CN115164983A - 一种检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种检测装置。其包括探针检测台和镜头更换结构，探针检测台包括承载台、安装台和探针座，探针座和安装台均设置于承载台上，探针座滑动的设置于承载台上并能够靠近或远离安装台；镜头更换结构能够根据被检测件不同位置需要更换光学镜头。探针座能够相对于承载台滑动，这样在承载台上放置好被检测件后，探针座可根据实际需要移动，以使探针检测被检测件的不同位置，避免了现有技术中根据被检测件检测位置不同而频繁更换探针或者承载台，另外，镜头更换装置能够更换光学镜头，也能够满足被检测件的不同位置的检测需要，相比于现有技术而言，本发明中的检测装置能够减少检测时间，提高工作效率。

Description

一种检测装置

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种检测装置。

背景技术

在电子装置(诸如半导体衬底)的制造过程中以及制造过程完成以后，需要对其进行相关检测以确定其性能。例如热扩散的测量、热应力分布、无损检测等，还可为芯片提供热分布测试和失效定位。但是上述两个及以上测量实现检测的手段多是通过探针与测量相机结合，这样可以通过一次检测获得多个方面的测量结果。而现有技术中检测装置的通用性差，不能实现一个探针对同一检测件不同位置进行检测，造成检测效率低。

因此，亟需一种检测装置，以解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提出一种检测装置，能够提高检测装置的通用性，实现一个探针能够检测同一检测件的不同位置。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种检测装置，包括：

探针检测台，包括承载台、安装被检测件的安装台和设置于安装台侧边的探针座，所述探针座和所述安装台均设置于所述承载台上，所述探针座滑动的设置于所述承载台上并能够靠近或远离所述安装台；

镜头更换结构，设置于探针检测台的上方，所述镜头更换结构能够根据被检测件不同位置需要更换光学镜头。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述承载台上设置有能够沿所述承载台长度方向滑动的调节板，所述探针座设置于所述调节板上，且所述探针座能够沿所述调节板的长度方向移动。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述调节板沿长度方向设置有呈长条形的第一调节孔，所述探针座上设置有与所述第一调节孔相配合的第一调节螺栓，所述第一调节螺栓用于将所述探针座位置固定。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述探针座上设置有呈长条形的第二调节孔，所述第一调节孔的长度方向与所述第二调节孔的长度方向呈夹角设置，所述第一调节螺栓依次穿过所述第二调节孔和所述第一调节孔。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述探针座包括：

探针安装座，用于安装探针；

移动座，与所述探针安装座连接，所述移动座上设置有所述第二调节孔，所述移动座能够滑动的设置于所述调节板上。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述移动座包括：

X轴调节部，设置于所述承载台的顶部；

Y轴调节部，设置于所述X轴调节部的顶部并与所述X轴调节部连接；

Z轴调节部，设置于所述Y轴调节部的一侧，所述Z轴调节部分别与所述探针安装座以及所述Y轴调节部连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述X轴调节部包括：

连接座，设置于所述承载台的顶部；

X轴微调丝杠，能够转动的设置于所述连接座上；

X轴微调螺母，与所述X轴微调丝杠螺纹配合；

X轴移动体，与所述X轴微调螺母固定连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述Y轴调节部包括：

Y轴微调丝杠，能够转动的设置于所述X轴移动体上；

Y轴微调螺母，与所述Y轴微调丝杠螺纹配合；

Y轴移动体，与所述Y轴微调螺母固定连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述Z轴调节部包括：

Z轴微调丝杠，能够转动的设置于所述Y轴移动体上；

Z轴微调螺母，与所述Z轴微调丝杠螺纹配合；

Z轴移动体，分别与所述Z轴微调螺母和所述探针安装座固定连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述X轴移动体、所述Y轴移动体和所述Z轴移动体的底部均设置有燕尾榫，所述连接座、所述X轴移动体和所述Y轴移动体上均有与所述燕尾榫配合的燕尾槽。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述探针安装座包括：

固定座，与所述移动座连接；

转动座，与所述固定座转动连接，所述转动座上设置有所述探针。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述转动座包括：

竖直调节座，与所述固定座枢轴连接；

转向调节座，所述竖直调节座的一端与所述转向调节座通过转动螺栓转动连接，所述转向调节座与所述探针连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述转向调节座上设置有导向板和导向螺栓，所述导向板与所述导向螺栓相互配合能够为所述转动座提供导向并紧固所述转动座。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述导向板一端与所述转向调节座固定连接，所述导向板另一端与所述竖直调节座转动连接，所述导向板上设置有呈弧形的导向孔，所述导向螺栓穿过所述导向孔并与所述固定座螺纹连接，所述转动螺栓穿过所述导向板、所述竖直调节座和所述转向调节座以将所述竖直调节座和所述转向调节座转动连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述探针安装座还包括第二调节螺栓，所述第二调节螺栓穿过所述移动座的Z轴移动体后能够与所述固定座抵接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述探针安装座上设置有长度能够调节的探针安装管，所述探针的检测端穿过所述探针安装管并设置于所述探针安装管的一端。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述安装台包括：

抽拉架，固定于所述承载台上；

抽拉座，能够滑动的设置于所述抽拉架内，所述抽拉座通过限位结构限位于所述抽拉架上；

夹持臂，能够滑动的设置于所述抽拉座上；

紧固结构，能够将所述夹持臂限位于所述承载台上。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述紧固结构包括固定板、紧固板和紧固螺栓，所述固定板与所述夹持臂固定连接，且所述固定板能够滑动的设置于所述抽拉座上，所述紧固板与所述固定板通过所述紧固螺栓连接，所述抽拉座设置于所述紧固板与所述固定板之间，所述紧固螺栓穿过所述固定板与所述紧固板，所述紧固螺栓能够调节所述紧固板与所述固定板之间的距离。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述抽拉座的两侧各设置有一个第一限位孔，所述限位结构包括滚珠螺丝，所述滚珠螺丝具有滚珠的一端穿过所述第一限位孔和所述承载台能够抵接干涉。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述承载台包括机架和承载板，所述安装台和所述探针座均设置于所述承载板上，所述承载板两端能够转动的设置于所述机架上。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述检测装置还包括驱动结构，所述驱动结构包括：

转动电机；

蜗杆，与所述转动电机的输出端连接；

齿轮，设置于所述机架的外部，所述承载板设置有连接轴，所述连接轴一端穿过所述机架并套设有所述齿轮，所述齿轮与所述蜗杆啮合，所述承载板能够随所述齿轮转动。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述检测装置还包括台架，所述探针检测台和所述镜头更换结构均设置于所述台架上，所述台架设置于机架上。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述机架上设置有三个第一定位孔，所述台架上均匀设置有多个第二定位孔，定位螺栓穿过所述第一定位孔和第二定位孔，且所述定位螺栓与所述第一定位孔一一对应设置。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述探针检测台还包括调节结构，所述调节结构包括水平调节座和调节杆，所述调节结构设置于所述台架上，且所述承载台的两端部和两侧均设置有所述调节结构。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述调节结构包括水平调节座和调节杆，所述调节杆能够转动地设置于所述水平调节座上。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述镜头更换结构包括：

镜头架，设置于所述台架上，所述镜头架用以摆放支撑非工作的光学镜头，所述镜头架上并排且间隔设置有多个镜头安置槽；

镜头座，设置有探测器，所述镜头座连接有用于工作的光学镜头，且用于工作的所述光学镜头设置于所述探测器的正下方；

移动单元，设置于所述台架上，所述移动单元与所述镜头座连接，所述镜头架设置于所述移动单元的下方，所述移动单元被配置为能够驱动所述镜头座移动；

连接单元，设置于所述镜头座上，所述连接单元被配置为能够抓取或松脱所述光学镜头。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述镜头安置槽的开口朝向所述探针检测台设置。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述移动单元包括：

X轴移动部件，设置于所述台架的顶部；

Y轴移动部件，设置于所述X轴移动部件上并与所述X轴移动部件连接；

Z轴移动部件，设置于所述Y轴移动部件上并与所述镜头座连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，两个所述X轴移动部件平行且间隔设置于所述台架的顶部，所述Y轴移动部件两端分别与位于所述Y轴移动部件两端的X轴移动部件连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述X轴移动部件包括：

X轴驱动件；

X轴直线移动组件，所述X轴直线移动组件分别与所述X轴驱动件的输出端及所述Y轴移动部件连接，所述X轴直线移动组件能够沿X轴方向带动所述Y 轴移动部件移动。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述Y轴移动部件包括：

Y轴驱动件；

Y轴直线移动组件，所述Y轴直线移动组件分别与所述Y轴驱动件的输出端及所述Z轴移动部件连接，所述Y轴直线移动组件能够沿Y轴方向带动所述Z 轴移动部件移动。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述Z轴移动部件包括：

Z轴驱动件；

Z轴直线移动组件，所述Z轴直线移动组件分别与所述Z轴驱动件的输出端及所述镜头座连接，所述Z轴直线移动组件能够沿Z轴方向带动所述镜头座移动。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述移动单元还包括位于所述X 轴移动部件底部的支撑架，所述支撑架设置于所述台架的顶部，所述支撑架两端分别与所述X轴移动部件和所述台架顶部固定连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述连接单元包括气动夹爪。

本发明有益效果：

探针座能够相对于承载台滑动，这样在承载台上放置好被检测件后，探针座可根据实际需要移动，以使探针检测被检测件的不同位置，避免了现有技术中根据被检测件检测位置不同而频繁更换探针或者承载台，另外，镜头更换装置能够更换光学镜头，也能够满足被检测件的不同位置的检测需要，相比于现有技术而言，本发明中的检测装置能够减少检测时间，提高工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的检测装置的正视图；

图2是本发明实施例提供的探针检测台的第一视角的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的探针检测台的第二视角的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的承载台和安装台连接后的第一视角的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的承载台和安装台连接后的第二视角的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的安装台的结构示意图；

图7是本发明实施例提供的探针座的第一视角的结构示意图；

图8是本发明实施例提供的探针座的第二视角的结构示意图；

图9是本发明实施例提供的移动座的第二视角的结构示意图；

图10是本发明实施例提供的检测装置的轴测视图；

图11是本发明实施例提供的镜头架的结构示意图；

图12是本发明实施例提供的移动单元的结构示意图；

图13是图10中A处的局部放大图。

图中：

1、承载台；11、机架；12、承载板；13、调节板；131、第一调节孔；14、定位螺栓；

2、安装台；21、抽拉架；22、抽拉座；221、第一限位孔；23、夹持臂； 24、固定板；25、紧固板；26、紧固螺栓；

3、探针安装座；31、固定座；32、竖直调节座；33、第二调节螺栓；34、转向调节座；341、导向板；3411、导向孔；342、导向螺栓；35、探针安装管；

4、移动座；41、X轴调节部；411、X轴微调丝杠；412、X轴移动体；413、连接座；4131、第二调节孔；42、Y轴调节部；421、Y轴微调丝杠；422、Y轴移动体；43、Z轴调节部；431、Z轴微调丝杠；432、Z轴移动体；44、第一调节螺栓；

5、驱动结构；51、转动电机；52、蜗杆；53、齿轮；

6、调节结构；61、水平调节座；62、调节杆；

7、镜头更换结构；71、镜头架；711、镜头安置槽；72、镜头座；73、X轴移动部件；731、X轴滑轨；732、X轴滑块；74、Y轴移动部件；741、Y轴滑轨；742、Y轴滑块；743、Y轴连接座；75、Z轴移动部件；751、Z轴驱动件；752、 Z轴丝杠；753、Z轴螺母；754、Z轴滑块；755、Z轴滑轨；756、Z轴连接座； 76、连接单元；77、支撑架；78、光学镜头；79、齐焦显微镜；

8、台架。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

现有技术中检测装置的探针位置固定，通常在检测完被检测件的一个检测点后就需要更换不同长度的探针以检测其他位置的检测点，这样造成检测装置的通用性差且检测时间长，检测效率低。为此，本发明的实施例中提供了一种检测装置，能够对同一被检测件的不同位置进行检测，不需要更换探针或者检测装置。

如图1至图5所示，该检测装置包括探针检测台和镜头更换装置，其中探针检测台包括承载台1、安装被检测件的安装台2和设置于安装台2侧边的探针座，探针座和安装台2均设置在承载台1上，安装台2用于安装被检测件，探针座用于安装探针，探针座设置在安装台的侧边，且探针座能够滑动的设置于承载台1上并能够靠近或远离安装台2；镜头更换结构7设置于探针检测台的上方，镜头更换结构7能够根据被检测件不同位置需要更换光学镜头78。

探针座能够相对于承载台1滑动，这样在承载台1上放置好被检测件后，探针座可根据实际需要移动，以使探针检测被检测件的不同位置，避免了现有技术中根据被检测件检测位置不同而频繁更换探针或者承载台1，另外，镜头更换装置能够更换光学镜头78，也能够满足被检测件的不同位置的检测需要，相比于现有技术而言，本发明中的检测装置能够减少检测时间，提高工作效率。

承载台1上设置有能够沿承载台1长度方向滑动的调节板13，安装台2至少一侧设置有调节板13，探针座设置于调节板13上，且探针座能够沿调节板 13的长度方向移动。每个调节板13上至少设置有一个探针座，探针座的数量可根据被检测件的需要设置，在本实施例中每个调节板13上分别设置有两个探针座。承载台1与调节板13通过滑轨滑块连接，其中承载台1的两侧沿该承载台 1的长度方向设置有滑轨，调节板13的底部设置有滑块，滑块与滑轨滑动连接，这样能够根据不同被检测件的位置需要随时可调节调节板13相对于承载台1的位置。而探针座能够沿调节板13的长度方向移动，这样进一步增大了探针台的移动范围，满足被检测件的检测不同位置的需要。

举例地，参考图4和图5，调节板13沿长度方向设置有呈长条形的第一调节孔131，探针座上设置有与第一调节孔131相配合的第一调节螺栓44，第一调节螺栓44用于将探针座位置固定。第一调节螺栓44与第一调节螺母配合能够将探针座紧固在调节板13上，当探针座位置需要移动时，可先将第一调节螺母旋拧松，再根据实际需要推动调节板13移动，而后再手动移动探针座，探针座到位后，旋拧第一调节螺母即可实现对探针座的紧固目的。

更为详细地，如图2和图7所示，探针座上设置有呈长条形的第二调节孔 4131，第一调节孔131的长度方向与第二调节孔4131的长度方向呈夹角设置，第一调节螺栓44依次穿过第二调节孔4131和第一调节孔131。第一调节孔131 和第二调节孔4131之间的夹角可根据实际的探针座位置改变，第一调节螺栓44、第一调节孔131和第二调节孔4131之间相互配合，能够使探针座根据实际需要移动到不同的位置。第一调节螺栓44穿过第一调节孔131和第二调节孔4131 的端部设置有第一调节螺母，旋拧第一调节螺母即可实现对第一调节螺栓44的松紧，以便探针座根据实际需要滑动获得紧固。

如图3至图5所示，安装台2包括抽拉架21、抽拉座22、夹持臂23和紧固结构，其中抽拉座22能够滑动的设置在抽拉架21内，抽拉座22通过限位结构限位于抽拉架21上，抽拉架21固定于承载台1上，限位结构防止抽拉座22 在工作过程中脱出承载台1。抽拉座22能够被拉出抽拉架21，然后根据实际需要更换其他的抽拉座22，这样能够提高该安装台2的通用性，适用于不同的被检测件。夹持臂23能够滑动的设置于抽拉座22上，夹持臂23相对于抽拉座22 能够滑动，这样可适用于不同尺寸的被检测件；紧固结构能够将夹持臂23限位于承载台1上，以实现被检测件被夹持臂23夹紧的目的。由于夹持臂23将被检测件的夹紧，具体是夹持臂23将检测件的侧壁夹紧，因此在检测过程中检测臂不会影响杆身被检测件的检测结果。

举例地，如图6所示，紧固结构包括固定板24、紧固板25和紧固螺栓26，固定板24与夹持臂23固定连接，且固定板24能够滑动的设置于抽拉座22上，抽拉座22上设置有滑轨，固定板24与滑轨滑动连接，紧固板25与固定板24 通过紧固螺栓26连接，抽拉座22设置于紧固板25与固定板24之间，紧固螺栓26穿过固定板24与紧固板25，紧固螺栓26能够调节紧固板25与固定板24 之间的距离，这样可适用于不同厚度的被检测件，满足不同厚度的被检测件的夹持需要。另外，该结构简单，易于实现。

抽拉座22的两侧各设置有一个第一限位孔221，限位结构包括滚珠螺丝，滚珠螺丝具有滚珠的一端穿过第一限位孔221，且滚珠螺丝的侧壁与承载板12 能够抵接干涉，滚珠螺栓能够防止抽拉座22向外部移动，进而防止抽拉座22 从抽拉架21上脱离。当需要对抽拉座22进行抽拉取出时，向上提拉滚珠螺丝后滚珠螺丝会向上移动而滚珠全部进入到第一限位孔221内，这样承载板12失去了对滚珠螺栓的干涉限位，如此可对抽拉座22进行抽拉替换。以便于不同被检测件的需要，不同抽拉座22上设置的夹持臂23的形状也不相同，根据被检测件的需要设置。

承载台1包括机架11和承载板12，安装台2和探针座均设置于承载板12 上，承载板12两端能够转动的设置于机架11上。承载板12能够相对于机架11 转动，这样能够满足被检测件的不同位置的需要，尤其是被检测件的背面被检测的过程中能够直接翻转进行检测，这样省去了将被检测件取出后再翻转夹紧的操作，进一步降低检测时间，提高工作效率。

该检测装置所述检测装置还包括驱动结构5，驱动结构5设置在机架11的外侧，驱动结构5包括转动电机51、蜗杆52和齿轮53，其中转动电机51的输出端与蜗杆52通过联轴器连接，转动电机51为蜗杆52转动提供动力，齿轮53 设置于机架11的外部，承载板12设置有连接轴，连接轴一端穿过机架11并套设有齿轮53，齿轮53与蜗杆52啮合，承载板12能够随齿轮53转动。通过齿轮53与蜗杆52之间的配合，能够将承载板12转动到需要的角度，便于检测。另外齿轮53与蜗杆52的配合能够对承载板12实现自锁，防止承载板12在检测过程中发生转动，同时蜗杆52和齿轮53的组合传动平稳噪音小，适用于间歇式检测的工作场合。

机架11未设置驱动结构5的一侧设置有角度刻度线，以便于对承载板12 旋转角度确定。

检测装置还包括台架8，探针检测台和镜头更换结构7均设置于台架8上，台架8上均匀设置有多个第二定位孔，承载台1还包括定位螺栓14，承载板12 上设置有三个第一定位孔，第一定位孔与定位螺栓14一一对应设置。定位螺栓 14穿过第一定位孔和第二定位孔，由于第一定位孔的数量为三个，三点确定一个平面，因此机架11在固定在台架8上时不会发生水平倾斜，这样可以保证机架11在安装在台架8上时不发生位置偏移。

在本实施例中，为了实现对台架8的微调，探针检测台还包括调节结构6，调节结构6设置于台架8上，且承载台1的两端部和两侧均设置有调节结构6。

具体地，调节结构6包括水平调节座61和调节杆62，调节杆62能够转动的设置在水平调节座61上，当需要对台架8进行微调时，直接转动调节杆62，调节杆62会相对于水平调节座61实现移动，调节杆62可推动台架8移动，实现微调的目的。调节杆62的具体结构包括调节螺栓和调节螺母，调节螺母固定在水平调节座61上，调节螺栓与调节螺母螺纹连接，通过旋拧调节螺栓即可实现对台架8微调的作用。

如图7至图9所示，探针座包括探针安装座3和移动座4，其中探针安装座 3用于安装探针；移动座4与探针安装座3连接，移动座4能够调节探针安装座 3的水平方向和竖直方向上的位移，满足检测时的精度要求，能够使探针准确的落在检测点上。移动座4上设置有第二调节孔4131，第一调节螺栓44一端穿过第二调节孔4131和第一调节孔131后与第一调节螺母螺纹连接，如此可使移动座4能够滑动的设置于调节板13上。第二调节孔4131能够相对于第一调节孔 131发生偏转，这样能够改变移动座4的角度，实现移动座4旋转的目的，移动座4旋转后探针位置发生改变，因此在实际使用过程中，可根据实际需要改变移动座4的位置。

举例地，移动座4包括X轴调节部41、Y轴调节部42和Z轴调节部43，X 轴调节部41设置于承载台1的顶部；探针大体位置固定后，X轴调节部41能够对探针在X轴方向进行调节。Y轴调节部42设置于X轴调节部41的顶部并与X 轴调节部41连接，Y轴调节部42能够对探针在Y轴方向进行调节。Z轴调节部 43设置于Y轴调节部42的一侧，Z轴调节部43分别与探针安装座3以及Y轴调节部42连接，Z轴调节部43能够对探针在Z轴方向进行调节。这样进一步实现了探针在不同位置处的调节需要，进一步提高了探针的检测精度，使探针能够准确的落在检测点上。

举例地，X轴调节部41包括连接座413、X轴微调丝杠411、X轴微调螺母和X轴移动体412，连接座413设置于承载台1的顶部，连接座413的两侧分别设置有一个第二调节孔4131；X轴微调丝杠411能够转动的设置于连接座413 上；X轴微调螺母与X轴微调丝杠411螺纹配合；X轴移动体412与X轴微调螺母固定连接，这样能够在X轴微调螺母直线移动时X轴移动体412也随之直线移动。X轴微调丝杠411部分伸出连接座413，X轴微调丝杠411伸出连接座413的部分设置有手柄，通过对手柄的细微调节可使X轴移动体412在X轴方向移动，这样可以实现探针在X轴方向上的精准定位，提高检测结果。

Y轴调节部42包括Y轴微调丝杠421、Y轴微调螺母和Y轴移动体422，Y 轴微调丝杠421能够转动的设置于X轴移动体412上；Y轴微调螺母与Y轴微调丝杠421螺纹配合；Y轴移动体422与Y轴微调螺母固定连接，这样能够在Y轴微调螺母直线移动时Y轴移动体422也随之直线移动。Y轴微调丝杠421部分伸出X轴移动体412，Y轴微调丝杠421伸出X轴移动体412的部分设置有手柄，通过对手柄的细微调节可使Y轴移动体422在Y轴方向移动，这样可以实现探针在Y轴方向上的精准定位，提高检测结果。

Z轴调节部43包括Z轴微调丝杠431、Z轴微调螺母和Z轴移动体432，Z 轴微调丝杠431能够转动的设置于Y轴移动体422上；Z轴微调螺母与Z轴微调丝杠431螺纹配合；Z轴移动体432分别与Z轴微调螺母和探针安装座3固定连接，这样能够在Z轴微调螺母直线移动时Z轴移动体432也随之直线移动。Z轴微调丝杠431部分伸出Y轴移动体422，Z轴微调丝杠431伸出Y轴移动体422 的部分设置有手柄，通过对手柄的细微调节可使Z轴移动体432和与Z轴移动体432固定连接的探针安装座3在Z轴方向移动，这样可以实现探针在Z轴方向上的精准定位，提高检测结果。

为了使探针安装座3在移动过程中更为稳定，避免移动过程中发生抖动，X 轴移动体412、Y轴移动体422和Z轴移动体432的底部均设置有燕尾榫，连接座413、X轴移动体412和Y轴移动体422上均有与燕尾榫配合的燕尾槽。燕尾榫和燕尾槽相互配合能够提高探针安装座3的运动精度，运动过程中也更为稳定。

探针安装座3包括固定座31和转动座，其中固定座31与Z轴调节部43固定连接，具体是固定座31与Z轴调节部43通过连接螺栓固定连接；转动座与固定座31转动连接，具体是转动座与固定座31枢轴连接，转动座上设置有探针，探针高度可根据实际情况通过Z轴调节部43和转动座二者中任一个或者两个的调节实现。

竖直调节座32转动方向与转向调节座34转动方向呈夹角设置。转动座包括竖直调节座32和转向调节座34，竖直调节座32与固定座31枢轴连接，具体是通过连接轴连接，连接轴呈水平设置，竖直调节座32可绕Y轴转动，以此调节探针在Z轴方向的位置。竖直调节座32的一端与转向调节座34通过转动螺栓转动连接，转向调节座34与探针连接，转向调节座34能够使探针绕着Z轴转动，以调节XY轴方向的位置。转向调节座34上设置有导向板341和导向螺栓342，导向板341与导向螺栓342相互配合能够为转向调节座34提供导向并紧固转向调节座34。这样能够在同一位置对探针进行转动，根据实际需要检测不同点位，不需要调整移动座4即可实现对探针位置的改变，进而能够实现在短时间内对相邻检测点进行连续检测的目的。

导向板341一端与转向调节座34固定连接，导向板341另一端与竖直调节座32转动连接，导向板341上设置有呈弧形的导向孔3411，导向螺栓342穿过导向孔3411并与固定座31螺纹连接。转动螺栓穿过导向板341、竖直调节座 32和转向调节座34以将竖直调节座32和转向调节座34转动连接。转向调节座 34形成有转向槽，竖直调节座32的一端插入转向槽内，竖直调节座32与转向槽的两个槽壁转动连接，这样便于竖直调节座32和转向调节座34二者的连接。导向板341的设置能够为转向调节座34提供导向，这样能够防止转向调节座34在转动过程中发生位置偏移，而导向螺栓342能够将转向调节座34位置锁定，防止在探针工作过程中发生位置移动而影响检测效果。另外，导向板341的设置可以使探针调节转动到不同的位置，增加探针的调节范围。尤其是在检测过程中可以避免只有移动探针座才能够调节探针的检测位置的情况出现。

导向孔3411的弧心角取值范围为45°-90°，这样可保证转向转动座34不会相对于固定座随意摆动。

具体地，转向调节座34包括上夹板和下夹板，上夹板和下夹板固定连接，且上夹板和下夹板连接后形成安装腔，探针安装管35的部分位于安装腔内。上夹板和下夹板二者相互配合能够将探针安装管35夹紧固定在探针安装座3上，当需要更换探针安装管35的时候可直接将上夹板和下夹板分离，如此可取出探针安装管35进行更换。更为具体地，上夹板和下夹板之间通过螺栓进行固定连接。

探针安装座3还包括第二调节螺栓33，第二调节螺栓33穿过Z轴移动体432后能够与固定座31抵接。这样可进一步地对转向调节座34在Z轴方向进行调节，如此可使扩大探针在Z轴方向的调节范围，可保证被检测件存在凹槽时，探针对凹槽处实现检测。第二调节螺栓33的位置不会因为翻转台而产生的变形，能够使探针稳定，不会产生位置移动。

探针安装座3上设置有长度能够调节的探针安装管35，探针的检测端穿过探针安装管35并设置于探针安装管35的一端。探针安装管35为可伸缩管，其结构类似收音机天线结构，故其结构为现有技术，不再详细阐述。

具体地，如图1、图10至图13所示，该检测用光学镜头78更换装置包括台架8、镜头架71、镜头座72、移动单元和连接单元76，其中镜头架71设置于台架8上，镜头架71用以摆放支撑非工作的光学镜头78，镜头架71上并排且间隔设置有多个镜头安置槽711；镜头座72设置有探测器和齐焦显微镜79，探测器和齐焦显微镜79二者独立工作，不相互影响，镜头座72连接有用于工作的光学镜头78，且用于工作的光学镜头78设置于探测器的正下方以实现探测器与光学镜头78的对焦连接；移动单元设置于台架8上，移动单元与镜头座72 连接，镜头架71设置于移动单元的下方，移动单元被配置为能够驱动镜头座72 移动，从而实现对光学镜头78的非人工移动；连接单元76设置于镜头座72上，连接单元76被配置为能够抓取或松脱光学镜头78，移动单元将需要更换的光学镜头78移动至镜头架71处，通过连接单元76将需要更换的光学镜头78放置在镜头安置槽711处，然后移动单元再次移动连接单元76至待夹取的光学镜头 78，连接单元76夹取新的光学镜头78后移动单元再次移动连接单元76，进而带动新的光学镜头78至被检测件处，移动单元和连接单元76相互配合可实现对光学镜头78的自动更换。同时多个光学镜头78不会在镜头座72处同时存在，故非工作的光学镜头78不会影响用于工作的光学镜头78检测效率。

由于部分光学镜头78呈上窄下宽，而部分光学镜头78呈下窄上宽，为了适应不同形状的光学镜头78，如图11所示，在本实施例中，镜头安置槽711具有开口，开口镜头安置槽711的开口朝向所述探针检测台设置。呈开口设置。当移动单元将需要更换的光学镜头78移动至镜头架71处后，可直接将光学镜头78进入到镜头安置槽711的开口处将光学镜头78松脱，此时镜头架71支撑该光学镜头78，镜头安置槽711的开口设计能够适应不同形状的光学镜头78的放置需要。

可选地，在本实施例中，如图10和图12所示，移动单元包括用于带动光学镜头78沿着X轴方向移动的X轴移动部件73、用于带动光学镜头78沿着Y 轴方向移动的Y轴移动部件74和用于带动光学镜头78沿着Z轴方向移动的Z 轴移动部件75，其中X轴移动部件73设置于台架8的顶部；Y轴移动部件74 设置于X轴移动部件73上并与X轴移动部件73连接；Z轴移动部件75设置于 Y轴移动部件74上并与镜头座72连接。如此可满足光学镜头78对于移动到不同位置的需要。

为了能够将Y轴移动部件74稳定的支撑，且不对Z轴移动部件75移动过程中产生干涉，在本实施例中，两个X轴移动部件73平行且间隔设置于台架8 的顶部，Y轴移动部件74两端分别与位于Y轴移动部件74两端的X轴移动部件 73连接。同时两个X轴移动部件73还能够稳定的支撑Y轴移动部件74。

详细地，X轴移动部件73包括X轴驱动件和X轴直线移动组件，X轴直线移动组件分别与X轴驱动件的输出端和Y轴移动部件74连接，X轴直线移动组件能够沿X轴方向带动Y轴移动部件74移动。举例地，X轴驱动件为X轴电机， X轴直线移动组件为X轴滚珠丝杠，X轴滚珠丝杠包括X轴丝杠和X轴螺母，X 轴丝杠与X轴电机的输出端传动连接，X轴螺母与Y轴移动部件74固定连接。

如此可实现对镜头座72的X轴方向的移动。

为了使X轴螺母平稳地在X轴丝杠上移动，X轴移动部件73还包括设置于 X轴丝杠两侧的X轴滑轨731和与X轴螺母固定连接的X轴滑块732。

当然，在一些实施例中，X轴驱动件可为X轴推杆，举例地，X轴推杆可为电推杆或气缸，X轴直线移动组件包括X轴滑轨731和X轴滑块732，X轴滑块 732能够在X轴滑轨731上滑动，X轴滑块732与Y轴移动部件74固定连接。

如此可实现对镜头座72的X轴方向的移动。

详细地，Y轴移动部件74包括Y轴驱动件和Y轴直线移动组件，Y轴直线移动组件分别与Y轴驱动件的输出端及Z轴移动部件75连接，Y轴直线移动组件能够沿Y轴方向带动Z轴移动部件75移动。举例地，Y轴驱动件为Y轴电机，Y轴直线移动组件为Y轴滚珠丝杠，Y轴滚珠丝杠包括Y轴丝杠和Y轴螺母，Y 轴丝杠与Y轴电机的输出端传动连接，Y轴螺母与Z轴移动部件75固定连接。如此可实现对镜头座72的Y轴方向的移动。

为了使Y轴螺母平稳地在Y轴丝杠上移动，Y轴移动部件74还包括设置于 Y轴丝杠两侧的Y轴滑轨741和与Y轴螺母固定连接的Y轴滑块742。

当然，在一些实施例中，Y轴驱动件为Y轴推杆，Y轴推杆可为电推杆或气缸，Y轴直线移动组件包括Y轴滑轨741和Y轴滑块742，Y轴滑块742能够在Y轴滑轨741上滑动，Y轴滑块742与Z轴移动部件75固定连接。如此可实现对镜头座72的Y轴方向的移动。

详细地，Z轴移动部件75包括Z轴驱动件751和Z轴直线移动组件，Z轴直线移动组件分别与Z轴驱动件751的输出端及镜头座72连接，Z轴直线移动组件能够沿Z轴方向带动镜头座72移动。举例地，Z轴驱动件751为Z轴电机， Z轴直线移动组件为Z轴滚珠丝杠，Z轴滚珠丝杠包括Z轴丝杠752和Z轴螺母753，Z轴丝杠752与Z轴电机的输出端传动连接，Z轴螺母753与镜头座72固定连接。如此可实现对镜头座72的Z轴方向的移动。进一步地，为了使Z轴螺母753平稳地在Z轴丝杠752上移动，Z轴移动部件75还包括设置于Z轴丝杠 752两侧的Z轴滑轨755和与Z轴螺母753固定连接的Z轴滑块754。

为了实现Y轴滑块742与Z轴移动部件75的连接，Z轴移动部件75还包括 Z轴连接座756，Z轴连接座756与Y轴滑块742固定连接，Z轴驱动件751和Z 轴直线移动组件均设置在Z轴连接座756上，Z轴连接座756为Z轴驱动件751 和Z轴直线移动组件提供支撑。Z轴滑轨755和Y轴滑块742分别位于Z轴连接座756的两侧。

当然，在一些实施例中，Z轴驱动件751为Z轴推杆，Z轴推杆可为电推杆或气缸，Z轴直线移动组件包括Z轴滑轨755和Z轴滑块754，Z轴滑块754能够在Z轴滑轨755上滑动，Z轴滑块754与镜头座72固定连接。如此可实现对镜头座72的Z轴方向的移动。

当X轴移动部件73直接设置在台架8上时，在更换被检测件时可能会与光学镜头78之间发生干涉，为此，在本实施中，移动单元还包括位于X轴移动部件73底部的支撑架77，支撑架77设置于台架8的顶部，支撑架77两端分别与 X轴移动部件73和台架8顶部固定连接。这样提高了光学镜头78的整体高度，能够防止光学镜头78被触碰。

详细地，在本实施例中，如图13所示，连接单元76包括气动夹爪。气动夹爪属于现有技术，具体可通过外购获得，此处不再赘述。

此外，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

探针检测台，包括承载台(1)、安装被检测件的安装台(2)和设置于安装台(2)侧边的探针座，所述探针座和所述安装台(2)均设置于所述承载台(1)上，所述探针座滑动设置于所述承载台(1)上并能够靠近或远离所述安装台(2)；

镜头更换结构(7)，设置于探针检测台的上方，所述镜头更换结构(7)能够根据被检测件不同位置需要更换光学镜头(78)。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述安装台(2)包括：

抽拉架(21)，固定于所述承载台(1)上；

抽拉座(22)，能够滑动的设置于所述抽拉架(21)内，所述抽拉座(22)通过限位结构限位于所述抽拉架(21)上；

夹持臂(23)，能够滑动的设置于所述抽拉座(22)上；

紧固结构，能够将所述夹持臂(23)限位于所述承载台(1)上。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述紧固结构包括固定板(24)、紧固板(25)和紧固螺栓(26)，所述固定板(24)与所述夹持臂(23)固定连接，且所述固定板(24)能够滑动的设置于所述抽拉座(22)上，所述紧固板(25)与所述固定板(24)通过所述紧固螺栓(26)连接，所述抽拉座(22)设置于所述紧固板(25)与所述固定板(24)之间，所述紧固螺栓(26)穿过所述固定板(24)与所述紧固板(25)，所述紧固螺栓(26)能够调节所述紧固板(25)与所述固定板(24)之间的距离。

4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述抽拉座(22)的两侧各设置有一个第一限位孔(221)，所述限位结构包括滚珠螺丝，所述滚珠螺丝具有滚珠的一端穿过所述第一限位孔(221)和所述承载台(1)能够抵接干涉。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括台架(8)，所述探针检测台和所述镜头更换结构(7)均设置于所述台架(8)上，所述台架(8)设置于机架(11)上。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述机架(11)上设置有三个第一定位孔，所述台架(8)上均匀设置有多个第二定位孔，定位螺栓(14)穿过所述第一定位孔和第二定位孔，且所述定位螺栓(14)与所述第一定位孔一一对应设置。

7.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述探针检测台还包括调节结构(6)，所述调节结构(6)设置于所述台架(8)上，且所述承载台(1)的两端部和两侧均设置有所述调节结构(6)。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述调节结构(6)包括水平调节座(61)和调节杆(62)，所述调节杆(62)能够转动地设置于所述水平调节座(61)上。

9.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述镜头更换结构(7)包括：

镜头架(71)，设置于所述台架(8)上，所述镜头架(71)用以摆放支撑非工作的光学镜头(78)，所述镜头架(71)上并排且间隔设置有多个镜头安置槽(711)；

镜头座(72)，设置有探测器，所述镜头座(72)连接有用于工作的光学镜头(78)，且用于工作的所述光学镜头(78)设置于所述探测器的正下方；

移动单元，设置于所述台架(8)上，所述移动单元与所述镜头座(72)连接，所述镜头架(71)设置于所述移动单元的下方，所述移动单元被配置为能够驱动所述镜头座(72)移动；

连接单元(76)，设置于所述镜头座(72)上，所述连接单元(76)被配置为能够抓取或松脱所述光学镜头(78)。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述镜头安置槽(711)的开口朝向所述探针检测台设置。

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