 3% by mass or less and 1% by mass or less.
  • the proportion of MgO is preferably 8% by mass or less, 6% by mass or less, and 5% by mass or less, and more preferably 4% by mass or less, 3% by mass or less, 2% by mass or less, and 1% by mass or less.
  • the stainless steel foil according to the present invention is characterized in that the number of inclusions having an equivalent circle diameter of more than 5.00 ⁇ m existing on the surface of the stainless steel foil is 20/cm 2 or less.
  • the number ratio of inclusions having a grain size of more than 5.00 ⁇ m contained in the stainless steel foil to which the flattening film is applied is 20/cm 2 or less on the surface of the stainless steel foil.
  • inclusions with a particle size of 5.00 ⁇ m or more existing on the surface of the stainless steel foil fall off from the surface of the stainless steel foil. This is because this dent occurs.
  • the grain size of inclusions was measured as follows. Inclusions on the surface of the stainless steel foil are observed using a scanning electron microscope (SEM). As the SEM, for example, JSM-IT500HR manufactured by JEOL Ltd. may be used. An example of SEM settings is shown. ⁇ Detector: Backscattered electron detector BED-C ⁇ Observation magnification: 80 times ⁇ Acceleration voltage: 20.0 kV ⁇ Working distance (WD): 10.0mm ⁇ Irradiation current: 80% Inclusions were detected from the image acquired by the SEM using inclusion automatic analysis software, and composition analysis of the inclusions was performed using an energy dispersive X-ray spectrometer (hereinafter referred to as an EDS device).
  • EDS device energy dispersive X-ray spectrometer
  • the particle analysis mode of AZtec manufactured by Oxford may be used.
  • the EDS apparatus may be ULTIM MAX 65 manufactured by Oxford, for example.
  • the inclusion automatic analysis software In the step of identifying inclusions by the inclusion automatic analysis software, first, an SEM image used in the inclusion automatic analysis software is acquired. Next, from the image acquired by the SEM, the inclusion automatic analysis software detected that the equivalent circle diameter was 2.00 ⁇ m or more, and that one or more of the elements Al, Mg, Si, Ca, Mn, and S were detected by EDS. Identifies as an inclusion if applicable. Images for which EDS analysis has been completed are combined on software and output as one image.
  • the circle-equivalent diameter and elemental composition of inclusions identified by the inclusion automatic analysis software are also obtained. Measurement is performed up to the set area by repeating the procedure for identifying inclusions described above.
  • the measurement area of the image may be 10 cm 2 as one field of view, which is the unit of measurement, and 10 fields of view may be measured, and a total of 100 cm 2 may be used as the evaluation area.
  • the diameter of a circle having the same area as the measured inclusion area is defined as the equivalent circle diameter (equivalent circle diameter), which is defined as the "grain size”.
  • the surface of the stainless steel foil was observed to determine the grain size of the inclusions. It is clear that the particle size of the material does not change in particular.
  • the inclusion composition is calculated as follows for each inclusion identified by the inclusion automatic analysis software. First, the mass percentages of the elements Al, Mg, Si, Ca, Mn, Cr, and S obtained by EDS analysis are divided by their atomic weights to obtain apparent material amounts of the elements. Next, the above seven elements are converted into oxides or sulfides, which are basic components of inclusions. In inclusions, Al, Mg, Si and Ca are mainly present as oxides. Mn and Cr mainly exist as sulfides, and Mn may also exist as an oxide MnO. S may exist as a chromium sulfide CrS in addition to the aforementioned sulfide MnS.
  • the apparent amount of S is greater than the apparent amount of Mn, the same amount of MnS as the apparent amount of Mn is present, and the apparent amount of Mn is subtracted from the apparent amount of S.
  • the apparent amount of S is less than the apparent amount of Mn, the same amount of MnS as the apparent amount of S is present, and the apparent amount of S is subtracted from the apparent amount of Mn.
  • a material amount of MnO is present.
  • the apparent amount of Mn and the apparent amount of S are exactly the same, the amount of MnS is present in the same amount as the amount of Mn and S.
  • the area of inclusions obtained by the automatic analysis software for inclusions is multiplied by the weight percentages in terms of seven oxides , etc., and the area of inclusions ( ⁇ m 2 ).
  • the inclusion area is obtained for all the inclusions identified by the inclusion automatic analysis software, and the inclusion area is totaled for each of the above seven oxides or sulfides to obtain the total area of Al 2 O 3 , MgO to obtain the total area of , the total area of SiO2 , the total area of CaO, the total area of MnO, the total area of MnS, and the total area of CrS.
  • the total sum of these seven areas is defined as the total area of all inclusions.
  • the composition ratio (% by mass) of inclusions is calculated by dividing the total area of each oxide or the like by the total area of all inclusions.
  • the number density of inclusions having a grain size of more than 5.00 ⁇ m is set to 20/cm 2 or less. For this reason, inclusions of a size that cause dents on the surface of the stainless steel foil that cause cracks in the planarizing film are reduced.
  • the number of inclusions with a particle size of more than 5.00 ⁇ m is preferably as small as possible, preferably 15/cm 2 or less, 12/cm 2 or less, 10/cm 2 or less, and more preferably 8/cm 2 or less. , 6/cm 2 or less, and 5/cm 2 or less.
  • the stainless steel foil used in the present invention has a plate thickness of 5.0 ⁇ m or more and 100.0 ⁇ m or less. If the plate thickness is greater than 100.0 ⁇ m, flexibility as a foil cannot be expected, and the advantage of weight reduction, which is a major feature of foil, is lost. A stainless steel foil having a thickness of less than 5.0 ⁇ m is very susceptible to so-called folding and wrinkling during handling, and is difficult to adapt to industrial processes. occurs. Furthermore, a stainless steel foil this thin is inherently expensive from an industrial point of view.
  • the plate thickness of the stainless steel foil used in the present invention can be measured using a contact type so-called micrometer.
  • the plate thickness of the stainless steel foil used in the present invention is more preferably 10.0 ⁇ m or more and 80.0 ⁇ m or less for the purpose of preventing cracks in the flattening film.
  • the stainless steel foil according to the present invention can be manufactured, for example, as follows, but the method shown below is an example and is not intended to be limited to this method.
  • a raw material adjusted to a predetermined composition is vacuum-melted to obtain a molten metal having a desired alloy composition.
  • Mn and Si are added so that the content of Mn and Si in the molten metal after the slag removal becomes a predetermined content, respectively.
  • atomization is performed by gas atomization using an inert gas such as Ar or N2 gas.
  • the temperature of the molten metal during gas atomization is preferably in the range of +50° C. to 200° C. in order to lower the viscosity of the molten metal.
  • the ratio of gas flow rate (m 3 /min)/melt flow rate (kg/min) during gas atomization is preferably 0.3 (m 3 /kg) or more.
  • the ratio of gas flow rate (m 3 /min)/molten metal flow rate (kg/min) is less than 0.3 (m 3 /kg), the cooling rate of the droplet becomes slow, so that the liquid when colliding with the ingot surface The liquid fraction of the droplets is too high and the inclusions become coarse. Therefore, the ratio of the gas flow rate to the molten metal flow rate is 0.3 (m 3 /kg) or more, preferably 0.5 or more, 0.7 or more, 0.9 or more, 1.0 or more, 1.5 or more, More preferably, it is 2.0 or more.
  • the upper limit of the gas flow rate (m 3 /min)/melt flow rate (kg/min) ratio is not particularly limited, but the cooling capacity is saturated at 5.0 (m 3 /kg) or more, so the upper limit is 5 0 (m 3 /kg).
  • the alloy powder obtained by the atomizing process is sintered by a hot press method or HIP method to produce an ingot.
  • the sintering method is not particularly limited. Conditions may be appropriately set in accordance with a conventional hot press method or the like.
  • the alloy powder should have a particle size of 300 ⁇ m or less, preferably 250 ⁇ m or less, 200 ⁇ m or less, 150 ⁇ m or less, and more preferably 100 ⁇ m or less.
  • the above atomization (pulverization) method can suppress the content of Al and Mg, and if it is a sintering method that is processed in a solid phase, it can be removed from the refractory like the solidification method (casting method). Since there is no mixing of Al or Mg, formation of coarse inclusions (for example, 5 ⁇ m or more) is suppressed. As a result, Al 2 O 3 and spinel-based inclusions themselves are finally reduced, and in particular, the generation of coarse inclusions of 5 ⁇ m or more can be remarkably suppressed.
  • the produced alloy ingot is subjected to hot forging, cutting, or grinding to produce a steel slab, and the steel slab is rolled to a thickness of 3.0 mm to 200 mm.
  • the rolling may be hot rolling or cold rolling.
  • the rolled plate having a thickness of 3.0 mm to 200 mm is formed into a stainless steel foil having a thickness of 100.0 ⁇ m or less by repeating the rolling process.
  • the lower limit of the plate thickness is 5.0 ⁇ m to obtain the effects of the present invention.
  • An annealing process may be performed before and after hot rolling, hot forging or cold rolling of the ingot.
  • the temperature in the annealing step, hot forging step and hot rolling step is a temperature below the melting point of the iron-based alloy of the present invention in order to prevent agglomeration of inclusions, preferably the iron-based alloy of the present invention.
  • the melting point temperature of the iron-based alloy of the present invention is ⁇ 500° C. or more, and the melting point temperature of the iron-based alloy of the present invention is ⁇ 200° C. or less.
  • Cold rolling should be performed after hot rolling or hot forging. Intermediate annealing may be performed during cold rolling.
  • inclusions especially soft inclusions, can be extended and crushed to make the inclusions finer.
  • Cold rolling is more effective in refining inclusions than hot rolling, and the thinner the sheet, the more effective it is.
  • the total rolling reduction of cold rolling should be 96.0% or more. It is preferably 97.0% or more, 98.0% or more, 99.0% or more, or 99.5% or more.
  • the rolling reduction in each pass should be 20.0% or more, except for the pass for building to the target thickness and the pass for correcting the shape. good.
  • the soft inclusions can be further extended and crushed to be finer and dispersed.
  • finish rolling after the sheet thickness has been reduced to a certain level and the inclusions have been refined to some extent, the inclusions are refined and at the same time surface unevenness is generated due to the falling off of the inclusions. It was found that the formation of pinholes through the foil occurred. Therefore, in finish rolling (multi-stage rolling) from a plate thickness 10 to 80 ⁇ m thicker than the final plate thickness to the final plate thickness, it is preferable to perform mild rolling by controlling the unit rolling load (kN/mm) of each pass in an appropriate range. .
  • the unit rolling load is obtained by dividing the load applied from the rolling rolls to the work material by the width of the work material.
  • the unit rolling load should be 0.4 to 1.3 kN/mm, and the cumulative draft should be 50.0% or more.
  • the unit rolling load is less than 0.4 kN/mm, there is little heat generated during rolling and the flexibility of the alloy foil, which is the work material, is reduced. More things fall off.
  • it exceeds 1.3 kN/mm the amount of plastic deformation of the alloy foil increases, so cracks occur at the interface with inclusions, and the inclusions often come off.
  • the cumulative reduction in finish rolling is less than 50.0%, the strength of the alloy foil may not be developed.
  • the upper limit of the cumulative rolling reduction in finish rolling is not particularly limited, it is preferable to set it to 98.0% or less from the capacity of a normal foil rolling mill.
  • the rolling reduction in the final rolling for obtaining the final plate thickness should be 0.2 to 3.0%.
  • the draft is expressed by the following formula, where t1 is the plate thickness before rolling and t2 is the plate thickness after rolling.
  • Reduction rate (t1-t2)/t1
  • the thickness before finish rolling may be t1
  • the thickness after finish rolling may be t2.
  • the reduction rate of each pass the plate thickness before each rolling pass is t1
  • the plate thickness after the rolling pass is t2.
  • annealing may be performed for strain relief after finish rolling (final rolling).
  • the planarizing film used for manufacturing the stainless steel foil with a planarizing film of the present invention is a silica-based inorganic-organic hybrid film.
  • a silica-based inorganic-organic hybrid film generally has a structure containing R 2 Si(OR′) 2 , RSi(OR′) 3 , or Si(OR′) 4 as a basic unit of silicone. It is obtained by applying a coating liquid hydrolyzed and condensed with and heat-treating it.
  • R is an arbitrary organic group and R' is an alkyl group.
  • R 2 Si(OR′) 2 , RSi(OR′) 3 , and Si(OR′) 4 correspond to the D nucleus (bifunctional), T nucleus (trifunctional), and Q nucleus (tetrafunctional) of Si, respectively. Equivalent to.
  • the silica-based inorganic-organic hybrid film that constitutes the planarizing film contains D nuclei of Si as a constituent element, flexibility can be imparted to the film, but D Since it forms a three-membered ring in the nucleus and is eliminated, it adversely affects the characteristics of the device. Therefore, it is required that the Si nuclei constituting the planarizing film be a silica-based inorganic-organic hybrid film composed only of T nuclei and Q nuclei. If the ratio of Q nuclei to all Si nuclei exceeds 70%, the density of Si—O bonds forming the film becomes too high, and in this case, cracks easily occur in the film, which is not suitable. Since the T nucleus has one organic group directly bonded to Si, it can impart flexibility to the film. The proportion of Q nuclei is preferably 70% or less.
  • the organic group R directly bonded to Si constituting the silica-based inorganic-organic hybrid film according to the present invention is not particularly limited.
  • a methyl group and a phenyl group are preferable from the viewpoint of heat resistance.
  • a methyl group and a phenyl group may be contained individually, or both may be contained at the same time.
  • the type and amount of Si nuclei in the planarizing film can be specified by 29Si-NMR measurement.
  • Organic groups directly bonded to Si can be investigated by FTIR or a combination of 13C-NMR and 1H-NMR.
  • Silica-based inorganic-organic hybrid films can be produced by various methods.
  • the silica-based inorganic-organic hybrid film is a phenyl group-modified silica film, it is prepared, for example, from the following coating solution. The methods presented below are exemplary and not intended to be limiting.
  • This coating liquid is prepared by adding 0.1 to 1 mol of acetic acid and 0.005 to 0.050 mol of organic tin as a catalyst to 1 mol of phenyltrialkoxysilane in an organic solvent, and adding 2.0 mol or more of the organic tin. After hydrolysis with 4.0 mol or less of water, the organic solvent used in the hydrolysis of phenyltrialkoxysilane and water and alcohol as reaction by-products are distilled off under reduced pressure at a temperature of 160° C. or more and 210° C. or less. It is a coating liquid obtained by dissolving the obtained resin in an aromatic hydrocarbon solvent.
  • Phenyltrialkoxysilane used here includes phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltripropoxysilane, and the like.
  • organic solvents used for hydrolyzing phenyltrialkoxysilane include methanol, ethanol, and propanol.
  • the organic solvent that is distilled off during vacuum distillation includes the organic solvent that was used when hydrolyzing the phenyltrialkoxysilane, as well as the alcohol produced by the hydrolysis of the phenyltrialkoxysilane. It may also contain water that is produced along with the condensation reaction of the hydrolyzed phenyltrialkoxysilane.
  • aromatic hydrocarbon solvents examples include toluene and xylene.
  • Other organic solvents may be mixed with the aromatic hydrocarbon solvent as long as the properties are not affected.
  • Organotin is a catalyst that promotes the polycondensation reaction of phenyltrialkoxysilane, its hydrolytic condensation reaction product, and phenyl group-containing ladder polymer.
  • organic tin include dibutyltin diacetate, bis(acetoxydibutyltin) oxide, dibutyltin bisacetylacetonate, dibutyltin bismaleic acid monobutyl ester, dioctyltin bismaleic acid monobutyl ester, bis(lauroxydibutyltin) oxide, and the like.
  • the silica-based inorganic-organic hybrid film is formed by applying the above-described coating solution to the surface of a stainless steel foil and curing it at a heat treatment temperature of 300 ° C. or higher and 450 ° C. or lower in an inert gas atmosphere, preferably to a film thickness of 0.3 ⁇ m. It is formed to have a thickness of 5.0 ⁇ m or less.
  • the silica-based inorganic-organic hybrid film is a methyl group-modified silica film
  • it is prepared from, for example, the following coating solution.
  • a film coated with a thickness of 1.0 ⁇ m and then subjected to heat treatment at 450° C. for 10 minutes in nitrogen has 60% T nuclei and 40% Q nuclei to which methyl groups are bonded.
  • tetramethoxysilane tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, colloidal silica, and the like can be used as a raw material for the Q nucleus.
  • methyltriethoxysilane methyltrimethoxysilane can also be used. A plurality of these raw materials may be combined.
  • the organic group of the organoalkoxysilane raw material may be thermally decomposed, and Si may change from the T nucleus to the Q nucleus. Therefore, it was obtained by hydrolyzing and condensing 1.0 mol of a raw material that is a T nucleus, such as methyltrimethoxysilane, in 8.0 mol of methanol using 3.0 mol of water and 0.01 mol of nitric acid. After applying the coating liquid to a film thickness of 0.4 ⁇ m, heat treatment was performed at 500° C. for 1 minute in nitrogen containing 0.1% oxygen.
  • a raw material that is a T nucleus such as methyltrimethoxysilane
  • the film thickness of the silica-based inorganic-organic hybrid film formed on the stainless steel foil is 0.3 ⁇ m or more and 5.0 ⁇ m or less. If the thickness is less than 0.3 ⁇ m, the coating of the stainless steel foil surface becomes insufficient, and the stainless steel foil and the device are short-circuited. This is not suitable because it causes delamination of layers and semiconductor layers. If the thickness exceeds 5.0 ⁇ m, cracks tend to occur in the film. Not only is cracking likely to occur during film formation, but cracking is also likely to occur when the stainless steel foil coated with the flattening film is bent as a flexible substrate. From the viewpoint of covering the surface of the stainless steel foil and preventing cracks, the film thickness is more preferably 0.5 ⁇ m or more and 3.5 ⁇ m or less.
  • molten metal having a stainless alloy composition adjusted to the components shown in Table 1 was prepared in a vacuum induction melting furnace, and powdered by gas atomization using N 2 gas.
  • the temperature of the molten metal during gas atomization was in the range of liquidus temperature +50° C. to liquidus temperature +200° C. in order to lower the viscosity of the molten metal.
  • the ratio of gas flow rate (m 3 /min)/melt flow rate (kg/min) during gas atomization was adjusted to 1.0 to 3.0 (m 3 /kg).
  • the obtained alloy powder was enclosed in a metal container, and ingots of test materials 1 and 2 were produced by a known HIP treatment method.
  • molten metal with a stainless alloy composition adjusted to the components shown in Table 1 was prepared in a vacuum induction melting furnace, and then the molten metal was transferred to a mold and solidified in the mold to produce an ingot. During this period, the same refractory used in normal operation was used for the tundish containing the molten metal and the refractory for the inner wall of the mold.
  • test materials 1 and 2 and each ingot of test materials 3 and 4 were hot forged to produce a steel slab having a cross section of 80 mm x 80 mm, and the steel slab was hot rolled to a thickness of 3.0 mm. , and then cold-rolled to obtain a steel plate having a thickness of 0.30 mm.
  • the obtained steel sheet is cold-rolled to achieve a thickness that is 50 ⁇ m thicker than the final thickness, with a rolling reduction of 20.0% or more in each pass, except for a pass for making it into a target thickness and a pass for correcting the shape. of steel foil was obtained.
  • the steel foils obtained from test materials 1 and 2 were finish-rolled to produce stainless steel foils having thicknesses of 5.0 ⁇ m, 10.0 ⁇ m, 25.0 ⁇ m, 50.0 ⁇ m and 100.0 ⁇ m.
  • the steel foils obtained from test materials 3 and 4 were finish-rolled to produce stainless steel foils having a thickness of 50.0 ⁇ m.
  • the unit rolling load was set to 0.4 to 1.3 kN/mm, and the rolling reduction in the final finish rolling was set to 0.2 to 3.0%.
  • tension annealing was performed in order to remove strain due to cold rolling.
  • the stainless steel foils produced from test material 1 are 5.0 ⁇ m, 10.0 ⁇ m, 25.0 ⁇ m, 50.0 ⁇ m, and 100.0 ⁇ m in order of thickness, test materials 1-1, 1-2, 1-3, 1 -4, 1-5.
  • the stainless steel foils produced from test material 2 were similarly designated as test materials 2-1, 2-2, 2-3, 2-4 and 2-5.
  • the stainless steel foil produced from test material 3 was designated as test material 3-1
  • the stainless steel foil produced from test material 4 was designated as test material 4-1.
  • a part of each ingot of test materials 1 and 2 was hot forged to produce a steel billet with a cross section of 80 mm ⁇ 80 mm, the steel billet was hot rolled to a thickness of 3.0 mm, and then cold rolled.
  • a steel plate having a thickness of 0.30 mm was obtained.
  • the obtained steel sheet is cold-rolled to a thickness of 50.0 ⁇ m thicker than the final thickness, with a rolling reduction of less than 20.0% in each pass, except for a pass to make it into a target thickness and a pass to correct the shape.
  • a thick steel foil was obtained.
  • the obtained steel foil was finish-rolled to produce a stainless steel foil having a thickness of 50.0 ⁇ m. At this time, the rolling reduction in the final finish rolling was set to 5.0%.
  • tension annealing was performed in order to remove strain due to cold rolling.
  • This stainless steel foil produced from test material 1 was designated as test material 1-6, and this stainless steel foil produced from test material 2 was designated as test material 2-6.
  • a coating liquid was prepared for forming a phenyl group-containing silica-based inorganic-organic hybrid film.
  • This 1 L flask was connected to a reflux device with a Dean-Stark trap to heat and reflux.
  • Table 2 shows the set temperature of the oil bath and the reflux time during heating and reflux. After heating and refluxing, toluene is further added to dilute the solid content concentration to 30% by mass, a filter with a pore size of 5 ⁇ m is set, and filtration under reduced pressure is performed to form a phenyl group-containing silica-based inorganic-organic hybrid film. A coating liquid was used.
  • a phenyl group-containing silica-based inorganic-organic hybrid film was formed with a film thickness of 0.3, 3.0, and 5.0 ⁇ m using a die coater.
  • the drying oven was set to a length of 3 m and a temperature of 100° C., conveyed at a speed of 5 mpm, and was wound while a slightly adhesive protective film of PAC3J-30H was adhered.
  • PAC3J-30H was adhered.
  • peeling off the protective film it is passed through a hot air drying furnace with a furnace length of 6 m and a furnace temperature of 400 ° C. in a nitrogen atmosphere at a conveying speed of 1 mpm.
  • a steel foil roll was obtained. It was confirmed by 29Si-NMR that all Si nuclei were T nuclei. FTIR confirmed that the organic group was a phenyl group.
  • a coating liquid was prepared for forming a methyl group-containing silica-based organic-inorganic hybrid film.
  • 0.5 mol of methyltriethoxysilane and 0.5 mol of tetramethoxysilane are hydrolyzed and condensed with 2.0 mol of water and 0.1 mol of acetic acid in 6.0 mol of 2-ethoxyethanol. , and then 6.0 mol of MEK was added and mixed.
  • a methyl group-containing silica-based inorganic-organic hybrid film was formed with a film thickness of 1.0 ⁇ m using a die coater.
  • the drying oven had a length of 3 m and a temperature of 150° C., was transported at a speed of 5 mpm, and was wound while a slightly adhesive protective film of PAC3J-30H was applied.
  • PAC3J-30H slightly adhesive protective film
  • peeling off the protective film it is passed through a hot air drying furnace with a furnace length of 6 m and a furnace temperature of 420 ° C. in a nitrogen atmosphere at a conveying speed of 1 mpm.
  • a steel foil roll was obtained. It was confirmed by 29Si-NMR that the Si nuclei consisted of 50% T nuclei and 50% Q nuclei. FTIR confirmed that the organic group was a methyl group.
  • Tables 3, 4, 5, 6, 7, and 8 show the results of evaluation of inclusions, flatness, and insulation reliability of the stainless steel foil with a flattening film produced as described above.
  • the observation of inclusions was performed on the surface of the stainless steel foil on which no flattening film was formed. The point corresponding to the back side of the steel foil surface) was evaluated.
  • An SEM JSM-IT500HR manufactured by JEOL Ltd. was used to observe inclusions on the surface of the stainless steel foil on which no flattening film was formed. There is a correlation between the number of inclusions observed on the surface of the stainless steel foil on which the flattening film is not formed and the number of leak current measurement points measured on the surface on which the flattening film is formed.
  • the SEM settings are as follows.
  • an SEM image used in the inclusion automatic analysis software is acquired.
  • inclusions with an equivalent circle diameter of 2.00 ⁇ m or more are detected by inclusion automatic analysis software, and at least one element of Al, Mg, Si, Ca, Mn, and S is detected by EDS. If the above is detected, it is identified as an inclusion. Images for which EDS analysis has been completed are combined on software and output as one image. At that time, the grain size and elemental composition of inclusions identified by the inclusion automatic analysis software are also obtained.
  • the evaluation area was 100 cm 2 , and the equivalent circle diameter was taken as the grain size of inclusions.
  • the oxide-equivalent mass % of Al 2 O 3 and MgO was calculated for the inclusions identified by the inclusion automatic analysis software.
  • a flattening film was formed on the surface of a stainless steel foil to prepare a test piece.
  • An electrode having a cross-sectional area of 1 mm 2 or more and 25 mm 2 or less immersed in a liquid having a conductivity of 0.1 S / m or more and 100 S / m or less on the film is used as an upper electrode, and the stainless steel foil is used as a lower electrode.
  • the surface was scanned with the upper electrode, and the number of locations where the leakage current was 1 ⁇ A/mm 2 or more when 10 V was applied between the upper electrode and the lower electrode was counted.
  • Insulation reliability is evaluated as "good” when the number of points where leakage current of 1 ⁇ A/mm 2 or more is measured is between 0 and less than 10 points, and as unsuitable when it is 10 points or more. did.
  • Test materials 1-1, 1-2, 1-3, 1-4, 1-5, 2-1, 2-2, 2-3, 2-4 and 2-5 have Al 2 O 3 of 28. 5% by mass or less, MgO is suppressed to 9.7% by mass or less, and Al 2 O 3 and MgO, which are inclusions that are difficult to be refined by rolling, are small, so that the number of inclusions with an equivalent circle diameter of more than 5 ⁇ m is reduced.
  • the number can be kept as low as 8.8 pieces/cm 2 or less. Therefore, the number of measurement points for leakage current of 1 ⁇ A/mm 2 or more per 100 cm 2 is as small as 9.5 or less, indicating that the occurrence of cracks is reduced.
  • the rolling reduction in each pass was less than 20%, and the inclusions could not be refined. is as high as 19.4% by mass or more, and the number of inclusions with an equivalent circle diameter of more than 5 ⁇ m is as large as 30.7/cm 2 or more. Therefore, the number of measurement points for leak currents of 1 ⁇ A/mm 2 or more per 100 cm 2 is as many as 32 or more, which indicates that the number of cracks generated is large.
  • test materials 1-6 and 2-6 when compared with test materials 1-6 and 2-6, test materials 1-1, 1-2, 1-3, 1-4, 1-5, 2-1, and 2 manufactured by changing the rolling conditions -2, 2-3, 2-4, and 2-5, the rolling reduction in each pass is 20% or more, the inclusions are refined, the mass% of Al 2 O 3 , the mass% of MgO, and the circle equivalent It can be seen that the number of inclusions with a diameter of more than 5 ⁇ m is reduced, and the number of inclusions with an equivalent circle diameter of more than 5 ⁇ m is reduced.
  • the stainless steel foils of test materials 3-1 and 4-1 contained Al 2 O 3 at 35.1% by mass or more and MgO at 11.3% by mass or more. Due to the large amount of Al 2 O 3 and MgO, which are inclusions that are difficult to refine by rolling, the number of inclusions with an equivalent circle diameter of more than 5 ⁇ m is as high as 23.4/cm 2 or more. Therefore, the number of measurement points for leak currents of 1 ⁇ A/mm 2 or more per 100 cm 2 is as large as 30.0 or more, which indicates that the number of cracks generated is large. As a result, test materials 1 and 2 can suppress the content of Al and Mg. It can be seen that the number of inclusions having an equivalent circle diameter of more than 5 ⁇ m is reduced.

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Abstract

ステンレス鋼箔表面に存在する凹みの数を低減して、平坦化膜に生じるクラックの無い平坦化膜付きステンレス鋼箔を提供する。　ステンレス鋼成分を含み、残部がＦｅ及び不純物からなる組成を有し、粒径２．００μｍ以上の介在物の合計質量に対して、Ａｌ2Ｏ3：３０質量％以下、ＭｇＯ：１０質量％以下であり、前記粒径２．００μｍ以上の介在物のうち、表面に存在する粒径５．００μｍ超の介在物が２０個／ｃｍ2以下であり、板厚が５．０μｍ以上１００．０μｍ以下のステンレス鋼箔、および前記ステンレス鋼箔の少なくとも片面に、膜厚が０．３μｍ以上５．０μｍ以下の平坦化膜を有する、平坦化膜付きステンレス鋼箔。

Description

平坦化膜付きステンレス鋼箔
　本発明は、電子デバイス用フレキシブル基板に適用可能な平坦化膜付きステンレス鋼箔に関する。
　フレキシブル電子デバイスに代表される薄膜電子デバイスの基板用材料には、平坦性、絶縁信頼性、耐熱性、ガスバリア性や高靭性が求められる。この基板用材料の候補として、樹脂フィルムや極薄ガラスが挙げられるが、樹脂フィルムは、耐熱性、ガスバリア性に課題があり、極薄ガラスは靭性が低く信頼性に課題がある。一方、ステンレス鋼箔は、耐熱性、ガスバリア性、靭性に優れるが、平坦性や絶縁性に課題がある。そこで、前記課題解決のため、ステンレス鋼箔の少なくとも片面に平坦化膜を成膜し、平坦性や絶縁性を付与した平坦膜付きステンレス鋼箔が注目されている。中でも、耐熱性に優れるシリカ系の無機有機ハイブリッド材料で被覆した平坦化膜付きステンレス鋼箔は有望な材料となっている。
　シリカ系無機有機ハイブリッド材料を成膜したステンレス鋼箔としては、特許文献１、２などに記載がある。
　特許文献１には、耐熱性、加工性、平坦性、可撓性、絶縁性に優れた無機有機ハイブリッド膜で被覆したステンレス鋼箔が記載されている。このステンレス鋼箔は、ゾルゲル法を用いて作製された適量の有機基を含有する無機有機ハイブリッド膜をステンレス鋼箔の片面又は両面に被覆することで、耐熱性、加工性、平坦性、絶縁性等に優れたステンレス鋼箔が得られている。
　特許文献２には、Ｒｏｌｌ　ｔｏ　Ｒｏｌｌプロセスで金属箔コイルの表面をガラス基板並みに平坦化することができる短時間硬化型の平坦化膜形成塗布液、耐熱性と耐湿性も併せ持つ平坦化皮膜およびそれによって平坦化された金属箔コイルが記載されている。この金属箔コイルは、有機溶媒中フェニルトリアルコキシシラン１モルに対して、酢酸０．１モル以上１モル以下、有機スズ０．００５モル以上０．０５モル以下を触媒として加え、２モル以上４モル以下の水で加水分解後、１６０℃以上２１０℃以下の温度で有機溶剤を減圧留去して得られたレジンを芳香族炭化水素系溶剤に溶解した短時間硬化可能な平坦化膜形成塗布液を塗布することによって得られている。
　一方、上記のような平坦化膜を設けても、ステンレス鋼箔表面の凹みに起因し、平坦化膜にクラックが生じ、平坦性、絶縁性が低下するという課題がある。ステンレス鋼箔表面の凹みは、ステンレス鋼中の介在物が圧延時にステンレス鋼箔表面から脱落することによって生じる。
　ステンレス鋼箔を製造する母材となるステンレス鋼中の介在物を低減させる方法は種々検討されている。例えば、特許文献３には、ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）の部材や、薄膜シリコン太陽電池基板をはじめとする半導体層形成基板などの、精密機器部材に適したステンレス鋼板が開示されている。ステンレス鋼板の表面に分布している微小なピットの存在が、当該ステンレス鋼板の洗浄性に大きく影響しており、前記微小なピットは、介在物や炭化粒子等の圧延工程での脱落痕に起因することが、開示されている。特許文献３には、Ｍｎ（Ｏ，Ｓ）－ＳｉＯ2を主成分とする非金属介在物を生成させると共に、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3を所定の濃度以下に調整することによって、非金属介在物を無害化することが開示されている。
特開２００３－２４７０７８号公報 国際公開第２０１６／０７６３９９号 特開２０１１－２０２２５３号公報
　本発明は、平坦化膜にクラックが生じる原因となるステンレス鋼箔表面に存在する凹みの数を低減して、平坦性や絶縁信頼性に優れた平坦化膜付きステンレス鋼箔を提供することを目的とする。
　発明者らは、ステンレス鋼箔の表面に膜厚２．０μｍ以上４．０μｍ以下のフェニルシロキサンポリマーから成る平坦化膜を成膜して、試験片を作製した。前記膜上の導電率０．１Ｓ／ｍ以上１００Ｓ／ｍ以下の液体を浸した断面積が４ｍｍ2以上９ｍｍ2以下の電極を上部電極とし、前記ステンレス鋼箔を下部電極とし、前記試験片の表面を前記上部電極で走査して、前記上部電極と前記下部電極との間に１０Ｖ印加したときのリーク電流が、１μＡ／ｍｍ2以上である箇所の数を計測した。その結果、測定面積１００ｃｍ2に対して、１μＡ／ｍｍ2以上の電流値を示す箇所が複数個所見つかった。その断面を観察したところ、ステンレス鋼箔の表面に圧延方向と垂直な方向の幅が５μｍ以上の凹みが存在し、これらの凹みがクラック発生の要因となっていることを見出した。また、これらステンレス鋼箔表面にある凹みは、ステンレス鋼箔の箔圧延の工程において、ステンレス鋼中にある粒径５μｍ以上の粗大な介在物が脱落することによって生じることを見出した。
　さらに研究の結果、脱落した介在物を追跡することはできないが、ステンレス鋼箔表面に残存する脱落していない粗大な介在物数が多いほど、介在物の脱落による凹みの数が多く、ステンレス鋼箔表面に成膜した平坦化膜に生じるクラックの数が多くなることを見出した。
　したがって、箔圧延後のステンレス鋼箔に残存する粗大介在物を抑制することで、平坦化膜付きステンレス鋼箔の絶縁性や平坦性が大幅に改善することを見出した。
　発明者らは、介在物の基本的な成分としてＡｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＳｉＯ２、ＣａＯ、Ｍｎ（Ｏ、Ｓ）、ＣｒＳに着目した。このうちＳｉＯ２、ＣａＯ、Ｍｎ（Ｏ、Ｓ）、ＣｒＳの少なくとも１種からなる介在物の場合、それらの介在物はクラスター化し難く、また、低融点で軟質であるため、熱延工程や冷延工程で展伸、あるいは破砕することにより、粗大介在物を低減できることを見出した。（ＳｉＯ２、ＣａＯ、Ｍｎ（Ｏ、Ｓ）、ＣｒＳを軟質系介在物と呼ぶ場合がある。）
　一方、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）やマグネシウム－アルミニウムスピネル（ＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３。以下、スピネルという場合がある。）などの介在物は界面エネルギーが高く、凝固過程において、偏析し凝集し易いので、凝集後のサイズが大きくなり易い。さらに、アルミナやスピネルの介在物は硬質であるため、熱間圧延や冷間圧延において、介在物が破砕されにくく、結果として、サイズが大きな介在物粒子として残存してしまう。（アルミナやマグネシウム－アルミニウムスピネルを硬質系介在物と呼ぶ場合がある。）
　そこで、介在物に含有されるアルミナやスピネルの比率を低減し、ステンレス鋼箔の製造条件、特に圧延条件を見直して、粗大なアルミナやスピネル介在物の個数を減らし、軟質な介在物を細かく分散させることで、粗大介在物を低減したステンレス鋼箔を得ることができることを見出した。
　本発明により以下が提供される。
　（１）ステンレス鋼成分を含み、残部がＦｅ及び不純物からなる組成を有し、
　粒径２．００μｍ以上の介在物の合計質量に対して、Ａｌ2Ｏ3：３０質量％以下、ＭｇＯ：１０質量％以下であり、
　前記粒径２．００μｍ以上の介在物のうち、表面に存在する粒径５．００μｍ超の介在物が２０個／ｃｍ2以下であり、
　板厚が５．０μｍ以上１００．０μｍ以下のステンレス鋼箔、および
　前記ステンレス鋼箔の少なくとも片面に、膜厚が０．３μｍ以上５．０μｍ以下の平坦化膜を有する、平坦化膜付きステンレス鋼箔。
　（２）前記ステンレス鋼箔が、質量％にて、
Ｃ：０．１５０％以下、
Ｓｉ：０．１００～２．０００％、
Ｍｎ：０．１００～１０．０００％以下、
Ｐ：０．０４５％以下、
Ｓ：０．００７％以下、
Ｎｉ：２．０００～１５．０００％、
Ｃｒ：１５．０００～２０．０００％以下、
Ｎ：０．２００％以下、
Ａｌ：０．０３０％以下、
Ｍｇ：０．０００５％以下、
Ｃａ：０．０００５％以下を含み、残部がＦｅ及び不純物からなる組成を有するオーステナイト系ステンレス鋼箔である前記（１）に記載の平坦化膜付きステンレス鋼箔。
　（３）前記ステンレス鋼箔が、質量％にて、
Ｃ：０．１２０％以下、
Ｓｉ：２．０００％以下、
Ｍｎ：０．１００～１．２５０％以下、
Ｐ：０．０４０％以下、
Ｓ：０．０３０％以下、
Ｃｒ：１６．０００～２０．０００％以下、
Ｎ：０．０２５％以下、
Ａｌ：０．０３０％以下、
Ｍｇ：０．０００５％以下、
Ｃａ：０．０００５％以下を含み、残部がＦｅ及び不純物からなる組成を有するフェライト系ステンレス鋼箔である前記（１）に記載の平坦化膜付きステンレス鋼箔。
　（４）前記平坦化膜がシリカ系の有機無機ハイブリッド膜であり、前記有機無機ハイブリッド膜を構成するＳｉ核が、Ｔ核およびＱ核のみを含む前記（１）～（３）のいずれかに記載の平坦化膜付きステンレス鋼箔。
　（５）前記平坦化膜がシリカ系の有機無機ハイブリッド膜であり、前記有機無機ハイブリッド膜を構成するＳｉ核に対するＱ核の割合が７０％以下である前記（４）に記載の平坦化膜付きステンレス鋼箔。
　粗大な介在物が少ないステンレス鋼箔に平坦化膜を形成して、平坦性および絶縁信頼性を向上した平坦化膜付きステンレス鋼箔を提供することができる。
　本発明の平坦化膜付きステンレス鋼箔について説明する。特に断りのない限り、成分に関する「％」は鋼中の質量％を示す。特に下限を規定していない場合は、含有しない場合（０％）を含んでよい。
　本発明に係るステンレス鋼箔は、特に制限されない。例えば、ＳＵＳ３０４などのオースナイト系であってもよいし、ＳＵＳ４３０などのフェライト系であってもよい。
　［ステンレス鋼箔の組成］
　本発明に係るステンレス鋼箔が、オーステナイト系ステンレス鋼箔である場合は、ステンレス鋼箔は、質量％にて、Ｃ：０．１５０％以下、Ｓｉ：０．０５０～２．０００％、Ｍｎ：０．１００～１０．０００％、Ｐ：０．０４５％以下、Ｓ：０．００７％以下、Ｎｉ：２．０００～１５．０００％、Ｃｒ：１５．０００～２０．０００％、Ｎ：０．２００％以下、Ａｌ：０．０３０％以下、Ｍｇ：０．０００５％以下、Ｃａ：０．０００５％以下を含み、残部がＦｅ及び不純物からなる組成を有する。
　Ｎｉは耐食性改善や加工性改善効果を有し、さらにステンレス鋼の熱膨張係数を調整するための主要成分である。耐食性改善の観点からは、Ｎｉ含有量は２．０００％以上である。しかしながら、Ｎｉは高価な元素であり、含有量が高すぎれば、熱間圧延後又は熱間鍛造後において、鋼中にベイナイト組織が生成しやすくなる。従って、Ｎｉ含有量は１５．０００％以下とする。
　Ｃｒは、耐食性の改善に必要な合金成分であり、しかし、過剰量のＣｒが含まれると鋼材が硬質化し、加工性が劣化することから、Ｃｒ含有量は２０．０００％以下である。Ｃｒ含有量の下限は特に限定しないが１５．０００％以上の含有量でＣｒ添加の効果が顕著になることから、１５．０００％以上である。
　Ｃ（炭素）は、特に含有しなくてもよい。Ｃが過剰に含有されれば、熱膨張係数が大きくなるとともに、結晶粒界に析出するＣｒ系の介在物が増加し、大きな介在物粒子を発生させる原因となる。従って、Ｃの含有量は、０．１５０％以下であり、好ましくは０．１００％以下、さらに好ましくは０．０５０％以下である。
　Ｃａは、硫化物に固溶して、硫化物を微細分散させ、硫化物の形状を球状化する。一方、Ｃａを多量に含有すると、硫化物に固溶しなかったＣａが粗大な酸化物を形成し、エッチング不良を生じるおそれがある。従って、特に含有しなくてもよいが、含有するのであればＣａ量は０．０００５％以下であり、好ましくは０．０００１％以下である。
　Ｍｎは、スピネルの生成を避けるため、Ｍｇ及びＡｌの代わりに脱酸剤として積極的に用いられる。しかし、Ｍｎ含有量が高すぎれば、粒界に偏析して粒界破壊を助長して、耐水素脆化性がかえって低くなる。したがって、Ｍｎ含有量は１０．０００％以下であり、好ましくは５．０００％以下、２．０００％以下、１．５００％以下、１．２００％以下、１．０００％以下であり、さらに好ましくは０．８００％以下、０．６００％以下、０．５００％以下である。Ｍｎの下限は特に限定しない。しかし、Ｍｎ含有量が少な過ぎると介在物をＭｎ（Ｏ，Ｓ）－ＳｉＯ2系の組成に調節することが困難になる。そのためＭｎは、０．１００％以上である。ここで、Ｍｎ（Ｏ，Ｓ）とは、ＭｎＯ単体、ＭｎＳ単体、及びＭｎＯとＭｎＳが複合した介在物のことを指し、ＯとＳの比率は一定のものではなく、酸化物と硫化物が複合した介在物のことを意味する。
　スピネルの生成を避けるために、Ｍｇ、Ａｌによる脱酸の代わりにＭｎ、Ｓｉによる脱酸が積極的に行われる。しかし、Ｓｉはステンレス鋼の熱膨張係数を増加させる。また、脱酸生成物のＭｎＯ－ＳｉＯ2はガラス化した軟質の介在物であり、熱間圧延中に延伸及び分断されて微細化される。そのため、耐水素脆化特性が高まる。一方、Ｓｉ含有量が２．０００％を超えれば、強度が高くなり過ぎ硬質化し、冷間加工で薄板を製造する際に所定板厚まで圧延するために多くのパス回数を必要とし、生産性が大きく低下する。そのため、Ｓｉは２．０００％以下であり、好ましくは１．０００％以下、０．５００％以下であり、さらに好ましくは０．３００％以下である。Ｓｉの下限は特に限定はしないが、少な過ぎると脱酸不足となり、介在物中のＣｒ2Ｏ3濃度が増加して、加工割れを誘発させる介在物が生成し易くなる。そこで、Ｓｉの下限は、０．０５０％であり、好ましくは０．１００％である。
　Ｍｇは鋼の脱酸に用いる。しかし、Ｍｇ含有量が０．０００５％を超えれば、粗大な介在物が生成するおそれがある。また、スピネルの生成を避けるためにＭｇの含有量は低い方が好ましい。従って、Ｍｇ含有量は０．０００５％以下であり、好ましくは０．０００３％以下、０．０００２％以下であり、さらに好ましくは０．０００１％以下である。
　Ａｌも鋼の脱酸に用いる。しかし、Ａｌ含有量が０．０３０％を超えれば、粗大な介在物が生成してエッチング不良を生じるおそれがある。また、スピネルの生成を避けるためにＡｌの含有量は低い方が好ましい。従って、Ａｌ含有量は０．０３０％以下であり、好ましくは０．０２０％以下、０．０１０％以下であり、さらに好ましくは０．００５％以下である。
　Ｐ、Ｓは、鉄系合金中でＭｎ等の合金元素と結合して介在物を生成する元素であるので、含有量は少ない方が好ましい。従って、Ｐ含有量は０．０４５％以下であり、好ましくは０．０１０％以下、０．００７％以下であり、さらに好ましくは０．００５％以下である。Ｓ含有量は０．００７％以下であり、さらに好ましくは０．００５％以下である。
　Ｎは、Ｃと同様に、固溶強化元素でもある。多量に含まれると０．２％耐力が上昇し、鋼材を硬質化する。その反面、多量に含まれると製造性が著しく悪化するため、Ｎ含有量の上限は０．２００％である。
　上記鋼成分の残部はＦｅ及び不可避的不純物である。ここで不可避的不純物とは、鋼を工業的に製造する際に、鉱石やスクラップ等のような原料をはじめとして、製造工程の種々の要因によって混入する成分であって、本発明に悪影響を与えない範囲で許容されるものを意味する。
　本発明に係るステンレス鋼箔が、フェライト系ステンレス鋼箔である場合は、ステンレス鋼箔が、質量％にて、Ｃ：０．１２０％以下、Ｓｉ：０．０５０～２．０００％、Ｍｎ：０．１００～１．２５０％、Ｐ：０．０４０％以下、Ｓ：０．０３０％以下、Ｃｒ：１５．０００～２０．０００％、Ｎ：０．０２５％以下、Ａｌ：０．０３０％以下、Ｍｇ：０．０００５％以下、Ｃａ：０．０００５％以下を含み、残部がＦｅ及び不純物からなる組成を有する。
　Ｃｒは、耐食性の改善に必要な合金成分である。しかし、過剰量のＣｒが含まれると鋼材が硬質化し、加工性が劣化することから、Ｃｒ含有量は２０．０００％以下である。Ｃｒ含有量の下限は特に限定しないが、１５．０００％以上の含有量でＣｒ添加の効果が顕著になることから、１５．０００％以上である。
　Ｃ（炭素）は、特に含有しなくてもよい。Ｃが過剰に含有されれば、熱膨張係数が大きくなるとともに、結晶粒界に析出するＣｒ系の介在物が増加し、大きな介在物粒子を発生させる原因となる。従って、Ｃの含有量は、０．１２０％以下であり、好ましくは０．１００％以下、さらに好ましくは０．０５０％以下である。
　Ｃａは、硫化物に固溶して、硫化物を微細分散させ、硫化物の形状を球状化する。一方、Ｃａを多量に含有すると、硫化物に固溶しなかったＣａが粗大な酸化物を形成し、エッチング不良を生じるおそれがある。従って、特に含有しなくてもよいが、含有するのであればＣａ量は０．０００５％以下であり、好ましくは０．０００１％以下である。
　Ｍｎは、スピネルの生成を避けるため、Ｍｇ及びＡｌの代わりに脱酸剤として積極的に用いられる。しかし、Ｍｎ含有量が高すぎれば、粒界に偏析して粒界破壊を助長して、耐水素脆化性がかえって低くなる。したがって、Ｍｎ含有量は１．２５０％以下である。好ましくは０．８００％以下、０．６００％以下であり、さらに好ましくは０．５００％以下である。しかし、Ｍｎ含有量が少な過ぎると介在物をＭｎ（Ｏ，Ｓ）－ＳｉＯ2系の組成に調節することが困難になる。そのためＭｎは、０．１００％以上である。ここで、Ｍｎ（Ｏ，Ｓ）とは、ＭｎＯ単体、ＭｎＳ単体、及びＭｎＯとＭｎＳが複合した介在物のことを指し、ＯとＳの比率は一定のものではなく、酸化物と硫化物が複合した介在物のことを意味する。
　Ｓｉは、スピネルの生成を避けるために、Ｍｇ、Ａｌによる脱酸の代わりにＭｎ、Ｓｉによる脱酸が積極的に行われる。しかし、Ｓｉはステンレス鋼の熱膨張係数を増加させる。また、脱酸生成物のＭｎＯ－ＳｉＯ2はガラス化した軟質の介在物であり、熱間圧延中に延伸及び分断されて微細化される。そのため、耐水素脆化特性が高まる。一方、Ｓｉ含有量が２．０００％を超えれば、強度が高くなり過ぎ硬質化し、冷間加工で薄板を製造する際に所定板厚まで圧延するために多くのパス回数を必要とし、生産性が大きく低下する。そのため、Ｓｉは２．０００％以下であり、さらに好ましくは１．０００％以下、０．５００％以下であり、さらに好ましくは０．３００％以下である。Ｓｉの下限は特に限定はしないが、少な過ぎると脱酸不足となり、介在物中のＣｒ2Ｏ3濃度が増加して、加工割れを誘発させる介在物が生成し易くなる。そこで、Ｓｉの下限は、０．０５０％であり、好ましくは０．１００％である。
　Ｍｇは鋼の脱酸に用いる。しかし、Ｍｇ含有量が０．０００５％を超えれば、粗大な介在物が生成するおそれがある。また、スピネルの生成を避けるためにＭｇの含有量は低い方が好ましい。従って、Ｍｇ含有量は０．０００５％以下であり、好ましくは０．０００３％以下、０．０００２％以下、さらに好ましくは０．０００１％以下である。
　Ａｌも鋼の脱酸に用いる。しかし、Ａｌ含有量が０．０３０％を超えれば、粗大な介在物が生成してエッチング不良を生じるおそれがある。また、スピネルの生成を避けるためにＡｌの含有量は低い方が好ましい。従って、Ａｌ含有量は０．０３０％以下であり、好ましくは０．０２０％以下、０．０１０％以下であり、さらに好ましくは０．００５％以下である。
　Ｐ、Ｓは、鉄系合金中でＭｎ等の合金元素と結合して介在物を生成する元素であるので、含有量は少ない方が好ましい。従って、Ｐ含有量は０．０４０％以下であり、好ましくは０．０１０％以下、０．００７％以下であり、さらに好ましくは０．００５％以下である。Ｓ含有量は０．０３０％以下であり、好ましくは０．０１０％以下、０．００７％以下、さらに好ましくは０．００５％以下である。
　Ｎは、Ｃと同様に、固溶強化元素でもある。多量に含まれると０．２％耐力が上昇し、鋼材を硬質化する。その反面、多量に含まれると製造性が著しく悪化するため、Ｎ含有量の上限は０．０２５％である。
　上記鋼成分の残部はＦｅおよび不純物である。ここで不純物とは、鋼を工業的に製造する際に、鉱石やスクラップ等のような原料をはじめとして、製造工程の種々の要因によって混入する成分であって、本発明に悪影響を与えない範囲で許容されるものを意味する。
　［介在物］
　介在物は少ない方がよく、全く存在しないことが理想であるが、製造過程で混入したり、鋼成分から生成したりするため、皆無にすることは容易ではない。前述したように、圧延中に表面にある粗大介在物が脱落し、凹みの原因となりやすいことが分かった。従って、粒径の大きな円相当径で５μｍ以上の介在物を極力低減させることが重要である。
　本発明者らは、介在物の基本的な成分としてＡｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＳｉＯ２、ＣａＯ、Ｍｎ（Ｏ、Ｓ）、ＣｒＳに着目した。これらのうちＳｉＯ２、ＣａＯ、Ｍｎ（Ｏ、Ｓ）、ＣｒＳの軟質系介在物の場合、それらの介在物はクラスター化し難く低融点で軟質であるため、圧延により展伸、あるいは破砕され、粗大化が抑制されることが分かった。一方、アルミナやマグネシウム－アルミニウムスピネルなどの硬質系介在物は界面エネルギーが高く、凝固過程において偏析し凝集し易いので、凝集後のサイズが大きくなり易い。さらに、アルミナやスピネルの介在物は硬質であるため、圧延において展伸や破砕されにくく、結果として、サイズが大きな介在物粒子として残存してしまうことも分かった。
　これらの知見から、軟質系介在物自体の生成自体を抑制しつつも、生成した軟質系介在物は圧延条件（例えば圧下率）を調整することにより微細化するようにし、一方、硬質系介在物は圧延による微細化も難しいため、硬質系介在物自体を生成させず、また混入もさせず、生成や混入したとしても凝集させない（粗大化させない）ことが重要であると考えた。
　まず軟質系、硬質系とも介在物を生成させずにステンレス鋼箔としての機械的強度などを担保するため、前記したような鋼成分にするとよい。
　介在物を混入させないためにはプロセスの見直しが重要になる。例えば、溶湯処理する際の耐火物を見直し、ＡｌやＭｇなどが少ない耐火物を使用するとよい。
　さらに、介在物の凝集は、例えば溶湯から凝固する際の偏析し凝集することが原因の一つである。凝固の際に偏析することは避けることは容易ではないが、できるだけ凝集しないよう溶湯を攪拌させるなどの方法が考えられる。さらに、溶湯からの凝固プロセスを使用しないプロセス、例えばＨＩＰ（熱間静水圧プレス）などによりインゴットを製造するとよい。製造プロセスについては後で説明する。
　本発明のステンレス鋼箔に含まれる介在物は、測定上の理由から粒径（円相当径）２．００μｍ以上の介在物（以下、特に断りのない限り単に「介在物」という場合がある。）を対象とする。粒径５．００μｍ超の粗大介在物が有害であり極力低減した方がよいので、粒径２．００～５．００μｍの介在物は、低減した方が好ましいが、直接的に有害になるものではない。
　また、アルミナやスピネルのような硬質介在物は粗大になり易いため、極力低減させるとよい。そのため、粒径２．００μｍ以上の介在物の合計質量に対して、Ａｌ２Ｏ３は３０質量％以下、ＭｇＯは１０質量％以下である。これらの硬質介在物は少ない方が好ましいので、Ａｌ２Ｏ３の比率は、好ましくは２５質量％以下、２０質量％以下、１５質量％以下、１０質量％以下であり、さらに好ましくは５質量％以下、３質量％以下、１質量％以下である。ＭｇＯの比率は、好ましくは８質量％以下、６質量％以下、５質量％以下であり、さらに好ましくは４質量％以下、３質量％以下、２質量％以下、１質量％以下である。
　さらに、本発明に係るステンレス鋼箔は、ステンレス鋼箔表面に存在する円相当粒径５．００μｍ超の介在物の数が２０個／ｃｍ2以下であることを特徴とする。
　本発明によれば、平坦化膜が塗布されるステンレス鋼箔に含有される介在物の粒径が５．００μｍ超の介在物の個数割合を、ステンレス鋼箔表面で、２０個／ｃｍ2以下に制限することが必要である。ステンレス鋼箔表面の凹みが、平坦化膜の生じるクラックの要因である。板厚が一定程度まで薄くなり、介在物がある程度微細化された後の圧延時に、ステンレス鋼箔表面に存在する粒径５．００μｍ以上の介在物が、ステンレス鋼箔表面から脱落することにより、この凹みが発生するからである。
　介在物の粒径を、以下のように測定した。走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いてステンレス鋼箔表面の介在物を観察する。ＳＥＭとしては、例えば日本電子製のＪＳＭ－ＩＴ５００ＨＲを用いてもよい。ＳＥＭの設定の一例を示す。
・検出器：反射電子検出器ＢＥＤ－Ｃ
・観察倍率：８０倍
・加速電圧：２０．０ｋＶ
・ワーキングディスタンス（ＷＤ）：１０．０ｍｍ
・照射電流：８０%
　また、ＳＥＭで取得した画像は介在物自動解析ソフトにて介在物を検出し、エネルギー分散型Ｘ線分光装置（以下、ＥＤＳ装置）にて介在物の組成分析を実施した。介在物自動解析のソフトウェアに関しては、例えばＯｘｆｏｒｄ社製のＡＺｔｅｃの粒子解析モードを使用してもよい。ＥＤＳ装置は、例えばＯｘｆｏｒｄ社製のＵＬＴＩＭ　ＭＡＸ　６５を用いてもよい。
　介在物自動解析ソフトによる介在物の識別工程において、初めに介在物自動解析ソフトで使用するＳＥＭ像を取得する。次にＳＥＭで取得した画像から介在物自動解析ソフトにて円相当直径で２．００μｍ以上であり、かつＥＤＳでＡｌ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｓの元素のうち一種以上が検出された場合に介在物として識別する。ＥＤＳ分析まで終わった画像についてはソフト上で結合し、１つの画像として出力する。その際、介在物自動解析ソフトにより識別された介在物の円相当直径、元素組成も取得する。以上の介在物識別の手順を繰り返し実施することで設定した面積まで測定を行う。例えば、画像の測定面積は１０ｃｍ２を測定の単位である１視野とし、１０視野測定を実施し、合計１００ｃｍ２を評価面積とするとよい。なお、測定した介在物の面積と同じ面積を持つ円の直径を円相当径（円相当直径）とし、これを「粒径」とする。
　上記のように、ステンレス鋼箔表面を観察して、介在物の粒径を求めたが、ステンレス鋼箔表面に存在している介在物の粒径も、ステンレス鋼箔中に存在している介在物の粒径も特に変わらないことは明らかである。
　介在物の組成は、介在物自動解析ソフトで識別された各介在物について、以下のように計算される。まず、ＥＤＳ分析により得られた元素Ａｌ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｓの質量％をそれぞれ原子量で割り、元素のみかけの物質量を求める。次に、上記７種の元素について、介在物の基本成分である酸化物あるいは硫化物の状態にする。介在物中において、Ａｌ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｃａは主として酸化物として存在する。
　Ｍｎ、Ｃｒは主として硫化物で存在し、Ｍｎは酸化物ＭｎＯとしても存在することもある。Ｓは前述の硫化物ＭｎＳ以外に、クロムの硫化物ＣｒＳとして存在することもある。Ｍｎのみかけの物質量よりＳのみかけの物質量が多い場合、Ｍｎのみかけの物質量と同量のＭｎＳが存在し、このとき、Ｓのみかけの物質量からＭｎのみかけの物質量を減算した物質量のＣｒＳが存在する。Ｍｎのみかけの物質量よりＳのみかけの物質量が少ない場合、Ｓのみかけの物質量と同量のＭｎＳが存在し、このときＭｎのみかけの物質量からＳのみかけの物質量を減算した物質量のＭｎＯが存在する。Ｍｎのみかけの物質量とＳのみかけの物質量が全く同量存在する場合、ＭｎおよびＳの物質量と同量のＭｎＳが存在する。
　介在物の基本成分である酸化物あるいは硫化物の状態にするため、元素のみかけの物質量に対応する元素Ｏ（酸素）又はＳの物質量を、それぞれＡｌ：Ｏ＝２：３、Ｍｇ：Ｏ＝１：１、Ｓｉ：Ｏ＝１：２、Ｃａ：Ｏ＝１：１、Ｍｎ：Ｏ＝１：１、Ｍｎ：Ｓ＝１：１、Ｓ：Ｃｒ＝１：１の両論比に基づき付与した後、それぞれの分子量をかけて酸化物等換算質量を導出する。求めた酸化物等換算質量のそれぞれを、７つの酸化物等換算質量の合計で割ることで、Ａｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＳｉＯ２、ＣａＯ、ＭｎＯ、ＭｎＳ、ＣｒＳ（以下、「酸化物等」と言う場合がある。）の酸化物等換算質量％を求める。介在物自動解析ソフトで求めた介在物の面積に対し、７つの酸化物等換算質量％をそれぞれ積算し、Ａｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＳｉＯ２、ＣａＯ、ＭｎＯ、ＭｎＳ、ＣｒＳの介在物面積（μｍ２）を求める。
　次に、介在物自動解析ソフトで識別された全介在物について介在物面積をそれぞれ求め、上記７つの酸化物あるいは硫化物毎に介在物面積を合計して、Ａｌ２Ｏ３の面積合計、ＭｇＯの面積合計、ＳｉＯ２の面積合計、ＣａＯの面積合計、ＭｎＯの面積合計、ＭｎＳの面積合計、ＣｒＳの面積合計を得る。この７つの面積合計の総和を全介在物の面積合計とする。各酸化物等の面積合計を全介在物の面積合計で割ることで、介在物の組成比率（質量％）を算出する。
　粒径が５．００μｍ超の介在物の個数密度を２０個／ｃｍ2以下にする。このため、平坦化膜のクラックの要因となるステンレス鋼箔表面の凹みを生じさせるサイズの介在物が低減されている。粒径が５．００μｍ超の介在物は少ない方がよく、好ましくは１５個／ｃｍ2以下、１２個／ｃｍ2以下、１０個／ｃｍ2以下であり、さらに好ましくは８個／ｃｍ2以下、６個／ｃｍ2以下、５個／ｃｍ2以下である。
　［板厚］
　本発明で用いられるステンレス鋼箔は、板厚が５．０μｍ以上１００．０μｍ以下である。板厚が１００．０μｍより厚くなると、箔としてのフレキシブル性が望めなくなるとともに、箔の大きな特徴である軽量化のメリットを失うこととなる。板厚が５．０μｍより薄いステンレス鋼箔は、ハンドリングに際していわゆる折れやシワが非常に入り易くなり、工業的なプロセスになじみにくいと共に、基板としての強度が低下して使用に際しての信頼性に問題が生じる。更に、これほど薄いステンレス鋼箔は、工業的な観点からはそもそも高価なものとならざるを得ない。なお、本発明で用いられるステンレス鋼箔の板厚は、接触式のいわゆるマイクロメーターを用いて測定することが出来る。本発明に用いるステンレス鋼箔の板厚は、１０．０μｍ以上８０．０μｍ以下であることが、平坦化膜のクラックの発生防止の目的上、さらに好ましい。
　本発明の平坦化膜付きステンレス鋼箔の製造方法について説明する。
　本発明に係るステンレス鋼箔は、例えば、次のように製造することができるが、以下に示す方法は例示であって、この方法に限定されることを意図しない。
　例えば、１０－１（Ｔｏｒｒ）以下の真空雰囲気中で、所定の組成に調整した原料を真空溶解し、目的とする合金組成の溶湯を得る。この時、溶湯を脱酸するため、除滓後の溶湯のＭｎ及びＳｉの含有量がそれぞれ所定の含有量になるように、Ｍｎ及びＳｉを添加する。
　次に、Ａｒ又はＮ２ガス等の不活性ガスを使用して、ガスアトマイズによりアトマイズ（粉体化）を行う。ガスアトマイズ時の溶湯温度は、溶湯の粘性を下げるために、融点＋５０℃～２００℃の範囲とするのが好ましい。また、ガスアトマイズ時のガス流量（ｍ３／分）／溶湯流量（ｋｇ／分）の比が０．３（ｍ３／ｋｇ）以上にするとよい。ガス流量（ｍ３／分）／溶湯流量（ｋｇ／分）の比が０．３（ｍ３／ｋｇ）未満では、溶滴の冷却速度が遅くなるため、鋳塊表面に衝突した際の液滴の液相率が高過ぎて、介在物が粗大化する。
　そのため、ガス流量と溶湯流量の比は０．３（ｍ３／ｋｇ）以上とし、好ましくは、０．５以上、０．７以上、０．９以上、１．０以上、１．５以上、さらに好ましくは、２．０以上とする。ガス流量（ｍ３／分）／溶湯流量（ｋｇ／分）の比の上限は、特に限定されないが、５．０（ｍ３／ｋｇ）以上では、冷却能力が飽和するので、上限は、５．０（ｍ３／ｋｇ）にするとよい。
　前記アトマイズ工程によって得られた合金粉末を、ホットプレス法やＨＩＰ法により焼結してインゴットを製造する。焼結方法は特に限定しない。常法のホットプレス法などに従い、適宜条件設定すればよい。
　合金粉末は、その粒径が小さくなるほど焼結が進みやすくなるが、粒径の大きい合金粉末に比べて生産性が低くなる。その一方、合金粉末の粒径が大きくなるほど、炉材からの不純物が混入しやすくなるおそれがある。そのため、合金粉末は、粒径３００μｍ以下、好ましくは、２５０μｍ以下、２００μｍ以下、１５０μｍ以下、さらに好ましくは１００μｍ以下とする。
　上記のアトマイズ（粉体化）法により、ＡｌやＭｇの含有を抑制することができ、さらに固相で処理される焼結法であれば、凝固法（鋳造法）のように耐火物からのＡｌやＭｇの混入もないので、粗大（例えば５μｍ以上）介在物の生成が抑制される。これらのことから、最終的にＡｌ２Ｏ３やスピネル系の介在物自体が低減され、特に５μｍ以上の粗大介在物の生成を著しく抑制することができる。
　次に、製造された合金インゴットを熱間鍛造又は切削、あるいは研削加工により鋼片を製造し、前記鋼片を３．０ｍｍ～２００ｍｍ厚になるまで圧延する。前記圧延は、熱間圧延であっても冷間圧延であってもよい。３．０ｍｍ～２００ｍｍ厚の前記圧延板は、圧延工程を繰り返し行うことによって、板厚１００．０μｍ以下のステンレス鋼箔に形成される。板厚の下限は、本発明の効果を得るには５．０μｍである。
　前記インゴットを熱間圧延、熱間鍛造或いは冷間圧延をする前後において焼鈍工程を行ってもよい。また、前記焼鈍工程、熱間鍛造工程及び熱間圧延工程における温度は、介在物の凝集を防ぐために、本発明の鉄系合金の融点未満の温度であり、好ましくは、本発明の鉄系合金の融点温度－５００℃以上、本発明の鉄系合金の融点温度－２００℃以下の範囲とする。
　熱間圧延又は熱間鍛造後は、冷間圧延を行うとよい。冷間圧延の途中で中間焼鈍を行ってもよい。圧延により、介在物、特に軟質系介在物を伸展、破砕し、介在物を微細化することができる。介在物の微細化は、熱間圧延に比べて冷間圧延の方が、効果があり、さらに板厚が薄いほど効果があるため、熱間圧延後の板厚（冷間圧延直前の板厚）を基準として、冷間圧延の総圧下率を９６．０％以上にするとよい。好ましくは９７．０％以上、９８．０％以上、９９．０％以上、９９．５％以上にするとよい。さらに、圧下率が高い方が介在物の微細化効果が期待できるため、狙いの板厚に造り込むパスや、形状矯正を行うパスを除き、各パスにおける圧下率を２０．０％以上にするとよい。このような圧下率で冷間圧延することによって、軟質な介在物をより伸展、破砕により微細化するとともに、分散することができる。
　一方、板厚が一定程度まで薄くなり、介在物がある程度微細化された後の圧延（仕上圧延）においては、介在物の微細化と同時に、介在物の脱落による表面凹凸の生成や、ステンレス鋼箔を貫通するピンホールの生成が起こることが分かった。そのため、最終板厚より１０～８０μｍ厚い板厚から最終板厚までの仕上圧延（多段圧延）においては、各パスの単位圧延荷重（ｋＮ／ｍｍ）を適正域にコントロールしたマイルドな圧延にするとよい。単位圧延荷重とは、圧延ロールから被加工材にかかる荷重を、被加工材の板幅で除したものである。例えば、単位圧延荷重は０．４～１．３ｋＮ／ｍｍにし、累積圧下率を５０．０％以上にするとよい。単位圧延荷重が０．４ｋＮ／ｍｍ未満であると、圧延に伴う加工発熱が少なく、被加工材である合金箔の柔軟性が低下するため、介在物と合金箔の界面にクラックが生じ、介在物の脱落が多くなる。また、１．３ｋＮ／ｍｍを超えると加工発熱が多くなるが、合金箔の塑性変形量自体が大きくなるため、介在物との界面にクラックが生じ、介在物の脱落が多くなる。また、仕上圧延の累積圧下率が５０．０％未満であると、合金箔の強度が発現しない場合がある。仕上圧延の累積圧下率の上限は、特に限定しないが、通常の箔圧延機の能力から９８．０％以下にするとよい。
　さらに、介在物の脱落による表面凹凸の生成を抑えるため、最終板厚にするための最終圧延の圧下率は０．２～３．０％にするとよい。ここで、圧下率とは、圧延前の板厚をｔ１、圧延後の板厚をｔ２とした時に、以下の式で示される。
　圧下率＝（ｔ１－ｔ２）／ｔ１
　例えば仕上圧延の累積圧下率は、多段であっても、仕上圧延前の板厚をｔ１、仕上圧延後の板厚をｔ２とすればよい。各パスの圧下率は、各圧延パス前の板厚をｔ１、当該圧延パス後の板厚をｔ２とすればよい。
　さらに、仕上圧延（最終圧延）後に歪み取りのために焼鈍してもよい。
　［平坦化膜の組成］
　本発明の平坦化膜付きステンレス鋼箔の製造に用いる平坦化膜は、シリカ系無機有機ハイブリッド膜である。
　［シリカ系無機有機ハイブリッド膜］
　シリカ系無機有機ハイブリッド膜は、一般に、シリコーンの基本単位として、Ｒ2Ｓｉ（ＯＲ’）2、ＲＳｉ（ＯＲ’）3，又はＳｉ（ＯＲ’）4を含む構造を有しており、溶媒中で加水分解、縮合させた塗布液を塗工し、熱処理することによって得られる。ここで、Ｒは任意の有機基、Ｒ’はアルキル基である。Ｒ2Ｓｉ（ＯＲ’）2、ＲＳｉ（ＯＲ’）3、Ｓｉ（ＯＲ’）4はそれぞれＳｉのＤ核（二官能性）、Ｔ核（三官能性）、Ｑ核（四官能性）に相当する。
　平坦化膜を構成するシリカ系無機有機ハイブリッド膜が、構成要素として、ＳｉのＤ核を含んでいる場合、膜に柔軟性を付与することができるが、デバイス作製時の高温プロセス中に、Ｄ核で３員環を形成して脱離するため、デバイスの特性に悪影響を及ぼす。このため、平坦化膜を構成するＳｉ核が、Ｔ核およびＱ核のみから構成されるシリカ系無機有機ハイブリッド膜であることが求められる。全Ｓｉ核に対するＱ核の割合が７０％超の場合は、膜を構成するＳｉ－Ｏ結合の密度が高くなりすぎるこの場合、膜にクラックが入りやすくなるので不適である。Ｔ核はＳｉに直接結合している有機基が１つあるため、膜に柔軟性を付与することができる。Ｑ核の割合は７０％以下であることがよい。
　本発明に係るシリカ系無機有機ハイブリッド膜を構成するＳｉに直接結合する有機基Ｒは、特に制限されない。例えば、耐熱性の観点からメチル基、フェニル基が好ましい。メチル基とフェニル基はそれぞれ単独で含まれていても、両方を同時に含まれていてもよい。平坦化膜中のＳｉ核については、２９Ｓｉ－ＮＭＲ測定により種類と量を特定できる。Ｓｉに直接結合している有機基は、ＦＴＩＲあるいは１３Ｃ－ＮＭＲと１Ｈ－ＮＭＲの組み合わせなどにより調べることができる。
　[シリカ系無機有機ハイブリッド膜形成用塗布液]
　シリカ系無機有機ハイブリッド膜は、種々の方法で作製可能である。シリカ系無機有機ハイブリッド膜が、フェニル基修飾シリカ膜である場合は、たとえば以下に示す塗布液から作製される。以下に示す方法は例示であって、この方法に限定されることを意図しない。
　この塗布液は、有機溶媒中フェニルトリアルコキシシラン１モルに対して、酢酸０．１モル以上１モル以下、有機スズ０．００５モル以上０．０５０モル以下を触媒として加え、２．０モル以上４．０モル以下の水で加水分解後、１６０℃以上２１０℃以下の温度でフェニルトリアルコキシシランの加水分解時に用いた有機溶剤、反応副生成物としての水およびアルコールを減圧留去して得られたレジンを、芳香族炭化水素系溶剤に溶解した塗布液である。
　ここで用いるフェニルトリアルコキシシランとしては、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリプロポキシシランなどが挙げられる。
　フェニルトリアルコキシシランを加水分解するときに用いる有機溶媒としては、メタノール、エタノール、プロパノールなどが挙げられる。
　減圧留去時に留去する有機溶剤は、フェニルトリアルコキシシランを加水分解するときに用いた有機溶剤に加えてフェニルトリアルコキシシランの加水分解によって生成したアルコールも含まれる。また加水分解されたフェニルトリアルコキシシランの縮合反応に伴って生成する水が含まれることもある。
　芳香族炭化水素系溶剤としては、トルエン、キシレンなどが挙げられる。芳香族炭化水素系溶剤に、特性に影響を与えない範囲で、他の有機溶剤を混合してもよい。
　有機スズはフェニルトリアルコキシシランおよびその加水分解縮合反応物や、フェニル基含有ラダーポリマーの重縮合反応を促進する触媒である。有機スズとしては、ジブチルスズジアセテート、ビス（アセトキシジブチルスズ）オキサイド、ジブチルスズビスアセチルアセトナート、ジブチルスズビスマレイン酸モノブチルエステル、ジオクチルスズビスマレイン酸モノブチルエステル、ビス（ラウロキシジブチルスズ）オキサイドなどが挙げられる。
　シリカ系無機有機ハイブリッド膜は、上述の塗布液を、ステンレス鋼箔の表面に塗布し、不活性ガス雰囲気中３００℃以上４５０℃以下の熱処理温度で硬化させて、好ましくは、膜厚０．３μｍ以上５．０μｍ以下となるように形成される。
　シリカ系無機有機ハイブリッド膜が、メチル基修飾シリカ膜である場合は、たとえば以下に示す塗布液から作製される。
　メチルトリエトキシシラン０．６モルとテトラメトキシシラン０．４モルを１２．０モルのエタノール中で２．０モルの水と０．１モルの酢酸で加水分解、縮合反応させた塗布液を膜厚１．０μｍで塗布後、窒素中４５０℃で１０分熱処理を行った膜は、メチル基が結合したＴ核が６０％、Ｑ核が４０％となる。Ｑ核の原料としてテトラメトキシシランの他、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、コロイダルシリカなどを用いることができる。メチルトリエトキシシラン以外に、メチルトリメトキシシランを用いることもできる。これらの原料を複数組み合わせてもよい。
　シリカ系無機有機ハイブリッド膜は、塗布後の熱処理温度および熱処理中のガス雰囲気により、原料のオルガノアルコキシシランの有機基が熱分解し、ＳｉがＴ核からＱ核に変わる場合がある。したがって、Ｔ核である原料、たとえばメチルトリメトキシシラン１．０モルを８．０モルのメタノール中、３．０モルの水と０．０１モルの硝酸を用いて加水分解、縮合させて得た塗布液を、膜厚０．４μｍで塗布後、０．１％の酸素を含む窒素中で５００℃１分の熱処理を行った場合、平坦化膜中、メチル基が結合したＴ核のＳｉが９８％、メチル基が熱分解したＱ核のＳｉが２％存在する。一方、前記塗布液を膜厚０．４μｍでステンレス鋼箔に塗布後、窒素中で５００℃１分の熱処理を行った場合、メチル基が結合したＴ核のＳｉが１００％となる。
　ステンレス鋼箔上に形成されるシリカ系無機有機ハイブリッド膜の膜厚は、０．３μｍ以上５．０μｍ以下である。０．３μｍよりも薄い場合は、ステンレス鋼箔表面の被覆が不十分になり、ステンレス鋼箔とデバイスが短絡したり、シリカ系無機有機ハイブリッド膜の表面が十分平坦にならずデバイスを構成する電極層や半導体層のデラミが発生するため不適である。５．０μｍを超える場合は膜にクラックが入りやすくなる。製膜時のクラックが入りやすいだけでなく、平坦化膜で被覆されたステンレス鋼箔をフレキシブル基板として曲げたときにもクラックが入りやすくなる。膜厚は０．５μｍ以上３．５μｍ以下であることがステンレス鋼箔表面の被覆とクラック防止の観点からさらに好ましい。
　次に、実施例により本発明を更に説明する。本発明がここに提示した実施例に限定されないことは言うまでもない。
　試験材１、２については、真空誘導溶解炉により表１に示す成分に調整したステンレス合金組成の溶湯を調製し、Ｎ2ガスによるガスアトマイズにより粉末化した。ガスアトマイズ時の溶湯温度は、溶湯の粘性を下げるために、液相線温度＋５０℃～液相線温度＋２００℃の範囲とした。また、ガスアトマイズ時のガス流量（ｍ3／分）／溶湯流量（ｋｇ／分）の比は１．０～３．０（ｍ３／ｋｇ）になるよう調整した。
　次に、得られた合金粉末を金属容器に封入し、公知のＨＩＰ処理方法により試験材１、２のインゴットを製造した。
　試験材３、４については、真空誘導溶解炉により表１に示す成分に調整したステンレス合金組成の溶湯を調製したが、その後溶湯を鋳型に移し、鋳型中で凝固させインゴットを製造した。この間、溶湯を入れたタンディッシュや鋳型内壁の耐火物は、通常操業で使用するものと同等の耐火物を使用した。
　試験材１、２の一部と試験材３、４の各インゴットを熱間鍛造して断面が８０ｍｍ×８０ｍｍの鋼片を製造し、当該鋼片を３．０ｍｍ厚になるまで熱間圧延し、その後冷間圧延して板厚０．３０ｍｍの鋼鈑を得た。得られた鋼板を冷間圧延して、狙いの板厚に造り込むパスや、形状矯正を行うパスを除き、各パスにおける圧下率を２０．０％以上にし、最終板厚より５０μｍ厚い板厚の鋼箔を得た。試験材１、２から得られた鋼箔を仕上圧延して、板厚５．０μｍ、１０．０μｍ、２５．０μｍ、５０．０μｍ、１００．０μｍのステンレス鋼箔を製造した。試験材３、４から得られた鋼箔を仕上圧延して、板厚５０．０μｍのステンレス鋼箔を製造した。この時、単位圧延荷重は０．４～１．３ｋＮ／ｍｍにし、最終の仕上圧延の圧下率を０．２～３．０％にした。なお、冷間圧延による歪除去のため、テンションアニールを行った。
　試験材１から製造したステンレス鋼箔は、板厚５．０μｍ、１０．０μｍ、２５．０μｍ、５０．０μｍ、１００．０μｍの順に、試験材１－１、１－２、１－３、１－４、１－５とした。試験材２から製造したステンレス鋼箔は、同様に、試験材２－１、２－２、２－３、２－４、２－５とした。試験材３から製造したステンレス鋼箔は、試験材３－１とし、試験材４から製造したステンレス鋼箔は、試験材４－１とした。
　試験材１、２の一部の各インゴットを熱間鍛造して断面が８０ｍｍ×８０ｍｍの鋼片を製造し、当該鋼片を３．０ｍｍ厚になるまで熱間圧延し、その後冷間圧延して板厚０．３０ｍｍの鋼鈑を得た。得られた鋼板を冷間圧延して、狙いの板厚に造り込むパスや、形状矯正を行うパスを除き、各パスにおける圧下率を２０．０％未満にし、最終板厚より５０．０μｍ厚い板厚の鋼箔を得た。得られた鋼箔を仕上圧延して、板厚５０．０μｍのステンレス鋼箔を製造した。この時、最終の仕上圧延の圧下率を５．０％にした。なお、冷間圧延による歪除去のため、テンションアニールを行った。試験材１から製造したこのステンレス鋼箔は、試験材１－６とし、試験材２から製造したこのステンレス鋼箔は、試験材２－６とした。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　フェニル基含有シリカ系無機有機ハイブリッド膜を成膜するための塗布液を準備した。まず、１Ｌのフラスコを用いて、表２に示す配合比となるように配合し、総量が０．７Ｌになるように原料を調合した。調合後、原料をマグネティックスターラーで１５分撹拌及び混合を行い、加水分解を促進するために８０℃で３時間、窒素気流下で還流した。その後、ロータリーエバポレータを用い、オイルバスの設定温度を８０℃にして、溶媒を減圧留去し、縮合反応物を得た。その後、トルエンを、縮合反応物の重量と等量で添加して、縮合反応物を溶解させた。この１Ｌフラスコをディーンスタークトラップ付き還流器に接続して、加熱還流を行った。加熱還流時のオイルバスの設定温度と還流時間は表２に示す。加熱還流後に、トルエンをさらに添加して、固形分濃度が３０質量％になるよう希釈し、孔径５μｍのフィルタをセットして減圧濾過を実施し、フェニル基含有シリカ系無機有機ハイブリッド膜形成用の塗布液とした。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　製造した各ステンレス鋼箔の片面に、ダイコータを用いて膜厚０．３、３．０、５．０μｍでフェニル基含有シリカ系無機有機ハイブリッド膜を形成した。乾燥炉は炉長３ｍで炉の温度は１００℃にセットし、速度５ｍｐｍで搬送し、ＰＡＣ３Ｊ－３０Ｈの微粘着性保護フィルムを貼りつけながら巻き取った。次に保護フィルムを剥がしながら炉長６ｍ、炉温４００℃の窒素雰囲気の熱風乾燥炉に搬送速度１ｍｐｍで通し、ＰＡＣ３Ｊ－３０Ｈの微粘着性保護フィルムを貼りつけながら巻き取り、平坦化膜付きステンレス鋼箔ロールを得た。２９Ｓｉ－ＮＭＲによりＳｉ核はすべてＴ核であることを確認した。ＦＴＩＲにより有機基はフェニル基であることを確認した。
　メチル基含有シリカ系有機無機ハイブリッド膜を成膜するための塗布液を準備した。メチルトリエトキシシラン０．５モルとテトラメトキシシラン０．５モルを、６．０モルの２－エトキシエタノール中で、２．０モルの水と０．１モルの酢酸で加水分解、縮合反応させ、その後にＭＥＫを６．０モル追加し混合することにより合成した。
　製造した各ステンレス鋼箔の片面に、ダイコータを用いて膜厚１．０μｍでメチル基含有シリカ系無機有機ハイブリッド膜を形成した。乾燥炉は炉長３ｍで炉の温度は１５０℃にセットし、速度５ｍｐｍで搬送し、ＰＡＣ３Ｊ－３０Ｈの微粘着性保護フィルムを貼りつけながら巻き取った。次に保護フィルムを剥がしながら炉長６ｍ、炉温４２０℃の窒素雰囲気の熱風乾燥炉に搬送速度１ｍｐｍで通し、ＰＡＣ３Ｊ－３０Ｈの微粘着性保護フィルムを貼りつけながら巻き取り、平坦化膜付きステンレス鋼箔ロールを得た。２９Ｓｉ－ＮＭＲによりＳｉ核はＴ核とＱ核が５０％ずつであることを確認した。ＦＴＩＲにより有機基はメチル基であることを確認した。
　上記のように製造した平坦化膜付きステンレス鋼箔の介在物評価、平坦性、絶縁信頼性について評価した結果を表３、４、５、６、７、８に示す。ここで、介在物の観察は、平坦化膜を成膜していないステンレス鋼箔の表面について行い、平坦性や絶縁信頼性は、平坦化膜を成膜した表面（介在物評価を行ったステンレス鋼箔表面の裏面側に相当する箇所）について評価を行った。
　ＳＥＭ（日本電子製のＪＳＭ－ＩＴ５００ＨＲ）を用いて平坦化膜を成膜していないステンレス鋼箔の表面の介在物を観察した。平坦化膜を成膜していないステンレス鋼箔の表面で観察した介在物の個数と、平坦化膜を成膜している面で測定したリーク電流の測定点数には相関が見られる。ＳＥＭの設定は以下の通りである。
・検出器：反射電子検出器ＢＥＤ－Ｃ
・観察倍率：８０倍
・加速電圧：２０．０ｋＶ
・ワーキングディスタンス（ＷＤ）：１０．０ｍｍ
・照射電流：８０％
　また、ＳＥＭで取得した画像は介在物自動解析ソフト（Ｏｘｆｏｒｄ社製のＡＺｔｅｃの粒子解析モード）にて介在物を検出し、ＥＤＳ装置（Ｏｘｆｏｒｄ社製のＵＬＴＩＭ　ＭＡＸ　６５）にて介在物の組成分析を実施した。
　介在物自動解析ソフトによる介在物の識別工程において、初めに介在物自動解析ソフトで使用するＳＥＭ像を取得する。次にＳＥＭで取得した画像は介在物自動解析ソフトにて円相当直径で２．００μｍ以上の介在物が検出され、かつＥＤＳでＡｌ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｓの元素を少なくとも１種以上が検出された場合に、介在物として識別する。ＥＤＳ分析まで終わった画像についてはソフト上で結合し、１つの画像として出力する。その際、介在物自動解析ソフトにより識別された介在物の粒径、元素組成も取得する。評価面積は１００ｃｍ２とし、円相当直径を介在物の粒径とした。
　介在物の組成は、前記介在物自動解析ソフトで識別された介在物についてＡｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、の酸化物換算質量％を算出した。
　［１００ｃｍ2あたりの１μＡ／ｍｍ2以上のリーク電流の測定点数］
　ステンレス鋼箔の表面に平坦化膜を成膜して、試験片を作製した。前記膜上の導電率０．１Ｓ／ｍ以上１００Ｓ／ｍ以下の液体を浸した断面積が１ｍｍ2以上２５ｍｍ2以下の電極を上部電極とし、前記ステンレス鋼箔を下部電極とし、前記試験片の表面を前記上部電極で走査して、前記上部電極と前記下部電極との間に１０Ｖ印加したときのリーク電流が、１μＡ／ｍｍ2以上である箇所の数を計測した。
　［平坦性］
　前記試験片の、１μＡ／ｍｍ2以上のリーク電流が測定された箇所では、平坦化膜にクラックが発生しており、また、クラックにより生じる平坦化膜表面の段差により平坦性が低下する。
　リーク電流が、１μＡ／ｍｍ2以上である点が、１００ｃｍ2あたり１０個未満の場合は平坦性を良好「〇」と判定し、１０個以上の場合は平坦性を不適「×」と判定した。１０個以上で著しくデバイスの欠陥が増加するため、１０個未満を良好とした。
　［絶縁信頼性］
　１μＡ／ｍｍ2以上のリーク電流が測定された箇所が、０～１０点未満である場合は絶縁信頼性を良好「○」、１０点以上である場合は絶縁信頼性を不適「×」と評価した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
　試験材１－１、１－２、１－３、１－４、１－５、２－１、２－２、２－３、２－４、２－５は、Ａｌ2Ｏ3が２８．５質量％以下、ＭｇＯが９．７質量％以下と低く抑えられ、圧延により微細化されにくい介在物となるＡｌ2Ｏ3とＭｇＯが少ないことで、円相当径５μｍ超の介在物の個数が８．８個／ｃｍ2以下と低く抑えられる。そのため、１００ｃｍ2あたりの１μＡ／ｍｍ2以上のリーク電流の測定点数が９．５個以下と少なく、クラックの発生が低減されていることがわかる。
　また、板厚が薄くなるほど、介在物が微細化され、Ａｌ2Ｏ3の質量％、ＭｇＯの質量％、円相当径５μｍ超の介在物の個数が減少し、１００ｃｍ2あたりの１μＡ／ｍｍ2以上のリーク電流の測定点数が少なることがわかる。
　試験材１－６、２－６のステンレス鋼箔は、各パスにおける圧下率が２０％未満であり、介在物を微細化できていないため、Ａｌ2Ｏ3を４３．１質量％以上、ＭｇＯを１９．４質量％以上と多く含み、円相当径５μｍ超の介在物の個数が３０．７個／ｃｍ2以上と多くなる。そのため、１００ｃｍ2あたりの１μＡ／ｍｍ2以上のリーク電流の測定点数が３２個以上と多く、そのためクラックの発生数が多いことがわかる。
　また、試験材１－６、２－６と比較すると、圧延条件を変更して製造した試験材１－１、１－２、１－３、１－４、１－５、２－１、２－２、２－３、２－４、２－５は、各パスにおける圧下率が２０％以上であり、介在物が微細化され、Ａｌ2Ｏ3の質量％、ＭｇＯの質量％、円相当径５μｍ超の介在物の個数が減少し、円相当径５μｍ超の介在物の個数が低減されていることがわかる。
　試験材３－１、４－１のステンレス鋼箔は、Ａｌ2Ｏ3が３５．１質量％以上、ＭｇＯが１１．３質量％以上と多く含んでいた。圧延により微細化されにくい介在物となるＡｌ2Ｏ3とＭｇＯが多いことで、円相当径５μｍ超の介在物の個数が２３．４個／ｃｍ2以上と多くなっていた。そのため、１００ｃｍ2あたりの１μＡ／ｍｍ2以上のリーク電流の測定点数が３０．０個以上と多く、そのためクラックの発生数が多いことがわかる。
　その結果、試験材１、２は、ＡｌやＭｇの含有を抑制することができ、試験材３、４のように耐火物からのＡｌやＭｇの混入もないので、Ａｌ２Ｏ３やＭｇＯが低減され、円相当径５μｍ超の介在物の個数が低減されていることがわかる。

Claims (5)

  1. 　ステンレス鋼成分を含み、残部がＦｅ及び不純物からなる組成を有し、
    　粒径２．００μｍ以上の介在物の合計質量に対して、Ａｌ2Ｏ3：３０質量％以下、ＭｇＯ：１０質量％以下であり、
    　前記粒径２．００μｍ以上の介在物のうち、表面に存在する粒径５．００μｍ超の介在物が２０個／ｃｍ2以下であり、
    　板厚が５．０μｍ以上１００．０μｍ以下のステンレス鋼箔、および
    　前記ステンレス鋼箔の少なくとも片面に、膜厚が０．３μｍ以上５．０μｍ以下の平坦化膜を有する、平坦化膜付きステンレス鋼箔。
  2. 　前記ステンレス鋼箔が、質量％にて、
    Ｃ：０．１５０％以下、
    Ｓｉ：０．０５０～２．０００％、
    Ｍｎ：０．１００～１０．０００％、
    Ｐ：０．０４５％以下、
    Ｓ：０．００７％以下、
    Ｎｉ：２．０００～１５．０００％、
    Ｃｒ：１５．０００～２０．０００％、
    Ｎ：０．２００％以下、
    Ａｌ：０．０３０％以下、
    Ｍｇ：０．０００５％以下、
    Ｃａ：０．０００５％以下を含み、残部がＦｅ及び不純物からなる組成を有するオーステナイト系ステンレス鋼箔である請求項１に記載の平坦化膜付きステンレス鋼箔。
  3. 　前記ステンレス鋼箔が、質量％にて、
    Ｃ：０．１２０％以下、
    Ｓｉ：０．０５０～２．０００％、
    Ｍｎ：０．１００～１．２５０％、
    Ｐ：０．０４０％以下、
    Ｓ：０．０３０％以下、
    Ｃｒ：１５．０００～２０．０００％、
    Ｎ：０．０２５％以下、
    Ａｌ：０．０３０％以下、
    Ｍｇ：０．０００５％以下、
    Ｃａ：０．０００５％以下を含み、残部がＦｅ及び不純物からなる組成を有するフェライト系ステンレス鋼箔である請求項１に記載の平坦化膜付きステンレス鋼箔。
  4. 　前記平坦化膜がシリカ系の有機無機ハイブリッド膜であり、前記有機無機ハイブリッド膜を構成するＳｉ核が、Ｔ核およびＱ核のみを含む請求項１～３のいずれか１項に記載の平坦化膜付きステンレス鋼箔。
  5. 　前記平坦化膜がシリカ系の有機無機ハイブリッド膜であり、前記有機無機ハイブリッド膜を構成するＳｉ核に対するＱ核の割合が７０％以下である請求項４に記載の平坦化膜付きステンレス鋼箔。
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Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0361322A (ja) * 1989-07-28 1991-03-18 Nippon Steel Corp 伸線性ならびに冷間圧延性に優れたオーステナイト系ステンレス鋼の製造方法
JP2000273586A (ja) * 1999-03-23 2000-10-03 Nippon Steel Corp ステンレス極薄箔
JP2003247078A (ja) 2002-02-20 2003-09-05 Nippon Steel Corp 無機有機ハイブリッド膜被覆ステンレス箔
JP2005290449A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Sumitomo Metal Ind Ltd 微細介在物含有ステンレス鋼とその製造方法
JP2011202253A (ja) 2010-03-26 2011-10-13 Nisshin Steel Co Ltd 洗浄性に優れたオーステナイト系ステンレス鋼板およびその製造方法
WO2016076399A1 (ja) * 2014-11-12 2016-05-19 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 平坦化膜形成塗布液および平坦化膜付き金属箔コイル
WO2017056618A1 (ja) * 2015-09-29 2017-04-06 日新製鋼株式会社 疲労特性に優れた高強度ステンレス鋼板およびその製造方法
WO2021172381A1 (ja) * 2020-02-27 2021-09-02 日鉄ステンレス株式会社 金属箔用ステンレス鋼、ステンレス鋼箔、およびそれらの製造方法
WO2022014307A1 (ja) * 2020-07-17 2022-01-20 日立金属株式会社 ステンレス鋼箔、スイッチ用ばね、フレキシブルディスプレイ用基板およびステンレス鋼箔の製造方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016076399A (ja) 2014-10-07 2016-05-12 日鉄住金テックスエンジ株式会社 充放電電源の電流電圧校正方法及びその校正用負荷装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0361322A (ja) * 1989-07-28 1991-03-18 Nippon Steel Corp 伸線性ならびに冷間圧延性に優れたオーステナイト系ステンレス鋼の製造方法
JP2000273586A (ja) * 1999-03-23 2000-10-03 Nippon Steel Corp ステンレス極薄箔
JP2003247078A (ja) 2002-02-20 2003-09-05 Nippon Steel Corp 無機有機ハイブリッド膜被覆ステンレス箔
JP2005290449A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Sumitomo Metal Ind Ltd 微細介在物含有ステンレス鋼とその製造方法
JP2011202253A (ja) 2010-03-26 2011-10-13 Nisshin Steel Co Ltd 洗浄性に優れたオーステナイト系ステンレス鋼板およびその製造方法
WO2016076399A1 (ja) * 2014-11-12 2016-05-19 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 平坦化膜形成塗布液および平坦化膜付き金属箔コイル
WO2017056618A1 (ja) * 2015-09-29 2017-04-06 日新製鋼株式会社 疲労特性に優れた高強度ステンレス鋼板およびその製造方法
WO2021172381A1 (ja) * 2020-02-27 2021-09-02 日鉄ステンレス株式会社 金属箔用ステンレス鋼、ステンレス鋼箔、およびそれらの製造方法
WO2022014307A1 (ja) * 2020-07-17 2022-01-20 日立金属株式会社 ステンレス鋼箔、スイッチ用ばね、フレキシブルディスプレイ用基板およびステンレス鋼箔の製造方法

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