CN117308830B - 一种平晶平面度检测用夹持辅助装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，包括设有取料口的平面等厚干涉仪本体、L形连杆、安装环和位置调节机构；L形连杆设置在平面等厚干涉仪本体的外侧，L形连杆的水平端滑动卡装在水平开设于平面等厚干涉仪本体的侧壁上的槽口内，安装环设置在平面等厚干涉仪本体内，且与L形连杆的水平端固定，安装环上设有用于固定平晶的夹持机构；位置调节机构设置在平面等厚干涉仪本体的外侧，且输出端与L形连杆的竖直端连接，位置调节机构用于调节平晶位于平面等厚干涉仪本体内的位置。本发明相比手动调节被检平晶的定位点来说，具备调节精准的优势，而且调节好后，能够将被检平晶的位置进行固定，避免平晶因外力因素造成位置偏移。

Description

一种平晶平面度检测用夹持辅助装置及方法

技术领域

本发明涉及平晶平面度检测技术领域，具体是一种平晶平面度检测用夹持辅助装置及方法。

背景技术

目前在对平晶平面度进行检定时，一般需要用到平面等厚干涉仪，现有的平面等厚干涉仪由主体a、标准平晶c、光路e、工业相机g和钠光灯f构成，在检定时，需要将被检平晶d通过开设在主体a上的通口b放置到标准平晶c上，通过钠光灯f发射钠光，通过光路e发射到主体a内，途中经过反光镜、半透镜、准直物镜的折射后，照射到被检平晶与标准平晶e上，光线通过被检平晶的下表面和标准平晶e的上表面时分别反射的两束光线，再通过物镜后在半透镜上成像。由于这两束光线来自同一光源，它们频率相同，振动方向相同，位相相等，满足相干条件，但光程不同，因此形成干涉条纹，被检平晶的下表面和标准平晶的上表面形成光楔，光楔的厚度不同导致两束光线的光程差不同，因此产生的干涉条纹的弯曲程度不同，根据这些干涉条纹的弯曲程度，就可以判断平晶表面的平面度。

但是现在实际检定过程中，由于被检平晶的形状、直径和平面度不同，因此在每次检定时，均需要调节被检平晶的定位点，而在调节过程中，一般将手伸入平面等厚干涉仪内抓住被检平晶移动来调节其定位点，手动调节容易造成污染，而且在调节后缺少对被检平晶位置固定的作用，在检定过程中，当平面等厚干涉仪受到外界影响时，会导致被检平晶的位置出现偏移，从而影响到检测的准确性，而重新再次调节被检平晶的定位点又比较繁琐，从而给检测带来了不便。

发明内容

本发明的目的是提供一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，通过夹持结构将被检平晶夹持，避免手持带来污染，通过位置调节机构带动夹持结构移动来调节被检平晶定位点，调节好后会将被检平晶的位置进行固定，避免在检定时，被检平晶出现偏移。

本发明的技术方案是：一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，包括平面等厚干涉仪本体、L形连杆、安装环和位置调节机构；平面等厚干涉仪本体设有取料口；L形连杆设置在平面等厚干涉仪本体的外侧，L形连杆水平端滑动卡装在槽口内，所述槽口水平开设在平面等厚干涉仪本体的侧壁上，且位于取料口的一侧，安装环水平设置在所述平面等厚干涉仪本体内，所述L形连杆的水平端延伸至平面等厚干涉仪本体内与安装环的外侧壁固定，所述安装环上设有用于固定平晶的夹持机构；位置调节机构设置在平面等厚干涉仪本体的外侧，位置调节机构的输出端与所述L形连杆的竖直端连接，所述位置调节机构通过L形连杆带动安装环沿纵横向水平移动，来调节平晶位于平面等厚干涉仪本体内的位置。

作为本发明的进一步改进，所述位置调节机构包括安装板、第一丝杠、第一丝杠螺母、第二丝杠、第二丝杠螺母和两个驱动组件；安装板水平固定在所述平面等厚干涉仪本体设有槽口的侧壁上，安装板上开设有矩形贯穿口；第一丝杠设置在安装板的顶部，且位于矩形贯穿口的一侧，第一丝杠沿矩形贯穿口的长度方向设置，第一丝杠的两端分别与两个第一轴承座转动连接，两个所述第一轴承座固定在所述安装板顶部；第一丝杠螺母套设在所述第一丝杠上，第一丝杠螺母的底部与所述安装板的顶部滑动连接，第一丝杠螺母正对矩形贯穿口的侧壁上固定有第一导向杆，第一导向杆沿所述矩形贯穿口的宽度方向设置，第一导向杆上滑动套设有移动块，移动块的底部与所述L形连杆的竖直端固定连接；第二丝杠设置在安装板的顶部，且位于矩形贯穿口的一侧，第二丝杠沿矩形贯穿口的宽度方向设置，第二丝杠的两端分别与两个第二轴承座转动连接，两个所述第二轴承座固定在所述安装板顶部；第二丝杠螺母套设在所述第二丝杠上，第二丝杠螺母的底部与所述安装板的顶部滑动连接，第二丝杠螺母正对矩形贯穿口的侧壁上固定有第二导向杆，第二导向杆设置在所述第一导向杆的上方，且与第一导向杆垂直设置，第二导向杆上沿其长度方向设有导向槽口，导向槽口内滑动卡装有竖直设置的滑杆，所述滑杆的下端与所述移动块的顶部固定；两个驱动组件的输出端一一对应分别与所述第一丝杠和第二丝杠连接，用于带动第一丝杠和第二丝杠分别转动。

作为本发明的进一步改进，所述驱动组件为自锁手轮，分别套装固定在第一丝杠和第二丝杠的端部。

作为本发明的进一步改进，所述安装板的顶部固定有第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板位于所述第一丝杠的对侧，第一支撑板正对第一丝杠的侧壁上开设有第一导向滑槽，第一导向滑槽与第一丝杠平行设置，所述第一导向杆背对第一丝杠螺母的一端滑动卡装在所述第一导向滑槽内，所述第二支撑板位于所述第一丝杠的对侧，第二支撑板正对第二丝杠的侧壁上开设有第二导向滑槽，第二导向滑槽与第二丝杠平行设置，所述第二导向杆背对第二丝杠螺母的一端滑动卡装在所述第二导向滑槽内。

作为本发明的进一步改进，所述滑杆上套装固定有两个限位板，所述两个限位板分别设置在第二导向杆的上下两侧。

作为本发明的进一步改进，所述安装板远离平面等厚干涉仪本体的底部一侧固定有支撑腿。

作为本发明的进一步改进，所述夹持机构包括安装箱、双轴电机、两个夹持杆和两个弧形夹板；安装箱固定在所述安装环的外壁上，所述安装环正对安装箱的侧壁上开设两个通口，两个通口与所述安装箱连通；双轴电机固定在所述安装箱内，且位于两个通口之间，双轴电机的两侧输出轴分别连接有第三丝杠，两个第三丝杠的旋向相反，且每个第三丝杠远离双轴电机的一端均与所述安装箱的内壁转动连接，两个第三丝杠上均套设连接有第三螺母座；两个夹持杆的一端分别与所述两个第三螺母座正对通口的侧壁固定；两个弧形夹板设置在所述安装环的内侧，且开口正对设置，所述两个夹持杆的另一端通过通口延伸至安装环内与两个弧形夹板的开口背部固定。

作为本发明的进一步改进，所述L形连杆上设有加强筋。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明在对平晶进行平面度检测时，将被检平晶放置在到标准平晶上，然后通过夹持机构将被检平晶进行夹持，在调节定位点时，通过位置调节机构带动L形连杆移动，利用L形连杆带动安装环沿纵横向水平移动，安装环移动的过程中通过夹持机构来带动被检平晶同步移动来对其位置进行调节，当被检平晶调节定位后，由于夹持机构的存在，能够保证被检平晶的位置不变，从而避免被检平晶因外力因素造成位置偏移，给检测带来不便。

2、本发明中的位置调节机构采用丝杠传动的方式来调节平晶水平横纵方向定位点，相比手动调节来说，更加精准，能够有效的减少测量误差。

附图说明

图1为现有技术的结构示意图；

图2为本发明的主视结构示意图；

图3为本发明图2中A-A处剖视结构示意图；

图4为本发明图2中B处局部放大示意图；

图5为本发明安装板处各结构的俯视示意图；

图6为本发明增设加强筋后的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述。在发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；在发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

实施例1

如图1所示，本发明实施例提供一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，包括平面等厚干涉仪本体1、L形连杆2、安装环3和位置调节机构；平面等厚干涉仪本体1设有取料口101；L形连杆2设置在平面等厚干涉仪本体1的外侧，L形连杆2水平端滑动卡装在槽口102内，槽口102水平开设在平面等厚干涉仪本体1的侧壁上，且位于取料口101的一侧，安装环3水平设置在平面等厚干涉仪本体1内，L形连杆2的水平端延伸至平面等厚干涉仪本体1内与安装环3的外侧壁固定，安装环3上设有用于固定平晶的夹持机构；位置调节机构设置在平面等厚干涉仪本体1的外侧，位置调节机构的输出端与L形连杆2的竖直端连接，位置调节机构通过L形连杆2带动安装环3沿纵横向水平移动，来调节平晶位于平面等厚干涉仪本体1内的位置。

本实施例中，在进行检测时，在平面等厚干涉仪本体1内安装标准平晶103，标准平晶103位于安装环3的下方，将被检平晶放置在到标准平晶103上，然后通过夹持机构将平晶进行夹持，在调节定位点时，通过位置调节机构带动L形连杆2移动，利用L形连杆2带动安装环3沿纵横向水平移动，安装环3移动的过程中通过夹持机构来带动被检平晶同步移动，从而调节被检平晶沿纵横向水平移动，当被检平晶调节定位后，由于夹持机构的存在，能够保证被检平晶的位置不变，从而避免被检平晶因外力因素造成位置移动，给检测带来不便。

在一些实施例中，作为位置调节机构的具体实施方式，如图2到图5所示，位置调节机构包括安装板4、第一丝杠42、第一丝杠螺母43、第二丝杠44、第二丝杠螺母45和两个驱动组件46；安装板4水平固定在平面等厚干涉仪本体1设有槽口102的侧壁上，安装板4上开设有矩形贯穿口41；第一丝杠42设置在安装板4的顶部，且位于矩形贯穿口41的一侧，第一丝杠42沿矩形贯穿口41的长度方向设置，第一丝杠42的两端分别与两个第一轴承座421转动连接，两个第一轴承座421固定在安装板4顶部；第一丝杠螺母43套设在第一丝杠42上，第一丝杠螺母43的底部与安装板4的顶部滑动连接，第一丝杠螺母43正对矩形贯穿口41的侧壁上固定有第一导向杆431，第一导向杆431沿矩形贯穿口41的宽度方向设置，第一导向杆431上滑动套设有移动块432，移动块432的底部与L形连杆2的竖直端固定连接；第二丝杠44设置在安装板4的顶部，且位于矩形贯穿口41的一侧，第二丝杠44沿矩形贯穿口41的宽度方向设置，第二丝杠44的两端分别与两个第二轴承座转动连接，两个第二轴承座固定在安装板4顶部；第二丝杠螺母45套设在第二丝杠44上，第二丝杠螺母45的底部与安装板4的顶部滑动连接，第二丝杠螺母45正对矩形贯穿口41的侧壁上固定有第二导向杆451，第二导向杆451设置在第一导向杆431的上方，且与第一导向杆431垂直设置，第二导向杆451上沿其长度方向设有导向槽口452，导向槽口452内滑动卡装有竖直设置的滑杆453，滑杆453的下端与移动块432的顶部固定；两个驱动组件46的输出端一一对应分别与第一丝杠42和第二丝杠44连接，用于带动第一丝杠42和第二丝杠44分别转动。

在通过位置调节机构来带动L形连杆2进行纵横向水平移动时，通过驱动组件46分别控制第一丝杠42和第二丝杠44转动，第一丝杠42转动的过程中会带动第一丝杠螺母43和第一导向杆431沿矩形贯穿口41的长度方向移动，第一导向杆431沿矩形贯穿口41的长度方向移动的过程中会带动移动块432同步移动，同时第二丝杠44转动的过程中会带动第二丝杠螺母45和第二导向杆451沿矩形贯穿口41的宽度方向移动，第二导向杆451移动时通过导向槽口452拨动滑杆453使其沿矩形贯穿口41的宽度方向移动，进而带动移动块432实现沿矩形贯穿口41的宽度方向以及长度方向移动，从而利用移动块432带动L形连杆2实现纵横向水平移动，来调节被检平晶的定位点，由于采用丝杠传动进行调节，使得移动距离相比手动直接移动来说更加精确。

具体的，作为驱动组件46的具体实施方式，如图2和图5所示，驱动组件46为自锁手轮，分别套装固定在第一丝杠42和第二丝杠44的端部，设置自锁手轮能够便于进行操作，而且成本较低，能够在调节好后利用自锁手轮将第一丝杠42和第二丝杠44的旋转角度进行固定，从而保持当前夹持被检平晶的定位点不变。

在一些实施例中，为了保证第一导向杆431和第二导向杆451移动的过程中，能够保持水平移动，如图2和图5所示，因此在安装板4的顶部固定有第一支撑板51和第二支撑板52，第一支撑板51位于第一丝杠42的对侧，第一支撑板51正对第一丝杠42的侧壁上开设有第一导向滑槽，第一导向滑槽与第一丝杠42平行设置，第一导向杆431背对第一丝杠螺母43的一端滑动卡装在第一导向滑槽内，第二支撑板52位于第一丝杠42的对侧，第二支撑板52正对第二丝杠44的侧壁上开设有第二导向滑槽53，第二导向滑槽53与第二丝杠44平行设置，第二导向杆451背对第二丝杠螺母45的一端滑动卡装在第二导向滑槽53内，通过第一导向滑槽与第二导向滑槽53的配合，能够对第一导向杆431远离第一丝杠螺母43的一端以及第二导向杆451远离第二丝杠螺母45的一端进行支撑导向，使得第一导向杆431和第二导向杆451移动的过程中，能够保持水平平稳移动。

在一些实施例中，为保证滑杆453移动平稳，因此在滑杆453上套装固定有两个限位板6，两个限位板6分别设置在第二导向杆451的上下两侧。

在一些实施例中，为了保持安装板4的悬空部平稳，安装板4远离平面等厚干涉仪本体1的底部一侧固定有支撑腿。

具体的，如图3所示，作为夹持机构的可选实施方式，夹持机构包括安装箱7、双轴电机72、两个夹持杆75和两个弧形夹板76；安装箱7固定在安装环3的外壁上，安装环3正对安装箱7的侧壁上开设两个通口71，两个通口71与安装箱7连通；双轴电机72固定在安装箱7内，且位于两个通口71之间，双轴电机72的两侧输出轴分别连接有第三丝杠73，两个第三丝杠73的旋向相反，且每个第三丝杠73远离双轴电机72的一端均与安装箱7的内壁转动连接，两个第三丝杠73上均套设连接有第三螺母座74；两个夹持杆75的一端分别与两个第三螺母座74正对通口71的侧壁固定；两个弧形夹板76设置在安装环3的内侧，且开口正对设置，两个夹持杆75的另一端通过通口71延伸至安装环3内与两个弧形夹板76的开口背部固定。

本实施例中，在夹持时通过控制双轴电机72带动两个第三丝杠73同步转动，由于两个第三丝杠73的旋向相反，因此会带动两个第三螺母座74实现同步相互靠近或同步远离，两个第三螺母座74移动的过程中通过两个夹持杆75来带动两个弧形夹板76同步移动，利用两个弧形夹板76将被检平晶进行定心夹持固定，由于是定心夹持，因此降低了对被检平晶的放置位置要求，只需放置在两个弧形夹板76之间即可，而且能够确保被检平晶被夹持后位于安装环3的中心处，通过位置调节机构来带动安装环3移动进而能够准确调节被检平晶的定位点。

在一些实施例中，为了提高L形连杆2的强度，如图6所示，因此在L形连杆2上设有加强筋8。

以上公开的仅为本发明的较佳地几个具体实施例，但是，本发明实施例并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，包括设有取料口(101)的平面等厚干涉仪本体(1)，其特征在于，还包括：

L形连杆(2)，设置在平面等厚干涉仪本体(1)的外侧，L形连杆(2)水平端滑动卡装在槽口(102)内，所述槽口(102)水平开设在平面等厚干涉仪本体(1)的侧壁上，且位于取料口(101)的一侧，

安装环(3)，水平设置在所述平面等厚干涉仪本体(1)内，所述L形连杆(2)的水平端延伸至平面等厚干涉仪本体(1)内与安装环(3)的外侧壁固定，所述安装环(3)上设有用于固定平晶的夹持机构，所述夹持机构包括：安装箱(7)，固定在所述安装环(3)的外壁上，所述安装环(3)正对安装箱(7)的侧壁上开设两个通口(71)，两个通口(71)与所述安装箱(7)连通；双轴电机(72)，固定在所述安装箱(7)内，且位于两个通口(71)之间，双轴电机(72)的两侧输出轴分别连接有第三丝杠(73)，两个第三丝杠(73)的旋向相反，且每个第三丝杠(73)远离双轴电机(72)的一端均与所述安装箱(7)的内壁转动连接，两个第三丝杠(73)上均套设连接有第三螺母座(74)；两个夹持杆(75)，一端分别与所述两个第三螺母座(74)正对通口(71)的侧壁固定；两个弧形夹板(76)，设置在所述安装环(3)的内侧，且开口正对设置，所述两个夹持杆(75)的另一端通过通口(71)延伸至安装环(3)内与两个弧形夹板(76)的开口背部固定；

位置调节机构，设置在平面等厚干涉仪本体(1)的外侧，位置调节机构的输出端与所述L形连杆(2)的竖直端连接，所述位置调节机构通过L形连杆(2)带动安装环(3)沿纵横向水平移动，来调节平晶位于平面等厚干涉仪本体(1)内的位置，所述位置调节机构包括：安装板(4)，水平固定在所述平面等厚干涉仪本体(1)设有槽口(102)的侧壁上，安装板(4)上开设有矩形贯穿口(41)；第一丝杠(42)，设置在安装板(4)的顶部，且位于矩形贯穿口(41)的一侧，第一丝杠(42)沿矩形贯穿口(41)的长度方向设置，第一丝杠(42)的两端分别与两个第一轴承座(421)转动连接，两个所述第一轴承座(421)固定在所述安装板(4)顶部；第一丝杠螺母(43)，套设在所述第一丝杠(42)上，第一丝杠螺母(43)的底部与所述安装板(4)的顶部滑动连接，第一丝杠螺母(43)正对矩形贯穿口(41)的侧壁上固定有第一导向杆(431)，第一导向杆(431)沿所述矩形贯穿口(41)的宽度方向设置，第一导向杆(431)上滑动套设有移动块(432)，移动块(432)的底部与所述L形连杆(2)的竖直端固定连接；第二丝杠(44)，设置在安装板(4)的顶部，且位于矩形贯穿口(41)的一侧，第二丝杠(44)沿矩形贯穿口(41)的宽度方向设置，第二丝杠(44)的两端分别与两个第二轴承座转动连接，两个所述第二轴承座固定在所述安装板(4)顶部；第二丝杠螺母(45)，套设在所述第二丝杠(44)上，第二丝杠螺母(45)的底部与所述安装板(4)的顶部滑动连接，第二丝杠螺母(45)正对矩形贯穿口(41)的侧壁上固定有第二导向杆(451)，第二导向杆(451)设置在所述第一导向杆(431)的上方，且与第一导向杆(431)垂直设置，第二导向杆(451)上沿其长度方向设有导向槽口(452)，导向槽口(452)内滑动卡装有竖直设置的滑杆(453)，所述滑杆(453)的下端与所述移动块(432)的顶部固定；两个驱动组件(46)，输出端一一对应分别与所述第一丝杠(42)和第二丝杠(44)连接，用于带动第一丝杠(42)和第二丝杠(44)分别转动。

2.根据权利要求1所述的一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，其特征在于，所述驱动组件(46)为自锁手轮，分别套装固定在第一丝杠(42)和第二丝杠(44)的端部。

3.根据权利要求2所述的一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，其特征在于，所述安装板(4)的顶部固定有第一支撑板(51)和第二支撑板(52)，所述第一支撑板(51)位于所述第一丝杠(42)的对侧，第一支撑板(51)正对第一丝杠(42)的侧壁上开设有第一导向滑槽，第一导向滑槽与第一丝杠(42)平行设置，所述第一导向杆(431)背对第一丝杠螺母(43)的一端滑动卡装在所述第一导向滑槽内，所述第二支撑板(52)位于所述第一丝杠(42)的对侧，第二支撑板(52)正对第二丝杠(44)的侧壁上开设有第二导向滑槽(53)，第二导向滑槽(53)与第二丝杠(44)平行设置，所述第二导向杆(451)背对第二丝杠螺母(45)的一端滑动卡装在所述第二导向滑槽(53)内。

4.根据权利要求3所述的一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，其特征在于，所述滑杆(453)上套装固定有两个限位板(6)，所述两个限位板(6)分别设置在第二导向杆(451)的上下两侧。

5.根据权利要求1所述的一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，其特征在于，所述安装板(4)远离平面等厚干涉仪本体(1)的底部一侧固定有支撑腿。

6.根据权利要求1所述的一种平晶平面度检测用夹持辅助装置，其特征在于，所述L形连杆(2)上设有加强筋(8)。